EP1506326A1 - Strukturiertes schichtsystem - Google Patents

Strukturiertes schichtsystem

Info

Publication number
EP1506326A1
EP1506326A1 EP03711781A EP03711781A EP1506326A1 EP 1506326 A1 EP1506326 A1 EP 1506326A1 EP 03711781 A EP03711781 A EP 03711781A EP 03711781 A EP03711781 A EP 03711781A EP 1506326 A1 EP1506326 A1 EP 1506326A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
layer
workpiece
layer system
workpiece according
sliding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP03711781A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Orlaw Massler
Christian Wohlrab
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oerlikon Surface Solutions AG Pfaeffikon
Original Assignee
Unaxis Balzers AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Unaxis Balzers AG filed Critical Unaxis Balzers AG
Publication of EP1506326A1 publication Critical patent/EP1506326A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
    • F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
    • F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
    • F16C33/10—Construction relative to lubrication
    • F16C33/1025—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
    • F16C33/106—Details of distribution or circulation inside the bearings, e.g. details of the bearing surfaces to affect flow or pressure of the liquid
    • F16C33/1075—Wedges, e.g. ramps or lobes, for generating pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
    • F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/58—After-treatment
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
    • F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
    • F16C33/043—Sliding surface consisting mainly of ceramics, cermets or hard carbon, e.g. diamond like carbon [DLC]
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
    • F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
    • F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
    • F16C33/10—Construction relative to lubrication
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
    • F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
    • F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
    • F16C33/10—Construction relative to lubrication
    • F16C33/1025—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
    • F16C33/103—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant retained in or near the bearing
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2206/00—Materials with ceramics, cermets, hard carbon or similar non-metallic hard materials as main constituents
    • F16C2206/02—Carbon based material
    • F16C2206/04—Diamond like carbon [DLC]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S384/00—Bearings
    • Y10S384/90—Cooling or heating
    • Y10S384/907—Bearing material or solid lubricant
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24355—Continuous and nonuniform or irregular surface on layer or component [e.g., roofing, etc.]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24479—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including variation in thickness
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/30—Self-sustaining carbon mass or layer with impregnant or other layer

Definitions

  • the invention relates to a workpiece coated with a layer system according to the preamble of patent claims 1 and 4, and to a method for producing such a workpiece according to the preamble of patent claims 18 and 20.
  • Preferred embodiments of the invention are in the corresponding dependent claims 2 to 3, 5 to 17, and 19 and 21 to 27 claimed.
  • US Pat. No. 4,573,690 discloses a body moved against a sealing ring with defined depressions on the surface and a mechanical method for producing the depressions.
  • the latter in use, cause pressure fluctuations of a lubricant introduced between the sealing ring and the body, which is to avoid tearing off the lubricating film and thus direct contact with solid surfaces.
  • No. 5,473,138 describes a method for enlarging metallic and ceramic surfaces by means of laser radiation.
  • WO 98/14710 describes a method for producing a plain bearing, with an optimized pore distribution, for example is generated by means of a pulse laser on a sliding surface of a bearing.
  • a disadvantage of the above-mentioned components is that, in the event of insufficient lubrication conditions, contact between two materials that are similar or even identical in terms of their surface properties is still possible. Cold welding or seizure of, for example, a metallic material combination (eg sealing ring / counter body) cannot always be reliably avoided under such conditions. This also applies in particular to complex machines with tribologically stressed parts, on which, due to high relative speeds and / or surface pressures, conditions of insufficient lubrication and correspondingly increased wear can occur. Examples from engine construction are valve drives in modern, high-performance internal combustion engines, in which bucket tappets and piston rings in particular are exposed to extremely high loads. Tools with a textured surface structure are also known from U. Popp et al.
  • microstructures into a layer system applied at least partially on the functional surface (s) of a workpiece such that the vertical expansion of the (three-dimensional) microstructure extends from the surface of the layer system through the layer into the workpiece extends so that it is uncoated in a lower region of the structure.
  • a ratio d / s of the layer thickness d to the structure depth s between 0.05 and 0.9, preferably between 0.1 and 0.6.
  • the for setting the retention of lubricants as well as the structural depth • and geometry substantial area coverage, ⁇ ie the ratio of the surface of the microstructure to the total with a textured pattern provided surface was set between 10 and 50%, the best results but with a degree of area coverage achieved by 15-35%.
  • the cross section of the recesses was used for small structures or structural cross sections, i.e. Structures with the largest lateral dimension between 5 and 350 ⁇ m, circular, but preferably chosen conical.
  • the tangential angle i.e. the angle between the surface horizontal and a straight line that is intended to be adjacent to the sloping structure flank, as flat as possible, i.e. below 20 °, but preferably below 10 ° or 5 °.
  • the structures were produced using a laser beam, with circular structures being produced for the sake of simplicity.
  • circular structures being produced for the sake of simplicity.
  • differently shaped structures for example circular, elliptical, linear, triangular, quadrangular or polygonal, or else more complex structures, can also be used advantageously in individual applications.
  • test results also surprisingly showed that workpieces coated with DLC and with Me / C, MeC / C or WC / C sliding layer systems, even with conventionally produced structures, significantly improve the tribological properties compared to structured hard layers such as e.g. Enable TiAlN or previously known structured TiN layers.
  • aC: H: Si, ie silicon / carbon layers, aC: H: Si: Me, ie silicon / carbon / metal layers, aC: H / a- Si: 0, ie carbon / silicon oxide layers are suitable, which can be produced with properties similar to the above-mentioned carbon-containing layers.
  • tungsten In addition to the tungsten mentioned here, other metals, such as Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, or Fe, but preferably Cr for the Me / C, MeC / C and aC: H: Si: Me layers are used. A combination of several metals is also possible.
  • the first layer of the layer system is advantageously an adhesive layer consisting of one or more metals of the abovementioned selection. If the layer system consists of at least one hard layer and at least one carbon-containing sliding layer, an additional metallic intermediate layer which separates the hard layer and sliding layer can be advantageous. A combination of several metals, in particular those mentioned above, is also possible.
  • graded layer transitions can also be used to optimize the layer properties. For example, it is advantageous to provide carbon-containing layers with a proportion of carbon rising from a metallic adhesive layer towards the surface.
  • the total layer thickness of the layer system can be set between 0.5-20 ⁇ m depending on the planned application. Due to the abrasive wear due to the introduction of particles, which often also occurs in lubricated tribological systems, a minimum layer thickness of one micrometer is preferable in many cases. Due to the economics of the process when depositing PVD layers, a maximum layer thickness of approx.
  • Layers structured according to the invention can be used particularly advantageously on components which have at least one functional surface designed as a sliding surface. Examples of this are plain bearings, sliding seals, sealing rings, piston rings, bucket tappets, rocker arms or crankshafts.
  • Layers structured according to the invention can also be applied to tools which have at least one functional surface designed as a sliding surface.
  • tools which have at least one functional surface designed as a sliding surface. Examples of this are, in particular, cutting tools with at least one rake face for turning, broaching or milling applications or forming tools with at least one extrusion surface such as, for example, massive solid forming tools.
  • these are first coated using a combined PVD / CVD process, a layer system having been deposited on the functional surface.
  • an adhesive layer is applied using a PVD sputtering process and then an increasing proportion carbon-containing gas mixed with the working gas.
  • this proportion is increased to a desired maximum value and the coating process is then stopped (reactive PVD process step).
  • the layer system is to be completed with a DLC layer, the sputtering process is stopped at a certain point in time, a pulsed bias voltage is applied to the substrate, and the DLC layer is then deposited.
  • This last process step corresponds to a CVD process, since no physical evaporation takes place here. Further information on the methods used can be found in the examples below.
  • the structuring after the layer system had been applied to at least part of the functional area (s) was carried out using laser processing systems from different companies (for example Lambda Physik, SurTech, CMT Rickenbach).
  • the points were with a diameter between 50-250 microns and a depth of 10-15 microns in cubic and hexagonal
  • test series were largely carried out with circular structures with a largest diameter between 80 to 100 ⁇ m, in a cubic or hexagonal arrangement and an area coverage between 15 and 40%. This arrangement has given particularly good results in previous tests.
  • the workpieces were pretreated before or after the structure was applied using a customary cleaning process, attached to a substrate holder and held in a rotating rotating BAI 830-DLC coating system.
  • the DLC layer was deposited in accordance with a PVD / CVD method known from WO 0179585A1 with a chrome adhesive layer, a gradient layer and a pure DLC or a: C-H layer, the total layer thickness being approximately 2 ⁇ m.
  • the parameters used to deposit the a: C-H layer are given in the table below.
  • a hardness of 2500 HK 005 was measured on the deposited DLC layer. There was no increase in roughness compared to uncoated polished samples.
  • Geometry differs in that in addition to the two planar magnetron sputter sources equipped with Cr targets, another six sources of the same type equipped with pure WC or Co-bound WC targets are attached to the inner chamber circumference. Furthermore, a DC bias supply, but no pulse bias supply, is provided on this system.
  • a chrome adhesive layer is applied by applying a negative substrate bias (-75V ) sputtered on. Then a MeC: C-H layer with rising to the surface
  • a layer thickness of 2.0 ⁇ m and a layer hardness of 1000 HK 0 were measured on the deposited WC: CH layer.
  • the roughness was increased by approx. 0.01-0.02 Ra compared to uncoated polished samples.
  • Plasma sources - eight arc sources fixed to the inner circumference of the chamber in two different planes with a target diameter of 154 mm. Four of them (two at the top, two at the bottom) are equipped with Ti or Ti 05 Al 05 targets.
  • the applied layer system consists of a TiN adhesive layer, a multilayer with a layer sequence of alternating TiAlN layers with different Ti / Al Ratio, as well as a TiAlN top layer. Details can be found in the following table 7).
  • a layer thickness of 2.5 ⁇ m and a layer hardness of 3000 HK 005 were measured on the deposited TiAlN layer.
  • the increase in roughness was between 0.06-0.20 Ra compared to uncoated polished samples.
  • a WC: C-H layer deposited according to 4 was applied to a TiAlN layer produced according to 5).
  • a layer thickness of approx.4.5 ⁇ m and a layer hardness of 1500 were obtained on the deposited TiAlN / MeC: C-H layers
  • HK 005 measured.
  • the increase in roughness was between 0.06-0.20 Ra compared to uncoated polished samples.
  • FIG. 6 is a top view of a cubic structural pattern with circular microstructures
  • FIG. 7 is a top view of a hexagonal structure pattern with circular microstructures.
  • the section shown in FIG. 1 shows a known surface structure 3 on a workpiece 1 coated with a functional layer 2.
  • a structure was created on the uncoated body and the layer was then applied.
  • the section shown in FIG. 2 shows another known surface structure 3 ⁇ that was subsequently applied to the functional layer.
  • the structure depth is less than the layer thickness.
  • the section shown in FIG. 3 shows a microstructure 5 according to the invention with a layer system 4 on a workpiece 1.
  • the structure depth s is selected in a ratio, as described above, to the layer thickness d.
  • FIG. 4 shows micro structures 5 X with circular
  • 6 and 7 serve to explain the preferred cubic or hexagonal arrangements of surface structures according to the invention with hole spacing (center to center) of a and a, respectively.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
  • Sliding-Contact Bearings (AREA)
  • Shafts, Cranks, Connecting Bars, And Related Bearings (AREA)
  • Pistons, Piston Rings, And Cylinders (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein beschichtetes Werkstück mit einer mikrostrukturierten Oberfläche, sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung. Dabei ist die Strukturtiefe (s) der Mikrostrukturen grösser als bzw. in einem bestimmten Verhältnis zur Schichtdicke (d) eingestellt.

Description

Strukturiertes SchichtSystem
Die Erfindung betrifft ein mit einem Schichtsystem beschichtetes Werkstück gemäss dem Oberbegriff der Patentansprüche 1 und 4, sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Werkstücks gemäss dem Oberbegriff der Patentansprüche 18 und 20. Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung sind in den entsprechenden abhängigen Ansprüchen 2 bis 3, 5 bis 17, sowie 19 und 21 bis 27 beansprucht.
Das Aufbringen unterschiedlicher Strukturen auf gleitbeanspruchten Bauteilen und Komponenten, die im Bereich des Maschinenbaus, wie sie zum Beispiel in der Motoren und Pumpentechnik oder als dynamische Dichtelemente bei der Förderung von Fluiden eingesetzt werden, ist bereits seit längerem bekannt. Damit soll eine möglichst gleichmässige Verteilung eines Schmiermittels oder Fluids erreicht werden, um Mangelschmierung und die damit verbundene Gefahr einer Beschädigung oder. gar eines Festfressens gegeneinander bewegter Bauteile zu vermeiden.
Beispielsweise offenbart US 4,573,690 einen gegen einen Dichtungsring bewegten Körper mit definierten Vertiefungen auf der Oberfläche sowie ein mechanisches Verfahren zum Herstellen der Vertiefungen. Letztere, bewirken im Einsatz Druckschwankungen eines zwischen Dichtungsring und Körper eingebrachten Schmiermittels, wodurch ein Abreissen des Schmierfilms und damit ein direkter Kontakt fester Oberflächen vermieden werden soll.
Ebenso sind andere Verfahren zur Herstellung strukturierter Oberflächen bekannt. In US 5,473,138 wird ein Verfahren zur Vergrösserung metallischer und keramischer Oberflächen mittels Laserbestrahlung beschrieben. WO 98/14710 beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines Gleitlagers, wobei eine optimierte Porenverteilung beispielsweise mittels Pulslaser auf einer Gleitfläche eines Lagers erzeugt wird.
Als nachteilig wirkt sich bei obengenannten Bauteilen aus, dass bei eventuell auftretenden Zuständen der Mangelschmierung immer noch ein Kontakt zweier in Bezug auf ihre Oberflächeneigenschaften ähnlicher oder sogar identischer Materialien möglich ist. Ein Kaltverschweissen, bzw. Fressen einer beispielsweise metallischen Materialpaarung (z.B. Dichtungsring / Gegenkörper) kann unter solchen Bedingungen nicht immer sicher vermieden werden. Dies gilt besonders auch für komplexe Maschinen mit tribologisch beanspruchten Teilen, an denen auf Grund hoher Relativgeschwindigkeiten und/oder Flächenpressungen Zustände der MangelSchmierung und entsprechend erhöhter Verschleiss auftreten können. Beispiele aus dem Motorenbau sind dafür Ventiltriebe in modernen, auf hohe Leistungen ausgelegten Verbrennungsmotoren, bei denen vor allem Tassenstössel und Kolbenringe teils extrem hoher Belastung ausgesetzt sind. Auch Werkzeuge mit einer texturierten Oberflächenstruktur sind aus U. Popp et al . "Excimer Laser Texturing of Tool Surfaces and its Influence on Friction in Cold Forging" Proc . of the 2nd Int . Conf . "The Coatings in Manufacturing Engineering 2001", bekannt. Dabei wurde auf der Funktionsfläche von Fliesspresswerkzeugen, nach dem Aufbringen einer ca. 2 μ dicken TiN Schicht, mittels Excimerlaser ca. 1 μm tiefe Strukturen hergestellt. Bei anschliessend durchgeführten Tests wurde dabei eine Verbesserung der Verschleisseigenschaften festgestellt. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es die
Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit von PVD- und/oder CVD-beschichteten Werkstücken, insbesondere von Bauteilen bzw. Werkzeugen die einer starken tribologischen Beanspruchung, insbesondere einer Gleitbeanspruchung unterliegen, weiter zu erhöhen, sowie ein Verfahren zur Herstellung derartiger Werkstücke zur Verfügung zu stellen.
Dazu hat es sich überraschenderweise als wesentlicher Vorteil erwiesen, MikroStrukturen so in ein zumindest teilweise auf den Funktionsfläche (n) eines Werkstücks aufgebrachtes Schichtsystem einzubringen, dass sich die vertikale Ausdehnung der (dreidimensionalen) MikroStruktur von der Oberfläche des Schichtsystems durch die Schicht bis in das Werkstück erstreckt, so dass dieses in einem unteren Bereich der Struktur unbeschichtet vorliegt.
Aus Gründen der Reproduzierbarkeit und Produktivität als günstig erwiesen hat es sich, ein Verhältnis d/s der Schichtdicke d zur Strukturtiefe s zwischen 0.05 und 0.9, bevorzugt zwischen zwischen 0.1 und 0.6 einzustellen. Der für die Einstellung des Rückhaltevermögens von Schmiermitteln ebenso wie die Strukturtiefe • und Geometrie wesentliche Flächendeckungsgrad, ■ d.h. das Verhältnis der Oberfläche der MikroStruktur- zur gesamten mit einem Strukturmuster versehenen Oberfläche, wurde zwischen 10 und 50% eingestellt, die besten Ergebnisse aber mit einem Flächendeckungsgrad von 15-35% erzielt.
Der Querschnitt der Vertief ngen- wurde dabei für kleine Strukturen bzw. Strukturquerschnitte, d.h. Strukturen mit der grössten lateralen Abmessung zwischen 5 und 350 μm, kreisförmig, bevorzugt jedoch konisch gewählt. Vorteilhaft hat sich bei vielen Strukturen erwiesen, den Tangentialwinkel, d.h. den Winkel zwischen der Oberflächenhorizontalen und einer an der abfallenden Strukturflanke anliegend gedachten Geraden, möglichst flach d.h. unter 20°, bevorzugt jedoch unter 10° bzw. 5° einzustellen.
Die Herstellung der Strukturen erfolgte mit einem Laserstrahl, wobei der Einfachheit halber vor allem kreisförmige Strukturen hergestellt wurden. Wie dem Fachmann bekannt, können aber auch anders geformte Strukturen beispielsweise kreisförmige, elliptische, linienförmige, drei-, vier- oder mehreckige, oder auch komplexere Strukturen in einzelnen Anwendungsfällen vorteilhaft eingesetzt werden.
Weiters ist es auch bekannt, ähnliche Strukturen durch mechanische Verfahren, wie beispielsweise mittels Prägen, Schleifen, Honen, ferner mittels mikromechanischer Verfahren, aber auch durch Ätzverfahren, die sich besonders zum Herstellen von komplexen Strukturen eignen, herzustellen. Bei Letzteren können Plasmaätzverfahren oder chemische bzw. elektrochemische Ätzverfahren angewandt werden. Als Beispiel sei hier das Photolackverfahren genannt, bei dem nach Aufbringen eines photosensitiven Lacks, dieser mit einem, bei Bedarf inversen, Strukturmuster belichtet wird. Das dadurch hergestellte zweidimensionale Strukturmuster kann in einem nachfolgenden Verfahrensschritt in die Oberfläche geätzt werden. Eine weitere Möglichkeit ist das selektive Aufbringen einer ätzresistenten Lackschicht mittels unterschiedlicher Kaschiertechniken .
Zur Überprüfung der. Eignung für den Einsatz mit strukturierten Oberflächen wurden vier unterschiedliche Gleitschichtsysteme, nämlich eine a-C:H- bzw. DLC-, d.h. eine amorphe oder diamantartige KohlenstoffSchicht wie sie beispielsweise aus WO 0179585A1 bekannt ist, eine MeC/C-, d.h. eine Metall- bzw. Metallcarbid/Kohlenstoff-Schicht die auch Anteile an Wasserstoff enthält, eine Hartschicht aus TiAlN sowie eine hartschichtgestützte WC/C-Schicht getestet.
Mit allen Schichttypen wurde in einem tribologischen Kugel/Scheibetest eine Erhöhung der Standzeit der beschichteten Scheiben erzielt. Mit der DLC-, als auch mit den WC/Kohlenstoff-Schichten wurde gleichzeitig auch der Verschleiss der unbeschichteten Kugel herabgesetzt. Diese Eigenschaft ist besonders für tribologisch beanspruchte Bauteile, in denen der Verschleiss des Gesamtsystems möglichst gering zu halten ist, von Bedeutung. Sowohl das Verschleissverhalten des unbeschichteten als auch des beschichteten Prüfkörpers wurde durch die zusätzliche Strukturierung in Abhängigkeit der Strukturtiefe bzw. des Zeitpunkts der Strukturierung, d.h. vor oder nach dem Beschichten, unterschiedlich stark verbessert.
Überraschenderweise zeigten sich dabei Strukturmuster mit MikroStrukturen, die erst nach der Beschichtung angebracht wurden und sich in ihrer vertikalen Ausdehnung bis in das Grundmaterial des Werkstücks erstrecken, anderen Strukturen, die vor dem Beschichten oder nach dem Beschichten, dann aber mit einer vertikalen Ausdehnung, die geringer als die Schichtdicke ist, als überlegen. Dabei ist es von Bedeutung, dass die MikroStrukturen im unteren Bereich unbeschichtet vorliegen. Daher ist es vorteilhaft, das Strukturmuster nach der Beschichtung zu erzeugen, da es sonst, zumindest bei relativ flachen Strukturen zu einer Beschichtung der gesamten Strukturkontur kommt. Wenn auch der genaue Grund dieses Verhaltens im Detail nicht bekannt ist, so könnte ein Grund in der unterschiedlichen Benetzbarkeit des Schicht- und des Grundwerkstoffmaterials gegenüber verschiedenen Schmierflüssigkeiten liegen. Beispielsweise zeigen obengenannte DLC-Schichten eine bessere Benetzbarkeit mit Mineralöl als Stähle.
Die Testergebnisse zeigten weiters überraschenderweise, dass mit DLC sowie mit Me/C-, MeC/C- bzw. WC/C-Gleit- schichtSystemen beschichtete Werkstücke auch mit herkömmlich hergestellten Strukturen eine deutliche Verbesserung der tribologischen Eigenschaften im Vergleich zu strukturierten Hartschichten wie z.B. TiAlN bzw. vorbekannten strukturierten TiN-Schichten ermöglichen.
Wenn sich auch die Untersuchungen bis jetzt im wesentlichen auf oben erwähnte Schichtsysteme beschränkt haben, so ist es doch für den Fachmann auf dem Gebiet der Gleit- bzw. Hartstoffbeschichtung leicht nachvollziehbar, dass für ein erfindungsgemässes Werkstück bzw. Verfahren auch andere Schichten geeignet sind. Beispielsweise sind insbesondere für die Beschichtung von Bauteilen auch a-C:H:Si-, d.h. Silizium-/Kohlenstoff-Schichten, a-C :H: Si :Me-, d.h. Silizium-/Kohlenstoff-/Metall-Schichten, a-C:H/a-Si :0-, d.h. Kohlenstoff-/Siliziumoxid-Schichten, geeignet, die mit ähnlichen Eigenschaften wie oben erwähnte kohlenstoffhaltige Schichten hergestellt werden können.
Weiters können neben dem hier genannten Wolfram auch andere Metalle, wie Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, oder Fe, bevorzugt aber Cr für die Me/C-, MeC/C- und a-C :H: Si :Me-Schichten verwendet werden. Ebenso ist eine Kombinationen von mehreren Metallen möglich.
Andere Materialien, die für die Bildung zumindest der äussersten Schicht des Schichtsystems Vorteile bringen können sind MoS2, WS2, MoSe2 oder WSe2.
Vorteilhafterweise ist die erste Schicht des Schichtsystems eine Haftschicht, bestehend aus einem oder mehreren Metallen der obengenannten Auswahl. Besteht das Schichtsystem aus wenigstens einer Hartschicht und wenigstens einer kohlenstoffhaltigen Gleitschicht, kann eine zusätzliche metallische Zwischenschicht, die Hartschicht und Gleitschicht trennt, von Vorteil sein. Ebenso ist eine Kombinationen von mehreren Metallen insbesondere den oben genannten möglich.
Auch die Anwendung gradierter Schichtübergänge kann zur Optimierung der Schichteigenschaften verwendet werden. Beispielsweise ist es vorteilhaft, kohlenstoffhaltige Schichten mit einem von einer metallischen Haftschicht in Richtung zur Oberfläche ansteigenden Kohlenstoffanteil vorzusehen. Die gesamte Schichtdicke des Schichtsystems kann je nach geplanter Anwendung zwischen 0.5-20 μm eingestellt werden. Auf Grund des häufig auch in geschmierten Tribosystemen auftretenden abrasiven Verschleisses durch eingeschleppte Partikel ist aber in vielen Fällen eine Mindestschichtdicke von einem Mikrometer zu bevorzugen. Auf Grund der VerfahrensÖkonomie beim Abscheiden von PVD-Schichten wird zumindest für Produkte der Massenfertigung eine maximale Schichtdicke von ca. lOμ in Betracht kommen. Besonders vorteilhaft können erfindungsgemäss strukturierte Schichten auf Bauteilen angewandt werden, die zumindest eine als Gleitfläche ausgebildete Funktionsfläche aufweisen. Beispiele dafür sind Gleitlager, Gleitdichtungen, Dichtungsringe, Kolbenringe, Tassenstössel, Kipphebel oder Kurbelwellen.
Ebenso vorteilhaft können erfindungsgemäss strukturierte Schichten auf Werkzeuge angewandt werden, die zumindest eine als Gleitfläche ausgebildeten Funktionsfläche aufweisen. Beispiele hierfür sind insbesondere Schneidwerkzeuge mit zumindest einer Spanfläche für Dreh-, Räum- oder Fräsanwendungen bzw. Umformwerkzeuge mit zumindest einer Fliess-pressflache wie beispielsweise Kaitmassivumformwerkzeuge .
Als Grundmaterial sind Stähle ebenso wie Hartmetalle geeignet. Wird die Strukturierung mit einem Laser durchgeführt, können auch keramische Werkstoffe und Sondermetalle problemlos strukturiert werden.
In einem Ausführungsbeispiel zur Herstellung erfindungsgemässer Werkzeuge, Bauteile sowie Prüfkörper werden diese zunächst mit einem kombinierten PVD/CVD- Verfahren beschichtet, wobei ein Schichtsystem auf der Funktionsfläche abgeschieden wurde. Dabei wird zunächst eine Haftschicht mit einem PVD-Sputterprozess aufgebracht und anschliessend ein ansteigender Anteil kohlenstoffhaltigen Gases dem Arbeitsgas zugemischt. Dieser Anteil wird beim Abscheiden von Metall/Kohlenstoff- Schichten bis zu einem gewünschten Maximalwert erhöht und anschliessend der Beschichtungsprozess gestoppt (reaktiver PVD-Prozesschritt) . Soll das Schichtsystem mit einer DLC- Schicht abschliessen, werden ab einem bestimmten Zeitpunkt der Sputterprozess gestoppt, eine gepulste Biasspannung ans Substrat angelegt und anschliessend die DLC-Schicht abgeschieden. Dieser letzte Prozessschritt entspricht einem CVD-Verfahren, da hier keine physikalische Verdampfung mehr stattfindet. Weitere Angaben zu den angewandten Verfahren sind in den unten angeführten Beispielen zu finden.
Es versteht sich für den Fachmann von selbst, dass derartige Schichten auch mit reinen PVD- bzw. CVD-Prozessen hergestellt werden können, jedoch- bieten die in den Beispielen im Detail beschriebenen kombinierte Verfahren den Vorteil einer sehr grossen Prozessflexibilität und einer durch die PVD-Haftschicht besonders guten Haftung.
Die Strukturierung nach dem Aufbringen des Schichtsystems auf zumindest einem Teil der Funktionsfläche (n) erfolgte mit Laserbearbeitungssystemen unterschiedlicher Firmen (z.B. Lambda Physik, SurTech, CMT Rickenbach) . Dabei wurden unter anderem KrF Excimer Laser mit einer Wellenlänge von λ=248 nm und Energiedichten bis 6 J/cm2 verwendet. Die Punkte wurden mit einem Durchmesser zwischen 50-250 μm und einer Tiefe von 10-15 μm in kubischer sowie hexagonaler
Anordnung und einem Deckungsgrad zwischen 10 bis 50% hergestellt .
Die Testreihen wurden grossteils mit kreisförmigen Strukturen mit einem grösstem Durchmesser zwischen 80 bis 100 μm, in kubischer bzw. hexagonaler Anordnung und einem Flächendeckungsgrad zwischen 15 und 40 % durchgeführt. Diese Anordnung hat in davor durchgeführten Tests besonders gute Ergebnisse erzielt. Ausführung der Erfindung in Beispielen
1) Strukturierung
Die Strukturierung erfolgte je nach Test vor bzw. nach Aufbringen des jeweiligen Schichtsystems. Dabei wurden mit einem gepulsten, fokusierbaren Laser Strukturmuster folgender Strukturgeometrie eingebracht:
Tabelle 1) Strukturgeometrie
2) Ermittlung des Reibwerts und Verschleisstests Zur Beurteilung der Leistungsfähigkeit der Schichten wurde ein Kugel/Scheibe-Test durchgeführt, bei dem eine unbeschichtete Stahlkugel kreisförmig auf einer beschichteten strukturierten Stahlscheibe geführt wird. Dabei wurde der Reibwert, sowie der Verschleissdurchmesser an der unbeschichteten Kugel gemessen. Bei Erreichen eines Reibwerts von 0.4 wurde der Test vorzeitig abgebrochen. Die Testparameter sind in folgender Tabelle aufgeführt:
Tabelle 2) Testparameter Tribotest Kugel-Scheibe
3) DLC-Schichten
Zum Aufbringen der Beschichtung wurden die Werkstücke vor bzw. nach dem Aufbringen der Struktur nach einem üblichen Reinigungsverfahren vorbehandelt, auf einem Substrathalter befestigt und dieser in einer BAI 830-DLC Beschichtungsan- lage doppelt drehend gehaltert .
Kammerabmessungen (Neuneck) : d. = 846 mm, h = 920 mm
Kammervolumen: V = 560 1
Plasmaquellen: - Zwei gegenüberliegende, am inneren Kammerumfang besfestigte Planarmagnetron- sputterquellen AK 618 (h = 464 mm, b = 146 mm) zum Aufbringen der Chromhaftschicht .
- Pulsgenerator zwischen Werkstückhalterung und Kammer geschaltet. Die DLC-Schicht wurde gemäss einem aus WO 0179585A1 bekannten PVD/CVD-Verfahren mit einer ChromhaftSchicht , einer Gradientenschicht und einer reinen DLC bzw. a:C-H- Schicht abgeschieden, wobei die Gesamtschichtdicke ca. 2 μm betrug. Die zur Abscheidung der a:C-H-Schicht verwendeten Parameter sind in untenstehender Tabelle angegeben.
Tabelle 3) HerStellparameter a:C-H-Schicht
An der abgeschiedenen DLC-Schicht wurde eine Schichthärte von 2500 HK005 gemessen. Es zeigte sich keine Erhöhung der Rauhigkeit gegenüber unbeschichteten polierten Proben.
Reibwert und Ergebnisse der Verschleisstests der DLC- Schicht sind aus folgender Tabelle 4 zu entnehmen. Dabei zeigt sich, dass sich sowohl Reibkoeffizient als auch Verschleiss des Gegenkörpers bei zuerst beschichtet und anschliessend erfindungsgemäss strukturierten Oberflächen (Spalte 5) verbessern, d.h. zu geringeren Werten verändern als beschichtete unstrukturierte (Spalte 3) bzw. zuerst strukturierte und anschliessend beschichtete Oberflächen (Spalte 4) .
Tabelle 4) Reibwerte und Verschleisstest der DLC-Schicht
Ähnlich gute Ergebnisse wurden auch mit DLC-Schichten erzielt, auf deren Oberfläche noch eine zusätzliche Gleitschicht mit einer geringeren Härte abgeschieden wurde. Beispiele zur Herstellung solcher Schichten finden sich ebenfalls in oben erwähnter Anmeldung.
4) MeC:C-H-Schichten
Zum Aufbringen der Beschichtung wurden die Werkstücke gereinigt auf einem Substrathalter befestigt und in einer BAI 830C Beschichtungsanlage doppelt drehend gehaltert. Diese Beschichtungsanlage weist im wesentlichen dieselbe
Geometrie, wie die unter 3) beschrieben auf, unterscheidet sich aber dadurch, dass zu den zwei mit Cr-Targets bestückten Planarmagnetronsputterquellen weitere sechs mit reinem WC- bzw. Co-gebundene WC-Targets bestückte Quellen gleichen Typs am inneren Kammerumfang befestigt sind. Weiters ist an dieser Anlage eine DC-Bias-, aber keine Pulsbiasversorgung vorgesehen.
Nach Durchführung eines bekannten Plasmaheiz- und eines Plasmaätzprozesses, bei dem der Werkstückträger zunächst an den positiven und anschliessend an den negativen Pol einer Gleichspannungsquelle gelegt wird, während gleichzeitig ein Niedervoltbogen in der Anlagenachse betrieben wird, wird eine Chromhaftschicht unter Anlegen eines negativen Substrabias (-75V) aufgesputtert . Anschliessend wird eine MeC :C-H-Schicht mit zur Oberfläche ansteigenden
Kohlenstoffgehalt aufbracht. Die zur Abscheidung der abschliessenden MeC :C-H-Schicht verwendeten Parameter sind in untenstehender Tabelle angegeben. Eine derartige Schicht ist auch unter dem Markennamen Balinit Kohlenstoff bekannt. Tabelle 5) HerStellparameter MeC:C-H-Schicht
An der abgeschiedenen WC :C-H-Schicht wurde eine Schichtdicke von 2.0 μm und eine Schichthärte von 1000 HK0 gemessen. Es zeigte sich eine Erhöhung der Rauhigkeit um ca. 0.01-0.02 Ra gegenüber unbeschichteten polierten Proben.
Reibwert und Ergebnisse der Verschleisstests der MeC:C-H- Schicht sind aus folgender Tabelle 6 zu entnehmen. Auch hier zeigt sich die nachträglich erfindungsgemäss strukturierte Schicht der herkömmlich strukturierten Schicht überlegen.
Tabelle 6) Reibwerte und Verschleisstest der MeC:C-H- Schicht
5) TiAlN-Schichten Zum Aufbringen einer vergleichenden Beschichtung mit einem Hartschichtsystem wurden die Werkstücke gereinigt auf einem Substrathalter befestigt und in einer BAI 1200 Arc- Beschichtungsanlage doppelt drehend gehaltert.
Kammerabmessungen: dA = 1.200 mm, h = 1.272 mm Kammervolumen: V = 1650 1
Plasmaquellen: - acht am inneren Kammerumfang in zwei unterschiedlichen Ebenen besfestigte Arcquellen mit einem Targetdurchmesser von 154 mm. Davon jeweils vier (zwei oben, zwei unten) mit Ti- bzw. Ti05Al05-Targets bestückt .
- seitlich angebrachte Niedervoltbogen- vorrichtung für Vorbehandlungsschritte sowie Heizstrahler, um die Werkstücke auf Temperaturen bis zu 500°C zu bringen.
Das aufgebrachte Schichtsystem besteht aus einer TiN- Haftschicht, einem Multilayer mit einer Schichtabfolge alternierender TiAlN-Schichten mit unterschiedlichem Ti/Al- Verhältnis, sowie einer TiAlN-Deckschicht . Details können der folgenden Tabelle 7) entnommen werden.
Tabelle 7) Herstellparameter TiAlN-Schicht
An der abgeschiedenen TiAlN-Schicht wurde eine Schichtdicke von 2.5 μm und eine Schichthärte von 3000 HK005 gemessen. Die Erhöhung der Rauhigkeit lag zwischen 0.06-0.20 Ra gegenüber unbeschichteten polierten Proben.
Tabelle 8) Reibwerte und Verschleisstest der TiAlN-Schicht
Auch bei Verwendung einer wie oben beschriebenen reinen Hartstoffbeschichtung als Schichtsystem konnte gegenüber bekannten, zunächst strukturierten und anschliessend beschichteten Werkstücken eine Verbesserung durch eine erfindungsgemässe nachträgliche Strukturierung der Schicht erreicht werden.
6) TiAlN/MeC:C-H-Schichten
Zur Herstellung von TiAlN/MeC : C-H-Schichten wurde auf eine nach 5) hergestellte TiAlN-Schicht eine gemäss 4) abgeschiedene WC :C-H-Schicht aufgebracht.
An den abgeschiedenen TiAlN/MeC : C-H-Schichten wurde eine Schichtdicke von ca. 4.5 μm und eine Schichthärte von 1500
HK005 gemessen. Die Erhöhung der Rauhigkeit lag zwischen 0.06-0.20 Ra gegenüber unbeschichteten polierten Proben.
Die Ergebnisse in Tabelle 9 zeigen gegenüber den Ergebnissen der MeC :C-H-Schicht in Tabelle 6 einen etwas höheren Verschleiss und Reibkoeffizienten, was vermutlich auf die grössere Schichtrauhigkeit zurückzuführen ist.
Tabelle 9) Reibwerte und Verschleisstest der TiAlN/MeC:C-H- Schicht
Für alle Schichten 3) bis 6) ergab sich eine ausgezeichnete Haftung auf dem Substrat (HFl gemessen nach VDI 3198) .
Weiters ist zu erkennen, dass bei erfindungsgemässen kohlenstoffhaltigen Schichtsystemen auch bei einer an und für sich bekannten Strukturierung, wie beispielsweise vor Abscheidung der Schicht, im Vergleich zu reinen Hartstoffschichten wie TiAlN in Beispiel 5) , deutlich bessere Verschleisseigenschaften und ein geringerer Reibkoeffizient erzielt werden.
Zeichnungen
In den folgenden Zeichnungen wird der Stand der Technik sowie verschiedene bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung beispielhaft erläutert. Dabei zeigt:
Fig. 1 einen Schnitt durch eine bekannte Mikrotruktur,
Fig. 2 einen Schnitt durch eine andere bekannte MikroStruktur,
Fig. 3 einen Schnitt durch eine erfindungsgemässe MikroStruktur,
Fig. 4 einen Schnitt durch eine kreisförmige MikroStruktur,
Fig. 5 einen Schnitt durch eine konischer MikroStruktur,
Fig. 6 eine Aufsicht eines kubischen Strukturmusters mit kreisförmigen MikroStrukturen,
Fig. 7 eine Aufsicht eines hexagonalen Strukturmusters mit kreisförmigen MikroStrukturen.
Der in Fig. 1 dargestellte Schnitt zeigt eine bekannte Oberflächenstruktur 3 auf einem mit einer Funktionsschicht 2 beschichteten Werkstück 1. Dabei wurde zunächst auf dem unbeschichteten Körper eine Struktur erzeugt und anschliessend die Schicht aufgebracht.
Der in Fig. 2 dargestellte Schnitt zeigt eine andere bekannte Oberflächenstruktur 3 λ , die nachträglich in die Funktionsschicht aufgebracht wurde. Die Strukturtiefe ist dabei geringer als die Schichtdicke . Der in Fig. 3 dargestellte Schnitt zeigt eine erfindungsgemässe Mikrostruktur 5 mit einem Schichtsystem 4 auf einem Werkstück 1. Dabei wird die Strukturtiefe s in einem, wie oben beschrieben, bestimmten Verhältnis zur Schichtdicke d gewählt .
Fig. 4 zeigt Mikrotrukturen 5X mit kreisförmigen, Fig. 5 MikroStrukturen 5 λ mit konischem Querschnitt, wobei zwischen einer abfallenden Strukturflanke und der Oberflächenhorizontalen ein Tangentialwinkel eingeschlossen wird.
Fig. 6 und 7 dienen der Erläuterung der bevorzugten kubischen bzw. hexagonalen Anordnungen erfindungsgemässer Oberflächenstrukturen mit Lochabstand (Zentrum zu Zentrum) von a bzw. a .

Claims

Patentansprüche
1. Werkstück (1) mit zumindest einer Funktionsfläche und einem wenigstens auf einem Teil der Funktionsfläche abgelegten Schichtsystem (4) , sowie einem Strukturmuster, das zumindest einen Teil des Schichtsystems (4) umfasst und aus wenigstens einer dreidimensionalen Mikrostruktur (5) mit Strukturtiefe S besteht, dadurch gekennzeichnet, dass die dreidimensionale Mikrostruktur (5) sich von der Oberfläche des Schichtsystems (4) bis in das Werkstück erstreckt, so dass dieses in einem unteren Bereich der Mikrostruktur (5) unbeschichtet vorliegt.
2. Werkstück nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest die äusserste Schicht des Schichtsystems
(4) zumindest eine kohlenstoffhaltige Gleitschicht wie eine Me/C-, eine MeC/C-, eine SiC/C- eine DLC-, eine a- C:H:Si-, eine a-C:H:Si:Me- oder eine a-C :H/a-Si :0- Schicht, bevorzugt aber eine WC/C- oder eine DLC- Schicht umfasst.
3. Werkstück nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis der Schichtdicke d des Schichtsystems (4) zur Strukturtiefe S zwischen 0.05 und 0.9, bevorzugt zwischen zwischen 0.1 und 0.6 liegt.
4. Werkstück (1) mit zumindest einer Funktionsfläche und einem wenigstens auf einem Teil der Funktionsfläche abgelegten Schichtsystem (4) , sowie einem Strukturmuster das zumindest einen Teil des SchichtSystems (4) umfasst und aus wenigstens einer dreidimensionalen Mikrostruktur (5) mit Strukturtiefe S besteht, und das Schichtsystem zumindest eine kohlenstoffhaltige Gleitschicht wie eine SiC/C-, eine a-C:H:Si-, eine a-C:H:Si:Me- oder eine a-C :H/a-Si : 0- Schicht, bevorzugt aber eine DLC, eine Me/C-, eine MeC/C-, insbesondere eine WC/C-Schicht umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis der Schichtdicke d des Schichtsystems (4) zur Strukturtiefe S zwischen 0.05 und 0.9, bevorzugt zwischen zwischen 0.1 und 0.6 liegt .
5. Werkstück nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Me/C-, MeC/C-, bzw. a- C:H: Si :Me-Gleitschicht zumindest eines der Metalle Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, oder Fe, bevorzugt aber W oder Cr umfasst.
6. Werkstück nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die kohlenstoffhaltige Schicht eine metallische Haftschicht und einen von der Haftschicht zur Oberfläche ansteigenden Kohlenstoffgehalt aufweist.
7. Werkstück nach einem der Ansprüche 1 und 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest die äusserste Schicht des Schichtsystems eine MoS2-, eine WS2-, eine MoSe2- oder eine WSe2-Gleitschicht umfasst.
8. Werkstück nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Schichtsystem zumindest eine Hartschicht und zumindest eine darauf abgelegte Gleitschicht umfasst.
9. Werkstück nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichtdicke des Schichtsystems zwischen 0.5-20 μm, bevorzugt zwischen 1-10 μm liegt.
10. Werkstück nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Strukturmuster in Draufsicht aus einer Vielzahl im wesentlichen punktförmiger Vertiefungen besteht, die ihrerseits kreisförmig, elliptisch, linienförmig, in Form von Vielecken oder als hexagonale bzw. kubische Punktmuster angeordnet sind.
11. Werkstück nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Vertiefungen ihrerseits in Draufsicht kreisförmige, elliptische oder vieleckige Ausformungen besitzen.
12. Werkstück nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Strukturmuster aus kreisförmigen, elliptischen, vieleckigen, geraden oder wellenförmigen Linien gebildet ist.
13. Werkstück nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem vom Strukturmuster umfassten Teil des Schichtsystems der Flächendeckungsgrad zwischen 10-50%, bevorzugt zwischen 15-35% der mikrostrukturierten Oberfläche liegt.
14. Werkstück nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Querschnitt der Vertiefungen (5) im wesentlichen kreisförmig (5λ), bevorzugt jedoch im wesentlichen konisch (5 , 5, , x) ist .
15. Werkstück nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein zwischen der Oberflächenhorizontalen und einer abfallenden
Strukturflanke anliegender Tangentialwinkel kleiner 15°, bevorzugt jedoch kleiner 10° ist.
16. Werkstück nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Strukturmuster des SchichtSystems kreisförmige Strukturen (5) mit einem an der Oberfläche gemessenen Durchmesser von 5 bis 350 μm, bevorzugt jedoch 80 bis 250 μm, umfasst und einen Flächendeckungsgrad von 10 bis 50 %, bevorzugt jedoch zwischen 15 bis 40 % hat.
17. Werkstück nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Werkstück ein Bauteil mit zumindest einer als Gleitfläche ausgebildeten Funktionsflache, insbesondere ein Gleitlager, eine Gleitdichtung, ein Dichtungsring, ein Kolbenring, ein Tassenstössel, ein Kipphebel oder eine Kurbelwelle ist.
18. Werkstück nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass das Werkstück ein Werkzeug mit zumindest einer als Gleitfläche ausgebildeten Funktionsfläche, insbesondere ein Schneidwerkzeug mit zumindest einer Spanfläche oder ein Umformwerkzeug mit zumindest einer Fliesspressflache ist.
19. Verfahren zur Herstellung eines Werkstücks mit zumindest einer Funktionsfläche, wobei wenigstens auf einem Teil der Funktionsfläche zunächst ein Schichtsystem abgelegt und dieses anschliessend durch einen oder mehrere Strukturierungsschritte mikrostrukturiert wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Strukturierungsschritte so gewählt werden, dass sowohl das Schichtsystem als auch die Werkstückoberfläche mikrostrukturiert werden.
20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Strukturierungsschritt so gewählt wird, dass das Verhältnis der Schichtdicke d des Schichtsystems (4) zur Strukturtiefe S zwischen 0.05 und 0.9, bevorzugt zwischen 0.1 und 0.6 liegt.
21. Verfahren zur Herstellung eines Werkstücks mit zumindest einer Funktionsfläche und einem darauf abgelegten mikrostrukturiertem Schichtsystem (4) , wobei wenigstens auf einem Teil der Funktionsfläche zunächst die Oberfläche des Werkstücks durch einen oder mehrere Strukturierungsschritte mikrostrukturiert und anschliessend ein Schichtsystem abgelegt wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis der Schichtdicke d des Schichtsystems (4) zur Strukturtiefe S zwischen 0.05 und 0.9, bevorzugt zwischen 0.1 und 0.6 eingestellt wird.
22. Verfahren nach Ansprüchen 119-21, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Strukturierungsschritt so gewählt wird, dass ein Flächendeckungsgrad von 10 bis 50 %, bevorzugt jedoch zwischen 15 bis 40 % eingestellt wird.
23. Verfahren nach Ansprüchen 19-22, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Strukturierungsschritt eine mikromechanische, bevorzugt aber eine Bearbeitung mit einem Laserstrahl umfasst.
24. Verfahren nach Ansprüchen 19-23, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Strukturierungsschritt ein Plasmaätzen, ein chemisches Ätzen, bzw. ein elektrochemisches Ätzen umfasst.
25. Verfahren nach Ansprüchen 19-24, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Strukturierungsschritt das Aufbringen einer ätzresistenten Lackschicht mit einem zweidimensionalen Strukturmuster auf die Oberfläche des Schichtsystems bzw. des Werkstücks umfasst.
26. Verfahren nach Ansprüchen 19-25, dadurch gekennzeichnet, dass das Ablegen des Schichtsystems mittels eines PVD- , eines CVD-, bevorzugt aber mittels eines kombinierten PVD/ CVD-Verfahrens erfolgt.
27. Verfahren nach Ansprüchen 19-26, dadurch gekennzeichnet, dass ein Schichtsystem mit zumindest einer kohlenstoffhaltigen Gleitschicht wie eine SiC/C-, eine a-C:H:Si-, eine a-C:H:Si:Me- oder eine a-C:H/a- Si :0-Schicht, bevorzugt aber eine DLC, eine Me/C-, eine MeC/C-, insbesondere eine WC/C-Schicht abgelegt wird.
28. Verfahren nach Ansprüchen 19-27, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichtdicke des Schichtsystems zwischen 0.5-20 μm, bevorzugt zwischen 1-10 μm eingestellt wird.
EP03711781A 2002-04-25 2003-04-22 Strukturiertes schichtsystem Withdrawn EP1506326A1 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH7022002 2002-04-25
CH702022002 2002-04-25
PCT/CH2003/000262 WO2003091474A1 (de) 2002-04-25 2003-04-22 Strukturiertes schichtsystem

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP1506326A1 true EP1506326A1 (de) 2005-02-16

Family

ID=29256406

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP03711781A Withdrawn EP1506326A1 (de) 2002-04-25 2003-04-22 Strukturiertes schichtsystem

Country Status (9)

Country Link
US (1) US7318847B2 (de)
EP (1) EP1506326A1 (de)
JP (1) JP2006509967A (de)
KR (1) KR20050003384A (de)
AU (1) AU2003218594A1 (de)
BR (1) BR0309661A (de)
MX (1) MXPA04010516A (de)
WO (1) WO2003091474A1 (de)
ZA (1) ZA200407565B (de)

Families Citing this family (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005106065A1 (de) * 2004-04-29 2005-11-10 Oc Oerlikon Balzers Ag Dlc hartstoffbeschichtungen auf kupferhaltigen lagerwerkstoffen
JP2006138404A (ja) * 2004-11-12 2006-06-01 Kobe Steel Ltd 水系環境下での耐摩耗性に優れた摺動部材
SI1845290T1 (sl) * 2006-04-14 2009-10-31 Bhdt Gmbh Tesnilo v visokotlaäśnih napravah
FR2907470B1 (fr) 2006-10-20 2009-04-17 Hef Soc Par Actions Simplifiee Piece en contact glissant, en regime lubrifie, revetue d'une couche mince.
FR2907356B1 (fr) * 2006-10-20 2009-05-22 Hef Soc Par Actions Simplifiee Piece de frottement en milieu lubrifie et dont la surface est texturee.
US20080131604A1 (en) * 2006-11-30 2008-06-05 Shuangbiao Liu Textured coating on a component surface
US8568827B2 (en) 2006-11-30 2013-10-29 Caterpillar Inc. Textured coating on a component surface
DE102007051774B4 (de) 2007-10-30 2018-08-02 Minebea Mitsumi Inc. Flüssigkeitslager mit verbesserten Abriebeigenschaften
DE102008016864B3 (de) * 2008-04-02 2009-10-22 Federal-Mogul Burscheid Gmbh Kolbenring
FR2934608B1 (fr) * 2008-08-01 2010-09-17 Commissariat Energie Atomique Revetement a couche mince supraglissante, son procede d'obtention et un dispositif comprenant un tel revetement.
USD640473S1 (en) 2009-03-10 2011-06-28 The Procter & Gamble Company Paper product
USD632896S1 (en) 2009-03-10 2011-02-22 The Procter & Gamble Company Paper product
DE102009060924B4 (de) * 2009-12-18 2017-01-26 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Herstellungsverfahren für eine Festschmierstoffstruktur eine mit dem Herstellungsverfahren hergestellte Festschmierstoffstruktur sowie Verwendungen
DE102010002686A1 (de) 2010-03-09 2011-09-15 Federal-Mogul Burscheid Gmbh Gleitelement, insbesondere Kolbenring, und Verfahren zur Beschichtung eines Gleitelements
JP2012026023A (ja) * 2010-07-28 2012-02-09 Hitachi Powdered Metals Co Ltd 鉄基焼結部材
DE102010040158B4 (de) * 2010-09-02 2017-12-21 Federal-Mogul Wiesbaden Gmbh Strukturierte Schmutzdepots in Gleitlageroberflächen
DE102010040154B4 (de) 2010-09-02 2018-02-01 Federal-Mogul Wiesbaden Gmbh Schmutzdepots in Gleitlagern
JP5174108B2 (ja) 2010-09-13 2013-04-03 トヨタ自動車株式会社 摺動部材及びその製造方法
DE102010037958B4 (de) * 2010-10-04 2012-04-26 Matthias Schmidt Verfahren zur Herstellung eines Umformwerkzeuges für Dichtungen oder Einzellagen von Dichtungen, Umformwerkzeug, Dichtung und Presse
KR101843196B1 (ko) * 2010-11-18 2018-03-29 두산인프라코어 주식회사 내마모성이 개선된 로커암 샤프트 및 이를 포함하는 로커암 샤프트-부시 조립체
JP5721481B2 (ja) * 2011-03-10 2015-05-20 株式会社iMott 保護膜の製造方法
GB2490924B (en) * 2011-05-18 2013-07-10 Volnay Engineering Services Ltd Improvements in and relating to downhole tools
JP5842169B2 (ja) * 2011-06-15 2016-01-13 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 摺動部材及び圧縮機
JP5799258B2 (ja) * 2011-06-15 2015-10-21 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 摺動部材及び圧縮機
JP5741299B2 (ja) * 2011-08-02 2015-07-01 日産自動車株式会社 超音波溶接工具のローレット面再加工方法
DE102011114413A1 (de) * 2011-09-26 2013-03-28 Esk Ceramics Gmbh & Co. Kg Hydrodynamisches Axiallager
EP2618029B1 (de) * 2012-01-18 2015-04-08 Siemens Aktiengesellschaft Beschichtetes Zahnrad
CN102673043A (zh) * 2012-05-15 2012-09-19 北京有色金属研究总院 一种纺织钢领用高硬度、低摩擦系数耐磨涂层及其沉积方法
EP2855952A2 (de) * 2012-06-04 2015-04-08 MAG IAS GmbH Bereichsweises strukturieren von gleitflächen
DE102012022268B4 (de) 2012-11-14 2014-07-17 Federal-Mogul Burscheid Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Kolbenrings sowie danach hergestellter Kolbenring
DE102012023260A1 (de) 2012-11-29 2014-06-05 Oerlikon Trading Ag, Trübbach Verfahren zur Strukturierung von Schichtoberflächen und Vorrichtung dazu
DE102013206801A1 (de) * 2013-04-16 2014-10-16 Federal-Mogul Nürnberg GmbH Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Kolbens
DE102013206729B4 (de) * 2013-04-16 2017-01-05 Federal-Mogul Burscheid Gmbh Kolbenring und Verfahren zu seiner Herstellung
EP3152449B1 (de) 2014-06-04 2018-07-11 Koninklijke Philips N.V. Hydrodynamische lager
ES2556541B1 (es) * 2014-07-18 2016-11-03 Wartsila Ibérica, S.A. Método de tratamiento de superficies metálicas, cerámicas o pétreas y superficie obtenible con dicho método
DE102015221041A1 (de) 2015-01-14 2016-07-14 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Verfahren zur Herstellung einer Gleitfläche an einem Maschinenelement
JP6616094B2 (ja) * 2015-04-16 2019-12-04 株式会社ｉＭｏｔｔ 保護膜の製造方法
US10737462B2 (en) * 2016-08-24 2020-08-11 Hyundai Motor Company Method for coating surface of moving part of vehicle and moving part of vehicle manufactured by the same
DE102017202958A1 (de) * 2017-02-23 2018-08-23 Robert Bosch Gmbh Düsenbaugruppe für einen Kraftstoffinjektor, Kraftstoffinjektor
FR3068428B1 (fr) * 2017-07-03 2019-08-23 H.E.F. Axe couple a un palier, procede de fabrication d'un tel axe, et systeme mecanique comprenant un tel axe
WO2019008266A1 (fr) * 2017-07-03 2019-01-10 H.E.F. Système mécanique comprenant un axe couplé a un palier, et procédé de fabrication d'un tel système
US20190120291A1 (en) * 2017-10-24 2019-04-25 Hamilton Sundstrand Corporation Air bearing
JP7040532B2 (ja) * 2017-12-28 2022-03-23 日産自動車株式会社 低摩擦摺動機構
JP7181806B2 (ja) * 2018-02-16 2022-12-01 大同メタル工業株式会社 摺動部材
JP6629391B2 (ja) * 2018-06-27 2020-01-15 株式会社アドマップ ＳｉＣコート
CN109161857A (zh) * 2018-11-02 2019-01-08 苏州工业职业技术学院 改善材料表面高温摩擦学行为的图案薄膜及其制备方法
DE102019200681B4 (de) * 2019-01-21 2022-09-01 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Schneidwerkzeug mit amorphem Kohlenstoff und Multilagenbeschichtung und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102019200682A1 (de) * 2019-01-21 2020-07-23 Technische Universität Dresden Schneidwerkzeug mit räumlich strukturierter Beschichtung
US11346235B2 (en) 2019-06-04 2022-05-31 Raytheon Technologies Corporation Bushing for variable vane in a gas turbine engine
CN113873738B (zh) * 2021-09-26 2024-01-12 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种自支撑碳基电容器靶及其制备方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1209505B (it) * 1984-02-24 1989-08-30 North Bel Spa Procedimento per l'ottenimento di utensili diamantati, in specie per odontoiatria, a zone diamantate delimitate da solchi con doppio effetto di taglio e d'abrasione.
JPS60255970A (ja) * 1984-05-29 1985-12-17 Mazda Motor Corp 耐摩耗性に優れた摺接部材の製造法
DE3634708A1 (de) * 1986-10-11 1988-04-28 Goetze Ag Gleitender reibung ausgesetztes maschinenteil, wie insbesonder kolbenring
JPH01152298A (ja) * 1987-12-10 1989-06-14 Nippon Piston Ring Co Ltd シリンダライナ
DE69205762T2 (de) * 1991-08-08 1996-05-02 Canon Kk Verfahren zur Herstellung von Rillen auf einer Achse.
JPH05156425A (ja) * 1991-12-03 1993-06-22 Seiko Epson Corp 装飾部材およびその製造方法
EP0930953B1 (de) * 1996-09-30 2004-07-28 Surface Technologies Ltd. Lager mit microporen und verfahren zu seiner herstellung
US5834094A (en) * 1996-09-30 1998-11-10 Surface Technologies Ltd. Bearing having micropores and design method thereof
JP2000178720A (ja) * 1998-12-14 2000-06-27 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 固体潤滑膜付き部材
DE10018143C5 (de) * 2000-04-12 2012-09-06 Oerlikon Trading Ag, Trübbach DLC-Schichtsystem sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines derartigen Schichtsystems

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO03091474A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
US7318847B2 (en) 2008-01-15
KR20050003384A (ko) 2005-01-10
AU2003218594A1 (en) 2003-11-10
WO2003091474A1 (de) 2003-11-06
US20050175837A1 (en) 2005-08-11
ZA200407565B (en) 2005-11-30
MXPA04010516A (es) 2004-12-13
BR0309661A (pt) 2005-02-22
JP2006509967A (ja) 2006-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1506326A1 (de) Strukturiertes schichtsystem
DE102004043550B4 (de) Verschleißfeste Beschichtung, ihre Verwendung und Verfahren zur Herstellung derselben
EP3091100B1 (de) Gleitelement, insbesondere kolbenring, mit einer beschichtung sowie verfahren zur herstellung eines gleitelements
DE102006029415B4 (de) Verschleißfeste Beschichtung sowie Herstellverfahren hierfür
DE602005003762T2 (de) Gleitelement mit ausgezeichneter Abnutzungsbeständigkeit in einer wasserbasierten Umgebung
EP0858518B1 (de) Verfahren zum herstellen einer gleitfläche auf einer leichtmetallegierung
EP2209927B1 (de) Korrosionsfeste beschichtung
EP1767662B1 (de) Verschleißfeste Beschichtung und Verfahren zur Herstellung derselben
EP0858519A1 (de) Verfahren zum herstellen einer gleitfläche auf einem metallischen werkstück
EP1123989A2 (de) Verfahren zur Herstellung von Beschichtungen sowie Gegenstand
WO2005106065A1 (de) Dlc hartstoffbeschichtungen auf kupferhaltigen lagerwerkstoffen
DE19824310C1 (de) Gleitlager und Verfahren zu seiner Herstellung
DE102011076410A1 (de) Maschinenelement
DE19756202A1 (de) Verfahren zur Verbesserung des Ermüdungswiderstandes einer Komponente durch Zuschneiden des Druckrestspannungsprofils und Gegenstand
EP0770698B2 (de) Verfahren zum Herstellen einer Gleitfläche auf einem metallischen Werkstück
DE102016206094A1 (de) Kolbenring für Verbrennungsmotoren
AT523638B1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Hartstoffschicht auf einer Metalloberfläche
EP1136574A1 (de) Herstellung eines Prägwerkzeugs und dessen Anwendung
EP1117846B1 (de) Verfahren zur änderung der eigenschaften von werkstückoberflächen
DE19628786A1 (de) Verfahren zum Herstellen einer Gleitfläche auf einem metallischen Werkstück
DE102012017033A1 (de) PVD Lichtbogenbeschichtung mit verbesserten reibungsmindernden und verschleissreduzierenden Eigenschaften
EP0662161B1 (de) Werkzeug zur behandlung von oberflächen von bauteilen und trägerwerkstoff für dieses werkzeug
DE102021110359A1 (de) Lagerteil für ein Gleitlager, Lagerschale, Gleitlager, Maschine, Verfahren zur Herstellung eines Lagerteils für ein Gleitlager
DE102006027501A1 (de) Verschleißfeste Beschichtung und Verfahren zur Herstellung derselben

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20041125

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL LT LV MK

RIN1 Information on inventor provided before grant (corrected)

Inventor name: WOHLRAB, CHRISTIAN

Inventor name: MASSLER, ORLAW

17Q First examination report despatched

Effective date: 20070227

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: OERLIKON TRADING AG, TRUEBBACH

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20151103