BRPI0709920A2

BRPI0709920A2 - sistema de camadas de baixa emissividade e de alta resistÊncia ao tratamento tÉrmico para substratos transparentes, em particular para vidraÇas, e, vidraÇa

Info

Publication number: BRPI0709920A2
Application number: BRPI0709920-7A
Authority: BR
Inventors: Heinz Schicht; Uwe Schmidt; Pierre-Alain Gillet
Original assignee: Saint Gobain
Priority date: 2006-03-29
Filing date: 2007-03-28
Publication date: 2011-07-26
Also published as: JP5529528B2; KR20080106952A; KR101400420B1; CN101415652B; JP2009531266A; US20100178492A1; WO2007110552A3; DE102006014796B4; CA2647412A1; EP2001813A2; CN101415652A; US8043707B2; EA200870383A1; EA015326B1; DE102006014796A1; WO2007110552A2

Abstract

<B>SISTEMA DE CAMADAS DE BAIXA EMISSIVIDADE E DE ALTA RESISTÊNCIA AO TRATAMENTO TÉRMICO PARA SUBSTRATOS TRANSPARENTES, EM PARTICULAR PARA VIDRAÇAS, E, VIDRAÇA<D>Um sistema de camadas de baixa emissividade e de alta resistência ao tratamento térmico para substratos transparentes, em especial vidraças compreende pelo menos a partir do substrato um revestimento anti-reflexo inferior constituído por várias camadas parciais e que compreende uma camada essencialmente constituída de ZnO à qual é adjacente umacamada funcional à base de prata, uma camada essencialmente metálica de bloqueio situada acima da camada à base de prata, um revestimento anti- reflexo superior constituído por várias camadas parciais e um revestimento de recobrimento eventualmente constituído por várias camadas parciais. O revestimento anti-reflexo superior apresenta: uma camada parcial feita de ZnO ou feita de um óxido misto ZnMeO~ x~ que contém ZnO ou uma sucessão de camadas de óxidos mistos de tipo ZnO:Al/ZnMeO~ x~, uma camada parcial feita de Si~ 3~N~ 4~ ou feita de Si~ x~O~ y~N~ z~ e entre essas duas camadas parciais uma camada de separação de uma espessura de 0,5 a 5 rim, constituída por um óxido metálico ou por um óxido misto de rede cristalina cúbica, que impede um contato direto entre essas duas camadas parciais. A camada de separação intercalada de acordo com a invenção permite melhorar ainda mais as propriedades mecânicas e as propriedades químicas do sistema de camadas e obter para as vidraças revestidas uma alta resistência às manipulações técnicas.

Description

"SISTEMA DE CAMADAS DE BADCA EMISSIVIDADE E DE ALTARESISTÊNCIA AO TRATAMENTO TÉRMICO PARA SUBSTRATOSTRANSPARENTES, EM PARTICULAR PARA VIDRAÇAS, E,VIDRAÇA"

A invenção se refere a um sistema de camadas de baixaemissividade e alta resistência ao tratamento térmico para substratostransparentes, em especial vidraças, e que apresenta pelo menos a partir dosubstrato um revestimento anti-reflexo inferior constituído por várias camadasparciais e que compreende uma camada essencialmente constituída de ZnO àqual é adjacente uma camada funcional à base de prata, uma camadaessencialmente metálica de bloqueio situada acima da camada à base de prata,um revestimento anti-reflexo superior constituído por várias camadas parciaise um revestimento de recobrimento eventualmente constituído por váriascamadas parciais, as camadas sendo aplicadas por pulverização sob vácuo.

A presente invenção se refere também a uma vidraça queincorpora pelo menos um substrato de sustentação de um sistema de camadasde acordo com a invenção.

Por sistema de camadas de alta resistência ao tratamentotérmico, entende-se sistemas de camadas que resistem às temperaturas decerca de 600-7050°C necessárias para a operação de recurvamento e/ou detêmpera de substratos feitos de vidro sem ser destruídas e sem perder suaspropriedades essenciais, a saber uma alta transmissão na faixa visível doespectro, uma alta reflexão na faixa doa radiação térmica, uma baixadispersão, uma alta neutralidade de tonalidade, uma alta resistência mecânicae alta resistência química. No tratamento técnico ulterior das vidraças nasquais eles são de preferência colocados, esses sistemas de camadas sãotambém chamados "temperáveis" e/ou "recurváveis". Fundamentalmente, éevidentemente também possível colocar esses sistemas de camadas sobresubstratos que não são em seguida tratados termicamente. Assim, tanto essessistemas de camadas conhecidos quanto os sistemas de camadas de acordocom a invenção convém também para substratos transparentes feitos dematéria sintética.

São chamadas camadas funcionais camadas em geral metálicasque podem ser utilizadas intrinsecamente para o isolamento térmico (areflexão de calor). Em numerosos casos, a camada funcional dos sistemas decamadas atuais é à base de prata ou constituída essencialmente de prata (quetem um efeito positivo sobre a neutralidade da tonalidade do sistema decamadas), mas também são conhecidos outros materiais para camadasfuncionais, por exemplo o ouro e o cobre.

São conhecidos diferentes modos de realização de sistemas decamadas de alta resistência ao calor. Em um primeiro grupo de sistemas decamadas de alta resistência ao calor, as camadas anti-reflexo são todasconstituídas por nitreto de silício (Si3N4) que é separado da camada funcionalde prata por finas camadas de bloqueio feitas de CrNi e/ou feitas de NiCrOx.

Sistemas de camadas que apresentam estruturas são descritospor exemplo nos documentos EP O 567 735 BI, EP O 717 014 BI, EP 0 771766 BI, EP 0 646 551 BI, EP 0 796 825 BI, EP 1 446 364 Bl e EP 1 174 397A2. No sistema de camadas descrito no documento EP 0 883 584 BI, ascamadas de bloqueio dispostas entre a camada de prata e as camadas anti-reflexo SI3N4 são constituídas de silício.

Em um outro grupo de sistemas de camadas de alta resistênciaao calor que apresentam uma camada de prata como camada funcional, ascamadas anti-reflexo são constituídas por camadas de óxidos. Esses sistemasde camadas dos quais as camadas anti-reflexo são constituídas de óxidospuros são descritos por exemplo nos documentos DE 198 52 358 Cl, EP 0991 92 BI, EP 1 538 131 Al e WO 2004/058660 Al. Esses sistemas decamadas podem também ser dotados de uma camada superior feita de nitretometálico e em especial feita de Si3N4.Pelo documento EP 0 718 250 BI, são conhecidos sistemas decamadas temperáveis dotados de camadas anti-reflexo de óxidos, de nitretosou de carbonetos, e nas quais a camada funcional à base de prata é recobertapor uma camada metálica de bloqueio que pode ser constituída por exemplopor Nb, por Ta, por Ti, por Cr ou por Ni ou por uma liga de pelo menos doisdesses metais. Em um exemplo de realização, uma fina camada intermediáriade ZnO é disposta entre a camada de bloqueio feita de Nb disposta sobre acamada de prata e a camada anti-reflexo superior feita de Si3N4.

O documento DE 102 35 154 B4 divulga um sistema decamadas de alta resistência ao calor do tipo indicado no início e dotado deuma camada de bloqueio à base de uma liga de titânio. Esse documentoapresenta também sistemas de camadas nas quais uma camada de ZnOeventualmente dopada em Al é aplicada sobre a camada metálica de bloqueio,uma camada feita de Si3N4 faz parte do revestimento anti-reflexo superiorcomo a camada de Zn sendo disposta sobre essa camada de ZnO.

Pelo documento DE 101 05 199 Cl, é conhecida uma estruturade camadas de alta resistência ao calor, dotada de camadas anti-reflexo feitasde óxido, na qual uma camada intermediária de uma espessura de 0,5 a 5 nmfeita de nitreto de metal, por exemplo feita de Si3N4 ou feita de AlN, édisposta entre a camada de prata e a camada metálica de bloqueio dispostaacima da camada de prata.

O documento EP 1 238 950 A2 e o documento EP 1 583 723Al descrevem sistemas de camadas temperáveis que apresentameventualmente várias camadas funcionais feitas de prata e camadas anti-reflexo feitas de nitreto ou camadas parciais feitas de nitreto que formam ascamadas em anti-reflexo, e nas quais uma sucessão de camadas feitas deNiCrOx - SnÜ2 - Si3N4 é disposta acima da camada funcional de prata.

O documento DE 103 51 616 Al, que se refere também asistemas de camadas de alta resistência ao calor, divulga também sistemas decamadas que apresentam a sucessão de camadas Ag - Si3N4 - ZnO - SnO -Si3N4.

O documento WO 97/48649 descreve também sistemas decamadas de alta resistência ao calor que são dotados de camadas funcionais deprata e de camadas anti-reflexo feitas de Si3N4. De acordo com essedocumento, a sucessão de camadas situadas acima da camada superior deprata pode ser também constituída de Nb - ZnO - TiN - Si3N4.

Aos sistemas de camadas temperáveis ou recurváveis, sãoimpostas exigências grandes não somente em termos de resistência ao calormas também em termos de propriedades mecânicas e de propriedadesquímicas. Por ocasião do transporte no interior da empresa, do corte e dapolidura por fricção das vidraças, por ocasião da operação de lavagem nosautômatos de lavagem, por ocasião do transporte dentro do forno de têmperae/ou de recurvamento e por ocasião das operações ulteriores de transporte e detratamento (que são reunidas na seqüência sob o nome de "manipulações"),essas camadas são expostas a solicitações grandes que podem facilmenteacarretar danos ao sistema de camadas.

O problema na base da invenção é melhorar ainda mais aspropriedades mecânicas e as propriedades químicas de sistemas de camadasde alta resistência ao calor e desenvolver sistemas de camadas que apresentemboas propriedades ópticas e uma alta resistência às manipulações técnicas.

A invenção resolve esse problema com as disposiçõesdescritas na reivindicação 1. As reivindicações dependentes detalhamcaracterísticas especialmente vantajosas.

Ainda que já se possa obter fundamentalmente uma durezarelativamente grande e boas propriedades de manipulação do sistema decamadas com a sucessão conhecida de Si3N4 - ZnO acima e/ou abaixo dacamada de prata, com essa sucessão de camadas, às vezes são observadosdefeitos de qualidade nas operações de produção e de tratamento ulterior. Demaneira surpreendente, esses defeitos de qualidade podem ser evitadosintercalando-se para isso de acordo com a invenção uma camada de separaçãofeita de um óxido metálico ou um óxido misto de rede cristalina cúbica.

Uma causa da sensibilidade da sucessão de camadas Si3N4-ZnO e ZnO—Si3N4 poderia ser um defeito de estabelecimento da camadafronteira. De fato, Si3N4 é um material amorfo que apresenta propriedades deisotropia acusadas, enquanto que ZnO é um material cristalino deempilhamento hexagonal muito denso e com propriedades anisotrópicas. Aanisotropia é provocada pela estrutura espacial da rede e se manifesta porexemplo na elasticidade, na dureza, na aptidão para o descolamento e oalongamento térmico, e isso em função da dependência dessas propriedadesem relação à direção. Em contrapartida a camada de um material cristalino derede cúbica intercalada como camada de separação é isotrópica do ponto devista óptico, mas para o que diz respeito a suas propriedades mecânicas, ela secomporta como um material anisotrópico. Ela assegura assim uma funçãodupla e age dessa maneira como camada de reforço da ligação entre a camadade Si3N4 e a camada de ZnO.

Como materiais para a camada de separação de rede cristalinacúbica convém por exemplo camadas à base ou constituídas de NiCrOx,Al2O3, MgAlOx, TiAlOx, NiAlOx e NiO. A camada de óxido misto quecontém ZnO pode ser à base de ou constituída de ZnSnOx, ZnAlOx, ZnBiOx,ZnSbOx ou ZnInOx (de maneira habitual as letras em índice indicam númerosque permitem obter uma certa estequiometria).

A sucessão das camadas parciais do revestimento anti-reflexosuperior que a invenção propõe, quer dizer a disposição de uma camada deseparação feita de um óxido metálico ou um óxido misto de rede cristalinacúbica entre a camada parcial que contém ZnO e em um desenvolvimentovantajoso da invenção, a camada parcial feita de nitreto de silício pode seralternativamente ou cumulativamente também realizada no interior dorevestimento anti-reflexo inferior do sistema de camadas. Assim, é possívelrealizar no âmbito do preâmbulo da reivindicação 1, um revestimento anti-reflexo inferior e/ou um revestimento anti-reflexo superior que apresente:

- uma camada parcial de ZnO ou de um óxido misto ZnMeOxque contém ZnO ou uma sucessão de camadas de óxidos mistos de tipoZnO:Al/ZnMeOx,

- uma camada parcial feita de Si3N4 ou feita de SixOyNz e

- entre essas duas camadas parciais uma camada de separaçãode uma espessura de 0,5 a 5 nm, constituída por um óxido metálico ou por umóxido misto de rede cristalina cúbica, que impede um contato direto entreessas duas camadas parciais em contato direto.

Os sistemas de camadas de acordo com a invenção podemtambém apresentar em especial as disposições abaixo das camadas parciais:substrato

(vidro)/Si3N4/ZnO:Al/Ag/NiCr/ZnO:Al/NiCrOx/SÍ3N4/(camada derecobrimento)

substrato

(vidro)/Si3N4/NiCrOx/ZnO: Al/Ag/NiCr/ZnO: Al/NiCrOx/Si3N4/(camada derecobrimento)

substrato

(vidro)/Si3N4/ZnSnOx/ZnO:Al/Ag/NiCr/ZnO:Al/NiCrOx/Si3N4/(camada derecobrimento)

substrato

(vidro)/Si3N4/NiCrOx/ZnSnOx/ZnO:Al/Ag/NiCr/ZnO/ZnSnOx/NiCrOx/Si3N4/(camada de recobrimento)

E possível obter ainda uma melhora das propriedades deresistência mecânica do sistema de camadas com camadas de recobrimento àbase de certos compostos de TiZrHf.

Uma primeira camada de recobrimento vantajosa ("topcoat") éconstituída por TiZrHf(CxOyNz). Essa camada de recobrimento é pulverizadaa partir de um alvo metálico de TiZrHf com como gás de trabalho N2adicionado de 0,5 % de CH4. É possível no entanto também passar sem aadição de CH4 e obter o carbono necessário no gás de trabalho que circunda oalvo de TiZrHfpelos hidrocarbonetos presentes no sistema de bombeamento aum baixo nível de capacidade de aspiração, assim como divulgoufundamentalmente o documento EP O 270 024 B1 no qual a pulverização decamadas de TiCxOyNz. A incorporação do oxigênio é efetuada imediatamentequando a camada entra em contato com a atmosfera. Com o auxílio daespectroscopia eletrônica de Auger (AES) e da espectroscopia eletrônica paraanalise química (XPS/ESCA), foi possível demonstrar que a camada derecobrimento assim preparada tem uma estrutura homogênea de TiZrHf-carboxinitreto. A existência de uma tal estrutura é conhecida na literaturaespecializada (ver por exemplo o periódico alemão "Hochvakuum,Grenzflãchen/Dünne Schichten", fascículo 1, março 1984, página 142 e "ThinSolid Films", 100 (1983), páginas 193 a 201, "The micro hardness ofreactively sputtered TiCxOyNz-films").

O documento WO 2004/71984 Al divulga sistemas decamadas temperáveis nos quais a camada de recobrimento pode serconstituída por oxinitretos, oxicarbonetos e carbonitretos de Ti, Zr e de outroselementos dos grupos IVb, Vb e VIb do sistema periódico. No entanto, essessistemas de camadas conhecidos são misturas de compostos individuais e essacamada não é idêntica à estrutura complexa e homogênea de ligação realizadana invenção.

Uma outra camada de recobrimento vantajosa é constituída poruma camada pura oxidada de TiZrHfYOx. Essa camada de recobrimentooxidada é de preferência pulverizada a partir de um alvo cerâmico condutoroxidado que contém em relação ao teor em ZrO2 de 5 a 10 % em peso deY2O3. Essa camada é de preferência pulverizada a partir de um alvo tubularem uma atmosfera de trabalho de Ar/02.

A invenção vai agora ser descrita com o auxílio de doisexemplos de realização que são comparados a um exemplo comparativo doestado da técnica. Como as disposições de acordo com a invenção devemmelhorar em especial a resistência mecânica e a dureza, para avaliar aspropriedades das camadas nas vidraças revestidas, são realizadas medições eos testes indicados abaixo.

A. Teste Taber da empresa Taber Industries

Nesse teste, comprime-se um corpo de prova revestido e nãotemperado no aparelho e trata-se o mesmo com o auxílio de um rolo de atritodo tipo CS- IOF fazendo-se o rolo de atrito girar durante 50 voltas sob umacarga de 500 g. A camada assim tratada é avaliada no microscópio. Osresultados desse teste estão indicados em % de camadas ainda presentes.

B. Teste de arranhão Erichsen em corpos de prova nãotemperados

Em corpos de prova revestidos e não temperados de 10 χ 10cm2, cria-se com uma ponta de tipo "van Laar" um arranhão circular nacamada sob uma carga de 5 N. Em seguida, o corpo de prova é temperadotermicamente e mede-se no microscópio a largura do arranhão. Quanto maisestreito for o arranhão, menos a camada sofreu de tensão e melhor é portantoa qualidade da camada.

C. Teste de arranhão Erichsen em corpos de prova temperados

No mesmo aparelho que no teste B, foram realizados sob umacarga crescente arranhões circulares na camada em corpos de provaprotendidos no formato de 10 χ 10 cm , e determina-se as cargas nas quais éobservada um arranhão interrompido e aquelas nas quais é observado umarranhão contínuo.

D. Teste de lavagem Erichsen em corpos de prova nãoprotendidosSubmete-se corpos de prova revestidos e não protendidos a umteste de lavagem Erichsen de acordo com a norma ASTM 2486. Mede-se emqual medida é possível observar defeitos na camada depois de 300 passagens.

E. Teste de lavagem Erichsen em corpos de prova protendidos

Tempera-se em um forno de têmpera corpos de provarevestidos com as dimensões 10 x 40 cm2 e submete-se os mesmos ao mesmoteste de lavagem.. Mede-se o número de passagens ao qual começa-se aobservar um descolamento da camada.

F. Medição da resistência aos arranhões por nosso própriométodo de teste

Nessa medição, puxa-se com uma velocidade definida umaagulha solicitada por um peso sobre a camada, e isso tanto antes da têmpera(v) quanto depois da têmpera (η). O peso g para o qual traços de arranhões sãovisíveis é uma medida da resistência ao arranhão.

G. Teste com lã de aço

Nesse teste, passa-se sob uma leve pressão um tampão de lã deaço sobre a camada de um corpo de prova não temperado. Considera-se que oteste teve sucesso quando não se pode ver nenhum aranhão.

H. Teste com álcool

Esse teste é realizado depois da protensão esfregando-se acamada com o auxílio de um pano impregnado de álcool. Não se pode vernenhuma mancha de atrito.

I. Medições com o auxílio do aparelho de medição de difusãoda lua da empresa Gardner

I.1 Medição da luz dispersa antes (v) e depois (n) da têmpera

I.2 Medição da transmissão antes (v) e depois (n) da têmpera.

Exemplo comparativo

Em uma instalação industrial de revestimento de modocontínuo na qual é possível utilizar todos os tipos de alvos, a saber tanto alvosplanos quanto alvos tubulares, em corrente contínua e/ou em correntealternada, aplica-se com o auxílio do processo de pulverização catódicareativa sustentada por campo magnético e sobre vidraças de vidro float deuma espessura de 4 mm um sistema de camadas de baixa emissividade quecorresponde ao estado da técnica, os números dados antes do símbolo químicorepresentando a espessura de cada camada individual em nm:

vidro/25Si3N4/9ZnO:Al/ll,5Ag/3,5NiCr/5ZnO:Al/33Si3N4/2Zn2Ti04.

As camadas de ZnO:Al são pulverizadas a partir de um alvo metálico de ZnAl que contém 2 % em peso de Al. A camada de bloqueiodisposta sobre a camada de prata é pulverizada com argônio como gás detrabalho a partir de um alvo metálico de NiCr constituído por 80 % em pesode Ni e por 20 % em peso de Cr. A camada superior anti-reflexo feita denitreto de silício é pulverizada em condições reativas com um gás de trabalhode Ar/N2 a partir de um alvo de Si e a camada de recobrimento superior(camada dita "topcoat") é também pulverizada em condições reativas comcomo gás de trabalho ArO2 a partir de um alvo metálico de liga de ZnTi queconta 73 % em peso de Zn e 27 % em peso de Ti. Na vidraça revestida, corta-se os corpos de prova necessários para realizar os testes mencionados maisacima.

Quando os corpos de prova devem ser protendidos, eles o sãoem um forno técnico tipo 47067 da empresa EFKO respeitando-se as normasda tecnologia.

Nos corpos de prova do exemplo comparativo, são determinadas as propriedades com o auxílio dos testes mencionados maisacima:

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Exemplo de realização 1

Na mesma instalação de revestimento de modo contínuo que

aquela utilizada no exemplo comparativo, reveste-se uma vidraça de vidrofloat de uma espessura de 4 mm com o sistema de camadas seguinte:

vidro/25Si3N4/9ZnO:Al/l 1,5Ag/3,5NiCr/5ZnO:Al/2,5NiCrOx/33 Si3N4/2TiZrHf(CxOyNz).

As camadas de ZnO:Al, a camada de NiCr e as camadas deSi3N4 são pulverizadas nas mesmas condições que aquelas indicadas apropósito do exemplo comparativo. A camada de NiCrOx também épulverizada a partir de uma camada de NiCr de 80 /20, mas em condiçõesreativas com como mistura de gás de trabalho Ar/02 = 250/90 cm padrão. Oalvo utilizado para a colocação da camada de recobrimento deTiZrHf(CxOyNz) é constituída por uma liga de TiZrHf a 55 % em peso de Ti,44 % em peso de Zr e 1 % em peso de Hf e é pulverizada com como gás detrabalho uma mistura de Ar e N2. A incorporação de C na camada derecobrimento é efetuada a partir do gás residual presente na instalação depoisde abaixamento da potência de aspiração nesse catodo e a incorporação de Oé efetuada também a partir do gás residual, mas também a partir da atmosferadepois que a camada foi colocada em contato com a atmosfera exterior. Asmedições XPS/ESCA e AES realizadas nessa camada de recobrimentoapresentam uma boa correspondência com os dados da estrutura Me-carbooxinitreto divulgadas na literatura.

Nesse produto, e com o auxílio dos testes mencionados maisacima, são determinadas as seguintes propriedades:

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A transmissão (74,4 %) do corpo de prova antes da protensão éportanto relativamente baixa, porque a camada de recobrimento feita deTiZrHf(CxOyNz) é relativamente muito absorvente. É só depois da operaçãode tratamento térmico de têmpera que os componentes nitretados ecarbonados são decompostos em óxidos não absorventes.

Exemplo de realização 2

Na mesma instalação de revestimento de modo contínuo queaquela utilizada no exemplo comparativo, reveste-se uma vidraça de vidrofloat de uma espessura de 4 mm com o sistema de camadas abaixo:vidro/25Si3N4/2,5NiCrOx/9ZnO:Al/ll,5Ag/3,5NiCr/5ZnO:Al/2,5NiCrOx/Si3N4/2TiZrHfYOx.

A camada de recobrimento feita de TiZrHfYOx é colocada apartir de um alvo tubular feito de cerâmica constituído por um materialoxidado condutor. O material oxidado é preparado a partir de uma ligametálica que conta 56 % em peso de Ti, 40 % em peso de Zr, 1 % em peso deHf e 3 % em peso de Y. As outras camadas são pulverizadas nas mesmascondições que nos exemplos precedentes.

Com o auxílio dos testes mencionados mais acima, sãodeterminadas nesse produto as seguintes propriedades:

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Depois da protensão do vidro revestido, esse sistema decamadas é de maneira reprodutível isento de rugosidade e de névoa quandoele é examinado sob luz do dia rasante ou sob luz halógena.

Claims

1. Sistema de camadas de baixa emissividade e de altaresistência ao tratamento térmico para substratos transparentes, em particularpara vidraças, e que apresenta pelo menos a partir do substrato umrevestimento anti-reflexo inferior constituído por várias camadas parciais eque compreende uma camada essencialmente constituída de ZnO à qual éadjacente uma camada funcional à base de prata, uma camada essencialmentemetálica de bloqueio situada acima da camada à base de prata, umrevestimento anti-reflexo superior constituído por várias camadas parciais eum revestimento de recobrimento eventualmente constituído por váriascamadas parciais, as camadas sendo aplicadas por pulverização sob vácuo,caracterizado pelo fato de que o revestimento anti-reflexo superior apresenta:- uma camada parcial de ZnO ou de um óxido misto ZnMeOxque contém ZnO ou uma sucessão de camadas de óxidos mistos de tipoZnO: Al/ZnMeOx,- uma camada parcial feita de Si3N4 ou feita de SixOyNz e- entre essas duas camadas parciais uma camada de separaçãode uma espessura de 0,5 a 5 nm, constituída por um óxido metálico ou por umóxido misto de rede cristalina cúbica, que impede um contato direto entreessas duas camadas parciais.

2. Sistema de camadas de acordo com a reivindicação 1,caracterizado pelo fato de que a camada de separação é à base ou constituídade NiCrOx, Al2O3, MgAlOx, TiAlOx, NiAlOx e NiO.

3. Sistema de camadas de acordo com as reivindicações 1 ou 2,caracterizado pelo fato de que o óxido misto que contém ZnO é à base de ouconstituído de ZnSnOx, ZnAlOx, ZnBiOx, ZnSbOx ou ZnInOx.

4. Sistema de camadas de acordo com uma das reivindicações-1 a 3, caracterizado pelo fato de que a camada parcial feita de ZnO ou feita deum óxido misto que contém ZnO ou constituída por uma sucessão de óxidosmistos de tipo ZnO:Al/ZnMeOx é disposta diretamente sobre a camadametálica de bloqueio.

5. Sistema de camadas de acordo com uma das reivindicações-1 a 4, caracterizado pelo fato de que o revestimento anti-reflexo inferiorapresenta também:- uma camada parcial de ZnO ou de um óxido misto ZnMeOxque contém ZnO ou uma sucessão de camadas de óxidos mistos de tipoZnO: Al/ZnMeOx,- uma camada parcial feita de Si3N4 ou feita de SixOyNz e- entre essas duas camadas parciais uma camada de separaçãode uma espessura de 0,5 a 5 nm, constituída por um óxido metálico ou por umóxido misto de rede cristalina cúbica, que impede um contato direto entreessas duas camadas parciais.

6. Sistema de camadas de acordo com uma das reivindicações-1 a 5, caracterizado pelo fato de que uma camada de recobrimento dispostaacima do revestimento anti-reflexo superior é constituída porTiZrHf(CxOyNz).

7. Sistema de camadas de acordo com uma das reivindicações-1 a 5, caracterizado pelo fato de que uma camada de recobrimento dispostaacima do revestimento anti-reflexo superior é constituída por TiZrHfYOx.

8. Sistema de camadas de acordo com uma das reivindicaçõesprecedentes, caracterizado pelo fato de que tem a estrutura de camadasseguinte:substrato/SÍ3N4/ZnO:Al/Ag/NiCr/ZnO:Al/NiCrOx/SÍ3N4/TiZrHf(CxOyNz).

9. Sistema de camadas de acordo com uma das reivindicações-1 a 7, caracterizado pelo fato de que tem a estrutura de camadas seguinte:substrato/Si3N4/NiCrOx/ZnO:Al/Ag/NiCr/ZnO:Al/NiCrOx/Si3N4/TiZrHfYOx.

10. Sistema de camadas de acordo com uma das reivindicações-1 a 7, caracterizado pelo fato de que tem a estrutura de camadas seguinte:substrato/Si3N4/ZnSnOx/ZnO:Al/Ag/NiCr/ZnO:Al/NiCrOx/Si3N4/TiZrHf(CxOyNz).

11. Vidraça caracterizada pelo fato de que ela incorpora pelomenos um substrato de sustentação de um sistema de camadas de acordo comuma das reivindicações precedentes.