FI90291C - Valonkestävä maskausfilmi - Google Patents

Valonkestävä maskausfilmi Download PDF

Info

Publication number
FI90291C
FI90291C FI890713A FI890713A FI90291C FI 90291 C FI90291 C FI 90291C FI 890713 A FI890713 A FI 890713A FI 890713 A FI890713 A FI 890713A FI 90291 C FI90291 C FI 90291C
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
masking film
film according
vinyl chloride
nitrile rubber
weight
Prior art date
Application number
FI890713A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI890713A (fi
FI890713A0 (fi
FI90291B (fi
Inventor
Hiroshi Maruyama
Naohiko Kiryu
Etsuko Minezaki
Original Assignee
Somar Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Somar Corp filed Critical Somar Corp
Publication of FI890713A0 publication Critical patent/FI890713A0/fi
Publication of FI890713A publication Critical patent/FI890713A/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI90291B publication Critical patent/FI90291B/fi
Publication of FI90291C publication Critical patent/FI90291C/fi

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/90Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof prepared by montage processes
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/14Layer or component removable to expose adhesive
    • Y10T428/1424Halogen containing compound
    • Y10T428/1433Coloring agent containing
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31507Of polycarbonate
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31725Of polyamide
    • Y10T428/3175Next to addition polymer from unsaturated monomer[s]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31786Of polyester [e.g., alkyd, etc.]
    • Y10T428/31797Next to addition polymer from unsaturated monomers
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31855Of addition polymer from unsaturated monomers
    • Y10T428/31935Ester, halide or nitrile of addition polymer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Organic Insulating Materials (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Description

- 1 - 90291
Valonkeståvå maskausfilmi
Tama keksinto kohdistuu yleisesti valonkestavaån maskaus-filmiin ja tarkemrain komposii11i in, valonkestavan filmin kayttodn alkuperåisenå kopiona, jolla on lapinåkyvå kuvio, valomekaanisessa reproduktioprosessissa.
Eras tunnettu taman tyyppinen valonkeståvå maskausfilmi koos-tuu muovisesta filmialustasta ja kuorittavasta va1onkestavås-ta kerroksesta, joka on alustan påållå. Kun haluttu leikkaus-viiva muodostetaan valonkestavan kerroksen paalle manuaali-sesti tai sopivalla automaattisella leikkauslaitteella ja kun leikattu osa poistetaan kuorimalla, maskausfilmi11e jåå haluttu lapinåkyvå kuvio.
Valonkeståvå kerros koostuu yleenså sitojasta ja valonkestå-våstå aineesta kuten våriaineesta, joka kykenee eståmåån valon, jonka aallonpituus on 550 nm tai våhemmån. Sitojan komponen11i na kåytetaån yleenså nitri i 1 i kumi a, joka sisåltåå 33 paino-% akrylonitriiliå, kuten Nipol 1432J (ta varanerkki). Kuitenkin on havaittu, ettå sellaista nitriilikumia sisåltå-vå valonkeståvå kerros ei ole tåysin tyydyttåvå sen ominai-suuksien, kuten halkeilutaipumuksen, pidennystaipumuksen, pienten annosten pidåtyskyvyn ja eståvån/ehkåisevån ominai-suuden, osalta. Nitnenomaan fysikaaliset ominaisuudet ovat herkkiå låmpotilan muutoksille ja erityisesti valonkeståvå11å kerroksella on taipumus halkeilla alle 15°C:n låmpotiloissa.
Kåsillå oleva keksinto on tehty, jotta pååståisiin konven-tionaalisen maskausfilmin yllå kuvatuista varjopuolista ja tåmå keksinto antaa kayttodn valonkeståvån maskausfilmin, joka koostuu substraatista ja kuorittavasta valonkeståvåstå kerroksesta, joka on sanotun substraatin pinnalla, ja sisål-taå valonkeståvåå ainetta, kopolymeeriå, joka sisåltåå vinyy1 ik 1 oridia , ja ensimmåi sen nitri i 1 ikumin ja toison - 2 - 90291 nitri i 1ikumin seoksesta; ensimmåinen nitri i 1ikumi sisaltaå 25-30 paino-% ja toinen 31-35 paino-% akryIon itri i 1iå .
Kasilla olevaa keksintoa kuvataan nyt yksityiskohtaisesti.
Kasilla olevan keksinnon mukainen valonkestava maskausfilmi koostuu muovimateriaalista muodostetusta lapinakyvåstå alus-tasta, jonka paalla on kuorittava, lapinakyva, valonkestava ker r os .
Mita tahansa muovimateriaalia, jota on konventionaalisesti kaytetty lapinåkyvana substraattina tunnetuissa valonkesta-vissa maskausfi 1meis så, voidaan kayttåa kasilla olevassa kek-sinnossa. Synteettisiå hartsifi 1 me ja, puo 1 i syntee11isiå hart-sifilmejå ja laminoituja filmeja voidaan kayttåa substraatti-na. Valaisevia sopivia hartsifilmejå ovat sellaiset, jotka muodostuvat polyesterista, kuten po1yety 1 een iterefta laati sta tai po 1 ybuty1 een itereftalaatista, aromaa11i sesta polyamidis-ta, a 1 ifaa11ise s ta polyamidista, polyolefiinista, kuten poly-etyleenista tai polypropyleenista, polystyreenista , polykar-bonaatista, polyvinyylikloridista ja polyvinylidiinikloridis-ta. Valaiseva sopiva puo1 i syntee11i nén hartsifilmi koostuu selluloosa-asetaatista, Esimerkit lami no idui sta filmeista sisaltavat ne, jotka kayttavat synteettisten hartsikerrosten yhdistelmaa, synteettisen hartsikerroksen ja semisynteetti-sen hartsikerroksen yhdistelmaa, selluloosakerroksen ja synteettisen hartsikerroksen ja/tai semisynteettisen hartsikerroksen yhdistelmaa. Ennen kaikkea po1yetyleen iterefta 1 aa11i-filmiå pidetåån parhaana substraattina sen vuoksi, koska sil-la on erinomainen dimensionaalinen stabiilisuus ja erinomai-nen vetolujuus ja rasituslujuus. Filmin paksuus on yleensa 20-300 jum, mieluiten 50-250 /im. Seka venyvia etta venymatto-mia filmeja voidaan kayttåa substraatteina.
Alustaa peittåå kuorittava, valonkestava kerros, joka koostuu yleensa sitojasta ja valonkestavastå tai valoa varjosta-vasta aineesta.
li 3 90291
On tarkeåa, etta vinyylikloridia sisaltavan kopolymeerin sekå ensimmaisen 25-30 paino-% akrylonitriilia sisaltavan nitriilikumin ja toisen 31-35 paino-% akrylonitriilia sisaltavan nitriilikumin kombinaatteja tulisi kayttaa sitojana.
5
Vinyylikloridia sisaltSvåna kopolymeerinå voidaan mainita vi-nyylikloridi-vinylidiinikloridi kopolymeeri, vinyylikloridi-vinyyliasetaatti kopolymeeri, vinyylikloridi-akryyliesteri kopolymeeri ja vinyylikloridi-vinyyliasetaatti-maleiinihappo 10 terpolymeeri. Naitå vinyylikloridia sisåltavia kopolymeerejå voidaan kayttaa yksin tai kahden tai useamman seoksena.
Vinyylikloridia sisaltavien kopolymeerien kanssa kaytettavat ensimmaiset ja toiset nitriilikumit voivat olla esimerkiksi is akrylonitriilin ja butadieenin kopolymeerejå, akrylonitriili- butadieenikumeja tai akrylonitriilin, butadieenin ja karbok-syyliryhmån sisaltavMn kopolymeroituvan monomeerin terpoly-meereja. Erityisen suositeltavaa on sellaisen nitriilikumin kaytto, joka sisaltåå 27 paino-% akrylonitriilia ensimmaisena 20 nitriilikumina ja noin 33 paino-% akrylonitriilia toisena nitriilikumina.
Ensimmaisen ja toisen nitriilikumin painosuhde vaihtelee edullisesti 4:1 - 1:4, edullisemmin 3:1 - 1:2 ja edullisimmin 25 2:1-1:1. Vinyylikloridia sisaltavaa kopolymeeriå kåytetaan yleensa 50-95 paino-%, edullisesti 60-90 paino-% maårina si-tojan painoon nåhden eli ensimmaisen ja toisen nitriilikumin ja vinyylikloridia sisaltavan kopolymeerin kokonaispainoon nahden.
30
Ensimmaisen ja toisen nitriilikumin yhteiskaytto yhdessa vinyylikloridia sisaltavan kopolymeerin kanssa voi ratkaista konventionaalisten maskausfilmien yllamainitut ongelmat. Sel-lainen yhteiskaytto voi parantaa nSin saadun valonkestavan 15 kerroksen kuorittavuutta. Sita paitsi se antaa valonkestavalle filmille parantuneen murtumista ehkaisevan ominaisuuden, pidentavan ominaisuuden, pienten annosten pidatyskyvyn ja tukkeutumista estavan ominaisuuden.
- 4 - 90291
Valonkeståvaan kerrokseen sisållytetyn va 1 onkesta van aineen laatua tai varia ei erityisesti rajoiteta niin kauan kun nain saatu valonkestava kerros pystyy eståmåan valon, jonka aallonpituus on 300-550 nm. Oljyliukoisen tyypin, suoran varityypin, reakti otyypin tai happotyypin punaisia, keltaisia ja kullanruskeita vare ja voidaan soveltuvasti kayttåa. Kah-ta tai useampaa variyhdi stelmåå voidaan kayttåa. Sellaista varia, joka liukenee orgaaniseen liuottimeen, kåytetåån yleen-så va1onkestavan kerroksen alustalle muodostumisen helppou-den takia. Valonkeståvåå ainetta kåytetåån sellaisessa m å å -råsså niin, et. tå saatu valonkestava kerros kykenee eståmååri valon, jonka aallonpituus on 300-550 nm.
Valonkestava kerros voi haluttaéssa sisåltåå tåyteainetta. Vaikka sekå orgaanisia ettå epåorgaani s ia tåyteaineita voidaan kayttåa, orgaanisten aineiden kåytto on edullisempaa. Esimerkkejå sopivista epåorgaani s i sta tåyteainei s ta ovat p i ίο k s i d i , savi ja alumiinioksidi. Esimerkkejå sopivista or-gaanisista tåyteaineista ovat ristisidottu polystyreeni, bentsoguanamiiniforma 1dehydi kondensaatiotuote, polyamidi (esim. 6,6-nylone, 6-nylone tai 12-nylone), si 1 ikon i harts i, kiteinen selluloosa, fenoli-formaldehydihartsi, fluorohartsi , polyetyleenihartsi tai akryylihartsi . Nåistå tåyteaineista po1ystyreen i helmien kåytto on erityisen suosittua, koska niiden kåytto parantaa tehokkaasti påållystyskomposition homogeenisuutta valonkeståvån kerroksen muodostuksessa, se parantaa valonkeståvån kerroksen kuorittavuutta alustasta, jolloin saavutetaan haluttu s ito utuminen niiden vålille, se eståå valon heijastumisen valonkeståvån kerroksen pinnalla ja se våhentåa valonkeståvån kerroksen tahmeutta.
Tåyteaineen partikke1 i koko on edullisesti 0,5-20 ^m, edulli-semmin 2-15 ja sitå kåytetåån edullisesti 0,1-30%, edulli-semmin 0,5-20% sitojan painoon nåhden.
Lisåksi nestemåinen organopolysiloksaani voidaan lisåtå valonkeståvåån kerrokseen parantamaan valonkeståvån kerroksen 5 90291 tarttuvuutta alustaan vaikuttamatta haitallisesti kuoritta-vuuteen. Esimerkkeja sopivista organopolysiloksaaneista ovat metyylifenyylipolysiloksaani, metyylivinyylipolysiloksaani tai korkeammalla alkyylillå modifioitu polysiloksaani. Orga-5 nopolysiloksaania kåytetåån edullisesti 0,01-1,5 % mååråsså sanotun sitojan painoon nahden.
Valonkeståva kerros voidaan valmistaa milla tahansa tunnetul-la tavalla, kuten kayttamalla påållystyskompositiota, joka 10 sisaltaa ylla kuvatut ainekset alustan pinnalla. Liuotinta, kuten alkoholia, esteriå, hiilivetya, halogenoitua hiilive-tya, ketonia tai vastaavaa orgaanista liuotinta, voidaan kayttaa paallystekomposition muodostamiseksi. Paallystekompo-sitio voi lisaksi haluttaessa sisaltaa tasoitusainetta ja 15 pehmenninta. Valonkeståvan kerroksen paksuus on yleensa 10-50 μπι, edullisesti 20-40 μκι.
On mahdollista panna paineherkka adhesiivinen kerros alustan ja valonkestavan kerroksen valiin niin, etta saatu maskaus-20 filmi mahdollistaa leikatun valonkestavan kerroksen, joka on kuorittu pois alustasta, uudelleenkayton uudelleen kiinnitta-misen. Sellainen adhesiivinen kerros muodostetaan synteetti-sesta hartsista, kuten akrylaattiesterikopolymeeri, kyllas-tetty polystyreeni tai polyuretaani tai kumiadhesiivi, kuten 25 luonnonkumi, kloropreenikumin, isopreenikumi tai nitriiliku- mi.
Kasilla olevan keksinnon mukaista valonkestavaå maskausf ilmia voidaan kayttaS huoneenvalolle fotosensitiivisen materiaalin 30 maskauksessa, joka on herkka valolle, jonka aallonpituus on 400 nm tai vahemmån.
Seuraavat esimerkit kuvaavat lahemmin kasilla olevaa keksin-toa. Esimerkeisså "osuus'' on paino-osuus. Koemenetelmat ja 15 koetulosten arviointi seuraavissa esimerkeisså ovat seuraavat: 6 90291 (1) Kuorittavuus:
Maskausfilminaytteen valonkestavå kerros leikataan leikkaus-veitsella nelioihin ja yksi naista nelioista kuoritaan sormin 5 sen kulmasta. Kuorittavuus arvioidaan ja arvostellaan joko hyvaksi tai huonoksi.
(2) Sitomisvoimakkuus: 10 Kåytetåån pinnan ominaisuuksia mittaavaa laitetta HEIDON 14 (Shintoh Manufacturing K.K.) , voima, joka tarvitaan valonkestavan kerroksen kuorimiseen, mitataan.
(3) Tukkeutumistaipumus: 15
Kaksi maskausfilmia pannaan paallekkain siten, ettS ylemman maskausfilmin alustan on kosketuksessa alemman maskausfilmin valonkestavan kerroksen kanssa. Naiden kahden filmin annetaan sitten olla 50 °C:n låmpotilassa ja 80 % suhteellisessa kos-20 teudessa 5 tuntia, kun asetetaan filmeille kuormitus 25 g/m2.
Filmien taipumusta tarttua toisiinsa niiden ollessa yhteydes-sa tutkitaan ja tama luokitellaan seuraavasti: 5: ei tukkeutumista 4: tukkeutumista esiintyy hyvin vahan 25 3: tukkeutumista esiintyy osittain 2: tukkeutumista esiintyy suuremmassa osassa aluetta 1: tukkeutumista esiintyy koko alueella (4) Murtumistaipumus: 30
Valonkestavan kerroksen taipumusta murtua kuorimisen aikana tarkastellaan ja sita arvioidaan seuraavasti: 5: ei murtumista 4: tuskin murtuu 35 3: murtumista esiintyy osittain 2: murtuu suhteellisen helposti 1: murtuu hyvin helposti li - 7 - 90291 (5) Taipumus pideta:
Va1onkestavan kerroksen venymisastetta kuorimisen aikana arvioidaan ja se luokitellaan seuraavasti: 5: merkittavasti pidentynyt 4: selvåsti pidentynyt 3: kohtalaisesti pidentynyt 2: jossain måårin pidentynyt 1: ei lainkaan pidentynyt (6) Pienten kuvioitten retentiviteetti :
Valonkestava kerros leikataan ja muodostetaan pyoreita ku-vioita, joiden halkaisija vaihtelee 0,5-5 mm valilla ja ne ovat 1 mm paassa toisistaan. Valonkestavån kerroksen loppu-osa kuoritaan. Valonkeståvia pyoreita kuvioita sisaltavan maska usfilmin pintaa hierotaan. Pyoreiden kuvioiden kuoriu-tumisen helppoutta arvioidaan ja se luokitellaan seuraavasti: 5: ei kuoriudu lainkaan 4: suurenpi osa pyoreista kuvioista ei kuoriutunut 3: noin puolet pyoreista kuvioista ei kuoriutunut 2: suurempi osa pyoreista kuvioista kuoriutui 1: kaikki pyoreåt kuviot kuoriutuivat (7) Taipumus kihartua: Nåytemaskausfilmin valonkestava kerros leikataan leikkaus-veitsellå nelioihin, joiden sivun pituus on 1 m. Maskaus-filmi laitetaan sitten tasaiselle poydålle, jolloin valonkestava kerros on ylåpuolella ja sen annetaan olla huoneen-låmmosså 24 tuntia. Filmin jokainen kulma tarkastetaan, jotta nåhdåån filmin kihartumisaste, filmin kulman korkeus poydån pinnasta. Ki hartumista ipumusta arvioidaan seuraavasti: 3: våhemman kuin 2 mm 2: 2-5 mm 1: enemman kuin 5 mm - s - 90291
Esimerkit 1-5 Påå11ystyskompositio valmistettiin sekoittaraalla 38,7 osaa sekoitettua 1iuosta, joka koostui ensimmaisesta nitri i 1 ikumin 20% liuoksesta (N — 2 7, ak r y 1 o ni t r i i 1 i s i så 11 δ : 27 paino-%) metyy1 ietyy1iketon issa ja toisesta nitri i 1ikumin 20% liuoksesta (N-33, akrylonitriilisisalto: 33 paino-%) metyylietyy-liketonissa, 72,1 osaa vinyyliklor i d i/vinyyliasetaatti/male-iinihappo -terpolymeerin 25% liuosta (monomeeriosuus 83:13:1, DENKA VINYL 1000C, valmistanut Benki Kagaku Kogyo K.K.) metyy1 ietyy 1 iketonissa, 7,7 osaa variainetta (Valiozol Orange 3210T), 0,28 osaa hi en ojakoista polyety1eenia, 0,05 osaa organosi loksaania (SILICONE KP-356, valmistanut Shinetsu Kagaku Kogyo K.K.) ja 3,5 osaa metyy1 ietyy1 iketonia. Ensimmai s e n liuoksen paino-osuus sekoitetun liuoksen toiseen liuokseen esitettaån alia olevassa taulukossa 1.
Vertailuesimerkit 1 ja 2
Esimerkki 1 toistettiin samalla tavoin kuin yllå on kuvattu paitsi etta N-27:aa ja N-33:a kaytettiin sellaisenaan. Mas-kausfilmit antoivat taulukossa 1 esitetyt koetulokset.
Ii _ , _ 90291 T a u 1 u k k o 1 .
Esimerkki vert.l 12345 vert.2 N-27/N-33 osuus 4/0 3/1 2/1 1/1 1/2 1/3 0/4
Sitomisvoimakkuus (g/cm) 120 110 110 110 100 90 90
Tukkeutumistaipumus 4 44433 2
Kuorittavuus hyva hyva hyva hyva hyva hyva hyva
Murtumistaipumus (25°C) 5 5 4 4 3 3 3 (10°C) 4 43322 1
Taipumus pidetå (25°C) 3 3 3 3 3 3 2 (10°C) 3 3 3 2 2 2 1
Pienten kuvioiden re-tentiviteetti (25°C) 4 4 4 4 3 3 2 (10°C) 3 33322 1
Kihartumistaipumus 1 23333 3

Claims (13)

1. Valonkeståvå maskausfilmi, joka koostuu substraatista ja substraatin pinnalla olevasta kuorittavasta valonkeståvåstå 5 kerroksesta, tunnettu siita, etta se sisaltaa valonkeståvaa ainetta, vinyylikloridia sisaltavaa kopolymeeria ja 25-30 paino-% akrylonitriilia sisaltavan ensimmaisen nitriilikumin ja 31-35 paino-% akrylonitriilia sisaltavan toisen nitriili-kumin seosta.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen maskausfilmi, tunnettu siita, etta ensimmåinen ja toinen nitriilikumi ovat akry-lonitriilin ja butadieenin kopolymeereja tai akrylonitriilin, butadieenin ja karboksyyliryhman sisaltavan kopolymerisoitu- 15 van monomeerin terpolymeereja.
3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen maskausf ilmi, tunnettu siita, etta ensimmaisen ja toisen nitriilikumin akrylonit-riilipitoisuus on 27 paino-% ja vastaavasti 33 paino-%. 20
4. Jonkin patenttivaatimuksen 1-3 mukainen maskausfilmi, tunnettu siita, etta ensimmaisen nitriilikumin paino-osuus toiseen nitriilikumiin nahden vaihtelee valilla 4:1 - 1:4.
5. Patenttivaatimuksen 4 mukainen maskausfilmi, tunnettu siita, etta ensimmaisen nitriilikumin paino-osuus toiseen nitriilikumiin nahden vaihtelee vSlilla 3:1 - 1:2.
6. Patenttivaatimuksen 5 mukainen maskausfilmi, tunnettu 30 siita, etta ensimmaisen nitriilikumin paino-osuus toiseen nitriilikumiin nahden vaihtelee valilla 2:1 - 1:1.
7. Jonkin patenttivaatimuksen 1-6 mukainen maskausfilmi, tunnettu siita, etta vinyylikloridia sisaltava kopolymeeri on 35 vinyylikloridi/vinylidiinikloridi kopolymeeri, vinyyliklori- di/vinyyliasetaattikopolymeeri, vinyylikloridi/akryyliesteri kopolymeeri tai vinyylikloridi/vinyyliasetaatti/maleiinihappo terpolymeeri. Il 11 90291
8. Jonkin patenttivaatimuksen 1-7 mukainen maskausfilmi, tunnettu siita, etta valonkestavå kerros sisaltaa lisaksi tåyteainetta.
9. Patenttivaatimuksen 8 mukainen maskausfilmi, tunnettu siita, etta tayteaine on orgaaninen tayteaine kuten ristisi-dottu polystyreeni, bentsoguanamiini-formaldehydi kondensaa-tiotuote, polyamidi, silikonihartsi, kiteinen selluloosa, fe-noli-formaldehydihartsi, fluorohartsi, polyetyleenihartsi ja 10 akryylihartsi, tai epåorgaaninen tayteaine kuten piioksidi, savi ja alumiinioksidi.
10. Patenttivaatimuksen 8 tai 9 mukainen maskausfilmi, tunnettu siita, etta tSyteaineen partikkelikoko on 0,5-20 μπι. 15
10 90291
11. Jonkin patenttivaatimuksen 1-10 mukainen maskausfilmi, tunnettu siita, ettå valonkestava kerros sisaltaa lisaksi or-ganopolysiloksaania.
12. Patenttivaatimuksen 11 mukainen maskausfilmi, tunnettu siita, etta organopolysiloksaani on dimetyylipolysiloksaani, metyylietyylipolysiloksaani, metyylifenyylipolysiloksaani, metyylivinyylipolysiloksaani, dimetyylipolysiloksaanin ja ok-sialkyleenin kopolymeeri tai alkyylilla modifioitu polysilok-25 saani.
13. Patenttivaatimuksen 12 mukainen maskausfilmi, tunnettu siita, etta organopolysiloksaania kaytetaan 0,01-1,5 % perus-tuen vinyylikloridia sisaltavan kopolymeerin ja ensimmaisen 30 ja toisen nitriilikumin kokonaispainoon. 12 90 291
FI890713A 1988-02-16 1989-02-15 Valonkestävä maskausfilmi FI90291C (fi)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3361288A JPH07111577B2 (ja) 1988-02-16 1988-02-16 マスキングフィルム
JP3361288 1988-02-16

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI890713A0 FI890713A0 (fi) 1989-02-15
FI890713A FI890713A (fi) 1989-08-17
FI90291B FI90291B (fi) 1993-09-30
FI90291C true FI90291C (fi) 1994-01-10

Family

ID=12391282

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI890713A FI90291C (fi) 1988-02-16 1989-02-15 Valonkestävä maskausfilmi

Country Status (11)

Country Link
US (1) US4923727A (fi)
EP (1) EP0329437B1 (fi)
JP (1) JPH07111577B2 (fi)
KR (1) KR920003795B1 (fi)
AT (1) ATE89423T1 (fi)
AU (1) AU610990B2 (fi)
CA (1) CA1321513C (fi)
DE (1) DE68906417D1 (fi)
FI (1) FI90291C (fi)
HK (1) HK4394A (fi)
NZ (1) NZ228014A (fi)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0769602B2 (ja) * 1988-04-19 1995-07-31 ソマール株式会社 遮光性マスキングフィルム
US5368962A (en) * 1988-11-10 1994-11-29 Somar Corporation Masking film
JPH0766177B2 (ja) * 1989-06-21 1995-07-19 フジレックス株式会社 遮光性マスキングフィルム
JPH0782231B2 (ja) * 1990-01-30 1995-09-06 フジレックス株式会社 遮光性マスキングフィルム
US5707704A (en) * 1994-12-27 1998-01-13 Kimoto Co., Ltd. Masking films
JPH09236903A (ja) * 1996-03-01 1997-09-09 Kimoto & Co Ltd 遮光性マスキングフィルム
DE10118484A1 (de) * 2001-04-12 2002-10-24 Wacker Chemie Gmbh Verfahren zur Herstellung von mehrschichtigen Beschichtungen
DE102005035905A1 (de) * 2005-07-28 2007-02-01 Tesa Ag Nitrilkautschuk Blends zur Fixierung von Metallteilen auf Kunststoffen
US7971647B2 (en) * 2008-05-21 2011-07-05 Paal, L.L.C. Apparatus and method for raising a fluid in a well
JP6216247B2 (ja) * 2013-03-28 2017-10-18 住友理工株式会社 電子写真用部材

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5846011B2 (ja) * 1978-02-01 1983-10-13 ダイセル化学工業株式会社 遮光性マスキングフィルム
JPS58108537A (ja) * 1981-12-22 1983-06-28 Daicel Chem Ind Ltd 遮光性マスキングフイルム
GB8415782D0 (en) * 1984-06-20 1984-07-25 Autotype Int Ltd Masking films
JPS61110141A (ja) * 1984-11-05 1986-05-28 Shinko Kagaku Kogyo Kk 遮光性マスキングフイルム
JPS61166549A (ja) * 1985-01-18 1986-07-28 Somar Corp 遮光性マスキングフイルム

Also Published As

Publication number Publication date
FI890713A (fi) 1989-08-17
HK4394A (en) 1994-01-21
AU610990B2 (en) 1991-05-30
AU3003489A (en) 1989-08-17
US4923727A (en) 1990-05-08
DE68906417D1 (de) 1993-06-17
FI890713A0 (fi) 1989-02-15
EP0329437A3 (en) 1989-10-25
KR920003795B1 (ko) 1992-05-14
JPH01207753A (ja) 1989-08-21
EP0329437B1 (en) 1993-05-12
FI90291B (fi) 1993-09-30
KR890013524A (ko) 1989-09-23
JPH07111577B2 (ja) 1995-11-29
NZ228014A (en) 1991-02-26
EP0329437A2 (en) 1989-08-23
CA1321513C (en) 1993-08-24
ATE89423T1 (de) 1993-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI90291C (fi) Valonkestävä maskausfilmi
JP3724811B2 (ja) 乾燥剤を有する医療診断用試験ストリップ
CA1108485A (en) Sheet material having composite fluoro-chemical- silicone release coatings
EP0070524A1 (en) Pressure-sensitive adhesive sheet structure having relocatable properties
JPH03181578A (ja) 位置調整性接着テープおよびその製造方法
EP0597883A1 (en) Structured flexible carrier web bearing a layer of silicone on predetermined surfaces
CA1332131C (en) Lightsafe masking film
AU643253B2 (en) Polymer composition imparting low surface energy
AU623976B2 (en) Dispensing carton for a roll film
CA1324923C (en) Lightsafe masking film
JPS6050392B2 (ja) 剥離性被膜形成剤
JP2631384B2 (ja) 遮光性マスキングフイルム
NZ230012A (en) Lightsafe masking film with peelable, reusable lightsafe layer
JP4670133B2 (ja) 電極方式の検査シートのカバーに用いられる液体展開用シート
JP4797300B2 (ja) 液体展開用シート
JPS63302091A (ja) 被熱転写シ−ト
JPS63177423A (ja) 半導体ウエハの固定部材
JP2612172B2 (ja) 遮光性マスキングフィルム
JPH0631865A (ja) 離型シート及びその製造方法
JPS6148557B2 (fi)
JP4665346B2 (ja) 液体展開用シートの製造方法
JP2002167561A (ja) 転写式感圧接着テープ
FI90290C (fi) Valonkestävä maskausfilmi
JPH10151694A (ja) 剥離シート
JP2006308564A (ja) 液体展開用シート

Legal Events

Date Code Title Description
BB Publication of examined application
MM Patent lapsed
MM Patent lapsed

Owner name: SOMAR CORPORATION