DE69017189T2 - Piezoelektrische keramische zusammensetzung für betätiger. - Google Patents

Piezoelektrische keramische zusammensetzung für betätiger.

Info

Publication number
DE69017189T2
DE69017189T2 DE69017189T DE69017189T DE69017189T2 DE 69017189 T2 DE69017189 T2 DE 69017189T2 DE 69017189 T DE69017189 T DE 69017189T DE 69017189 T DE69017189 T DE 69017189T DE 69017189 T2 DE69017189 T2 DE 69017189T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
ceramic composition
piezoelectric ceramic
composition
piezoelectric
antimony
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69017189T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69017189D1 (de
Inventor
Yukio - - Chida
Tetsuhiko - - Nishimura
Yasuo - - Oguri
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Chemical Corp
Original Assignee
Mitsubishi Chemical Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=17069996&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE69017189(T2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Mitsubishi Chemical Corp filed Critical Mitsubishi Chemical Corp
Application granted granted Critical
Publication of DE69017189D1 publication Critical patent/DE69017189D1/de
Publication of DE69017189T2 publication Critical patent/DE69017189T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/85Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/48Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
    • C04B35/49Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates
    • C04B35/491Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates based on lead zirconates and lead titanates, e.g. PZT
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/85Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/853Ceramic compositions

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Description

    Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine piezoelektrische keramische Zusammensetzung für ein Stellglied (Betätiger).
  • Das Stellglied verwendet hierbei einen reziproken piezoelektrischen Umkehreffekt, d.h. eine umgekehrte Wirkung von elektrischer Energie zu mechanischer Energie. Es erzeugt durch Anwenden einer Spannung, akkurat eine feine Verschiebung im Mikron- oder Submikronbereich. Es wurde in den letzten Jahren in rascher Weise zur Anwendung bei der genauen Steuerung des Klanges niederfrequenter Schallerzeuger oder der Fließgeschwindigkeit einer Pumpe oder bei einem Ventil, Eigennachführung oder Autofokussierung eines Videomagnetkopfes, genauen Positionierung eines mechanischen Schneidewerkzeuges im Submikronbereich und mikroskopischen Positionierungsvorrichtungen zur Herstellung von Halbleitern weiterentwickelt.
  • Technischer Hintergrund
  • Es ist bekannt, daß als piezoelektrisches Material für ein Stellglied, eine keramische Bleizirkonattitanatzusammensetzung (PZT) ausgezeichnete piezoelektrische Eigenschaften aufweist. Zahlreiche Verbesserungen wurden in Abhängigkeit von der Verwendung ausgeführt. Die Eigenschaften des piezoelektrischen Materials für ein Stellglied wurden beispielsweise durch ein Verfahren verbessert, bei dem ein Teil des Bleizirkonattitanats durch zweiwertige Ionen, wie Ba²&spplus;, Sr²&spplus; oder Ca²&spplus; (vgl. beispielsweise JP-A-61-91062) oder dreiwertige Ionen, wie Bi³&spplus; oder La³&spplus;, (vgl. beispielsweise JP-A- 62 154 681) ersetzt wird, ein Verfahren, wobei ein Oxid, wie NiO, Nb&sub2;O&sub5;, MnO&sub2; oder Cr&sub2;O&sub3; zugegeben wird und ein Verfahren, bei dem eine feste Lösung mit Kompositperovskit, wie Pb(Zn1/3 Nb2/3)O&sub3;, Pb(Co1/3Nb2/3)O&sub3; oder Pb(Ni1/3Nb2/3)0&sub3; synthetisiert wird. Die piezoelektrischen Stellglieder zur Steuerung feiner Verschiebung mit einer Genauigkeit im Mikron- oder Submikronbereich schließen einen unimorphen Typ, einen bimorphen Typ und einen Laminattyp ein. Von derartigen piezoelektrischen Stellgliedern wird gefordert, daß sie als eine ihrer Eigenschaften eine hohe piezoelektrische Verformungskonstante aufweisen (beispielsweise eine piezoelektrische Verformungskonstante in Querbetriebsweise: d&sub3;&sub1; > 300 x 10&supmin;¹² m/V) und einen hohen Curiepunkt (Tc > 150ºC)
  • Im Fall eines Materials mit einer hohen piezoelektrischen Verformungskonstante ist im allgemeinen der Curiepunkt gering. Im Fall eines Materials mit einer hohen piezoelektrischen Verformungskonstante, wobei die piezoelektrische Verformungskonstante in Querbetriebsweise (d&sub3;&sub1;) 300 x 10&supmin;¹² m/V übersteigt kann der Curiepunkt beispielsweise weniger als etwa 100ºC sein und die obere Grenze für die Betriebstemperatur des Gliedes ist auf 50ºC bis 60ºC beschränkt wodurch die Anwendung des Gliedes in der Praxis eingeschränkt ist. Im Falle eines Materials mit einem hohen Curiepunkt kann die piezoelektrische Verformungskonstante gering werden, jedoch sind hohe Spannungen zum Stellen des Gliedes erforderlich. Aus diesem Grunde war es erwünscht, ein Material mit einer hohen piezoelektrischen Verformungskonstante zu entwickeln, wobei die piezoelektrische Verformungskonstante in Querbetriebsweise (d&sub3;&sub1;) 300 x 10&supmin;¹² m/V übersteigt und einen hohen Curiepunkt (beispielsweise Tc > 150ºC) aufweist.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Die Autoren der vorliegenden Erfindung versuchten im einzelnen die Lösung vorstehend genannter Nachteile und fanden im Ergebnis, daß eine keramische Zusammensetzung mit einer speziellen Zusammensetzung einen hohen elektromechanischen Kopplungsfaktor, eine hohe piezoelektrische Verformungskonstante und auch einen hohen Curiepunkt aufweist und erstellten die vorliegende Erfindung.
  • Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist eine piezoelektrische keramische Zusammensetzung für ein Stellglied, nämlich eine keramische Zusammensetzung, umfassend Blei, Lanthan, Zirkon, Titan, Antimon und Sauerstoffatome, die eine Hauptkomponente, wiedergegeben durch die Formel (I)
  • Pb(1-x)Lax[ZryTi(1-y)] (1-x/4)0&sub3; .....(I),
  • worin 0 < x < 0,08 und 0,50 < y < 0,65 ist und als Unterkomponente Antimon in einer Menge von weniger als 3,0 Gew.-% in Form von Antimonpentoxid (Sb&sub2;O&sub5;), bezogen auf die Hauptkomponente, enthält.
  • Beste Ausführungsform der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung wird nun im einzelnen nachstehend beschrieben.
  • Die erfindungsgemäße piezoelektrische keramische Zusammensetzung hat eine sehr hohe piezoelektrische Verformungskonstante und einen hohen Curiepunkt. Insbesondere weist die Zusammensetzung um die Phasengrenze (MPB = morphotrope Phasengrenze) der Perovskitkristalle innerhalb eines Bereiches von 0,05 &le; x &le; 0,07 in der vorstehenden Formel (I) eine piezoelektrische Verformungskonstante in Querbetriebsweise (d&sub3;&sub1;) auf, die 300 x 10&supmin;¹² m/V übersteigt und weist auch einen Curiepunkt (Tc) von nicht weniger als 150ºC auf. Eine solche Zusammensetzung kann die vorstehend genannten Nachteile überwinden und sie ist sehr bevorzugt als Material für ein piezoelektrisches Stellglied.
  • In Formel (I) beträgt ein bevorzugter Bereich als erfindungsgemäße Zusammensetzung 0,02 &le; x &le; 0,07, insbesondere 0,05 &le; x &le; 0,07 und 0,52 &le; y &le; 0,60, insbesondere bevorzugt 0,56 &le; y &le; 0,60. Die Menge an Sb&sub2;O&sub5; beträgt vorzugsweise 0,5 bis 2,5 Gew.-%, insbesondere vorzugsweise 0,5 bis 1,0 Gew.-%.
  • Außerdem ist eine Zusammensetzung, die 0,05 &le; x &le; 0,07 und 0,56 &le; y &le; 0,60 in Formel (I) genügt, mit einer Menge an Sb&sub2;O&sub5; von 0,5 bis 1,0 Gew.-% bevorzugt, da sie eine piezoelektrische keramische Zusammensetzung für ein Stellglied bereitstellt, deren piezoelektrische Verformungskonstante in Querbetriebsweise (d&sub3;&sub1;) 300 x 10&supmin;¹² m/V übersteigt. Insbesondere stellt eine Zusammensetzung, die 0,05 &le; x &le; 0,06 und 0,56 &le; y &le; 0,58 genügt und mit einer Menge an Sb&sub2;O&sub5; von 0,5 bis 1,0 Gew.-% einen Wert für die piezoelektrische Verformungskonstante in Querbetriebsweise (d&sub3;&sub1;) bereit, der 300 x 10&supmin;¹² m/V übersteigt und stellt eine piezoelektrische keramische Zusammensetzung für ein Stellglied bereit, deren Curiepunkt (Tc) nicht weniger als 200ºC beträgt. Ebenfalls stellt eine Zusammensetzung, die 0,06 &le; x &le; 0,07 und 0,58 &le; y &le; 0,60 genügt und mit einer Menge von Sb&sub2;O&sub5; von 0,5 bis 1,0 Gew.-% eine piezoelektrische keramische Zusammensetzung für ein Stellglied bereit, die eine piezoelektrische Verformungskonstante in Querbetriebsweise (d&sub3;&sub1;) bereitstellt, die 370 x 10&supmin;¹² m/V übersteigt. Der Proportionalbereich der Zusammensetzung kann in Abhängigkeit von den betreffenden zur Verwendung vorgesehenen Gegenständen bestimmt werden.
  • Darunter haben eine Zusammensetzung, bei der x = 0,05 und y = 0,57 in der Formel (I) beträgt und die Menge von Sb&sub2;O&sub5; 1,0 Gew.-% beträgt, eine Zusammensetzung, bei der x = 0,05 und y = 0,56 beträgt und die Menge an Sb&sub2;O&sub5; 1,0 Gew.-% beträgt und eine Zusammensetzung, bei der x = 0,06 und y = 0,58 und die Menge an Sb&sub2;O&sub5; 0,5 Gew.-% beträgt (Beispiele 5, 6 und 7) , eine piezoelektrische Verformungskonstante in Querbetriebsweise (d&sub3;&sub1;) , die 300 x 10&supmin;¹² m/V übersteigt und Curiepunkte (Tc) von nicht weniger als 200ºC und haben somit einen Vorteil, indem sie über einen breiten Temperaturbereich als Material für ein piezoelektrisches Stellglied verwendet werden können. Außerdem weisen eine Zusammensetzung, bei der x = 0,06 und y = 0,58 beträgt und die Menge an Sb&sub2;O&sub5; 1,0 Gew.-% ausmacht und eine Zusammensetzung, bei der x = 0,07, y = 0,60 und die Menge an Sb&sub2;O&sub5; 0,5 Gew.-% beträgt (Beispiele 8 und 9) , piezoelektrische Verformungskonstanten in Querbetriebsweise (d&sub3;&sub1;) auf, die 370 x 10&supmin;¹² m/V übersteigen und Curiepunkte (Tc), die 150ºC übersteigen und sie sind daher als Material für ein piezoelektrisches Stellglied ausgezeichnet geeignet.
  • Wenn x nicht weniger als 0,08 in Formel (I) beträgt, der Curiepunkt (Tc) nicht mehr als 150ºC beträgt und die piezoelektrische Verformungskonstante in Querbetriebsweise (d&sub3;&sub1;) so gering ist, daß sie durch Resonanz-Antiresonanz-Verfahren nicht bestimmt werden kann, ist eine solche Zusammensetzung als Material für ein piezoelektrisches Stellglied nicht geeignet. Auch im Fall, wenn y nicht mehr als 0,50 beträgt und wenn y nicht weniger als 0,65 beträgt weicht das Zr/Ti-Verhältnis von der Phasengrenze des Perovskitkristalls im großen Ausmaß ab und die piezoelektrische Verformungskonstante in Querbetriebsweise (d&sub3;&sub1;) kann gering werden. In dein Fall, wenn eine Menge von Sb mit weniger als 3,0 Gew.-% in Form von Sb&sub2;O&sub5; (Vergleichsbeispiel 5) eingesetzt wird, ist eine pirochlore Phase sowie eine Perovskitphase in einem Sintermaterial eingeschlossen, wodurch die piezoelektrische Verformungskonstante in Querbetriebsweise (d&sub3;&sub1;) gering werden kann und somit unerwünscht ist.
  • Die erfindungsgemäße piezoelektrische keramische Zusammensetzung kann beispielsweise durch Auswägen pulverförmiger Oxidmaterialien unter Bereitstellung einer vorbestimmten Mischzusammensetzung, Naßvermischen in einer Kugelmühle, Calcinieren, Vermahlen, Sintern bei 1100ºC bis 1300ºC erhalten werden.
  • Die zusätzliche Antimonmenge wird durch eine Menge in Form von Sb&sub2;O&sub5; wiedergegeben, jedoch kann Antimon unter Verwendung von Antimonverbindungen, wie Antimontrioxid (Sb&sub2;O&sub3;) in der entsprechenden Menge, die von Sb&sub2;O&sub5; verschieden ist, eingesetzt werden.
  • Die Erfindung wird nun im einzelnen mit Bezug auf die Beispiele erläutert. Es sollte jedoch selbstverständlich sein, daß die vorliegende Erfindung in keiner Weise auf die Beispiele eingeschränkt ist, solange nicht über den Gegenstand der Erfindung hinausgegangdn wird.
  • Beispiele 1 bis 9 und Vergleichsbeispiele 1 bis 6 PbO, La&sub2;O&sub3;, ZrO&sub2; und TiO&sub2;, die hoch reine Oxidausgangsinaterialien darstellen, jeweils mit einer Reinheit von nicht weniger als 99,9 %, werden in den in Tabelle 1 ausgewiesenen Verhältnissen eingewogen und Sb&sub2;O&sub5; wird in einer Menge wie in Tabelle 1 gezeigt, relativ zu der Hauptkomponente eingewogen. Die Werte von x und y in Formel (I) sind in Tabelle 1 dargestellt. Diese Ausgangsmaterialien werden für 24 Stunden mit einer Kugelmühle naßvermischt. Nach Trocknen und Formbehandlungen wurde Calcinieren für 2 Stunden bei 900ºC ausgeführt und anschließend Vermahlen in einem Mörser, gefolgt von Naßvermahlen, wiederum für 24 Stunden mit Hilfe einer Kugelmühle ausgeführt. Danach wurde das so erhaltene Pulver hydrostatisch Druckformen durch ein Kautschukdruckverformen unterzogen, Sintern wurde bei 1200ºC in einer Bleiatmosphäre ausgeführt. Das erhaltene gesinterte Material wurde zu einer scheibenähnlichen oder stabähnlichen Form mit Hilfe einer Abstechdrehinaschine verarbeitet und dann Siebdruck mit Silberpaste und Aufbrennen von Elektroden bei 550ºC unterzogen. Polarisationsbehandlung wurde in Siliconöl bei einer Temperatur von 80 bis 110ºC unter einer elektrischen Felddichte von 2,0 bis 3,0 kV/mm für 5 bis 20 Stunden ausgeführt. Nach einem Tag wurden die betreffenden piezoelektrischen Eigenschaften einer dielektrischen Konstante (&epsi;&sub3;&sub3;T/&epsi;&sub0;) bei 1 kHz, der dielektrische Verlust (tan 5) bei 1 kHz, der elektromechanische Kopplungsfaktor in Querbetriebsweise (K&sub3;&sub1;), die elastische Nachgiebigkeit (S&sub1;&sub1;E) und die piezoelektrische Verformungskonstante in Querbetriebsweise (d&sub3;&sub1;) mit Hilfe eines Vector Impedance Analyzers durch ein Resonanz-Antiresonanz-Verfahren gemessen. Der Curiepunkt (Tc) wurde ebenfalls durch Messen der thermischen Eigenschaften einer relativen dielektrischen Konstante und Bestimmung des Maximums der relativen dielektrischen Konstante gemessen. Die Ergebnisse der Messungen sind in Tabelle 2 dargestellt. Tabelle 1 Ausgangsstoffe für die Hauptkomoponente (Molfraktion) Sb&sub2;O&sub5;-Menge (Gew.-%) Beispiel Vergleichsbeispiel Tabelle 2 Sinterdichte (g/cm³) Beispiel Vergleichsbeispiel Messung wurde nicht ausgeführt aufgrund Vorliegens einer pirochloren Phase. Kein Resonanzpeak
  • Industrielle Anwendbarkeit
  • Die durch vorliegende Erfindung erhaltene piezoelektrische keramische Zusammensetzung weist einen hohen elektromechanischen Kopplungsfaktor, eine hohe piezoelektrische Verformungskonstante und einen hohen Curiepunkt auf und ist insbesondere ausgezeichnet geeignet als Material für ein piezoelektrisches Stellglied. Somit ist der Beitrag der vorliegenden Erfindung für industrielle Anwendung sehr groß.

Claims (8)

1. Piezoelektrische keramische Zusammensetzung für ein Stellglied, nämlich eine keramische Zusammensetzung, umfassend Blei-, Lanthan-, Zirkonium-, Titan-, Antimon- und Sauerstoffatome, die eine Hauptkomponente wiedergegeben durch die Formel:
Pb(1-x) Lax[ZryTi(1-y)] (1-x/4)0&sub3; '
worin 0 < x < 0,08 und 0,50 < y < 0,65 ist und als eine Unterkomponente Antimon in einer Menge von weniger als 3,0 Gew.-% in Form von Antimonpentoxid, bezogen auf die Hauptkomponente, enthält.
2. Piezoelektrische keramische Zusammensetzung für ein Stellglied nach Anspruch 1, wobei in der Formel x und y 0,02 &le; x &le; 0,07 und 0,52 &le; y &le; 0,60 sind.
3. Piezoelektrische keramische Zusammensetzung für ein Stellglied nach Anspruch 1, wobei die Zusammensetzung Antimon in einer Menge von 0,5 bis 2,5 Gew.-% in Form von Antimonpentoxid, bezogen auf die Hauptkomponente, enthält.
4. Piezoelektrische keramische Zusammensetzung für ein Stellglied nach Anspruch 1, wobei in der Formel x und y 0,05 &le; x &le; 0,07 und 0,56 &le; y &le; 0,60 sind.
5. Piezoelektrische keramische Zusammensetzung für ein Stellglied nach Anspruch 1, wobei die Zusammensetzung Antimon in einer Menge von 0,5 bis 1,0 Gew.-% in Form von Antimonpentoxid, bezogen auf die Hauptkomponente, enthält.
6. Piezoelektrische keramische Zusammensetzung für ein Stellglied nach Anspruch 1, wobei in der Formel x und y 0,02 &le; x &le; 0,07 und 0,52 &le; y &le; 0,60 sind und die Zusammensetzung Antimon in einer Menge von 0,5 bis 1,0 Gew.-% in Form von Antimonpentoxid, bezogen auf die Hauptkomponente, enthält.
7. Piezoelektrische keramische Zusammensetzung für ein Stellglied nach Anspruch 1, wobei in der Formel x und y 0,05 &le; x &le; 0,06 und 0,56 &le; y &le; 0,58 sind und die Zusammensetzung Antimon in einer Menge von 0,5 bis 1,0 Gew.-% in Form von Antimonpentoxid, bezogen auf die Hauptkomponente, enthält.
8. Piezoelektrische keramische Zusammensetzung für ein Stellglied nach Anspruch 1, wobei in der Formel x und y 0,06 &le; x &le; 0,07 und 0,56 &le; y &le; 0,60 sind und die Zusammensetzung Antimon in einer Menge von 0,5 bis 1,0 Gew.-% in Form von Antimonpentoxid, bezogen auf die Hauptkomponente, enthält.
DE69017189T 1989-09-18 1990-09-14 Piezoelektrische keramische zusammensetzung für betätiger. Expired - Fee Related DE69017189T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1241149A JP2811800B2 (ja) 1989-09-18 1989-09-18 アクチュエータ用圧電セラミック組成物
PCT/JP1990/001180 WO1991004586A1 (en) 1989-09-18 1990-09-14 Piezoelectric ceramic composition for actuator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69017189D1 DE69017189D1 (de) 1995-03-30
DE69017189T2 true DE69017189T2 (de) 1995-09-28

Family

ID=17069996

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69017189T Expired - Fee Related DE69017189T2 (de) 1989-09-18 1990-09-14 Piezoelektrische keramische zusammensetzung für betätiger.

Country Status (5)

Country Link
EP (1) EP0444204B1 (de)
JP (1) JP2811800B2 (de)
KR (1) KR100197150B1 (de)
DE (1) DE69017189T2 (de)
WO (1) WO1991004586A1 (de)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04130682A (ja) * 1990-09-20 1992-05-01 Mitsubishi Kasei Corp アクチュエータ用圧電セラミック組成物
US5378382A (en) * 1993-12-09 1995-01-03 Mitsubishi Kasei Corporation Piezoelectric ceramic composition for actuator
KR100462873B1 (ko) * 2001-12-27 2004-12-17 주식회사 에스세라 압전 세라믹 조성물과 그 압전 세라믹 조성물을 이용한 압전소자
KR100455218B1 (ko) * 2001-12-27 2004-11-06 주식회사 에스세라 압전 세라믹 조성물과 그 압전 세라믹 조성물을 이용한 압전소자
WO2010108988A1 (de) * 2009-03-25 2010-09-30 Tronox Pigments Gmbh Bleizirkonattitanate und verfahren zu deren herstellung
RU2766856C1 (ru) * 2021-07-22 2022-03-16 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет» Способ изготовления пьезокерамического элемента

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6191062A (ja) * 1984-10-09 1986-05-09 株式会社日本自動車部品総合研究所 セラミツク圧電材料
JPS6191602A (ja) * 1984-10-11 1986-05-09 Nissei Oputo Kk 光ミキシングロツド
JPS62154681A (ja) * 1985-12-27 1987-07-09 Toyo Soda Mfg Co Ltd アクチユエ−タ−用plzt電歪磁器
JPH01120080A (ja) * 1987-11-02 1989-05-12 Tosoh Corp モノモルフアクチュエーター

Also Published As

Publication number Publication date
EP0444204A4 (en) 1992-03-25
KR920702031A (ko) 1992-08-12
EP0444204A1 (de) 1991-09-04
KR100197150B1 (ko) 1999-06-15
JPH03104179A (ja) 1991-05-01
WO1991004586A1 (en) 1991-04-04
EP0444204B1 (de) 1995-02-22
DE69017189D1 (de) 1995-03-30
JP2811800B2 (ja) 1998-10-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102008021827B4 (de) Keramischer Werkstoff, Verfahren zur Herstellung des keramischen Werkstoffs, Bauelement mit dem keramischen Werkstoff und seine Verwendung
DE102007016854B4 (de) Piezoelektrische, bleifreie keramische Zusammensetzung, Verfahren zu deren Herstellung sowie ein dieses Material unfassendes piezoelektrisches Bauelement
DE69116048T2 (de) Piezoelektrische keramische Zusammenfassung für Betätiger
DE69404804T2 (de) Piezoelektrische Keramiken
DE69923635T2 (de) Piezoelektrische Keramiken
DE68923579T2 (de) Ferroelektrisches keramisches Material.
DE69017189T2 (de) Piezoelektrische keramische zusammensetzung für betätiger.
DE69000733T2 (de) Ferroelektrisches keramisches material.
DE1646698B1 (de) Piezoelektrische keramik
DE69607119T2 (de) Piezoelektrische keramische Zusammensetzung
DE3873888T2 (de) Piezoelektrische keramische zusammensetzung fuer stellmittel.
DE1955602A1 (de) Piezoelektrisches Keramikmaterial
DE1646820C2 (de) Piezoelektrischer Keramikstoff
DE69605966T2 (de) Piezoelektrische Keramiken
DE69014135T2 (de) Piezoelektrisches Element mit sehr hohem elektrostriktivem Effekt und keramische Zusammensetzung für dessen Herstellung.
DE1796233C2 (de) Piezoelektrische Keramiken
US5171484A (en) Piezoelectric ceramic composition for actuator
DE1646823C2 (de) Piezoelektrischer Keramikmaterial
DE1940974B2 (de) Piezoelektrische Keramik
DE3779981T2 (de) Keramische zusammensetzung fuer pyroelektrische fuehler.
DE19605050C1 (de) Niedrig sinternder PZT-Werkstoff
DE2928516C2 (de) Piezoelektrische keramische Verbindungen
DE1646818C2 (de) Piezoelektrisches keramisches Material
DE3850886T2 (de) Ein elektrostriktives keramikmaterial, ein verfahren zu seiner herstellung und seine anwendungen.
DE1646819B1 (de) Piezoelektrischer keramikstoff

Legal Events

Date Code Title Description
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: MITSUBISHI CHEMICAL CORP., TOKIO/TOKYO, JP

8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee