DE894942C - Verfahren zum Aufdampfen optisch homogener und optisch inhomogener Mischschichten aus verschiedenen Ausgangsmaterialien - Google Patents

Description

• Verfahren zum Aufdampfen optisch homogener und optisch inhomogener Mischschichten aus verschiedenen Ausgangsmaterialien Bei der Herstellung von reflexmindernden und reflexerhöhenden Schichten, von Interferenz- und Absorptionsfiltern, von Schutzschichten gegen Korrosion und mechanische Verletzung besteht das Bedürfnis, Einzelschichten herzustellen, die aus mehreren Elementen oder Verbindungen von Stoffen zusammengesetzt sind, die für aufgedampfte Schichten üblich sind. Solche Mischschichten können -besonders wertvolle mechanische und optische Eigenschaften besitzen, z. B. größere Festigkeit und geringere Löslichkeit als Schichtmaus den reinen Ausgangsmaterialien oder optische Eigenschaften., wie Kombinationen von Brechzahl, Dispersion und Absorptionsvermögen, wie sie mit reinen Elementen oder einfachen einheitlichen Verbindungen nicht zu erhalten wären.
• Dabei kann die Mischschicht als feine, optisch homogene Mischung von einzelnen Kriställchen der beiden Partner, als feste Lösung,des einen Partners im anderen oder als Mischkristall bzw. Legierung vorliegen. Wir sprechen hier und im weiteren der Einfachheit halber nur von Mischschichten aus zwei Komponenten. Es ist selbstverständlich, daß alles hier Gesagte sich sinngemäß auf Schichten aus mehr als zwei Komponenten erweitern läßt.
• Es ist eine Reihe von Versuchen .und Vorschriften bekannt, wie solche Mischschichten herzustellen seien. Diese Verfahren sind entweder nur beschränkt anwendbar, oder sie sind nur schwer so zu führen, daß eine reproduzierbare Mischschicht mit einem frei gewählten Gehalt der beiden Komponenten entsteht.
• Wenn man in der üblichen Vakuumverdampfungseinrichtung in das geheizte. sogenannte Schiffchen, den Behälter zur Aufnahme des zu verdampfenden Materials, eine Legierung von derjenigen Zusammensetzung einbringt, welche die herzustellende Schicht haben soll, so würde dies km allgemeinen nicht zum Erfolg führen, weil die Partialdampfdrucke der Legierungskomponenten verschieden sind. Es ist daher von H a r r i s und S i e g e 1, Journ. o.f Applied Physics, 1948, S. 739 bis 741 der Vorschlag gemacht worden, die Legierung oder Mischung laufend in so, kleinen Mengen in das Schiffchen einzubringen, daß jede der Mengen als Ganzes gleichzeitig verdampft. Dieses Verfahren bedingt eine verwickelte Vorrichtung und eine langsame Arbeitsweise. Auch kann das metallische Schiffchen auf die Zusammensetzung einer Legierung einen Einfluß ausüben.
• Die Erfindung betrifft -ein Verfahren zur Herstellung von Mischschichten, welches von den erwähnten Nachteilen frei ist. Sie besteht darin, daß ein Stück aus der Legierung oder Mischung vorzugsweise in Form eines dünnen Stäbchens allmählich in einen Elektronenstrahl eingebracht wird: Hierbei verdampft die in .denn Elektronenstrahl jeweils befindliche Spitze des Stäbchens derart, daß alle Komponenten in gleichen Anteilen verdampfen. Man kann durch den Elektronenstrahl auf kleinem Raum sehr hohe Temperaturen erzeugen, die höher sind als die Ver.dampfungstemperatur der höchstschmelzenden Komponente. Für Komponenten, die alle eine niedrigere Verdampfungstennperatur haben, genügt auch das Heranführen des Stäbchens an: eine weniger starke Heizquelle, z. B. ein geheiztes Blech, wenn nur dafür gesorgt ist, daß lediglich ein sehr kleines Stück der Stäbchenspitze über die Verdampfungstemperatur der höchstschmelzenden Komponente erhitzt wird.
• Die Verdampfung von Stoffen, die in einem Schiffchen untergebracht sind, durch Elektronenbestrahlung des Schiffchens ist an sich bekannt. Vgl. O' B, r y a n, Rev. Scient. Instrum. 1934, 125.

Claims (3)

1. PATEIQ@TANSPRÜCHE: i. Verfahren zum Aufdampfen von optisch homogenen und optisch inhomogenen Mischschichten aus verschiedenen Ausgangsmaterialien, dadurch gekennzeichnet, da.ß die Spitze eines aus der aufzudampfenden Mischung oder Legierungbestehenden S.täbchens od. dgl. punktförmig erhitzt wird.
2. 2. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Spitze des Stäbchens in einen Elektronenstrahl geführt wird.
3. 3. Verfahren, nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß. die .Spitze des Stäbchens an eine Wärmequelle herangeführt wird.