FI90291B - Valonkestävä maskausfilmi - Google Patents

Valonkestävä maskausfilmi Download PDF

Info

Publication number
FI90291B
FI90291B FI890713A FI890713A FI90291B FI 90291 B FI90291 B FI 90291B FI 890713 A FI890713 A FI 890713A FI 890713 A FI890713 A FI 890713A FI 90291 B FI90291 B FI 90291B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
masking film
vinyl chloride
film according
nitrile rubber
weight
Prior art date
Application number
FI890713A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI90291C (fi
FI890713A0 (fi
FI890713A (fi
Inventor
Hiroshi Maruyama
Naohiko Kiryu
Etsuko Minezaki
Original Assignee
Somar Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Somar Corp filed Critical Somar Corp
Publication of FI890713A0 publication Critical patent/FI890713A0/fi
Publication of FI890713A publication Critical patent/FI890713A/fi
Publication of FI90291B publication Critical patent/FI90291B/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI90291C publication Critical patent/FI90291C/fi

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/90Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof prepared by montage processes
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/14Layer or component removable to expose adhesive
    • Y10T428/1424Halogen containing compound
    • Y10T428/1433Coloring agent containing
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31507Of polycarbonate
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31725Of polyamide
    • Y10T428/3175Next to addition polymer from unsaturated monomer[s]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31786Of polyester [e.g., alkyd, etc.]
    • Y10T428/31797Next to addition polymer from unsaturated monomers
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31855Of addition polymer from unsaturated monomers
    • Y10T428/31935Ester, halide or nitrile of addition polymer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Organic Insulating Materials (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)

Description

- 1 - 90291
Valonkestävä maskausfiImi Tämä keksintö kohdistuu yleisesti va1onkestävään maskaus-filmiin ja tarkemmin komposiittiin, va1onkestävän filmin käyttöön alkuperäisenä kopiona, jolla on läpinäkyvä kuvio, valomekaanisessa reproduktioprosessissa.
Eräs tunnettu tämän tyyppinen valonkestävä maskausfilmi koostuu muovisesta filmialustasta ja kuorittavasta va1onkestäväs-tä kerroksesta, joka on alustan päällä. Kun haluttu leikkaus-viiva muodostetaan valonkestävän kerroksen päälle manuaalisesti tai sopivalla automaattisella leikkauslaitteella ja kun leikattu osa poistetaan kuorimalla, maskaus fiImi 11 e jää haluttu läpinäkyvä kuvio.
Valonkestävä kerros koostuu yleensä sitojasta ja valonkestä-västä aineesta kuten väriaineesta, joka kykenee estämään valon, jonka aallonpituus on 550 nm tai vähemmän. Sitojan komponenttina käytetään yleensä nitrii1ikumi a, joka sisältää 33 paino-% akrylonitriiliä, kuten Nipol 1432J (tavaramerkki). Kuitenkin on havaittu, että sellaista nitriilikumia sisältävä valonkestävä kerros ei ole täysin tyydyttävä sen ominaisuuksien, kuten halkeilutaipumuksen, pidennystaipumuksen, pienten annosten pidätyskyvyn ja estävän/ehkäisevän ominaisuuden, osalta. Nimenomaan fysikaaliset ominaisuudet ovat herkkiä lämpötilan muutoksille ja erityisesti valonkestävä11ä kerroksella on taipumus halkeilla alle 15°C:n lämpötiloissa.
Käsillä oleva keksintö on tehty, jotta päästäisiin konventionaalisen maskausfilmin yllä kuvatuista varjopuolista ja tämä keksintö antaa käyttöön valonkestävän maskausfilmin, joka koostuu substraatista ja kuorittavasta valonkestävästä kerroksesta, joka on sanotun substraatin pinnalla, ja sisältää valonkestävää ainetta, kopolymeeriä, joka sisältää vinyy1ik 1 oridia , ja ensimmäisen nitri i 1 ikumin ja toisen - 2 - 90291 nitrii1ikumin seoksesta; ensimmäinen nitriilikumi sisältää 25-30 paino-% ja toinen 31-35 paino-% akryIonitrii1 ia .
Käsillä olevaa keksintöä kuvataan nyt yksityiskohtaisesti.
Käsillä olevan keksinnön mukainen valonkestävä maskausfilmi koostuu muovimateriaalista muodostetusta läpinäkyvästä alustasta, jonka päällä on kuorittava, läpinäkyvä, valonkestävä kerros .
Mitä tahansa muovimateriaalia, jota on konventionaalisesta käytetty läpinäkyvänä substraattina tunnetuissa valonkestä-vissä maskaus fi1meissä, voidaan käyttää käsillä olevassa keksinnössä. Synteettisiä hartsi fi1 mejä, puolisynteettisiä hart-sifilmejä ja laminoituja filmejä voidaan käyttää substraattina. Valaisevia sopivia hartsifilmejä ovat sellaiset, jotka muodostuvat polyesteristä, kuten po1yety1eeniterefta laatista tai po1ybuty1eenitere fta laatista, aromaattisesta polyamidista, a 1ifaa11ises ta polyamidista, polyolefiinistä, kuten poly-etyleenistä tai polypropyleenistä, polystyreenistä, polykarbonaatista, polyvinyylikloridista ja polyvinylidiinikloridis-ta. Valaiseva sopiva puolisynteettinen hartsifilmi koostuu selluloosa-asetaatista. Esimerkit laminoiduista filmeistä sisältävät ne, jotka käyttävät synteettisten hartsikerrosten yhdistelmää, synteettisen hartsikerroksen ja semisynteetti-sen hartsikerroksen yhdistelmää, selluloosakerroksen ja synteettisen hartsikerroksen ja/tai semisynteettisen hartsikerroksen yhdistelmää. Ennen kaikkea po1yetyleenitere fta 1 aa11i-filmiä pidetään parhaana substraattina sen vuoksi, koska sillä on erinomainen dimensionaalinen stabiilisuus ja erinomainen vetolujuus ja rasituslujuus. Filmin paksuus on yleensä 20-300 /um, mieluiten 50-250 /im. Sekä venyviä että venymättömiä filmejä voidaan käyttää substraatteina.
n
Alustaa peittää kuorittava, valonkestävä kerros, joka koos tuu yleensä sitojasta ja valonkestävästä tai valoa varjosta vasta aineesta.
3 90291
On tärkeää, että vinyylikloridia sisältävän kopolymeerin sekä ensimmäisen 25-30 paino-% akrylonitriiliä sisältävän nitrii-likumin ja toisen 31-35 paino-% akrylonitriiliä sisältävän nitriilikumin kombinaatteja tulisi käyttää sitojana.
5
Vinyylikloridia sisältävänä kopolymeerinä voidaan mainita vi-nyylikloridi-vinylidiinikloridi kopolymeeri, vinyylikloridi-vinyyliasetaatti kopolymeeri, vinyylikloridi-akryyliesteri kopolymeeri ja vinyylikloridi-vinyyliasetaatti-maleiinihappo 10 terpolymeeri. Näitä vinyylikloridia sisältäviä kopolymeerejä voidaan käyttää yksin tai kahden tai useamman seoksena.
Vinyylikloridia sisältävien kopolymeerien kanssa käytettävät ensimmäiset ja toiset nitriilikumit voivat olla esimerkiksi 15 akrylonitriilin ja butadieenin kopolymeerejä, akrylonitriili- butadieenikumeja tai akrylonitriilin, butadieenin ja karbok-syyliryhmän sisältävän kopolymeroituvan monomeerin terpoly-meerejä. Erityisen suositeltavaa on sellaisen nitriilikumin käyttö, joka sisältää 27 paino-% akrylonitriiliä ensimmäisenä 20 nitriilikumina ja noin 33 paino-% akrylonitriiliä toisena nitriilikumina.
Ensimmäisen ja toisen nitriilikumin painosuhde vaihtelee edullisesti 4:1 - 1:4, edullisemmin 3:1 - 1:2 ja edullisimmin 25 2:1-1:1. Vinyylikloridia sisältävää kopolymeeriä käytetään yleensä 50-95 paino-%, edullisesti 60-90 paino-% määrinä si-tojan painoon nähden eli ensimmäisen ja toisen nitriilikumin ja vinyylikloridia sisältävän kopolymeerin kokonaispainoon nähden.
30
Ensimmäisen ja toisen nitriilikumin yhteiskäyttö yhdessä vinyylikloridia sisältävän kopolymeerin kanssa voi ratkaista konventionaalisten maskausfiImien yllämainitut ongelmat. Sellainen yhteiskäyttö voi parantaa näin saadun valonkestävän 15 kerroksen kuorittavuutta. Sitä paitsi se antaa valonkestäväl-le filmille parantuneen murtumista ehkäisevän ominaisuuden, pidentävän ominaisuuden, pienten annosten pidätyskyvyn ja tukkeutumista estävän ominaisuuden.
- 4 - 90291
Valonkestävään kerrokseen sisällytetyn va 1 onkestävan aineen laatua tai väriä ei erityisesti rajoiteta niin kauan kun näin saatu valonkestävä kerros pystyy estämään valon, jonka aallonpituus on 300-550 nm. Öljyliukoisen tyypin, suoran värityypin, reaktiotyypin tai happotyypin punaisia, keltaisia ja kullanruskeita värejä voidaan soveltuvasti käyttää. Kahta tai useampaa väriyhdistelmää voidaan käyttää. Sellaista väriä, joka liukenee orgaaniseen liuottimeen, käytetään yleensä va1onkestävän kerroksen alustalle muodostumisen helppouden takia. Valonkestävää ainetta käytetään sellaisessa määrässä niin, et. tä saatu valonkestävä kerros kykenee estämään valon, jonka aallonpituus on 300-550 nm.
Valonkestävä kerros voi haluttaessa sisältää täyteainetta. Vaikka sekä orgaanisia että epäorgaanisia täyteaineita voidaan käyttää, orgaanisten aineiden käyttö on edullisempaa. Esimerkkejä sopivista epäorgaanisista täyteaineista ovat p i ίο k s i d i , savi ja alumiinioksidi. Esimerkkejä sopivista orgaanisista täyteaineista ovat ristisidottu polystyreeni, bentsoguanamiiniforma1dehydi kondensaatiotuote, polyamidi (esim. 6,6-nylone, 6-nylone tai 12-nylone), si 1 ikonihartsi, kiteinen selluloosa, fenoli-formaldehydihartsi, fluorohartsi, polyetyleenihartsi tai akryylihartsi. Näistä täyteaineista po1ystyreenihe Imi en käyttö on erityisen suosittua, koska niiden käyttö parantaa tehokkaasti päällystyskomposition homogeenisuutta valonkestävän kerroksen muodostuksessa, se parantaa valonkestävän kerroksen kuorittavuutta alustasta, jolloin saavutetaan haluttu sitoutuminen niiden välille, se estää valon heijastumisen valonkestävän kerroksen pinnalla ja se vähentää valonkestävän kerroksen tahmeutta.
Täyteaineen partikkelikoko on edullisesti 0,5-20 ^m, edullisemmin 2-15 ^m ja sitä käytetään edullisesti 0,1-30%, edullisemmin 0,5-20% sitojan painoon nähden.
Lisäksi nestemäinen organopolysiloksaani voidaan lisätä valonkestävään kerrokseen parantamaan valonkestävän kerroksen 5 90291 tarttuvuutta alustaan vaikuttamatta haitallisesti kuoritta-vuuteen. Esimerkkejä sopivista organopolysiloksaaneista ovat metyylifenyylipolysiloksaani, metyylivinyylipolysiloksaani tai korkeammalla alkyylillä modifioitu polysiloksaani. Orga-5 nopolysiloksaania käytetään edullisesti 0,01-1,5 % määrässä sanotun sitojan painoon nähden.
Valonkestävä kerros voidaan valmistaa millä tahansa tunnetulla tavalla, kuten käyttämällä päällystyskompositiota, joka 10 sisältää yllä kuvatut ainekset alustan pinnalla. Liuotinta, kuten alkoholia, esteriä, hiilivetyä, halogenoitua hiilivetyä, ketonia tai vastaavaa orgaanista liuotinta, voidaan käyttää päällystekomposition muodostamiseksi. Päällystekompo-sitio voi lisäksi haluttaessa sisältää tasoitusainetta ja 15 pehmennintä. Valonkestävän kerroksen paksuus on yleensä 10-50 μπι, edullisesti 20-40 μκι.
On mahdollista panna paineherkkä adhesiivinen kerros alustan ja valonkestävän kerroksen väliin niin, että saatu maskaus-20 filmi mahdollistaa leikatun valonkestävän kerroksen, joka on kuorittu pois alustasta, uudelleenkäytön uudelleen kiinnittämisen. Sellainen adhesiivinen kerros muodostetaan synteettisestä hartsista, kuten akrylaattiesterikopolymeeri, kyllästetty polystyreeni tai polyuretaani tai kumiadhesiivi, kuten 25 luonnonkumi, kloropreenikumin, isopreenikumi tai nitriiliku- mi.
Käsillä olevan keksinnön mukaista valonkestävää maskausf ilmiä voidaan käyttää huoneenvalolle fotosensitiivisen materiaalin 30 maskauksessa, joka on herkkä valolle, jonka aallonpituus on 400 nm tai vähemmän.
Seuraavat esimerkit kuvaavat lähemmin käsillä olevaa keksintöä. Esimerkeissä "osuus” on paino-osuus. Koemenetelmät ja 35 koetulosten arviointi seuraavissa esimerkeissä ovat seuraavat: 6 90291 (1) Kuorittavuus:
Maskausfilminäytteen valonkestävä kerros leikataan leikkaus-veitsellä neliöihin ja yksi näistä neliöistä kuoritaan sormin 5 sen kulmasta. Kuorittavuus arvioidaan ja arvostellaan joko hyväksi tai huonoksi.
(2) Sitornisvoimakkuus: 10 Käytetään pinnan ominaisuuksia mittaavaa laitetta HEIDON 14 (Shintoh Manufacturing K.K.) , voima, joka tarvitaan valonkes-tävän kerroksen kuorimiseen, mitataan.
(3) Tukkeutumistaipumus: 15
Kaksi maskausfilmiä pannaan päällekkäin siten, että ylemmän maskausfilmin alustan on kosketuksessa alemman maskausfilmin valonkestävän kerroksen kanssa. Näiden kahden filmin annetaan sitten olla 50 °C:n lämpötilassa ja 80 % suhteellisessa kos-20 teudessa 5 tuntia, kun asetetaan filmeille kuormitus 25 g/m2.
Filmien taipumusta tarttua toisiinsa niiden ollessa yhteydessä tutkitaan ja tämä luokitellaan seuraavasti: 5: ei tukkeutumista 4: tukkeutumista esiintyy hyvin vähän 25 3: tukkeutumista esiintyy osittain 2: tukkeutumista esiintyy suuremmassa osassa aluetta 1: tukkeutumista esiintyy koko alueella (4) Murtumistaipumus: 30
Valonkestävän kerroksen taipumusta murtua kuorimisen aikana tarkastellaan ja sitä arvioidaan seuraavasti: 5: ei murtumista 4: tuskin murtuu 35 3: murtumista esiintyy osittain 2: murtuu suhteellisen helposti 1: murtuu hyvin helposti li - 7 - 90291 (5) Taipumus pidetä:
Va1onkestävan kerroksen venymisastetta kuorimisen aikana arvioidaan ja se luokitellaan seuraavasti: 5: merkittävästi pidentynyt 4: selvästi pidentynyt 3: kohtalaisesti pidentynyt 2: jossain määrin pidentynyt 1: ei lainkaan pidentynyt (6) Pienten kuvioitten retentiviteetti :
Valonkestävä kerros leikataan ja muodostetaan pyöreitä kuvioita, joiden halkaisija vaihtelee 0,5-5 mm välillä ja ne ovat 1 mm päässä toisistaan. Valonkestävän kerroksen loppuosa kuoritaan. Valonkestäviä pyöreitä kuvioita sisältävän maskaus fiImi n pintaa hierotaan. Pyöreiden kuvioiden kuoriutumisen helppoutta arvioidaan ja se luokitellaan seuraavasti: 5: ei kuoriudu lainkaan 4: suurenpi osa pyöreistä kuvioista ei kuoriutunut 3: noin puolet pyöreistä kuvioista ei kuoriutunut 2: suurempi osa pyöreistä kuvioista kuoriutui 1: kaikki pyöreät kuviot kuoriutuivat (7) Taipumus kihartuä: Näytemaskaus fiImi n valonkestävä kerros leikataan leikkaus-veitsellä neliöihin, joiden sivun pituus on 1 m· Maskaus-filmi laitetaan sitten tasaiselle pöydälle, jolloin valonkestävä kerros on yläpuolella ja sen annetaan olla huoneenlämmössä 24 tuntia. Filmin jokainen kulma tarkastetaan, jotta nähdään filmin kihartumisaste, filmin kulman korkeus pöydän pinnasta. Kihartumistaipurnu sta arvioidaan seuraavasti: 3: vähemmän kuin 2 mm 2: 2-5 mm 1: enemmän kuin 5 mm - s - 90291
Esimerkit 1-5 Pää 11ystyskompositio valmistettiin sekoittamalla 38,7 osaa sekoitettua liuosta, joka koostui ensimmäisestä nitrii1ikumin 20% liuoksesta (N — 27, akry1 onitrii1isisä11ö: 27 paino-%) metyy1ietyy1iketonissa ja toisesta nitrii1ikumin 20% liuoksesta (N-33, akrylonitriilisisältö: 33 paino-%) metyylietyy-liketonissa, 72,1 osaa vinyylikloridi/vinyyliasetaatti/male-iinihappo -terpolymeerin 25% liuosta (monomeeriosuus 83:13:1, DENKA VINYL 1000C, valmistanut Benki Kagaku Kogyo K.K.) metyy1ietyy1iketo nissa, 7,7 osaa väriainetta (Valiozol Orange 3210T), 0,28 osaa hienojakoista polyety1eeniä, 0,05 osaa organosi loksaania (SILICONE KP-356, valmistanut Shinetsu Kagaku Kogyo K.K.) ja 3,5 osaa metyy1ietyy1iketonia. Ensimmäisen liuoksen paino-osuus sekoitetun liuoksen toiseen liuokseen esitettään alla olevassa taulukossa 1.
Vertailuesimerkit 1 ja 2
Esimerkki 1 toistettiin samalla tavoin kuin yllä on kuvattu paitsi että N-27:ää ja N-33:a käytettiin sellaisenaan. Mas-kausfilmit antoivat taulukossa 1 esitetyt koetulokset.
Il _ , _ 90291
Taulukko 1.
Esimerkki vert.l 12345 vert.2 N-27/N-33 osuus 4/0 3/1 2/1 1/1 1/2 1/3 0/4
Sitornisvoimakkuus (g/cm) 120 110 110 110 100 90 90
Tukkeutumistaipumus 4 44433 2
Kuorittavuus hyvä hyvä hyvä hyvä hyvä hyvä hyvä
Murtumistaipumus (25°C) 5 5 4 4 3 3 3 (10°C) 4 43322 1
Taipumus pidetä (25°C) 3 3 3 3 3 3 2 (10°C) 3 3 3 2 2 2 1
Pienten kuvioiden re-tentiviteetti (25°C) 4 4 4 4 3 3 2 (10°C) 3 33322 1
Kihartumistaipumus 1 23333 3

Claims (13)

1. Valonkestävä maskausfilmi, joka koostuu substraatista ja substraatin pinnalla olevasta kuorittavasta valonkestävästä 5 kerroksesta, tunnettu siitä, että se sisältää valonkestävää ainetta, vinyylikloridia sisältävää kopolymeeriä ja 25-30 paino-% akrylonitriiliä sisältävän ensimmäisen nitriilikumin ja 31-35 paino-% akrylonitriiliä sisältävän toisen nitriilikumin seosta.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen maskausfilmi, tunnettu siitä, että ensimmäinen ja toinen nitriilikumi ovat akry-lonitriilin ja butadieenin kopolymeerejä tai akrylonitriilin, butadieenin ja karboksyyliryhmän sisältävän kopolymerisoitu- 15 van monomeerin terpolymeerejä.
3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen maskausf ilmi, tunnettu siitä, että ensimmäisen ja toisen nitriilikumin akrylonit-riilipitoisuus on 27 paino-% ja vastaavasti 33 paino-%. 20
4. Jonkin patenttivaatimuksen 1-3 mukainen maskausfilmi, tunnettu siitä, että ensimmäisen nitriilikumin paino-osuus toiseen nitriilikumiin nähden vaihtelee välillä 4:1 - 1:4.
5. Patenttivaatimuksen 4 mukainen maskausfilmi, tunnettu siitä, että ensimmäisen nitriilikumin paino-osuus toiseen nitriilikumiin nähden vaihtelee välillä 3:1 - 1:2.
6. Patenttivaatimuksen 5 mukainen maskausfilmi, tunnettu 30 siitä, että ensimmäisen nitriilikumin paino-osuus toiseen nitriilikumiin nähden vaihtelee välillä 2:1 - 1:1.
7. Jonkin patenttivaatimuksen 1-6 mukainen maskausfilmi, tunnettu siitä, että vinyylikloridia sisältävä kopolymeeri on 35 vinyylikloridi/vinylidiinikloridi kopolymeeri, vinyyliklori- di/vinyyliasetaattikopolymeeri, vinyylikloridi/akryyliesteri kopolymeeri tai vinyylikloridi/vinyyliasetaatti/maleiinihappo terpolymeeri. Il 11 90291
8. Jonkin patenttivaatimuksen 1-7 mukainen maskausfilmi, tunnettu siitä, että valonkestävä kerros sisältää lisäksi täyteainetta.
9. Patenttivaatimuksen 8 mukainen maskausfilmi, tunnettu siitä, että täyteaine on orgaaninen täyteaine kuten ristisi-dottu polystyreeni, bentsoguanamiini-formaldehydi kondensaa-tiotuote, polyamidi, silikonihartsi, kiteinen selluloosa, fenoli-formaldehydihartsi, fluorohartsi, polyetyleenihartsi ja 10 akryylihartsi, tai epäorgaaninen täyteaine kuten piioksidi, savi ja alumiinioksidi.
10. Patenttivaatimuksen 8 tai 9 mukainen maskausfilmi, tunnettu siitä, että täyteaineen partikkelikoko on 0,5-20 μπι. 15
10 90291
11. Jonkin patenttivaatimuksen 1-10 mukainen maskausfilmi, tunnettu siitä, että valonkestävä kerros sisältää lisäksi or-ganopolysiloksaania.
12. Patenttivaatimuksen 11 mukainen maskausfilmi, tunnettu siitä, että organopolysiloksaani on dimetyylipolysiloksaani, metyylietyylipolysiloksaani, metyylifenyylipolysiloksaani, metyylivinyylipolysiloksaani, dimetyylipolysiloksaanin ja ok-sialkyleenin kopolymeeri tai alkyylillä modifioitu polysilok-25 saani.
13. Patenttivaatimuksen 12 mukainen maskausfilmi, tunnettu siitä, että organopolysiloksaania käytetään 0,01-1,5 % perustuen vinyylikloridia sisältävän kopolymeerin ja ensimmäisen 30 ja toisen nitriilikumin kokonaispainoon. i2 90 291
FI890713A 1988-02-16 1989-02-15 Valonkestävä maskausfilmi FI90291C (fi)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3361288A JPH07111577B2 (ja) 1988-02-16 1988-02-16 マスキングフィルム
JP3361288 1988-02-16

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI890713A0 FI890713A0 (fi) 1989-02-15
FI890713A FI890713A (fi) 1989-08-17
FI90291B true FI90291B (fi) 1993-09-30
FI90291C FI90291C (fi) 1994-01-10

Family

ID=12391282

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI890713A FI90291C (fi) 1988-02-16 1989-02-15 Valonkestävä maskausfilmi

Country Status (11)

Country Link
US (1) US4923727A (fi)
EP (1) EP0329437B1 (fi)
JP (1) JPH07111577B2 (fi)
KR (1) KR920003795B1 (fi)
AT (1) ATE89423T1 (fi)
AU (1) AU610990B2 (fi)
CA (1) CA1321513C (fi)
DE (1) DE68906417D1 (fi)
FI (1) FI90291C (fi)
HK (1) HK4394A (fi)
NZ (1) NZ228014A (fi)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0769602B2 (ja) * 1988-04-19 1995-07-31 ソマール株式会社 遮光性マスキングフィルム
US5368962A (en) * 1988-11-10 1994-11-29 Somar Corporation Masking film
JPH0766177B2 (ja) * 1989-06-21 1995-07-19 フジレックス株式会社 遮光性マスキングフィルム
JPH0782231B2 (ja) * 1990-01-30 1995-09-06 フジレックス株式会社 遮光性マスキングフィルム
US5707704A (en) * 1994-12-27 1998-01-13 Kimoto Co., Ltd. Masking films
JPH09236903A (ja) * 1996-03-01 1997-09-09 Kimoto & Co Ltd 遮光性マスキングフィルム
DE10118484A1 (de) * 2001-04-12 2002-10-24 Wacker Chemie Gmbh Verfahren zur Herstellung von mehrschichtigen Beschichtungen
DE102005035905A1 (de) * 2005-07-28 2007-02-01 Tesa Ag Nitrilkautschuk Blends zur Fixierung von Metallteilen auf Kunststoffen
US7971647B2 (en) 2008-05-21 2011-07-05 Paal, L.L.C. Apparatus and method for raising a fluid in a well
JP6216247B2 (ja) * 2013-03-28 2017-10-18 住友理工株式会社 電子写真用部材
US10870777B2 (en) * 2015-12-01 2020-12-22 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Absorbent and protective composition containing an elastomeric copolymer

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5846011B2 (ja) * 1978-02-01 1983-10-13 ダイセル化学工業株式会社 遮光性マスキングフィルム
JPS58108537A (ja) * 1981-12-22 1983-06-28 Daicel Chem Ind Ltd 遮光性マスキングフイルム
GB8415782D0 (en) * 1984-06-20 1984-07-25 Autotype Int Ltd Masking films
JPS61110141A (ja) * 1984-11-05 1986-05-28 Shinko Kagaku Kogyo Kk 遮光性マスキングフイルム
JPS61166549A (ja) * 1985-01-18 1986-07-28 Somar Corp 遮光性マスキングフイルム

Also Published As

Publication number Publication date
HK4394A (en) 1994-01-21
EP0329437B1 (en) 1993-05-12
US4923727A (en) 1990-05-08
JPH07111577B2 (ja) 1995-11-29
EP0329437A3 (en) 1989-10-25
CA1321513C (en) 1993-08-24
AU610990B2 (en) 1991-05-30
FI90291C (fi) 1994-01-10
EP0329437A2 (en) 1989-08-23
DE68906417D1 (de) 1993-06-17
AU3003489A (en) 1989-08-17
NZ228014A (en) 1991-02-26
KR920003795B1 (ko) 1992-05-14
ATE89423T1 (de) 1993-05-15
KR890013524A (ko) 1989-09-23
FI890713A0 (fi) 1989-02-15
JPH01207753A (ja) 1989-08-21
FI890713A (fi) 1989-08-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI90291B (fi) Valonkestävä maskausfilmi
KR20000015828A (ko) 양면 코팅된 라벨 서체 용지_
CN102827503B (zh) 具有低摩擦系数的隔离涂层
JP2006233219A (ja) 位置決め及び位置換え可能な接着物品
TW200951195A (en) 2-octyl (meth) acrylate adhesive composition
JPH0248863B2 (fi)
SE444575B (sv) Tryckkensligt, vidheftande band med mikrosferer dispergerade i vidheftningsskiktet
EP0254050A2 (en) Laminate containing a substrate and a release agent and method of its preparation
CA1332131C (en) Lightsafe masking film
KR20020026151A (ko) 저 접착성 백사이즈 조성물
EP1566407A1 (en) Release agent, layered pressure-sensitive adhesive product, and layered pressure-sensitive adhesive tape
US5085908A (en) Lightsafe masking film
JP3719796B2 (ja) 粘着用材
NO301773B1 (no) Varmtsmeltende silikonbasert klebemiddelblanding
JP2000034696A (ja) 紙を主材とする包装材料
JP2004190011A (ja) 離型剤、粘着性積層体および粘着性積層テープ
JPS6050392B2 (ja) 剥離性被膜形成剤
PT1654129E (pt) Placa laminada autocolante decorativa
JP2631384B2 (ja) 遮光性マスキングフイルム
NZ230012A (en) Lightsafe masking film with peelable, reusable lightsafe layer
JP4797300B2 (ja) 液体展開用シート
JP4670133B2 (ja) 電極方式の検査シートのカバーに用いられる液体展開用シート
JP2612172B2 (ja) 遮光性マスキングフィルム
JPH06179854A (ja) 粘着テープの製造方法
JPH09300519A (ja) 剥離シート

Legal Events

Date Code Title Description
BB Publication of examined application
MM Patent lapsed
MM Patent lapsed

Owner name: SOMAR CORPORATION