EA015326B1 - Термостойкая многослойная система c низкой излучательной способностью для прозрачных подложек - Google Patents

Термостойкая многослойная система c низкой излучательной способностью для прозрачных подложек Download PDF

Info

Publication number
EA015326B1
EA015326B1 EA200870383A EA200870383A EA015326B1 EA 015326 B1 EA015326 B1 EA 015326B1 EA 200870383 A EA200870383 A EA 200870383A EA 200870383 A EA200870383 A EA 200870383A EA 015326 B1 EA015326 B1 EA 015326B1
Authority
EA
Eurasian Patent Office
Prior art keywords
layer
ζηο
layers
multilayer system
coating
Prior art date
Application number
EA200870383A
Other languages
English (en)
Other versions
EA200870383A1 (ru
Inventor
Хайнц Шихт
Уве Шмидт
Пьер-Ален Жийе
Original Assignee
Сэн-Гобэн Гласс Франс
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сэн-Гобэн Гласс Франс filed Critical Сэн-Гобэн Гласс Франс
Publication of EA200870383A1 publication Critical patent/EA200870383A1/ru
Publication of EA015326B1 publication Critical patent/EA015326B1/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3626—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3652—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the coating stack containing at least one sacrificial layer to protect the metal from oxidation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
    • C03C17/366—Low-emissivity or solar control coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08—Oxides
    • C23C14/086—Oxides of zinc, germanium, cadmium, indium, tin, thallium or bismuth
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/70—Properties of coatings
    • C03C2217/73—Anti-reflective coatings with specific characteristics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/10—Deposition methods
    • C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/154—Deposition methods from the vapour phase by sputtering
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31551—Of polyamidoester [polyurethane, polyisocyanate, polycarbamate, etc.]
    • Y10T428/31598—Next to silicon-containing [silicone, cement, etc.] layer
    • Y10T428/31601—Quartz or glass

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

Изобретение относится к многослойной системе с низкой излучательной способностью, устойчивой к термической обработке, для прозрачных подложек, в частности для оконных стекол, содержащей, начиная с подложки, по меньшей мере, нижнее антиотражающее покрытие, состоящее из нескольких слоев и включающее слой, по существу, состоящий из ZnO, который примыкает к функциональному слою на основе серебра, по существу, металлический блокирующий слой, расположенный поверх слоя на основе серебра, верхнее антиотражающее покрытие, состоящее из нескольких слоев, и покровное покрытие, необязательно состоящее из нескольких слоев. Верхнее антиотражающее покрытие имеет слой ZnO или смешанного оксида ZnMeO, который содержит ZnO или последовательность слоев смешанных оксидов типа ZnO:Al/ZnMeO; слой SiNили SiON; расположенный между этими двумя слоями разделяющий слой с толщиной от 0,5 до 5 нм, состоящий из оксида металла или смешанного оксида с кубической кристаллической решеткой, который препятствует прямому контакту между указанными двумя слоями. Согласно изобретению введенный разделяющий слой делает возможным дальнейшее улучшение механических и химических свойств многослойной системы и получение оконных стекол с нанесенным покрытием, которые устойчивы к техническим манипуляционным работам. Другим аспектом изобретения является оконное стекло, включающее в себя подложку и вышеописанную многослойную систему.

Description

(57) Изобретение относится к многослойной системе с низкой излучательной способностью, устойчивой к термической обработке, для прозрачных подложек, в частности для оконных стекол, содержащей, начиная с подложки, по меньшей мере, нижнее антиотражающее покрытие, состоящее из нескольких слоев и включающее слой, по существу, состоящий из ΖηΟ, который примыкает к функциональному слою на основе серебра, по существу, металлический блокирующий слой, расположенный поверх слоя на основе серебра, верхнее антиотражающее покрытие, состоящее из нескольких слоев, и покровное покрытие, необязательно состоящее из нескольких слоев. Верхнее антиотражающее покрытие имеет слой ΖηΟ или смешанного оксида ΖηΜοΟχ, который содержит ΖηΟ или последовательность слоев смешанных оксидов типа ΖηΟ:А1/ΖηΜеΟx; слой 8ί3Ν4 или 8ίχΟ;.Νζ: расположенный между этими двумя слоями разделяющий слой с толщиной от 0,5 до 5 нм, состоящий из оксида металла или смешанного оксида с кубической кристаллической решеткой, который препятствует прямому контакту между указанными двумя слоями. Согласно изобретению введенный разделяющий слой делает возможным дальнейшее улучшение механических и химических свойств многослойной системы и получение оконных стекол с нанесенным покрытием, которые устойчивы к техническим манипуляционным работам. Другим аспектом изобретения является оконное стекло, включающее в себя подложку и вышеописанную многослойную систему.
Изобретение относится к многослойной системе с низкой излучательной способностью, устойчивой к термической обработке, для прозрачных подложек, в частности для оконных стекол, причем система имеет, начиная с подложки, по крайней мере, нижнее антиотражающее покрытие, состоящее из нескольких частичных слоев и включающее слой, по существу, состоящий из ΖηΟ, который примыкает к функциональному слою на основе серебра, по существу, металлический блокирующий слой, расположенный поверх слоя на основе серебра, верхнее антиотражающее покрытие, состоящее из нескольких частичных слоев, и покровное покрытие, необязательно состоящее из нескольких частичных слоев, причем слои наносят вакуумным напылением.
Настоящее изобретение также относится к стеклу, включающему по крайней мере одну подложку, несущую многослойную систему по изобретению.
Под выражением высокотермостойкие многослойные системы подразумевают многослойные системы, которые выдерживают температуры примерно 600-750°С, причем такие температуры необходимы для проведения сгибания и/или закалки стеклянных подложек, без ухудшения или потери их существенных свойств, а именно высокого пропускания в видимом диапазоне спектра, сильного отражения в диапазоне теплового излучения, низкого рассеивания, высокой цветовой нейтральности, высокой механической прочности и высокой химической устойчивости. В случае последующей технической обработки оконных стекол, на которые их предпочтительно осаждают, данные многослойные системы также называют закаляемыми и/или сгибаемыми системами. Принципиально также, конечно, возможно осаждать данные многослойные системы на подложки, которые не будут впоследствии термически обработаны. Следовательно, данные известные многослойные системы и многослойные системы по изобретению также подходят для пластмассовых прозрачных подложек.
Термин функциональные слои относится большей частью к металлическим слоям, которые могут быть использованы, по существу, для теплоизоляции (отражения тепла). Во многих случаях функциональный слой современных многослойных систем основан на серебре или состоит, по существу, из серебра (которое оказывает положительное воздействие на цветовую нейтральность многослойной системы), однако другие материалы также известны для применения в функциональных слоях, например золото и медь.
Известны различные варианты осуществления высокотермостойких многослойных систем. В первой группе высокотермостойких многослойных систем все антиотражающие слои состоят из нитрида кремния (813Ν4), который отделен от серебряного функционального слоя тонкими блокирующими слоями из ίτΝί и/или ΝίΟτΟχ.
Многослойные системы, имеющие данные структуры, например, описаны в документах ЕР 0567735 В1, ЕР 0717014 В1, ЕР 0771766 В1, ЕР 0646551 В1, ЕР 0796825 В1, ЕР 1446364 В1 и ЕР 1174397 А2. В многослойной системе, описанной в документе ЕР 0883584 В1, блокирующие слои, помещенные между серебряным слоем и антиотражающими слоями 8ί3Ν4, состоят из кремния.
В другой группе высокотермостойких многослойных систем, которые содержат серебряный слой в качестве функционального слоя, антиотражающие слои состоят из оксидных слоев. Данные многослойные системы, в которых антиотражающие слои состоят из чистых оксидов, описаны, например, в документах ΌΕ 19852358 С1, ЕР 099192 В1, ЕР 1538131 А1 и \\Ό 2004/058660 А1. Данные многослойные системы также могут содержать верхний слой из нитрида металла, в частности 8ί3Ν4.
В документе ЕР 0718250 В1 описаны закаляемые многослойные системы, имеющие оксидные, нитридные или карбидные антиотражающие слои, в которых функциональный слой на основе серебра покрыт металлическим блокирующим слоем, который может состоять, например, из N6. Та, Τι, Сг или N1 или сплава по крайней мере двух данных металлов. В одном осуществлении тонкий промежуточный слой ΖηΟ помещен между блокирующим слоем N6, расположенном на серебряном слое, и верхним антиотражающим слоем 8ί3Ν4.
В документе ΌΕ 10235154 В4 раскрыта высокотермостойкая многослойная система типа, указанного в начале и имеющего блокирующий слой на основе титанового сплава. В данном документе также описаны многослойные системы, в которых слой необязательно А1-легированного ΖηΟ нанесен на металлический блокирующий слой, причем слой 8ί3Ν4, который образует часть верхнего антиотражающего покрытия, как и слой ΖηΟ, нанесен на данный слой ΖηΟ.
В документе ΌΕ 10105199 С1 описана высокотермостойкая многослойная структура, имеющая оксидные антиотражающие слои, где в структуре промежуточный слой с толщиной от 0,5 до 5 нм нитрида металла, например 8ί3Ν4 или Α1Ν, размещен между серебряным слоем и металлическим блокирующим слоем, помещенным поверх серебряного слоя.
В документе ЕР 1238950 А2 и документе ЕР 1583723 А1 описаны закаляемые многослойные системы, которые необязательно имеют несколько серебряных функциональных слоев и нитридных антиотражающих слоев или нитридных частичных слоев, которые образуют антиотражающие слои, и в которых последовательность слоев Ν^ιΟχ/8ηΟ2/8ί3Ν4 помещена поверх серебряного функционального слоя.
В документе ΌΕ 10351616 А1, который также относится к высокотермостойким многослойным системам, также раскрыты многослойные системы, которые содержат последовательность слоев: Α§/8ί3Ν4/ΖηΟ/8ηΟ/8ί3Ν4.
- 1 015326
В документе АО 97/48649 также описаны высокотермостойкие многослойные системы, которые содержат серебряные функциональные слои и антиотражающие слои 8ί3Ν4. Согласно данному документу последовательность слоев, расположенных поверх серебряного верхнего слоя, также может состоять из Ν6/ΖηΟ/ΤίΝ/8ί3Ν 4.
Строгие требования не только в терминах термостойкости, но также в терминах механических и химических свойств, накладываются на закаляемые или сгибаемые многослойные системы. При транспортировке в пределах предприятия, резке и шлифовании оконных стекол, при операциях помывки в моечных машинах, при перемещении через закалочную и/или гибочную печь и при последующих транспортировке и операциях обработки (которые собирательно будут именоваться ниже как манипуляционные работы), данные слои подвергаются воздействию значительных нагрузок, которые могут легко привести к повреждению многослойной системы.
Задача, лежащая в основе изобретения, заключается в дальнейшем улучшении механических и химических свойств высокотермостойких многослойных систем и в разработке многослойных систем, которые проявляют хорошие оптические свойства и являются высокостойкими к техническим манипуляционным работам.
Изобретение решает данную задачу в соответствии с признаками, описанными в п.1 формулы изобретения. Зависимые пункты детализируют особенно преимущественные характеристики.
Хотя в основном уже возможно получить относительно высокую прочность и хорошие манипуляционные свойства многослойной системы с применением известной последовательности 8ί3Ν4/ΖηΟ над и/или под серебряным слоем, в случае данной последовательности слоев иногда при последующих производственных и обрабатывающих операциях наблюдается существование дефектов качества. Неожиданно оказалось, что данных дефектов качества можно избежать путем введения в соответствии с изобретением разделяющего слоя из оксида металла или смешанного оксида с кубической кристаллической решеткой.
Одна причина чувствительности последовательности слоев 8ί3Ν4/ΖηΟ и ΖηΟ/8ί3Ν4 могла бы заключаться в том, что не создан граничный слой. Это происходит вследствие того, что 8ί3Ν4 представляет собой аморфный материал, который обладает выраженными изотропными свойствами, тогда как ΖηΟ представляет собой кристаллический материал с весьма плотной гексагональной упаковкой и анизотропными свойствами. Анизотропия обусловлена пространственной структурой решетки и обнаруживает себя, например, в упругости, твердости, способности к нарушению адгезии и термическому удлинению, и это также является функцией зависимости данных свойств от направления. Однако слой кристаллического материала, имеющего кубическую решетку, помещенный в качестве разделяющего слоя, является изотропным с оптической точки зрения, но, что касается его механических свойств, он ведет себя как анизотропный материал. Следовательно, он выполняет две функции и действует таким образом как слой, который усиливает связывание между слоем 8ί3Ν4 и слоем ΖηΟ.
Примеры материалов, подходящих для разделяющего слоя, имеющего кубическую кристаллическую решетку, представляют собой слои на основе или состоящие из Νίί’ΓΟ,.. Α12Ο3, Μ§Α1Οχ, ΤίΑ1Οχ, ΝίΑ1Οχ и ΝίΟ. Смешанный оксидный слой, который содержит ΖηΟ, может быть на основе или состоять из ΖηδηΟχ, ΖηΑ1Οχ, ΖηΒίΟχ, Ζη86Οχ или ΖηΙηΟχ (как обычно, подстрочные буквы обозначают индексы, допускающие получение определенной стехиометрии).
Последовательность частичных слоев верхнего антиотражающего покрытия, предложенного изобретением, т.е. расположение разделяющего слоя из оксида металла или смешанного оксида, имеющего кубическую кристаллическую решетку, между частичным слоем, который содержит ΖηΟ, и в преимущественном исполнении изобретения частичным слоем нитрида кремния, в качестве альтернативы или дополнительно также можно создать внутри нижнего антиотражающего покрытия многослойной системы. Следовательно, возможно в контексте введения п.1 формулы изобретения создать нижнее антиотражающее покрытие и/или верхнее антиотражающее покрытие, которое имеет частичный слой ΖηΟ или смешанного оксида ΖηΜοΟ., который содержит ΖηΟ или последовательность слоев смешанных оксидов типа ΖηΟ:Α1/ΖηΜθΟχ;
частичный слой 8ί3Ν4 или 8ίχΟγΝζ и между данными двумя частичными слоями разделяющий слой с толщиной от 0,5 до 5 нм, состоящий из оксида металла или смешанного оксида с кубической кристаллической решеткой, который препятствует прямому контакту между данными двумя частичными слоями.
Согласно изобретению многослойные системы могут также иметь, в частности, расположения частичных слоев, приведенные ниже:
подложка (стекло)/8ί3Ν.·|/ΖηΟ:Α1/Αβ/Νίίτ/ΖηΟ:Α1/Νίί’ΓΟ,·/8ί3Ν.·|/(поверхностное покрытие); подложка (стекло)/8^3N.|/N^С^Ο,/ΖηΟ:Α1/Αβ/N^С^/ΖηΟ:Α1/N^С^Ο,/8^3N.|/(поверхностное покрытие); подложка (стекло)/8^3N.|/Ζη8ηΟ,/ΖηΟ:Α1/Αβ/N^С^/ΖηΟ:Α1/N^С^Ο,/8^3N.|/(поверхностное покрытие);
подложка (стекло)/8^3N4/N^С^Οx/Ζη8ηΟx/ΖηΟ:Α1/Αд/N^С^/ΖηΟ/Ζη8ηΟx/N^С^0x/8^3N4/(поверхностное покрытие).
Также возможно улучшить механические прочностные свойства многослойной системы с применением поверхностных покрытий на основе определенных ΤίΖτΗί-соединений.
- 2 015326
Первое обеспечивающее преимущество поверхностное покрытие состоит из ΤίΖιΉΓ(Ο·0;,Νζ). Указанное поверхностное покрытие напыляют из металлической ΤίΖιΉΓ-мишени, используя Ν2 в качестве рабочего газа, к которому добавлено 0,5% СН4. Однако также возможно обойтись без добавления СН4 и получить необходимый углерод в рабочем газе, который окружает ΤίΖτΗΓ-мишень, за счет углеводородов, присутствующих в нагнетающей системе, имеющей низкий уровень вакуумирования, как также в основном раскрыто в документе ЕР 0270024 В1, в котором описано напыление Т|С,-Оу№-слоев. Введение кислорода имеет место немедленно, когда слой приходит в контакт с атмосферой. Используя АЕ8 (электронную Оже-спектроскопию) и ХР8/Е8СА (электронную спектроскопию для химического анализа), можно было показать, что полученное таким образом поверхностное покрытие имеет гомогенную ΤίΖΓΗΓ/карбоксинитридную структуру. Существование такой структуры описано в специальной литературе (см., например, немецкий журнал Носйуакиит, ОгспхПасйсп/Ойппс 8сЫсй1еи, том 1, март 1984, с. 142 и журнал Τΐιίπ 8ο1ί6 Рйтк, 100 (1983), с. 193-201, название статьи Τίκ Ш1сго11агбпе55 оГ геасйуе1у крийегеб ΤίΟ·Ο;ζΝζ Й1т§).
В документе XVО 2004/71984 А1 раскрыты закаляемые многослойные системы, в которых поверхностное покрытие может состоять из оксинитридов, оксикарбидов и карбонитридов Τι, Ζγ и других элементов групп 1УЬ, УЬ и У1Ь Периодической таблицы. Однако данные известные многослойные системы представляют собой смеси индивидуальных соединений, и данное поверхностное покрытие не имеет структуру, идентичную комплексной и гомогенной связывающей структуре, полученной в данном изобретении.
Другое обеспечивающее преимущество поверхностное покрытие состоит из чистого окисленного слоя ΤίΖτΗΓΥΟχ. Указанное окисленное поверхностное покрытие предпочтительно напыляют из окисленной проводящей керамической мишени, которая содержит от 5 до 10 мас.% Υ2Ο3 относительно содержания ΖγΟ2. Данный слой предпочтительно напыляют из трубчатой мишени в рабочей атмосфере Аг/О2.
Далее изобретение будет описано двумя иллюстративными примерами, которые сопоставлены со сравнительным примером известного уровня техники. Поскольку положения изобретения должны улучшить, в частности, механическую прочность и стойкость, для оценки свойств слоев на покрытых оконных стеклах были проведены измерения и испытания, указанные ниже.
A. Табер-испытание (предложенное компанией Τ;·№γ 1пби51пе5).
В данном испытании незакаленный тестовый образец с нанесенным покрытием зажимали в устройстве и обрабатывали, используя фрикционный валик типа С8-10 Р, вращая фрикционный валик, так что он совершал 50 вращений при нагрузке 500 г. Покрытие, обработанное данным способом, оценивали под микроскопом. Результаты данного испытания приведены как процент еще присутствующих слоев.
B. Испытание царапанием по Эриксену на незакаленных тестовых образцах.
Круговую царапину создавали на незакаленных тестовых образцах с нанесенным покрытием, имеющих размер 10x10 см2, в слое, используя иглу типа ван Лаар под нагрузкой 5 Н. Далее тестовый образец термически закаляли и ширину царапины измеряли под микроскопом. Чем уже царапина, тем меньше было повреждено покрытие и тем лучше качество покрытия.
C. Испытание царапанием по Эриксену на закаленных тестовых образцах.
Круговые царапины создавали в той же установке, что и в испытании В, под возрастающей нагрузкой в покрытии на предварительно напряженных тестовых образцах размером 10x10 см2, и определяли нагрузки, при которых наблюдалась прерванная царапина, а также нагрузки, при которых наблюдалась непрерывная царапина.
Ό. Скребковое испытание по Эриксену на не подвергнутых предварительному напряжению тестовых образцах.
Тестовые образцы с нанесенным покрытием, не подвергнутые предварительному напряжению, подвергали скребковому испытанию по Эриксену согласно стандарту Α8ΤΜ 2486. Данное испытание определяет, в какой степени оказывается возможным наблюдать дефекты в покрытии после 300 движений.
Е. Скребковое испытание по Эриксену на предварительно напряженных тестовых образцах.
Тестовые образцы с нанесенным покрытием измерениями 10x40 см2 закаляли в закалочной печи и подвергали тому же скребковому испытанию. Измеряли число движений, при котором начинают замечать отделение покрытия.
Р. Измерение сопротивления царапанию способом, предложенным авторами изобретения.
В данном измерении иглу, нагруженную определенной массой, протягивали вдоль покрытия с определенной скоростью как до закаливания (Ь), так и после закаливания (а). Масса в г, для которой следы царапин являются видимыми, представляет собой меру сопротивления царапанию.
О. Испытание стальной мочалкой.
В данном испытании стальной мочалкой проводили при слабом давлении по покрытию незакаленного тестового образца. Считали, что испытание пройдено, если не видно царапины.
- 3 015326
H. Испытание спиртом.
Данное испытание проводят после создания предварительного напряжения, протирая покрытие с использованием пропитанного спиртом лоскута. Фрикционных пятен не видно.
I. Измерения с использованием установки, измеряющей рассеяние света, от компании Сагбпсг.
1.1. Измерение рассеянного света до (Ь) и после (а) закалки.
1.2. Измерение пропускания до (Ь) и после (а) закалки.
Сравнительный пример.
Многослойную систему низкой эмиссионной способности, соответствующую известному уровню техники, наносили на оконные стекла флоат-стекла с толщиной 4 мм в промышленной установке непрерывного нанесения покрытия, в которой имелась возможность использовать все типы мишеней, а именно с плоскими мишенями и трубчатыми мишенями, в условиях переменного и/или постоянного тока, используя реактивное магнетронное распыление (т.е. реактивное катодное распыление, поддержанное магнитным полем), причем числа, приведенные перед химическим символом, показывают толщину каждого отдельного слоя в нм: стекло/258г,М|/92пО:А1/11.5Ад/3.5№Сг/52пО: Α1/33§ί3Ν4/2Ζη2ΤίΟ4.
Слои ΖηΟ:Α1 напыляли из металлической ΖηΑΙ-мишени, содержащей 2 мас.% А1. Блокирующий слой, расположенный на серебряном слое, напыляли, используя аргон в качестве рабочего газа, из металлической №Сг-мишени, состоящей из 80 мас.% N1 и 20 мас.% Сг. Кремниево-нитридный верхний антиотражающий слой напыляли в реактивных условиях с Аг/^-рабочим газом из δί-мишени и верхнее поверхностное покрытие также напыляли в реактивных условиях с Аг/О2 в качестве рабочего газа из металлической мишени, изготовленной из ΖηΤί-сплава, который содержит 73 мас.% Ζη и 27 мас.% Τι. Тестовые образцы, необходимые для проведения вышеупомянутых испытаний, вырезали из стекла с нанесенным покрытием.
Когда тестовые образцы должны были быть подвергнуты предварительному напряжению, его проводили в высокоэффективной печи типа 47067 от Е£со, которая удовлетворяет стандартам технологии.
Свойства определяли на тестовых образцах сравнительного примера, используя вышеуказанные испытания.
А. Табер-испытание: 80%
В. Ширина царапины в испытании царапанием по Эриксену: 160-180 мкм
С. Визуальная оценка царапин: непрерывные царапины 1 Н
О. Скребковое испытание на незакаленном стекле: начало отделения покрытия после 30 прогонов
Е. Скребковое испытание на закаленном стекле: бездефектное покрытие
Г. Сопротивление царапанию: (Ь): 55-64 г; (а): 15-20 г
С. Испытание стальной мочалкой: пятно царапин
Н. Испытание спиртом: отсутствие видимого пятна
11. Рассеяние света: (Ь) : 0,17%; (а) : 0, 30%
12. Пропускание: (Ь) : 84%; (а) : 89%
Иллюстративный пример 1.
Панель из флоат-стекла с толщиной 4 мм покрывали в той же установке непрерывного нанесения покрытия, которая использована в сравнительном примере, следующей многослойной системой: стекло/25§^3N4/9ΖηΟ:Αд/11,5Αд/3,5N^С^/5ΖηΟ:Α1/2, 5Ν^Γθχ/338ί3Ν4/2ΤίΖΓΗ£ (Ο,ΟγΝζ).
Слои ΖηΟΑΙ, слой Νίίτ и слои 8ί3Ν4 напыляли в тех же условиях, которые указаны в отношении сравнительного примера. Слой №СгОх также напыляли из 80/20 №Сг-мишени, но в реактивных условиях, используя в качестве рабочего газа Аг/О2-смесь (250/90 см3 в стандартных условиях). Мишень, использованная для отложения поверхностного покрытия Τ^Ζ^Η£(СxΟуNζ), состояла из ΤίΖτΗΓ-сплава, состоящего из 55 мас.% Τι, 44 мас.% Ζγ и 1 мас.% Н£, и была распылена с использованием смеси Аг/Ν в качестве рабочего газа. Углерод был включен в поверхностное покрытие из остаточного газа, присутствующего в установке, после понижения мощности всасывания на данном катоде, и кислород также был включен из остаточного газа, но также из атмосферы после того, как поверхностное покрытие было приведено в контакт с внешней атмосферой. Измерения ХР8/Е8СА и АЕ8, проведенные на данном поверхностном покрытии, хорошо соответствовали данным для Ме-карбоксинитридной структуры, раскрытой в литературе.
- 4 015326
Следующие свойства были определены для данного изделия, используя вышеуказанные испытания.
А. Табер-испытание: 87%
В. Ширина царапины в испытании царапанием по Эриксену: 80 мкм
С. Визуальная оценка царапин: непрерывные царапины 7 Н
0. Скребковое испытание на незакаленном стекле: начало отделения покрытия после 200 прогонов
Е. Скребковое испытание на закаленном стекле: бездефектное покрытие
Г. Сопротивление царапанию: (Ь): 141-450 г; (а): 60-80 г
2. Испытание стальной мочалкой: отсутствие видимого пятна
Н. Испытание спиртом: отсутствие видимого пятна
11. Рассеяние света: (Ь) : 0,17%; (а): 0,18%
12. Пропускание: (Ь) : 74,4%; (а) : 87%
Пропускание (74,4%) тестового образца до приложения предварительного напряжения, следовательно, было относительно низким, поскольку поверхностное покрытие ΤίΖιΗΓ(ί.\:ϋ;,.Νζ) было относительно сильнопоглощающим. Именно только после закаливающей термической обработки нитридный и карбидный компоненты разложились до непоглощающих оксидов.
Иллюстративный пример 2.
Панель из флоат-стекла с толщиной 4 мм покрывали в той же установке непрерывного нанесения покрытия, которая использована в сравнительном примере, приведенной ниже многослойной системой: стекло/25§^3N4/2,5N^С^Οx/9ΖηΟ:Α1/11,5Αд/3,5N^С^/5ΖηΟ:Α1/2,5N^С^Οx/8^3N4/2Τ^Ζ^ΗΓΥΟx.
Поверхностное ^ΖΉ^Ο^^^ειτ^ осаждали из трубчатой мишени, изготовленной из керамики, состоящей из проводящего кисленного материала. Окисленный материал получали из металлического сплава, содержащего 56 мас.% Τι, 40 мас.% Ζγ, 1 мас.% ΗΓ и 3 мас.% Υ. Другие слои напыляли в тех же условиях, что и в предыдущем примере.
Следующие свойства были определены для данного изделия с использованием вышеуказанных испытаний.
А. Табер-испытание: 90%
В. Ширина царапины в испытании царапанием по Эриксену: 50-60 мкм
С. Визуальная оценка царапин: непрерывные царапины 10 Н
0. Скребковое испытание на незакаленном стекле: начало отделения покрытия после 450 прогонов
Е. Скребковое испытание на закаленном стекле: бездефектное покрытие
Г. Сопротивление царапанию: (Ь): 139-366 г; (а): 80-105 г
С. Испытание стальной мочалкой: отсутствие видимого пятна
Н, Испытание спиртом: отсутствие видимого пятна
11. Рассеяние света: (Ь) : 0,18%; (а) : 0,18%
12. Пропускание: (Ь): 84%; (а): 87%
После воздействия предварительного напряжения на стекло с нанесенным покрытием данная многослойная система воспроизводимо являлась свободной от шероховатостей и матовости при исследовании в дневном свете при угле наблюдения или в галогеновом свете.

Claims (9)

1. Многослойная система с низкой излучательной способностью, устойчивая к термической обработке, для прозрачных подложек, в частности для оконных стекол, содержащая, начиная с подложки, по меньшей мере, нижнее антиотражающее покрытие, состоящее из нескольких слоев и включающее слой, по существу, состоящий из ΖηΟ, примыкающий к функциональному слою на основе серебра, по существу, металлический блокирующий слой, расположенный поверх слоя на основе серебра, верхнее антиотражающее покрытие, состоящее из нескольких слоев, и покровное покрытие, необязательно состоящее из нескольких слоев, причем слои нанесены вакуумным напылением, отличающаяся тем, что верхнее антиотражающее покрытие и/или нижнее антиотражающее покрытие имеет слой ΖηΟ или смешанного оксида ΖηΜеΟx, который содержит ΖηΟ или последовательность слоев смешанных оксидов типа ΖηΟ:Α1/ΖηΜеΟx;
слой 8ί3Ν4 или 8ίχΟγΝζ и расположенный между этими двумя слоями разделяющий слой с толщиной от 0,5 до 5 нм, состоящий из смешанного оксида с кубической кристаллической решеткой, который препятствует прямому контакту между указанными двумя слоями, причем разделяющий слой основан на или состоит из ΝίΟτΟχ.
2. Многослойная система по п.1, отличающаяся тем, что смешанный оксид, который содержит ΖηΟ, основан на или состоит из ΖηδηΟχ, ΖηΑ1Οχ, ΖηΒίΟχ, ΖηδϋΟχ или ΖηΙηΟχ.
3. Многослойная система по п.1 или 2, отличающаяся тем, что слой, полученный из ΖηΟ или смешанного оксида, который содержит ΖηΟ или состоит из последовательности смешанных оксидов типа ΖηΟ:Α1/ΖηΜеΟx, размещен непосредственно на металлическом блокирующем слое.
4. Многослойная система по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что поверхностное покрытие, размещенное поверх верхнего антиотражающего покрытия, состоит из ΤιΖγΗΤ(ΟχΟυΝζ).
5. Многослойная система по любому из пп.1-4, отличающаяся тем, что поверхностное покрытие, расположенное поверх верхнего антиотражающего покрытия, состоит из ΤιΖγΗ1ΥΟχ.
6. Многослойная система по любому из предшествующих пунктов, отличающаяся тем, что содержит следующую слоистую структуру:
подложку/8ί3Ν4/ΖηΟ:Α1/Α§/ΝίθΓ/ΖηΟ:Α1/ΝίΟιΟχ/8ί3Ν4/ΤίΖΓΗ£(ΟχΟγΝζ).
7. Многослойная система по любому из пп.1-5, отличающаяся тем, что содержит следующую слоистую структуру:
подложку/δ^3N4/N^С^Οx/ΖηΟ:Α1/Αд/N^С^/ΖηΟ:Α1/N^С^Οx/δ^3N4/Τ^Ζ^ΗίΥΟx.
8. Многослойная система по любому из пп.1-5, отличающаяся тем, что содержит следующую слоистую структуру:
подложку/δ^3N4/ΖηδηΟx/ΖηΟ:Α1/Αд/N^С^/ΖηΟ:Α1/N^С^Οx/δ^3N4/Τ^Ζ^Η£(СxΟγNζ).
9. Оконное стекло, включающее по крайней мере одну подложку, несущую многослойную систему по любому из предшествующих пунктов.
EA200870383A 2006-03-29 2007-03-28 Термостойкая многослойная система c низкой излучательной способностью для прозрачных подложек EA015326B1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200610014796 DE102006014796B4 (de) 2006-03-29 2006-03-29 Thermisch hoch belastbares Low-E-Schichtsystem für transparente Substrate
PCT/FR2007/051032 WO2007110552A2 (fr) 2006-03-29 2007-03-28 Systeme de couches a faible emissivite et haute tenue a la chaleur pour substrats transparents

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EA200870383A1 EA200870383A1 (ru) 2009-04-28
EA015326B1 true EA015326B1 (ru) 2011-06-30

Family

ID=38438680

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EA200870383A EA015326B1 (ru) 2006-03-29 2007-03-28 Термостойкая многослойная система c низкой излучательной способностью для прозрачных подложек

Country Status (10)

Country Link
US (1) US8043707B2 (ru)
EP (1) EP2001813A2 (ru)
JP (1) JP5529528B2 (ru)
KR (1) KR101400420B1 (ru)
CN (1) CN101415652B (ru)
BR (1) BRPI0709920A2 (ru)
CA (1) CA2647412A1 (ru)
DE (1) DE102006014796B4 (ru)
EA (1) EA015326B1 (ru)
WO (1) WO2007110552A2 (ru)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2656284C2 (ru) * 2013-04-30 2018-06-04 Сэн-Гобэн Гласс Франс Подложка, снабженная стеклопакетом с тепловыми свойствами
RU2721608C2 (ru) * 2015-12-02 2020-05-21 Сэн-Гобэн Гласс Франс Подложка, снабженная набором с термическими свойствами, содержащим по меньшей мере один слой из оксида никеля
RU2731597C2 (ru) * 2015-12-02 2020-09-04 Сэн-Гобэн Гласс Франс Подложка, снабженная тонкослойной системой с термическими свойствами, содержащей по меньшей мере один слой оксида никеля
RU2733552C2 (ru) * 2015-12-02 2020-10-05 Сэн-Гобэн Гласс Франс Подложка, снабженная тонкослойной системой с термическими свойствами, содержащей по меньшей мере один слой оксида никеля

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2911130B1 (fr) 2007-01-05 2009-11-27 Saint Gobain Procede de depot de couche mince et produit obtenu
DE202008018513U1 (de) 2008-01-04 2014-10-31 Saint-Gobain Glass France Dispositif
DE102008007981B4 (de) * 2008-02-07 2009-12-03 Saint-Gobain Sekurit Deutschland Gmbh & Co. Kg Thermisch hoch belastbares Schichtsystem für transparente Substrate und Verwendung zur Beschichtung eines transparenten flächigen Substrats
PL2262743T5 (pl) 2008-03-20 2023-01-02 Agc Glass Europe Oszklenie pokryte cienkimi warstwami
EA019368B1 (ru) 2008-03-20 2014-03-31 Агк Гласс Юроп Остекление, обладающее солнцезащитными и низкоэмиссионными свойствами
HUE049451T2 (hu) * 2008-03-20 2020-09-28 Agc Glass Europe Vékony rétegekkel bevont üvegezés
GB0823501D0 (en) 2008-12-24 2009-01-28 Pilkington Group Ltd Heat treatable coated glass pane
US8281617B2 (en) 2009-05-22 2012-10-09 Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) Coated article with low-E coating having zinc stannate based layer between IR reflecting layers for reduced mottling and corresponding method
JP2011054708A (ja) * 2009-09-01 2011-03-17 Elpida Memory Inc 絶縁膜およびその製造方法、半導体装置、ならびにデータ処理システム
DE102009051796A1 (de) 2009-11-03 2011-05-05 Kramer & Best Process Engineering Gmbh Thermisch belastbares Schichtsystem
GB201011729D0 (en) * 2010-07-13 2010-08-25 Pilkington Group Ltd Transparent front electrode for a photovoltaic device
TWI408183B (zh) 2010-12-07 2013-09-11 Ind Tech Res Inst 隔熱材料及其製造方法
DE102011000800A1 (de) * 2011-02-17 2012-08-23 Glas Trösch Holding AG Beschichtungsverfahren, Schichtsystem sowie Verglasungselement
US8709604B2 (en) * 2011-03-03 2014-04-29 Guardian Industries Corp. Barrier layers comprising Ni-inclusive ternary alloys, coated articles including barrier layers, and methods of making the same
US8679633B2 (en) * 2011-03-03 2014-03-25 Guardian Industries Corp. Barrier layers comprising NI-inclusive alloys and/or other metallic alloys, double barrier layers, coated articles including double barrier layers, and methods of making the same
GB201106788D0 (en) 2011-04-21 2011-06-01 Pilkington Group Ltd Heat treatable coated glass pane
CN102757185B (zh) * 2012-07-26 2014-08-20 福耀玻璃工业集团股份有限公司 一种可热处理的低辐射镀膜玻璃及其夹层玻璃制品
US8900729B2 (en) * 2012-11-19 2014-12-02 Guardian Industries Corp. Coated article with low-E coating including zinc oxide inclusive layer(s) with additional metal(s)
KR101493571B1 (ko) 2012-12-24 2015-02-13 (주)엘지하우시스 저방사 투명 적층체 및 이를 포함하는 건축 자재
CN103643210A (zh) * 2013-11-14 2014-03-19 中山市创科科研技术服务有限公司 一种低成本低辐射率薄膜的制备方法
FR3021649B1 (fr) * 2014-05-28 2016-05-27 Saint Gobain Materiau comprenant une couche fonctionnelle a base d'argent cristallisee sur une couche d'oxyde de nickel
FR3030495B1 (fr) 2014-12-19 2016-12-23 Saint Gobain Vitrage utilise comme un element constitutif d'un dispositif chauffant
FR3039537A1 (fr) * 2015-07-30 2017-02-03 Saint Gobain Vitrage comprenant une couche de blocage epaisse
KR101914449B1 (ko) * 2016-08-23 2018-11-05 (주)엘지하우시스 창호용 기능성 건축 자재
EP3560700A4 (en) 2016-12-20 2020-10-14 Vidrio Plano De México, S.A. De C.V. LOW-EMISSION COATING FOR A GLASS SUBSTRATE
US10287673B2 (en) 2017-03-07 2019-05-14 Guardian Glass, LLC Coated article having low-E coating with IR reflecting layer(S) and yttrium inclusive high index nitrided dielectric layer
US10266937B2 (en) * 2017-03-09 2019-04-23 Guardian Glass, LLC Coated article having low-E coating with IR reflecting layer(s) and hafnium inclusive high index nitrided dielectric layer
US20190040523A1 (en) * 2017-08-04 2019-02-07 Vitro Flat Glass, LLC Method of Decreasing Sheet Resistance in an Article Coated with a Transparent Conductive Oxide
GB201805065D0 (en) * 2018-03-28 2018-05-09 Pilkington Group Ltd Coated glass pane
US10752541B2 (en) 2018-07-16 2020-08-25 Guardian Glass, LLC Low-E matchable coated articles having doped seed layer under silver, and corresponding methods
US10759693B2 (en) * 2018-07-16 2020-09-01 Guardian Glass, LLC Low-E matchable coated articles having absorber film and corresponding methods
US10787385B2 (en) * 2018-07-16 2020-09-29 Guardian Glass, LLC Low-E matchable coated articles having absorber film and corresponding methods
US10301215B1 (en) 2018-07-16 2019-05-28 Guardian Glass, LLC Low-E matchable coated articles having doped seed layer under silver, and corresponding methods
FR3088635B1 (fr) * 2018-11-16 2022-04-01 Saint Gobain Matériau traité thermiquement à faible résistivité et propriétés mécaniques améliorées
FR3088633B1 (fr) * 2018-11-16 2021-04-30 Saint Gobain Materiau traite thermiquement a proprietes mecaniques ameliorees
CN110247033B (zh) * 2019-05-29 2020-12-08 广东工业大学 一种SnS@NSC核-双壳立方体结构复合材料及其制备方法和应用
GB201916515D0 (en) * 2019-11-13 2019-12-25 Pilkington Group Ltd Coated glass substrate
BR112022015397A2 (pt) * 2020-02-04 2022-09-27 Saint Gobain Artigo revestido compreendendo camadas de revestimento protetor feitas de nitreto de titânio zircônio háfnio e carbono
CN114163142B (zh) * 2021-11-23 2024-02-06 太仓耀华玻璃有限公司 一种磁控溅射单银low-e钢化玻璃及其制造工艺
FR3129938A1 (fr) * 2021-12-08 2023-06-09 Saint-Gobain Glass France Vitrage comprenant un empilement antisolaire et un revêtement protecteur comprenant un oxyde d’yttrium et d’au moins un élément choisi parmi l’hafnium et/ou le titane
EP4234508A1 (en) * 2022-02-24 2023-08-30 AGP Worldwide Operations GmbH Vehicle glazing roof with metallic appearance and solar-control properties

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6060178A (en) * 1996-06-21 2000-05-09 Cardinal Ig Company Heat temperable transparent glass article
WO2005100275A1 (en) * 2004-04-08 2005-10-27 Guardian Industries Corp. Coated article with tin oxide, silicon nitride and/or zinc oxide under ir reflecting layer and corresponding method

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2080065U (zh) * 1990-11-01 1991-07-03 伟光镀膜玻璃有限公司 四层膜结构的镀膜玻璃
US5344718A (en) * 1992-04-30 1994-09-06 Guardian Industries Corp. High performance, durable, low-E glass
US5376455A (en) * 1993-10-05 1994-12-27 Guardian Industries Corp. Heat-treatment convertible coated glass and method of converting same
US5514476A (en) * 1994-12-15 1996-05-07 Guardian Industries Corp. Low-E glass coating system and insulating glass units made therefrom
FR2728559B1 (fr) * 1994-12-23 1997-01-31 Saint Gobain Vitrage Substrats en verre revetus d'un empilement de couches minces a proprietes de reflexion dans l'infrarouge et/ou dans le domaine du rayonnement solaire
MX9605168A (es) * 1995-11-02 1997-08-30 Guardian Industries Sistema de recubrimiento con vidrio de baja emisividad, durable, de alto funcionamiento, neutro, unidades de vidrio aislante elaboradas a partir del mismo, y metodos para la fabricacion de los mismos.
US5770321A (en) * 1995-11-02 1998-06-23 Guardian Industries Corp. Neutral, high visible, durable low-e glass coating system and insulating glass units made therefrom
US6316111B1 (en) * 1996-03-01 2001-11-13 Cardinal Cg Company Heat-emperable coated glass article
CN1247839A (zh) * 1998-09-14 2000-03-22 长沙国防科技大学八达薄膜电子技术研究所 低辐射膜及其制造方法
FR2784984B1 (fr) * 1998-10-22 2001-10-26 Saint Gobain Vitrage Substrat transparent muni d'un empilement de couches minces
DE19850023A1 (de) * 1998-10-30 2000-05-04 Leybold Systems Gmbh Wärmedämmendes Schichtsystem
DE19852358C1 (de) * 1998-11-13 2000-05-25 Ver Glaswerke Gmbh Thermisch hoch belastbares Low-E-Schichtsystem
US6576349B2 (en) * 2000-07-10 2003-06-10 Guardian Industries Corp. Heat treatable low-E coated articles and methods of making same
EP1238950B2 (en) * 2000-07-10 2014-08-27 Guardian Industries Corp. Heat treatable low-E coated articles and methods of making same
DE10105199C1 (de) * 2001-02-06 2002-06-20 Saint Gobain Vorspannbares Low-E-Schichtsystem für Fensterscheiben sowie mit dem Low-E-Schichtsystem beschichtete transparente Scheibe
US20030049464A1 (en) * 2001-09-04 2003-03-13 Afg Industries, Inc. Double silver low-emissivity and solar control coatings
US6602608B2 (en) * 2001-11-09 2003-08-05 Guardian Industries, Corp. Coated article with improved barrier layer structure and method of making the same
US6830817B2 (en) * 2001-12-21 2004-12-14 Guardian Industries Corp. Low-e coating with high visible transmission
US6749941B2 (en) * 2002-03-14 2004-06-15 Guardian Industries Corp. Insulating glass (IG) window unit including heat treatable coating with silicon-rich silicon nitride layer
DE10235154B4 (de) * 2002-08-01 2005-01-05 Saint-Gobain Glass Deutschland Gmbh Vorspannbares Schichtsystem für Glasscheiben
US6787005B2 (en) * 2002-09-04 2004-09-07 Guardian Industries Corp. Methods of making coated articles by sputtering silver in oxygen inclusive atmosphere
US20040121165A1 (en) * 2002-12-20 2004-06-24 Laird Ronald E. Coated article with reduced color shift at high viewing angles
US7005190B2 (en) * 2002-12-20 2006-02-28 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with reduced color shift at high viewing angles
US7153579B2 (en) * 2003-08-22 2006-12-26 Centre Luxembourgeois de Recherches pour le Verre et la Ceramique S.A, (C.R.V.C.) Heat treatable coated article with tin oxide inclusive layer between titanium oxide and silicon nitride
DE10351616A1 (de) * 2003-11-05 2005-06-16 Arcon Ii Flachglasveredelung Gmbh & Co Kg Thermisch hoch belastbares Low-E Schichtsystem, Verfahren zur Herstellung und Verwendung der mit dem Schichtsystems beschichteten Substrate
ATE457962T1 (de) * 2003-12-02 2010-03-15 Scheuten Glasgroep Bv Temperbares low-e-schichtsystem; verfahren zur herstellung und low-e-glasprodukt mit schichtsystem
US7294402B2 (en) * 2004-03-05 2007-11-13 Guardian Industries Corp. Coated article with absorbing layer
US8524051B2 (en) * 2004-05-18 2013-09-03 Centre Luxembourg de Recherches pour le Verre et al Ceramique S. A. (C.R.V.C.) Coated article with oxidation graded layer proximate IR reflecting layer(s) and corresponding method
US7419725B2 (en) * 2004-09-01 2008-09-02 Guardian Industries Corp. Coated article with low-E coating including IR reflecting layer(s) and corresponding method

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6060178A (en) * 1996-06-21 2000-05-09 Cardinal Ig Company Heat temperable transparent glass article
WO2005100275A1 (en) * 2004-04-08 2005-10-27 Guardian Industries Corp. Coated article with tin oxide, silicon nitride and/or zinc oxide under ir reflecting layer and corresponding method

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Z.Y. CHEN ET AL.: "Growth of titanium nitride: from clusters to microcrystals" [Online], 1 Janvier 1993 (1993-01-01), XP002449161, Extrait de l'Internet: URL:http://research.chem.psu.edu/awcgroup/PDFs/362.pdf> [extrait le 2007-09-03], article paru dans J. Chem. Phys. Vol. 98 (1), ler Janvier 1993, abr?®g?®, alin?®a [III.C] - alin?®a [III.D], figures 4-6 *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2656284C2 (ru) * 2013-04-30 2018-06-04 Сэн-Гобэн Гласс Франс Подложка, снабженная стеклопакетом с тепловыми свойствами
RU2721608C2 (ru) * 2015-12-02 2020-05-21 Сэн-Гобэн Гласс Франс Подложка, снабженная набором с термическими свойствами, содержащим по меньшей мере один слой из оксида никеля
RU2731597C2 (ru) * 2015-12-02 2020-09-04 Сэн-Гобэн Гласс Франс Подложка, снабженная тонкослойной системой с термическими свойствами, содержащей по меньшей мере один слой оксида никеля
RU2733552C2 (ru) * 2015-12-02 2020-10-05 Сэн-Гобэн Гласс Франс Подложка, снабженная тонкослойной системой с термическими свойствами, содержащей по меньшей мере один слой оксида никеля

Also Published As

Publication number Publication date
JP5529528B2 (ja) 2014-06-25
KR20080106952A (ko) 2008-12-09
BRPI0709920A2 (pt) 2011-07-26
KR101400420B1 (ko) 2014-05-27
CN101415652B (zh) 2013-03-13
JP2009531266A (ja) 2009-09-03
US20100178492A1 (en) 2010-07-15
WO2007110552A3 (fr) 2007-11-15
DE102006014796B4 (de) 2009-04-09
CA2647412A1 (fr) 2007-10-04
EP2001813A2 (fr) 2008-12-17
CN101415652A (zh) 2009-04-22
US8043707B2 (en) 2011-10-25
EA200870383A1 (ru) 2009-04-28
DE102006014796A1 (de) 2007-10-04
WO2007110552A2 (fr) 2007-10-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EA015326B1 (ru) Термостойкая многослойная система c низкой излучательной способностью для прозрачных подложек
JP3856489B2 (ja) 被覆基体及びその形成方法
US6770321B2 (en) Method of making transparent articles utilizing protective layers for optical coatings
DE102014104799B4 (de) Substrat mit einer Beschichtung zur Erhöhung der Kratzfestigkeit, Verfahren zu dessen Herstellung und dessen Verwendung
KR102409481B1 (ko) 감소된 스크래치 및 지문 가시성을 갖는 저 명암의 반사-방지 제품
Dıaz-Parralejo et al. Densification and porosity evaluation of ZrO2–3 mol.% Y2O3 sol–gel thin films
KR20080036103A (ko) 중간 확산방지 층을 구비한 저 방사율(로우-ｅ)의 얇은코팅 스택
JPS63247352A (ja) 反応性スパッタリングによる透明コーティング
KR20090099364A (ko) 내구성이 우수한 열처리 가능한 저방사 유리 및 그제조방법
US10526241B2 (en) Scratch-resistant coatings with improved cleanability, substrates with scratch-resistant coatings with improved cleanability, and methods for producing same
Jiang et al. Observations of reaction zones at chromium/oxide glass interfaces
AU782066B2 (en) Diamond-like carbon coating on a non metal article for added hardness and abrasion resistance
EP4011845A1 (de) Semitransparente oder transparente verschleissschutzschicht, substrat mit derartiger verschleissschutzschicht und verfahren zu deren herstellung
Pouvreau et al. Mechanical properties of a TAS fiber: a preliminary study
DE102019003930A1 (de) Transparentes element
Raj et al. Some Recent Observations on the Properties of UHV-Deposited ZrO 2
Wang et al. Optoelectrical properties of PET spunbonded nonwovens deposited with ITO thin films by RF sputter coating
KR20180115703A (ko) NiCuCr 합금 층을 포함하는 태양 제어 글레이징
KR20060132028A (ko) 유리 코팅

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): AM AZ BY KZ KG MD TJ TM

MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): RU