ES2394942T3 - Aparato de sujeción rotatoria de oblea - Google Patents

Aparato de sujeción rotatoria de oblea Download PDF

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ES2394942T3 ES00119294T ES00119294T ES2394942T3 ES 2394942 T3 ES2394942 T3 ES 2394942T3 ES 00119294 T ES00119294 T ES 00119294T ES 00119294 T ES00119294 T ES 00119294T ES 2394942 T3 ES2394942 T3 ES 2394942T3
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Masato C/O Mimasu Semiconductor Indust. Tsuchiya
Shunichi C/O Mimasu Semiconductor Ogasawara
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Abstract

Aparato de sujeción rotatorio de oblea que comprende:un disco rotatorio (12) en el que se forma una trayectoria de flujo de fluido;un orificio pasante (14) formado en una sección central del disco rotatorio; ypalas (16) en la superficie superior de dicho disco rotatorio (12);una placa deflectora (46) prevista en la superficie superior de dicho disco rotatorio y por encima del orificiopasante (14) formado en una sección central del disco rotatorio (12) de tal manera que un fluido (A)suministrado sobre la superficie superior del disco rotatorio (12) que pasa a través del orificio pasante (14)se guía en la dirección de pala con la placa deflectora (46); yuna pluralidad de apoyos de oblea (18) previstos en una superficie superior del disco rotatorio (12), en elque una oblea se sitúa sobre los apoyos de oblea (18), por encima del disco rotatorio con una separaciónentre ambos, y en el que cuando el disco rotatorio (12) se hace rotar, un fluido en la trayectoria de flujo defluido (A) (36) se descarga hacia fuera por la fuerza centrífuga debida a la rotación; de este modo se creauna presión reducida en la trayectoria de flujo de fluido (A) (36) Y se mantiene siempre que el disco rotatorio(12) se hace rotar, a través de un proceso en el cual un fluido (A) se aspira por la fuerza de succión de lapresión reducida desde el lado de superficie inferior del disco rotatorio (12) a través del orificio pasante (14),y el fluido aspirado se suministra sobre la superficie superior del disco rotatorio (12) para descargarse haciafuera de manera continua pasando a través de la trayectoria de flujo de fluido (A) (36), con el resultado deque la oblea se arrastra hacia abajo por la fuerza de succión de la presión reducida y se sostiene confuerza sobre los apoyos de oblea mientras rota.

Description

Aparato de sujeción rotatoria de oblea
Antecedentes de la invención
1. Campo de la Invención
Esta invención se refiere a un aparato de sujeción rotatorio de oblea que puede sujetar una oblea sin contacto con una superficie posterior de la oblea, usando una presión reducida creada por un fluido en una superficie superior de un disco rotatorio, descargado hacia fuera por la fuerza centrífuga debida a la rotación del disco rotatorio.
2. Descripción de la técnica anterior
En un proceso de fabricación de semiconductores, las etapas de realización de diversas clases de tratamiento sobre una oblea durante la rotación, tal como ataque ácido por centrifugación, secado por centrifugación y recubrimiento por centrifugación, han aumentado en los últimos años. Para nombrar definitivamente aparatos para tales etapas, se han conocido un aparato de ataque ácido por centrifugación, un aparato de secado por centrifugación, un aparato de recubrimiento por centrifugación, etc. En aparatos de este tipo de la técnica anterior, se han adoptado los siguientes modos para fijar una oblea: se fija una oblea por succión en una base de soporte por succión usando una fuente de vacío, o se fija una oblea en una base de soporte por succión usando una fuerza de vacío creada allí por un gas o aire comprimido de una fuente de suministro.
Los aparatos de la técnica anterior, sin embargo, han requerido un aparato de fuente de vacío, un aparato de suministro de aire comprimido, un aparato de suministro de gas comprimido, etc., que están previstos adicionalmente en los mismos, dando como resultado de este modo un aumento en el coste debido a los plazos de los mismos. Además del aumento en el coste, ha surgido otro problema a causa de la dificultad en el ajuste de los grados de reducción o aumento de presión, lo que conduce al fenómeno de que una oblea se deforme, por ejemplo, se abombe bajo la influencia de una presión en el caso en que la oblea se fije tan delgada como para que pueda verse afectada fácilmente por la presión, por ejemplo de un grosor de 0,1 mm o menos.
Además, una oblea tan delgada como del orden de 100 11m o menos naturalmente se arquea en muchos casos, y por tanto, el soporte por succión de la oblea no se ha llevado a efecto de manera satisfactoria a causa del arqueo en los aparatos de la técnica anterior descritos anteriormente. Por este motivo, en el caso de una oblea con arqueo, se ha producido una necesidad de tiempo y trabajo con lo que se corrige el arqueo de una oblea, para un procedimiento se ha adoptado de hecho donde se corrige el arqueo de la oblea y después de eso, la oblea se soporta por succión.
Como tratamiento para una superficie de una oblea en un proceso de fabricación de dispositivo, puede nombrarse: el tratamiento de ataque ácido para eliminar una capa dañada tras pulir el lado trasero, el recubrimiento de una resina fotosensible sobre la oblea, el desarrollo de la oblea en la que se exponen patrones de circuito, se recubre una resina fotosensible y se imprimen circuitos semiconductores, limpieza de una superfiCie de la oblea, etc.
Un aparato para uso en el tratamiento de superficie de la oblea incluye: un aparato de sujeción rotatorio de oblea que soporta y hace rotar una oblea; medios de suministro de líquido de tratamiento que suministran un líquido de tratamiento necesario (un líquido químico) sobre la superficie superior de la oblea soportada; medios de suministro de líquido de limpieza que suministran un líquido de limpieza sobre la superficie superior de la oblea; y otros medios (por ejemplo, la publicación de patente japonesa abierta a consulta por el público n.o 8-88168).
El ataque ácido para eliminar una capa dañada tras un pulido del lado trasero de la técnica anterior, por ejemplo, se ha finalizado suficientemente con un tiempo de utilización de un ácido mixto (por ejemplo, ácido fluorhídrico, ácido nítrico, etc.) y en este caso, sólo se requiere tras el ataque ácido recuperar el líquido de tratamiento usado (por ejemplo, el ácido mixto usado) y el líquido de limpieza usado tal como se da a conocer en la publicación anterior. El documento US 5706843 da a conocer un elemento de sujeción de oblea rotatorio que comprende medios de evacuación situados en el centro del elemento de sujeción rotatorio, y una pluralidad de palas situadas entre una mesa giratoria y una placa inferior.
Actualmente, sin embargo, ya ha aparecido una necesidad de mejora de la calidad de superficie tras el ataque ácido descrito anteriormente y ha sido común efectuar una o más veces un ataque ácido adicional para la mejora de la calidad de superficie después del primer ataque ácido descrito anteriormente. Aplicando este tratamiento de superficie varias veces de este modo, se ha producido un nuevo problema puesto que el tiempo de proceso aumenta totalmente debido al tratamiento de superficie, conduciendo de este modo a una reducción en la productividad. Además, puesto que una pluralidad de líquidos de tratamiento (líquidos químicos) están en uso, ha surgido una necesidad de un aparato mediante el que tres (3) o más clases de líquidos residuales puedan recuperarse, en el que el requisito está más allá de una capacidad de un aparato de la técnica anterior mediante el que sólo se recuperan dos (2) clases de líquidos residuales que incluyen una clase de un líquido de tratamiento y un líquido de limpieza.
Además, por otra parte, mientras que se ha requerido un único tratamiento lateral en los últimos años en el caso en el que se ataca químicamente o se limpia una oblea muy delgada de 100 11m o menos de grosor, se han deseado medios de sujeción rotatorios de un tipo novedoso con el fin de enfrentarse con un requisito de este tipo puesto que es difícil sujetar una oblea mientras rota con medios de la técnica anterior que sujetan una oblea mientras rota mediante soporte por succión de la superficie inferior de la misma.
Sumario de la invención
La presente invención se realizó en vista de los problemas de la técnica anterior descritos previamente. Por consiguiente, la invención tiene el objeto de proporcionar un aparato de sujeción rotatorio de oblea mediante el que se crea una presión reducida en una superficie superior de un disco rotatorio mediante un mecanismo simple y fácil de fabricar sin necesidad de ninguno de un aparato de fuente de vacío, un aparato de suministro de aire comprimido, un aparato de suministro de gas comprimido u otros aparatos en uso; una oblea puede sujetarse mientras rota sin contacto con una superficie posterior de la misma; puede ajustarse con facilidad el grado de reducción de presión e incluso puede sujetarse una oblea delgada (de 0,1 mm o menos de grosor) mientras rota sin deformación; la oblea con arqueo puede sujetarse mientras rota sin corrección del arqueo; además puede sujetarse una oblea muy delgada de 100 Ilm o menos de grosor mientras rota usando sólo contactos con la periferia de la oblea; y además, también puede emplearse limpieza usando una boquilla de chorro ultrasónico y limpieza con cepillo.
Con el fin de solucionar el problema descrito anteriormente, la invención se refiere al aparato descrito en la reivindicación 1.
Debe apreciarse que surge una ventaja porque incluso en el caso en el que está presente arqueo de manera inherente en una oblea delgada del orden de 100 Ilm o menos de grosor, cuando se sitúa y sujeta la oblea en el aparato de sujeción rotatorio de oblea tal cual, la oblea puede sujetarse mientras rota sin problemas ya que el arqueo se suprime por la fuerza centrífuga debida a la rotación.
Un aparato de sujeción rotatorio de oblea de la invención incluye además preferiblemente: medios de suministro forzoso de fluido que suministran un fluido de manera forzosa a través del orificio pasante desde el lado de superficie inferior del disco rotatorio, en el que el fluido se suministra a través del orificio pasante de manera forzada desde el lado de superficie inferior del disco rotatorio mientras que se mantiene la presión reducida. Con una construcción de este tipb, surge una ventaja porque puede impedirse que un Ifquido químico suministrado sobre la superficie superior de la oblea para tratar la superficie superior de la misma acabe deslizándose sobre la superficie inferior de la oblea.
Es preferible una construcción en la que se proveen palas rectas o curvadas en un estado radial, o se proporciona una sola pala curvada en un estado de espiral o voluta en la superficie superior del disco rotatorio y la trayectoria o trayectorias de flujo de fluido se forman en espacios entre la superficie superior del disco rotatorio y una superficie inferior de la oblea, dividiéndose por pares de palas o partes de pala opuestas.
También es posible una construcción en la que un árbol rotatorio a través del que se forma una sección hueca en comunicación con el orificio pasante a lo largo de la dirección axial del mismo está previsto en vertical en la sección central de la superficie inferior del disco rotatorio y cuando el árbol rotatorio y el disco rotatorio se hacen rotar, un fluido introducido por succión desde una abertura de extremo inferior de la sección hueca del árbol rotatorio se suministra sobre la superficie superior del disco rotatorio pasando a través de la sección hueca y del orificio pasante.
Si se adopta una construcción en la que un aparato de sujeción rotatorio de oblea de la invención incluye además medios de control de reducción de presión que controlan una presión reducida en las trayectorias de flujo de fluido ajustando el grado de apertura de la sección hueca, montada en una posición apropiada a lo largo del árbol rotatorio, se elimina por completo un problema tal como que la oblea se deformaría de otro modo por una fuerza de succión excesivamente fuerte puesto que puede establecerse libremente el grado de la presión reducida según el grosor de la oblea.
Los apoyos de oblea pueden construirse con vástagos de guía de lado inferior que reciben la superficie inferior de una oblea y vástagos de guía de lado externo que reciben la superficie de lado externo de la oblea. Además, aunque los apoyos de oblea pueden disponerse en cualquier posición en la superficie superior de un disco rotatorio siempre que no se dificulte una acción de recepción, los apoyos de oblea pueden situarse ventajosamente en las superficies superiores de las palas puesto que los espacios por encima de la superficie superior del disco rotatorio pueden aprovecharse de manera eficaz.
Se concibe una construcción en la que una placa deflectora se prevé por encima del orificio pasante formado en la sección central del disco rotatorio y un fluido suministrado sobre la superficie superior del disco rotatorio que pasa a través del orificio pasante se guía en una dirección de pala mediante la placa de oblea. Con una construcción de este tipo aplicada, se obtienen ventajas puesto que el fluido no se inyecta directamente hacia la superficie inferior de una oblea y por tanto, puede impedirse que ocurra un accidente en el que la oblea se contamina con impurezas, etc. incluso cuando están mezcladas impurezas o similares en el fluido, o puede impedirse que se produzca la evacuación ascendente del fluido cuando la oblea se rompe accidentalmente durante el funcionamiento.
Si un receptor de superficie plana de orientación que recibe una superficie plana de orientación de la oblea o un receptor de muesca que recibe una muesca de la oblea se prevé en la superficie superior del disco rotatorio, se engancha una oblea en la superficie superior del disco rotatorio y por tanto, ambos rotan solidariamente todo el tiempo. Por consiguiente, se obtiene una ventaja puesto que incluso cuando se vierte un líquido químico o un líquido similar sobre la superficie superior de una oblea sujeta mientras rota y una fuerza actúa sobre la oblea en un sentido opuesto al sentido de rotación, entonces la oblea continúa rotando solidariamente con el disco rotatorio todo el tiempo sin discrepancia en la velocidad de rotación entre ambos, no provocando de este modo problemas debidos a un desplazamiento relativo de rotación entre ambos, que se describirá más tarde.
Como fluido, puede usarse: un gas y/o un líquido; es decir, un gas en un único estado, por ejemplo aire, un líquido en un único estado, por ejemplo agua pura o un líquido químico, o una mezcla de los mismos.
Breve descripción de los dibujos
La figura 1 es una vista en perspectiva que muestra una realización de un aparato de sujeción rotatorio de oblea de la invención;
la figura 2 es una vista en perspectiva que muestra un estado de una oblea sujeta durante la rotación en el aparato de sujeción rotatorio de oblea de la figura 1;
la figura 3 es una vista en planta desde arriba que muestra otro ejemplo de palas;
la figura 4 es una vista en planta desde arriba que muestra todavía otro ejemplo de una pala;
la figura 5 es una vista lateral en sección que muestra otra realización de un aparato de sujeción rotatorio de oblea de la invención de manera simplificada;
la figura 6 es una vista desde arriba ampliada de la vista de rotación de la figura 5;
la figura 7 es una vista ampliada adicionalmente de una parte principal del disco rotatorio de la figura 6;
la figura 8 es una vista en sección transversal parcial de la figura 7;
la figura 9 es una vista en planta desde arriba que muestra un estado de una oblea y un aparato de sujeción rotatorio de oblea entre los que se produce un desplazamiento de rotación cuando se vierte un líquido químico o similar sobre la superficie superior de la oblea sujeta durante la rotación en el aparato de sujeción rotatorio de oblea;
la figura 10 es una vista en planta desde arriba que muestra un estado de una oblea cuya superficie plana de orientación se engancha con un vástago retenedor de superficie plana de orientación montado en un disco rotatorio;
la figura 11 es una vista en planta desde arriba que muestra un estado de una oblea cuya muesca se engancha con un vástago retenedor de muesca montado en un disco rotatorio;
la figura 12 es una vista lateral en sección de un aparato de tratamiento de superficie de oblea con un mecanismo de recuperación de líquido residual de manera simplificada;
la figura 13 es una vista lateral en sección del aparato de tratamiento de superficie de oblea que muestra un estado del aparato cuando todo el mecanismo de recuperación de líquido residual está elevado con respecto al estado de la figura 12 de manera simplificada;
la figura 14 es una vista lateral en sección del aparato de tratamiento de superficie de oblea que muestra un estado del aparato cuando sólo la cuba de recuperación de líquido residual de lado interno se mueve hacia abajo con respecto al estado de la figura 13 de manera simplificada; y
la figura 15 es una vista lateral en sección del aparato de tratamiento de superficie de oblea que muestra un estado del aparato cuando sólo la cuba de recuperación de líquido residual intermedia se mueve hacia abajo con respecto al estado de la figura 14 de manera simplificada.
Descripción detallada de la invención
A continuación se proporcionará una descripción de realizaciones de la invención con referencia a los dibujos adjuntos. Debe comprenderse naturalmente que pueden realizarse diversas modificaciones o alteraciones distintas de las realizaciones mostradas por los dibujos dentro del alcance de la invención siempre que no se aparten del concepto técnico de la invención.
La figura 1 es una vista en perspectiva que muestra una realización de un aparato de sujeción rotatorio de oblea de la invención, la figura 2 es una vista en perspectiva que muestra un estado de una oblea sujeta durante la rotación en el aparato de sujeción rotatorio de oblea de la figura 1, la figura 3 es una vista en planta desde arriba que muestra otro ejemplo de palas, y la figura 4 es una vista en planta desde arriba que muestra todavía otro ejemplo de una pala.
En las figuras, una referencia numérica 10 indica un aparato de sujeción rotatorio de oblea, que tiene un disco rotatorio 12. Un orificio pasante 14 se forma en la sección central del disco rotatorio 12. En la superficie superior del disco rotatorio 12, una pluralidad de palas 16 (16 piezas en este ejemplo) están dispuestas radialmente en intervalos equiangulares.
Se proveen apoyos de oblea 18 que reciben una oblea por la periferia de la misma, en los extremos externos respectivos de las superficies superiores de las palas 16. Aunque no hay ninguna limitación específica en la forma de cada uno de los apoyos de oblea 18 siempre que los apoyos de oblea 18 puedan recibir la periferia de la oblea (W), el apoyo 18 adopta la forma de un escalón de recepción en este ejemplo. Los apoyos de oblea 18 no se proveen necesariamente en las palas 16 sino que pueden proveerse directamente en la superficie superior del disco rotatorio 12 siempre que no surjan problemas. Además, aunque el número de los apoyos de oblea 18 previstos puede ser el número de los mismos en el que la oblea puede retenerse incluso durante la rotación, por ejemplo un número de 3 o más, se muestra un caso de un número de 4 de los apoyos de oblea 18 dispuestos simétricamente, en el ejemplo de las figuras.
Una referencia numérica 20 indica un árbol rotatorio dispuesto en vertical en la sección central de la superficie inferior del disco rotatorio 12 y una sección hueca 22 en comunicación con el orificio pasante 14 se forma en el interior del árbol rotatorio 20. La sección hueca 22 tiene una abertura en el extremo inferior del árbol rotatorio 20 para formar una abertura de extremo inferior 24.
En el extremo inferior del árbol rotatorio 20, se montan medios de control de reducción de presión 26, por ejemplo, una válvula de control de reducción de presión, en el ejemplo de las figuras. Los medios de control de reducción de presión 26 pueden controlar una velocidad de aire que fluye a través de la sección hueca 22 en el árbol rotatorio 20 ajustando el grado de apertura de la sección hueca 22 en el mismo. Aunque, en el ejemplo mostrado en las figuras, se muestra un caso en el que los medios de control de reducción de presión 26 se montan en el extremo inferior del árbol rotatorio 20, no existe necesariamente una limitación para el montaje en el extremo inferior sino que los medios de control de reducción de presión 26 pueden montarse en cualquier posición tal como una parte intermedia o la parte superior del árbol rotatorio 20 puesto que sólo se requiere que se ajuste el grado de apertura de la sección hueca 22.
Una referencia numérica 28 indica una polea prevista en la parte inferior del árbol rotatorio 20 y conectada a una polea motriz de un motor 30 con una correa de polea 34 que se extiende entre ambos. En funcionamiento, el motor 30 se activa, la polea motriz 32 se hace rotar y la rotación se transmite a su vez a la polea 28 a través de la correa de polea 34, con el resultado de que el árbol rotatorio 20 se hace rotar.
Se hará la descripción de los funcionamientos de una construcción de este tipo descrita anteriormente. En un aparato de sujeción rotatorio de oblea 10 de la invención, se emplea un fluido: por ejemplo, un gas tal como aire, un líquido tal como agua pura o un líquido químico, o una mezcla de los mismos, y en un caso se toma un caso de aire como fluido en la descripción.
En primer lugar, una oblea (W), tal como se muestra en la figura 2, se sitúa por encima de la superficie superior del disco rotatorio 12 con los apoyos de oblea 18 interpuestos entre ambos, es decir, con una separación entre la oblea
(W) y la superficie superior del disco rotatorio 12; para ser más concretos, por encima de las superficies superiores de las palas 16 con una separación. Entonces, se ajusta el grado de apertura de la sección hueca 22 en el árbol rotatorio 20 por los medios de control de reducción de presión 26 según un grosor de la oblea (W) para crear una presión reducida óptima. Debe apreciarse que a medida que la abertura de la sección hueca 22 se ensancha, disminuye el grado de reducción de presión y viceversa.
El ajuste de reducción de presión puede llevarse a cabo cambiando la velocidad de rotación del disco rotatorio 12 además de un cambio en la apertura de la sección hueca 22. A medida que la velocidad de rotación del disco rotatorio 12 es más rápida, aumenta el grado de reducción de presión y viceversa.
Además, el suministro de un fluido, por ejemplo aire, sobre la superficie superior del disco rotatorio 12 se efectúa con medios de suministro de fluido (aire) (A) no mostrados cuando surge la necesidad y puede controlarse el grado de reducción de presión ajustando la velocidad de suministro del fluido (aire) (A). A medida que aumenta el suministro del fluido (aire) (A), disminuye el grado de reducción de presión y viceversa.
En una situación de este tipo, cuando se acciona el motor 30, la rotación del motor 30 se transmite al árbol rotatorio 20 a través de la polea motriz 32, la correa de polea 34 y la polea 28, con el resultado de que el disco rotatorio 12 fijado al árbol rotatorio 20 se hace rotar. Con la rotación del disco rotatorio 12, un fluido (aire) (A) en la superficie superior del disco rotatorio 12 se descarga hacia fuera por la fuerza centrífuga debida a la rotación, es decir el fluido (aire) (A) en el disco rotatorio 12 se descarga hacia fuera a través de una pluralidad de trayectorias de flujo de fluido (aire) (A) 36 formadas en espacios entre la superficie superior del disco rotatorio 12 y la superficie inferior de la oblea (W), divididos por pares de palas opuestas entre sí.
Se crea una presión reducida en las trayectorias de flujo de fluido (aire) (A) 36 por descarga hacia fuera del fluido (aire) (A). Mediante la fuerza de succión de la presión reducida, el fluido (aire) (A) introducido desde la abertura de extremo inferior 24 de la sección hueca 22 en el árbol rotatorio 20 se suministra sobre la superficie superior del disco rotatorio 12 pasando a través de la sección hueca 22 y el orificio pasante 14, y el fluido (aire) (A), posteriormente a esto, se descarga de manera continua hacia fuera a través de las trayectorias de flujo de fluido (aire) (A) 36, con el resultado de que la presión reducida continúa manteniéndose en las trayectorias de flujo de fluido (aire) (A) 36.
Siempre que el disco rotatorio mantenga su rotación, la presión reducida se mantiene presente en las trayectorias de flujo de fluido (aire) (A) 36. La oblea (W) se sujeta de manera fija mientras rota sobre los apoyos de oblea 18 por la periferia de la misma por la fuerza de succión de la presión reducida en las trayectorias de flujo de fluido (aire) 36. En ese momento, la superficie posterior de la oblea (W) se ubica por encima de la superficie superior de las palas 16 sin contacto con la superficie superior de las palas.
Cuando la fuerza de succión de la presión reducida es excesivamente fuerte, aparece una posibilidad de inconveniente si una oblea delgada (por ejemplo, de 0,1 mm o menos de grosor) se abomba en la parte media. En la invención, sin embargo, puesto que el grado de apertura de la sección hueca 22 en el árbol rotatorio 20 puede regularse libremente por los medios de control de reducción de presión 26, una oblea delgada (W) puede sujetarse de manera fija mientras rota sobre los apoyos de oblea 18 sin abombarse, debilitando la fuerza de succión mediante una disminución en la reducción de presión provocada por una abertura más ancha de la sección hueca 22.
Debe apreciarse que aunque hay muchos casos en los que se produce arqueo de manera natural en una oblea tan delgada como del orden de 100 ¡.tm o menos, incluso el arqueo de una oblea de este tipo desaparece por la fuerza centrífuga debida a la rotación y la oblea puede sujetarse mientras rota sin ningún problema cuando se sitúa la oblea en un estado intacto que tiene un arqueo en un aparato de sujeción rotatorio de oblea de la invención y por consiguiente, no es necesaria la corrección del arqueo de una oblea antes de sujetar la oblea durante la rotación tal como sucede en la práctica convencional, obteniendo de este modo una ventaja porque puede ahorrarse tiempo y trabajo requeridos para la corrección. No es necesario decir que puesto que el arqueo de una oblea no se corrige por la sujeción durante la rotación, el arqueo reaparece después del cese de la rotación.
Aunque en el ejemplo mostrado en las figuras 1 y 2, se muestra un caso en el que las palas 16 están montadas en la superficie superior del disco rotatorio 12 en un estado radial, también pueden disponerse palas curvadas o una pala curvada 16 en un estado radial tal como se muestra en la figura 3 o en un estado de espiral o voluta tal como se muestra en la figura 4. Cuando las palas rectas 16 o las palas curvadas 16 se proveen en un estado radial, existe naturalmente la necesidad de usar una pluralidad de palas rectas o curvadas 16 para formar una pluralidad de trayectorias de flujo de fluido 36, pero cuando las palas o pala curvadas 16 se proveen en un estado de espiral o voluta, puede usarse una pluralidad de palas curvadas 16, pero tal como se muestra en la figura 4 la pala individual 16 puede usarse para formar una única trayectoria de flujo de fluido 36, posibilitando de este modo que una estructura de este tipo ejerza una acción y un efecto similares a los de otros ejemplos.
Debe apreciarse que aunque en el ejemplo mostrado en las figuras, la pala o palas se montan en la superficie superior del disco rotatorio 12 como cuerpo o cuerpos separados, la pala o palas 16 pueden formarse en la superficie superior del disco rotatorio 12 solidariamente con el mismo al ranurar la capa de superficie superior como la trayectoria o trayectorias de flujo de fluido 36 para dejar una parte o partes elevadas, que quedan por detrás, que corresponden a la pala o palas 16 en la superficie superior del disco rotatorio 12 puesto que sólo se requiere formar la trayectoria o trayectorias de flujo de fluido 36 en la superficie superior del disco rotatorio 12 usando una acción de la pala o palas 16.
Un aparato de sujeción rotatorio de oblea de la invención puede realizarse de diversas maneras de modificación o alteración distintas de los ejemplos mostrados en las figuras anteriores, lo que se describirá a continuación. La figura 5 es una vista lateral en sección que muestra otra realización de un aparato de sujeción rotatorio de oblea de la invención de manera simplificada, la figura 6 es una vista desde arriba ampliada del disco rotatorio de la figura 5, la figura 7 es una vista ampliada adicionalmente de una parte principal del disco rotatorio de la figura 6 y la figura 8 es una vista en sección transversal parcial de la figura 7.
En las figuras 1 y 2, aunque se describe el caso en el que el aire se usa como fluido (A), pueden usarse otros fluidos distintos del aire, tal como se ha descrito anteriormente. En la figura 5, se muestra un caso en el que usa una nebulización de agua pura, como fluido (A), obtenida al mezclar agua pura y aire entre sí. En una cámara de mezclado 40, se mezclan entre sí agua pura suministrada desde un tanque de agua pura 42 y aire suministrado por separado para formar nebulización de agua pura (A) compuesta por agua pura y aire, y la nebulización de agua pura
(A) se suministra a un controlador de velocidad de flujo 26A a través de un conducto 44. La nebulización de agua pura (A) cuya velocidad de flujo se controla mediante el controlador de velocidad de flujo 26A se guía sobre la superficie superior del disco rotatorio 12 pasando a través de la sección hueca 22 en el árbol rotatorio 20, de manera similar a los casos de las figuras 1 y 2.
Debe apreciarse que aunque el aire en la figura 5 puede aspirarse por la fuerza de succión de una presión reducida creada en las trayectorias de flujo de fluido 36 descritas anteriormente, el aire en esta realización se suministra de manera forzosa a la cámara de mezclado 40 mediante medios de suministro forzoso de fluido 38 tal como un compresor o un motor, y por tanto, la nebulización de agua pura (A) obtenida mediante mezclado en la cámara de mezclado 40 se suministra también de manera forzosa al orificio pasante 14 por medio del conducto 44 y la sección hueca 22 bajo la influencia de los medios de suministro forzoso de fluido 38. Habiendo adoptado una construcción de este tipo, se impide que un líquido químico suministrado sobre la superficie superior de la oblea con el fin de tratar la superficie superior de la misma se deslice sobre la superficie inferior de la oblea. Este efecto se logra inyectando el fluido (A) suministrado de manera forzosa, sobre la superficie inferior de la oblea.
En la figura 5, una referencia numérica 46 indica una placa deflectora dispuesta por encima del orificio pasante 14 formado en la sección central del disco rotatorio 12. El fluido (nebulización de agua pura) (A) que va a suministrarse sobre la superficie superior del disco rotatorio 12 por medio del orificio pasante 14 se guía en las direcciones de las palas 16 por la placa deflectora 46.
Con esta placa deflectora 46 dispuesta, se obtienen ventajas puesto que se impide que la oblea (W) tenga un accidente en el que la oblea se contamine con impurezas, etc. incluso cuando están mezcladas impurezas en el fluido (A) puesto que el fluido (A) no se inyecta directamente sobre la superficie inferior de la oblea (W) y además, se impide que se produzca la evacuación ascendente del fluido (A) incluso cuando la oblea se rompe inesperadamente durante el funcionamiento.
En el caso en el que como fluido (A) se adopta nebulización de agua pura, el aclarado del lado posterior puede llevarse a cabo simultáneamente mediante nebulización de agua pura inyectada sobre la superficie inferior de la oblea (W) cuando se efectúa ataque ácido suministrando un líquido de ataque ácido en la superficie superior de la oblea (W) durante la rotación .
En esta realización, los apoyos de oblea 18, tal como se muestra en las figuras 7 y 8, incluyen vástagos de guía de lado inferior 18a que reciben la superficie inferior de la oblea (W) y vástagos de guía de lado externo 18b que reciben la superficie de lado externo de la oblea (W), que es diferente del ejemplo mostrado en las figuras 1 y 2. la construcción de partes distintas a las descritas anteriormente es similar a la de las figuras 1 y 2, razón por la cual, no se repite la descripción.
Con la construcción anterior, de manera similar al caso de las figuras 1 y 2, cuando el disco rotatorio 12 se hace rotar, un fluido (A) en la superficie superior del disco rotatorio 12 se descarga hacia fuera por la fuerza centrífuga debida a la rotación, es decir el fluido (A) que ha pasado a través del orificio pasante 14 se guía lateralmente por la acción de la superficie inferior de la placa deflectora 46 y después de esto, el fluido (A) en la superficie superior del disco rotatorio 12 se descarga hacia el exterior a través de las trayectorias de flujo de fluido 36 formadas en los espacios entre la superficie superior del disco rotatorio 12 y la superficie inferior de la oblea (W), divididos por pares de palas 16, 16 opuestas entre si.
Además, al suministrar el fluido (A) de manera forzosa, tal como se ha descrito anteriormente, el fluido (A) se inyecta intencionadamente sobre la superficie inferior de la oblea y puede impedirse que un liquido químico tal como un líquido de ataque ácido, que se suministra sobre la superficie superior de la oblea, se deslice sobre la superficie inferior de la oblea. No es necesario decir que puede efectuarse un suministro forzado del fluido (A), independientemente de si la placa deflectora 46 está presente o no.
En un aparato de sujeción rotatorio de oblea de la invención, cuando se vierte un líquido químico (8) o similar sobre la superficie superior de una oblea (W) sujeta durante la rotación, se tira de la oblea en un sentido opuesto al sentido de rotación del aparato de sujeción rotatorio 10 por la acción de la viscosidad del líquido químico (8) o similar, lo que provoca una diferencia en la velocidad de rotación entre la oblea (W) y el aparato de sujeción rotatorio 10 (figura 9). Con tal diferencia en la velocidad de rotación, se producen muchos problemas: daños debidos al aumento de la fricción de contacto entre la superficie inferior de la oblea y los vástagos de guía de lado inferior provocado por el desplazamiento de rotación; fluctuaciones en un estado después de un tratamiento de ataque ácido o similar de la oblea debido a una rotación no uniforme de la oblea; aumento del deslizamiento del líquido químico (8) o similar sobre la superficie inferior de la oblea debido a la disminución de la fuerza centrífuga provocada por la reducción en la velocidad de rotación de la oblea; y otros problemas.
Con el fin de evitar tales problemas, un receptor de superficie plana de orientación (FP) que se pone en contacto con una superficie plana de orientación (F) de una oblea (W), por ejemplo un vástago retenedor de superficie plana de orientación (figura 10), Y un receptor de muesca (NP) que se pone en contacto con una muesca (N) de la oblea (W), por ejemplo un vástago retenedor de muesca (figura 11), se montan en la superficie superior del disco rotatorio 12 y así, no surge el desplazamiento de rotación entre la oblea (W) y el aparato de sujeción rotatorio 10, con el resultado de que no se produce ninguno de los problemas provocados por la diferencia en la velocidad de rotación.
Un aparato de sujeción rotatorio de oblea de este tipo de la invención puede emplearse preferiblemente en aparatos, tales como un aparato de ataque ácido por centrifugación, un aparato de secado por centrifugación, un aparato de recubrimiento por centrifugación y aparatos similares, en los que se trata una oblea mientras rota.
La figura 12 es una vista lateral en sección de un aparato de tratamiento de superficie de oblea con un mecanismo de recuperación de líquido residual de manera simplificada y muestra un estado en el que se carga o descarga una oblea. La figura 13 es una vista lateral en sección del aparato de tratamiento de superficie de oblea que muestra un estado del aparato, de manera simplificada, cuando todo el mecanismo de recuperación de líquido residual se eleva con respecto al estado de la figura 12 y se usa la cuba de recuperación de líquido residual de lado interno. La figura 14 es una vista lateral en sección del aparato de tratamiento de superficie de oblea que muestra un estado del aparato, de manera simplificada, cuando sólo la cuba de recuperación de líquido residual de lado interno se mueve hacia abajo con respecto al estado de la figura 13 y se usa la cuba de recuperación de líquido residual intermedia. La figura 15 es una vista lateral en sección del aparato de tratamiento de superficie de oblea que muestra un estado del aparato, de manera simplificada, cuando sólo la cuba de recuperación de líquido residual intermedia se mueve hacia abajo con respecto al estado de la figura 14 y se usa la cuba de recuperación de líquido residual de lado externo.
En las figuras 12 a 15, una referencia alfabética (8) indica un aparato de tratamiento de superficie de oblea con un mecanismo de recuperación de líquido residual, que incluye: un mecanismo de recuperación de líquido residual anular 50 cuya sección central es una sección hueca (H); y un aparato de sujeción rotatorio de oblea 10 dispuesto en el interior de la sección hueca (H). El aparato de sujeción rotatorio de oblea 10 incluye: un elemento de sujeción de oblea 10a; y un árbol rotatorio 20 que sujeta el elemento de sujeción de oblea 10a de manera que puede rotar libremente. El mecanismo de recuperación de líquido residual 50 incluye: un elemento inclinado externo anular 52 que se extiende hacia fuera con una inclinación descendente; y una sección cilíndrica de esquina externa 54 formada al doblar hacia dentro la parte de extremo distal del elemento inclinado externo 52. Dentro del elemento inclinado externo 52, están previstos un elemento inclinado intermedio 56 en un estado inclinado similar al elemento inclinado externo 52; y una sección cilíndrica de esquina intermedia 58 formada al doblar hacia dentro la parte de extremo distal del elemento inclinado intermedio 56. Todavía dentro del elemento inclinado intermedio 56, están previstos un elemento inclinado interno 60 en un estado inclinado similar al elemento inclinado intermedio 56; y una sección cilíndrica de esquina interna 62 formada al doblar hacia dentro la parte de extremo distal del elemento inclinado interno 60.
El elemento inclinado externo 52 y la sección cilíndrica de esquina externa 54 pueden moverse en vertical y por tanto, todo el mecanismo de recuperación de líquido residual 50 puede moverse en vertical con relación al aparato de sujeción rotatorio de oblea 10. El elemento inclinado intermedio 56 y la sección cilíndrica de esquina intermedia 58 se ensamblan para poder moverse en vertical con relación al elemento inclinado externo 52 y la sección cilíndrica de esquina externa 54, en el que la superficie externa del elemento inclinado intermedio 56 se mantiene en contacto con la superficie interna del elemento inclinado externo 52, y la superficie externa de la pared externa 58a de la sección cilíndrica de esquina intermedia 58 se mantiene en contacto deslizable con la superficie externa de la pared interna 54b de la sección cilíndrica de esquina externa 54.
El elemento inclinado interno 60 y la sección cilíndrica de esquina interna 62 pueden moverse verticalmente con relación al elemento inclinado intermedio 56 y la sección cilíndrica de esquina intermedia 58, la superficie externa del elemento inclinado interno 60 se mantiene en contacto con la superficie interna del elemento inclinado intermedio 56 y la superficie externa de la pared externa 62a de la sección cilíndrica de esquina interna 62 se mantiene en contacto deslizable con la superficie externa de la pared interna 58b de la sección cilíndrica de esquina intermedia
58.
La cuba de recuperación de líquido residual anular de lado externo 64 se forma con el elemento inclinado externo 52, la sección cilíndrica de esquina externa 54, y partes del elemento inclinado intermedio 56 y la pared externa 58a de la sección cilíndrica de esquina intermedia 58. La cuba de recuperación de líquido residual anular intermedia 66 se forma con el elemento inclinado intermedio 56, la sección cilíndrica de esquina intermedia 58, y partes del elemento inclinado interno 60 y la pared externa 62a de la sección cilíndrica de esquina interna 62. La cuba de recuperación de líquido residual anular de lado interno 68 se forma con el elemento inclinado interno 60 y la sección cilíndrica de esquina interna 62.
Por tanto, el mecanismo de recuperación de líquido residual 50 incluye una pluralidad de las cubas de recuperación de líquido residual anulares 64, 66 Y 68 (3 piezas en el ejemplo mostrado en las figuras) y las cubas de recuperación de líquido residual 64, 66 Y 68 se montan de manera móvil en vertical unas con respecto a otras. Las partes inferiores de las cubas de recuperación de líquido residual 64, 66 Y 68 están inclinadas en una dirección y las tuberías de recuperación de líquido residual 70, 72 Y 74 están previstas cada una en la parte más baja de la inclinación. Una referencia numérica 76 indica medios de vertido de líquido de tratamiento que vierten un líquido químico o un líquido de limpieza y los medios de vertido de líquido de tratamiento incluyen una pluralidad de tuberías de vertido 76a, 75b y 76c (3 piezas en el ejemplo mostrado en las figuras) dispuestas en vertical.
Las operaciones en el aparato de tratamiento de superficie de oblea (8) con el mecanismo de recuperación de líquido residual se describirán según la construcción descrita anteriormente; por ejemplo, cuando se llevan a cabo cada uno de ataque ácido con ácido mixto, ataque ácido con ácido fluorhídrico diluido y limpieza por aclarado. En primer lugar, el mecanismo de recuperación de líquido residual 50, tal como se muestra en la figura 12, se posiciona de tal manera que el extremo más alto del lado interno del elemento inclinado externo 52 adopta una altura del mismo algo inferior a la posición de sujeción de una oblea (W) del aparato de sujeción rotatorio de oblea 10. En esta situación, la oblea (W) está sujeta en su sitio en el aparato de sujeción rotatorio de oblea 10.
Entonces, cuando se lleva a cabo el ataque ácido con ácido mixto, todo el mecanismo de recuperación de líquido residual 50, tal como se muestra en la figura 13, se eleva de tal manera que el extremo superior de la pared interna 62b de la sección cilíndrica de esquina interna 62 se posiciona en las proximidades de la posición de sujeción de la oblea (W) del aparato de sujeción rotatorio de oblea 10. En esta situación, la oblea se hace rotar y el ataque ácido con ácido mixto se realiza simultáneamente mediante el vertido de la disolución acuosa de ácido mixto (a continuación en el presente documento denominada simplemente ácido mixto) sobre la superficie superior de la oblea CN) durante la rotación desde la tubería de vertido 76a para el ácido mixto después de que los medios de vertido de líquido de tratamiento 76 se muevan hasta una posición de vertido de los mismos. En ese momento, se hace que el ácido mixto que se ha vertido sobre la superficie superior de la oblea CN) se desplace hacia fuera por la fuerza centrífuga de la oblea (W) durante la rotación y el ácido mixto usado que se mueve por el aire se recoge dentro de la cuba de recuperación de líquido residual de lado interno 68 a través de una abertura 68a y después de esto, el ácido mixto usado así recogido fluye hacia abajo a lo largo de la inclinación de la parte inferior de la cuba de recuperación de líquido residual de lado interno 68 para recuperarse eventualmente a través de la tubería de recuperación de líquido residual 74 para ácido mixto usado.
Cuando se lleva a cabo el ataque ácido con ácido fluorhídrico diluido, el elemento inclinado interno 60 y la sección cilíndrica de esquina interna 62, tal como se muestra en la figura 14, se mueven hacia abajo con respecto al estado de la figura 13 de tal manera que el extremo superior del elemento inclinado interno 60 se posiciona en las proximidades de la posición de sujeción de la oblea CN) del aparato de sujeción rotatorio de oblea 10. En esta situación, la oblea (W) se hace rotar y el ataque ácido con ácido diluido se realiza simultáneamente mediante el vertido de la disolución acuosa diluida de ácido fluorhídrico (a continuación en el presente documento denominado simplemente ácido fluorhídrico diluido) sobre la superficie superior de la oblea (W) durante la rotación desde la tubería de vertido 76b para el ácido fluorhídrico diluido de los medios de vertido de líquido de tratamiento 76. En ese momento, se hace que el fluorhídrico diluido que se ha vertido en la superficie superior de la oblea CN) se desplace hacia fuera por la fuerza centrífuga de la oblea (W) durante la rotación y el ácido fluorhídrico diluido usado que se mueve por el aire se recoge dentro de la cuba de recuperación de líquido residual intermedia 66 a través de una abertura 66a y después de esto, el ácido fluorhídrico diluido usado así recogido fluye hacia abajo a lo largo de la inclinación de la parte inferior de la cuba de recuperación de líquido residual intermedia 66 para recuperarse eventualmente a través de la tubería de recuperación de líquido residual 72 para ácido fluorhídrico diluido usado.
Cuando se lleva a cabo la limpieza mediante aclarado, el elemento inclinado intermedio 56 y la sección cilíndrica de esquina intermedia 58, tal como se muestra en la figura 15, se mueven hacia abajo con respecto al estado de la figura 14 de tal manera que el extremo superior del elemento inclinado intermedio 56 se posiciona en las proximidades de la posición de sujeción de la oblea CN) del aparato de sujeción rotatorio de oblea 10. En esta situación, la oblea (W) se hace rotar y la limpieza por aclarado se realiza simultáneamente mediante el vertido de agua pura sobre la superficie superior de la oblea (W) durante la rotación desde la tubería de vertido 76c para el agua pura de los medios de vertido de líquido de tratamiento 76. En ese momento, se hace que el agua pura que se ha vertido en la superficie superior de la oblea (W) se desplace hacia fuera por la fuerza centrífuga de la oblea (W) durante la rotación y el agua pura usada que se mueve por el aire se recoge dentro de la cuba de recuperación de líquido residual de lado externo 64 a través de una abertura 64a y después de esto, el agua pura usada así recogida fluye hacia abajo a lo largo de la inclinación de la parte de la cuba de recuperación de líquido residual de lado externo 64 para recuperarse eventualmente a través de la tubería de recuperación de líquido residual 70 para líquido de aclarado usado.
Después de que finalicen el ataque ácido con ácido mixto, el ataque ácido con ácido fluorhídrico diluido y la limpieza por aclarado, no sólo se elevan el elemento inclinado intermedio 56, la sección cilíndrica de esquina intermedia 58, el elemento inclinado interno 60 y la sección cilíndrica de esquina interna 62, sino que todo el mecanismo de recuperación de líquido residual 50 se mueve hacia abajo de tal manera que el extremo más alto del lado interno del elemento inclinado externo 52, tal como se muestra en la figura 12, adopta una altura del mismo algo inferior a la posición de sujeción de una oblea (W) del aparato de sujeción rotatorio de oblea 10. En esta situación, la oblea CN) se extrae del aparato de sujeción rotatorio de oblea 10.
Según un aparato de sujeción rotatorio de oblea de la invención, tal como se describió anteriormente, pueden ejercerse efectos como que se crea una presión reducida en la superficie superior de un disco rotatorio usando un mecanismo simple y fácil de fabricar sin necesidad de ninguno de un aparato de fuente de vacío, un aparato de suministro de aire comprimido, un aparato de suministro de gas comprimido y otros aparatos en uso; una oblea puede sujetarse mientras rota sin contacto con la superficie posterior del mismo; y puede ajustarse con facilidad el grado de reducción de presión e incluso puede sujetarse una oblea delgada (de 0,1 mm o menos de grosor) mientras rota sin deformación.
En un aparato de tratamiento de superficie de oblea, pueden ejercerse efectos como que una pluralidad de líquidos residuales, especialmente tres o más clases de líquidos residuales, pueda recuperarse por separado de manera eficaz y continua según las clases de un líquido de tratamiento y un líquido de limpieza, y por tanto puede aumentarse la productividad; y además puede sujetarse una oblea muy delgada de 100 11m o menos de grosor mientras rota usando sólo contactos con la periferia de la oblea; y además también pueden emplearse limpieza usando una boquilla de chorro ultrasónico y limpieza con cepillo.
Obviamente, son posibles diversos cambios y modificaciones menores de la presente invención a la luz de la enseñanza anterior. Debe comprenderse por tanto que dentro del alcance de las reivindicaciones adjuntas la invención puede ponerse en práctica de modo distinto al descrito específicamente.

Claims (10)

  1. REIVINDICACIONES
    1. Aparato de sujeción rotatorio de oblea que comprende:
    un disco rotatorio (12) en el que se forma una trayectoria de flujo de fluido;
    un orificio pasante (14) formado en una sección central del disco rotatorio; y
    palas (16) en la superficie superior de dicho disco rotatorio (12);
    una placa deflectora (46) prevista en la superficie superior de dicho disco rotatorio y por encima del orificio pasante (14) formado en una sección central del disco rotatorio (12) de tal manera que un fluido (A) suministrado sobre la superficie superior del disco rotatorio (12) que pasa a través del orificio pasante (14) se guía en la dirección de pala con la placa deflectora (46); y
    una pluralidad de apoyos de oblea (18) previstos en una superficie superior del disco rotatorio (12), en el que una oblea se sitúa sobre los apoyos de oblea (18), por encima del disco rotatorio con una separación entre ambos, y en el que cuando el disco rotatorio (12) se hace rotar, un fluido en la trayectoria de flujo de fluido (A) (36) se descarga hacia fuera por la fuerza centrífuga debida a la rotación; de este modo se crea una presión reducida en la trayectoria de flujo de fluido (A) (36) Y se mantiene siempre que el disco rotatorio
    (12) se hace rotar, a través de un proceso en el cual un fluido (A) se aspira por la fuerza de succión de la presión reducida desde el lado de superficie inferior del disco rotatorio (12) a través del orificio pasante (14), y el fluido aspirado se suministra sobre la superficie superior del disco rotatorio (12) para descargarse hacia fuera de manera continua pasando a través de la trayectoria de flujo de fluido (A) (36), con el resultado de que la oblea se arrastra hacia abajo por la fuerza de succión de la presión reducida y se sostiene con fuerza sobre los apoyos de oblea mientras rota.
  2. 2.
    Aparato de sujeción rotatorio de oblea según la reivindicación 1, que comprende además: medios de suministro forzoso de fluido que suministran un fluido de manera forzosa a través del orificio pasante desde el lado de superficie inferior del disco rotatorio, en el que el fluido se suministra a través del orificio pasante de manera forzada desde el lado de superficie inferior del disco mientras que se mantiene la presión reducida.
  3. 3.
    Aparato de sujeción rotatorio de oblea según la reivindicación 1 ó 2, en el que palas rectas o curvadas se proveen en un estado radial, o una sola pala curvada se prevé en un estado de espiral o voluta en la superficie superior del disco rotatorio y la trayectoria o trayectorias de flujO de fluido se forman en espacios entre la superficie superior del disco rotatorio y una superficie inferior de la oblea, dividiéndose por pares de palas o partes de pala opuestas.
  4. 4.
    Aparato de sujeción rotatorio de oblea según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 3, en el que un árbol rotatorio a través del que se forma una sección hueca en comunicación con el orificio pasante a lo largo de la dirección axial del mismo está previsto en vertical en la sección central de la superficie inferior del disco rotatorio y cuando el árbol rotatorio y el disco rotatorio se hacen rotar, un fluido introducido por succión desde una abertura de extremo inferior de la sección hueca del árbol rotatorio se suministra sobre la superficie superior del disco rotatorio pasando a través de la sección hueca y del orificio pasante.
  5. 5.
    Aparato de sujeción rotatorio de oblea según la reivindicación 4, que comprende además: medios de control de reducción de presión que controlan una presión reducida en la trayectoria de flujo de fluido ajustando el grado de apertura de la sección hueca, montada en una posición apropiada a lo largo del árbol rotatorio.
  6. 6.
    Aparato de sujeción rotatorio de oblea según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 5, en el que los apoyos de oblea se construyen con vástagos de guía de lado inferior que reciben la superficie inferior de una oblea y vástagos de guía de lado externo que reciben la superficie de lado externo de la oblea.
  7. 7.
    Aparato de sujeción rotatorio de oblea según cualquiera de las reivindicaciones 3 a 5, en el que los apoyos de oblea se sitúan en la superficie superior de las palas rectas o curvadas, o la superficie superior de la pala curvada.
  8. 8.
    Aparato de sujeción rotatorio de oblea según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 7, en el que un receptor de superficie plana de orientación que recibe una superficie plana de orientación de la oblea se prevé en la superficie superior del disco rotatorio.
  9. 9.
    Aparato de sujeción rotatorio de oblea según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 7, en el que un receptor de muesca que recibe una muesca de la oblea se prevé en la superficie superior del disco rotatorio.
  10. 10.
    Aparato de sujeción rotatorio de oblea según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 9, en el que el fluido es un gas y/o un líquido.
    ---
    ,--,----_._._---_._---,-----
    FIG.l FIG.2
    /10 /10
    A 16
    /A
    )
    16 A
    FIG.3
    sentido derotadón
    FIG.4
    sentido de rotación
    FIG.5
    1~ W~~
    vástago de guia de lado externo j
    18b
    FIG.6
    18b vástago de guía de lado extemo
    18a vástago de guía de lado inferior 18 pala
    Woblea
    disco rotatorio 46
    placa deflectora
    18a vástago de guía de lado inferior 18b vástago de guía de lado externo
    · FIG. 7
    12 disco rotatorio
    FIG.S
    1ab vástago de guía de lado externo
    12 disco rotatorto
    FIG.9
    / 10
    sentido en el que se arrastra la oblea
    FIG.l0
    F I G.'11
    FIG. 12
    en carga o descarga
    ácido mixto
    ácido mixto
    68 66
    FIG.14
    en ataque químico con ácido fluorhídrico diluido
    áddo mixto
    20
    recuperación de ácido fluomídlico diluido
    FIG. 15
    en limpieza por aclarado
    áddo mixto
    760 ----~.
    H
    74
    recuperadón de líquido de adarado
    20
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