JP2000058378A - 積層セラミックコンデンサ - Google Patents

積層セラミックコンデンサ

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JP2000058378A JP10227203A JP22720398A JP2000058378A JP 2000058378 A JP2000058378 A JP 2000058378A JP 10227203 A JP10227203 A JP 10227203A JP 22720398 A JP22720398 A JP 22720398A JP 2000058378 A JP2000058378 A JP 2000058378A
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信之 和田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】高電界強度下での誘電率の低下が小さく、耐め
っき液性に優れて信頼性が高く、B特性及びX7R特性
を満足する、内部電極にNiを使用した積層セラミック
コンデンサを提供する。 【解決手段】誘電体は、{Ba1-xCaxO}mTiO2
αRe23+βMgO+γMnO(但し、Re23は、
23、Gd23、Tb23、Dy23、Ho23、E
23、Yb23のうち少なくとも1種)で表される主
成分100重量部に対して、Li2O−B23−(S
i,Ti)O2酸化物、Al23−MO−B23(但し、
MOはBaO、CaO、SrO、MgO、ZnO及びM
nOのうち少なくとも1種)酸化物、及びSiO2から
選ばれる1種を0.2〜5.0重量部含有した材料から
なる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子機器に用いら
れる積層セラミックコンデンサ、特に、ニッケル又は、
ニッケル合金からなる内部電極を有する積層セラミック
コンデンサに関する。
【0002】
【従来の技術】積層セラミックコンデンサはセラミック
素子と内部電極金属が積層されたものである。最近で
は、コスト低減のため内部電極に高価な貴金属であるA
gやPdに代わって安価な卑金属であるNiが用いられ
るようになった。Niを電極に用いる場合には、Niが
酸化されない還元雰囲気で焼成する必要がある。還元雰
囲気中での焼成では、チタン酸バリウムからなるセラミ
ックは本来、還元されて半導体化する。しかしながら、
例えば、特公昭57−42588号公報に示されるよう
な、チタン酸バリウム固溶体における、バリウムサイト
/チタンサイトの比を化学量論比より過剰にした誘電体
材料の非還元化技術が発明されて以来、Niを電極とし
た積層セラミックコンデンサの実用化が可能となり、そ
の生産量が拡大している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】近年のエレクトロニク
スの発展に伴い電子部品の小型化が急速に進行し、積層
セラミックコンデンサも小型化、大容量化の傾向が顕著
である。又、これら積層セラミックコンデンサは、小型
大容量化とともに静電容量の温度安定性が求められてお
り、これまでの積層セラミックコンデンサ用のセラミッ
ク材料の開発は、誘電率の温度特性がよく、しかも高い
誘電率を持たせることに主眼が置かれていた。そして温
度特性のよい高誘電率材料として多くの材料が提案さ
れ、実用化されてきた。これらは、いずれも誘電率が3
000以上と高い材料である。そして、これらの材料が
提供されたことによって、静電容量の温度変化が少なく
高容量の積層セラミックコンデンサが可能となり、市場
拡大に大いに貢献してきた。
【0004】しかしながら、近年ではさらに小型大容量
化の要求が強まり、誘電体セラミック層をさらに薄層化
し、かつ多層化する必要が生じてきた。ところが、薄層
化することにより誘電体には高電界強度の電圧が印加さ
れることになり、従来の材料では誘電率が低下する、温
度特性が悪化する、信頼性が低下するなどの不都合が生
じ、積層セラミックコンデンサの大容量化にとって大き
な支障となっていた。特に、積層セラミックコンデンサ
の誘電体層の厚みを5μm以下にまで薄層化すると、内
部電極間のセラミック粒子の個数が10個以下程度と少
なくなり、信頼性の低下が著しく、薄層化に限界が生じ
ていた。このため、信頼性の高いしかも誘電率の電界強
度に対する安定性に優れた材料の開発が望まれている。
【0005】又、積層セラミックコンデンサにおいて
は、回路基板などへの実装の自動化に対応するために、
外部電極として導電性金属粉末の焼き付け電極の上には
んだなどのめっき層が形成されるのが一般的である。こ
のめっき層の形成方法としては、電解めっきが一般的で
ある。一方、誘電体セラミックには焼結助材としてホウ
素を含む酸化物あるいはガラスを添加するものがある。
ところが、これら添加物を用いた誘電体セラミックは耐
めっき性が悪く、めっき層形成のためにめっき液に積層
セラミックコンデンサを浸漬することにより特性が低下
することがある。特に誘電体セラミック層を薄層化した
ものについては、その信頼性の低下が著しくなるという
問題点があった。
【0006】そこで、本発明の目的は、誘電体セラミッ
ク層を薄層にして高電圧を印加した場合でも誘電率の低
下が小さく、実際の高電界がかけられた状態で安定した
静電容量を示し、静電容量の温度特性がJIS規格で規
定するB特性及びEIA規格で規定するX7R特性を満
足し、耐めっき液性に優れて信頼性の高い、誘電体セラ
ミック層を薄層化した大容量の積層セラミックコンデン
サを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の積層セラミックコンデンサは、複数の誘電
体セラミック層と、該誘電体セラミック層間に形成され
た内部電極と、該内部電極に電気的に接続された外部電
極とを備えた積層セラミックコンデンサにおいて、前記
誘電体セラミック層が、次の組成式、 {Ba1-xCaxO}mTiO2+αRe23+βMgO+
γMnO (但し、Re23は、Y23、Gd23、Tb23、D
23、Ho23、Er23及びYb23の中から選ば
れる少なくとも1種以上であり、α、β及びγはモル比
を表わし、0.001≦α≦0.10、0.001≦β
≦0.12、0.001<γ≦0.12、1.000<
m≦1.035、0.005<x≦0.22の範囲内に
ある)で表わされ、かつ該誘電体セラミック層に用いる
{Ba1-xCaxO}TiO2原料中のアルカリ金属酸化
物の含有量が0.02重量%以下である主成分100重
量部に対して、第1の副成分をLi2O−B23−(S
i,Ti)O2系の酸化物とし、第2の副成分をAl2
3−MO−B23系の酸化物(但し、MOはBaO、Ca
O、SrO、MgO、ZnO及びMnOの中から選ばれ
る少なくとも1種である)の酸化物とし、第3の副成分
をSiO2としたときに、該第1、第2及び第3の副成
分から選ばれる1種を0.2〜5.0重量部含有してお
り、前記内部電極はニッケルまたはニッケル合金からな
ることを特徴とする。
【0008】又、前記誘電体セラミック層に用いる{B
1-xCaxO}TiO2原料の平均粒径は、0.1〜
0.7μmであることを特徴とする。
【0009】又、前記第1の副成分は、xLi2O−y
23−z(SiwTi1-w)O2(但し、x、y及びz
はモル%であり、wは0.30≦w≦1.0の範囲内に
ある)で表わしたとき、それぞれの成分を頂点とする三
元組成図の、A(x=0、y=20、z=80)、B
(x=19、y=1、z=80)、C(x=49、y=
1、z=50)、D(x=45、y=50、z=5)、
E(x=20、y=75、z=5)、F(x=0、y=
80、z=20)で示される各点を結ぶ直線で囲まれた
領域の内部又は線上にあることを特徴とする。
【0010】又、前記第1の副成分中には、前記Li2
O−B23−(Si,Ti)O2系の酸化物100重量
部に対して、Al23及びZrO2のうち少なくとも1
種を合計で20重量部以下(但し、ZrO2は10重量
部以下)含有することを特徴とする。
【0011】又、前記第2の副成分は、xAl23−y
MO−zB23(但し、x、y及びzはモル%である)
で表わしたとき、それぞれの成分を頂点とする三元組成
図の、A(x=1、y=14、z=85)、B(x=2
0、y=10、z=70)、C(x=30、y=20、
z=50)、D(x=40、y=50、z=10)、E
(x=20、y=70、z=10)、F(x=1、y=
39、z=60)で示される各点を結ぶ直線で囲まれた
領域の内部又は線上にあることを特徴とする。
【0012】又、前記外部電極は、導電性金属粉末、又
はガラスフリットを添加した導電性金属粉末の焼結層か
らなることを特徴とする。
【0013】さらに、前記外部電極は、導電性金属粉
末、又はガラスフリットを添加した導電性金属粉末の焼
結層と、その上に形成されためっき層からなることを特
徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】まず、本発明の積層セラミックコ
ンデンサを、図面に基づき説明する。図1は本発明の積
層セラミックコンデンサの一例を示す断面図、図2は図
1の積層セラミックコンデンサのうち、内部電極を有す
る誘電体セラミック層部分を示す平面図、図3は図1の
積層セラミックコンデンサのうち、セラミック積層体部
分を示す分解斜視図である。本発明の積層セラミックコ
ンデンサ1は図1に示すように、内部電極4を介して複
数枚の誘電体セラミック層2a、2bを積層して得られ
たセラミック積層体3の両端面に、外部電極5、並びに
必要により第1のめっき層6及び第2のめっき層7が形
成されたものである。
【0015】誘電体セラミック層2a、2bは、チタン
酸バリウムカルシウム{Ba1-xCaxO}mTiO2と、
23、Gd23、Tb23、Dy23、Ho23、E
23及びYb23の中から選ばれる少なくとも1種以
上と、MgOと、MnOを主成分とし、副成分としてL
2O−B23−(Si,Ti)O2系の酸化物、Al2
3−MO−B23系(MOはBaO、CaO、Sr
O、MgO、ZnO及びMnOの中から選ばれる少なく
とも1種類)の酸化物、及びSiO2から選ばれる1種
を含有させた誘電体磁器組成物で構成される。これによ
って、還元性雰囲気中で焼成しても、半導体化すること
なく焼成することができ、静電容量の温度特性がJIS
規格で規定するB特性及びEIA規格で規定するX7R
特性を満足し、室温及び高温の絶縁抵抗の高い、高信頼
性で絶縁耐力の優れた積層セラミックコンデンサが得ら
れる。
【0016】ここで、チタン酸バリウムカルシウム原料
として、平均粒径が0.1〜0.7μmのものを用いる
ことによって、誘電体セラミック層が薄く電界強度が高
くなった場合でも誘電率の電界による変化が小さく、
又、信頼性の高い積層セラミックコンデンサが得られ
る。又、誘電体セラミックは、Re成分(但し、Re
は、Y、Gd、Tb、Dy、Ho、Er及びYbの中か
ら選ばれる少なくとも1種以上)が焼成時の拡散によっ
て粒界近傍及び粒界に存在するコア・シェル構造を取
る。
【0017】又、チタン酸バリウムカルシウム原料とし
て、Na2O、K2Oなどのアルカリ金属酸化物の含有量
が0.02重量%以下のものを用いることによって、信
頼性の高い誘電体が得られる。
【0018】又、チタン酸バリウムカルシウム原料とし
ての(バリウム+カルシウム)/チタンの比(n)は特
に限定しない。粉末原料作製の安定性を考えた場合、n
は0.990〜1.035であれば、合成された粉末の
粒径バラツキが小さく望ましい。
【0019】又、上記主成分中に含有させたLi2O−
23−(Si,Ti)O2系の酸化物によって、12
50℃以下と比較的低温度で焼結させることができ、め
っきによる特性の劣化がない。又、前記Li2O−B2
3−(Si,Ti)O2系の酸化物にAl23、ZrO2
を含有させることで、より高い絶縁抵抗が得られる。
又、上記主成分中に含有させたAl23−MO−B23
系の酸化物によって、焼結性がよくなるとともに、めっ
きによる特性の劣化がない。さらに、上記主成分中に含
有させたSiO2によって、焼結性がよくなるととも
に、めっきによる特性の劣化がない。
【0020】次に、内部電極4は、卑金属であるニッケ
ル又はニッケル合金によって構成される。
【0021】又、外部電極5は、Ag、Pd、Ag−P
d、Cu、Cu合金などの種々の導電性金属の焼結層、
又は、上記導電性金属粉末とB23−Li2O−SiO2
−BaO系、B23−SiO2−BaO系,Li2O−S
iO2−BaO系、B23−SiO2−ZnO系などの種
々のガラスフリットとを配合した焼結層によって構成さ
れる。そして、この焼結層の上に、めっき層を形成する
ことができる。このめっき層としては、Ni、Cu、N
i−Cu合金などからなる第1のめっき層6のみでもよ
いし、さらにその上にはんだ、錫などの第2のめっき層
7を形成してもよい。
【0022】次に、本発明の積層セラミックコンデンサ
の製造方法について、図1〜3を参照して製造工程順に説
明する。まず、誘電体セラミック用の原料として、酸化
物や炭酸塩などを高温で反応させる固相法により作製し
た原料粉末や、アルコキシド法あるいは水熱合成法など
の湿式合成法により作製した原料粉末を準備する。な
お、添加剤などは、酸化物や炭酸塩などの粉末以外に、
アルコキシド、有機金属などの溶液を用いることもでき
る。
【0023】その後、準備した原料を所定の組成比率に
秤量し混合した後、有機バインダを加えてスラリー化
し、シート状に成形してグリーンシート(誘電体セラミ
ック層2a、2b)を得る。次いで、グリーンシート
(誘電体セラミック層2b)の一面にニッケル又はニッ
ケル合金からなる内部電極4を形成する。なお、内部電
極4を形成する方法は、スクリーン印刷などによる形成
でも、蒸着、めっき法による形成でも構わない。
【0024】その後、内部電極4を有するグリーンシー
ト(誘電体セラミック層2b)を必要枚数積層し、図3
に示す如く、内部電極を有しないグリーンシート(誘電
体セラミック層2a)に挟んで圧着し、積層体とする。
そして、この積層体を還元雰囲気中、所定の温度にて焼
成し、セラミック積層体3を得る。
【0025】その後、セラミック積層体3の両端面に、
内部電極4と電気的に接続するように、一対の外部電極
5を形成する。なお、一般的に、外部電極5は、材料と
なる金属粉末ペーストを焼成により得たセラミック積層
体3に塗布して、焼き付けることによって形成される
が、焼成前に塗布して、セラミック積層体3と同時に形
成することもできる。
【0026】そして最後に、外部電極5上に必要に応じ
て、第1のめっき層6、第2のめっき層7を形成し、積
層セラミックコンデンサ1を完成させる。
【0027】
【実施例】(実施例1)まず、出発原料としてTi
2、BaCO3及びCaCO3を準備し、混合粉砕した
後、1000℃以上の温度で加熱して、表1に示す9種
類のチタン酸バリウムカルシウムを合成した。なお、原
料の粒子径は走査型電子顕微鏡で観察し、その平均粒径
を求めた。
【0028】
【表1】
【0029】又、第1の副成分として0.25Li2
−0.10B23−0.07TiO2・0.58SiO2
(モル比)の組成割合になるように、各成分の酸化物、
炭酸塩及び水酸化物を秤量し、混合粉砕して粉末を得
た。同様に、第2の副成分として、0.25Al23
0.17BaO−0.03MnO−0.55B23(モ
ル比)の組成割合になるように、各成分の酸化物、炭酸
塩及び水酸化物を秤量し、混合粉砕して粉末を得た。次
に、これら第1及び第2の副成分の粉末を別々の白金ル
ツボ中において、1400℃まで加熱した後、急冷し、
粉砕することによって、平均粒径が1μm以下のそれぞ
れの酸化物粉末を得た。
【0030】次に、チタン酸バリウムカルシウムとして
の(Ba,Ca)/Tiモル比mを調整するためのBa
CO3あるいはTiO2、及び純度99%以上のY23
Gd23、Tb23、Dy23、Ho23、Er23
Yb23、MgO及びMnOを準備した。これらの原料
粉末と第1又は第2の副成分である上記酸化物粉末を表
2に示す組成になるように秤量した。なお、第1、及び
第2の副成分の添加量は、主成分[{Ba1-xCaxO}m
TiO2+αRe23+βMgO+γMnO]100重量
部に対する添加重量部数である。そして、この秤量物に
ポリビニルブチラール系バインダー及びエタノールなど
の有機溶剤を加えて、ボールミルにより湿式混合し、セ
ラミックスラリーを調整した。このセラミックスラリー
をドクターブレード法によりシート成形し、厚み4.5
μmの矩形のグリーンシートを得た。次に、このセラミ
ックグリーンシート上に、Niを主体とする導電ペース
トを印刷し、内部電極を構成するための導電ペースト層
を形成した。
【0031】
【表2】
【0032】その後、導電ペースト層が形成されたセラ
ミックグリーンシートを導電ペースト層の引き出されて
いる側が互い違いとなるように複数枚積層し、積層体を
得た。この積層体を、N2雰囲気中にて350℃の温度
に加熱し、バインダーを燃焼させた後、酸素分圧10-9
〜10-12MPaのH2−N2−H2Oガスからなる還元性
雰囲気中において表3に示す温度で2時間焼成し、セラ
ミック焼結体を得た。
【0033】焼成後、得られたセラミック焼結体の両端
面にB23−Li2O−SiO2−BaO系のガラスフリ
ットを含有するAgペーストを塗布し、N2雰囲気中で
600℃の温度で焼付け、内部電極と電気的に接続され
た外部電極を形成した。
【0034】その後、硫酸ニッケル、塩化ニッケル及び
ホウ酸からなるニッケルめっき液を用意し、バレルめっ
き法にて銀外部電極上にニッケルめっき層を形成した。
次いで、AS浴(アルカノールスルホン酸)からなるは
んだめっき液を用意し、バレルめっき法によって、ニッ
ケルめっき層の上にはんだめっきをして、外部電極がめ
っき層で覆われた積層セラミックコンデンサを得た。 このようにして得られた積層セラミックコンデンサの外
形寸法は幅:5.0mm、長さ:5.7mm、厚さ:
2.4mmであり、内部電極間に介在する誘電体セラミ
ック層の厚みは3μmであった。又、有効誘電体セラミ
ック層の総数は5であり、一層当たりの対向電極の面積
は16.3×10-62であった。
【0035】次に、これらこれら積層セラミックコンデ
ンサの電気的特性を測定した。静電容量及び誘電損失
(tanδ)は自動ブリッジ式測定器を用い、JISC
5102にしたがって測定し、得られた静電容量から誘
電率を算出した。又、絶縁抵抗計を用い、10Vの直流
電圧を2分間印加して25℃での絶縁抵抗を求め、比抵
抗(ρ)を算出した。
【0036】又、DCバイアス特性を測定した。即ち、
直流電圧を15V印加(即ち、5kV/mm印加)した
状態での静電容量を求め、直流電圧を印加しない場合の
静電容量に対する容量変化率(ΔC%)を求めた。
【0037】又、温度変化に対する静電容量の変化率を
測定した。この容量温度変化率については、20℃での
静電容量を基準とした−25℃から85℃間の変化率の
最大値(ΔC/C20)と、25℃での静電容量を基準
とした−55℃から125℃間の変化率の最大値(ΔC
/C25)を求めた。
【0038】又、高温負荷試験として、温度150℃に
て直流電圧を30V印加して、その絶縁抵抗の経時変化
を測定した。なお、高温負荷試験では、各試料の絶縁抵
抗値が105Ω以下になったときの時間を寿命時間と
し、複数の試料についての平均寿命時間を求めた。
【0039】さらに、昇圧速度100V/秒でDC電圧
を印加し、絶縁破壊電圧を測定した。以上の結果を表3
に示す。
【0040】
【表3】
【0041】又、得られた積層セラミックコンデンサの
断面を研磨し化学エッチングして、誘電体セラミックの
グレイン径を走査型電子顕微鏡で観察したところ、本発
明の範囲内の試料においては、いずれも原料であるチタ
ン酸バリウムカルシウムの粒子径とほとんど同じであっ
た。
【0042】表1〜表3から明らかなように、本発明に
よる積層セラミックコンデンサでは、温度に対する静電
容量の変化率が−25℃〜+85℃の範囲でJIS規格
に規定するB特性規格を満足し、−55℃と125℃の
範囲内でEIA規格に規定するX7R特性規格を満足す
る。しかも、5kV/mmのDC電圧を印加した場合の
容量変化率が52%以内と小さく、薄層での使用に際し
ても静電容量の変化が小さい。さらに、高温負荷試験で
の平均寿命時間は54時間以上と長く、焼成温度も12
50℃以下の温度で焼成可能である。
【0043】ここで、本発明の組成限定理由について説
明する。{Ba1-xCaxO}mTiO2+αRe23+β
MgO+γMnO+第1の副成分又は第2の副成分(但
し、Re23は、Y23、Gd23、Tb23、Dy2
3、Ho23、Er23及びYb23の中から選ばれ
る少なくとも1種以上であり、α、β及びγはモル比を
表わす)系において、試料番号1のように、CaO量x
が0.005以下の場合には、電圧印加による容量変化
率が大きく、平均寿命時間が極端に短かくなり好ましく
ない。一方、試料番号2のようにCaO量xが0.22
を超える場合には、誘電損失が大きくなり好ましくな
い。したがって、CaO量xは0.005<x≦0.2
2の範囲が好ましい。
【0044】又、試料番号3のように、Re23量αが
0.001未満の場合には、平均寿命時間が極端に短くな
り好ましくない。一方、試料番号4のようにRe23
αが0.10を超える場合には、温度特性がB特性/X
7R特性を満足せず、平均寿命時間が短くなり好ましく
ない。したがって、Re23量αは0.001≦α≦
0.10の範囲が好ましい。
【0045】又、試料番号5のように、MgO量βが
0.001未満の場合には、電圧印加による容量変化率
が大きく、温度特性がB特性/X7R特性を満足しなく
なり好ましくない。一方、試料番号6のように、MgO
の添加量βが0.12を超える場合には、焼結温度が高
くなって平均寿命時間が極端に短くなり好ましくない。
したがって、MgO量βは0.001≦β≦0.12の
範囲が好ましい。
【0046】又、試料番号7のように、MnO量γが
0.001以下の場合には、比抵抗が低く、平均寿命時
間が極端に短くなり好ましくない。一方、試料番号8の
ように、MnO量γが0.12を超える場合には、平均
寿命時間が極端に短くなり好ましくない。したがって、
MnO量γは0.001<γ≦0.12の範囲が好まし
い。
【0047】又、試料番号9、10のように、(Ba,
Ca)/Ti比mが1.000以下の場合には、温度特
性がB特性/X7R特性を満足せず、比抵抗が低くな
り、さらに高温負荷試験では電圧印加すると即短絡不良
となるため好ましくない。一方、試料番号11のよう
に、(Ba,Ca)/Ti比mが1.035を超える場
合には、焼結性が不足して平均寿命時間が極端に短くな
り好ましくない。したがって、(Ba,Ca)/Ti比
mは1.000<m≦1.035の範囲が好ましい。
【0048】又、試料番号12、13のように、第1及
び第2の副成分の量が0の場合、焼結が不十分であり、
比抵抗が低く、さらに高温負荷試験では電圧印加すると
即短絡不良となるため好ましくない。一方、試料番号1
4、15のように、第1及び第2の副成分の量が5.0
重量部を超える場合には、ガラス成分に基づく二次相の
生成が増大し、温度特性がB特性/X7R特性を満足せ
ず、平均寿命時間が極端に短くなり好ましくない。した
がって、第1又は第2の副成分のどちらか一方の含有量
は0.2〜5.0重量部の範囲が好ましい。
【0049】又、チタン酸バリウムカルシウム中に不純
物として含まれるアルカリ金属酸化物の含有量を0.0
2重量%以下としたのは、試料番号16のように、アル
カリ金属酸化物の含有量が0.02重量%を超える場合
には、平均寿命時間が短くなるからである。
【0050】なお、試料番号17のように、チタン酸バ
リウムカルシウムの平均粒径が0.7μmを越える場合
には、平均寿命時間が54時間とやや悪い。一方、試料
番号18のように、チタン酸バリウムカルシウムの平均
粒径が0.1μm未満の場合には、誘電率が1050と
やや小さい。したがって、チタン酸バリウムカルシウム
の平均粒径は0.1〜0.7μmの範囲がより好まし
い。
【0051】(実施例2)まず、実施例1と同様にし
て、出発原料としてTiO2、BaCO3及びCaCO3
準備し、混合粉砕した後、1000℃以上の温度で加熱
して、表1に示す9種類のチタン酸バリウムカルシウム
を合成した。なお、原料の粒子径は走査型電子顕微鏡で
観察し、その平均粒径を求めた。又、第3の副成分とし
てSiO2を準備した。
【0052】次に、チタン酸バリウムカルシウムの(B
a,Ca)/Tiモル比mを調整するためのBaCO3
あるいはTiO2、及び純度99%以上のY23、Gd2
3、Tb23、Dy23、Ho23、Er23、Yb2
3、MgO及びMnOを準備した。これらの原料粉末
と第3の副成分である上記SiO2粉末を表4に示す組
成になるように秤量した。なお、SiO2の添加量は、
主成分[{Ba1-xCaxO}mTiO2+αRe23+β
MgO+γMnO]100重量部に対する添加重量部数
である。
【0053】
【表4】
【0054】その後、実施例1と同様にして、積層セラ
ミックコンデンサを作製した。なお、作製した積層セラ
ミックコンデンサの寸法形状は、実施例1と同様であ
る。そして、実施例1と同様にして電気的特性を測定し
た。その結果を表5に示す。
【0055】
【表5】
【0056】又、得られた積層セラミックコンデンサの
断面を研磨し化学エッチングして、誘電体セラミックの
グレイン径を走査型電子顕微鏡で観察したところ、本発
明の範囲内の試料においては、いずれも原料であるチタ
ン酸バリウムカルシウムの粒子径とほとんど同じであっ
た。
【0057】表1、表4、表5から明らかなように、本
発明による積層セラミックコンデンサでは、温度に対す
る静電容量の変化率が−25℃〜+85℃の範囲でJI
S規格に規定するB特性規格を満足し、−55℃〜12
5℃の範囲内でEIA規格に規定するX7R特性規格を
満足する。しかも、5kV/mmのDC電圧を印加した
場合の容量変化率が52%以内と小さく、薄層での使用
に際しても静電容量の変化が小さい。さらに、高温負荷
試験での平均寿命時間は62時間以上と長く、焼成温度
も1250℃以下の温度で焼成可能である。
【0058】ここで、本発明の組成限定理由について説
明する。{Ba1-xCaxO}mTiO2+αRe23+β
MgO+γMnO+第3の副成分(但し、Re23は、
23、Gd23、Tb23、Dy23、Ho23、E
23及びYb23の中から選ばれる少なくとも1種以
上であり、α、β及びγはモル比を表わす)系におい
て、試料番号101のように、CaO量xが0.005
以下の場合には、電圧印加による容量変化率が大きく、
平均寿命時間が極端に短かくなり好ましくない。一方、
試料番号102のようにCaO量xが0.22を超える
場合には、誘電損失が大きくなり好ましくない。したが
って、CaO量xは0.005<x≦0.22の範囲が
好ましい。
【0059】又、試料番号103のように、Re23
αが0.001未満の場合には、平均寿命時間が極端に短
くなり好ましくない。一方、試料番号104のようにR
23量αが0.10を超える場合には、温度特性がB
特性/X7R特性を満足せず、平均寿命時間が短くなり
好ましくない。したがって、Re23量αは0.001
≦α≦0.10の範囲が好ましい。
【0060】又、試料番号105のように、MgO量β
が0.001未満の場合には、電圧印加による容量変化
率が大きく、温度特性がB特性/X7R特性を満足せ
ず、比抵抗が低く、平均寿命時間が短くなり好ましくな
い。一方、試料番号106のように、MgOの添加量β
が0.12を超える場合には、焼結温度が高くなって平
均寿命時間が極端に短くなり好ましくない。したがっ
て、MgO量βは0.001≦β≦0.12の範囲が好
ましい。
【0061】又、試料番号107のように、MnO量γ
が0.001以下の場合には、比抵抗が低く、平均寿命
時間が極端に短くなり好ましくない。一方、試料番号1
08のように、MnO量γが0.12を超える場合に
は、温度特性がB特性/X7R特性を満足せず、比抵抗
が低く、平均寿命時間が短くなり好ましくない。したが
って、MnO量γは0.001<γ≦0.12の範囲が
好ましい。
【0062】又、試料番号109、110のように、
(Ba,Ca)/Ti比mが1.000以下の場合に
は、温度特性がB特性/X7R特性を満足せず、比抵抗
が低くなり、さらに高温負荷試験では電圧印加すると即
短絡不良となるため好ましくない。一方、試料番号11
1のように、(Ba,Ca)/Ti比mが1.035を
超える場合には、焼結性が不足して平均寿命時間が極端
に短くなり好ましくない。したがって、(Ba,Ca)
/Ti比mは1.000<m≦1.035の範囲が好ま
しい。
【0063】又、試料番号112、113のように、第
3副成分の量が0の場合、焼結が不十分であり、比抵抗
が低く、さらに高温負荷試験では電圧印加すると即短絡
不良となるため好ましくない。一方、試料番号114の
ように、第3の副成分の量が5.0重量部を超える場合
には、ガラス成分に基づく二次相の生成が増大し、温度
特性がB特性/X7R特性を満足せず、平均寿命時間が
極端に短くなり好ましくない。したがって、第3の副成
分の含有量は0.2〜5.0重量部の範囲が好ましい。
【0064】又、チタン酸バリウムカルシウム中に不純
物として含まれるアルカリ金属酸化物の含有量を0.0
2重量%以下としたのは、試料番号115のように、ア
ルカリ金属酸化物の含有量が0.02重量%を超える場
合には、平均寿命時間が短くなるからである。
【0065】なお、試料番号116のように、チタン酸
バリウムカルシウムの平均粒径が0.7μmを越える場
合には、平均寿命時間が52時間とやや悪い。一方、試
料番号117のように、チタン酸バリウムカルシウムの
平均粒径が0.1μm未満の場合には、誘電率が113
0とやや小さい。したがって、チタン酸バリウムカルシ
ウムの平均粒径は0.1〜0.7μmの範囲がより好ま
しい。
【0066】(実施例3)誘電体粉末として、表1のB
のチタン酸バリウムカルシウムを用いて(Ba0.90Ca
0.10O)1.010・TiO2+0.02Dy23+0.02
MgO+0.010MnO(モル比)の原料を準備し
た。これに1200〜1500℃で加熱して作製した表
6に示す平均粒径1μm以下の第1の副成分としてのL
2O−B23−(Si,Ti)O2系(Al23、Zr
2を添加含有させた場合も含む)の酸化物を添加して、
その他は実施例1と同様にして積層セラミックコンデン
サを作製した。なお、作製した積層セラミックコンデン
サの寸法形状は、実施例1と同様である。そして、実施
例1と同様にして電気的特性を測定した。その結果を表
7に示す。
【0067】
【表6】
【0068】
【表7】
【0069】表6、7から明らかなように、図4に示す
Li2O−B23−(SiwTi1-w)O2系の酸化物の三
元組成図のA(x=0、y=20、z=80)、B(x
=19、y=1、z=80)、C(x=49、y=1、
z=50)、D(x=45、y=50、z=5)、E
(x=20、y=75、z=5)、F(x=0、y=8
0、z=20(但し、x、y、zはモル%)で示される
各点を結ぶ直線で囲まれた領域の内部又は線上にある酸
化物が添加された試料番号201〜210のものは、誘
電率が1830以上と大きく、温度に対する静電容量の
変化率が−25℃〜+85℃での範囲でJIS規格に規
定するB特性規格を満足し、−55℃〜125℃での範
囲内でEIA規格に規定するX7R特性規格を満足す
る。しかも、5kV/mmのDC電圧を印加した場合の
容量変化率が45%以内と小さく、薄層での使用に際し
ても静電容量の変化が小さい。さらに、高温負荷試験で
の平均寿命時間は80時間以上と長く、焼成温度も12
50℃以下の温度で焼成可能である。
【0070】これに対して、Li2O−B23−(S
i,Ti)O2系の酸化物が上記組成範囲外の場合に
は、試料番号215〜220のように、焼結不足となる
か、焼結してもめっきにより電気特性が低下し、高温負
荷試験での平均寿命時間が短くなる。
【0071】又、試料番号211〜214のように、L
2O−B23−(Si,Ti)O2系の酸化物にAl2
3、ZrO2を含有させることで、比抵抗を高めること
ができるが、試料番号221、222のように、Al2
3の添加量が20重量部を越えるか、又はZrO2の添
加量が10重量部を越えると、焼結不足となって高温負
荷試験での平均寿命時間が短くなる。
【0072】(実施例4)誘電体粉末として、表1のB
のチタン酸バリウムカルシウムを用いて(Ba0.90Ca
0.10O)1.010・TiO2+0.02Gd23+0.05
MgO+0.010MnO(モル比)の原料を準備し
た。これに1200〜1500℃で加熱して作成した表
8に示す平均粒径1μm以下の第2の副成分としてのA
23−MO−B23系の酸化物を添加して、その他は
実施例1と同様にして積層セラミックコンデンサを作製
した。なお、作製した積層セラミックコンデンサの寸法
形状は、実施例1と同様である。そして、実施例1と同
様にして電気的特性を測定した。その結果を表9に示
す。
【0073】
【表8】
【0074】
【表9】
【0075】表8、表9から明らかなように、図5に示
すAl23−MO−B23系の酸化物の三元組成図のA
(x=1、y=14、z=85)、B(x=20、y=
10、z=70)、C(x=30、y=20、z=5
0)、D(x=40、y=50、z=10)、E(x=
20,y=70,z=10)、F(x=1,y=39,
z=60)(但し、x、y、zはモル%)で示される各
点を結ぶ直線で囲まれた領域の内部又は線上にある酸化
物が添加された試料番号301〜310のものは、誘電
率が1790以上と大きく、温度に対する静電容量の変
化率が−25℃〜+85℃での範囲でJIS規格に規定
するB特性規格を満足し、−55℃〜125℃での範囲
内でEIA規格に規定するX7R特性規格を満足する。
しかも、5kV/mmのDC電圧を印加した場合の容量
変化率が45%以内と小さく、薄層での使用に際しても
静電容量の変化が小さい。さらに、高温負荷試験での平
均寿命時間は84時間以上と長く、焼成温度も1250
℃以下の温度で焼成可能である。
【0076】これに対して、Al23−MO−B23
の酸化物が上記組成範囲外の場合には、試料番号311
〜316のように、焼結不足となるか、焼結してもめっ
きにより電気特性が低下し、高温負荷試験での平均寿命
時間が短くなる。
【0077】なお、上記実施例1〜4で得られた本発明
の範囲内の試料について、その誘電体セラミックの粒子
を透過型電子顕微鏡で分析した結果、いずれの試料にお
いてもRe成分(但し、Reは、Y、Gd、Tb、D
y、Ho、Er及びYbの中から選ばれる少なくとも1
種以上)が粒界近傍および粒界に拡散したコア・シェル
構造を取っていることが確認された。
【0078】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、積層セラミックコンデンサの誘電体セラミック
層が還元雰囲気中で焼成しても還元されず、半導体化し
ない誘電体磁器組成物から構成されているので、電極材
料として卑金属であるニッケル又はニッケル合金を用い
ることができ、しかも1250℃以下と比較的低温で焼
成可能であるため、積層セラミックコンデンサのコスト
ダウンを図ることができる。
【0079】又、この誘電体磁器組成物を用いた積層セ
ラミックコンデンサは、薄層にして高電界がかけられた
場合でも誘電率即ち静電容量の減少が小さく、耐めっき
液性に優れて信頼性が高い。したがって、小型薄層で大
容量の積層セラミックコンデンサを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の積層セラミックコンデンサの一例を示
す断面図である。
【図2】図1の積層セラミックコンデンサのうち内部電
極を有する誘電体セラミック層部分を示す平面図であ
る。
【図3】図1の積層セラミックコンデンサのうちセラミ
ック積層体部分を示す分解斜視図である。
【図4】Li2O−B23−(SiwTi1-w)O2系の酸
化物の三元組成図である。
【図5】Al23−MO−B23系の酸化物の三元組成
図である。
【符号の説明】
1 積層セラミックコンデンサ 2a、2b 誘電体セラミック層 3 セラミック積層体 4 内部電極 5 外部電極 6、7 めっき層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浜地 幸生 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Fターム(参考) 4G031 AA02 AA03 AA04 AA05 AA06 AA07 AA08 AA11 AA12 AA19 AA26 AA28 AA29 AA30 AA39 BA09 CA03 5E082 AA01 AB03 BC39 EE04 EE23 EE35 FF05 FG06 FG26 FG46 FG54 GG10 GG11 GG28 PP03 PP09 5G303 AA01 AB06 AB11 AB14 BA12 CA01 CB01 CB02 CB03 CB06 CB16 CB17 CB18 CB30 CB32 CB35 CB38 CB40 CB41 CB43

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の誘電体セラミック層と、該誘電体
    セラミック層間に形成された内部電極と、該内部電極に
    電気的に接続された外部電極とを備えた積層セラミック
    コンデンサにおいて、 前記誘電体セラミック層が、次の組成式、 {Ba1-xCaxO}mTiO2+αRe23+βMgO+
    γMnO (但し、Re23は、Y23、Gd23、Tb23、D
    23、Ho23、Er23及びYb23の中から選ば
    れる少なくとも1種以上であり、α、β及びγはモル比
    を表わし 0.001≦α≦0.10 0.001≦β≦0.12 0.001<γ≦0.12 1.000<m≦1.035 0.005<x≦0.22 の範囲内にある)で表わされ、かつ該誘電体セラミック
    層に用いる{Ba1-xCaxO}TiO2原料中のアルカ
    リ金属酸化物の含有量が0.02重量%以下である主成
    分100重量部に対して、第1の副成分をLi2O−B2
    3−(Si,Ti)O2系の酸化物とし、第2の副成分
    をAl23−MO−B23系の酸化物(但し、MOはB
    aO、CaO、SrO、MgO、ZnO及びMnOの中
    から選ばれる少なくとも1種である)の酸化物とし、第
    3の副成分をSiO2としたときに、該第1、第2及び
    第3の副成分から選ばれる1種を0.2〜5.0重量部
    含有しており、 前記内部電極はニッケルまたはニッケル合金からなるこ
    とを特徴とする、積層セラミックコンデンサ。
  2. 【請求項2】 前記誘電体セラミック層に用いる{Ba
    1-xCaxO}TiO2原料の平均粒径は、0.1〜0.
    7μmであることを特徴とする、請求項1記載の積層セ
    ラミックコンデンサ。
  3. 【請求項3】 前記第1の副成分は、xLi2O−yB2
    3−z(SiwTi1-w)O2(但し、x、y及びzはモ
    ル%であり、wは0.30≦w≦1.0の範囲内にあ
    る)で表わしたとき、それぞれの成分を頂点とする三元
    組成図の A(x=0、y=20、z=80) B(x=19、y=1、z=80) C(x=49、y=1、z=50) D(x=45、y=50、z=5) E(x=20、y=75、z=5) F(x=0、y=80、z=20) で示される各点を結ぶ直線で囲まれた領域の内部又は線
    上にあることを特徴とする、請求項1又は請求項2記載
    の積層セラミックコンデンサ。
  4. 【請求項4】 前記第1の副成分中には、前記Li2
    −B23−(Si,Ti)O2系の酸化物100重量部
    に対して、Al23及びZrO2のうち少なくとも1種
    を合計で20重量部以下(但し、ZrO2は10重量部
    以下)含有することを特徴とする、請求項3記載の積層
    セラミックコンデンサ。
  5. 【請求項5】 前記第2の副成分は、xAl23−yM
    O−zB23(但し、x、y及びzはモル%である)で
    表わしたとき、それぞれの成分を頂点とする三元組成図
    の A(x=1、y=14、z=85) B(x=20、y=10、z=70) C(x=30、y=20、z=50) D(x=40、y=50、z=10) E(x=20、y=70、z=10) F(x=1、y=39、z=60) で示される各点を結ぶ直線で囲まれた領域の内部又は線
    上にあることを特徴とする、請求項1又は請求項2記載
    の積層セラミックコンデンサ。
  6. 【請求項6】 前記外部電極は、導電性金属粉末、又は
    ガラスフリットを添加した導電性金属粉末の焼結層から
    なることを特徴とする、請求項1〜5のうちいずれかに
    記載の積層セラミックコンデンサ。
  7. 【請求項7】 前記外部電極は、導電性金属粉末、又は
    ガラスフリットを添加した導電性金属粉末の焼結層と、
    その上に形成されためっき層からなることを特徴とす
    る、請求項1〜5のうちいずれかに記載の積層セラミッ
    クコンデンサ。
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