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Hintergrund der Erfindung
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1. Gebiet der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung betrifft
ein Verfahren zur Herstellung von Homopolymeren, Copolymeren und
Terpolymeren (nachstehend als "Polymere" bezeichnet) von
4-Hydroxystyrol und/oder substituiertem 4-Hydroxystyrol. Die Polymere
haben eine niedrige optische Dichte (Extinktion) über einen
Wellenlängenbereich
von etwa 240 bis 260 nm sowie eine niedrige optische Dichte im sichtbaren
und nahen UV-Spektrum (310 bis 800 nm). Derartige Polymere können unter
Verwendung einer einzigen Verbindung hergestellt werden, die als
Reaktionsmedium für
die Polymerisation, als Kettenübertragungsmittel
und als Umesterungsreagens dient, wodurch ein ungewöhnlich wirtschaftliches
Verfahren bereitgestellt wird. Die gemäß der vorliegenden Erfindung
erzeugten Polymere sind besonders (direkt oder in modifizierter
Form) als Photoresist-Materialien für Systeme zur Erzeugung von
Bildern im fernen UV, durch Röntgenstrahlen
und Elektronenstrahlen brauchbar.
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2. Beschreibung des Standes
der Technik
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Es gibt zahlreiche Anwendungen in
der Halbleiterindustrie, bei denen Photoresist-Materialien mit niedriger Extinktion
im Wellenlängenbereich
des fernen UV (240 bis 260 nm) erforderlich sind. Die Novolak-Photoresist-Polymere,
die für
die optische Lithographie verwendet werden, sind wegen der hohen
Extinktion des Novolak-Materials bei kürzeren Wellenlängen auf
Wellenlängen
beschränkt,
die länger
als 300 nm sind. Kürzlich ist
bekannt geworden, daß Polymere
und Copolymere von 4-Hydroxystyrol und substituierten 4-Hydroxystyrolen über einen
Wellenlängenbereich
von etwa 240 bis 260 nm besonders brauchbar sind.
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Der molare Extinktionskoeffizient
(ϵ) solcher Polymere und Copolymere über diesen Wellenlängenbereich
ist so gering wie etwa 50 I·cm–1·mol–1.
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Es besteht ein Bedarf an einer wirtschaftlichen
Methode oder einem wirtschaftlichen Verfahren zur Herstellung von
Polymeren und Copolymeren von 4-Hydroxystyrol und substituiertem
4-Hydroxystyrol.
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Das US Patent Nr. 4 822 862, herausgegeben
am 18. April 1989 an R. W. Rupp et al., beschreibt die Homopolymerisation
und Copolymerisation von 4-Acetoxystyrol-Monomer
(4-ASM) in einer wäßrigen Emulsion
und – ohne
Isolierung – die
Hydrolyse der Polymere und Copolymere von 4-ASM zu Homopolymeren
und Copolymeren des 4-Hydroxystyrols unter Verwendung einer Base.
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Das US Patent Nr. 4 912 173, herausgegeben
am 27. März
1990 an D. L. Keene et al., offenbart ein Verfahren zur Hydrolyse
von Homopolymeren des 4-ASM zu Homopolymeren von 4-Hydroxystyrol.
Die Hydrolyse wird in einer wäßrigen Suspension
in Gegenwart einer Stickstoff-umfassenden Base durchgeführt.
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Das Europäische Patent Nr. 343 986, herausgegeben
am 29. November 1989 an R. Vicari et al., beschreibt die Herstellung
von 4-ASM-Polymeren oder 4-Hydroxystyrol-Polymeren
durch Suspensionspolymerisation. Die Suspensionspolymerisation umfaßt die Bildung
einer wäßrigen Suspension
von 4-ASM in Gegenwart von Polyacrylsäure und wenigstens zweier Radikale
bildender Katalysatoren, von denen einer eine Halbwertszeit von
1 Stunde unterhalb von 100°C
aufweist und der andere eine Halbwertszeit von 1 Stunde oberhalb von
100°C aufweist.
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Die Suspension wird auf 70 bis 95°C erwärmt, um
eine etwa 50%ige Polymerisation zu erreichen, und dann wird die
Polymerisation durch Erwärmen
auf über
95°C vervollständigt. Um
das Polymer von 4-Hydroxystyrol (4-ASM) zu bilden, wird dann die
Reaktionstemperatur auf 30 bis 95°C
reduziert, und die Suspensi on wird mit Ammoniumhydroxid in einer
Menge von wenigstens 2 mol Ammoniak pro jedes Äquivalent 4-ASM umgesetzt.
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Das durch das oben beschriebene Verfahren
hergestellte Poly(4-hydroxystyrol) hat typischerweise eine Extinktion
bei 248 nm, die von etwa 300 bis 350 I·cm– 1·mol–1 (molarer
Extinktionskoeffizient e) reicht.
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Das US Patent Nr. 4 898 916, herausgegeben
am 6. Februar 1990 an B. Gupta et al., beschreibt ein Verfahren
zur Umwandlung von Poly(4-acetoxystyrol) (4-PAS) in Poly(4-hydroxystyrol) (4-PHS).
Das Verfahren umfaßt
a) die Bildung einer alkoholischen Aufschlämmung von (4-PAS); b) die Zugabe
einer Säure
zu der Aufschlämmung
und c) die Beibehaltung der Aufschlämmungstemperatur bei 20 bis
65°C, bis
sich das Polymer in dem Alkohol gelöst hat, was auf eine komplette
Umwandlung der Acetoxygruppe in die phenolische Gruppe hinweist.
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Verfahren, worin 4-ASM mit einem
anderen copolymerisierbaren Monomer zu einem Homopolymer oder einem
Copolymer polymerisiert wird, und insbesondere worin das Comonomer
Styrol ist, werden beansprucht. Von 4-PHS oder Copolymeren von 4-HSM
wird erwartet, daß sie
einen molaren Extinktionskoeffizienten ϵ aufweisen, der
in Abhängigkeit
von dem 4-PHS, das als Vorstufe für die beschriebene Umsetzung
verwendet wird, von etwa 300 bis 1000 reicht.
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Das US Patent Nr. 4 689 379, herausgegeben
am 25. August 1987 an J. D. Elmore et al., offenbart die Hydrolyse
von 4-ASM-Polymeren durch Methanolyse mit quartären Ammoniumhydroxiden zu 4-PHS.
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Die Europäische Patentanmeldung Nr. 87307912.3,
herausgegeben am 16. März
1988, offenbart ein Verfahren zur Herstellung von Polymeren, umfassend
4-PHS, durch anfängliche
Umsetzung von 4-ASM und Methanol, anschließende Umsetzung von 4-ASM,
Methanol, 4-HSM, 4-ASM-Polymeren und 4-HSM-Polymeren in Gegenwart
einer Ammoniumbase unter Verwendung eines Radikale bildenden Initiators.
Der Initiator ist aus der Gruppe von Initiatoren ausgewählt, die Benzoylperoxid,
Lauroylperoxid, Acetylperoxid, Cumolhydroperoxid, p-Methanhydroperoxid
usw. einschließt.
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G. Pawlowski et al. offenbarten auf
dem im März
1990 in San Jose, California abgehaltenen SPIE-Meeting die Polymerisation
von 3-Methyl-4-acetoxystyrol unter Verwendung von 2,2'-Azobis(2-methylpropannitril)
in Tetrahydrofuran (THF), um Poly(3-methyl-4-acetoxystyrol) herzustellen.
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Das von G. Pawlowski et al. polymerisierte
Poly(3-methyl-4-acetoxystyrol) wurde vor der anschließenden Verwendung
isoliert (ausgefällt)
und getrocknet. Dieses getrocknete Poly(3-methyl-4-acetoxystyrol)
kann dann in Methanol aufgeschlämmt
und verarbeitet werden, wie durch B. Gupta et al. oben beschrieben
wurde, um Homopolymere und Copolymere von Poly(3-methyl-4-hydroxystyrol)
bereitzustellen.
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Jedoch wäre die Herstellung von 4-HSM-Polymeren
unter Verwendung einer Kombination der obigen Techniken sehr kostspielig.
Das bei der Polymerisation des 4-PAS von Pawlowski et al. verwendete
THF-Lösungsmittel
ist toxisch. Zusätzlich
dazu entstehen durch das Ausfällen
und Trocknen des 4-PAS weitere Kosten für Grundoperationen und die
Abfallbeseitigung. Zusätzlich
dazu läßt sich
das Verfahren, welches von Gupta et al. im US Patent Nr. 4 898 916
offenbart wurde, im großen
Maßstab
schwer durchführen,
aufgrund von Problemen, die sich bei der Herstellung einer Aufschlämmung von
4-PAS in Alkohol ergeben. Das 4-PAS neigt zum "Verklumpen" oder verbleibt aufgrund der Unlöslichkeit
in agglomerierter Form in dem Alkohol.
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Kurzbeschreibung der Erfindung
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In einem Aspekt stellt die vorliegende
Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von Polymeren bereit, die
einen molaren Extinktionskoeffizienten von 250 oder weniger im Wellenlängenbereich
von 240 bis 260 nm haben und Poly(4-hydroxystyrol) oder substituiertes
Poly(4-hydroxystyrol) oder beide umfassen, wobei das Verfahren die
Stufen:
- a) der Umsetzung einer Mischung, umfassend
4-Acetoxystyrol-Monomer oder substituiertes 4-Acetoxystyrol-Monomer
oder beide und einen Initiator, worin der Initiator und seine Zersetzungsprodukte
allein oder als Polymerverkappungsgruppen über einen Wellenlängenbereich
von etwa 240 bis etwa 260 nm nicht in nennenswertem Maße Strahlung
absorbieren und/oder der Initiator in einer Konzentration von weniger
als etwa 3 Mol-%
des Monomers vorliegt, in einem Reaktionsmedium, umfassend wenigstens
ein organisches Lösungsmittel,
um ein Polymer herzustellen, das Poly(4-acetoxystyrol) oder substituiertes
Poly(4-acetoxystyrol) oder beide umfaßt, wobei entweder als Ergebnis
der Monomerumwandlung oder aufgrund des Entfernens von restlichem
Monomer 10 Gew.-% oder weniger restliches Monomer, bezogen auf das
Gewicht des hergestellten Polymers, in der Reaktionsmischung vorliegen,
die während
einer nachfolgenden Umesterungs-Reaktionsstufe verwendet wird; und
- b) der nachfolgenden Umesterung des Poly(4-acetoxystyrols) in
Poly(4-hydroxystyrol)
oder der Umesterung des substituierten Poly(4-acetoxystyrols in
substituiertes Poly(4-hydroxystyrol) oder der Umesterung der beiden
in einem Umesterungs-Reaktionsmedium, das wenigstens ein Äquivalent
Alkohol pro Äquivalent
nicht umgeestertes Poly(4-acetoxystyrol oder substituiertes Poly(4-acetoxystyrol
umfaßt,
wobei man einen Säure-Katalysator verwendet,
um diese Umesterung durchzuführen,
der in einer Menge von 5 bis 2000 ppm vorliegt, worin wenigstens
eine 85 gew.-%ige Umwandlung des Poly(4-acetoxystyrols in das Poly(4-hydroxystyrol)
oder eine Umwandlung des substituierten Poly(4-acetoxystyrols in
das substituierte Poly(4-hydroxystyrol) oder wenigstens eine 85
gew.-%ige Umesterung der beiden erhalten wird, umfaßt.
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In einem anderen Aspekt stellt die
vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von Polymeren bereit,
die einen molaren Extinktionskoeffizienten von 250 oder weniger
im Wellenlängenbereich
von 240 bis 260 nm aufweisen und Poly(4-hydroxystyrol) oder substituiertes
Poly(4-hydroxystyrol) oder beide umfassen, wobei das Verfahren die
Stufen;
- a) der Umsetzung einer Mischung, umfassend
4-Acetoxystyrol-Monomer oder substituiertes 4-Acetoxystyrol-Monomer
oder beide und ein Comonomer, in dem wenigstens eine Vinylgruppe
vorliegt, worin das Comonomer im wesentlichen keine Strahlung im
Wellenlängenbereich
von etwa 240 bis etwa 260 nm absorbiert; und einen Initiator, worin
der Initiator und seine Zersetzungsprodukte allein oder als Verkappungsgruppen über einen
Wellenlängenbereich
von etwa 240 bis etwa 260 nm nicht in nennenswertem Maße Strahlung
absorbieren und/oder worin der Initiator in einer Konzentration
von weniger als etwa 3 Mol-% des Monomers vorliegt; in einem Reaktionsmedium,
das wenigstens ein organisches Lösungsmittel
umfaßt,
um ein Copolymer von Poly(4-acetoxystyrol) oder substituiertem Poly(4-acetoxystyrol)
oder beiden mit diesem Comonomer herzustellen, wobei entweder als
Ergebnis der Monomerumwandlung oder aufgrund des Entfernens von
restlichem Monomer 10 Gew.-% oder weniger restliches Monomer, bezogen
auf das Gewicht des hergestellten Polymers, in der Reaktionsmischung
während
einer nachfolgenden Umesterungsreaktionsstufe vorliegen; und
- b) der nachfolgenden Umesterung des Copolymers von 4-Acetoxystyrol
oder substituiertem 4-Acetoxystyrol oder beider mit dem Comonomer
in ein Copolymer von 4-Hydroxystyrol oder substituiertem 4-Hydroxystyrol
oder beider mit dem Comonomer zu einer Umwandlung von wenigstens
85 Gew.-% des 4-Acetoxystyrols oder des substituierten 4-Acetoxystyrols,
in einem Umesterungsreaktionsmedium, das wenigstens ein Äquivalent
Alkohol pro Äquivalent
nichtumgeestertes Copolymer umfaßt, wobei man einen Säure-Katalysator
verwendet, um die Umesterung zu erreichen, wobei der Säure-Katalysator
in einer Menge von 5 bis 2000 ppm vorliegt, umfaßt.
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In einem weiteren Aspekt stellt die
vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von Copolymeren
bereit, die einen molaren Extinktionskoeffizienten von 250 oder
weniger im Wellenlängenbereich
von 240 bis 260 nm aufweisen, von Poly(4-hydroxyystyrol) mit substituiertem
Poly(4-hydroxystyrol), wobei das Verfahren die Stufen:
- a) der Umsetzung einer Mischung, die 4-Acetoxystyrol-Monomer,
substituiertes 4-Acetoxystyrol-Monomer und einen Initiator umfaßt, worin
der Initiator und seine Zersetzungsprodukte allein oder als Polymerverkappungsgruppen über einen
Wellenlängenbereich
von etwa 240 bis etwa 260 nm nicht in nennenswertem Maße Strahlung
absorbieren, und/oder worin der Initiator in einer Konzentration
von weniger als etwa 3 Mol-% des Monomers vorliegt, in einem Reaktionsmedium,
das wenigstens ein organisches Lösungsmittel, vorzugsweise
wenigstens einen Alkohol umfaßt,
um ein Copolymer von 4-Acetoxystyrol mit substituiertem 4-Acetoxystyrol herzustellen,
worin eine wenigstens 90 gew.-%ige Umwandlung des 4-Acetoxystyrol-Monomers
und des damit kombinierten, substituierten 4-Acetoxystyrol-Monomers
erhalten wird, und
- b) der nachfolgenden Umesterung des Copolymers von 4-Acetoxystyrol
mit substituiertem 4-Acetoxystyrol in ein Copolymer von 4-Hydroxystyrol
mit substituiertem 4-Hydroxystyrol in einem Umesterungs-Reaktionsmedium,
das einen Alkohol umfaßt,
vorzugsweise im wesentlichen in dem Reaktionsmedium der Stufe a), wobei
man einen Säure-Katalysator
verwendet, um diese Umesterung durchzuführen, wobei der Säure-Katalysator
in einer Menge von 5 bis 2000 ppm vorliegt, worin wenigstens eine
85 gew.-%ige Umwandlung der Kombination von 4-Acetoxystyrol in 4-Hydroxystyrol und
des substituierten 4-Acetoxystyrols in das substituierte 4-Hydroxystyrol
erhalten wird, umfaßt.
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Ausführliche Beschreibung beispielhafter
Ausführungsformen
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Gemäß der vorliegenden Erfindung
wurde gefunden, daß es
trotz der partiellen Unlöslichkeit
von Poly(4-acetoxystyrol) (4-PAS) in Alkoholen möglich ist, Homopolymere, Copolymere
und Terpolymere (nachstehend als "Polymere" bezeichnet), umfassend Poly(4-acetoxystyrol)
und/oder substituiertes Poly(4-acetoxystyrol) (S-4-PAS), in einem
Alkohol-Reaktionsmedium zu polymerisieren, und anschließend das
Polymer, umfassend 4-PAS und/oder S-4-PAS, vorzugsweise in dem gleichen
Alkohol-Reaktionsmedium umzuestern, um ein Polymer herzustellen,
das Poly(4-hydroxystyrol) (4-PHS) und/oder substituiertes Poly(4- hydroxystyrol) (S-4-PHS)
umfaßt.
Die anfängliche
Polymerisation von 4-Acetoxystyrol-Monomer (4-ASM) und/oder substituiertem
4-Acetoxystyrol-Monomer (S-4-ASM)
zur Herstellung eines Polymers, das 4-PAS und/oder S-4-PAS umfaßt, wird
auf eine Weise durchgeführt,
welche die Bildung einer Umesterungsreaktionsmischung erlaubt, die
nicht mehr als 10 Gew.-% restliches Monomer(e) umfaßt (bezogen
auf das hergestellte Polymer). Diese 10 Gew.-% restliches Monomer
können
dadurch erreicht werden, daß man
eine 90%ige Umwandlung der Kombination aller Monomere erhält, die
anfänglich
während
der Polymerisationsreaktion vorliegen, oder solche Monomere aus
der Reaktionsmischung entfernt, nachdem die Polymerisation vervollständigt ist,
aber vor der Umesterungsreaktion. Die anfängliche Monomer-Konzentration
in der Monomer/Reaktionsmedium-Mischung ist vorzugsweise größer als
40 Gew.-%. Die Umesterung von 4-PAS und/oder S-4-PAS wird so durchgeführt, daß wenigstens
85% des 4-PAS und/oder S-4-PAS in 4-PHS und/oder S-4-PHS umgewandelt
werden.
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Wie oben beschrieben wurde, wäre es möglich, Polymere
herzustellen, die 4-PAS und/oder S-4-PAS umfassen, indem man die
Ausgangsmonomere in einer weniger als 90%igen Umwandlung polymerisiert,
so lange wie restliches Monomer aus der Polymerisationsreaktionsmischung
vor der Umesterungsreaktion entfernt wird. Es wurde gefunden, daß, wenn
bei der Herstellung von Homopolymeren und Copolymeren von 4-PA5
und/oder S-4-PAS die Polymerisation von Monomeren fortschreitet
und die Molmasse des daraus gebildeten Polymers zunimmt, das Polymer
in dem Alkohol-Polymerisationsmedium unlöslich wird. Es ist dann möglich, das
Rühren
der Reaktionsmischung zu unterbrechen und ein Abtrennen des gequollenen
Polymers durchzuführen,
das das restliche Monomer enthaltende Alkohol-Reaktionsmedium zu
dekantieren, das dekantierte Polymer durch frischen, reinen Alkohol
zu ersetzen und die Umesterung fortzusetzen. Durch dieses Entfernen
des 4-PA5- und/oder S-4-PAS-Alkohol-Polymerisationsmediums (und des Ersetzens
desselben durch frischen, reinen Alkohol) erreicht man das Entfernen
von überschüssigem Initiator,
Initiatorfragmenten, nichtumgesetztem Monomer und Oligomeren, die
alle Quellen einer schädlichen,
die optische Dichte erhöhenden Verunreinigung
des 4-PHS und/oder S-4-PHS-Produkts sein können.
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Die obige Beschreibung bezieht sich
auf die Verwendung eines Alkohol-Lösungsmittels als Polymerisationsreaktionsmedium,
da dies die am meisten bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung ist. Jedoch können
andere Lösungsmittel
in dem Verfahren der vorliegenden Erfindung verwendet werden, solange
genügend
Alkohol während
der Umesterungsstufe vorliegt, damit die Umesterung stattfinden
kann.
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Bevorzugte "andere Lösungsmittel" sind polare Lösungsmittel, die keine Acetatgruppen
enthalten. In einer weniger bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung können
diese polaren Lösungsmittel als
einziges Lösungsmittel
während
der Polymerisation des Polymers, umfassend 4-Acetoxystyrol und/oder substituiertes
4-Acetoxystyrol, verwendet werden; jedoch muß dann ein Alkohol vor der
Umesterung zu einem Polymer, umfassend 4-Hydroxystyrol und/oder
substituiertes 4-Hydroxystyrol, zugegeben werden. In einer mehr
bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung würde
das polare Lösungsmittel
als Co-Lösungsmittel
mit einem Alkohol während
des Verfahrens der vorliegenden Erfindung verwendet werden. Beispiele
geeigneter polarer Lösungsmittel
schließen
Tetrahydrofuran, Methylethylketon, Aceton und 1,4-Dioxan ein.
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Nichtpolare Lösungsmittel können als
Co-Lösungsmittel
in Kombination mit einem Alkohol verwendet werden, mit der Maßgabe, daß die Konzentration
des nichtpolaren Lösungsmittels
ausreichend klein ist. Typischerweise liegt das nichtpolare Lösungsmittel
in einer Konzentration von weniger als 25 Gew.-% vor. Beispiele
geeigneter, nichtpolarer Lösungsmittel
schließen
Heptan, Hexan und Cyclohexan ein.
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Andere Comonomere können in
Kombination mit dem 4-ASM und/oder S-4-ASM copolymerisiert werden,
so lange die anderen Comonomere keine Strahlung bei Wellenlängen von
etwa 240 nm bis etwa 260 nm absorbieren.
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Das oben aufgeführte Wort "substituiert" soll bedeuten, daß die Ringstruktur des Moleküls Substituentengruppen
aufweist, wobei die Substituentengruppen Methyl oder Ethyl sind.
Bevorzugte Substituentengruppen sind Methyl, und die bevorzugten,
substituierten Positionen sind die Positionen 3, 5 oder 3 und 5.
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Es ist möglich, unter Verwendung des
oben beschriebenen Verfahrens Polymere zu erhalten, die 4-PHS und/oder
S-4-PHS umfassen, welche eine molare Extinktion ϵ aufweisen,
die von etwa 40 bis etwa 250 (bei einer Wellenlänge von 248 nm) reicht. Um
ein Polymer zu erhalten, das 4-PHS und/oder 5-4-PHS umfaßt, welches
diese molare Extinktion bei 248 nm aufweist, ist es notwendig,
- 1a) einen Polymerisationsinitiator zu verwenden,
der keine absorbierende Struktur umfaßt; absorbierende Strukturen
wie aromatische Ringe erhöhen
die molare Extinktion ϵ248, typischerweise
um einen Faktor 2, wenn das Massenmittel der Molmasse des Polymers,
umfassend 4-PH5 und/oder S-4-PHS, von etwa 5000 bis etwa 25 000
reicht (wie durch Gelpermeationschromatographie (GPC gegen Polystyrol-Standards)
bestimmt wurde), oder
- 1b) einen Polymerisationsinitiator zu verwenden, der keine absorbierende
Struktur umfaßt,
aber die Konzentration des Initiators auf weniger als etwa 3 Mol-%
des zur Herstellung des Polymers verwendeten Monomers begrenzt;
- 2) eine Polymerisationsumwandlung des Monomeren (der Monomere)
von wenigstens 90 Gew.-% zu erhalten; oder das restliche Monomer
(die restlichen Monomere) aus dem Reaktionsmedium zu entfernen,
so daß das
restliche Monomer in der nachfolgenden Umesterungsreaktionsmischung
nicht mehr als 10 Gew.-% des Polymers, umfassend 4-PAS- und/oder S-4-PAS-
Polymer, umfaßt;
- 3) eine Umesterungsumwandlung von wenigstens 85 Gew.-% zu erhalten;
- 4) in der Alkoholyse-Umesterung des Polymers, umfassend 4-PAS
oder 5-4-PAS zu
dem Polymer, umfassend 4-PHS bzw. S-4-PHS, saure Katalysatoren zu
verwenden; die Verwendung basischer Katalysatoren kann die Bildung
von Chinonen und anderen chemischen Strukturen ergeben, welche über den
Wellenlängenbereich
von 240–260
nm absorbieren und auch in den Wellenlängen des nahen UV und des Sichtbaren von
etwa 310 bis 800 nm absorbieren können. 4-PHS, das unter Verwendung
basischer Katalysatoren hergestellt wurde, ist typischerweise lichtundurchlässig und
weist eine braune Farbe auf.
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Es ist auch ratsam, Monomer-Lagerungsinhibitoren
zu vermeiden, die oberhalb der Wellenlängen des fernen UV stark absorbieren.
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Die Zusammensetzung der Polymere,
die durch das oben beschriebene Verfahren hergestellt wurden, ist
empirisch bestimmt worden, um spezielle Anforderungen zu erfüllen, welche
die erwünschte
niedrige optische Dichte (Extinktion von 250 oder weniger) der von
240 bis 260 nm reichenden Wellenlänge ergeben. Insbesondere das
Polymer, umfassend 4-PHS (und/oder S-4-PHS), enthält weniger
als etwa 2,5 Gew.-% restliches 4-Hydroxystyrol-Monomer (oder Derivatreste
desselben). Wenn das Polymer bis zu 2,5 Gew.-% restliches 4-Hydroxystyrol-Monomer enthält, dann
muß die
Menge des Poly(4-acetoxystyrols), das in dem Polymer verbleibt (aufgrund
einer Umesterung von weniger als 100%), geringer sein als etwa 2,5
Gew.-% des Polymers. Wenn das Polymer weniger als 2,5 Gew.-% des
verbleibenden 4-Hydroxystyrol-Monomers (oder Derivatreste desselben)
enthält,
kann die Menge des Poly(4-acetoxystyrols), die in dem Polymer zurückbleibt,
größer sein. Wenn z. B. restliches 4-Hydroxystyrol-Monomer
weniger als 0,7 Gew.-% des Polymers ausmacht, muß der Poly(4-acetoxystyrol)-Gehalt
geringer als etwa 13 Gew.-% des Polymers sein.
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Um das Konzept der vorliegenden Erfindung
klar auszudrücken,
wird die Sprache in Teilen des folgenden Texts vereinfacht, indem
die Erfindung in Form der Herstellung von Polymeren, umfassend Poly(4-hydroxystyrol),
beschrieben wird. Es ist jedoch beabsichtigt, daß Polymere, die substituiertes
Poly(4-hydroxystyrol) umfassen, ebenso eingeschlossen sind. Falls
es notwendig ist, eine Unterscheidung zu machen, oder wenn die Sprache
zu mühsam
wird, werden substituierte 4-Hydroxystyrol-Monomere speziell diskutiert.
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Das vereinfachte "Eintopf"-Verfahren der vorliegenden Erfindung
kann zur Herstellung von Poly(4-hydroxystyrol) umfassenden Polymeren
verwendet werden, und umfaßt
die folgenden Stufen
- a) die Umsetzung einer
Mischung, umfassend 4-Acetoxystyrol-(Monomer) und einen Initiator,
welcher selbst, seine Zersetzungsprodukte und die durch denselben
hergestellten verkappten Strukturen über den von etwa 240 bis 260
nm reichenden Wellenlängenbereich
nicht stark absorbierten; und/oder die Verwendung von nicht mehr
als etwa 3 Mol-% eines absorbierenden Initiators pro mol Monomer,
in einem organischen Lösungsmittel-Reaktionsmedium,
um ein Polymer herzustellen, das 4-Acetoxystyrol umfaßt; worin entweder als Ergebnis
der Monomer-Umwandlung oder wegen des Entfernens des restlichen
Monomers nach der Polymerisation, restliches Monomer in dem nachfolgenden
Umesterungsreaktionsmedium nicht mehr als 10 Gew.-% des Polymers,
umfassend 4-Acetoxystyrol,
umfaßt,
welches hergestellt wird; und
- b) die anschließende
Umesterung des Polymers, umfassend 4-Acetoxystyrol, in ein Polymer,
umfassend 4-Hydroxystyrol, in einem Umesterungsreaktionsmedium,
das wenigstens ein Äquivalent
Alkohol pro Äquivalent
nicht-umgestertes Poly(4-acetoxystyrol) umfaßt, unter Verwendung eines
sauren Katalysators, worin eine wenigstens 85%ige Unwandlung des
Poly(4-acetoxystyrols) zum Poly(4-hydroxystyrol) erreicht wird.
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In der am meisten bevorzugten Ausführungsform
der oben beschriebenen Erfindung ist wenigstens der Hauptteil des
organischen Lösungsmittel-Reaktionsmediums
der Stufe a) ein C1-C5-Alkohol
(geradkettig oder verzweigtkettig). Zusätzlich dazu ist das Umesterungsreaktionsmedium
der Stufe b) im wesentlichen das gleiche Reaktionsmedium wie dasjenige,
welches in der Stufe a) verwendet wurde, oder ist ein funktionelles Derivat
desselben.
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Wenn ein Monomer oder Monomere, die
von 4-ASM und/oder S-4-ASM verschieden sind, in Kombination mit
diesen Monomeren in dem oben beschriebenen Verfahren verwendet werden,
muß das
andere Monomer wenigstens eine vorliegende Vinylgruppe aufweisen
und daß über den
von etwa 240 bis etwa 260 nm reichenden Wellenlängenbereich im wesentlichen
keine Strahlung absorbieren.
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Das vereinfachte Verfahren der vorliegenden
Erfindung kann zur Herstellung von Copolymeren des 4-Hydroxystyrols
mit substituiertem 4-Hydroxystyrol verwendet werden, worin das bevorzugte,
substituierte 4-Hydroxystyrol-Monomer aus der Gruppe ausgewählt ist,
die aus dem in den Positionen 3, 5 oder 3 und 5 mit Methyl- oder
Ethyl-Substituenten substituierten 4-Hydroxystyrol besteht. Die
Verfahrensstufen zur Herstellung eines Copolymers von 4-PH5 mit
S-4-PHS umfassen:
- a) die Umsetzung einer Mischung,
umfassend 4-Acetoxystyrol-Monomer, substituiertes 4-Acetoxystyrol-Monomer
und einen Initiator, worin der Initiator und dessen Zersetzungsprodukte
allein und die durch ihn erzeugten, verkappten Strukturen keine
wesentliche Strahlung über
Wellenlängen-
Bereiche von etwa 240 bis etwa 260 nm absorbieren; und/oder wobei
man nicht mehr als etwa 3 Mol-% eines absorbierenden Initiators
pro mol Monomer in einem Reaktionsmedium eines organischen Lösungsmittels
verwendet, um ein Copolymer von 4-Acetoxystyrol mit substituiertem
4-Acetoxystyrol auf derartige Weise herzustellen, daß restliche
Monomere, die in dem Reaktionsmedium während der nachfolgenden Umesterungsreaktionsstufe(n)
vorliegen, nicht mehr als 10 Gew.-% des während der Umsetzung gebildeten
Copolymers umfassen, und
- b) die nachfolgende Umesterung des Copolymers von 4-Acetoxystyrol
und substituiertem 4-Hydroxystyrol in Copolymere von 4-Hydroxystyrol
und substituiertem 4-Hydroxystyrol in einem Umesterungsreaktionsmedium,
das wenigstens ein Äquivalent
Alkohol pro Äquivalent
nichtumgeestertes Copolymer umfaßt, unter Verwendung eines
Säure-Katalysators,
um eine Umesterung von wenigstens 85% des 4-Acetoxystyrols und substituierten
4-Hydroxystyrols zu erreichen.
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In der am meisten bevorzugten Ausführungsform
der oben beschriebenen Erfindung ist wenigstens der Hauptteil des
aus einem organischen Lösungsmittel
bestehenden Reaktionsmediums der Stufe a) ein (geradkettiger oder
ver zweigtkettiger) C1-C5-Alkohol.
Zusätzlich
dazu ist das Umesterungsmedium der Stufe b) im wesentlichen das
gleiche Umesterungsmedium wie dasjenige, welches in der Stufe a)
verwendet wird, oder ein funktionelles Äquivalent desselben.
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Die folgende Beschreibung bezieht
sich auf Ausführungsformen
der Erfindung, für
welche die obigen Verfahrensstufen offenbart wurden.
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Der in der Stufe a) verwendete Initiator
darf keine Struktur umfassen, die sich zu einem initiierenden, freien
Radikal zersetzt, welches allein oder als Polymerverkappungsgruppe
im Wellenlängenbereich
von 240 bis 260 nm wesentlich absorbiert, wenn die Menge eines solchen
Initiators mehr als etwa 3 Mol-% des Monomers beträgt. Solche
absorbierenden, radikalischen Initiatoren, die in Konzentrationen
vermieden werden sollten, welche größer sind als die oben beschriebenen
Konzentrationen, schließen
solche ein, welche aromatische Komponenten aufweisen, z. B. Benzoylperoxid,
t-Butylperoxybenzoat und Di-t-butyldiperoxyphthalat. Beispiele brauchbarer
Initiatoren, die oberhalb des Wellenlängenbereichs von 240–260 nm
nicht wesentlich absorbieren, schließen – ohne darauf beschränkt zu sein – 2,2'-Azobis(2,4-dimethylpentannitril),
2,2'-Azobis(2-methylpropannitril,
2,2'-Azobis(2-methylbutannitril),
1,1'-Azobis(cyclohexancarbonitril),
t-Butylperoxypivalat, t-Amylperoxypivalat, t-Butylperoxy-2-ethylhexanoat,
Diisononanoylperoxid, Decanoylperoxid, Bernsteinsäureperoxid,
Di(n-propyl)peroxydicarbonat, Di(sec-butyl)peroxydicarbonat, Di(2-ethylhexyl)peroxydicarbonat,
t-Butylperoxyneodecanoat, 2,5-Dimethyl-2,5-di(2-ethylhexanoylperoxy)hexan,
t-Amylperoxyneodecanoat, t-Butylperoxyneodecanonat und Kombinationen
derselben ein. Die am meisten bevorzugten Initiatoren schließen 2,2-Azobis(2-methylpropannitril),
2,2'-Azobis(2,4-dimethylpentannitril)
und t-Butylperoxypivalat ein.
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Der für die Stufe a) der vorliegenden
Erfindung brauchbare Initiator sollte eine Halbwertszeit von etwa 0,5
bis etwa 10 Stunden bei der Temperatur aufweisen, bei welcher die
Umsetzung durchgeführt
wird. Typischerweise ist die Reaktionstemperatur die Rückflußtemperatur
des Alkohol-Reaktionsmediums. Es ist jedoch nicht notwendig, daß die Reaktionstemperatur
die Rückflußtemperatur
des Alkohol-Reaktionsmediums ist. Der Druck des Reaktionsgefäßes kann
verwendet werden, um die Reaktions-temperatureinzustellen. Eine
bevorzugte Halbwertszeit des Initiators reicht von etwa 0,75 bis
etwa 5 Stunden bei der Reaktionstemperatur, wobei ein am meisten
bevorzugter Initiator eine Halbwertszeit aufweist, die von etwa
1 Stunde bis etwa 2 Stunden reicht.
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Ein in der Stufe a) als Reaktionsmedium
verwendeter Alkohol kann ein beliebiger der bekannten Alkohole sein,
welche das Monomer (die Monomere) lösen, vorzugsweise C1-C5-Alkohole, unter
Berücksichtigung der
Reaktionsgeschwindigkeit der Stufe b), wobei C1-
bis C3-n-Alkohole mehr bevorzugt sind. Die
am meisten bevorzugten Alkohole sind Methanol und Ethanol, welche
in der Umesterungsreaktion der Stufe b) gut funktionieren. Methanol
reagiert schneller als Ethanol in der Umesterungsreaktion. Mischungen
von Alkoholen mit anderen Alkoholen oder mit anderen organischen
Lösungsmitteln
können
als Reaktionsmedium der Stufe a) oder der Stufe b) verwendet werden.
Methanol oder Ethanol können
zu dem Reaktionsmedium in der Stufe b) gegeben werden oder als Reaktionsmedium
in der Stufe b) verwendet werden, um eine Umesterung zu erreichen.
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Es ist ein zusätzlicher Vorteil, wenn das
in der Stufe a) verwendete Lösungsmittel
als Kettenübertragungsmittel
fungieren kann, wodurch die Molmasse des Polymers gesteuert werden
kann. Die oben beschriebenen Alkohole und insbesondere Lösungsmittel
wie THF scheinen als Kettenübertragungsmittel
gut zu funktionieren.
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Um eine wenigstens 90%ige Umwandlung
des Monomers (der Monomere) in der Polymerisationsreaktion der Stufe
a) zu erreichen, ist eine regelmäßige oder
kontinuierliche Zugabe von Initiator während der Umsetzung notwendig.
Wenn die Umwandlung von 4-A5M in 4-PAS (oder von S-4-ASM in S-4-PAS)
mißlingt, wird
die Bildung von 4-Hydroxystyrol (4-HSM) während der Stufe b) ermöglicht.
Das 4-HSM oder S-4-HSM kann Chinone bilden, welche im Wellenlängenbereich
von 240 bis 260 nm stark absorbieren. Wenn eine Monomer(Monomeren)- Umwandlung von wenigstens
90% nicht erreicht wird, muß überschüssiges Monomer
vor der Umesterungsstufe entfernt werden. Solches überschüssiges Monomer
kann unter Verwendung einer Dekantierungsstufe oder eines anderen
Mittels entfernt werden, so daß das
restliche, vorliegende Monomer nicht mehr als 10 Gew.-% des gebildeten
Polymers ausmacht.
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Die Umesterungsstufe b) wird am meisten
bevorzugt in dem Alkohol-Reaktionsmedium der Stufe a) durchgeführt. Jedoch
muß nach
dem Dekantieren wenigstens ein umesternder Alkohol in der Stufe
b) vorliegen oder anstelle des Reaktionsmediums der Stufe a) treten.
Die bevorzugten Umesterungsalkohole schließen Methanol und Ethanol ein,
wenn diese Umsetzung bei der Rückflußtemperatur
des organischen Lösungsmittels
des Reaktionsmediums bei atmosphärischem
Druck (oder bei der Rückflußtemperatur
oberhalb des atmosphärischen
Drucks) durchgeführt
wird. Andere Alkohole bis zu etwa C4-Alkoholen
können
verwendet werden, um eine annehmbare Geschwindigkeit der Umesterungsreaktion
bei Temperaturen oberhalb ihrer Rückflußtemperatur bei atmosphärischem
Druck zu ergeben.
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Es ist wichtig, daß die Umesterung
von 4-PAS in 4-PHS (auch von S-4-PAS in S-4-PHS usw.) in der Stufe
b) wenigstens 85 Gew.-%, vorzugsweise 95 Gew.-% und am meisten bevorzugt
98 Gew.-% beträgt,
da das restliche PAS in dem Wellenlängenbereich von 240 bis 260
nm absorbiert.
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Typischerweise folgt auf die Stufen
a) und b) der vorliegenden Erfindung die Stufe c), in der das Polymer,
umfassend 4-PHS und/oder S-4-PHS, das in der Stufe b) gebildet wurde,
aus dem aus organischem Lösungsmittel
bestehenden Reaktionsmedium unter Verwendung von Wasser ausgefällt wird.
Andere Nicht-Lösungsmittel
für das
Polymer, wie Hexan, können
anstelle von Wasser für
die Ausfällung
verwendet werden. Es ist wichtig, daß die Ausfällung durch Zugabe der Polymer/Reaktionsmediums-Mischung
zu dem sich in Bewegung befindlichen Wasser (oder einem anderen
Nicht-Lösungsmittel)
erfolgt. Typischerweise sollte bei Raumtemperatur die Gewichtsmenge
des Wassers um einen Faktor von wenigstens acht größer sein
als die Gewichtsmenge der Polymer/Reak tionsmediums-Mischung. Die
Zugabe von Wasser zu der Polymer/Reaktionsmediums-Mischung verursacht
die Bildung einer Agglomeration von restlichem Alkohol und Alkoholacetat
enthaltendem Polymer, und nicht die Bildung von diskreten Teilchen.
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Die Menge des 4-PH5 und/oder S-4-PHS
umfassenden Polymers in der fertigen Umesterungsreaktionsmischung
reicht typischerweise von etwa 10 Gew.-% bis etwa 30 Gew.-%. Der
bevorzugte gewichtsprozentige Bereich des Polymers liegt zwischen
etwa 15% und etwa 25%, da die Teilchengröße des ausgefällten Homopolymers
oder Copolymers typischerweise größer als etwa 25 μm ist, wenn
eine Konzentration des Polymers von weniger als etwa 30 Gew.-% in
der fertigen Reaktionsmischung vorliegt.
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Restliche Säure-Katalysatoren aus der Stufe
b) können
entfernt werden durch: 1) Zugabe einer Base zu dem Reaktionsmedium
bei der Vervollständigung
der Umesterungsstufe b); 2) Verarbeitung des Polymer/Reaktionsmediums
nach der Vervollständigung
der Stufe b) durch ein Ionenaustauscherharz, worin das Ionenaustauscherharz
eine chemisch gebundene Base enthält; 3) Zugabe einer Base zu
dem in der Ausfällungsstufe
c) verwendeten Wasser; 4) Wasserwaschen des ausgefällten Polymers
der Stufe c) unter Verwendung von Wasser mit einem neutralen pH
oder 5) Wasserwaschen des ausgefällten
Polymers der Stufe c) unter Verwendung von eine Base enthaltendem
Wasser, das vorzugsweise einen von etwa 7,5 bis etwa 10 reichenden
pH aufweist.
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Die Methode oder das Verfahren der
vorliegenden Erfindung ist besonders wirtschaftlich, wenn in den Stufen
a) und b) ein Alkohol als Reaktionsmedium fungiert, da der Alkohol
während
der Polymerisation des 4-ASM als Kettenübertragungsmittel fungieren
kann und als Umesterungsmedium zur Bildung von 4-PHS verwendet wird. Das während der
Umesterungsreaktion anfänglich
gebildete Alkoholacetat erleichtert auch das Lösen des 4-PAS, was zur Beschleunigung
der Umesterungsreaktion beiträgt.
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Das Verfahren der vorliegenden Erfindung
wird in der nachstehend beschriebenen Reaktionsreihenfolge zur Herstellung
von in einem alkoholischen Reaktionsmedium gebildeten PHS-Homopolymeren
erläutert:
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Homopolymere von 5-4-PHS, worin die
Substituentengruppen Methyl oder Ethyl sind, oder Copolymere von
4-PHS und S-4-PHS können
auf die gleiche Weise hergestellt werden.
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Wenn andere Monomere in Kombination
mit 4-ASM oder S-4-ASM verwendet werden, um Copolymere oder Terpolymere
von 4-PHS oder S-4-PH5 herzustellen, werden solche Monomer der Stufe
a) zugefügt. Solche
Monomere schließen
Verbindungen mit wenigstens einer vorliegenden Vinylgruppe ein,
wobei diese Verbindungen im Wellenlängenbereich von 240 bis 260
nm nicht wesentlich absorbieren. Beispiele solcher Monomere, die
nicht wesentlich absorbieren, schließen
ein, sind aber nicht auf
dieselben beschränkt.
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Wenn Copolymere von 4-PHS mit S-4-PHS
durch das Verfahren der vorliegenden Erfindung hergestellt werden,
sind die bevorzugten Substituentengruppen des S-4-PH5-Moleküls Methyl
und Ethyl. Die bevorzugten Substituentenpositionen auf dem 4-Hydroxystyrol-Molekül sind die
Positionen 3, 5 oder 3 und 5.
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Das am meisten bevorzugte Verfahren
der vorliegenden Erfindung, worin Homopolymere von 4-PHS und S-4-PHS
hergestellt wurden, wird in den folgenden Beispielen 1 bis 57 beschrieben.
Die Beispiele 58–60 beziehen
sich auf das Verfahren der Erfindung, worin das Reaktionsmedium
eine Mischung von organischen Lösungsmitteln
umfaßt.
Das Verfahren der vorliegenden Erfindung, worin ein Copolymer von
4-PHS und Methylmethacrylat hergestellt wurde, wird im Beispiel
61 beschrieben. Beispiel 62 ist ein Vergleichsbeispiel des Standes
der Technik.
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Die Beispiele 1 bis 62 wurden als
diskontinuierliche Umsetzungen in Reaktorgefäßen durchgeführt, deren
Volumina von etwa 500 ml bis 2000 ml reichen. Jedes Reaktionsgefäß war ein
Vierhalskolben, der mit einem Kaltwasser-Rückflußkühler, einer Stickstoff-Spülleitung
(die verwendet wird, um Sauerstoff in dem Reaktionsgefäß auszuschließen), einem ÜberkopfrührerMischer
und einem Temperaturanzeiger (Thermoelement) versehen ist.
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Eine Vormischung aus einem Reaktionsmedium,
das aus einem Alkohol, einem alternativen, organischen Lösungsmittel
oder einem Alkohol/co-organischen Lösungsmittel besteht, 4-ASM
oder S-4-ASM oder 4-ASM und Methylmethacrylat und dem Initiator
wurde in einem Becherglas hergestellt, und die Vormischung wurde
in das Reaktionsgefäß gegeben.
Die anfängliche
Konzentration von 4-ASM (oder eines anderen Monomers (anderer Monomere))
in der Reaktionsmedium-Monomer-Mischung
reichte von etwa 10 Gew.-% bis etwa 50 Gew.-%. Vorzugsweise war
die relative Menge von 4-ASM (oder eines anderen Monomers (anderer
Monomere)) zum Reaktionsmedium größer als 30 Gew.-% und am meisten
bevorzugt größer als
40 Gew.-%. Die Umwandlung von 4-A5M in 4-PAS scheint reduziert zu
sein, wenn die relative Menge von 4-ASM zum Reaktionsmedium reduziert
ist.
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Der Mischer wurde gestartet (eine
typische Mischgeschwindigkeit war etwa 100 bis 400 U/min). Die Vormischung
wurde dann während
einer Zeitspanne von etwa 5 bis 10 Minuten bei Raumtemperatur mit
Stickstoff gespült.
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Nach der Zeitspanne von 5 bis 10
Minuten wurde die Temperatur der Vormischung auf die Rückflußtemperatur
des Reaktionsmediums erhöht,
indem man einen elektrisch geheizten Mantel auf der Außenseite des
Kolben-Reaktionsgefäßes verwendete.
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Das 4-ASM (oder ein anderes Monomer
(Monomere)) ließ man
während
einer Zeitspanne polymerisieren, die in etwa der Halbwertszeit des
Initiators bei der Rückflußtemperatur
(bei atmosphärischem
Druck) gleich ist. Die hierin verwendete "Halbwertszeit" ist die Zeit, die notwendig ist, um
freie Radikale (typischerweise zwei freie Radikale pro Initiator-Molekül) zu erzeugen.
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Zu dem Zeitpunkt, an dem etwa die
Hälfte
des Initiators zersetzt war, wurde zusätzlicher Initiator (gelöst in einem
Lösungsmittel,
wie dem gleichen Alkohol, der typischerweise als wenigstens ein
Teil des Reaktionsmediums verwendet wird) dem Reaktionsgefäß zugefügt. Die
Menge des zusätzlich
zugefügten
Initiators reichte von etwa 10% bis etwa 90% der Initiatormenge
in der Vormischung.
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Die obige Arbeitsweise des Zufügens von
Initiator zum Fortschreiten der Polymerisation wurde wiederholt,
falls es notwendig ist, um eine wenigstens 90%ige Umwandlung von
4-ASM in 4-PAS zu erreichen. Typischerweise erfolgten 4 bis 8 Zugaben
von Initiator während
der Polymerisation. Ein Fachmann kann eine kontinuierliche Zugabe
von Initiator während
der Polymerisation anwenden, um die oben beschriebene wenigstens
90%ige Umwandlung zu erreichen.
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Die Anmelden führten eine diskontinuierliche
Polymerisation durch, bei der kein Initiator in der Vormischung
vorlag, sondern der Vormischung während der Polymerisation kontinuierlich
Initiator zugefügt
wurde. Der Initiator wurde in dem Alkohol gelöst, der für das Reaktionsmedium verwendet
wurde. Die Menge des zugefügten
Initiators bezog sich auf die Menge des Initiators, die für die vorhergehenden
Polymerisationen notwendig ist, sie wurde aber im Hinblick auf die
erwartete Verfügbarkeit
von kontinuierlichen, freien Radikalen um etwa 30% reduziert. Siehe
Beispiel 25 der Tabelle 1.
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Die Zeitspanne für die Polymerisation von 4-ASM
in 4-PAS war diejenige, welche ausreichend ist, um eine Umwandlung
von 4-ASM in 4-PAS von wenigstens 90 Gew.-% zu erreichen. Die Umwandlung
wurde typischerweise durch Gas/Flüssig-Kapillar-chromatographie der Reaktionsmischung
bestimmt. Typische Reaktionszeiten reichten von etwa 4 Stunden bis
etwa 9 Stunden.
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Das Massenmittel der Molmasse von
4-PAS, das durch das oben beschriebene Verfahren hergestellt wurde,
reichte von etwa 6500 bis etwa 27 000.
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Die Umesterungsreaktion wurde typischerweise
in dem Polymerisations-Reaktionsmedium durchgeführt. Während die Polymerisation von
4-ASM in 4-PA5 in einem Reaktionsmedium durchgeführt werden kann, das einen
Nicht-Alkohol umfaßt,
erfordert die Umesterungsreaktion jedoch das Vorliegen eines Alkohols.
Die Menge des Alkohols, die zu jedem Zeitpunkt während der Umesterungsreaktion
vorliegen muß,
beträgt
wenigstens 1 Äquivalent,
bezogen auf die Menge von nichtumgesetztem (nicht-umgeestertem)
4-Acetoxystyrol. Typischerweise werden wenigstens etwa 10 Äquivalente
Alkohol, bezogen auf nichtumgesetztes 4-Acetoxystyrol verwendet,
da die Umesterungsgeschwindigkeit durch Zunahme der Anzahl von Alkohol-Äquivalenten verbessert
wird.
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Ein Beispiel, in welchem das Polymerisations-Reaktionsmedium
(Alkohol) dekantiert wurde und vor der Umesterung durch sauberen
Alkohol ersetzt wurde, ist in den die Beispiele enthaltenden Tabellen
mit einem # markiert. Der Ersatz-Alkohol
war in diesem Beispiel der gleiche Alkohol wie derjenige, welcher
während der
Polymerisation verwendet wurde.
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Die Rückflußtemperatur des Reaktionsmediums
wurde während
der Umesterungsreaktion (bei atmosphärischem Druck) typischerweise
beibehalten.
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Die Umesterung wurde unter Verwendung
eines Säure-Katalysators
durchgeführt,
damit eine Umsetzung des in dem Reaktionsmedium vorliegenden Alkohols
mit dem 4-PAS verursacht wird, wobei das 4-PAS in 4-PHS umgewandelt
wird. Die Konzentration des Säure-Katalysators
reichte typischerweise von etwa 100 bis etwa 400 ppm, bezogen auf
das Gesamtgewicht der Reaktionsmischung. Jedoch können Säure-Katalysator-Konzentrationen,
die von etwa 5 ppm bis etwa 2000 ppm reichen, verwendet werden,
wobei die Katalysator-Konzentration
vorzugsweise von etwa 50 ppm bis etwa 2000 ppm und am meisten bevorzugt
von etwa 100 ppm bis etwa 500 ppm reicht. Die Säure wurde typischerweise in
dem gleichen Alkohol gelöst,
der für
wenigstens einen Teil des Reaktionsmediums verwendet wurde, um eine
Alkohol-Lösung
zu bilden, die eine Konzentration an Säure-Katalysator enthält, welche
von etwa 0,5 Gew.-% bis 2,0 Gew.-%, bezogen auf die gesamte Säure-Katalysator-Lösung, reicht.
Die Säure-Katalysator-Lösung wurde
dem Reaktionsgefäß in Form
einer einzigen Zugabe zugefügt.
Jedoch kann Säure-Katalysator
während
der Umsetzung zugefügt
werden, falls es erwünscht
ist.
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Säuren,
die als Säure-Katalysator
verwendet wurden, schlossen Salzsäure, Phosphorsäure, Salpetersäure, Schwefelsäure, Methansulfonsäure und
Toluolsulfonsäure
ein. Die bestimmte, verwendete Säure
ist für die
Erfindung nicht entscheidend. Bevorzugte Säuren waren solche, die mit
dem 4-PAS oder dem aus dem 4-PAS gebildeten 4-PHS nicht wesentlich
reagierten. In den vorliegenden Ausführungsformen schlossen nichtreaktive
Säuren
Salzsäure
und Phosphorsäure
ein. Salzsäure
wurde in den in den Tabellen 1 und 2 gezeigten Beispielen 1 bis
60 und im Beispiel 61 verwendet.
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Um die Umsetzung zu einer vollständigen Umwandlung
von 4-PAS in 4-PH5 zu führen,
war es notwendig, einen Überschuß des in
dem Reaktionsmedium vorliegenden Alkohols beizubehalten oder Alkoholacetat aus
dem Reaktionsmedium zu entfernen, sobald es gebildet wird. Typischerweise
wurde ein Überschuß an Alkohol
verwendet, worin die Stoffmengenäquivalente
von Alkohol zu anfänglichem
4-ASM von etwa 5 bis etwa 15 reichten. Zusätzlich dazu wurde Alkoholacetat
regelmäßig oder
kontinuierlich entfernt, nachdem die Konzen tration von Alkoholacetat
derartig war, daß die
Löslichkeit
des 4-PAS eine lichtdurchlässige
Polymer/Reaktionsmedium-Mischung ergab. Das Alkoholacetat wurde
als Azeotrop mit Alkohol und anderen Co-Lösungsmitteln (falls dieselben
vorliegen) des Reaktionsmediums entfernt, und typischerweise wurde
die entfernte, kombinierte Gewichtsmenge von Alkohol (oder Alkohol/co-organischem
Lösungsmittel)/Alkoholacetat
durch eine äquivalente
Gewichtsmenge des Alkohols ersetzt.
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Die Umesterungsreaktion wurde bei
der Rückflußtemperatur
der Reaktionsmischung bei atmosphärischem Druck (etwa 66°C für ein Methanol-Reaktionsmedium
oder etwa 78°C
für ein
Ethanol-Reaktionsmedium) durchgeführt. Die Reaktionszeitspanne
war ausreichend, um eine wenigstens 85%ige Umwandlung von 4-PAS
in 4-PHS bereitzustellen. Die Umwandlung wurde durch Fourier-Transformations-Infrarotspektroskopie (FTIR)
gemessen, wobei man den Acetat-Carbonylpeak
bei etwa 1760 cm–1 von ausgefälltem, gewaschenen und
getrockneten Polymer quantitativ bestimmte. Die Reaktions-Zeitspannen
reichten von etwa 2 Stunden bis etwa 16 Stunden, in Abhängigkeit
von dem für
die Umesterung verwendeten Alkohol (vorwiegend Methanol). Die erforderliche
Reaktions-Zeitspanne
kann durch Erhöhen
der Reaktionstemperatur, Erhöhen
der Konzentration des Säure-Katalysators
oder durch ein schnelleres Entfernen von Alkoholacetat, sobald es
gebildet ist, erhöht
werden.
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Zur weiteren Erläuterung des Verfahrens der
vorliegenden Erfindung auf eine Weise, die dem Fachmann behilflich
ist, um die in den Tabellen 1 und 2 enthaltenden Beispiele zu reproduzieren,
werden nachstehend die Beispiele 24 und 28 ausführlicher beschrieben.
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Beispiel 24
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In einen 500 ml Glasrundkolben, der
mit einem Kaltwasser-Rückflußkühler, einem
Temperaturmeßstutzen
mit Thermoelement, einer Stickstoff-Spülleitung, einem Überkopfrührer und
einem externen Heizmantel versehen ist, wurde eine Reaktionsmischung
von 80 g 4-Acetoxystyrol (4-ASM), 120 g Methanol und 2,0 g 2,2'-Azobis(2,4-dimethylpentannitril)-Initiator
gegeben. Die Reaktionsmischung wurde 5 Minuten unter einer Stickstoffspülung gerührt, um
in dem Reaktor vorliegendes Sauerstoffgas zu entfernen. Die Reaktionsmischung
wurde dann auf etwa 66°C – die Rückflußtemperatur
des Methanols – erwärmt. Nach
einer einstündigen
Polymerisation wurden 0,4 g 2,2'-Azobis(2,4-dimethylpentannitril),
gelöst
in etwa 10 g Methanol, zugefügt. Jede
Stunde wurden während
der nächsten
7 Stunden 0,4 g 2,2'-Azobis(2,4-dimethylpentannitril)
in 10 g Methanol zugefügt.
Nach jeder Zugabe wurde eine Probe der Polymermischung aus denn
Reaktor entnommen. Die Analyse der fertigen Polymermischung durch
Kapillar-Gaschromatographie
zeigte eine Umwandlung des 4-Acetoxystyrols in das Poly(4-acetoxystyrol)
von 94,8 Gew.-%. Die Umesterungsreaktion begann ohne Kühlung der
Reaktionsmischung; 0,2 g 37%iger Salzsäure in Wasser wurden mit etwa
10 g Methanol kombiniert, und die Kombination wurde zu der Reaktionsmischung
gegeben. Man ließ die
Reaktionsmischung reagieren, bis die Farbe der Mischung sich von
weiß nach
klar entfärbte,
wobei zu diesem Zeitpunkt 150 g Methylacetat/Methanol als Destillat
entfernt wurden, und 150 g frisches Methanol zugegeben wurden. Man
ließ die
Umesterung etwa 4,5 Stunden weiterlaufen, wobei nach dieser Zeitspanne
die Reaktionsmischung gekühlt
und in deionisiertem Wasser ausgefällt wurde, die Ausfällung durch
Filtration isoliert wurde, die Säure
mit deionisiertem Wasser von der Ausfällung (im wesentlichen Poly(4-hydroxystyrol)) abgewaschen
wurde, und das Poly(4-hydroxystyrol) im Vakuumofen bei etwa 70°C getrocknet
wurde, bis weniger als 2 Gew.-% Wasser in denn Poly(4-hydroxystyrol)
zurückblieben.
Eine FTIR-Analyse des Poly(4-hydroxy styrols) zeigte, daß weniger
als 0,5 Gew.-% 4-Acetoxystyrol-Gruppen in dem Poly(4-hydroxystyrol)
zurückblieben,
wie durch quantitative Bestimmung der Extinktion des Carbonylpeaks
bei etwa 1760 cm–1 – der Extinktion des Acetoxycarbonyls – bestimmt
wurde. Ein UV-VIS-Scan zeigte einen molaren Extinktionskoeffizienten
von 144 I·cm–1·mol–1 bei
248 nm. Das Produkt war visuell sehr weiß.
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Beispiel 28
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In einen 2000 ml Glasrundkolben,
der mit einem Kaltwasser-Rückflußkühler, einem
Temperaturmeßstutzen
mit Thermoelement, einer Stickstoff-Spülleitung, einem Überkopfrührer und
einem externen Heizmantel versehen ist, wurde eine Reaktionsmischung
von 200 g 3-Methyl-4-acetoxystyrol (3-M-4-A5M), 800 g absolutem
Ethanol und 8,0 g 2,2'-Azobis(2-methylpropannitril)-Initiator
gegeben. Die Reaktionsmischung wurde 5 Minuten unter Stickstoffspülung gerührt, um
in dem Reaktor vorliegendes Sauerstoffgas zu entfernen. Die Reaktionsmischung
wurde dann auf etwa 78°C – der Rückflußtemperatur
des Ethanols – erwärmt. Nach
einer zweistündigen
Polymerisation wurden 2,0 g 2,2'-Azobis(2-methylpropannitril),
gelöst
in etwa 20 g Ethanol, der Reaktionsmischung zugefügt. Alle
2 Stunden während
der nächsten
4 Stunden wurden 2,0 g 2,2'-Azobis(2-methylpropannitril)
in etwa 20 g Ethanol zugefügt.
Eine Analyse der fertigen Polymermischung durch Kapillar-Gaschromatographie
zwei Stunden nach der letzten Initiatorzugabe zeigte eine Umwandlung
des 3-Methyl-4-acetoxystyrols in das Poly(3-methyl-4-acetoxystyrol)
von 97,6 Gew.-%.
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Die Umesterungsreaktion begann ohne
Kühlung
der Reaktionsmischung; 1,0 g 37%iger Salzsäure in Wasser wurden mit etwa
20 g Ethanol kombiniert, und die Kombination wurde zu der Reaktionsmischung
gegeben. Man ließ die
Reaktionsmischung reagieren, bis die Farbe der Mischung sich von
weiß nach
klar entfärbte,
wobei zu diesem Zeitpunkt 250 g Ethylacetat/Ethanol als Destillat
entfernt wurden, und 250 g frisches Ethanol zugegeben wurden. Man
ließ die
Umesterung etwa 7 Stunden weiterlaufen, wobei nach dieser Zeitspanne
die klare Reaktionsmischung gekühlt
und in deionisiertem Wasser ausgefällt wurde, die Ausfällung durch
Filtration isoliert wurde, die Säure
mit deionisiertem Wasser von der Ausfällung (im wesentlichen Poly(3-methyl-4-hydroxystyrol))
abgewaschen wurde, und das Poly(3-methyl-4-hydroxystyrol) im Vakuumofen bei
etwa 70°C
getrocknet wurde, bis weniger als 2 Gew.-% Wasser in dem Poly(3-methyl-4-hydroxystyrol) zurückblieben.
Eine FTIR-Analyse des Poly(3-methyl-4-hydroxystyrols) zeigte, daß weniger
als 2,0 Gew.-% (3-Methyl-4-acetoxystyrol)-Gruppen in dem Poly(3-methyl-4-hydroxystyrol)
zurückblieben,
wie durch quantitative Bestimmung der Extinktion bei etwa 1760 cm–1 – der Extinktion
des Acetoxycarbonyls – bestimmt
wurde. Ein UV-VIS-Scan zeigte einen molaren Extinktionskoeffizienten
von 163 I·cm–1·mol–1 bei
248 nm. Das Produkt war visuell weiß.
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Das Verfahren der vorliegenden Erfindung,
worin Copolymere, umfassend PHS, hergestellt wurden, wird im folgenden
Beispiel 61 beschrieben.
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Das Beispiel 61 wurde unter Verwendung
der gleichen Reaktionsbedingungen und der gleichen Reaktionteilnehmer
durchgeführt,
wie jenen, die bei der Herstellung von Homopolymeren des 4-PHS verwendet wurden,
außer
daß das
Comonomere zu der ASM umfassenden Vormischung gegeben wurde. Eine
spezielle, ausführliche
Beschreibung des Beispiels 61 folgt.
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Beispiel 61
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Ein Copolymer von 4-Acetoxystyrol
und Methylmethacrylat wurde hergestellt und unter Verwendung des
folgenden Verfahrens in ein Poly(4-hydroxystyrolmethylmethacrylat)-Copolymer
umgewandelt.
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In einen 500 ml Glasrundkolben, der
mit einem Kaltwasser-Rückflußkühler, einem
Temperaturmeßstutzen
mit Thermoelement, einer Stickstoff-Spülleitung, einem Überkopfrührer und
einem externen Heizmantel versehen ist, wurde eine Reaktionsmischung
von 62,5 g 4-Acetoxystyrol (4-ASM), 62,5 g Methylmethacrylat, 125
g Methanol und 1,5 g 2,2'-Azobis(2,4-dimethylpentannitril)-Initiator
gegeben. Die Reaktionsmischung wurde 5 Minuten unter Stickstoffspülung gerührt, um
in dem Reaktor vorliegendes Sauerstoffgas zu entfernen. Die Reaktionsmischung
wurde dann auf etwa 64°C – die Rückflußtemperatur
der Mischung – erwärmt. Nach
einer einstündigen
Polymerisation wurden 0,3 g 2,2'-Azobis(2,4-dimethylpentannitril),
gelöst
in etwa 10 g Methanol, der Re aktionsmischung zugefügt. Zwei
Stunden nach dem Beginn der Polymerisation wurde 0,5 g 2,2'-Azobis(2,4-dimethylpentannitril)
in etwa 10 g Methanol zu der Reaktionsmischung gegeben. Drei Stunden
nach dem Beginn der Polymerisation wurde 0,65 g 2,2'-Azobis(2,4-dimethylpentannitril)
zu der Reaktionsmischung gegeben. Vier Stunden nach dem Beginn der
Polymerisation wurde 0,8 g 2,2'-Azobis(2,4-dimethylpentannitril)
zu der Reaktionsmischung gegeben. Die Analyse der fertigen Polymermischung durch
Kapillar-Gaschromatographie zwei Stunden nach der letzten Initiatorzugabe
zeigte eine Umwandlung des 4-Acetoxystyrols
in das Poly(4-acetoxystyrol-co-methylmethacrylat) von 98,3 Gew.-%.
Die Umesterungsreaktion begann ohne Kühlung der Reaktionsmischung;
0,3 g 37%ige Salzsäure
in Wasser wurden mit etwa 10 g Methanol kombiniert, und die Kombination
wurde zu der Reaktionsmischung gegeben. Man ließ die Reaktionsmischung reagieren,
bis die Farbe der Mischung sich von weiß nach klar entfärbte, wobei
zu diesem Zeitpunkt 150 g Methylacetat/Methanol als Destillat entfernt
wurden, und 150 g frisches Methanol zugegeben wurden. Man ließ die Umesterung
etwa 4 Stunden weiterlaufen, wobei nach dieser Zeitspanne die klare
Reaktionsmischung gekühlt
und in deionisiertem Wasser ausgefällt wurde, die Ausfällung durch
Filtration isoliert wurde, die Säure
mit deionisiertem Wasser von der Ausfällung (im wesentlichen Poly(4-hydroxystyrol-co-methylmethacrylat)
abgewaschen wurde, und das Poly(4-hydroxystyrol-co-methylmethacrylat)
(4-PHS/MMA) im Vakuumofen bei etwa 70°C getrocknet wurde, bis weniger
als 2 Gew.-% Wasser in dem 4-PHS/MMA zurückblieben. Eine FTIR-Analyse des 4-PHS/MMA
zeigte, daß weniger
als 2,0 Gew.-% (4-acetoxystyrol)-Gruppen in
dem 4-PHS/MMA zurückblieben.
Das Massenmittel der Molmasse des 4-PHS/MMA war etwa 22 000 durch GPC.
Ein UV-VIS-Scan zeigte einen molaren Extinktionskoeffizienten von
48 I·cm–1·mol–1 bei
2,48 nm. Das Produkt war visuell weiß.
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Beispiel 62 (Vergleichsbeispiel)
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Durch dieses Beispiel soll gezeigt
werden, daß das
gleichzeitige Polymerisations- und
Hydrolyse-Verfahren zur Herstellung von Poly(4-hydroxystyrol), welches
von Elmore, Europäische
Patentanmeldung Nr. 87 307 912.3, beschrieben wird – selbst
wenn es unter Verwendung einer säurekatalysierten
Methanolyse durchgeführt
wird, wie durch Gupta, US Patent Nr. 4 898 916, offenbart wird –, ein Reaktionsprodukt
bereitstellt, das nicht die niedrige optische Dichte (Extinktion über einen
Wellenlängenbereich
von 240–260
nm) des Produkts aufweist, welches durch das Verfahren der vorliegenden
Erfindung erzeugt wird.
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In einen 500 ml Glasrundkolben, der
mit einem Kaltwasser-Rückflußkühler, einem
Temperaturmeßstutzen
mit Thermoelement, einer Stickstoff-Spülleitung, einem Überkopfrührer und
einem externen Heizmantel versehen ist, wurden 100 g Methanol (MeOH)
und 2,7 g 37%ige Salzsäure
(0,5 Gew.-% HCl, bezogen auf das McOH und das anschließend zuzugebende
4-A5M) gegeben. Separat wurden 100 g 4-Acetoxystyrol (4-A5M) und
2,2'-Azobis(2-methylpropannitril)
vermischt und in einem Eisbad kühl
gehalten. Die Methanol/HCl-Mischung wurde etwa 5 Minuten unter einer
Stickstoffspülung
gerührt,
um von Stickstoff verschiedene Gase aus dem Reaktor zu entfernen.
Die Temperatur der Methanol/HCl-Mischung wurde dann auf etwa 66°C – die Rückflußtemperatur
des Methanols bei atmosphärischem
Druck – erhöht. Die
4-ASM-Initiator-Mischung wurde in regelmäßigen Abständen während einer Zeitspanne von
3 Stunden zu dem Kolben-Reaktor
gegeben. 110 g Methylacetat/Methanol wurden während der Umsetzung entfernt.
Nach der anfänglichen
Zugabe der 4-ASM/Initiator-Lösung
fiel die Temperatur der Reaktionsteilnehmer in dem Kolben-Reaktor
auf 61,4°C
ab, was auf die Bildung von Methylacetat hinweist. Sobald das Methylacetat
entfernt war und frisches Methanol zugefügt worden war, stieg die Temperatur
gegen Ende der Umsetzung auf 64,5°C
an.
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Eine Analyse der fertigen Polymer-Mischung
durch Kapillar-chromatographie zeigte, daß eine 99,9% gew.-%ige Umwandlung
des 4-Acetoxystyrols eingetreten war.
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Nach der Vervollständigung
der gleichzeitigen Polymerisations-Hydrolyse-Reaktion wurde die Reaktionsmischung
gekühlt
und in deionisiertem Wasser ausgefällt, die Ausfällung wurde
durch Filtration isoliert, restliche Säure wurde unter Verwendung
von deionisiertem Wasser von der Ausfällung abgewaschen, und das Reaktionprodukt
wurde in einem Vakuumofen bei etwa 70°C getrocknet, bis etwa 2 Gew.-%
Wasser in dem Reaktionsprodukt zurückblieben.
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Eine FTIR-Analyse des ausgefällten Teils
des Reaktionsprodukts zeigte, daß die Ausfällung PHS umfaßte, wobei
weniger als etwa 1,7 Gew.-% 4-Acetoxystyrol-Gruppen in dem PHS zurückblieben.
Das Massenmittel der Molmasse (Mw) dieses
PHS-Teils des Reaktionsprodukts war etwa 2000. Dieses Reaktionsverfahren erlaubt
nicht die Isolierung des PHS. Dieses Reaktionsverfahren erlaubte
auch keine Steuerung des Mw des Reaktionsprodukts.
Das Mw des PHS konnte teilweise deswegen
nicht gesteuert werden, weil das Hydroxystyrol-Monomer (HSM) nicht
durch ein radikalisches Mittel gebildet wurde, sondern möglicherweise
durch ein kationisches Mittel.
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Der molare Extinktionskoeffizient, ϵ,
des PHS-Teils des Reaktionsprodukts bei UV248 betrug
868 (weitaus größer als
die 250 oder weniger, die für
das Produkt erwünscht
sind, welches durch das Verfahren der vorliegenden Erfindung hergestellt
wird). Dieses hohe ϵ ist wegen der gleichzeitigen Polymerisationsund
Hydrolysereaktions-Technik offensichtlich auf die Bildung von Chinonen
oder stark absorbierenden Spezies zurückzuführen.
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Bei dem Verfahren der vorliegenden
Erfindung wurden die Homopolymere und Copolymere, umfassend 4-PHS
(und S-4-PHS), aus dem finalen Umesterungsmedium durch Ausfällen isoliert.
Das bevorzugte Ausfällungsmedium
ist Wasser, obwohl organische Lösungsmittel,
wie Heptan, Hexan und Cyclohexan, in denen PHS-Homopolymere und
Copolymere desselben genügend
unlöslich
sind, verwendet werden können.
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Wenn man Wasser als Ausfällungsmedium
verwendete, wurde die Polymer/Reaktionsmedium-Mischung dem Wasser – das sich
in Bewegung befindet – zugefügt. Typischerweise
war bei Raumtemperatur die Gewichtsmenge des Wassers um einen Faktor
von wenigstens 8 größer als
die Gewichtsmenge der Polymer/Reaktionsmedium-Mischung. Das bevorzugte
Alkohol-Reaktionsmedium für
eine Ausfällung
in Wasser ist Methanol, da das PHS-Polymer oder Copolymer desselben
mit einer Teilchengröße ausfällt, die
größer als etwa
50 μm ist.
Die Verwendung eines Reaktionsmediums mit einem höhermolekularen
Alkohol scheint zu ergeben, daß die
Teilchengröße des ausgefällten PHS-Homopolymers
(oder Copolymers desselben) kleiner als etwa 50 μm ist. Teilchen mit einer größeren Teilchengröße lassen
sich leichter filtrieren.
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Obwohl die vorliegende Erfindung
in Form von Polymeren des 4-Hydroxystyrols und/oder substituierten
4-Hydroxystyrols beschrieben wird, wird in Betracht gezogen, daß die weitere
Funktionalisierung dieser Polymere, welche bei bestimmten optischen
Anwendung eine verstärkte
Leistungsfähigkeit
bereitstellt, in den Bereich und Umfang der vorliegenden Erfindung
fällt.
Wenn diese Polymere z. B. als polymere Komponenten in Photoresists
verwendet werden sollen, ist es bekanntermaßen erwünscht, die Hydroxygruppe an
der Position 4 der Verbindungsstruktur durch eine t-Butoxycarbonyl-Gruppe
zu ersetzen. Das Vorliegen der t-Butoxycarbonyl-Gruppe in dem Polymer
verbessert die Empfindlichkeit des Polymers gegenüber einer
bilderzeugenden Strahlung, die auf das Photoresist auftrifft. Es
ist auch bekannt, die Hydroxygruppe durch eine t-Butoxy-Gruppe zu ersetzen, ebenfalls
zur Verwendung bei Photoresist-Anwendungen. Die vorliegende Erfindung stellt
polymere Verbindungen (und ein Verfahren für deren Herstellung) bereit,
welche den optischen Anforderungen (Strahlungsabsorption) genügen, die
notwendig sind, um als ein Photoresistmaterial für fernes UV, Röntgenstrahlen
oder E-Strahlen zu fungieren,. Eine weitere Funktionalisierung dieses
grundlegenden, polymeren Materials, welche die Gesamtleistungsfähigkeit
des Polymers in der beabsichtigten Verwendung nicht beeinträchtigt,
soll in den Umfang und Bereich der vorliegenden Erfindung fallen.
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Es gilt natürlich, daß die vorliegende Erfindung
vorhergehend nur beispielhaft beschrieben wurde, und Modifizierungen
im Bereich der Erfindung durchgeführt werden können.