EP0467230A1 - Kalt-Schmelz-Tiegel - Google Patents
Kalt-Schmelz-Tiegel Download PDFInfo
- Publication number
- EP0467230A1 EP0467230A1 EP91111644A EP91111644A EP0467230A1 EP 0467230 A1 EP0467230 A1 EP 0467230A1 EP 91111644 A EP91111644 A EP 91111644A EP 91111644 A EP91111644 A EP 91111644A EP 0467230 A1 EP0467230 A1 EP 0467230A1
- Authority
- EP
- European Patent Office
- Prior art keywords
- crucible
- base part
- trough
- melting
- segments
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/02—Induction heating
- H05B6/22—Furnaces without an endless core
- H05B6/24—Crucible furnaces
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B14/00—Crucible or pot furnaces
- F27B14/06—Crucible or pot furnaces heated electrically, e.g. induction crucible furnaces with or without any other source of heat
- F27B14/061—Induction furnaces
- F27B14/063—Skull melting type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D1/00—Casings; Linings; Walls; Roofs
- F27D2001/0046—Means to facilitate repair or replacement or prevent quick wearing
Definitions
- FIG. 2c shows an embodiment with the same, crosswise arranged flat segments 1 '.
- the upper part of the crucible has a central wall segment 1 ".
- This embodiment also has the features of claim 5, so that the wall segment 1 "can be inserted from below. Cooling ducts and cooling lines are also provided in this wall segment 1 ′′, however, as is not apparent from the drawing.
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Description
- Die Erfindung bezieht sich auf einen Kalt-Schmelz-Tiegel zum Schmelzen kleiner Metallmengen in der Schwebe, der in seinem oberen Teil die Tiegelmulde enthält und mit dem Basisteil an eine Unterdruckleitung oder eine entsprechende Apparatur anflanschbar ist, wobei die Tiegelmulde aus entsprechend geformten und durch Schlitze voneinander getrennten, in Einzelanfertigung hergestellten und zusammengefügten, das Zentrum der Mulde einschließenden Wandsegmenten gebildet ist, in denen Kühlkanäle verlaufen, in die vom Basisteil ausgehend Zuführungsleitungen für das Kühlmittel eingebracht sind und wobei das Basiselement die Zu- und Ableitungen für das Kühlsystem enthält und aus dem Basisteil herausragende Ableitungsrohre für das Kühlmittel, die jeweils mit einem Einzelwandsegment herauslösbar dicht verbunden, insbesondere weichgelötet sind, als Verbindungsteil zwischen dem oberen Teil und dem Basisteil dienen, aus dem die Zuführungsleitungen durch die Ableitungsrohre nach oben in die Wandsegmente ragen.
- Kalt-Schmelz-Tiegel werden zur Herstellung sehr reiner Metallproben eingesetzt und insbesondere als Schmelzöfen zur Züchtung von Einkristallen verwendet. Die geringe Verunreinigung von in Kalt-Schmelz-Tiegeln erschmolzenen Metallen beruht darauf, daß infolge starker Kühlung der Tiegelwandung und durch Erzeugen eines Magnetfeldes mittels Hochfrequenz-Induktionsspulen der zunächst fest und dann geschmolzene Metallkörper in einer stabilen Lage frei schwebend im Schmelzraum gehalten wird (vgl. DE-PS 518499; Laboratory Methods, Vol. LXVII Nr. 404 Juni 1963, S. 301 ff., Hight Temperature Melting without Contamination in Cold Crucibles). Um die transformatorische Wirkung der Hochfrequenzspule optimal auszunutzen, wird eine Aufteilung der Tiegelwandung in möglichst viele Segmente angestrebt.
- Ein Kalt-Schmelz-Tiegel dieser Art ist aus der DE-OS 38 19 153 bekannt. Die als spitz zulaufende Dreieckssegmente ausgebildeten Einzelwandsegmente werden durch schnelle und einfache Arbeitsverfahren, wie beispielsweise Fräsen, aus einem Vollmaterial hergestellt. Zur Berücksichtigung des Metallverlustes durch den Trennvorgang (relativ breite Schlitze durch die Bearbeitung) wird von einem größeren Ausgangswerkstück, beispielsweise einem zylindrischen Vollmaterial mit größerem Durchmesser ausgegangen. Andere Herstellungsverfahren, wie beispielsweise Gießverfahren, sind ebenfalls einsetzbar.
- Die Einzelwandsegmente werden durch Löten mit den aus dem Basisteil herausragenden Ableitungsrohren für das Kühlmitel verbunden. Eine evtl. notwendige Justage ist leicht durch Biegen der Kühlleitungen möglich.
- Die Verbindung zwischen Einzelwandsegment und der Kühlleitung wird zweckmäßigerweise durch Weichlöten hergestellt. Das hat zur Folge, daß ein einzelnes Wandsegment zur Reparatur des Tiegels leicht herausgelöst werden kann. Der Tiegel ist somit leicht und kostengünstig zu reparieren, da Einzelwandsegmente leicht herausgelöst und ggf. durch neue ersetzt werden können.
- Die kompakte Bauart des oberen, die Tiegelmulde umschließenden Teils ermöglicht eine effektive Ankopplung an das HF-Magnetfeld. Dabei verbessert sich die HF-Leistungsankopplung auf das Schmelzgut mit zunehmender Zahl der Einzelsegmente. Nachteilig ist dabei jedoch, daß sich mit der zunehmenden Zahl der Einzelsegmente das sich im zentralen Tiegelinnenbereich befindliche Loch vergrößert.
- In dieses Loch im zentralen Tiegelbereich dringt bei Betrieb des Tiegels des öfteren mehr oder weniger Schmelzgut ein und verursacht einen Kurzschluß zwischen den Segmenten. Dies hat zur Folge, daß sich die HF-Ankopplung verschlechtert, wodurch sich nachteilig die Temperatur der Schmelze verringert.
- Die im Tiegelzentrum spitz auslaufenden Segmente sind durch die dort konzentrierte Dichte der Ringströme und durch die Schmelze außerdem besonders hohem Verschleiß und Belastungen ausgesetzt.
- Bei der Entnahme oder beim Wenden einer fertigen Probe (besonders häufig bei größeren Tiegeln) ergeben sich Schwierigkeiten, wenn sich im Zentralloch ein Pfropfen aus Schmelzgut gebildet hat, der sich in den vertikalen Schlitzen regelrecht verankert.
- Um eine gute Probe zu erzielen, wird überwiegend dreimal aufgeschmolzen und die Probe jeweils umgedreht. Damit soll eine gleichmäßige homogene Verteilung der Einzelelemente erreicht werden. Hat sich jedoch ein Pfropfen gebildet, so bricht dieser beim Umdrehen ab und muß teilweise aufwendig entfernt werden.
- Durch diese Prozedur wird der Reinheitsgrad und die stöchiometrische Genauigkeit der Proben verschlechtert.
- Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ausgehend von dem bekannten Kalt-Schmelz-Tiegel diesen so zu verbessern, daß die beschriebenen Nachteile vermieden werden.
- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zumindest ein als Flachsegment ausgebildetes Wandsegment, das sich, das Zentrum der Tiegelmulde einschließend, über den ganzen Tiegeldurchmesser erstreckt und parallele Wände aufweist in der Draufsicht sowie als Segmente ausgebildete Wandsegmente, die sich zum Zentrum verjüngen, vorgesehen sind. Das als Flachsegment ausgebildete Wandsegment erlaubt es, Kühlkanäle bis in das besonders wärmebelastete Zentrum der Tiegelmulde zu führen. Allein hierdurch entfallen ein Teil der Probleme, die sich aus der nicht hinreichenden Kühlung dieser Tiegelzone ergeben.
- Das Flachsegment kann leicht ausgewechselt werden. Denn sollte ein solches Flachsegment während des Betriebs beschädigt werden, wird hierfür ganz einfach von einem entsprechenden Profilstück die erforderliche Anzahl von Flachsegmenten scheibenweise abgeschnitten.
- Eine Weiterausgestaltung des das Zentrum einschließenden Flachsegmentes besteht darin, daß dieses aus wenigstens zwei Teilstücken besteht, die im bzw. am Zentrum der Tiegelmulde aneinander anliegen.
- Diese einander anliegenden Teilsegmente können auseinandergeschoben werden, so daß für den Fall, daß die Schmelze auslaufen soll, im Zentrum der Tiegelmulde eine Öffnung entsteht.
- Bei einer alternativen Ausgestaltung des Kalt-Schmelz-Tiegels gemäß der Erfindung ist das das Zentrum der Tiegelmulde einschließende Wandsegment so geformt, daß es eine von den übrigen Wandsegmenten ausgesparte, kreisrunde, zentrale Öffnung am Boden der Tiegelmulde passend ausfällt. Sind die übrigen Wandsegmente gleich, zum Zentrum hin sich verjüngend ausgestaltet und dementsprechend symmetrisch zueinander angeordnet, so ist bei dieser Ausführungsform die Tiegelmulde insgesamt aus symmetrisch zueinander angeordneten Wandsegmenten aufgebaut, was sich beim Betrieb des Tiegels als vorteilhaft erweist.
- Selbstverständlich ist auch bei dieser Ausführungsform des Tiegels das das Zentrum einschließende Wandsegment separat austauschbar.
- Besonders geeignet für einen solchen Austausch ist dabei eine Ausführungsform des Kalt-Schmelz-Tiegels, bei der daß Zwischenteil zwischen dem oberen Teil und dem Basisteil vorgesehen ist, das aus aus dem Basisteil herausragenden Ableitungsrohren für das Kühlmittel besteht, die jeweils mit einem Einzelwandsegment verbunden sind und daß die Anschlüsse für das Kühlmittelsystem seitlich am Basisteil oberhalb des Flansches münden, wobei Zu- und Ableitungen im Basisteil als Ringleitungen ausgebildet sind und im Basisteil eine zentrale Öffnung freilassen und wobei die Zu-und Ableitungsrohre von den Ringleitungen ausgehend in ringförmiger Anordnung aus dem Basisteil herausragen, so daß das die zentrale Öffnung am Boden der Tiegelmulde ausfüllende Wandsegment von unten in den Tiegel einfügbar ist.
- Ausführungsbeispiele des Kalt-Schmelz-Tiegels gemäß der Erfindung sind in der Zeichnung schematisch dargestellt und werden im folgenden näher erläutert:
- Es zeigen
- Figur 1 einen Vertikalschnitt durch den Tiegel mit als Flachsegment ausgebildetem Wandsegment längs der in Figur 2a angegebenen Linie A - B;
- Figur 2a, b,c Draufsichten auf unterschiedliche Ausführungsformen des oberen Teils des Tiegels von Figur 1 (ohne HF-Wicklung, jedoch mit zusätzlich angedeuteten Kühlleitungsrohren bzw. - kanälen);
- Figur 2a eine Ausführungsform mit einem Flachsegment;
- Figur 2b eine Ausführungsform mit einem aus zwei Teilen bestehenden Flachsegment gemäß Figur 2a und kreuzweise dazu angeordneten weiteren Flachsegmenten;
- Figur 2c eine Ausführungsform mit vier gleichen, kreuzweise angeordneten Flachsegmenten;
- Figur 3 einen Vertikalschnitt durch den Tiegel mit zentralem Wandsegment längs der in Figur 4 angegebenen Linie A-B;
- Figur 4 eine Draufsicht auf den oberen Teil des Tiegels von Figur 3 (ohne HF-Wicklung; jedoch mit zusätzlich angedeuteten Kühlleitungsrohren bzw. -kanälen).
- Der Kalt-Schmelz-Tiegel weist - wie aus Figur 1 hervorgeht - ein oberes Teil, das aus Wandsegmenten 1 und 1' besteht, sowie ein Basisteil 2 auf, das nach unten mit einem Flansch 3 abschließt und an die Zu- und Ableitungen für das Kühlmittel angeschlossen ist. Das Basisteil weist ferner einen weiteren Flansch 4 zur Aufnahme des Druckbehälters - der in der Zeichnung nicht dargestellt ist - auf.
- Die Wandsegmente 1 und 1' umschließen die Tiegelmulde. Sie sind im Außenraum von einer Hochfrequenzspule 5 umgeben.
- Die Wandsegmente 1 und 1', die durch einen Spalt von maximal 0,5 mm voneinander getrennt sind, sind so geformt, daß der Schmelzraum den Schmelzbedingungen optimal angepaßt ist. In den Segmenten laufen Kühlkanäle 6, die entlang der inneren Oberfläche des Schmelzraumes so geführt sind, daß eine ausreichende Kühlung der am Boden kalottenförmigen Tiegelwandung erreicht wird. Die Zuleitungsrohre 7, die vom Basisteil 2 ausgehen und mit der Zuleitung 7' für das Kühlmittel in Verbindung stehen, dienen der Zuführung des Kühlmittels.
- Die mechanische Verbindung zwischen dem oberen, aus den Wandsegmenten 1 und 1' bestehenden Teil und dem Basisteil 2 bilden die Ableitungsrohre 8 bzw. 8a. Diese sind mit dem Basisteil hartverlötet, mit dem jeweiligen Wandsegment dagegen weichverlötet, so daß im Reparaturfall die Verbindung leicht gelöst werden kann.
- Die Ableitungsrohre 8 sind mit der Ableitung 8' im Basisteil 2 oberhalb des Flansches 3 verbunden. Sie sind im Basisteil ebenso wie die Kühlmittelzuleitung als Ringleitung ausgebildet und umschließen eine zentrale Öffnung 9.
- Bei der in Figur 2a dargestellten Ausführungsform ist ein einziges Flachsegment 1' vorgesehen. Die übrigen Segmente sind als sich zum Zentrum des Tiegels hin verjüngende Teilstücke 1 ausgebildet.
- Bei der in Figur 2b dargestellten Ausführungsform ist ein aus zwei gleichen Teilstücken 1' bestehendes Flachsegment dargestellt mit zusätzlich kreuzweise dazu angeordneten, weiteren Flachsegmenten 1'.
- Figur 2c zeigt eine Ausführungsform mit gleichen, kreuzweise angeordneten Flachsegmenten 1'.
- Bei dem in Figur 3 dargestellten Kalt-Schmelz-Tiegel, der in seinem Aufbau grundsätzlich dem in Figur 1 dargestellten Tiegel entspricht, weist das obere Teil des Tiegels ein zentrales Wandsegment 1" auf. Diese Ausführungsform weist zudem auch die Merkmale des Anspruchs 5 auf, so daß das Wandsegment 1" von unten einführbar ist. Auch in diesem Wandsegment 1" sind, wie aus der Zeichnung allerdings nicht hervorgeht, Kühlkanäle und Kühlleitungen vorgesehen.
- Figur 4 zeigt das zentrale Wandelement 1" im Zentrum der Tiegelmulde.
Claims (4)
dadurch gekennzeichnet,
daß zumindest ein als Flachsegment ausgebildetes Wandsegment (1'), das sich, das Zentrum der Tiegelmulde einschließend, über den ganzen Tiegeldurchmesser erstreckt und parallele Wände aufweist in der Draufsicht sowie als Segmente ausgebildete Wandsegmente (1), die sich zum Zentrum verjüngen, vorgesehen sind.
dadurch gekennzeichnet,
daß das Flachsegment (1') aus wenigstens zwei Teilstücken besteht, die im bzw. am Zentrum der Tiegelmulde aneinander anliegen.
dadurch gekennzeichnet,
daß das das Zentrum der Tiegelmulde einschließende Wandsegment (1") so geformt ist, daß es eine von den übrigen Wandsegmenten ausgesparte, kreisrunde, zentrale Öffnung am Boden der Tiegelmulde passend ausfüllt.
dadurch gekennzeichnet,
daß ein Zwischenteil zwischen dem oberen Teil und dem Basisteil (2) vorgesehen ist, das aus aus dem Basisteil herausragenden Ableitungsrohren (8) für das Kühlmittel besteht, die jeweils mit einem Einzelwandsegment (1) verbunden sind und daß die Anschlüsse (7' und 8') für das Kühlmittelsystem seitlich am Basisteil oberhalb des Flansches (3) münden, wobei Zu- und Ableitungen im Basisteil als Ringleitungen ausgebildet sind und im Basisteil eine zentrale Öffnung (9) freilassen und wobei die Zu- und Ableitungsrohre (7, 8) von den Ringleitungen ausgehend in ringförmiger Anordnung aus dem Basisteil herausragen, so daß das die zentrale Öffnung am Boden der Tiegelmulde ausfüllende Wandsegment (1") von unten in den Tiegel einfügbar ist.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4022561A DE4022561C1 (de) | 1990-07-16 | 1990-07-16 | |
DE4022561 | 1990-07-16 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
EP0467230A1 true EP0467230A1 (de) | 1992-01-22 |
EP0467230B1 EP0467230B1 (de) | 1995-10-04 |
Family
ID=6410364
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
EP91111644A Expired - Lifetime EP0467230B1 (de) | 1990-07-16 | 1991-07-12 | Kalt-Schmelz-Tiegel |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0467230B1 (de) |
AT (1) | ATE128760T1 (de) |
DE (2) | DE4022561C1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022048004A1 (zh) * | 2020-09-04 | 2022-03-10 | 安徽骏马新材料科技股份有限公司 | 智能干法熔铅炉 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5528620A (en) * | 1993-10-06 | 1996-06-18 | Fuji Electric Co., Ltd. | Levitating and melting apparatus and method of operating the same |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3709678A (en) * | 1969-03-13 | 1973-01-09 | J Gallay | Process for the preparation of metals or alloys |
US4738713A (en) * | 1986-12-04 | 1988-04-19 | The Duriron Company, Inc. | Method for induction melting reactive metals and alloys |
EP0311506A1 (de) * | 1987-10-06 | 1989-04-12 | Commissariat A L'energie Atomique | Schmelztiegel für einen Induktionsofen |
EP0345542A2 (de) * | 1988-06-04 | 1989-12-13 | Forschungszentrum Jülich Gmbh | Kalt-Schmelz-Tiegel |
EP0345541A2 (de) * | 1988-06-04 | 1989-12-13 | Forschungszentrum Jülich Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines Kalt-Schmelz-Tiegels |
EP0392066A1 (de) * | 1989-04-14 | 1990-10-17 | Vsesojuzny Nauchno-Issledovatelsky Proektno-Konstruktorsky I Tekhnologichesky Inst. Elektrotermicheskogo Oborudovania Vniieto | Vakuuminduktionsofen |
-
1990
- 1990-07-16 DE DE4022561A patent/DE4022561C1/de not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-07-12 DE DE59106613T patent/DE59106613D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-07-12 EP EP91111644A patent/EP0467230B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-07-12 AT AT91111644T patent/ATE128760T1/de not_active IP Right Cessation
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3709678A (en) * | 1969-03-13 | 1973-01-09 | J Gallay | Process for the preparation of metals or alloys |
US4738713A (en) * | 1986-12-04 | 1988-04-19 | The Duriron Company, Inc. | Method for induction melting reactive metals and alloys |
US4738713B1 (de) * | 1986-12-04 | 1994-01-04 | Duriron Company, Inc. | |
EP0311506A1 (de) * | 1987-10-06 | 1989-04-12 | Commissariat A L'energie Atomique | Schmelztiegel für einen Induktionsofen |
EP0345542A2 (de) * | 1988-06-04 | 1989-12-13 | Forschungszentrum Jülich Gmbh | Kalt-Schmelz-Tiegel |
EP0345541A2 (de) * | 1988-06-04 | 1989-12-13 | Forschungszentrum Jülich Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines Kalt-Schmelz-Tiegels |
EP0392066A1 (de) * | 1989-04-14 | 1990-10-17 | Vsesojuzny Nauchno-Issledovatelsky Proektno-Konstruktorsky I Tekhnologichesky Inst. Elektrotermicheskogo Oborudovania Vniieto | Vakuuminduktionsofen |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022048004A1 (zh) * | 2020-09-04 | 2022-03-10 | 安徽骏马新材料科技股份有限公司 | 智能干法熔铅炉 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0467230B1 (de) | 1995-10-04 |
DE4022561C1 (de) | 1992-02-27 |
DE59106613D1 (de) | 1995-11-09 |
ATE128760T1 (de) | 1995-10-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3517438C2 (de) | Hochleistungswiderstand mit niedrigem Widerstandswert sowie ein Verfahren zur Herstellung | |
DE2160694C3 (de) | Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstäben | |
DE2855446A1 (de) | Induktionsheizspule und verfahren zu ihrer herstellung | |
DE2730161C2 (de) | ||
EP0061612B1 (de) | Hochstromleitungssystem für Elektroöfen | |
DE2657551B2 (de) | Vorrichtung zur Herstellung von GuB mit gerichtetem Gefüge | |
EP0630712A1 (de) | Eintauchausguss | |
DD249765A5 (de) | Küvette für die flammenlose Atomabsorptions-Spektroskopie | |
DE3226713A1 (de) | Als flachspule ausgebildete induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen | |
DE4142406A1 (de) | Verfahren zur herstellung von waermeuebertragungsvorrichtungen, und werkzeuge zur durchfuehrung des verfahrens | |
EP0467230B1 (de) | Kalt-Schmelz-Tiegel | |
DE3819153C2 (de) | ||
DE3819154C1 (de) | ||
DE1925087B2 (de) | Heizelement aus einem feuerfesten oxydationsbestaendigen material | |
DE1138486B (de) | Verfahren zum hermetischen Verschliessen eines Gehaeuses, das ein Halbleiter-Bauelement umschliesst | |
DE3143146A1 (de) | Als flachspule ausgebildete induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen | |
EP1111631B1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Kontaktstückrohlings und eines Kontaktstückes sowie ein Kontaktstückrohling, ein Kontaktstück und eine Kontaktstückanordnung für Axialmagnetfeldanwendungen in einer Vakuumkammer | |
DE3030169A1 (de) | Vorrichtung zum ziehen eines kristallkoerpers aus einer schmelzfluessigkeit | |
DE3843728C2 (de) | ||
DE2938793A1 (de) | Induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen | |
DE3332279C2 (de) | ||
WO2021115529A1 (de) | Zerspanungswerkzeug und verfahren zur herstellung eines zerspanungswerkzeuges | |
DE2461968C3 (de) | Vorrichtung zum Züchten von Einkristallen schwerschmelzbarer Oxide | |
DE2515427C3 (de) | Vorrichtung zur Gewinnung kristalliner Werkstoffe | |
EP0386047A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von einkristallinen halbleiterplatten. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PUAI | Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012 |
|
AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT CH DE FR GB LI NL SE |
|
17P | Request for examination filed |
Effective date: 19920714 |
|
17Q | First examination report despatched |
Effective date: 19940610 |
|
GRAA | (expected) grant |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210 |
|
AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: B1 Designated state(s): AT CH DE FR GB LI NL SE |
|
REF | Corresponds to: |
Ref document number: 128760 Country of ref document: AT Date of ref document: 19951015 Kind code of ref document: T |
|
REF | Corresponds to: |
Ref document number: 59106613 Country of ref document: DE Date of ref document: 19951109 |
|
ET | Fr: translation filed | ||
GBT | Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977) |
Effective date: 19951123 |
|
PLBE | No opposition filed within time limit |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261 |
|
STAA | Information on the status of an ep patent application or granted ep patent |
Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT |
|
26N | No opposition filed | ||
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: DE Payment date: 19990624 Year of fee payment: 9 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: GB Payment date: 19990628 Year of fee payment: 9 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: FR Payment date: 19990719 Year of fee payment: 9 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: SE Payment date: 19990722 Year of fee payment: 9 Ref country code: NL Payment date: 19990722 Year of fee payment: 9 Ref country code: CH Payment date: 19990722 Year of fee payment: 9 Ref country code: AT Payment date: 19990722 Year of fee payment: 9 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: GB Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20000712 Ref country code: AT Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20000712 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: SE Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20000713 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: LI Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20000731 Ref country code: CH Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20000731 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: NL Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20010201 |
|
GBPC | Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee |
Effective date: 20000712 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: CH Ref legal event code: PL |
|
EUG | Se: european patent has lapsed |
Ref document number: 91111644.0 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: FR Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20010330 |
|
NLV4 | Nl: lapsed or anulled due to non-payment of the annual fee |
Effective date: 20010201 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: FR Ref legal event code: ST |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: DE Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20010501 |