JP2006509967A - 構造化させた層システム - Google Patents
構造化させた層システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006509967A JP2006509967A JP2003587996A JP2003587996A JP2006509967A JP 2006509967 A JP2006509967 A JP 2006509967A JP 2003587996 A JP2003587996 A JP 2003587996A JP 2003587996 A JP2003587996 A JP 2003587996A JP 2006509967 A JP2006509967 A JP 2006509967A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- workpiece
- layer system
- sliding
- structural
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 152
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 39
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 23
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 17
- 239000012791 sliding layer Substances 0.000 claims description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 9
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 3
- 229910016001 MoSe Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 claims 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 18
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 16
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 13
- 229910010037 TiAlN Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 8
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 2
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 2
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910002090 carbon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004814 ceramic processing Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000010273 cold forging Methods 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000011089 mechanical engineering Methods 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 239000002480 mineral oil Substances 0.000 description 1
- 235000010446 mineral oil Nutrition 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
- F16C33/10—Construction relative to lubrication
- F16C33/1025—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
- F16C33/106—Details of distribution or circulation inside the bearings, e.g. details of the bearing surfaces to affect flow or pressure of the liquid
- F16C33/1075—Wedges, e.g. ramps or lobes, for generating pressure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/58—After-treatment
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/043—Sliding surface consisting mainly of ceramics, cermets or hard carbon, e.g. diamond like carbon [DLC]
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
- F16C33/10—Construction relative to lubrication
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
- F16C33/10—Construction relative to lubrication
- F16C33/1025—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
- F16C33/103—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant retained in or near the bearing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2206/00—Materials with ceramics, cermets, hard carbon or similar non-metallic hard materials as main constituents
- F16C2206/02—Carbon based material
- F16C2206/04—Diamond like carbon [DLC]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S384/00—Bearings
- Y10S384/90—Cooling or heating
- Y10S384/907—Bearing material or solid lubricant
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24355—Continuous and nonuniform or irregular surface on layer or component [e.g., roofing, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24479—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including variation in thickness
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
- Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
- Y10T428/264—Up to 3 mils
- Y10T428/265—1 mil or less
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/30—Self-sustaining carbon mass or layer with impregnant or other layer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Shafts, Cranks, Connecting Bars, And Related Bearings (AREA)
- Pistons, Piston Rings, And Cylinders (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
Description
造深さあるいは構造化の時点、すなわちコーティングの前または後に依存して異なった。
(1) 構造化
構造化は、それぞれの試験に応じてそれぞれの層システムの塗布より前あるいは後に行なった。ここで、パルス化され合焦させたレーザにより、構造について下記の幾何学的構成を有する構造パターンが導入された。
各層の性能を判定するためにボールオンディスク試験を実行し、コーティングされていない鋼球をコーティングされ構造化させた鋼の円盤上で円状に導いた。ここで摩擦係数と、コーティングされない球での摩耗直径とを測定した。摩擦係数が0.4に到達すれば試験を途中で中断した。試験パラメータは下記の表に記載される。
コーティングの塗布のために、構造の付与の前あるいは後に工作物を通常の洗浄方法により前処理して基板ホルダに固定し、それからこの基板ホルダをBAI 830−DLCコーティング装置において二重に回転止着した。
チャンバ容積:V=560リットル
プラズマ源:クロム固着層を塗布する2個の対向してありチャンバの内周りに固定され
たプレーナマグネトロンスパッタ源AK 618(h=464mm、b=146mm);工作物止着部とチャンバとの間に配置したパルス発生器。
コーティングの塗布のために工作物を洗浄して基板ホルダに固定し、BAI 830Cコーティング装置において二重に回転止着した。
硬質層システムでの比較用コーティングの塗布のために、工作物を洗浄して基板ホルダに固定し、BAI 1200アークコーティング装置において二重に回転止着した。
チャンバ容積:V=1650リットル
プラズマ源:異なる2平面でチャンバの内周りに固定され、ターゲット直径154mmのアーク源8個。このうちそれぞれ4個(上に2個、下に2個)にTiあるいはTi0.5
Al0.5ターゲットを備え付けた;前処理工程用の側方に設けた低電圧アーク装置、および工作物を最高500℃の温度に上げるための放射加熱器。
TiAlN/MeC:C−H層を作製するために、(5)に従い作製したTiAlN層の上に(4)に従い析出したWC:C−H層を塗布した。
添付の図面にて、先行技術およびこの発明のさまざまな好ましい実施の形態について例示的に説明される。
Claims (28)
- 少なくとも1の機能表面と、前記機能表面のうち少なくとも一部に堆積させた層システム(4)とを備えてさらに構造パターンを含む工作物(1)であって、前記構造パターンが前記層システム(4)のうち少なくとも一部を含み、かつ構造深さsを有する少なくとも1つの3次元微細構造(5)からなる、工作物において、
前記3次元微細構造(5)が前記層システム(4)の表面から前記工作物の中にまで延びることで前記工作物が前記微細構造(5)の下部領域においてコーティングされずにあることを特徴とする、工作物。 - 前記層システム(4)のうち少なくとも最外層が少なくとも1層の炭素含有の滑り層、たとえばMe/C、MeC/C、SiC/C、DLC、a−C:H:Si、a−C:H:Si:Meまたはa−C:H/a−Si:O層、好ましくはWC/CまたはDLC層を含むことを特徴とする、請求項1に記載の工作物。
- 前記構造深さsに対する前記層システム(4)の層厚dの割合が0.05〜0.9、好ましくは0.1〜0.6であることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の工作物。
- 少なくとも1の機能表面と、前記機能表面のうち少なくとも一部に堆積させた層システム(4)とを備えてさらに構造パターンを含む工作物(1)であって、前記構造パターンが前記層システム(4)のうち少なくとも一部を含み、かつ構造深さsを有する少なくとも1つの3次元微細構造(5)からなり、前記層システムが少なくとも1層の炭素含有の滑り層、たとえばSiC/C、a−C:H:Si、a−C:H:Si:Meまたはa−C:H/a−Si:O層、好ましくはDLC、Me/C、MeC/C、特にWC/C層を含む、工作物において、
前記構造深さsに対する前記層システム(4)の層厚dの割合が0.05〜0.9、好ましくは0.1〜0.6であることを特徴とする、工作物。 - 前記Me/C、MeC/Cあるいはa−C:H:Si:Me滑り層が、金属Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、WまたはFeのうち少なくとも1、好ましくはWまたはCrを含むことを特徴とする、請求項2から請求項4のいずれかに記載の工作物。
- 前記炭素含有の層が金属の固着層を含み、かつ前記固着層から前記表面へ向かって増加する炭素含有量を有することを特徴とする、請求項2から請求項5のいずれかに記載の工作物。
- 前記層システムのうち少なくとも最外層がMoS2、WS2、MoSe2またはWSe2滑り層を含むことを特徴とする、請求項1および請求項3から6のいずれかに記載の工作物。
- 前記層システムが少なくとも1層の硬質層と、その上に堆積させた少なくとも1層の滑り層とを含むことを特徴とする、請求項1から請求項7のいずれかに記載の工作物。
- 前記層システムの層厚が0.5〜20μm、好ましくは1〜10μmであることを特徴とする、請求項1から請求項8のいずれかに記載の工作物。
- 上から見たときに前記構造パターンが多数の実質的に点状の窪みからなり、前記窪みは円形、楕円形、線形、多角形で、または六角形あるいは立方体の点パターンとして配置されることを特徴とする、請求項1から請求項9のいずれかに記載の工作物。
- 上から見たときに前記窪みが円形、楕円形または多角形の形状を有することを特徴とする、請求項10に記載の工作物。
- 前記構造パターンが円形、楕円形、多角形、直線状または波線状の線からなることを特徴とする、請求項1から請求項9のいずれかに記載の工作物。
- 前記層システムのうち前記構造パターンが含む部分において、面被度が、微細構造化させた前記表面の10〜50%、好ましくは15〜35%であることを特徴とする、請求項1から請求項12のいずれかに記載の工作物。
- 前記窪み(5)の横断面が略円形(5′)、好ましくは略円錐形(5″,5″′)であることを特徴とする、請求項1から請求項13のいずれかに記載の工作物。
- 前記表面の水平線と傾斜する構造側部との間に隣接する接線角αが15°よりも小さく、好ましくは10°よりも小さいことを特徴とする、請求項1から請求項14のいずれかに記載の工作物。
- 前記層システムの構造パターンが、前記表面で測定して直径5〜350μm、好ましくは直径80〜250μmの円形の構造(5)を含み、かつ面被度が10〜50%、好ましくは15〜40%であることを特徴とする、請求項1から請求項15のいずれかに記載の工作物。
- 滑り表面として形成された少なくとも1の機能表面を有する部品、特に滑り軸受、スライドパッキン、封止リング、ピストンリング、カップタペット、揺りてこ、またはクランク軸であることを特徴とする、請求項1から請求項16のいずれかに記載の工作物。
- 滑り表面として形成された少なくとも1の機能表面を有する工作物、特に少なくとも1の切削加工面を有する切削工具、または少なくとも1の圧出面を有する変形工具であることを特徴とする、請求項1から請求項17のいずれかに記載の工作物。
- 少なくとも1の機能表面を有する工作物の製造方法であって、前記機能表面のうち少なくとも一部にまず層システムを堆積させてから、1つ以上の構造化工程により前記層システムを微細構造化させる、方法において、
前記層システムも前記工作物表面も微細構造化されるように前記構造化工程が選択されることを特徴とする、方法。 - 構造深さsに対する前記層システム(4)の層厚dの割合が0.05〜0.9、好ましくは0.1〜0.6となるように前記少なくとも1つの構造化工程が選択されることを特徴とする、請求項19に記載の方法。
- 少なくとも1の機能表面と、その上に堆積させて微細構造化させた層システム(4)とを備えた工作物の製造方法であって、前記機能表面のうち少なくとも一部において、前記工作物の表面をまず1つまたは複数の構造化工程により微細構造化させてから層システムを堆積させる、方法において、
構造深さsに対する前記層システム(4)の層厚dの割合が0.05〜0.9、好ましくは0.1〜0.6に設定されることを特徴とする、方法。 - 面被度が10〜50%、好ましくは15〜40%に設定されるように前記少なくとも1つの構造化工程が選択されることを特徴とする、請求項119から請求項21に記載の方
法。 - 前記少なくとも1つの構造化工程がミクロ機械的加工を含むが好ましくはレーザ照射による加工を含むことを特徴とする、請求項19から請求項22に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの構造化工程が、プラズマエッチング、化学的エッチングあるいは電気化学的エッチングを含むことを特徴とする、請求項19から請求項23に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの構造化工程が、2次元構造パターンを有しエッチングに耐性のある塗料層を前記層システムあるいは前記工作物の表面に塗布する工程を含むことを特徴とする、請求項19から請求項24に記載の方法。
- 前記層システムを堆積させる工程が、PVD方法、CVD方法を用いて行なわれるが好ましくは組合わされたPVD/CVD方法を用いて行なわれることを特徴とする、請求項19から請求項25のいずれかに記載の方法。
- 少なくとも1層の炭素含有の滑り層、たとえばSiC/C、a−C:H:Si、a−C:H:Si:Meまたはa−C:H/a−Si:O層、好ましくはDLC、Me/C、MeC/C、特にWC/C層を含む層システムが堆積されることを特徴とする、請求項19から請求項26に記載の方法。
- 前記層システムの層厚が0.5〜20μm、好ましくは1〜10μmに調節されることを特徴とする、請求項19から請求項27のいずれかに記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH7022002 | 2002-04-25 | ||
PCT/CH2003/000262 WO2003091474A1 (de) | 2002-04-25 | 2003-04-22 | Strukturiertes schichtsystem |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006509967A true JP2006509967A (ja) | 2006-03-23 |
Family
ID=29256406
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003587996A Pending JP2006509967A (ja) | 2002-04-25 | 2003-04-22 | 構造化させた層システム |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7318847B2 (ja) |
EP (1) | EP1506326A1 (ja) |
JP (1) | JP2006509967A (ja) |
KR (1) | KR20050003384A (ja) |
AU (1) | AU2003218594A1 (ja) |
BR (1) | BR0309661A (ja) |
MX (1) | MXPA04010516A (ja) |
WO (1) | WO2003091474A1 (ja) |
ZA (1) | ZA200407565B (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010507056A (ja) * | 2006-10-20 | 2010-03-04 | アッシュ・ウー・エフ | 潤滑媒体中で200MPaを超える接触圧力において動作する摩擦片 |
JP2012188698A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Imott Inc | 保護膜およびそれを作製する方法 |
JP2013001939A (ja) * | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Sanyo Electric Co Ltd | 摺動部材及び圧縮機 |
JP2013002525A (ja) * | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Sanyo Electric Co Ltd | 摺動部材及び圧縮機 |
JP2013031903A (ja) * | 2011-08-02 | 2013-02-14 | Nissan Motor Co Ltd | 超音波溶接工具のローレット面再加工方法 |
JP2019143802A (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-29 | 大同メタル工業株式会社 | 摺動部材 |
KR20200020779A (ko) * | 2017-07-03 | 2020-02-26 | 에이치.이.에프. | 베어링에 결합된 샤프트를 포함하는 기계 시스템 및 이와 같은 시스템의 제조 방법 |
JP2020525734A (ja) * | 2017-07-03 | 2020-08-27 | アッシュ・ウー・エフ | 軸受に結合されたシャフトを備える機械システムおよびかかるシステムを製造する方法 |
Families Citing this family (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4805255B2 (ja) * | 2004-04-29 | 2011-11-02 | エリコン・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト,トリュープバッハ | 銅含有軸受材料のdlc硬質コーティング |
JP2006138404A (ja) * | 2004-11-12 | 2006-06-01 | Kobe Steel Ltd | 水系環境下での耐摩耗性に優れた摺動部材 |
ATE433069T1 (de) * | 2006-04-14 | 2009-06-15 | Bhdt Gmbh | Dichtung in hochdruckeinrichtungen |
FR2907470B1 (fr) * | 2006-10-20 | 2009-04-17 | Hef Soc Par Actions Simplifiee | Piece en contact glissant, en regime lubrifie, revetue d'une couche mince. |
US8568827B2 (en) | 2006-11-30 | 2013-10-29 | Caterpillar Inc. | Textured coating on a component surface |
US20080131604A1 (en) * | 2006-11-30 | 2008-06-05 | Shuangbiao Liu | Textured coating on a component surface |
DE102007051774B4 (de) | 2007-10-30 | 2018-08-02 | Minebea Mitsumi Inc. | Flüssigkeitslager mit verbesserten Abriebeigenschaften |
DE102008016864B3 (de) * | 2008-04-02 | 2009-10-22 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Kolbenring |
FR2934608B1 (fr) * | 2008-08-01 | 2010-09-17 | Commissariat Energie Atomique | Revetement a couche mince supraglissante, son procede d'obtention et un dispositif comprenant un tel revetement. |
USD632896S1 (en) | 2009-03-10 | 2011-02-22 | The Procter & Gamble Company | Paper product |
USD640473S1 (en) | 2009-03-10 | 2011-06-28 | The Procter & Gamble Company | Paper product |
DE102009060924B4 (de) * | 2009-12-18 | 2017-01-26 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Herstellungsverfahren für eine Festschmierstoffstruktur eine mit dem Herstellungsverfahren hergestellte Festschmierstoffstruktur sowie Verwendungen |
DE102010002686A1 (de) | 2010-03-09 | 2011-09-15 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Gleitelement, insbesondere Kolbenring, und Verfahren zur Beschichtung eines Gleitelements |
JP2012026023A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-09 | Hitachi Powdered Metals Co Ltd | 鉄基焼結部材 |
DE102010040154B4 (de) | 2010-09-02 | 2018-02-01 | Federal-Mogul Wiesbaden Gmbh | Schmutzdepots in Gleitlagern |
DE102010040158B4 (de) * | 2010-09-02 | 2017-12-21 | Federal-Mogul Wiesbaden Gmbh | Strukturierte Schmutzdepots in Gleitlageroberflächen |
JP5174108B2 (ja) | 2010-09-13 | 2013-04-03 | トヨタ自動車株式会社 | 摺動部材及びその製造方法 |
DE102010037958B4 (de) * | 2010-10-04 | 2012-04-26 | Matthias Schmidt | Verfahren zur Herstellung eines Umformwerkzeuges für Dichtungen oder Einzellagen von Dichtungen, Umformwerkzeug, Dichtung und Presse |
KR101843196B1 (ko) * | 2010-11-18 | 2018-03-29 | 두산인프라코어 주식회사 | 내마모성이 개선된 로커암 샤프트 및 이를 포함하는 로커암 샤프트-부시 조립체 |
GB2490924B (en) * | 2011-05-18 | 2013-07-10 | Volnay Engineering Services Ltd | Improvements in and relating to downhole tools |
DE102011114413A1 (de) * | 2011-09-26 | 2013-03-28 | Esk Ceramics Gmbh & Co. Kg | Hydrodynamisches Axiallager |
EP2618029B1 (de) * | 2012-01-18 | 2015-04-08 | Siemens Aktiengesellschaft | Beschichtetes Zahnrad |
CN102673043A (zh) * | 2012-05-15 | 2012-09-19 | 北京有色金属研究总院 | 一种纺织钢领用高硬度、低摩擦系数耐磨涂层及其沉积方法 |
MX2014012354A (es) * | 2012-06-04 | 2014-11-25 | Mag Ias Gmbh | Estructuracion por areas de planos deslizantes. |
DE102012022268B4 (de) | 2012-11-14 | 2014-07-17 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Kolbenrings sowie danach hergestellter Kolbenring |
DE102012023260A1 (de) | 2012-11-29 | 2014-06-05 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Verfahren zur Strukturierung von Schichtoberflächen und Vorrichtung dazu |
DE102013206801A1 (de) * | 2013-04-16 | 2014-10-16 | Federal-Mogul Nürnberg GmbH | Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Kolbens |
DE102013206729B4 (de) * | 2013-04-16 | 2017-01-05 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Kolbenring und Verfahren zu seiner Herstellung |
US9771978B2 (en) | 2014-06-04 | 2017-09-26 | Koninklijke Philips N.V. | Hydrodynamic bearings |
ES2556541B1 (es) * | 2014-07-18 | 2016-11-03 | Wartsila Ibérica, S.A. | Método de tratamiento de superficies metálicas, cerámicas o pétreas y superficie obtenible con dicho método |
DE102015221041A1 (de) | 2015-01-14 | 2016-07-14 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Verfahren zur Herstellung einer Gleitfläche an einem Maschinenelement |
JP6616094B2 (ja) * | 2015-04-16 | 2019-12-04 | 株式会社iMott | 保護膜の製造方法 |
US10737462B2 (en) * | 2016-08-24 | 2020-08-11 | Hyundai Motor Company | Method for coating surface of moving part of vehicle and moving part of vehicle manufactured by the same |
DE102017202958A1 (de) * | 2017-02-23 | 2018-08-23 | Robert Bosch Gmbh | Düsenbaugruppe für einen Kraftstoffinjektor, Kraftstoffinjektor |
US20190120291A1 (en) * | 2017-10-24 | 2019-04-25 | Hamilton Sundstrand Corporation | Air bearing |
WO2019130553A1 (ja) * | 2017-12-28 | 2019-07-04 | 日産自動車株式会社 | 低摩擦摺動機構 |
JP6629391B2 (ja) * | 2018-06-27 | 2020-01-15 | 株式会社アドマップ | SiCコート |
CN109161857A (zh) * | 2018-11-02 | 2019-01-08 | 苏州工业职业技术学院 | 改善材料表面高温摩擦学行为的图案薄膜及其制备方法 |
DE102019200682A1 (de) * | 2019-01-21 | 2020-07-23 | Technische Universität Dresden | Schneidwerkzeug mit räumlich strukturierter Beschichtung |
DE102019200681B4 (de) * | 2019-01-21 | 2022-09-01 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Schneidwerkzeug mit amorphem Kohlenstoff und Multilagenbeschichtung und Verfahren zu dessen Herstellung |
US11346235B2 (en) * | 2019-06-04 | 2022-05-31 | Raytheon Technologies Corporation | Bushing for variable vane in a gas turbine engine |
CN113873738B (zh) * | 2021-09-26 | 2024-01-12 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种自支撑碳基电容器靶及其制备方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT1209505B (it) * | 1984-02-24 | 1989-08-30 | North Bel Spa | Procedimento per l'ottenimento di utensili diamantati, in specie per odontoiatria, a zone diamantate delimitate da solchi con doppio effetto di taglio e d'abrasione. |
JPS60255970A (ja) * | 1984-05-29 | 1985-12-17 | Mazda Motor Corp | 耐摩耗性に優れた摺接部材の製造法 |
DE3634708A1 (de) * | 1986-10-11 | 1988-04-28 | Goetze Ag | Gleitender reibung ausgesetztes maschinenteil, wie insbesonder kolbenring |
JPH01152298A (ja) * | 1987-12-10 | 1989-06-14 | Nippon Piston Ring Co Ltd | シリンダライナ |
DE69205762T2 (de) * | 1991-08-08 | 1996-05-02 | Canon Kk | Verfahren zur Herstellung von Rillen auf einer Achse. |
JPH05156425A (ja) * | 1991-12-03 | 1993-06-22 | Seiko Epson Corp | 装飾部材およびその製造方法 |
US5834094A (en) * | 1996-09-30 | 1998-11-10 | Surface Technologies Ltd. | Bearing having micropores and design method thereof |
DE69730035T2 (de) * | 1996-09-30 | 2005-07-21 | Surface Technologies Ltd. | Lager mit microporen und verfahren zu seiner herstellung |
JP2000178720A (ja) * | 1998-12-14 | 2000-06-27 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 固体潤滑膜付き部材 |
DE10018143C5 (de) * | 2000-04-12 | 2012-09-06 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | DLC-Schichtsystem sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines derartigen Schichtsystems |
-
2003
- 2003-04-22 EP EP03711781A patent/EP1506326A1/de not_active Withdrawn
- 2003-04-22 WO PCT/CH2003/000262 patent/WO2003091474A1/de active Application Filing
- 2003-04-22 KR KR10-2004-7017040A patent/KR20050003384A/ko not_active Application Discontinuation
- 2003-04-22 MX MXPA04010516A patent/MXPA04010516A/es active IP Right Grant
- 2003-04-22 JP JP2003587996A patent/JP2006509967A/ja active Pending
- 2003-04-22 BR BR0309661-0A patent/BR0309661A/pt not_active IP Right Cessation
- 2003-04-22 AU AU2003218594A patent/AU2003218594A1/en not_active Abandoned
- 2003-04-22 US US10/511,981 patent/US7318847B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-09-21 ZA ZA2004/07565A patent/ZA200407565B/en unknown
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010507056A (ja) * | 2006-10-20 | 2010-03-04 | アッシュ・ウー・エフ | 潤滑媒体中で200MPaを超える接触圧力において動作する摩擦片 |
KR101403743B1 (ko) * | 2006-10-20 | 2014-06-30 | 아쉬.에.에프. | 윤활매체내에서 200 mpa 보다 높은 접촉 압력에서 동작하는 마찰 부품 |
JP2015148344A (ja) * | 2006-10-20 | 2015-08-20 | アッシュ・ウー・エフ | 潤滑媒体中で200MPaを超える接触圧力において動作する摩擦片 |
JP2012188698A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Imott Inc | 保護膜およびそれを作製する方法 |
JP2013001939A (ja) * | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Sanyo Electric Co Ltd | 摺動部材及び圧縮機 |
JP2013002525A (ja) * | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Sanyo Electric Co Ltd | 摺動部材及び圧縮機 |
JP2013031903A (ja) * | 2011-08-02 | 2013-02-14 | Nissan Motor Co Ltd | 超音波溶接工具のローレット面再加工方法 |
KR20200020779A (ko) * | 2017-07-03 | 2020-02-26 | 에이치.이.에프. | 베어링에 결합된 샤프트를 포함하는 기계 시스템 및 이와 같은 시스템의 제조 방법 |
JP2020525734A (ja) * | 2017-07-03 | 2020-08-27 | アッシュ・ウー・エフ | 軸受に結合されたシャフトを備える機械システムおよびかかるシステムを製造する方法 |
KR102571554B1 (ko) | 2017-07-03 | 2023-08-29 | 이드러메까니끄 에 프러뜨망 | 베어링에 결합된 샤프트를 포함하는 기계 시스템 및 이와 같은 시스템의 제조 방법 |
JP7431583B2 (ja) | 2017-07-03 | 2024-02-15 | イドロメカニーク・エ・フロットマン | 軸受に結合されたシャフトを備える機械システムおよびかかるシステムを製造する方法 |
JP2019143802A (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-29 | 大同メタル工業株式会社 | 摺動部材 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7318847B2 (en) | 2008-01-15 |
MXPA04010516A (es) | 2004-12-13 |
WO2003091474A1 (de) | 2003-11-06 |
US20050175837A1 (en) | 2005-08-11 |
AU2003218594A1 (en) | 2003-11-10 |
EP1506326A1 (de) | 2005-02-16 |
KR20050003384A (ko) | 2005-01-10 |
BR0309661A (pt) | 2005-02-22 |
ZA200407565B (en) | 2005-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006509967A (ja) | 構造化させた層システム | |
JP5956104B2 (ja) | 潤滑媒体中で200MPaを超える接触圧力において動作する摩擦片 | |
JP6173211B2 (ja) | ボア切削工具およびその製造方法 | |
JP2017523305A (ja) | カムシャフトのカムのノーズをdlcでコーティングする方法、その方法で得られたカムシャフト、及びその方法を実施する設備 | |
CN105593503B (zh) | 活塞环 | |
CN105506625B (zh) | 一种基于模具基体工作表面的防护涂层的制备方法 | |
JP6095090B2 (ja) | 摺動方法、摺動構造の製造方法、摺動構造およびデバイス | |
JP2004339564A (ja) | 摺動部材および皮膜形成方法 | |
JP6599251B2 (ja) | 摺動部材及びその製造方法 | |
CN110832210B (zh) | 包括联接至轴承的轴的机械系统以及制造这种系统的方法 | |
Hasselbruch et al. | Incremental dry forging-Interaction of W-DLC coatings and surface structures for rotary swaging tools | |
Böhmermann et al. | Dry rotary swaging–approaches for lubricant free process design | |
CN108080884B (zh) | 具有敲击面的开槽工具 | |
EP3394457B1 (en) | Coating of a system and an associated method thereof | |
Kakas et al. | Friction and wear of low temperature deposited TiN coating sliding in dry conditions at various speeds | |
CN111945158A (zh) | 一种提高金属表面耐磨性的复合处理方法 | |
Hasselbruch et al. | Tribological properties of multi-layer aC: H: W/aC: H PVD-coatings micro-structured by picosecond laser ablation | |
CN110484696A (zh) | 一种减摩抗磨液压泵零件的制备方法 | |
Bagade et al. | Effect of laser surface texturing on coating adherence and tribological properties of CuNiIn and MoS 2 coating | |
Hronek et al. | Surface quality analysis of cutting tool microgeometry to achieve higher durability | |
Schiffler et al. | Machining technology and PVD coatings for milling thin structural parts of Inconel 718 | |
MUNTEANU et al. | Study of the wear behavior of bronze coatings deposited by the EAS method | |
Reséndiz-Pérez | Enhancing Tribological Properties of Metallic Sliding Surfaces through Micro Multi-texturing Techniques | |
KR100187878B1 (ko) | 접동부재 및 그의 제조방법 | |
Landek et al. | Increasing the wear resistance of high-alloy tool steels for cold work with multilayer coatings TiN/TiCN and TiN/Ti-BN applied by the PACVD process |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060313 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081007 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090106 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090114 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090129 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20090203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20090203 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090526 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090925 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20091022 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20091120 |