JPH04279608A - フォトレジスト用低光学密度ポリマー及びコポリマーの製造方法 - Google Patents

フォトレジスト用低光学密度ポリマー及びコポリマーの製造方法

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JPH04279608A
JPH04279608A JP3159234A JP15923491A JPH04279608A JP H04279608 A JPH04279608 A JP H04279608A JP 3159234 A JP3159234 A JP 3159234A JP 15923491 A JP15923491 A JP 15923491A JP H04279608 A JPH04279608 A JP H04279608A
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    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F2800/00Copolymer characterised by the proportions of the comonomers expressed
    • C08F2800/20Copolymer characterised by the proportions of the comonomers expressed as weight or mass percentages

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】本発明は、4−ヒドロキシスチレン及び/
又は置換4−ヒドロキシスチレンのホモポリマー、コポ
リマー及びターポリマー(以下では、「ポリマー」と呼
ぶ)を含む化合物の製造方法及び同化合物に関する。こ
のポリマーは約240〜約260nmの範囲内の波長に
わたる低い光学密度(吸光度)並びに可視スペクトルと
近UVスペクトル(310〜800nm)にわたる低い
光学密度を有する。このようなポリマーは重合の反応媒
質として、連鎖移動剤として、及びトランスエステル化
反応物質として役立ち、特に経済的プロセスを形成する
単独化合物を用いて製造される。本発明のポリマーは特
にディープ(deep)UV、X線及びE−ビーム画像
形成系(imaging  system)用のフォト
レジストとして(直接又は改質形で)有用である。ディ
ープUV(240〜260nm)波長領域に低い吸光度
を有するフォトレジスト物質を必要とする多くの用途が
半導体産業に存在する。光学リトグラフィーに用いられ
てきたノボラックフォトレジストポリマーは300nm
より長い波長に限定される、ノボラック物質は短い波長
に高い吸光度を有するからである。4−ヒドロキシスチ
レン及び置換4−ヒドロキシスチレンのポリマーとコポ
リマーが約240〜約260nmの波長範囲にわたって
特に有用であることが、最近判明している。この波長範
囲にわたるこのようなポリマー及びコポリマーのモル吸
光度(ε)は約50  lcm−1mole−1程度に
低い。4−ヒドロキシスチレン及び置換4−ヒドロキシ
スチレンのポリマーとコポリマーの経済的な製造方法及
びプロセスが必要とされている。
【0002】アール.ダブリュ.ルップ(R.W.Ru
pp)等に1989年4月18日発行された米国特許第
4,822,862号は、水性エマルジョン中での4−
アセトキシスチレンモノマー(4−ASM)のホモ重合
及び共重合と、単離しない4−ASMのポリマー及びコ
ポリマーの、塩基を用いた、4−ヒドロキシスチレンの
ホモポリマー及びコポリマーへの加水分解を述べている
【0003】ディ.エル.キーン(D.L.Keene
)等に1990年3月27日発行された米国特許第4,
912,173号は4−ASMのホモポリマーの4−ヒ
ドロキシスチレンのホモポリマーへの加水分解方法を述
べている。この加水分解は窒素含有塩基の存在下の水性
懸濁液中で実施される。
【0004】アール.ヴィカリ(R.Vicari)等
に1989年11月29日発行されたヨーロッパ特許第
343,986号は懸濁重合による4−ASMポリマー
又は4−ヒドロキシスチレンのポリマーの製造方法を述
べている。懸濁重合はポリアクリル酸と少なくとも2種
のフリーラジカル触媒[このうちの1種は100℃未満
で1時間の半減期を有し、他方は100℃より高温で1
時間の半減期を有する]との存在下での4−ASMの水
性懸濁液の形成を含む。
【0005】この懸濁液を70〜95℃に加熱して、約
50重量%の重合を達成し、次にさらに95℃より高温
に加熱することによって重合を完成する。次に、4−ヒ
ドロキシスチレン(4−HSM)を形成するために、反
応温度を30〜95℃に減じ、懸濁液を水酸化アンモニ
ウムと、4−ASMの各当量に対して少なくとも2モル
のアンモニア量で反応させる。
【0006】上記方法によって製造されたポリ(4−ヒ
ドロキシスチレン)は約300〜350リットル/cm
−1mole−1の範囲内の248nmにおける吸光度
(モル吸光係数、ε)を有する。
【0007】ビー.グプタ(B.Gupta)等に19
90年2月6日に発行された米国特許第4,898,9
16号はポリ(4−アセトキシスチレン)(4−PAS
)のポリ(4−ヒドロキシスチレン)(4−PHS)へ
の転化を述べている。この方法は(a)(4−PAS)
のアルコール性スラリーの形成;(b)スラリーへの酸
の添加;及び(c)ポリマーがアルコールに完全に溶解
して、アセトキシ〜フェノール基への完全な転化を示す
までスラリー温度の20〜65℃への維持を含む。
【0008】4−ASMをホモポリマー又は他の共重合
可能なモノマーとのコポリマーに重合し、特にコモノマ
ーがスチレンである方法が特許請求されている。4−P
HS又は4−HSMのコポリマーは上記反応の先駆体と
して用いる4−PASに依存して、約300〜1,00
0の範囲内のモル吸光係数εを有すると考えられる。ジ
ェイ.ディ.エルマー(J.D.Elmore)等に1
987年8月25日に発行された米国特許第4,689
,379号は、4−ASMのポリマーの水酸化第4アン
モニウムを用いたメタノールシス(methanols
is)による4−PHSへの加水分解を開示している。
【0009】1988年3月16日発行のヨーロッパ特
許出願第87307912.3号は、最初に4−ASM
とメタノールとを反応させ、次に4−ASM,メタノー
ル、4−HSM,4−ASMポリマー及び4−HSMポ
リマーをフリーラジカル開始剤を用いてアンモニウムの
存在下で反応させることによる、4−PHSを含むポリ
マーの製造方法を開示する。開始剤はベンゾイルペルオ
キシド、ラウロイルペルオキシド、アセチルペルオキシ
ド、クメンヒドロペルオキシド、パラメタンヒドロペル
オキシド等を含む開始剤群から選択される。
【0010】ジー.パウロウスキー(G.Pawlow
ski)等はカリフォルニア州サンジョーズにおいて開
催された1990年3月SPIE会議においてポリ(3
−メチルー4−アセトキシスチレン)を製造するための
テトラヒドロフラン中での2,2’−アゾビス(2−メ
チルプロパンニトリル)を用いた3−メチルー4−アセ
トキシスチレンの重合を述べている。
【0011】ジー.パウロウスキー等によってTHF中
で重合されたポリ(3−メチルー4−アセトキシスチレ
ン)を単離し(沈殿)、次に用いる前に乾燥させた。こ
の乾燥ポリ(3−メチルー4−アセトキシスチレン)を
次にメタノール中でスラリー化し、ビー.グプタ等が上
述するように処理して、ポリ(3−メチルー4−アセト
キシスチレン)のホモポリマー及びコポリマーを製造す
ることができる。
【0012】しかし、上記方法の組み合わせを用いた4
−HSMポリマーの製造は非常に費用を要する。4−P
ASの重合にパウロウスキーが用いたTHF溶剤は有害
である。さらに、4−PASの沈殿と乾燥は装置操作と
廃棄物の廃棄とに関してさらに費用を加えることになる
。米国特許第4,898,916号に開示されたグプタ
等の方法は4−PASのアルコール中のスラリーの製造
で直面される問題のために大規模での実施が困難である
。4−PASは不溶性のためにアルコール中で「凝集す
る」又は凝集形で留まる。
【0013】本発明によると、アルコール中へのポリ(
4−アセトキシスチレン)(4−PAS)がアルコール
中に一部不溶解であるにも拘わらず、ポリ(4−アセト
キシスチレン)及び/又は置換ポリ(4−アセトキシス
チレン)(S−4−PAS)を含むホモポリマー、コポ
リマー及びターポリマー(以下では「ポリマー」と呼ぶ
)をアルコール反応媒質中で重合させ、次に4−PAS
及び/又はS−4−PASを含むポリマーを好ましくは
同じ反応媒質中でトランスエステル化し、ポリ(4−ヒ
ドロキシスチレン)(4−PHS)及び/又は置換ポリ
(4−ヒドロキシスチレン)(S−4−PHS)を含む
ポリマーを製造することが可能である。4−PAS及び
/又はS−4−PASを製造するための4−アセトキシ
スチレンモノマー(4−ASM)及び/又は置換4−ア
セトキシスチレンモノマー(S−4−ASM)の初期重
合は、残留モノマー10重量%以下(製造されるポリマ
ーを基準)を含むトランスエステル化反応混合物が形成
されるように実施される。この10重量%残留モノマー
は、重合反応中に最初に存在する全モノマーの組み合わ
せの90%転化を達成することによって、又は重合が完
成した後のトランスエステル化反応の前に反応混合物か
らこのようなモノマーを除去することによって得られる
。モノマー/反応媒質混合物中のモノマーの初期濃度は
40重量%を越えることが好ましい。4−PAS及び/
又はS−4−PASのトランスエステル化は、4−PA
S及び/又はS−4−PASの少なくとも85重量%が
4−PHS及び/又はS−4−PHSに転化されるよう
に実施される。
【0014】上述したように、出発モノマーを90%未
満の転化まで重合することによって、トランスエステル
化反応の前に重合反応混合物から残留モノマーを除去す
る限り、4−PAS及び/又はS−4−PASを含むポ
リマーを製造することが可能になる。4−PAS及び/
又はS−4−PASのホモポリマー及びコポリマーの製
造において、モノマーの重合が進行し、形成されるポリ
マーの分子量が増加するにつれて、ポリマーがアルコー
ル重合媒質中に不溶になることが判明している。この場
合に、反応混合物の撹拌を中断し、膨潤したポリマーを
分離させ、残留モノマーを含むアルコール反応媒質をデ
カントし、デカントされたアルコールの代わりに新鮮で
清浄なアルコールを補充し、トランスエステル化を進行
させることが可能である。4−PAS及び/又はS−4
−PASアルコール重合媒質の除去(新鮮で清浄なアル
コールの補充)は過剰な開始剤、開始剤フラグメント、
未反応モノマー及びオリゴマーの除去を可能にする、こ
れらは全て4−PHS及び/又はS−4−PHS生成物
の有害な光学密度増加汚染のソース(source)に
成りうる。
【0015】上記説明は重合反応媒質としてのアルコー
ル溶剤の使用に基づくが、この理由はこれが本発明の最
も好ましい実施態様であるからである。しかし、トラン
スエステル化を実施するトランスエステル化工程中に充
分なアルコールが存在する限り、他の溶剤を本発明の方
法に用いることもできる。
【0016】好ましい「他の溶剤」はアセテート基を含
まない極性溶剤である。本発明のあまり好ましくない実
施態様では、これらの極性溶剤を4−アセトキシスチレ
ン及び/又は置換4−アセトキシスチレンを含むポリマ
ーの重合中に唯一つの溶剤として用いることができるが
、トランスエステル化の前に4−アセトキシスチレン及
び/又は置換4−アセトキシスチレンを含むポリマーに
アルコールを加えなければならない。本発明のさらに好
ましい実施態様では、極性溶剤が本発明のプロセスを通
してアルコールとの補助溶剤として用いられる。適当な
極性溶剤の例はテトラヒドロフラン、メチルエチルケト
ン、アセトン及び1,4−ジオキサンを含む。
【0017】非極性溶剤も、非極性溶剤の濃度が充分に
低い限り、アルコールと組み合わせて補助溶剤として用
いることができる。典型的に、非極性溶剤は25重量%
未満の濃度で存在する。適当な非極性溶剤の例はヘプタ
ン、ヘキサン及びシクロヘキサンを含む。
【0018】4−ASM及び/又はS−4−ASMと組
み合わせて他のモノマーも、他のモノマーが約240〜
約260nmの範囲内の光線波長を吸収しない限り、共
重合することができる。
【0019】上記の「置換」は、分子の環構造が置換基
を有し、置換基がメチル又はエチルであることを意味す
るものとする。好ましい置換基はメチルであり、好まし
い置換位置は3、5、又は3と5位置である。
【0020】上記方法を用いて、約40〜約250の範
囲内のモル吸光係数ε(248nm波長において)を有
する4−PHS及び/又はS−4−PHSを含むポリマ
ーを得ることができる。248nmにおいてこのモル吸
光係数εを有する4−PHS及び/又はS−4−PHS
を含むポリマーを得るためには、次のことが必要である
: (1)a.吸光構造(absorbant  stru
gture)を含まない重合開始剤を用いる;芳香環の
ような吸光構造は、4−PHS及び/又はS−4−PH
Sを含むポリマーの重量平均分子量が約5,000〜約
25,000[ゲル透過クロマトグラフィー(GPC対
ポリスチレン標準)によって測定]の範囲内である場合
に、モル吸光係数ε248を典型的には2倍に高める、
又はb.吸光構造を含む重合開始剤を用いるが、開始剤
濃度をポリマー製造に用いるモノマーの約3モル%未満
に制限する、 (2)少なくとも90重量%のモノマーの重合転化率を
得る;又は反応媒質から残留モノマーを除去して、次の
トランスエステル化反応混合物中の残留モノマーが4−
PHS及び/又はS−4−PHSポリマーを含むポリマ
ーの10重量%以下であるようにする、(3)少なくと
も85重量%のトランスエステル化転化率を得る; (4)4−PAS又はS−4−PASを含むポリマーか
ら4−PHS又はS−4−PHSを含むポリマーへのア
ルコーリシス  トランスエステル化にそれぞれ酸触媒
を用いる;塩基性触媒の使用は240〜260nmにわ
たって吸収し、約310〜800nmの近UV及び可視
波長にわたっても吸収しうるキノンその他の化学構造を
形成させうる。塩基性触媒を用いて製造された4−PH
Sは典型的に不透明で、褐色である。
【0021】ディープUV波長にわたって実質的に吸収
するモノマーストレージ抑制剤(monomer  s
torage  inhibitor)を避けることも
望ましい。
【0022】上記方法によって製造されたポリマー組成
物は240〜260nm波長にわたって好ましく低い光
学密度(250以下の吸光係数)を生ずるという特定の
必要条件を満たすことが経験的に判明している。特に、
4−PHS(及び/又はS−4−PHS)を含むポリマ
ーは約2.5重量%未満の残留4−ヒドロキシスチレン
モノマー(又はその誘導体残渣)を含む。ポリマーがこ
のような残留4−ヒドロキシスチレンモノマーを2.5
重量%ほど含む場合には、ポリマー中に残留する(10
0%未満のトランスエステル化のために)ポリ4−アセ
トキシスチレンの量はポリマーの約2.5重量%未満に
ならなければならない。ポリマーがこのような残留4−
ヒドロキシスチレンモノマー(又はその誘導体残渣)を
2.5重量%未満含む場合には、ポリマー中に残留する
ポリ4−アセトキシスチレンの量は多くなる。例えば、
残留4−ヒドロキシスチレンモノマーがポリマーの約0
.7重量%未満である場合には、ポリ(4−アセチキシ
スチレン)含量はポリマーの約13重量%未満にならな
ければならない。
【0023】本発明の概念を明確に表現するために、以
下の明細書部分ではポリ(4−ヒドロキシスチレン)を
含むポリマーの製造に関して本発明を説明することによ
って言語を簡略化する。しかし、置換ポリ(4−ヒドロ
キシスチレン)を含むポリマーも同様に含まれるものと
する。区別をすることが必要である場合には、又はあま
り煩わしくならない場合には、置換4−アセトキシスチ
レンモノマーを特に考察する。
【0024】本発明の「シングル  ポット(sing
le  pot)」の簡単な方法はポリ(4−ヒドロキ
シスチレン)を含むポリマーの製造に用いることができ
、次の工程:(a)4−アセトキシスチレン(モノマー
)と、それ自体、その分解生成物及びそれが生ずるキャ
ップト構造が約240〜260nmの範囲内の波長にわ
たって実質的に吸収しない開始剤との混合物、またはモ
ノマー1モルにつき吸収性開始剤約3モル以下を用いた
混合物を有機溶剤反応媒質中で反応させて、4−アセト
キシスチレンを含むポリマーを製造させ、モノマー転化
の結果として又は重合後の残留モノマーの除去のために
、次のトランスエステル化反応媒質中の残留モノマーが
製造される4−アセトキシスチレン含有ポリマーの10
重量%以下になるようにする工程;及び (b)次に、非トランスエステル化ポリ(4−アセトキ
シスチレン)1当量につき少なくとも1当量のアルコー
ルを含むトランスエステル化反応媒質中で、酸触媒を用
いて、4−アセトキシスチレン含有ポリマーをトランス
エステル化して、ポリ(4−アセトキシスチレン)から
ポリ(4−ヒドロキシスチレン)への少なくとも85%
転化を達成する工程を含む。
【0025】上記発明の最も好ましい実施態様では、工
程(a)の有機溶剤反応媒質の少なくとも大部分がC1
〜C5(直鎖又は分枝鎖)アルコールである。さらに、
工程(b)のトランスエステル化反応媒質が工程(a)
で用いる反応媒質と本質的に同じ反応媒質、又はその官
能的同等物である。
【0026】上記方法においてこれらのモノマーと組み
合わせて、4−ASM及び/又はS−4−ASM以外の
モノマーを用いる場合には、他方のモノマーは少なくと
も1個のビニル基を有するものであり、約240〜約2
60nmの範囲内の波長にわたって光線を実質的に吸収
してはならない。
【0027】本発明の簡単な方法は4−ヒドロキシスチ
レンと置換4−ヒドロキシスチレンとのコポリマーの製
造に用いることでき、この場合に好ましい置換4−ヒド
ロキシスチレンモノマーは、メチル又はエチル置換基に
よって3、5、又は3と5位置において置換した4−ヒ
ドロキシスチレンから成る群から選択される。4−PH
SとS−4−PHSとのコポリマーの製造工程は下記の
通りである: (a)4−アセトキシスチレンモノマー、置換4−アセ
トキシスチレンモノマーと開始剤とを含む混合物であっ
て、前記開始剤とその分解生成物が単独で及びそれが生
ずるキャップト構造が約240〜約260nmの範囲内
の波長にわたって光線を実質的に吸収しないか、又は前
記開始剤が少なくとも1種のアルコールを含む反応媒質
中に前記モノマーの約3モル%未満の濃度で存在する混
合物を反応させて、ポリ(4−アセトキシスチレン)と
置換ポリ(4−アセトキシスチレン)とのコポリマーを
製造し、次のトランスエステル化反応工程中の反応媒質
中に存在する残留モノマーが反応中に形成されるコポリ
マーの10重量%以下に成るようにする工程;及び(b
)次に、非トランスエステル化コポリマー1当量につき
少なくとも1当量のアルコールを含むトランスエステル
化反応媒質中で、酸触媒を用いて、ポリ(4−アセトキ
シスチレン)と置換ポリ(4−アセトキシスチレン)と
のコポリマーをポリ(4−ヒドロキシスチレン)と置換
ポリ(4−ヒドロキシスチレン)とのコポリマーにトラ
ンスエステル化し、ポリ(4−アセトキシスチレン)か
らポリ(4−ヒドロキシスチレン)への少なくとも85
%のトランスエステル化を達成する工程。
【0028】上記発明の最も好ましい実施態様では、工
程(a)の有機溶剤反応媒質の少なくとも大部分がC1
〜C5(直鎖又は分枝鎖)アルコールである。さらに、
工程(b)のトランスエステル化反応媒質が工程(a)
で用いる反応媒質と本質的に同じ反応媒質、又はその官
能的同等物である。
【0029】以下の説明は、工程を上述したような本発
明の実施態様に該当する。
【0030】工程(a)で用いる開始剤は、このような
開始剤の量がモノマーの3モル%より多い場合に、単独
で又はポリマーキャッピング基として240〜260n
m波長を実質的に吸収する開始剤フリーラジカル(in
itiatingfreeradical)に分解する
構造を含んではならない。上記濃度を越える濃度では避
けなければ成らない、このような吸光性フリーラジカル
開始剤は、例えばベンゾイルペルオキシド、t−ブチル
ペルオキシベンゾエート及びジーt−ブチルジペルオキ
シフタレートのようなん、芳香族成分を有する開始剤を
含む。240〜260nm波長範囲にわたって実質的に
吸収しない、有用な開始剤の例には、限定する訳ではな
く、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルペンタンニ
トリル)、2,2’−アゾビス(2−メチルプロパンニ
トリル)、2,2’−アゾビス(2−メチルブタンニト
リル)、1,1’−アゾビス(シクロヘキサンカルボニ
トリル)、t−ブチルペルオキシー2−エチルヘキサノ
エート、t−ブチルペルオキシピバレート、t−アミル
ペルオキシピバレート、ジイソノナノイルペルオキシド
、デカノイルペルオキシド、コハク酸ペルオキシド、ジ
(n−プロピル)ペルオキシジカルボネート、ジ(se
c−ブチル)ペルオキシジカルボネート、ジ(2−エチ
ルーヘキシル)ペルオキシジカルボネート、t−ブチル
ペルオキシネオデカノエート、2,5−ジメチルー2,
5−ジ(2−エチルヘキサノイルペルオキシ)ヘキサン
、t−アミルペルオキシーネオデカノエート、t−ブチ
ルペルオキシーネオデコネート及びこれらの組み合わせ
がある。最も好ましい開始剤は2,2’−アゾビス(2
−メチルプロパンニトリル)、2,2’−アゾビス(2
,4−ジメチルペンタンニトリル)及びt−ブチルペル
オキシピバレートを含む。
【0031】本発明の工程(a)の有用な開始剤は、反
応を実施する温度において約0.5〜約10時間の範囲
内の半減期を有するべきである。反応温度は典型的には
アルコール反応媒質の還流温度である。しかし、反応温
度がアルコール反応媒質の還流温度であることは必ずし
も必要ではない。反応器圧力を利用して、反応温度を調
節することができる。好ましい開始剤半減期は反応温度
において約0.75〜約5時間の範囲内であり、最も好
ましい開始剤は約1〜約2時間の範囲内の半減期を有す
る。
【0032】反応媒質として工程(a)で用いるアルコ
ールはモノマーを溶解する公知アルコールのいずれでも
よいが、工程(b)の反応速度を考慮すると、C1〜C
5アルコールが好ましく、C1〜C3及びn−アルコー
ルがさらに好ましい。最も好ましいアルコールはメタノ
ールとエタノールであり、これらは工程(b)のトラン
スエステル化反応において充分に機能する。メタノール
はトランスエステル化反応においてエタノールよりも迅
速に反応する。アルコールと、他のアルコール又は他の
有機溶剤との混合物も工程(a)及び(b)の反応媒質
として用いられる。メタノール又はエタノールは、トラ
ンスエステル化を達成する工程(b)において反応媒質
に加える又は反応媒質として用いることができる。
【0033】工程(a)に用いる溶剤が連鎖移動剤とし
て機能して、ポリマーの分子量を制御することができる
ならば、さらに有利である。上記アルコールと特にTH
Fのような溶剤は連鎖移動剤として充分に機能するよう
に思われる。
【0034】工程(a)の重合反応においてモノマーの
少なくとも90%転化を達成するために、反応中に開始
剤を定期的又は連続的に添加することが必要である。4
−ASMから4−PAS(又はS−4−ASMからS−
4−PAS)への転化に失敗すると、工程(b)中で4
−ヒドロキシスチレン(4−HSM)が形成されること
になる。4−HSM又はS−4−HSMは、240〜2
60nm波長範囲において高度に吸収するキノンを形成
しうる。少なくとも90%のモノマー転化が達成されな
い場合には、過剰なモノマーをトランスエステル化工程
の前に除去しなければならない。このような過剰なモノ
マーはデカンテーション工程又は他の手段を用いて、存
在する残留モノマーが製造されるポリマーの10重量%
以下になるように除去することができる。
【0035】トランスエステル化工程(b)は工程(a
)のアルコール反応媒質中で最も好ましく実施される。 しかし、少なくとも1種のトランスエステル化用アルコ
ールが工程(b)に存在するか又はデカンテーション後
の工程(a)の反応媒質に代わらなければならない。好
ましいトランスエステル化用アルコールは、この反応を
大気圧下、反応媒質有機溶剤の還流温度において(又は
大気圧より高圧下、還流温度において)実施する場合に
、メタノール及びエタノールを含む。約C4アルコール
までの他のアルコールを用いて、それらの大気圧還流温
度より高温において受容できるトランスエステル化反応
速度を生ずることができる。
【0036】残留PASは240〜260nm波長範囲
において吸収するので、工程(b)における4−PAS
から4−PHSへ(S−4−PASからS−4−PHS
へ等)のトランスエステル化が少なくとも85重量%、
好ましくは95重量%、最も好ましくは98重量%であ
ることが重要である。
【0037】本発明の工程(a)と(b)に続いて典型
的に、工程(c)が実施され、工程(c)では工程(b
)で製造された4−PHS及び/又はS−4−PHS含
有ポリマーが有機溶剤反応媒質から水によって沈殿され
る。例えばヘキサンのような、ポリマーに対する他の非
溶媒を水の代わりに沈殿に用いることができる。流動す
る水(又は他の非溶媒)にポリマー/反応媒質混合物を
加えることによって沈殿させることが重要である。 典型的には、室温において水の重量はポリマー/反応媒
質混合物の重量の少なくとも8倍過剰でなければならな
い。ポリマー/反応媒質混合物への水の添加は個別粒子
の形成ではなく残留アルコール及びアルコールアセテー
トを含むポリマーの凝集を生じさせる。
【0038】最終トランスエステル化反応混合物中に4
−PHS及び/又はS−4−PHSを含むポリマー量は
典型的に約10重量%〜約30重量%の範囲内である。 約30重量%未満のポリマー濃度が最終混合物中に存在
する場合に沈殿ホモポリマー又はコポリマーの粒度は典
型的に約25ミクロンより大きいので、好ましい重量%
ポリマー範囲は約15%〜約25%の範囲内である。
【0039】工程(b)からの残留酸触媒は、(1)ト
ランスエステル化工程(b)の終了時に反応媒質に塩基
を加える;(2)工程(b)の終了後にポリマー/反応
媒質をイオン交換樹脂に通して処理する、この場合にイ
オン交換樹脂は化学的に結合した塩基を含む;(3)沈
殿工程(c)に用いる水に塩基を加える;(4)中性p
H水を用いて工程(c)からの沈殿ポリマーを洗浄する
;又は(5)好ましくはpH約7.5〜約10を有する
塩基含有水を用いて工程(c)からの沈殿ポリマーを水
で洗浄することによって除去することができる。
【0040】工程(a)又は(b)の反応媒質としてア
ルコールが用いられる場合に、アルコールは4−ASM
重合中の連鎖移動剤としてまた4−PHSの形成に用い
られるトランスエステル化反応物質として機能するので
、本発明の方法又はプロセスは特に経済的である。トラ
ンスエステル化反応中に形成される初期のアルコールア
セテートも4−PASの溶解を助け、トランスエステル
化反応の促進に役立つ。
【0041】本発明のプロセスはアルコール反応媒質中
でのPHSホモポリマーの製造に関する下記の反応系列
構造に示される:
【0042】
【0043】置換基がメチルまたはエチルであるS−4
−PHSホモポリマー、又は4−PHSとS−4−PH
Sとのコポリマーも同様に製造される。
【0044】4−PHS又はS−4−PHSのコポリマ
ー又はターポリマーの製造に4−ASM又はS−4−A
SMと組み合わせて他のモノマーが用いられる場合には
、このようなモノマーを工程(a)で加えることができ
る。このようなモノマーは少なくとも1個のビニル基を
有し、240〜260nm波長範囲において実質的に吸
収しない化合物を含む。実質的に吸収しないモノマーの
例は、限定する訳ではなく、下記の例を含む:
【004
5】
【0046】4−PHSとS−4−PHSとのコポリマ
ーを本発明の方法によって製造する場合に、S−4−P
HS分子の好ましい置換基はメチルまたはエチルである
。4−ヒドロキシスチレン上の好ましい置換基位置は3
、5、又は3と5位置である。
【0047】4−PHS及びS−4−PHSのホモポリ
マーを製造する本発明の最も好ましい方法は下記の例1
〜57に述べる。例58〜60は反応媒質が有機溶剤の
混合物を含まない本発明の方法に関する。4−PHSと
メチルメタクリレートとのコポリマーを製造する本発明
の方法は、例61に述べる。例62は公開された関連技
術を考慮した比較例である。
【0048】例1〜62は容量約500〜約2000m
lの範囲内の容器内でバッチ式で実施される。各反応器
は冷水還流冷却管、窒素パージライン(反応器から酸素
を排除するために用いる)、オーバーヘッドスターラー
/ミキサー(overhead  stirrer/m
ixer)及び温度表示計(熱電対)を備えた四つ口フ
ラスコであった。
【0049】アルコール、代替え有機溶剤、又はアルコ
ール/補助有機溶剤反応媒質、4−ASM又はS−4−
ASM、又は4−ASMとメチルメタクリレート及び開
始剤のプレミックスをビーカー内で製造し、プレミック
スを反応器に入れた。反応媒質−モノマー混合物内の4
−ASM(又は他のモノマー)の初期濃度は典型的に約
10重量%〜約50重量%の範囲内であった。4−AS
M(又は他のモノマー)対反応媒質の相対量は30重量
%より大きいことが好ましく、40重量%より大きいこ
とが最も好ましい。4−ASMから4−PASへの転化
は、4−ASM対反応媒質の相対量が減少すると、低下
するように思われる。
【0050】ミキサーを始動させた(混合速度は典型的
に約100〜400rpmであった)。次に、プレミッ
クスに室温において約5〜10分間窒素パージした。
【0051】5〜10分間後に、フラスコ反応器の外側
に電気加熱ジャッケトを用いてプレミックスの温度を反
応媒質の還流温度に高めた。
【0052】還流温度(大気圧下)において4−ASM
(又は他のモノマー)を開始剤のほぼ半減期に等しい期
間、重合させた。ここで用いる「半減期」とは、開始剤
の1/2重量が熱分解して、フリーラジカル(典型的に
は開始剤1分子につき2フリーラジカル)を生ずるため
に要する時間である。
【0053】開始剤の約1/2重量が分解した時点にお
いて、追加の開始剤(典型的に反応媒質の少なくとも一
部として用いられたアルコールと同じアルコールのよう
な溶媒中に溶解)を反応器に加えた。追加の開始剤の添
加量はプレミックス中の開始剤量の約10%〜約90%
の範囲内であった。
【0054】進行中の重合に開始剤を加える上記方法を
必要に応じて繰り返して、4−ASMから4−PASへ
の少なくとも90%転化を達成した。重合中に開始剤を
典型的に4〜8回添加した。当業者は上記の少なくとも
90%転化を達成するために、重合中に開始剤を連続添
加することもできる。
【0055】出願人はプレミックス中に開始剤が存在し
ないバッチ式重合を実施したが、開始剤を重合中にプレ
ミックスに連続的に加えた。開始剤は反応媒質に用いる
アルコール中に溶解した。開始剤の添加量は先行重合に
必要であった開始剤量に基づくものであったが、予想さ
れる連続的なフリーラジカル利用可能性を考慮して約3
0%減じた。表1の例25を参照。
【0056】4−ASMから4−PASへの重合時間は
4−ASMから4−PASへの少なくとも90重量%転
化を達成するために充分な時間である。転化は典型的に
、反応混合物の毛管気/液クロマトグラフィーによって
測定した。典型的に反応時間は約4〜約9時間の範囲で
あった。
【0057】上記方法によって製造される4−PASの
重量平均分子量は約6,500〜約27,000の範囲
であった。
【0058】トランスエステル化反応は典型的に重合反
応媒質中で実施した。4−ASMから4−PASへの重
合は非アルコール含有反応媒質中で実施することができ
るが、トランスエステル化反応はアルコールの存在を必
要とする。トランスエステル化反応中に常に存在しなけ
ればならないアルコール量は、未反応(非トランスエス
テル化)4−アセトキシスチレンの量に基づいて少なく
とも1当量である。トランスエステル化速度はアルコー
ルの当量数の増加によって改良されるので、未反応4−
アセトキシスチレンに基づいて少なくとも約10当量の
アルコールを用いる。
【0059】重合反応媒質(アルコール)をデカントし
、トランスエステル化の前に清浄なアルコールを補充し
た例は、例を記載した表中で#でマークする。この例の
補充アルコールは重合中に用いるアルコールと同じアル
コールである。
【0060】トランスエステル化反応中に反応媒質の還
流温度を典型的に維持した(大気圧下)。トランスエス
テル化を酸触媒を用いて実施し、反応媒質中に存在する
アルコールを4−PASと反応させ、4−PASを4−
PHSに転化した。酸触媒濃度は反応混合物の総重量を
基準にして典型的に約100〜約400ppmの範囲内
であった。しかし、約5〜約10,000ppmの範囲
内の酸濃度を用いることができ、酸濃度は好ましくは約
50〜約2,000ppmの範囲であり、最も好ましく
は約100〜約500ppmの範囲である。酸は典型的
に、反応媒質の少なくとも一部に用いられたアルコール
と同じアルコールに溶解して、総酸触媒溶液を基準とし
て約0.5〜約2.0重量%範囲内の酸触媒濃度を含む
アルコール溶液を製造した。酸触媒溶液を反応器に1度
に加えた。しかし、酸触媒を反応中に任意に加えること
ができる。
【0061】酸触媒として用いられる酸には、塩酸、リ
ン酸、硝酸、硫酸、メタンスルホン酸及びトルエンスル
ホン酸がある。特定の酸の使用は本発明にとって決定的
ではない。好ましい酸は4−PAS又は、4−PASか
ら製造される4−PHSと実質的に反応しない酸であっ
た。本発明の実施態様では、非反応性酸は塩酸とリン酸
を含んだ。表1と2に示す例1〜60と、例61とでは
塩酸を用いた。4−PASを4−PHSへ完全転化させ
るように反応を実施するために、反応媒質中に過剰なア
ルコールを維持する、又は反応媒質中からアルコールア
セテートをそれが形成されたときに除去することが必要
である。典型的に、過剰なアルコールが用いられ、最初
の4−ASMに対するアルコールのモル当量は約5〜約
15の範囲であった。さらに、4−PASの溶解度が半
透明なポリマー/反応媒質混合物を生ずるようにアルコ
ールアセテートの濃度がなった後に、アルコールアセテ
ートを定期的又は連続的に除去した。アルコールアセテ
ートはアルコール及び他の反応媒質補助溶剤(存在する
場合には)との共沸混合物として除去され、除去された
アルコール(又はアルコール/補助有機溶剤)/アルコ
ールアセテートの総重量は典型的に等しい重量のアルコ
ールに取り替えられる。
【0062】トランスエステル化反応は大気圧下反応混
合物の還流温度(メタノール反応媒質では約65℃、エ
タノール反応媒質では約78℃)において実施した。反
応時間は4−PASから4−PHSの少なくとも85%
転化を生ずるために充分な時間であった。転化はフーリ
エートランスフォーム赤外分光学(Fourier−T
ransform  Infrared  Spect
roscopy)(FTIR)によって測定した、これ
は沈殿させ、洗浄し、乾燥したポリマーでの約1760
cm−1におけるアセテートカルボニルピークを検出し
た。反応時間はトランスエステル化に用いたアルコール
(主としてメタノール)に依存して、約2〜約16時間
の範囲であった。必要な反応時間は反応温度の上昇によ
って、酸触媒濃度の上昇によって及び/又はアルコール
アセテートの形成時のより迅速な除去によって減じられ
る。
【0063】
【0064】
【0065】
【0066】
【0067】表1と2に含まれる実施例の当業者による
再現を助けるように本発明の方法をさらに説明するため
に、例24と28を以下でさらに詳しく説明する。
【0068】例24 冷水還流冷却管、熱電対を含むサーモウエル、窒素パー
ジ取り付け具、オーバーヘッドスターラー及び外部加熱
マントルを備えた500mlガラス丸底フラスコに、4
−アセトキシスチレン(4−ASM)80g,メタノー
ル120g及び2,2’−アゾビス(2,4−ジメチル
ペンタンニトリル)開始剤2.0gから成る反応混合物
を加えた。この反応混合物を反応器内に存在する酸素ガ
スを排除するための窒素パージ下で5分間撹拌した。次
に、この反応混合物をメタノールの還流温度である約6
6℃に加熱した。1時間重合した後に、メタノール約1
0gに溶解した2,2’−アゾビス(2,4−ジメチル
ペンタンニトリル)0.4gを加えた。次の7時間、毎
時間、メタノール約10gに溶解した2,2’−アゾビ
ス(2,4−ジメチルペンタンニトリル)0.4gを加
えた。各添加後に、ポリマー混合物のサンプルを反応器
から採取した。毛管ガスクロマトグラフィーによる最終
ポリマー混合物サンプルの分析は4−アセトキシスチレ
ンからポリ(4−アセトキシスチレン)への94.8重
量%転化を示した。トランスエステル化反応は反応混合
物を冷却せずに開始した;水中37%塩酸0.2gをメ
タノール約10gと一緒にして、この組み合わせを反応
混合物に加えた。混合物の色が白から透明に変わるまで
反応混合物を反応させ、この時点でメチルアセテート/
メタノールを蒸留物として除去し、新鮮なメタノール1
50gを加えた。トランスエステル化を約4.5時間進
行させ、この時点で透明な反応混合物を冷却し、脱イオ
ン水中で沈殿させ、沈殿物(precipitant)
を濾過によって単離し、沈殿物(本質的にポリ(4−ヒ
ドロキシスチレン))から酸を脱イオン水によって洗浄
し、ポリ(4−ヒドロキシスチレン)を約70℃の真空
炉中で、ポリ(4−ヒドロキシスチレン)中に残留する
水が2重量%未満になるまで乾燥した。ポリ(4−ヒド
ロキシスチレン)のFTIR分析は約1760cm−1
におけるカルボニルピークの吸光度(アセトキシカルボ
ニル吸光度)の検出によって測定して、ポリ(4−ヒド
ロキシスチレン)中に0.5重量%未満の4−アセトキ
シスチレンが残留することを示した。UV−VISスキ
ャンは248nmにおける144  lcm−1m−1
のモル吸光係数を示した。生成物は目視によって極めて
白であった。
【0069】例28 冷水還流冷却管、熱電対を含むサーモウエル、窒素パー
ジ取り付け具、オーバーヘッドスターラー及び外部加熱
マントルを備えた2000mlガラス丸底フラスコに、
3−メチル−4−アセトキシスチレン(3−M−4−A
SM)200g,無水エタノール800g及び2,2’
−アゾビス(2−メチルプロパンンニトリル)開始剤8
.0gから成る反応混合物を加えた。この反応混合物を
反応器内に存在する酸素ガスを排除するための窒素パー
ジ下で5分間撹拌した。次に、この反応混合物をエタノ
ールの還流温度である約78℃に加熱した。2時間重合
した後に、エタノール約20gに溶解した2,2’−ア
ゾビス(2−メチルプロパンニトリル)2.0gを加え
た。次の4時間、2時間毎に、エタノール約20gに溶
解した2,2’−アゾビス(2−メチルプロパンニトリ
ル)2.0gを加えた。最後の開始剤添加の2時間後の
、毛管ガスクロマトグラフィーによる最終ポリマー混合
物サンプルの分析は3−メチルー4−アセトキシスチレ
ンからポリ(3−メチルー4−アセトキシスチレン)へ
の97.6重量%転化を示した。
【0070】トランスエステル化反応は反応混合物を冷
却せずに開始した;水中37%塩酸1.0gをエタノー
ル約20gと一緒にして、この組み合わせを反応混合物
に加えた。混合物の色が白から透明に変わるまで反応混
合物を反応させ、この時点でエチルアセテート/エタノ
ール約250gを蒸留物として除去し、新鮮なエタノー
ル約250gを加えた。トランスエステル化を約7時間
進行させ、この時点で透明な反応混合物を冷却し、脱イ
オン水中で沈殿させ、沈殿物を濾過によって単離し、沈
殿物(本質的にポリ(3−メチルー4−ヒドロキシスチ
レン))から酸を脱イオン水によって洗浄し、ポリ(3
−メチルー4−ヒドロキシスチレン)を約70℃の真空
炉中で、ポリ(4−ヒドロキシスチレン)中に残留する
水が2重量%未満になるまで乾燥した。ポリ(3−メチ
ルー4−ヒドロキシスチレン)のFTIR分析は約17
60cm−1における吸光度(アセトキシカルボニル吸
光度)の検出によって測定して、ポリ(3−メチルー4
−ヒドロキシスチレン)中に2.0重量%未満の3−メ
チルー4−アセトキシスチレンが残留することを示した
。 UV−VISスキャンは248nmにおける163lc
m−1m−1のモル吸光係数を示した。生成物は目視に
よって極めて白であった。
【0071】PHSを含むコポリマーを製造する本発明
の方法を以下の例61で説明する。例61は4−PHS
のホモポリマーンの製造について述べた同じ反応条件と
同じ反応物質を用いて実施した、但しこの場合にはコモ
ノマーをASM含有プレミックスに加えた。例61を以
下で特に詳述する。
【0072】例61 下記の方法に従って、4−アセトキシスチレンとメチル
メタクリレートとのコポリマーを製造し、ポリ(4−ヒ
ドロキシスチレンーメチルメタクリレート)にトランス
エステル化した。
【0073】冷水還流冷却管、熱電対を含むサーモウエ
ル、窒素パージ取り付け具、オーバーヘッドスターラー
及び外部加熱マントルを備えた500mlガラス丸底フ
ラスコに、4−アセトキシスチレン(4−ASM)62
.5g,メチルメタクリレート62.5g、メタノール
125g及び2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルペ
ンタンニトリル)開始剤1.5gから成る反応混合物を
加えた。この反応混合物を反応器内に存在する酸素ガス
を排除するための窒素パージ下で5分間撹拌した。次に
、この反応混合物を混合物の還流温度である約64℃に
加熱した。1時間重合した後に、メタノール約10gに
溶解した2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルペンタ
ンニトリル)0.3gを反応混合物に加えた。重合開始
から2時間後に、メタノール約10gに溶解した2,2
’−アゾビス(2,4−ジメチルペンタンニトリル)0
.5gを反応混合物に加えた。重合開始の3時間後に、
2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルペンタンニトリ
ル)0.65gを反応混合物に加えた。重合開始の4時
間後に、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルペンタ
ンニトリル)0.8gを反応混合物に加えた。最後の開
始剤添加から2時間後の毛管ガスクロマトグラフィーに
よる最終ポリマー混合物サンプルの分析は4−アセトキ
シスチレンとメチルメタクリレートからポリ(4−アセ
トキシスチレンーコーメチルメタクリレート)への98
.3重量%転化を示した。トランスエステル化反応は反
応混合物を冷却せずに開始した;水中37%塩酸0.3
gをメタノール約10gと一緒にして、この組み合わせ
を反応混合物に加えた。混合物の色が白から透明に変わ
るまで反応混合物を反応させ、この時点でメチルアセテ
ート/メタノール約150gを蒸留物として除去し、新
鮮なメタノール約150gを加えた。トランスエステル
化を約4時間進行させ、この時点で透明な反応混合物を
冷却し、脱イオン水中で沈殿させ、沈殿物を濾過によっ
て単離し、沈殿物(本質的にポリ(4−ヒドロキシスチ
レンーコーメチルメタクリレート))から酸を脱イオン
水によって洗浄し、ポリ(4−ヒドロキシスチレンーコ
ーメチルメタクリレート)(4−PHS/MMA)を約
70℃の真空炉中で、4−PHS/MMA中に残留する
水が2重量%未満になるまで乾燥した。4−PHS/M
MAのFTIR分析は4−PHS/MMA中に2.0重
量%未満の(4−アセトキシスチレン)基が残留するこ
とを示した。4−PHS/MMAの重量平均分子量はG
PCによって約22,000であった。UV−VISス
キャンは248nmにおける48  lcm−1m−1
のモル吸光係数を示した。生成物は目視によって白色で
あった。
【0074】例62 この例の目的は、グプタの米国特許第4,898,91
6号が開示している酸触媒メタノーリシスを用いて実施
したとしても、エルモア(Elmore)のヨーロッパ
特許出願第87307912.3号が述べているポリ(
4−ヒドロキシスチレン)の製造の同時重合/加水分解
方法が本発明の方法によって製造される生成物の低光学
密度(240〜260nm波長にわたる吸光度)特徴を
有さない反応生成物を形成することを実証することであ
る。
【0075】冷水還流冷却管、熱電対を含むサーモウエ
ル、窒素パージ取り付け具、オーバーヘッドスターラー
及び外部加熱マントルを備えた500mlガラス丸底フ
ラスコに、メタノール(MeOH)100gと37%H
Cl(MeOHと次に加える4−ASMとに基づいてH
Cl  0.5重量%)2.7gとを加えた。別に、4
−アセトキシスチレン(4−ASM)100gと2,2
’−アゾビス(2−メチルプロパンニトリル)を混合し
、氷浴中で低温に維持した。反応器から窒素以外のガス
を除去するために、メタノール/HCl混合物を窒素パ
ージ下で約5分間撹拌した。次に、メタノール/HCl
混合物の温度を約66℃(大気圧下でのメタノールの還
流温度)に加熱した。4−ASM/開始剤混合物をフラ
スコ反応器に3時間にわたって定期的に加えた。反応中
にメチルメタクリレート/メタノール110gが除去さ
れた。4−ASM/開始剤溶液の最初の添加時に、フラ
スコ反応器内の反応物質の温度は61.4℃に低下し、
メチルアセテートの形成を示した。メチルアセテートを
除去し、新鮮なメタノールを加えると、温度は64.5
℃に上昇し、反応を終点に近づけた。
【0076】毛管ガスクロマトグラフィーによる最終ポ
リマー混合物サンプルの分析は4−アセトキシスチレン
の99重量%転化を示した。
【0077】同時重合−加水分解反応の終了後に、反応
混合物を冷却し、脱イオン水中で沈殿させ、沈殿物を濾
過によって単離し、沈殿物から残留酸を脱イオン水によ
って洗浄し、反応生成物を約70℃の真空炉中で、反応
生成物中に残留する水が2重量%未満になるまで乾燥し
た。
【0078】反応生成物の沈殿部分のFTIR分析は沈
殿物がPHSを含み、約1.7重量%未満の4−アセト
キシスチレン基がPHS中に残留することを示した。反
応生成物のこのPHS部分の重量平均分子量は約200
0であった。この反応方法ではPHSが単離されない。 この反応方法では反応生成物のMwの制御も不可能であ
る。PHSのMwは制御されなかった、この理由の一部
はヒドロキシスチレンモノマー(HSM)が形成され、
フリーラジカル手段によってのみでなく、おそらくカチ
オン手段によっても重合するからである。
【0079】UV248での反応生成物のPHS部分の
モル吸光係数εは868と測定された(本発明の方法に
よって製造される生成物に望ましい250以下よりはる
かに大きい)。この高いεは明らかに、同時重合−加水
分解反応方法によるキノン又はその他の高吸光性種の形
成によるものである。
【0080】本発明の方法では、4−PHS(及びS−
4−PHS)を含むホモポリマートとコポリマーを最終
トランスエステル化反応媒質から沈殿によって単離した
。好ましい沈殿媒質は水であるが、PHSホモポリマー
とそのコポリマーとガ充分に不溶である例えばヘプタン
、ヘキサン、シクロヘキサンのような有機溶剤も用いる
ことができる。
【0081】沈殿媒質として水を用いる場合には、ポリ
マー/反応媒質混合物を流動する水に加えた。典型的に
室温において、水重量はポリマー/反応媒質混合物重量
の少なくとも8倍過剰であった。PHSホモポリマー又
はそのコポリマーは約50ミクロンより大きい粒度で沈
殿するので、水沈殿に好ましいアルコール反応媒質はメ
タノールである。高分子量アルコール反応媒質の使用は
約50ミクロンより小さいPHSホモポリマー(又はそ
のコポリンマー)の沈殿粒度を生ずるように思われる。 粒度が大きいほうが濾過しやすい。
【0082】本発明を4−ヒドロキシスチレン及び/又
は置換4−ヒドロキシスチレンのポリマーに関して説明
したが、特定の光学用途に高い性能を示すこれらポリマ
ーのさらに官能化も本発明の範囲に入ると考えられる。 例えば、これらのポリマーをフォトレジストのポリマー
成分として用いる場合には、化合物構造の4位置のヒド
ロキシ基をt−ブトキシカルボニル基によって置換する
ことが望ましいと判明している。ポリマーにおけるこの
t−ブトキシカルボニル基の存在は、フォトレジストに
達する画像形成光線(imaging  radiat
ion)に対するポリマーの感受性(sensitiv
ity)を改良する。フォトレジスト用途に用いるため
に、ヒドロキシ基をt−ブトキシ基によって置換するこ
とも公知である。本発明はディープUV、X線又はE−
ビーム  フォトレジスト物質として機能するために必
要な光学的要件(吸光性)を満たすポリマー化合物類(
及びそれらの製造方法)を提供する。さらに、所定用途
におけるこのポリマーの総合性能に不利な影響を与えな
い、この基礎ポリマー物質の官能化も本発明の範囲内に
入るものとする。
【0083】当業者による本発明の実施を可能にするた
めに、特定の反応条件、反応物質及び装置について上述
したが、当業者は本発明の明らかな拡大である変更及び
調節を行うことができると考えられる。本発明のこのよ
うな明らかな拡大又は同等物は、特許請求の範囲によっ
て定義される本発明の範囲に入るものである。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】  ポリ(4−ヒドロキシスチレン)又は
    置換ポリ(4−ヒドロキシスチレン)又は両方を含むポ
    リマーの製造方法であって、次の工程: (a)4−アセトキシスチレンモノマー又は置換4−ア
    セトキシスチレンモノマー又は両方と開始剤とを含む混
    合物であって、前記開始剤とその分解生成物が単独で又
    はポリマーキャッピング(polymer  capp
    ing)基として約240〜約260nmの範囲内の波
    長にわたって光線(radiation)を実質的に吸
    収しないか、又は前記開始剤が少なくとも1種の有機溶
    媒を含む反応媒質中に前記モノマーの約3モル%未満の
    濃度で存在する混合物を反応させて、ポリ(4−アセト
    キシスチレン)又は置換ポリ(4−アセトキシスチレン
    )又は両方を含むポリマーを製造し、それによってモノ
    マー転化の結果として又は残留モノマーの除去によって
    次のトランスエステル化工程に用いる反応混合物中に、
    製造されるポリマー重量を基準にして10重量%以下の
    残留モノマーが存在するようにする工程;及び(b)次
    に、非トランスエステル化ポリ(4−アセトキシスチレ
    ン)又は非トランスエステル化置換ポリ(4−アセトキ
    シスチレン)1当量につき少なくとも1当量のアルコー
    ルを含むトランスエステル化反応媒質中で、前記トラン
    スエステル化を実施するための酸触媒を用いて、前記ポ
    リ(4−アセトキシスチレン)をポリ(4−ヒドロキシ
    スチレン)にトランスエステル化する、又は前記置換ポ
    リ(4−アセトキシスチレン)を置換ポリ(4−ヒドロ
    キシスチレン)にトランスエステル化する、又は両方を
    トランスエステル化して、前記ポリ(4−アセトキシス
    チレン)からポリ(4−ヒドロキシスチレン)への少な
    くとも85重量%の転化又は前記置換ポリ(4−アセト
    キシスチレン)から置換ポリ(4−ヒドロキシスチレン
    )への少なくとも85重量%の転化又は両方の少なくと
    も85重量%の転化を得る工程を含む方法。 【請求項2】  C1〜C5アルコールが工程(a)の
    前記反応媒質の少なくとも大部分を占める請求項1記載
    の方法。 【請求項3】  工程(b)の前記トランスエステル化
    反応媒質が工程(a)に用いた反応媒質と本質的に同じ
    反応媒質であるか、又はその官能的同等物である請求項
    2記載の方法。 【請求項4】  次の付加的工程: (c)ポリ(4−ヒドロキシスチレン)を含む前記ポリ
    マー又は置換ポリ(4−ヒドロキシスチレン)を含む前
    記ポリマー又は両方を含むポリマーを前記トランスエス
    テル化反応媒質から単離する工程 を含む請求項1〜3のいずれかに記載の方法。 【請求項5】  前記反応混合物が置換4−アセトキシ
    スチレンモノマーを含み、前記4−アセトキシスチレン
    の環構造の3もしくは5位置、又は3と5位置に置換基
    が存在する請求項1〜3のいずれかに記載の方法。 【請求項6】  前記置換基がメチル又はエチルである
    請求項5記載の方法。 【請求項7】  前記開始剤が、2,2’−アゾビス(
    2,4−ジメチルペンタンニトリル)、2,2’−アゾ
    ビス(2−メチルプロパンニトリル)、2,2’−アゾ
    ビス(2−メチルブタンニトリル)、1,1’−アゾビ
    ス(シクロヘキサンカルボニトリル)、t−ブチルペル
    オキシー2−エチルヘキサノエート、t−ブチルペルオ
    キシピバレート、t−アミルペルオキシピバレート、ジ
    イソノナノイルペルオキシド、デカノイルペルオキシド
    、コハク酸ペルオキシド、ジ(n−プロピル)ペルオキ
    シジカルボネート、ジ(sec−ブチル)ペルオキシジ
    カルボネート、ジ(2−エチルーヘキシル)ペルオキシ
    ジカルボネート、t−ブチルペルオキシネオデカノエー
    ト、2,5−ジメチルー2,5−ジ(2−エチルヘキサ
    ノイルペルオキシ)ヘキサン、t−アミルペルオキシー
    ネオデカノエート、t−ブチルペルオキシーネオデコネ
    ート及びこれらの組み合わせから成る群から選択される
    請求項1〜3のいずれかに記載の方法。 【請求項8】  前記開始剤が2,2’−アゾビス(2
    ,4−ジメチルペンタンニトリル)、2,2’−アゾビ
    ス(2−メチルプロパンニトリル)、2,2’−アゾビ
    ス(2−メチルブタンニトリル)、1,1’−アゾビス
    (シクロヘキサンカルボニトリル)、t−ブチルペルオ
    キシピバレート、t−アミルペルオキシピバレート及び
    これらの組み合わせから成る群から選択される請求項7
    記載の方法。 【請求項9】  前記開始剤がベンゾイルペルオキシド
    、t−ブチルペルオキシベンゾエート及びジーt−ブチ
    ルジペルオキシフタレートから成る群から選択され、前
    記開始剤のモル%が前記モノマーの約3モル%未満であ
    る請求項1〜3のいずれかに記載の方法。 【請求項10】  前記アルコール反応媒質が炭素数1
    〜2のアルコール及びこれらの組み合わせから選択され
    る請求項1〜3のいずれかに記載の方法。 【請求項11】  前記酸触媒が前記ポリ(4−アセト
    キシスチレン)、前記置換ポリ(4−アセトキシスチレ
    ン)又は、これらから製造された前記ポリ(4−ヒドロ
    キシスチレン)もしくは前記置換ポリ(4−ヒドロキシ
    スチレン)と実質的に反応しない請求項11記載の方法
    。 【請求項12】  前記酸触媒が塩酸、リン酸、硝酸、
    硫酸、メタンスルホン酸及びトルエンスルホン酸から成
    る群から選択される請求項11記載の方法。 【請求項13】  前記開始剤を工程(a)中に定期的
    に又は連続的に加え、それによって前記4−アセトキシ
    スチレンモノマー又は前記置換4−アセトキシスチレン
    モノマーの少なくとも90重量%転化を達成する請求項
    1〜3のいずれかに記載の方法。 【請求項14】  前記開始剤が前記反応の実施温度に
    おいて約0.5〜約10時間の範囲内の半減期を有する
    請求項1〜3のいずれかに記載の方法。 【請求項15】  前記開始剤が前記反応の実施温度に
    おいて約0.5〜約10時間の範囲内の半減期を有する
    請求項13記載の方法。 【請求項16】  前記アルコール反応媒質が炭素数3
    〜5のアルコールから成る群から選択され、付加的アル
    コールが工程(b)中に加えられ、前記付加的アルコー
    ルが炭素数1〜2のアルコール又はこれらの組み合わせ
    から成る群から選択される請求項2又は3記載の方法。 【請求項17】  前記工程(c)の単離を前記反応媒
    質からの前記ポリ(4−ヒドロキシスチレン)又は前記
    置換ポリ(4−ヒドロキシスチレン)の沈殿によって達
    成される請求項4記載の方法。 【請求項18】  前記沈殿を工程(b)の反応混合物
    を流動する水に加えることによって実施する請求項17
    記載の方法。 【請求項19】  前記ポリ(4−ヒドロキシスチレン
    )又は前記置換ポリ(4−ヒドロキシスチレン)の沈殿
    物を処理して、残留酸を除去する請求項18記載の方法
    。 【請求項20】  前記反応混合物中の前記ポリ(4−
    ヒドロキシスチレン)又は前記置換ポリ(4−ヒドロキ
    シスチレン)の量が約10重量%〜約30重量%の範囲
    内である請求項1〜3のいずれかに記載の方法。 【請求項21】  ポリ(4−ヒドロキシスチレン)又
    は置換ポリ(4−ヒドロキシスチレン)又は両方を含む
    ポリマーの製造方法であって、次の工程:(a)4−ア
    セトキシスチレンモノマー又は置換4−アセトキシスチ
    レンモノマー又は両方と、約240〜約260nmの範
    囲内の波長にわたって光線を実質的に吸収しない、少な
    くとも1個のビニル基が存在するコモノマーと、開始剤
    とを含む混合物であって、前記開始剤とその分解生成物
    が単独で又はポリマーキャッピング基として約240〜
    約260nmの範囲内の波長にわたって光線を実質的に
    吸収しないか、又は前記開始剤が少なくとも1種の有機
    溶媒を含む反応媒質中に前記モノマーの約3モル%未満
    の濃度で存在する混合物を反応させて、ポリ(4−アセ
    トキシスチレン)又は置換ポリ(4−アセトキシスチレ
    ン)と前記コモノマーとのコポリマーを製造し、それに
    よってモノマー転化の結果として又は残留モノマーの除
    去によって次のトランスエステル化反応工程中の反応混
    合物中に、製造されるポリマー重量を基準にして10重
    量%以下の残留モノマーが存在するようにする工程;及
    び (b)次に、非トランスエステル化コポリマー1当量に
    つき少なくとも1当量のアルコールを含むトランスエス
    テル化反応媒質中で、前記トランスエステル化を実施す
    るための酸触媒を用いて、少なくとも85重量%の転化
    率まで前記ポリ(4−アセトキシスチレン)をポリ(4
    −ヒドロキシスチレン)にトランスエステル化する、又
    は前記置換ポリ(4−アセトキシスチレン)を置換ポリ
    (4−ヒドロキシスチレン)にトランスエステル化する
    、又は両方をトランスエステル化する工程を含む方法。 【請求項22】  次の付加的工程: (c)ポリ(4−ヒドロキシスチレン)又は置換ポリ(
    4−ヒドロキシスチレン)又は両方を含む前記ポリマー
    を前記反応媒質から単離する工程 を含む請求項21のいずれかに記載の方法。 【請求項23】  前記反応混合物が置換4−アセトキ
    シスチレンモノマーを含み、前記4−アセトキシスチレ
    ンの環構造の3もしくは5位置、又は3と5位置に置換
    基が存在する請求項21又は22記載の方法。 【請求項24】  前記置換基がメチル又はエチルであ
    る請求項23記載の方法。 【請求項25】  前記開始剤が、2,2’−アゾビス
    (2,4−ジメチルペンタンニトリル)、2,2’−ア
    ゾビス(2−メチルプロパンニトリル)、2,2’−ア
    ゾビス(2−メチルブタンニトリル)、1,1’−アゾ
    ビス(シクロヘキサンカルボニトリル)、t−ブチルペ
    ルオキシー2−エチルヘキサノエート、t−ブチルペル
    オキシピバレート、t−アミルペルオキシピバレート、
    ジイソノナノイルペルオキシド、デカノイルペルオキシ
    ド、コハク酸ペルオキシド、ジ(n−プロピル)ペルオ
    キシジカルボネート、ジ(sec−ブチル)ペルオキシ
    ジカルボネート、ジ(2−エチルーヘキシル)ペルオキ
    シジカルボネート、t−ブチルペルオキシネオデカノエ
    ート、2,5−ジメチルー2,5−ジ(2−エチルヘキ
    サノイルペルオキシ)ヘキサン、t−アミルペルオキシ
    ーネオデカノエート、t−ブチルペルオキシーネオデコ
    ネート及びこれらの組み合わせから成る群から選択され
    る請求項21又は22記載の方法。 【請求項26】  前記開始剤が2,2’−アゾビス(
    2,4−ジメチルペンタンニトリル)、2,2’−アゾ
    ビス(2−メチルプロパンニトリル)、2,2’−アゾ
    ビス(2−メチルブタンニトリル)、1,1’−アゾビ
    ス(シクロヘキサンカルボニトリル)、t−ブチルペル
    オキシピバレート、t−アミルペルオキシピバレート及
    びこれらの組み合わせから成る群から選択される請求項
    25記載の方法。 【請求項27】  前記開始剤がベンゾイルペルオキシ
    ド、t−ブチルペルオキシベンゾエート及びジーt−ブ
    チルジペルオキシフタレートから成る群から選択され、
    前記開始剤のモル%が前記モノマーの約3モル%未満で
    ある請求項21又は22記載の方法。 【請求項28】  工程(a)の前記反応媒質が炭素数
    1〜5のアルコール及びこれらの組み合わせから成る群
    から選択される請求項21又は22記載の方法。 【請求項29】  工程(b)の前記トランスエステル
    化反応媒質が工程(a)に用いた反応媒質と本質的に同
    じ反応媒質であるか、又はその官能的同等物である請求
    項28記載の方法。 【請求項30】  前記アルコール反応媒質がメタノー
    ル、エタノール及びこれらの組み合わせから成る群から
    選択される請求項29記載の方法。 【請求項31】  前記酸触媒が前記ポリ(4−アセト
    キシスチレン)もしくは前記置換ポリ(4−アセトキシ
    スチレン)、前記コモノマーのポリマー、前記ポリ(4
    −ヒドロキシスチレン)もしくは前記置換ポリ(4−ヒ
    ドロキシスチレン)、又は前記コモノマーの如何なるト
    ランスエステル化形とも実質的に反応しない請求項21
    又は22記載の方法。 【請求項32】  前記開始剤を工程(a)中に定期的
    に又は連続的に加え、それによって前記4−アセトキシ
    スチレンモノマー又は前記置換4−アセトキシスチレン
    モノマーと前記コモノマーとの組み合わせに関して少な
    くとも90重量%の転化が達成される請求項21又は2
    2記載の方法。 【請求項33】  前記アルコール反応媒質が炭素数3
    〜5のアルコールから選択され、付加的アルコールが工
    程(b)中に加えられ、前記付加的アルコールが炭素数
    1〜2のアルコール又はこれらの組み合わせから成る群
    から選択される請求項28記載の方法。 【請求項34】  前記工程(c)の単離が前記反応媒
    質からの前記ポリ(4−ヒドロキシスチレン)又は前記
    置換ポリ(4−ヒドロキシスチレン)又は両方を含む前
    記ポリマーの沈殿によって達成される請求項4記載の方
    法。 【請求項35】  前記ポリマーの沈殿物を処理して、
    残留酸を除去する請求項34記載の方法。 【請求項36】  工程(a)の前記4−アセトキシス
    チレンモノマー又は前記置換4−アセトキシモノマー又
    は両方が、約240〜約260nmの範囲内の波長にわ
    たって光線を実質的に吸収する抑制剤(inhibit
    or)を含まない請求項1〜3のいずれかに記載の方法
    。 【請求項37】  工程(a)の前記4−アセトキシス
    チレンモノマー又は前記置換4−アセトキシモノマー又
    は両方と前記コモノマーが、約240〜約260nmの
    範囲内の波長にわたって光線を実質的に吸収する抑制剤
    (inhibitor)を含まない請求項21又は22
    記載の方法。 【請求項38】  ポリ(4−ヒドロキシスチレン)と
    置換ポリ(4−ヒドロキシスチレン)とのコポリマーの
    製造方法であって、次の工程: (a)4−アセトキシスチレンモノマー、置換4−アセ
    トキシスチレンモノマーと開始剤とを含む混合物であっ
    て、前記開始剤とその分解生成物が単独で又はポリマー
    キャッピング基として約240〜約260nmの範囲内
    の波長にわたって光線を実質的に吸収しないか、又は前
    記開始剤が少なくとも1種のアルコールを含む反応媒質
    中に前記モノマーの約3モル%未満の濃度で存在する混
    合物を反応させて、ポリ(4−アセトキシスチレン)と
    置換ポリ(4−アセトキシスチレン)とのコポリマーを
    製造し、前記4−アセトキシスチレンモノマーと前記置
    換4−アセトキシスチレンモノマーとの組み合わせの9
    0重量%転化を達成する工程;及び (b)次に、実質的に工程(a)の前記反応媒質中で、
    前記トランスエステル化を実施するための酸触媒を用い
    て、前記ポリ(4−アセトキシスチレン)と前記置換ポ
    リ(4−アセトキシスチレン)とをポリ(4−ヒドロキ
    シスチレン)と置換ポリ(4−ヒドロキシスチレン)に
    トランスエステル化し、前記ポリ(4−アセトキシスチ
    レン)からポリ(4−ヒドロキシスチレン)への及び前
    記置換ポリ(4−アセトキシスチレン)から置換ポリ(
    4−ヒドロキシスチレン)への少なくとも85重量%の
    転化を達成する工程 を含む方法。 【請求項39】  次の付加的工程: (c)前記コポリマーを前記反応媒質から単離する工程
    を含む請求項38記載の方法。 【請求項40】  前記置換4−アセトキシスチレンモ
    ノマーが環構造の3もしくは5位置、又は3と5位置で
    置換している請求項38又は39記載の方法【請求項4
    1】  前記置換基がメチル又はエチルである請求項4
    0記載の方法。 【請求項42】  前記開始剤が、2,2’−アゾビス
    (2,4−ジメチルペンタンニトリル)、2,2’−ア
    ゾビス(2−メチルプロパンニトリル)、2,2’−ア
    ゾビス(2−メチルブタンニトリル)、1,1’−アゾ
    ビス(シクロヘキサンカルボニトリル)、t−ブチルペ
    ルオキシー2−エチルヘキサノエート、t−ブチルペル
    オキシピバレート、t−アミルペルオキシピバレート、
    ジイソノナノイルペルオキシド、デカノイルペルオキシ
    ド、コハク酸ペルオキシド、ジ(n−プロピル)ペルオ
    キシジカルボネート、ジ(sec−ブチル)ペルオキシ
    ジカルボネート、ジ(2−エチルーヘキシル)ペルオキ
    シジカルボネート、t−ブチルペルオキシネオデカノエ
    ート、2,5−ジメチルー2,5−ジ(2−エチルヘキ
    サノイルペルオキシ)ヘキサン、t−アミルペルオキシ
    ーネオデカノエート、t−ブチルペルオキシーネオデコ
    ネート及びこれらの組み合わせから成る群から選択され
    る請求項38又は39記載の方法。 【請求項43】  前記開始剤が2,2’−アゾビス(
    2,4−ジメチルペンタンニトリル)、2,2’−アゾ
    ビス(2−メチルプロパンニトリル)、  2,2’−
    アゾビス(2−メチルブタンニトリル)、1,1’−ア
    ゾビス(シクロヘキサンカルボニトリル)、t−ブチル
    ペルオキシピバレート、t−アミルペルオキシピバレー
    ト及びこれらの組み合わせから成る群から選択される請
    求項42記載の方法。 【請求項44】  前記開始剤がベンゾイルペルオキシ
    ド、t−ブチルペルオキシベンゾエート及びジーt−ブ
    チルジペルオキシフタレートから成る群から選択され、
    前記開始剤のモル%が前記モノマーの約3モル%未満で
    ある請求項38又は39記載の方法。 【請求項45】  前記アルコール反応媒質が炭素数1
    〜5のアルコール及びこれらの組み合わせから成る群か
    ら選択される請求項38又は39記載の方法。 【請求項46】  前記開始剤を工程(a)中に定期的
    又は連続的に加え、それによって前記4−アセトキシス
    チレンモノマーと前記置換4−アセトキシスチレンモノ
    マーとの組み合わせの少なくとも90重量%の転化を達
    成する請求項38又は39記載の方法。 【請求項47】  前記工程(c)の単離が前記反応媒
    質からの前記コポリマーの沈殿によって達成される請求
    項39記載の方法。 【請求項48】  前記コポリマーの沈殿物を処理して
    、残留酸を除去する請求項47記載の方法。 【請求項49】  工程(a)の前記4−アセトキシス
    チレンモノマーと前記置換4−アセトキシスチレンモノ
    マーとが約240〜約260nmの範囲内の波長にわた
    って光線を実質的に吸収する抑制剤を含まない請求項3
    8記載の方法。 【請求項50】  前記工程(a)のモノマーからポリ
    マーへの転化が90重量%未満であるが、前記工程(b
    )のトランスエステル化の前に工程(a)の前記反応媒
    質を前記ポリマーから実質的にデカントして、新鮮で清
    浄なアルコール反応媒質を補充する請求項1、21又は
    38のいずれかに記載の方法。 【請求項51】  C1〜C5アルコールが工程(a)
    の前記反応媒質の少なくとも大部分を占め、前記補充ア
    ルコール反応媒質が工程(a)で用いた反応媒質と本質
    的に同じアルコール反応媒質であるか又はその官能的同
    等物である請求項50記載の方法。 【請求項52】  前記補充アルコール反応媒質が工程
    (a)で用いた反応媒質とは本質的に異なる種類のアル
    コール反応媒質である請求項50記載の方法。 【請求項53】  前記補充アルコール反応媒質が炭素
    数1〜5のアルコールから選択される少なくとも1種の
    アルコールを含む請求項50記載の方法。 【請求項54】  前記補充アルコール反応媒質が炭素
    数1〜5のアルコールから選択される少なくとも1種の
    アルコールを含む請求項50記載の方法。 【請求項55】  約250nmの波長において250
    以下のモル吸光係数を有する4−ヒドロキシスチレンを
    含むポリマーであって、約2.5重量%未満の残留4−
    ヒドロキシスチレンモノマー又はその誘導体残渣を含む
    ポリマー。 【請求項56】  約2.5重量%未満のポリ4−アセ
    トキシスチレンを含む請求項55記載の方法。 【請求項57】  約250nmの波長において250
    以下のモル吸光係数を有する4−ヒドロキシスチレンを
    含むポリマーであって、約0.7重量%未満の4−ヒド
    ロキシスチレンモノマー又はその誘導体残渣と、約13
    重量%未満のポリ(4−アセトキシスチレン)とを含む
    ポリマー。 【請求項58】  ヒドロキシ官能基の少なくとも一部
    をt−ブチルカルボニルオキシ官能基に取り替えること
    によってさらに官能化された請求項55又は57記載の
    ポリマー。 【請求項59】  ヒドロキシ官能基の少なくとも一部
    をt−ブトキシ官能基に取り替えることによってさらに
    官能化された請求項55又は57記載のポリマー。
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