DE60316664T2 - Verfahren zur Herstellung einer Festkörper-Bildaufnahmevorrichtung - Google Patents

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Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines Festkörper-Bildwandlers, wobei ein Bildwandlerelement, wie ein CCD, auf einer Basis montiert wird.
  • Festkörper-Bildwandler finden weite Verbreitung für Videokameras und Fotokameras und dergleichen, und sie stehen in Form eine „Paketes" zur Verfügung, in welchem das Bildwandlerelement, wie etwa ein CCD, auf einer Basis aus Isoliermaterial montiert ist und sein lichtempfindlicher Bereich mit einer transparenten Platte abgedeckt ist. Um den Wandler zu miniaturisieren, wird das Wandlerelement unter Erhaltung eines „nackten" (baer) Chipzustandes auf der Basis montiert (s. Beispiel 2 JP 2002-43554 A ). Ein übliches Beispiel solcher Festkörper-Bildwandler sei anhand von 9 erläutert.
  • Gemäß 9 hat eine Basis 31 eine Rahmenform ebener Gestalt mit einer Öffnung 32 in ihrem Mittelteil und eine Querschnittsform insgesamt einheitlicher Dicke. Eine Unterfläche der Basis 31 ist mit einer Verdrahtung aus einer aufplatierten Goldschicht versehen, die von der Nähe der Öffnung 32 zu einer äußeren Umfangsendfläche reicht. Auf der Oberfläche der Basis 31, auf welcher die Verdrahtung 33 ausgebildet ist, ist ein Bildwandlerelement 4 wie ein CCD oder dergleichen montiert, wobei ein Lichtempfangsbereich 4a des Bildwandlerelementes 4 dem Öffnungsteil 32 gegenüberliegt. Auf der oberen Oberfläche der Basis 31 ist eine durchsichtige Platte 5 aus Glas befestigt, um die Öffnung 32 abzudecken. Der Umfang des Bildwandlerelementes 4 ist mit einem Abdichtharz 6 aufgefüllt und dichtet den Spalt zwischen dem Endabschnitt des Bildwandlerelementes 4 und der Basis 31 hermetisch ab. Wie gesagt, ist der Lichtempfangsbereich 4a innerhalb eines geschlossenen Raumes positioniert, welcher in der Öffnung 32 gebildet wird.
  • In derselben Ebene wie der Lichtempfangsbereich 4a des Bildwandlerelementes 4 ist eine (nicht dargestellte) Elektrodenfläche vorgesehen, welcher mit einer Schaltung für den Lichtempfangsbereich 4 verbunden ist, und diese Elektrodenfläche ist mit einem Wall (Vorsprungelektrode) 7 versehen. Ein innerer Endteil der Verdrahtung 33 neben der Öffnung 32 bildet einen inneren Anschlussteil 33, der mit der Elektrodenfläche des Bildwandlerelementes 4 über den Wall 7 verbunden ist.
  • Dieser Festkörper-Bildwandler ist auf einer Schaltungsplatine montiert, wobei die Seite der durchsichtigen Platte 7 nach oben weist, wie in den Zeichnungen dargestellt. Ein Teil der Verdrahtung 33, welcher sich auf der Bodenfläche des äußeren Umfangsendteils 31 der Basis befindet, bildet einen externen Anschlussteil 33b, der für die Verbindung mit einer Elektrode der Schaltungsplatine benutzt wird. Der externe Anschlussteil 33b jeder Verdrahtung 33 ist mit einem Lötkügelchen 8 versehen, welches der Verbindung mit einer Elektrode der Schaltungsplatine dient. Weiterhin hat das Lötkügelchen 8 die Aufgabe, die Basis 31 in der richtigen Höhe von der Oberfläche der Schaltungsplatine zu halten.
  • Der obere Teil der durchsichtigen Platte 5 ist mit einer (nicht dargestellten) Linsenkrümmung versehen, die ein optisches Abbildungssystem derart bildet, dass eine Positionsbeziehung zu dem Lichtempfangsbereich 4a mit vorbestimmter Genauigkeit eingestellt wird. Durch das optische Abbildungssystem, welches die Linsenkrümmung bildet, wird Licht von einem Gegenstand auf den Lichtempfangsbereich 4 gebündelt, und es erfolgt eine fotoelektrische Umwandlung.
  • Es ist jedoch schwierig, die Basis 31 bei der Konfiguration des oben beschriebenen üblichen Festkörper-Bildwandlers genügend flach zu halten. Weil nämlich die Basis 31 eine Rahmenform mit dem Öffnungsteil 32 hat, können bei der Durchführung des Kunstharzgießens Wellen und Verwerfungen in der Querschnittsform auftreten. Wenn die Oberfläche, auf welcher das Bildwandlerelement 4 montiert wird, nicht genügend flach ist, dann wird die Position des Bildwandlerelementes 4 unstabil. Infolge dessen kann die Position der Linsenkrümmung bezüglich des Lichtempfangsbereich 4a nicht genau bestimmt werden.
  • Wenn es auch in der JP 2002-43554 A nicht beschrieben wird, ist der Prozess der Aufbringung der Plattierung, welche ja die Verdrahtung 33 bildet auf der Basis in üblichen Fällen kompliziert, was zu hohen Kosten führen kann, und außerdem neigt die Verdrahtung 33 zu Schwankungen der Dimensionierungsgenauigkeit.
  • In der JP 2002-43553 ist eine durch Gießen herstellte Rahmenbasis beschrieben, wobei ein TAB-Film benutzt wird, um die elektrischen Verbindungen des Bildwandlers zu bilden. Die US 20020125552 beschreibt ein Verfahren zur Herstellung einer gegossenen „Packung" für einen Bildwandlersensor, bei welchem ein in die gegossene Packung eingebetteter Rahmen verwendet wird, um interne Beanspruchungen zu reduzieren.
  • Im Lichte des Vorstehenden besteht eine Aufgabe der Erfindung in der Schaffung eines Verfahrens zur Herstellung einer Basis, auf welcher ein Bildwandlerelement montiert ist: Mit diesem Verfahren soll sich eine Mehrzahl von Basen gleichzeitig effizient mit praktisch ausreichender Flachheit herstellen lassen. Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht in der Schaffung eines Verfahrens zur Erzeugung eines Festkörper-Bildwandlers, der bei niedrigen Kosten Verdrahtungen mit geringeren Schwankungen der Abmessungsgenauigkeit auszubilden erlaubt.
  • Ein Verfahren gemäß der Erfindung dient der Herstellung eines Festkörper-Bildwandlers mit einer Basis aus einem Isoliermaterial mit einem in einer ebenen Gestalt ausgebildeten Rahmen, in dessen inneren Bereich eine Öffnung geformt ist und der im Wesentlichen eine gleichförmige Dicke aufweist; auf einer Oberfläche der Basis ist eine Verdrahtung ausgebildet, die sich vom Umfangsteil der Öffnung nach außen erstreckt; auf der mit der Verdrahtung versehenen Oberfläche der Basis ist ein Bildwandlerelement so montiert, dass sein Lichtempfangsbereich der Öffnung gegenüber liegt. Die Verdrahtung enthält einen inneren Anschlussteil am Endteil der Öffnungsseite und einen äußeren Anschlussteil am Endteil der Außenumfangsseite der Basis, und die Elektrode des Bildwandlerelementes und der innere Anschlussteil sind elektrisch miteinander verbunden.
  • Zur Lösung des oben dargelegten Problems werden bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ein Paar Gießformen zur Bildung von Hohlräumen für das Kunstharzspritzen einer Mehrzahl von Basen sowie ein dünner Metallplattenleiter für die Bildung einer Mehrzahl von Verdrahtungssätzen entsprechend den jeweiligen Basen tragendes Band verwendet. Die Gießform ist mit einer Mehrzahl von Stiften versehen, welche eine Mehrzahl von Positionslöchern in Dickenrichtung der Basis bilden. Das Band wird zwischen das Gießformpaar eingeführt, so dass die dünnen Metallplattenleiter in denjenigen Bereichen positioniert sind, welche der Mehrzahl von Basen in den Hohlräumen entsprechen. In die Hohlräume wird ein Dichtharz eingefüllt und ausgehärtet; aus den Gießformen wird dann ein harzgespritztes Teil herausgenommen, in welchem die dünnen Metallplattenleiter eingebettet sind, und dann wird das Band von dem Gießharzteil entfernt. Das Gießharzteil wird in eine Mehrzahl von Stücken unterteilt, deren jedes der mit der Verdrahtung versehenen Basis entspricht, und auf die mit der Verdrahtung versehene Fläche der Basis wird das Bildwandlerelement montiert.
  • 1 zeigt einen Querschnitt durch einen Festkörper-Bildwandler gemäß einer ersten Ausführungsform.
  • 2A zeigt eine Draufsicht auf eine den Festkörper-Bildwandler gemäß 1 darstellende Basis von der Rückseite gesehen, und 2B zeigt eine entsprechende Seitenansicht.
  • 3A3F sind Querschnittsansichten zur Veranschaulichung des Verfahrens zur Herstellung des Festkörper-Bildwandlers gemäß 1.
  • 4 zeigt eine Querschnittsansicht einer durch die Verfahren nach den 3A3F herstellten Basis.
  • 5A5F sind Querschnitte zur Veranschaulichung der Prozesse eines Verfahrens zur Bildung eines Festkörper-Bildwandlers gemäß einer zweiten Ausführungsform.
  • 6 zeigt einen Querschnitt durch einen Festkörper-Bildwandler nach einer dritten Ausführungsform.
  • 7A7F sind Querschnittsansichten zur Veranschaulichung der Prozesse bei der Herstellung des Festkörper-Bildwandlers nach 6.
  • 8 zeigt einen Querschnitt durch eine mit Hilfe der Prozesse gemäß den 7A7F hergestellten Basis und
  • 9 zeigt einen Querschnitt durch ein Beispiel eines übliches Festkörper-Bildwandlers.
  • Bei einem Verfahren zur Herstellung eines Festkörper-Bildwandlers gemäß der Erfindung werden unter Benutzung eines Gießformpaares zur Bildung von Hohlräumen für das Kunstharzgießen eine Mehrzahl der Basen sowie eines dünnen Metallplattenleiter tragenden Bandes zur Bildung einer Mehrzahl von Verdrahtungssätzen entsprechend den jeweiligen Basen beim Gießen der Basis dünne Metallplattenleiter eingebettet. Die Steifheit der Basis wird durch die für die Verdrahtung benutzten dünnen Metallplattenleiter erhöht, und die Erzeugung einer Wellung oder Verwerfung der Basis wird unterdrückt.
  • Das aus der Gussform entnommene harzgegossene Teil kann zwischen den beiden ein Paar parallele Flächen bildenden flachen Gießformen unter Hitze als Hilfsmittel beim Aushärten gepresst werden. Damit kann die Flachheit der Basis weiter verbessert werden. Da die nach diesem Verfahren hergestellte Basis praktisch keine konvex-konkave Form hat, eignet sie sich für diese Aushärtungsmaßnahme.
  • Bei dem oben erwähnten Herstellungsverfahren können die Hohlräume unter Verwendung eines Paars von Gießformen und zwischen diesen angeordneten Blöcken für die Bildung der Öffnung der Basis geformt werden. Nach dem Einfüllen eines Abdichtharzes in die Hohlräume und dem Aushärten wird ein Kunstharzspritzteil, in welchem die dünnen Metallplattenleiter eingebettet sind und der Block gehalten ist, aus den Gießformen herausgenommen. Das Band und die Blöcke werden von dem Kunstharzspritzteil abgenommen und in eine Mehrzahl von Stücken unterteilt, deren jedes der mit der Verdrahtung versehenen Basis entspricht. Vorzugsweise wird nach dem Herausnehmen des Kunstharzspritzteiles, in welchem der Block ausgebildet ist, aus der Gießform das Kunstharzspritzteil zwischen einem Paar paralleler flacher Gießformen unter Erhitzung gepresst, so dass es einer Hilfsaushärtung unterworfen wird.
  • Bei dem oben beschriebenen Herstellungsverfahren können sowohl der Block als auch der dünne Metallplattenleiter auf dem Band getragen werden, und dieses wird zwischen das Gießformpaar zur Bildung der Hohlräume aufeinander gelegt, wobei die dünnen Metallplattenleiter sich in den Hohlräumen befinden. In diesem Falle wird vorzugsweise die Endfläche des Blocks derart verwunden, dass ein Winkel zwischen der Endfläche und der Bodenfläche des Blocks auf der Seite des Bandes kleiner als 90° ist. Auf diese Weise kann die Endfläche der Basis an der Seite der Öffnung leicht gekippt werden, so dass die Reflektion des auf den Lichtempfangsbereich auftreffenden Lichtes ohne Beeinträchtigung der Bildwandlerfunktion in ihrem Bereich eingestellt werden kann.
  • Bei dem Herstellungsverfahren wird vorzugsweise beim Entfernen des Bandes von dem Kunstharzspritzteil Grat vom Kunstharzspritzteil zusammen mit dem an ihm anhaftenden Band entfernt. Zu diesem Zweck werden vorzugsweise die Abmessungen der Gießformen, der Mehrzahl der Stifte, des Blocks und des Bandes so gewählt, dass dann, wenn das Band zwischen den Gießharzformen liegt, der Vorderteil des Vorsprungs der Gießform zur Bildung einer Öffnung der Basis und zumindest einer der Vorderteile der mehreren Stifte oder des Blockes in das Band eindringt.
  • Im Folgenden sei eine Ausführungsform der Erfindung mit Bezug auf die Zeichnungen im Einzelnen erläutert.
  • (1. Ausführungsform)
  • Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung eines Festkörper-Bildwandlers sei nun anhand der 13 erläutert. Das Herstellungsverfahren gemäß dieser Ausführungsform kann auf einen Festkörperbildwandler mit einer in 1 gezeigten Struktur angewendet werden. Der Festkörper-Bildwandler gemäß 1 ist ähnlich wie derjenige nach 9 aufgebaut, und dieselben Bauelemente haben die gleichen Bezugsziffern, um die Erläuterung zu erleichtern.
  • Der Festkörper-Bildwandler gemäß der ersten Ausführungsform unterscheidet sich von dem üblichen Beispiel im Aufbau der auf der Basis 1 vorgesehenen Verdrahtung 3. Die Basis 1 besteht aus einem Isoliermaterial, wie etwa einem plastischen Kunstharz, beispielsweise Epoxiharz etc., und hat die gleiche Rahmenform in ebener Gestalt mit einer rechteckigen Öffnung 2 im mittleren Teil. Die Basis 1 ist im Querschnitt eine flache Platte von insgesamt im Wesentlichen gleichförmiger Dicke. Die untere Oberfläche der Basis ist mit einer Mehrzahl von Verdrahtungen 3 versehen, die aus dünnen Metallplattenleitern bestehen, welche vom Umfangsteil der Öffnung 2 zu einem äußeren Umfangsende der Basis 1 verlaufen. Als der dünne Metallplattenleiter kann beispielsweise eine Kupferlegierung, 42-Legierung (Fe-Ni 42 Legierung) oder dergleichen, verwendet werden, ähnlich den Materialien, welche für einen normalen Leiterrahmen benutzt werden, und ihre Dicke beträgt etwa 2–3 μm.
  • Auf der Seite der Basis 1, auf welcher die Verdrahtung 3 ausgebildet ist, wird ein Bildwandlerelement 4, wie ein CCD oder dergleichen, auf Siliziumbasis ausgebildet und fixiert, und seine Elektrode 4b wird mit der Verdrahtung 3 verbunden. Der innere Endteil neben der Öffnung 2 jeder Verdrahtung 3 bildet einen inneren Anschlussteil 3A, der mit einer Elektrodenfläche des Bildwandlerelementes 4 über den Wall 7 verbunden ist. Der äußere Endteil jeder der Verdrahtungen 3 bildet einen äußeren Anschlussteil 3b, welcher der Verbindung mit der Elektrode der Schaltungsplatine dient.
  • Die Basis 1 wird gebildet durch Einbetten einer Mehrzahl dünner Metallplattenleiter, welche die jeweilige Verdrahtung 3 bilden, in ein Harz. Eine Struktur der Basis 1, in welche die Verdrahtung 3 bildende dünne Metallplattenleiter eingebettet sind, sei anhand der 2A und 2B erläutert. 2A zeigt eine Draufsicht auf die Basis 1 vor dem Aufmontieren des Bildwandlerelementes 4, wenn man 1 von der Seite sieht, und 2B zeigt eine Seitenansicht davon.
  • Wie 2A zeigt, liegt die gesamt Bodenunterseite der Verdrahtung 3 frei. Gemäß 2B sind dagegen die Seitenkantenflächen der Verdrahtung 3 in das die Basis 1 bildende Kunstharz eingebettet. Somit wird die Rahmenform der Basis durch einen dünnen Metallplattenleiter verstärkt, so dass die Flachheit der Ober- und Unterflächen ausgezeichnet ist. Weil also der dünne Metallplattenleiter eingebettet ist, wird die Starrheit gegen innere Beanspruchung, welche eine Wellung oder Verwerfung erzeugt, verbessert, und die Flachheit der Rahmenform kann erhalten bleiben. Damit wird die Position des auf der Oberfläche der Basis 1 montierten Bildwandlerelementes 4 stabiler, und die Position der Linsenwölbung bezüglich des Lichtempfangsbereiches 4a kann leicht bestimmt werden. Die gesamten Seitenkantenflächen der Verdrahtung 3 sind nicht notwendigerweise eingebettet, wie es der Zeichnung zu entnehmen ist. Der Grad der Einbettung kann in Abhängigkeit von anderen Bedingungen gewählt werden, solange er ausreicht, um die oben genannten Wirkungen zu erhalten.
  • Ferner können die dünnen Metallplattenleiter mit hoher Dimensionierungsgenauigkeit und geringen Schwankungen bei niedrigen Kosten durch ein Verfahren des Schneidens von Metallplatten hergestellt werden.
  • Auf der Basis 1 wird eine Mehrzahl von Positionslöchern 9 (in den Zeichnungen sind zwei Löcher gezeigt) ausgebildet. Die Positionslöcher 2 haben einen großen Durchmesserteil 9a auf der Oberfläche und einen kleinen Durchmesserteil 9b auf der Unterfläche, welche konzentrisch ausgebildet werden. Gemäß 2A sind die Positionslöcher 9 so angeordnet, dass sie sich nicht mit der Verdrahtung 3 überlappen, und der kleine Durchmesserteil 9b liegt an der Rückfläche frei. Die Position des kleinen Durchmesserteils 9b wird durch eine Bilderkennungsvorrichtung oder dergleichen ermittelt, und dann kann die Position des Bildwandlerelementes 4 bezüglich der Position des kleinen Durchmesserteils 9b bei der Montage des Bildwandlerelementes 4 bestimmt werden. Wenn die ebene Position der Linsenkrümmung bezüglich des Bildwandlerelementes bestimmt wird, kann außerdem die Positionierung mit hoher Genauigkeit anhand des großen Durchmesserteils 9a durchgeführt werden. Die Position der Linsenkrümmung lasst sich einfach bestimmen, beispielsweise durch Einpassen eines am unteren Teil der Linsenkrümmung vorgesehenen Stiftes in den großen Durchmesserteil 9a.
  • Wie den Zeichnungen zu entnehmen ist, ist vorzugsweise eine Mehrzahl von Positionslöchern 9 asymmetrisch in der ebenen Form der Basis angeordnet. Auf diese Weise können die Positionslöcher zur Erkennung der Orientierung der Basis benutzt werden. Die gleichen Effekte lassen sich weiterhin durch Anordnen einer Mehrzahl von Positionslöchern unterschiedlicher Durchmesser erreichen.
  • Weil die Basis 1 wie oben gesagt flach ausgebildet wird, lassen sich die folgenden Vorteile zusätzlich zur Einfachheit des Kunstharzgießens erhalten. Nach dem Kunstharzspritzen kann somit ein Verfahren zum Beseitigen der Verformung der Basis leicht durchgeführt werden, um die Flachheit der Basis 1 zu verbessern.
  • Das Verfahren zur Herstellung eines Festkörper-Bildwandlers gemäß dieser Ausführungsform umfasst einen Prozess zur gleichzeitigen Herstellung einer Mehrzahl von Basen ausgezeichneter Flachheit bei der Produktion von Festkörper-Bildwandlern der oben erläuterten Konfiguration. Dieses Herstellungsverfahren wird mit Bezug auf die 3 und 4 erläutert.
  • Zunächst wird gemäß 3A ein Band 11 vorbereitet, auf welchem dünne Metallplattenleiter 10 getragen werden. Diese sind in einem Leiterrahmen konfiguriert. Anzahl, Abmessung und Anordnung der dünnen Metallplattenleiter 10 sind so gewählt, dass sie sich eignen zur Bildung der Verdrahtung 3 des oben genannten Festkörper-Bildwandlers. Weiterhin ist eine Anzahl dünner Metallplattenleiter 10 so angeordnet, dass sie einer Mehrzahl von Basen entsprechen, um eine Mehrzahl von Festkörper-Bildwandlern zu bilden.
  • Gemäß 3B wird als nächstes eine untere Gießform 2 und eine obere Gießform 3 einander gegenüber liegend angeordnet, und zwischen sie wird das Band 11 eingelegt. Die obere Gießform 13 ist mit Ausnehmungen 13a zur Bildung von Räumen entsprechend einer Mehrzahl von Basen 1 versehen. In den Ausnehmungen 13a ist eine Mehrzahl von Vorsprüngen 13b vorgesehen, welche den Öffnungen 2 der Basis 1 entsprechen. Somit bilden die Ausnehmungen 13a und die Vorsprünge 13b einen Hohlraum entsprechend der Form der Basis 1 mit der Öffnung 2. Die obere Gießform 13 ist mit einem Stift 14 versehen zur Bildung des Positionierungsloches 9 in der Basis 1. Das Band 11 ist so positioniert, dass jeder der von ihm getragenen dünnen Metallplattenleiter 10 in jeder Öffnung richtig positioniert ist. In diesem Zustand können die Abmessung der Gießformen 12 und 13, des Stiftes 14 und des Bandes 11 so gewählt werden, dass der Vorsprung 13b der oberen Gießform 13 und der Vorderteil des Stiftes 14 in das Band 11 eindringen. Wenn das Band 11 nach dem Kunstharzspritzen entfernt wird, kann dabei beim Gießen gebildeter Grat des Gießharzteils mit dem anhaftenden Bandteil entfernt werden.
  • Die zwischen der unteren Gießform 12 und der oberen Gießform 13 gebildeten Hohlräume werden mit Harz ausgefüllt, welches man aushärten lässt, und danach werden die untere Gießform 12 und die obere Gießform 13 geöffnet, so dass das Gießharzteil 15 gemäß 3C herausgenommen werden kann. In der Unterfläche des Gießharzteils 15 ist ein dünner Metallplattenleiter 10 eingebettet.
  • Wie 3D zeigt, wird in diesem Zustand das Gießharzteil 15 mit dem eingebetteten dünnen Metallplattenleiter 10 unter Verwendung eines Paares paralleler flacher Gießformen 16 und 17 unter Hitze gepresst. Auf diese Weise wird eine Hilfsmaßnahme zur Reduzierung einer Verwerfung des Spritzgussteils 15 vermieden. In Abhängigkeit von verschiedenen anderen Bedingungen lassen sich bei einer Erhitzungstemperatur von 100–200° C und einem Druck von 1–30 kg ausgezeichnete Ergebnisse erhalten.
  • Als nächstes wird gemäß 3E das Band abgezogen, und das Spritzgussteil 15 wird unter Verwendung einer Trennsäge 18 gemäß 3F in einzelne Stücke unterteilt, wobei man eine Basis gemäß 4 erhalten kann. Auf dieser Basis wird das Bildwandlerelement 4 montiert, wie es 1 zeigt, und es wird eine durchsichtige Platte 5 befestigt. Auf diese Weise wird ein Festkörper-Bildwandler erzeugt.
  • Bei dem oben erwähnten Spritzgussverfahren wird es durch Einbetten des dünnen Metallplattenleiters 10 von Leiterrahmenform in das Spritzgussteil 15 möglich, die Erzeugung einer Wellung oder Verwerfung der Basis 1 zu unterdrücken.
  • Jegliche restliche Wellung oder Verwerfung wird durch das Verfahren der Zusatzaushärtung gemäß 3D reduziert, so dass man die Basis 1 mit weiterhin verbesserter Flachheit erhalten kann. Wenn das spritzgegossene Teil 15 mit geringerer Wellung und Verwerfung und praktisch genügendem Flachheitsgrad erhalten werden kann, ist das Verfahren der Hilfsaushärtung nicht notwendig.
  • (2. Ausführungsform)
  • Ein Verfahren zur Herstellung eines Festkörper-Bildwandlers gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung sei nun anhand von 5 erläutert. Dieses Verfahren unterscheidet sich von demjenigen der ersten Ausführungsform in der Ausbildung der Gießform für die Basis.
  • Zunächst wird gemäß 5A ein Band 11, welches dünne Metallplattenleiter 10 trägt, vorbereitet. Die dünnen Metallplattenleiter 10 sind in Form eines Leiterrahmens konfiguriert. Bei dieser Ausführungsform werden sowohl ein Block 19 wie auch der dünne Metallplattenleiter 10 von dem Band getragen. Der Block 19 kann aus einem Material auf Cu-Basis, Fe-Basis, Al-Basis und dergleichen bestehen und wird für die Bildung der Öffnungen 2 der Basis 1 benutzt.
  • Als nächstes werden gemäß 5B eine untere Gießform 12 und eine obere Gießform 13 einander gegenüber liegend mit dem dazwischen befindlichen Band 11 angeordnet. Die obere Gießform 13 ist mit einer Ausnehmung 13c zur Bildung eines rechteckförmigen Raumes versehen. In der Ausnehmung 13c wird eine Mehrzahl von Blocks 19 platziert, so dass in der Ausnehmung 13 eine Mehrzahl von Hohlräumen entsprechend der Form der Basis 1 einschließlich der Öffnungen 2 gebildet werden. Das Band 11 ist so positioniert, dass die von ihm getragenen dünnen Metallplattenleiter 10 sich richtig in der Öffnung befinden. Die Position der dünnen Metallplattenleiter bezüglich der Blocks 19 in der Ausnehmung 13c wird durch das Band 11 bestimmt.
  • Die durch die Ausnehmungen 13c und Blocks 19 gebildeten Hohlräume werden mit Harz gefüllt, welches man aushärten lässt, und anschließend werden die untere Gießform 12 und die obere Gießform 13 voneinander getrennt, worauf man ein Spritzgussteil 15 gemäß 5C herausnehmen kann. Auf der Unterseite des Spritzgussteils 15 ist der dünne Metallplattenleiter 10 eingebettet. In diesem Zustand befindet sich der Block 19 noch in der Position entsprechend der Öffnung 2.
  • Wie 5D zeigt, wird nun das Spritzgussteil 15 mit dem eingebetteten dünnen Metallplattenleiter 10 mit Hilfe eines Paares paralleler flacher Formen 16 und 17 unter Hitzeeinwirkung gepresst. Auf diese Weise wird die Zusatzaushärtung zur Reduzierung einer Verwerfung des Spritzgussteils 15 durchgeführt.
  • Nun wird gemäß 5E das Band abgezogen und der Block 19 herausgezogen, und anschließend wird das Spritzgussteil 15 mit Hilfe einer Trennsäge 18 in Stücke geschnitten, wie es 5F zeigt. Auf diese Weise kann man eine Basis 1 nach 4 erhalten. Auf dieser Basis wird das Bildwandlerelement 4 gemäß 1 montiert, und es wird eine durchsichtige Scheibe 5 befestigt. Damit ist das Festkörper-Bildwandlerelement fertig.
  • Bei dem oben erwähnten Spritzgussverfahren ist es durch das Einbetten des dünnen Metallplattenleiters 10 in Form eines Leiterrahmens in das Spritzgussteil möglich, die Erzeugung einer Wellung oder Verwerfung der Basis zu unterdrücken. Jegliche verbleibende Wellung oder Verwerfung wird durch das Verfahren der Hilfsaushärtung gemäß 5B reduziert, so dass man eine Basis 1 mit weiterhin verbesserter Flachheit erhalten kann. Wenn das so gegossene Spritzgussteil 15 geringere Wellungen und Verwerfungen hat und man einen praktisch ausreichenden Flachheitsgrad erhalten kann, ist das Verfahren der Hilfsaushärtung nicht notwendigerweise erforderlich.
  • (3. Ausführungsform)
  • Ein Verfahren zur Herstellung eines Festkörper-Bildwandlers gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung sei nun anhand der 68 beschrieben. Das Herstellungsverfahren für diese Ausführungsform wird bei einem Festkörper-Bildwandler mit einem Aufbau gemäß 6 angewandt. Diese Struktur ist im Wesentlichen die gleiche wie bei der ersten Ausführungsform nach 1. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten in der Querschnittsform der inneren Endfläche 21a des Substrats 21, welche der Öffnung 22 gegenüber liegt. Die innere Endfläche 21a verläuft nicht rechtwinklig zu den oberen und unteren Oberflächen der Basis 21, sondern ist um einen vorbestimmten Winkel verdreht. Speziell ist die innere Endfläche 21a derart verdreht, dass sie einen Winkel von mehr als 90° bezüglich einer Oberfläche der Basis 21 bildet, auf welcher das Bildwandlerelement 4 montiert ist. Weil die innere Endfläche 21a eine solche verdrehte Form hat, werden unerwünschte Reflektionen auftreffenden Lichtes bezüglich des Lichtempfangsbereichs 4 aufgrund der inneren Endfläche 21a reduziert. Der oben genannte Winkel liegt vorzugsweise im Bereich von 90° bis 120°.
  • Das Verfahren zur Herstellung des Festkörper-Bildwandlers mit dieser Konfiguration sei anhand der 7 erläutert. Bei diesem Herstellungsverfahren ist die Gestalt des für die zweite Ausführungsform benutzten Blocks 19 abgewandelt.
  • Zunächst wird gemäß 7A ein dünner Metallplattenleiter 10 und Blocks 23 tragendes Band 11 vorbereitet. Die dünnen Metallplattenleiter 10 sind in Rahmenform konfiguriert. Der Block 23 besteht aus dem Material ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform und dient zur Bildung der Öffnung 22 der Basis 21. Die Endfläche des Blockes 23 ist so geneigt, dass der Winkel zwischen ihr und der Bodenfläche des Blocks am Band 11 kleiner als 90° ist.
  • Wie 7B zeigt, wird nun eine untere Gießform 24 und eine obere Gießform 25 einander gegenüberliegend mit dem dazwischen liegenden Band 11 bereitet. Die obere Gießform 25 ist mit einer Ausnehmung 25a zur Bildung eines rechteckig geformten Raumes versehen. In der Ausnehmung 25a ist der Block 23 platziert. Auf diese Weise können in der Ausnehmung 25a Hohlräume entsprechend der Form der Basis 21 einschließlich der Öffnungen 22 gebildet werden. Die Position jedes der dünnen Metallplattenleiter 10 bezüglich des Blocks 23 in der Ausnehmung 25a wird auf dem Band 11 festgelegt.
  • Die von der Ausnehmung 25a gebildeten Hohlräume werden mit einem Harz ausgefüllt, welches man aushärten lässt, und danach wird die untere Gießform 24 von der oberen Gießform 25 abgenommen, so dass das Kunstharzspritzteil 26 gemäß 3C herausgenommen werden kann. In der Bodenfläche des Spritzgussteils 26 ist ein dünner Metallplattenleiter 10 eingebettet. In diesem Stadium befindet sich der Block 23 noch in der Position entsprechend der Öffnung 22.
  • Wie 7D zeigt, wird jetzt das Spritzgussteil 26 mit dem eingebetteten dünnen Metallplattenleiter unter Verwendung eines Paares paralleler flacher Formen 27 und 28 unter Hitzeeinwirkung gepresst. Auf diese Weise wird eine Hilfsaushärtung zur Verringerung einer Verwerfung des Kunstharzspritzteils 26 ausgeführt. Als nächstes wird gemäß 7E das Band 11 abgezogen, und der Block 23 herausgezogen, wonach das Spritzgussteil 26 unter Verwendung einer Trennsäge 18 in Stücke unterteilt wird, wie es 7F zeigt. Dadurch lässt sich eine Basis 21 gemäß 8 erhalten. Auf dieser Basis 21 wird das Bildwandlerelement 4 gemäß 6 montiert und die durchsichtige Platte 5 befestigt. Damit ist ein Festkörper-Bildwandler fertiggestellt.
  • Bei dem oben beschriebenen Spritzgussverfahren ist es durch Einbetten eines dünnen Metallplattenleiters 10 in das Spritzgussteil 26 und Ausführen des Verfahrens der Hilfsaushärtung gemäß 7D möglich, eine Wellung oder Verwerfung der Basis 21 zu reduzieren und die Basis 21 mit einem höheren Grad von Flachheit in gleicher Weise wie bei der Ausführungsform 1 zu erhalten. Außerdem ist es bei dieser Ausführungsform, wie sie 6 zeigt, leicht, die innere Endfläche 21a der Basis 21 zu kippen.
  • Es sei hier bemerkt, dass bei den obigen Erläuterungen das Beispiel eines gleichzeitigen Spritzens von mehreren Basen beschrieben wurde. Jedoch lässt sich jede Ausführung auch einfach gleichermaßen im Falle anwenden, wo nur eine einzige Basis gegossen wird.

Claims (8)

  1. Verfahren zur Herstellung eines Festkörper-Bildwandlers mit: einer Basis (1) aus einem Isoliermaterial, die eine Rahmenform von ebener Gestalt hat, in deren inneren Bereich eine Öffnung (2) ausgebildet ist, und die eine gleichförmige Dicke aufweist, einer auf einer Oberfläche der Basis vorgesehenen Verdrahtung (3), die sich von dem Umfangsteil der Öffnung zur Außenseite hin erstreckt, und mit einem auf der Oberfläche der mit der Verdrahtung versehenen Basis derart montierten Bildwandlerelement (4), das ein Lichtempfangsbereich (4a) des Elementes der Öffnung gegenüberliegt, wobei die Verdrahtung einen inneren Anschlussteil (3a) am Endteil der Öffnungsseite und einen äußeren Anschlussteil (3b) am Endteil der äußeren Umfangsseite der Basis enthält und wobei die Elektrode (4b) des Bildwandlerelementes elektrisch mit dem inneren Anschlussteil verbunden ist, wobei unter Verwendung eines Paares von Gießformen (12, 13) Hohlräume zum Kunstharzgießen einer Mehrzahl von Basen benutzt wird und jede Basis mit einer Öffnung versehen ist, gekennzeichnet durch die Verwendung eines Bandes (11), welches dünne Metallplattenleiter (10) zur Bildung einer Mehrzahl von Verdrahtungssätzen (3) entsprechend den jeweiligen Basen trägt, wobei die Gießform mit einer Mehrzahl von Stiften (14) zur Bildung einer Mehrzahl von Positionslöchern (9) in Dickenrichtung der Basis versehen ist, Einbringen des Bandes (11) zwischen das Paar Gießformen derart, dass die dünnen Metallplattenleiter (10) sich in Bereichen befinden, welche der Mehrzahl der Basen in den Hohlräumen entsprechen, Einbringen eines Abdichtharzes in die Hohlräume und Aushärten lassen, Entnehmen eines Spritzgussteils (15), in welches die dünnen Metallplattenleiter eingebettet sind, aus den Formen, Entfernen des Bandes von dem Kunstharzspritzteil, Unterteilen des Kunstharzspritzteils in eine Mehrzahl von Stücken, deren jedes der mit der Verdrahtung versehenen Basis entspricht, und Montieren des Bildwandlerelementes auf eine Fläche der mit den Verdrahtungen versehenen Basis.
  2. Verfahren zur Herstellung eines Festkörper-Bildwandlers nach Anspruch 1, bei welchem das aus den Gießformen entnommene Kunstharzspritzteil zwischen einem Paar paralleler flacher Formen (16, 17) zur Durchführung einer Ergänzungshärtung gepresst wird.
  3. Verfahren zur Herstellung eines Festkörper-Bildwandlers nach Anspruch 1, bei welchem die Hohlräume unter Verwendung eines Paares von Gießformen (12, 13) und zwischen diesen angeordneten Blöcken (19) zur Bildung der Öffnungen der Basen gebildet werden, nach dem Einfüllen des Abdichtharzes in die Hohlräume und dem Aushärten ein Spritzgussteil (15), in welchem die dünnen Metallplattenleiter eingebettet sind und der Block gehalten wird, aus den Gießformen herausgenommen wird, das Band und der Block von dem Spritzgussteil entfernt werden und das Spritzgussteil in eine Mehrzahl von Stücken unterteilt wird, deren jedes der mit der Verdrahtung versehenen Basis entspricht.
  4. Verfahren zur Herstellung eines Festkörper-Bildwandlers nach Anspruch 1, bei welchem das Kunstharzspritzteil (15), in welchem der Block (19) gehalten wird, aus der Gießform herausgenommen wird, das Kunstharzspritzteil zwischen einem Paar paralleler flacher Formen (16, 17) unter Erhitzungsbedingungen gepresst wird, so dass es einer Ergänzungshärtung unterworfen wird.
  5. Verfahren zur Herstellung eines Festkörper-Bildwandlers nach Anspruch 3, bei welchem der Block (19) ebenso wie die dünnen Metallplattenleiter auf dem Band (11) getragen werden und das Band zwischen das Paar Gießformen zur Bildung der Hohlräume eingebracht wird und die dünnen Metallplattenleiter in den Hohlräumen platziert werden.
  6. Verfahren zur Herstellung eines Festkörper-Bildwandlers nach Anspruch 5, bei welchem die Endfläche des Blocks (23) derart gekippt wird, dass ein Winkel zwischen der Endfläche und der Bodenfläche des Blockes auf der Seite des Bandes kleiner als 90° ist.
  7. Verfahren zur Herstellung eines Festkörper-Bildwandlers nach Anspruch 1 oder 3, bei welchem das Band von dem Kunstharzspritzteil entfernt wird und Grat des Kunstharzspritzteils zusammen mit dem anhaftenden Band entfernt wird.
  8. Verfahren zur Herstellung eines Festkörper-Bildwandlers nach Anspruch 7, bei welchem die Abmessungen des Gießformpaares, der Mehrzahl von Stiften, des Blocks und des Bandes so gewählt sind, dass beim Zwischenlegen des Bandes zwischen das Paar Gießformen ein Vorderteil eines Vorsprungs (13b) der Gießform zur Bildung einer Öffnung der Basis und mindestens eines der Vorderteile der Mehrzahl der Stifte (14) oder Blocks (19) in das Band (11) eingedrückt werden.
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