DE69207522T2

DE69207522T2 - Elektretmikrofoneinheit

Info

Publication number: DE69207522T2
Application number: DE69207522T
Authority: DE
Inventors: Shuzo Isogami; Toshirou Izuchi; Kouji Nishikawa; Kiyoshi Ohta; Kazuo Ono; Mamoru Yasuda
Original assignee: Hosiden Corp
Current assignee: Hosiden Corp
Priority date: 1991-09-09
Filing date: 1992-04-21
Publication date: 1996-07-04
Anticipated expiration: 2012-04-22
Also published as: DE69207522D1; US5272758A; KR960000166B1; EP0531613A2; KR930007303A; MY106923A; CN1026846C; EP0531613B1; CN1070532A; EP0531613A3

Description

Hintergrund der Erfindung

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Kondensatormikrophoneinheit mit einem Elektret.
Fig. 1 zeigt eine herkömmliche Kondensatormikrophoneinheit mit vorderem Elektret. An der Stirnseite einer zylindrischen Kapsel 11 aus Aluminium ist integriert eine vordere Stirnplatte 11a gebildet, in der eine zweite Öffnung 12 gebildet ist, und an der Vorderseite der vorderen Stirnplatte 11a ist ein Tuch 13 befestigt. Am Umfangsbereich ist an der Innenseite der vorderen Stirnplatte 11a, dieser gegenüberliegend und in elektrischer Verbindung mit derselben ein Membranstützring 14 aus Metall vorgesehen. An der anderen Oberfläche des Metallringes 14, der mit der vorderen Stirnplatte 11a gegenüberliegenden Oberfläche, ist eine Elektretmembran 15 angeheftet. Die Elektretmembran 15 weist einen Polymerfilm, zum Beispiel einen ziemlich dicken FEP-Film (Fluorethylenpropylen) von 12,5 µm auf, auf dessen eine Seite ein Metall im Dampfniederschlagsverfahren aufgebracht ist. Der Polymerfilm, der polarisiert ist, ist an seinem Umfang von dem Metallring 14 abgestützt.
Der Membran 15 gegenüberliegend ist mittels eines ringförmigen Abstandshalters 16 in enger Nachbarschaft zu derselben eine hintere Elektrode 17 angeordnet, und diese hintere Elektrode 17 ist am vorderen Ende eines zylindrischen Haltegliedes 18 für die hintere Elektrode gehalten. In einer hinteren Kammer, die aus einem Innenraum des Haltegliedes 18 für die hintere Elektrode besteht, ist eine Impedanzwandlervorrichtung, IC-Vorrichtung 21, angeordnet. Mit der hinteren Elektrode 17 ist ein Eingangsanschluß 22 der IC-Vorrichtung 21 verbunden. Ein Ausgangsanschluß 23 und ein (nicht gezeigter) gemeinsamer Anschluß stehen von der Rückseite der Kapsel vor und sind mit einer Verdrahtung auf einer Verdrahtungstafel 24 verbunden, welche die Rückseite der Kapsel 11 verschließt. An der Rückseite der Verdrahtungstafel 24 ist ein hinterer Endbereich der Kapsel 11 so abgebogen, daß jeder Teil im Innern zum Fixieren der gesamten Anordnung gegen die vordere Stirnplatte 11a gepreßt wird.
Fig. 2 zeigt eine herkömmliche Kondensatormikrophoneinheit vom Typ mit einem hinteren Elektret. Obwohl bei dem Typ gemäß Fig. 1 mit vorderem Elektret die Membran selbst ein Elektret aufweist, besteht der Typ gemäß Fig. 2 mit hinterem Elektret aus einem Elektretpolymerfilm 26, der an der Oberseite der hinteren Elektrode 17 eng befestigt ist. Im einzelnen ist ein Elektretpolymerfilm, zum Beispiel ein FEP-Film durch Schmelzen an die Oberseite der hinteren Elektrode 17 angeklebt und zur Schaffung eines Elektrets polarisiert. Weitere Einzelheiten der Zusammensetzung sind ebenso wie im Fall von Fig. 1.
Bei herkömmlichen Elektret-Kondensatormikrophoneinheiten mit, wie sie in Fig. 1 und 2 gezeigt sind, ist zusätzlich zu den verschiedenen anderen Teilen die hintere Elektrode 17 erforderlich. Aus diesem Grund ist es schwierig, die Einheit automatisch zusammenzubauen, was ein begrenztes Ausmaß an Kostenminderung zur Folge hat. Da ein Elektretfilm als Membran benutzt ist, besteht eine Grenze, bis zu der die Membran dünner gemacht werden kann, und infolgedessen kann über eine Grenze hinaus die Empfindlichkeit nicht erhöht werden.
Eine Elektret-Kondensatormikrophoneinheit gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 ist im Dokument EP-A-0 371 620 offenbart. Bei diesem Stand der Technik sind der Elektretpolymerfilm und die elektrisch leitfähige Membran zu einem Element vereinigt, wobei ein auf der Elektretmembran niedergeschlagener Metallfilm das Merkmal der elektrischen Leitfähigkeit bietet.
Das Dokument DE-A-30 13 160 offenbart eine Elektret-Kondensatormikrophoneinheit und mit einer Elektrodenplatte, die einen polarisierten hochmolekularen Film hat, worin eine hochmolekulare Zwischenfilmschicht zwischen dem polarisierten hochmolekularen Film und der Elektrodenplatte vorgesehen ist, wobei die Zwischenfilmschicht einen niedrigeren Schmelzpunkt hat als der polarisierte hochmolekulare Film. Die Zwischenfilmschicht ist durch Schmelzen mit beiden verschweißt, nämlich dem polarisierten hochmolekularen Film und der Elektrodenplatte. Mit anderen Worten offenbart dieses Dokument gemäß dem vorstehend genannten Stand der Technik die Benutzung einer elektrisch leitfähigen Membran, die mit dem Elektretpolymerfilm vereinigt ist.

Zusammenfassung der Erfindung

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Elektret-Kondensatormikrophoneinheit bereitzustellen, die leicht automatisch aus einer kleinen Anzahl von Teilen zusammengesetzt werden kann und eine große Empfindlichkeit besitzt.
Diese Aufgabe wird mit einer Elektret-Kondensatormikrophoneinheit gemäß Anspruch 1 gelöst.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist ein Elektretpolymerfilm an der Innenfläche einer vorderen Stirnplatte in einer Kapsel befestigt. Dem gegenüberliegend mit schmalem Abstand zum Polymerfilm ist eine elektrisch leitfähige Membran angeordnet. Der Randbereich dieser elektrisch leitfähigen Membran ist von einem elektrisch leitfähigen Halteglied gehalten und damit elektrisch verbunden. Eine Verdrahtungsplatte ist so vorgesehen, daß die Rückseite der Kapsel geschlossen ist. Eine in der Kapsel angeordnete Impedanzwandler-IC-Vorrichtung ist mit der Verdrahtungsplatte verbunden und auch mit dem Halteglied.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Fig. 1 ist eine Schnittansicht eines herkömmlichen Mikrophons mit vorderem Elektret;
Fig. 2 ist eine Schnittansicht eines herkömmlichen Mikrophons mit hinterem Elektret;
Fig. 3 ist eine Schnittansicht eines Ausführungsbeispiels eines Mikrophons gemäß der vorliegenden Erfindung;
Fig. 4A ist eine Ansicht zur Erläuterung des Herstellungsprozesses der Kapsel 11 in Fig. 3;
Fig. 4B ist eine Ansicht zur Erläuterung des Herstellungsprozesses der Kapsel 11 in Fig. 3;
Fig. 4C ist eine Ansicht zur Erläuterung des Herstellungsprozesses der Kapsel 11 in Fig. 3;
Fig. 5 ist eine Schnittansicht des zweiten Ausführungsbeispiels des Mikrophons gemäß der vorliegenden Erfindung;
Fig. 6 ist eine graphische Darstellung, die Kurven der Empfindlichkeit gegenüber der Frequenz des Mikrophons in Fig. 6 zeigt;
Fig. 7 ist eine Schnittansicht des dritten Ausführungsbeispiels des Mikrophons gemäß der vorliegenden Erfindung;
Fig. 8A ist eine Schnittansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels des Mikrophons gemäß der vorliegenden Erfindung;
Fig. 8B ist eine Schrägansicht der Demontage der Kapsel 11 in Fig. 7;
Fig. 9 ist eine Schnittansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels des Mikrophons gemäß der vorliegenden Erfindung;
Fig. 10A ist eine Schnittansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels des Mikrophons gemäß der vorliegenden Erfindung;
Fig. 10B ist eine Ansicht eines Oberflächenleitermusters der Verdrahtungsplatte in Fig. 10A;
Fig. 10C ist eine Ansicht eines rückseitigen Leitermusters der Verdrahtungsplatte in Fig. 10A;
Fig. 11 ist eine Schnittansicht, die ein weiteres abgewandeltes Ausführungsbeispiel der Fig. 10A zeigt;
Fig. 12 ist eine Schnittansicht, die eine weiteres abgewandeltes Ausführungsbeispiel der Fig. 10A zeigt;
Fig. 13A ist eine Schnittansicht zum Aufzeigen noch eines weiteren modifizierten Ausführungsbeispiels der Fig. 10A;
Fig. 13B ist eine Schrägansicht der Kapsel 11 in Fig. 13A;
Fig. 14A ist eine Schnittansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels des Mikrophons gemäß der vorliegenden Erfindung;
Fig. 14B ist eine vordere Teilansicht der vorderen Stirnplatte 11a, um die Umgebung der Schlitze 64 zu zeigen, aus welchen die Schallöffnung der Fig. 14A zusammengesetzt ist;
Fig. 15 ist eine Schnittansicht einer Kapsel, die einen anderen Aufbau der Schlitze 64 aufzeigt;
Fig. 16 ist eine Schnittansicht einer Kapsel, die noch einen anderen Aufbau der Schlitze 64 aufzeigt; und
Fig. 17 ist eine Schnittansicht einer Kapsel, die einen weiteren Aufbau der Schlitze 64 zeigt.

Detaillierte Beschreibung der Erfindung

Fig. 3 stellt ein erstes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dar, bei dem Teile, die denen in Fig. 1 entsprechen, mit den gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet sind. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist ein Elektretpolymerfilm 26 an der Innenfläche der Stirnplatte 11a der Kapsel 11 befestigt. Wie zum Beispiel in Fig. 4A gezeigt, ist ein Polymerfilm, zum Beispiel ein FEP-Film 28 thermisch gleichmäßig auf eine Dicke von etwa 12,5 bis 25 µm auf eine ganze Oberfläche einer 0,3 bis 0,35 mm dicken Aluminiumplatte 27 aufgeschmolzen. Die Aluminiumplatte 27 kann vorteilhafterweise aus JIS: A1100P bestehen, einem Stoff, der durch Glühen bei 340ºC bis 410ºC mittels Luft oder im Ofen erzeugt wird und eine ausgezeichnete Weichheit hat und sich in einem späteren Herstellungsprozeß leicht pressen läßt. Darüber hinaus ist es auch vorzuziehen, daß ein Oxidfilm mittels einer chemischen Verarbeitung auf der Oberfläche der Aluminiumplatte gebildet wird, so daß die Haftkraft des Polymerfilms 26 größer wird. Es ist gleichfalls möglich, die Haftkraft des Polymerfilms 26 dadurch zu verstärken, daß die Oberfläche des anzuklebenden Films durch ein Koronaentladungsverfahren behandelt wird. Der Polymerfilm 26 kann mit einer Heißpreßwalze kontinuierlich auf die Aluminiumplatte 27 aufgeschmolzen werden.
Die Aluminiumplatte 27 mit dem darauf festgeklebten Polymerfilm 26 wird durch Pressen mit Reduzierwerkzeugen becherförmig in die Kapsel 11 geformt, wobei der FEP-Film 28 im Innern vorgesehen ist, wie in Fig. 4B gezeigt. Zur gleichen Zeit wird der Polymerfilm 26 im hinteren Endbereich der Kapsel um etwa 0,8 mm abgezogen, um ein Grundmetall aus Aluminium bloßzulegen. Und eine Schallöffnung 12 wird durch die vordere Stirnplatte der Kapsel 11 und den FEP-Film 28 gemeinsam gebildet. Als nächstes wird ein Teil des FEP-Films 28, der an der Innen-Seite der vorderen Stirnplatte 11A der Kapsel 11 klebt, mittels eines Elektronenstrahls polarisiert, um dadurch einen Elektretpolymerfilm 26 zu erhalten, wie in Fig. 4C gezeigt.
Es wird nun noch einmal Fig. 3 erklärt. Eine elektrisch leitfähige Membran 29 ist dem Elektretpolymerfilm 26 gegenüberliegend so angeordnet, daß ein enger Zwischenraum von etwa 25 bis 40 µm zwischen ihnen außer in einem Umfangsbereich bestimmt ist. Die elektrisch leitfähige Membran 29 kann zum Beispiel einen extrem dünnen PET-Film (Polyester) von 2 bis 4 µm oder einen Polyphenylensulfidfilm (PPS) auf der einen Seite aufweisen, auf der Ni oder Al usw. im Dampfniederschlagsverfahren aufgetragen ist, um eine elektrisch leitfähige Schicht zu bilden. Die vordere Stirnplatte 11a ist außer im Umfangsbereich derselben geringfügig nach vorn gepreßt, so daß eine flache Ausnehmung 31 geschaffen ist. Im Randbereich des Elektretpolymerfilms 26 befindet sich ein Umfangsbereich der elektrisch leitfähigen Membran 29 diesem gegenüberliegend und in Berührung mit demselben. Infolgedessen ist ein Luftspalt zwischen dem Elektretpolymerfilm 26 und der elektrisch leitfähigen Membran 29 gebildet, welcher der Tiefe der Ausnehmung 31 entspricht. Auch wenn die Ausnehmung 31 in Fig. 4B oder 4C nicht gezeigt ist, wird sie im voraus bei der Herstellung der Kapsel durch Pressen geschaffen.
Das elektrisch leitfähige Halteglied 32 ist in der Kapsel 11 aufgenommen und hält die elektrisch leitfähige Membran 29 am vorderen Ende des elektrisch leitfähigen Haltegliedes 32. Außerdem sind sie miteinander elektrisch verbunden, das heißt die elektrisch leitfähige Schicht der elektrisch leitfähigen Membran 29 liegt dem elektrisch leitfähigen Halteglied 32 gegenüber und steht in Berührung mit demselben. Zusätzlich besteht eine hintere Kammer 19 aus dem elektrisch leitfähigen Halteglied 32 an der Rückseite der elektrisch leitfähigen Membran 29. Das elektrisch leitfähige Halteglied 32 ist zum Beispiel von einem Metallgußstück gebildet, welches aus einem zylindrischen Bereich 32a besteht, der mit der Kapsel 11 in Eingriff steht, sowie aus einem Trennbereich 32b, der das Innere derselben in einen vorderen und einen hinteren Raum unterteilt. Die Stirnseite des elektrisch leitfähigen Haltegliedes 32 ist mit einem elektrisch leitfähigen Klebstoff auf Epoxybasis beschichtet, der sich mit der gespannten Membran 29 an deren Seite der elektrisch leitfähigen Schicht verbindet. Eine hintere Kammer 19 wird von einem Raum zwischen dem Trennbereich 32b und der elektrisch leitfähigen Membran 29 bestimmt. Da der Polymerfilm 28 die innere Umfangsfläche der Kapsel 11 bedeckt, ist das elektrisch leitfähige Halteglied 32 gegenüber der Kapsel 11 elektrisch isoliert.
Die Rückseite der Kapsel 11 ist von der Verdrahtungsplatte 24 verschlossen. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die Verdrahtungsplatte 24 dem hinteren Ende des elektrisch leitfähigen Haltegliedes 32 gegenüber und in Berührung mit demselben angeordnet, während ein hinterer Endbereich der Kapsel 11 umgebogen ist, um das Halteglied 32 und die Verdrahtungsplatte 24 gegen die vordere Stirnplatte 11a zu schieben und zu fixieren. Zwischen der Verdrahtungsplatte 24 und dem Trennbereich 32b ist eine Impedanzwandler-IC-Vorrichtung 21 angeordnet, und der Eingangsanschluß der IC-Vorrichtung 21 ist mit dem Trennbereich 32b verbunden. Ein Ausgangsanschluß 23 und ein (nicht dargestellter) gemeinsamer Anschluß sind zur Außenseite der Verdrahtungsplatte 24 geführt und mit einer Ausgangsverdrahtung bzw. einer gemeinsamen Verdrahtung verbunden. Ferner ist ein umgebogener innerer Endrand der Kapsel 11 mit der gemeinsamen Verdrahtung im hinteren Umfang der Verdrahtungsplatte 24 verbunden.
Gemäß dem oben beschriebenen Aufbau vibriert die Membran 29 entsprechend einem von der Vorderseite kommenden Schallsignal, während eine statische Kapazität zwischen der elektrisch leitfähigen Membran 29 und der vorderen Stirnplatte 11a variiert, so daß das Gerät wie ein Kondensatormikrophon wirkt.
Die elektrisch leitfähige Membran 29 kann auch auf beiden Seiten des Polymerfilms ausgebildete elektrisch leitfähige Schichten aufweisen. In diesem Fall sind diese elektrisch leitfähigen Schichten beide elektrisch verbunden. Das elektrisch leitfähige Halteglied 32 ist nicht auf ein solches beschränkt, welches vollständig aus metallischem Werkstoff gebildet ist, sondern es kann auch aus einem Isoliermaterial gebildet sein, welches zu einer notwendigen Gestalt geformt ist, die mit einer Metallschicht als elektrisch leitfähige Einrichtung plattiert ist. Es ist auch möglich, erhöhte Bereiche in geeigneten Intervallen von der vorderen Stirnplatte 11a zum Halteglied 32 vorzusehen und dabei die Ausnehmung 31 wegzulassen. Außerdem kann an der Vorderseite der vorderen Stirnplatte 11a auch ein Tuch befestigt sein.
Fig. 5 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel des Elektret-Kondensatormikrophons gemäß der vorliegenden Erfindung, bei dem die Teile, die denen der Fig. 3 entsprechen, mit den gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet sind. Das benutzte elektrisch leitfähige Halteglied 32 ist in axialer Richtung kurz, wie der in Fig. 1 gezeigte herkömmliche Metallring 14. Ein aus einem Isoliermaterial, zum Beispiel ABS-Harz gemachtes zylindrisches Teil 34 kann auch zwischen das elektrisch leitfähige Halteglied 32 und die Verdrahtungsplatte 24 geschaltet sein. In diesem Fall ist eine Ausnehmung 35 im vorderen Ende des zylindrischen Teils 34 gebildet, in welcher der Endbereich des Eingangsanschlusses 22 der IC-Vorrichtung 21 angeordnet ist. In einem solchen Zustand, bei dem der Endbereich des Eingangsanschlusses 22 geringfügig nach vorn von der Vorderseite des zylindrischen Teils 34 vorsteht, wird das zylindrische Teil 34 gegen das elektrisch leitfähige Halteglied 32 gedrückt wodurch der Eingangsanschluß 22 mit dem elektrisch leitfähigen Halteglied 32 in Kontakt gelangt und dabei ein elektrischer Anschluß hergestellt wird.
Bei dem in Fig. 5 gezeigten Ausführungsbeispiel ist die Außenfläche der vorderen Stirnplatte 11a der Kapsel 11 flach gestaltet, statt daß Stufen zur Schaffung einer Ausnehmung 31 gebildet sind, was auf ein schöneres Aussehen abzielt. Um zu verhindern, daß das Grundmetall aus Aluminium blendet, kann die Außenfläche bedruckt oder zur leichten Bekleidungsarbeit hergerichtet sein. Außerdem ist, wie im Fall von Fig. 3, der Polymerfilm 28 im hinteren Endbereich der Kapsel 11 gleichzeitig mit dem Pressen der Kapsel 11 entfernt worden, wodurch das grundlegende Aluminiummetall freigelegt und der hintere Endbereich der Kapsel 11 an der Rückseite der Verdrahtungsplatte 24 verstemmt wird. Somit ist die Kapsel 11 mit der gemeinsamen Verdrahtung im hinteren Umfang der Verdrahtungsplatte 24 automatisch verbunden. Das zylindrische Teil 34 in der Darstellung ist von solcher Art, daß seine Rückseite integral verschlossen ist. Allerdings kann die Rückseite auch eine Öffnung haben. Darüber hinaus läßt sich das Gerät leichter zusammensetzen, indem das Halteglied 32 mit der daran festgehaltenen Membran 29 in die Kapsel 11 eingesetzt und dann eine zuvor zusammengesetzte Baugruppe aus der IC-Vorrichtung 21, der Verdrahtungsplatte 24 und dem zylindrischen Teil 34 in der Kapsel 11 untergebracht wird.
Durch angemessene Auswahl von Durchmesser und Anzahl der Schallöffnungen 12 in der vorderen Stirnplatte 11a der Kapsel 11 ist es möglich, die Erzeugung einer Spitze durch eine Resonanzfrequenz f0 der Membran 29 in einem Hochfrequenzbereich der Frequenzkennlinien als Mikrophon zu unterdrücken. Wenn zum Beispiel die Kapsel 11 mit einem Außendurchmesser von 9,3 mm und die Membran 29 mit einem wirksamen Durchmesser von 7,0 mm benutzt wird und fünf Schallöffnungen 12, jeweils mit einem Durchmesser von 1,0 mm, oder sechs Schallöffnungen, jeweils mit einem Durchmesser von 0,8 mm in gleichmäßigen Abständen auf einem Kreis mit einem Durchmesser von 3,5 mm um den axialen Mittelpunkt der Kapsel 11 gebildet werden, entsteht eine Spitze in einem hochfrequenten Bereich der Kennlinien der Empfindlichkeit gegenüber der Frequenz, wie in der Kurve 36 der Fig. 6 gezeigt. Ist allerdings die Anzahl der 0,8 mm großen Schallöffnungen 12 auf 5 verringert, so besteht keine Spitze mehr im Hochfrequenzbereich, wie in der flachen Kurve 37 gezeigt. Wo allerdings der Durchmesser jeder Schallöffnung 12 noch mehr verkleinert wird, zum Beispiel fünf 0,6 mm Schallöffnungen oder vier 0,8 mm Schallöffnungen vorgesehen sind, wird die Empfindlichkeit im hochfrequenten Bereich übermäßig gering, wie durch die Kurve 38 gezeigt. Deshalb ist es ein optimaler Fall, fünf Schallöffnungen von jeweils 0,8 mm Durchmesser zu bilden.
Fig. 7 zeigt ein drittes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Wie mit den gleichen Bezugszeichen für den Teilen der Fig. 5 entsprechende Teile gezeigt, ist das elektrisch leitfähige Halteglied 32 zu einer Scheibe gestaltet, von der ein Innenteil mit Ausnahme eines Umfangs zum Festhalten der Membran 29 zu einem Verschlußbereich 32a gestaltet ist, der nach rückwärts parallel zur Membran 29 ausgenommen ist, wobei ein sehr geringer Abstand (zum Beispiel 20 bis 30 µm) zur Membran 29 eingehalten ist. Der Verschlußbereich 32a verschließt die hintere Kammer 19 hinter dem Halteglied 32, und in diesem Verschlußbereich 32a sind Schallöffnungen 39 gebildet. Durch entsprechende Auswahl des Durchmessers und der Anzahl der Schallöffnungen 39 ist es möglich, die Spitze im Hochfrequenzband in den Kennlinien der Empfindlichkeit gegenüber der Frequenz der Fig. 6 zu unterdrücken, während die charakteristische Kurve flach gemacht wird. In diesem Fall wird der Durchmesser jeder Schallöffnung 12 geringfügig größer gemacht, zum Beispiel 1,0 mm, und es sind fünf davon vorgesehen, um eine nachteilige Beeinflussung der Frequenzkennlinien zu verhindern.
Unter Hinweis auf Fig. 5 bis 7 ist es auch möglich, den Polymerfilm 28 an der inneren Seitenfläche der Kapsel 11 wegzulassen, so daß der Elektretpolymerfilm 26 unter Verwendung eines Klebstoffs nur an der vorderen Stirnplatte 11a angeklebt ist.
Fig. 8A und 8B zeigen ein viertes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel, wie es in Fig. 8A gezeigt ist, ist auf der inneren Seitenfläche eines zylindrischen Aluminiumteils 43 kein Polymerfilm gebildet. Außerdem ist die vordere Stirnplatte 11a, auf der Elektretpolymerfilm 26 gebildet ist, als getrennte Scheibe 41 hergestellt, die mit Preßsitz in eine in der Stirnfläche des zylindrischen Teils 43 gebildete Öffnung 43A eingesetzt ist. Genauer gesagt ist, wie in Fig. 8B gezeigt ein FEP-Film 42 durch Schmelzen oder Ankleben an einer Seite der kreisförmigen Aluminiumplatte 41 befestigt. Schallöffnungen 12 sind dann gebohrt und der FEP-Film 42 zu einem Elektretpolymerfilm 26 polarisiert. Wie in Fig. 8A gezeigt, ist die Aluminiumplatte 41 mit Preßsitz in die vordere Öffnung des zylindrischen Aluminiumteils 43 als ein integrierter Körper, welcher die Kapsel 11 aufweist, eingesetzt. Weitere Einzelheiten des Aufbaus sind ähnlich wie beim Ausführungsbeispiel der Fig. 5.
Ein gegenüber Fig. 8A und 8B abgewandeltes Ausführungsbeispiel ist in Fig. 9 gezeigt, wo eine getrennte, kreisförmige vordere Stirnplatte 11a (41), die mit einem Elektretpolymerfilm beschichtet ist, auch an der Innenseite angeordnet sein kann. Genauer gesagt, ist ein Elektretpolymerfilm 26 an einer Seite einer kreisförmigen Aluminiumplatte 41 gebildet, die einen dicken Umfang und einen inneren Teil hat, der zu einer Ausnehmung 31 geformt ist, und die Aluminiumplatte 41 ist von der Innenseite der Kapsel 11 her gegen einen Stirnflansch 43a des zylindrischen Teils 43 gepreßt, wie in Fig. 9 gezeigt, und daran befestigt, wodurch die Kapsel 11 gebildet ist.
In der obigen Beschreibung ist es auch möglich, die Varianz der Polarisierungsgrade in den Produkten des Elektretpolymerfilms 26 durch Zwischenschalten eines Abstandshalters zwischen dem Umfang der Membran 29 und dem Elektretpolymerfilm 26 auszugleichen. In diesem Fall ist es auch möglich, keine Ausnehmung 31 zu bilden, aber die vordere Stirnplatte 11a hat in der Gesamtheit die gleiche Dicke.
Mit einem herkömmlichen, in Fig. 1 gezeigten Mikrophon des Typs mit vorderem Elektret wird die Elektretmembran 1 5 benutzt. Deshalb ist es schwierig, die Dicke derselben geringer als 12,5 µm zu machen. Infolgedessen kann die Empfindlichkeit nicht größer als eine entsprechende Grenze gemacht werden, zum Beispiel -45 dB bei 1 KHz. Gemäß dem Mikrophon der vorliegenden Erfindung, wie unter Hinweis auf die verschiedenen Ausführungsbeispiele oben beschrieben, mit einem vorderen Elektret, kann die Dicke zum Beispiel nur 2 µm dünn gemacht werden, weil die Membran 29 kein Elektret zu sein braucht. Infolgedessen kann bei der Anordnung der Fig. 5 die Empfindlichkeit -38 dB bei 1 KHz, das heißt um 7 dB größer als zuvor gemacht werden. Infolgedessen ist auch der Rauschabstand größer als 45 dB gemacht, wodurch herkömmliche Produkte um 5 dB verbessert sind. Auch bei anderen Typen mit vorderem Elektret gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine ähnliche Leistung zu erwarten.
Da der Elektretpolymerfilm 26 an der Innenfläche der Kapsel gebildet ist, kann darüber hinaus die Dicke desselben dicker gemacht werden, zum Beispiel 25 µm. Infolgedessen kann die Varianz der Polarisierungsgrade verwandter Produkte zusammen mit größerer Stabilität kleiner gemacht werden.
Was die Herstellung anbetrifft, zum Beispiel die in Fig. 5, 7, 8A, 9 usw. gezeigten Ausführungsbeispiele, ist die Impedanzwandler-IC-Vorrichtung 21 mit einem Eingangsanschluß 22, Ausgangsanschluß 23 und einem (nicht dargestellten) gemeinsamen Anschluß als Zuleitungsdraht versehen. Der Ausgangsanschluß 23 und der gemeinsame Anschluß sind in Zuleitungsdrahteingangslöcher 24H eingesetzt, welche den rückwärtigen Wandbereich 34W des zylindrischen Teils 34 und der Verdrahtungsplatte 24 durchdringen, und dann sind deren Spitzen umgebogen und an Leitermustern angelötet, mit denen die Rückseite der Verdrahtungsplatte bedruckt ist. Solche Herstellungsverfahren, wie oben beschrieben, sind erforderlich. Allerdings ist es schwierig, diese Verfahren zu automatisieren. Infolgedessen eignet sich die Konstruktion nicht zur automatischen Herstellung und zum Zusammenbau von Mikrophoneinheiten. Ein in dieser Hinsicht verbessertes Ausführungsbeispiel ist in Fig. 10A gezeigt. Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 10A weist die benutzte Verdrahtungsplatte eine doppelseitige Verdrahtungsplatte 24' auf. Darüber hinaus ist die IC-Vorrichtung 21 vorzugsweise von dünnem Chiptyp. Um die elektrisch leitfähige Membran 29 mit dem Eingangsanschluß 22 der IC-Vorrichtung 21 elektrisch zu verbinden, ist auf dem oberen Umfang der doppelseitigen Verdrahtungsplatte 24' ein ringförmiges Leitermuster 51 gebildet, wie in Fig. 10B gezeigt. Die hintere Endfläche des elektrisch leitfähigen Haltegliedes 32 ist daran koaxial befestigt. Ein Leitermuster 52, mit dem der Eingangsanschluß 22 verlötet werden soll, ist so gebildet, daß es sich vom ringförmigen Leitermuster 51 erstreckt. Die Leitermuster 53 und 54, mit denen der Ausgangsanschluß 23 bzw. der gemeinsame Anschluß 23' der IC-Vorrichtung 21 verlötet werden sollen, sind mit den Leitermustern 55 und 56 an der Rückseite, wie in Fig. 10C gezeigt, durch die Durchgangslöcher 53H bzw. 54H verbunden. Am hinteren Umfang der Verdrahtungsplatte 24' ist ein ringförmiges Leitermuster 57 in der gleichen Weise wie bei den bisher beschriebenen Ausführungsbeispielen gebildet, während ein gemeinsames Verdrahtungsmuster 58 sich vom ringförmigen Leitermuster 57 erstreckend gebildet ist. Das mit dem gemeinsamen Anschluß 23' der IC-Vorrichtung zu verbindende Leitermuster 56 ist tatsächlich mit dem gemeinsamen Verdrahtungsmuster 58 über das ringförmige Leitermuster 57 verbunden. Der Schnitt der Verdrahtungsplatte 24' in Fig. 10A ist ein Schnitt längs der Linie X-X in den Fig. 10B und 10C.
In einer Massenfertigungsreihe wird die IC-Vorrichtung 21 mittels einer Montagemaschine automatisch an einem vorherbestimmten Ort jeder doppelseitigen Verdrahtungsplatte 24' angeordnet und mit einem Lotrückflußsystem automatisch angelötet. Zu dieser Zeit werden die Durchgangslöcher mit einem metallischen Lot angefüllt, um zu verhindern, daß Luft aus der rückwärtigen Kammer 19 durch die Durchgangslöcher entweicht.
An der Rückseite der vorderen Stirnplatte 11a ist eine Ausnehmung 31 gebildet, die mittels einer Stufendifferenz zum äußeren Rand derselben einen Abstand zur elektrisch leitfähigen Membran 29 definiert. Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 10A ist in einem zentralen Bereich der vorderen Stirnplatte 11a ein Schlitzloch 12' (zum Beispiel in einer Breite von 0,4 mm und einer Länge von 2,0 mm) anstelle einer Reihe kreisförmiger Schallöffnungen 12 gebildet, die bei den bisher beschriebenen Ausführungsbeispielen konstruiert waren. Um die Mikrophoneinheit der Fig. 10A zusammenzubauen, wird zunächst der Polymerfilm 28 an der inneren Wandfläche der Kapsel 11 gebildet, und der Polymerfilm an der rückwärtigen Oberfläche der vorderen Stirnplatte 11a wird zu einem Elektretpolymerfilm 26 polarisiert. Als nächstes wird das elektrisch leitfähige, zylindrische Halteglied 32, welches eine elektrisch leitfähige Membran 29 festhält, eingesetzt, und dann wird eine doppelseitige Verdrahtungsplatte 24' mit montierter IC-Vorrichtung 21 eingesetzt. Eventuell wird der hintere Endbereich der Kapsel 11 verstemmt und fixiert. Diese Prozesse einer Montagearbeit können leicht automatisiert werden.
Fig. 11 zeigt ein gegenüber der Mikrophoneinheit der Fig. 10A abgewandeltes Ausführungsbeispiel, bei dem die elektrisch leitfähige Membran 29 am ringförmigen, elektrisch leitfähigen Halteglied 32 angeklebt und fixiert ist, während ein elektrisch leitfähiges, zylindrisches Teil 34' zwischen das elektrisch leitfähige Halteglied 32 und die doppelseitige Verdrahtungsplatte 24' geschaltet ist. Weitere Einzelheiten des Aufbaus ähneln denen der Fig. 10A.
Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 12 ist ein ringförmiger Abstandshalter 16 zwischen dem Elektretpolymerfilm 26 an der Rückseite der vorderen Stirnplatte 11a und der elektrisch leitfähigen Membran 29 geschaltet, statt daß in der rückwärtigen Oberfläche der vorderen Stirnplatte 11a der Kapsel 11 eine Ausnehmung gebildet wäre. Außerdem ist ein elektrisch leitfähiges, zylindrisches Teil 34' zwischen der elektrisch leitfähigen Membran 29 und der doppelseitigen Verdrahtungsplatte 24' angeordnet. Die elektrisch leitfähige Membran 29 ist entweder von der hinteren Stirnfläche des Abstandshalters 16 oder der vorderen Stirnfläche des elektrisch leitfähigen zylindrischen Teils 34' gehalten. Mittels des Abstandshalters 16 ist ein Abstand zwischen dem Elektretpolymerfilm 26 und der elektrisch leitfähigen Membran 29 auf spezifizierte Abmessungen geregelt. Andere Einzelheiten der Zusammensetzung sind ähnlich wie jene der Fig. 10A.
Ein gegenüber dem Ausführungsbeispiel der Fig. 12 abgewandeltes Ausführungsbeispiel ist in Fig. 13A und 13B gezeigt bei dem eine quadratische Fläche der vorderen Stirnplatte 11a der Kapsel 11 nach innen niedergedrückt ist. Das heißt, sie ist nach innen gedrückt um eine Stufendifferenz zu bilden, die etwas größer ist als die Dicke der Platte 11a, so daß einandergegenüberliegende zwei Kanten der Vertiefung zur Schaffung schmaler Schlitze 61 vertikal geteilt werden, während die beiden anderen Kanten geneigte, kontinuierliche Stufen bilden. Weitere Einzelheiten der Zusammensetzung sind ähnlich wie die in Fig. 10A. Da schmale Schlitze 61 als Schallöcher benutzt werden, wie oben beschrieben, wird wirksam verhindert, daß Staub oder sonstige Fremdkörper in die Schallöffnungen eintreten, so daß die Membran 29 saubergehalten wird und ein an der vorderen Stirnplatte 11a befestigtes Tuch weggelassen werden kann. Ferner ist bei den verschiedenen bisher beschriebenen Ausführungsbeispielen jede Schallöffnung 12 oder 12' in einer Ebene parallel zur vorderen Stirnplatte 11a gebildet. Deshalb ist, wenn die Kapsel 11 von der Vorderseite betrachtet wird, ein Teil der elektrisch leitfähigen Membran 29 außen bloßgelegt. Im Gegensatz dazu sind bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 13A und 13B die Schlitze 61 im wesentlichen senkrecht zur vorderen Stirnplatte 11a gebildet. Infolgedessen ist die elektrisch leitfähige Membran 29 nicht exponiert, was einen größeren elektromagnetischen Abschirmungseffekt bewirkt. Das Ausführungsbeispiel verwirklicht deshalb einen Vorteil eines niedrigeren Niveaus an Induktionsrauschen an der elektrisch leitfähigen Membran 29, die mit der Eingangsseite hoher Impedanz der Impedanzwandlervorrichtung 21 verbunden ist.
Vom in Fig. 13A dargestellten Ausführungsbeispiel wurde erläutert, daß es Schlitze 61 hat, die durch Scheren von zwei entgegengesetzten Seiten einer gepreßten, quadratischen Ausnehmung in der vorderen Stirnplatte 11a gebildet sind. Es ist auch möglich, eine Vielzahl bogenförmiger, gescherter Schlitze in gleichmäßigen Winkelabständen am Umfang einer kreisförmig gepreßten Ausnehmung vorzusehen. Ein solches Ausführungsbeispiel, wie zuvor beschrieben, ist in Fig. 14A gezeigt. An der Rückseite der vorderen Stirnplatte 11a einer aus Metall, beispielsweise Aluminium gefertigten, zylindrischen Kapsel 11 ist eine durch eine unterbrochene Linie 62R in Fig. 14B gezeigte, kreisförmige Zone so ausgenommen, daß ihre Dicke geringer ist als die Hälfte der Dicke anderer Teile, wodurch im voraus ein dünnwandiger Bereich 62 gebildet wird. In einem koaxialen Verhältnis zum kreisförmigen, dünnwandigen Bereich 62 ist eine Ausnehmung 63 eines Kreises 63R mit kleinerem Durchmesser durch Pressen der vorderen Stirnplatte 11a von der Vorderseite unter Benutzung einer Preßmaschine gebildet. Zu dieser Zeit wird der dünnwandige Bereich 62 am Kreis 63R in gleichmäßigen Winkelabständen abgeschert, wobei ein Verbindungsbereich 65 verbleibt, so daß vertikale Schlitze 64 gebildet werden.
Die Dicke der vorderen Stirnplatte 11a ist zum Beispiel 0,3 mm, während die Dicke des durch Pressen der Rückseite derselben zur Vorderseite gebildeten dünnwandigen Bereichs 62 0,1 mm beträgt. Die Rückseite des dünnwandigen Bereichs 62 in der Ausnehmung 63 liegt in der gleichen Ebene wie die Rückseite der vorderen Stirnplatte 11a. Deshalb wird der vertikale Spalt "t" der Schlitze 64 zu 0,1 mm. Der Durchmesser der kreisförmigen Ausnehmung 63 beträgt 3 mm. Auf eine solche Weise, wie oben beschrieben, werden Schlitze 64 rechtwinklig zur vorderen Stirnplatte 11a und zwischen der Außenseite der vorderen Stirnplatte 11a und der Rückseite gebildet. Weitere Einzelheiten der Zusammensetzung sind ähnlich wie die in Fig. 11.
Das Ausführungsbeispiel der Fig. 14A bezieht sich auf einen Fall, wo die kreisförmige Ausnehmung 62 in der Vorderseite der vorderen Stirnplatte 11a gebildet ist. Wie in Fig. 15 gezeigt, kann die kreisförmige Ausnehmung 63 auch in der Rückseite der vorderen Stirnplatte 11a gebildet werden, wie in Fig. 15 gezeigt. Darüber hinaus kann der dünnwandige Bereich 62 und die kreisförmige Ausnehmung 63 auch rechteckig oder polygonal statt kreisförmig gestaltet sein.
Ein weiteres Verfahren zur Bildung von Schlitzen 64 besteht darin, statt den dünnwandigen Bereich 62, wie in Fig. 14A und 15 gezeigt zu bilden, ein innerer Bereich der vorderen Stirnplatte 11a von der Außenseite nach vorn gepreßt wird, während Verbindungsbereiche desselben in einer verjüngten dünnen Gestalt verbleiben und andere Bereiche abgeschert werden, um senkrecht Schlitze 64 zu bilden, wie in Fig. 16 gezeigt. Andererseits kann, wie in Fig. 17 gezeigt, ein mittlerer Bereich der vorderen Stirnplatte 11a nach innen verschoben werden, um so vertikale Schlitze 64 zu bilden. Ferner können Schlitze auch so gebildet werden, daß sie sich in radialen Richtungen erstrecken.
Gemäß der vorstehend beschriebenen, vorliegenden Erfindung ist, anders als bei einer herkömmlichen Mikrophoneinheit, wenigstens keine hintere Elektrode nötig, und dementsprechend ist die Anzahl erforderlicher Teile geringer, während das automatische Montieren erleichtert ist. Für den Fall, daß auch der Abstandshalter insbesondere weggelassen ist, eignet sich die Mikrophoneinheit gemäß der vorliegenden Erfindung besser für automatische Montage.
Ferner ist es schwierig, wenn eine Membran aus einem Elektret in einem herkömmlichen System benutzt wird, die Dicke geringer als 12,5 µm zu machen, was zu einer entsprechend geringen Empfindlichkeit führt, nämlich -45 dB bei 1 KHz. Gemäß der vorliegenden Erfindung allerdings kann die Dicke der Membran 29 so dünn gemacht werden, daß sie zum Beispiel 2 µm beträgt. Gemäß der in Fig. 3 gezeigten Anordnung kann die Empfindlichkeit auf -38 dB bei 1 KHz verbessert werden, das heißt um bis zu 7 dB größer als die herkömmliche Grenze. Folglich wird auch der Rauschabstand höher als 45 dB, nämlich 5 dB höher als diejenigen bekannter Einheiten.
Da der Elektretfilm 26 an der Innenfläche der Kapsel gebildet ist, kann seine Dicke größer gemacht werden, zum Beispiel 25 µm. Folglich ist die Varianz der Polarisierungsgrade bei Produkten entsprechend kleiner und die Stabilität der Polarisierungsgrade größer.

Claims

1. Elektretkondensatormikrophoneinheit mit:

einem zylindrischen Teil (11);

einer Metallkapsel (11), die eine vordere Stirnplatte (11a) hat, welche eine Stirnfläche des zylindrischen Teils verschließt und mit einer Schallöffnung (12) versehen ist;

einem Elektretpolymerfilm (26);

einer elektrisch leitfähigen Membran (29), die in der Kapsel in enger Gegenüberstellung und mit Abstand zu der vorderen Stirnplatte (11a) angeordnet ist;

einem elektrisch leitfähigen Haltemittel (32), welches in der Kapsel angeordnet ist, um einen Umfangsbereich der Membran (29) zu halten;

einer Verdrahtungsplatte (24), die so angeordnet ist, daß sie die Rückseite der Kapsel verschließt und

einer Impedanzwandler-IC-Vorrichtung (21), die in der Kapsel angeordnet und mit dem Haltemittel (32), der Verdrahtungsplatte (24) und der Kapsel (11) verbunden ist;

dadurch gekennzeichnet, daß der Elektretpolymerfilm (26) an der Rückseite der vorderen Stirnplatte (11a), die der Membran (29) zugewandt ist, befestigt ist, wobei sich die Schallöffnung (12) durch den Elektretpolymerfilm (26) erstreckt.

2. Mikrophoneinheit nach Anspruch 1, bei der das hintere Ende des elektrisch leitfähigen Haltemittels (28) der Verdrahtungsplatte (24) gegenüberliegend und in Berührung mit derselben angeordnet ist, wobei eine hintere Kammer (19) durch das elektrisch leitfähige Haltemittel an der Rückseite der elektrisch leitfähigen Membran (29) gebildet ist.

3. Mikrophoneinheit nach Anspruch 1, bei der ein zylindrisches Isoliermaterial (34) zwischen dem elektrisch leitfähigen Haltemittel (32) und der Verdrahtungsplatte (24) angeordnet und eine rückwärtige Kammer an der Rückseite der elektrisch leitfähigen Membran (29) durch das zylindrische Isoliermaterial (34) gebildet ist.

4. Mikrophoneinheit nach Anspruch 1, bei der das zylindrische Teil (11) und die vordere Stirnplatte (11a) einstückig miteinander gebildet sind und ein vom Elektretpolymerfilm (26) fortgesetzter Polymerfilm (28) abdeckend an der inneren Umfangsfläche des zylindrischen Teils befestigt ist.

5. Mikrophoneinheit nach Anspruch 4, bei der das hintere Ende des zylindrischen Teils (11) zum Rand der Rückseite der Verdrahtungsplatte (24) gebogen und dort verstemmt ist.

6. Mikrophoneinheit nach Anspruch 5, bei der eine Metalloberfläche an der inneren Umfangsfläche am hinteren Ende des zylindrischen Teils (11) bloßgelegt ist und mit einem Leitermuster in Kontakt steht, welches an der Rückseite der Verdrahtungsplatte (24) gebildet ist.

7. Mikrophoneinheit nach Anspruch 4, bei der ein Ausnehmungsbereich an der Rückseite der vorderen Stirnplatte (11a) außer im Randbereich gebildet ist, und das elektrisch leitfähige Haltemittel (32) den Randbereich der von ihm gehaltenen elektrisch leitfähigen Membran (29) gegen den Randbereich an der Rückseite der vorderen Stirnplatte preßt.

8. Mikrophoneinheit nach Anspruch 1 oder 4, bei der ein zylindrisches Isoliermaterial (34) zwischen das elektrisch leitfähige Haltemittel (32) und die Verdrahtungsplatte (24) geschaltet ist, wodurch eine rückwärtige Kammer (19) hinter der elektrisch leitfähigen Membran zusammengesetzt ist, und ein Eingangsanschluß der Impedanzwandler-IC-Vorrichtung (21) mit dem elektrisch leitfähigen Haltemittel (32) verbunden ist.

9. Mikrophoneinheit nach Anspruch 8, bei der der Eingangsanschluß der IC-Vorrichtung zwischen das elektrisch leitfähige Haltemittel (32) und das zylindrische Material (34) geschaltet ist.

10. Mikrophoneinheit nach Anspruch 1 oder 4, bei der das hintere Ende des elektrisch leitfähigen Haltemittels (32) nach hinten verlängert ist in Gegenüberstellung und Kontakt mit der Verdrahtungsplatte (24), wodurch eine hintere Kammer (19) hinter der elektrisch leitfähigen Membran (29) gebildet wird.

11. Mikrophoneinheit nach Anspruch 1 oder 4, bei der ein ringförmiger Abstandshalter (16) zwischen dem Rand bereich der Rückseite der vorderen Stirnplatte (11a) und dem Umfangsbereich der elektrisch leitfähigen Membran (29) vorgesehen ist und den Zwischenraum zwischen ihnen bestimmt.

12. Mikrophoneinheit nach Anspruch 1, bei der die vordere Stirnplatte (41) getrennt von dem zylindrischen Teil (43) gebildet und in eine am vorderen Ende des zylindrischen Teils gebildete Öffnung (43A) gepreßt und eingepaßt ist.

13. Mikrophoneinheit nach Anspruch 1, bei der das zylindrische Teil (11) mit einem Flanschbereich (43a) versehen ist, dessen vorderes Ende in radialer Richtung nach innen gebogen ist, die vordere Stirnplatte (11a) getrennt vom zylindrischen Teil gebildet und der Rückseite des Flanschbereichs gegenüberliegend und in Berührung mit derselben angeordnet ist.

14. Mikrophoneinheit nach Anspruch 4, bei der die Verdrahtungsplatte (24') eine doppelseitige Verdrahtungsplatte ist, an deren Oberseite sich ein Umfangsleitermuster (51) der hinteren Endfläche des elektrisch leitfähigen Haltemittels (32) gegenüberliegend und in Berührung mit demselben sowie ein Eingangsanschluß-Leitermuster (52) befinden, welches sich vom Umfangsleitermuster erstreckt und mit dem Eingangsanschluß (22) der IC-Vorrichtung verbunden ist.

15. Mikrophoneinheit nach Anspruch 14, bei der die Oberseite der Verdrahtungsplatte (24') mit einem Oberseitenausgangsanschlußleitermuster (53), welches mit dem Ausgangsanschluß (23) der IC-Vorrichtung (21) verbunden ist und die Rückseite der Verdrahtungsplatte mit einem gemeinsamen Leitermuster (58) versehen ist, welches mit dem rückwärtigen Endbereich in Berührung gelangt, der vom zylindrischen Teil nach innen gebogen ist, sowie mit einem Rückseitenausgangsleitermuster (55), von dem mindestens ein Teil das Oberseitenausgangsanschlußleitermuster (53) überlappt, wobei die Ausgangsleitermuster der Oberseite und der Rückseite durch ein in der Verdrahtungsplatte gebildetes Durchgangsloch elektrisch miteinander verbunden sind.

16. Mikrophoneinheit nach Anspruch 14, bei der das elektrisch leitfähige Haltemittel (32) einen elektrisch leitfähigen Ring, der dem Umfangsbereich der elektrisch leitfähigen Membran (29) gegenüberliegend und in Berührung mit demselben angeordnet ist, sowie einen elektrisch leitfähigen Zylinder aufweist, der zwischen den elektrisch leitfähigen Ring und die Verdrahtungsplatte (24) geschaltet ist.

17. Mikrophoneinheit nach Anspruch 1, 4 oder 14, bei der die Schallöffnung (61) einen teilweise geschnittenen Schlitz aufweist, der an einer Kante eines Vorsprungsbereichs gebildet ist, welcher durch Pressen der vorderen Stirnplatte (11a) geformt ist, und zwar in einem Verhältnis im wesentlichen rechtwinklig zur vorderen Stirnplatte.

18. Mikrophoneinheit nach Anspruch 17, bei der der Vorsprungsbereich in einer Zone (62) von dünner Wanddicke, wo die Wanddicke durch Schaffung eines Ausnehmungsbereichs an einer Seite der vorderen Stirnplatte (11a) kleiner gemacht ist, von der anderen Seite zu der einen Seite der vorderen Stirnplatte vorspringt.

19. Mikrophoneinheit nach Anspruch 17, bei der der Vorsprungsbereich von einer Seite zur anderen Seite der vorderen Stirnplatte vorsteht.