DE602006000922T2 - Vorrichtung und Verfahren zur Prüfung einer RAM - Google Patents

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Testvorrichtung und ein Testverfahren für einen RAM (Random Access Memory: Speicher mit wahlfreiem Zugriff) innerhalb einer LSI-(Large Scale Integrated: großintegrierten)-Schaltung wie etwa einer CPU (Central Processing Unit: Zentrale Verarbeitungseinheit) oder eines DSP (Digital Signal Processor: Digitaler Signalprozessor). Im Besonderen betrifft die vorliegende Erfindung eine Schaltung und ein Verfahren zum Erfassen der FBM-(Fault Bit Map: Fehler-Bitmap)-Informationen, die die physikalischen Ortsinformationen (Adresse oder Bit) eines Fehlers bei einer Fehleranalyse angeben.
  • In einer herkömmlichen LSI, wie beispielsweise einer CPU oder einem Controller, die als Kernvorrichtung eines Informationsprozessors oder eines Computersystems verwendet wird, kann ein primärer Cachespeicher als RAM aufgeführt sein, der in der relevanten CPU enthalten ist. Ein sekundärer Cachespeicher, wie etwa ein RAM mit großer Kapazität, ist mit einer externen SRAM-Vorrichtung, wie z. B. einer CPU, auf Grund von Einschränkungen bei der Halbleitertechnik realisiert worden. Später ist einhergehend mit dem Fortschritt der ultrafeinen Mikrotechnik bei der Halbleitervorrichtung und der Verbesserung der erforderlichen Leistung bei der CPU auch der primäre Cachespeicher sowie der sekundäre Cachespeicher realisiert worden. Wenn jedoch der Bereich in dem RAM, den der sekundäre Cachespeicher allmählich einnimmt, einen größeren Teil der Chipfläche der CPU darstellt, ist die Reduzierung des Produktionsaufkommens auf Grund eines Ausfalls oder eines Fehlers, der durch Staub bei den Produktionsprozessen verursacht wird, zu einem ernsten Problem geworden.
  • Einhergehend mit dem Fortschritt auf dem Gebiet der ultrafeinen Mikrotechnik der Halbleitervorrichtung ist daher ein neues Problem aufgetreten. Und zwar ist der Einfluss von Schwankungen bei den Herstellungsprozessen auf die physikalischen Charakteristiken des Halbleiters größer geworden, so dass die Konstruktionsvorgaben überschritten werden und dadurch Fehler bei dem Halbleiterherstellungsprozess, die aus einer unzureichenden Toleranz der relevanten physikalischen Charakteristiken resultieren, leichter als in der Vergangenheit herbeigeführt werden. Darüber hinaus hat zusammen mit dem oben erläuterten relevanten Problem die Qualität des individuellen RAM einen großen Einfluss auf die Gesamtqualität der LSI und ihr Produktionsaufkommen.
  • Daher ist es erforderlich, die Schaltungen in dem RAM durch das Ausführen einer Fehleranalyse zu verbessern. Solch eine Fehleranalyse könnte durch Erfassen der Detailinformationen des relevanten Fehlers ausgeführt werden, während ein Fehler, der durch unzureichende Toleranz der physikalischen Charakteristik des RAM verursacht wird, reproduziert wird.
  • 1 zeigt ein schematisches Diagramm einer gewöhnlichen LSI. Innerhalb der LSI 101 realisiert eine Arithmetik- und Logikschaltung 141 die inhärente Funktion der relevanten LSI und der RAMs 121, 131 zum Halten der Daten, die durch die relevante Arithmetik- und Logikschaltung 141 verwendet werden. Die Arithmetik- und Logikschaltung 141 enthält auch Anschlüsse (IN, OUT), die als Schnittstelle mit externen Schaltungen der LSI dienen. Des Weiteren werden die Lese- und Schreiboperationen von Daten zwischen der relevanten Arithmetik- und Logikschaltung 141 und RAMs 121, 131 ausgeführt. Unter den Schaltungen, die in der LSI enthalten sind, enthält der RAM viele Elemente, wie etwa Transistoren, in hoher Dichte. Deshalb ist das Testen von solch einem RAM sehr schwierig.
  • Daher sind in den letzten Jahren viele Verbesserungen vorgenommen worden, um ein leichteres Testen des RAM zu gewährleisten. Eine solche Verbesserung erfolgt durch das Montieren einer RAM-BIST-(Built-In Self Test)-Schaltung als Selbstdiagnosemechanismus für den RAM in die LSI. Die relevante RAM-BIST-Schaltung wird aus einem RAM-BIST-Mustererzeugungsblock 111 und Fehlerunterscheidungsschaltungen 122, 132 gebildet. In 1 sind der RAM-BIST-Mustererzeugungsblock 111 und Fehlerunterscheidungsschaltungen 122, 132 Objekte, für die die Schaltung der vorliegenden Erfindung montiert ist, während die RAMs 121, 131 Objekte sind, bei denen die Leichtigkeit einer Fehleranalyse mit der vorliegenden Erfindung verbessert werden kann.
  • 2 zeigt ein Beispiel für eine Struktur einer RAM-BIST-Schaltung der Hintergrundtechnik. Die RAM-BIST-Schaltung in dieser Ausführungsform ist aus einem RAM-BIST-Mustererzeugungsblock 201 gebildet. Die RAM-BIST-Schaltung enthält auch eine Testmustererzeugungsschaltung 214 als periphere Schaltung des Testobjekt-RAM 221, eine Erwartungswertvergleichsschaltung 231, die eine Fehlerdetektionsschaltung bildet, und ein Fehlerhalte-FF (Flipflop) 241.
  • Die Testmustererzeugungsschaltung 214, die in den RAM-BIST-Mustererzeugungsblock 201 eingebaut ist, stellt den Instruktionscode oder das Modussignal ein, um der Testmustererzeugungsschaltung 214 mit einer Scan-FF-(Flipflop)-Gruppe 211 eingegeben zu werden, die mit einer Scankette verbunden ist, die von Scan-In eingegeben und an Scan-Out ausgegeben wird. Die Testmustererzeugungsschaltung 214 stellt auch den Anfangswert eines Zählers innerhalb der Testmustererzeugungsschaltung 214 mit einer Scan-FF-Gruppe 212 innerhalb der Testmustererzeugungsschaltung 214 ein. Der RAM-BIST-Mustererzeugungsblock 201 erzeugt das programmierbare Signal für einen Testobjekt-RAM 221 und liefert das Signal an eine Erwartungswertvergleichsschaltung 231 und ein Fehlerhalte-FF 241, die eine Fehlerunterscheidungsschaltung bilden.
  • Das Schreibfreigabe-(WE)-Signal zum Unterscheiden der Schreib- und Leseoperationen, die Schreibdaten und eine Lese- oder Schreibobjektadresse (Addr) werden an den Testobjekt-RAM 221 verteilt. Erwartungswertdaten zum Vergleich mit den Lesedaten von dem Testobjekt-RAM 231 und ein Ladefreigabesignal mit negativer Logik(-LE) zum Bestimmen von Unterscheidung oder Nichtunterscheidung eines Fehlers werden an eine Erwartungswertvergleichsschaltung 221 verteilt, die die Fehlerunterscheidungsschaltung bildet. Während der Schreiboperation sind die relevanten Erwartungswertdaten der "ignorierte" Wert, während bei der Leseoperation die Schreibdaten der "ignorierte" Wert sind. Deshalb können das Erwartungswertdatensignal und das Datensignal während der Schreiboperation durch die Steuerung mit dem Schreibfreigabe-(WE)-Signal gemeinsam verwendet werden.
  • Das Fehlerhalte-FF 241, das die Fehlerunterscheidungsschaltung bildet, enthält eine Schaltung zum Vergleichen der Lesedaten des Testobjekt-RAM 221 mit den Erwartungswertdaten. Das Fehlerhalte-FF 241 enthält auch ein FF zum Aufzeichnen des relevanten Vergleichsresultats (Fehlerinformationen). Im Allgemeinen ist eine dieser Schaltungen für jedes Bit der RAM-Ausgabe vorgesehen. Die Erwartungswertdaten, die aus der Ausgabe des Testobjekt-RAM zu lesen sind, und das Ladefreigabesignal mit negativer Logik(-LE) zum Bestimmen der Fehlerunterscheidung werden von dem RAM-BIST-Mustererzeugungsblock 201 empfangen. Die Fehlerunterscheidung sollte während der Schreiboperation des relevanten Testobjekt-RAM nicht ausgeführt werden, da die relevante RAM-Ausgabe der "ignorierte" Wert oder ein feststehender Wert ist. Daher wird während der Schreiboperation des relevanten Testobjekt-RAM das Ladefreigabesignal mit negativer Logik(-LE), bei dem das Ausführen der Fehlerunterscheidung verhindert wird, durch die Testmustererzeugungsschaltung 214 erzeugt.
  • Darüber hinaus erzeugt der RAM-BIST-Mustererzeugungsblock bei dem Test zur Massenproduktion das Testmustersignal für jeden Taktzyklus und führt die Fehlerunterscheidung viele Male aus, während die Adresse des RAM bei dem einzelnen Test verändert wird. Falls bei einer Vielzahl von Fehlerunterscheidungen auch nur einmal ein Fehler detektiert wird, wird der Fehler bei den relevanten Testobjektbits unterschieden. Deshalb kann ein Protokoll von in der Vergangenheit detektierten Fehlern auch dann gehalten werden, wenn eine Rückführungsschleifenschaltung in der Fehlerunterscheidungsschaltung existiert und während der neuen Fehlerunterscheidungsperiode kein Fehler detektiert wird. Falls ferner ein weiterer Fehler detektiert wird, nachdem Fehler in der Vergangenheit detektiert worden sind, wird ein Protokoll des Fehlers durch die relevante Rückführungsschleifenschaltung überschrieben. Das Fehlerhalte-FF, das die Fehlerunterscheidungsschaltung bildet, ist mit der Scankette verbunden, die nicht die Scankette des RAM-BIST-Mustererzeugungsblocks ist. Daher kann das Fehlerhalte-FF durch Löschen der Fehlerinformationen zu der Zeit der Anfangseinstellung vor Beginn des Tests initialisiert werden, und das relevante Testresultat kann von Scan-Out2 gelesen werden.
  • 3 zeigt ein Beispiel für eine Fehlerunterscheidungsschaltungsstruktur für ein Bit bei der Hintergrundtechnik. Die Erwartungswertvergleichsschaltung ist aus einem Ex-OR-(Exklusiv-ODER)-Gatter 304 gebildet. Wenn die Lesedaten von dem Testobjekt-RAM mit den Erwartungswertdaten übereinstimmen, gibt die Erwartungswertvergleichsschaltung '0' aus, weil das Testresultat als gut beurteilt wird. Wenn die Lesedaten nicht übereinstimmen, gibt die Erwartungswertvergleichsschaltung '1' aus, weil das Testresultat als schlecht (Fehler) beurteilt wird. Das relevante Testresultat wird in das FF 306 geschrieben, wobei es das ODER-Gatter (logische Summe) 305 durchläuft.
  • Darüber hinaus wird, wenn die Rückführungsschleifenschaltung für den Test verwendet wird (Schleife = '1') und ein Fehler bei demselben Bit bereits detektiert worden ist, der Zustand, bei dem der relevante Fehler detektiert wurde, in dem FF 306 mit der relevanten Rückführungsschleife gehalten, die aus dem UND-Gatter (logisches Produkt) 303 gebildet ist. Auch nachdem die Fehlerunterscheidung eine Anzahl von Malen wiederholt worden ist, kann daher das FF 306 als Flag verwendet werden, das angibt, ob ein Fehler bei dem relevanten Bit erzeugt wurde oder nicht. Ein Vergleich des Erwartungswertes sollte während der Schreiboperation in dem Testobjekt-RAM nicht ausgeführt werden, da die Lesedaten von dem relevanten Testobjekt-RAM keine Bedeutung haben. Deshalb wird das Ladefreigabesignal mit negativer Logik(-LE) während des RAM-BIST-Mustererzeugungsblocks auf (-LE = '1') gesetzt, und das Aktualisieren des Wertes, der durch das FF 306 gehalten wird, wird mit dem IH-(Unterdrückungs)-An schluss des FF 306 verhindert. Da im Allgemeinen einer oder mehrere Zyklen zum Lesen der Lesedaten von dem RAM erforderlich sind, werden der Erwartungswert und das Ladefreigabesignal mit negativer Logik in dem Zyklus mit den Zykluseinstellschaltungen 301, 302 eingestellt, die aus dem Schieberegister gebildet sind, um den Zyklus der Lesedaten einzustellen.
  • 4 zeigt ein Beispiel für einen Testablauf, bei dem die RAM-BIST-Schaltung der Hintergrundtechnik verwendet wird. Dies ist ein Beispiel für einen Testablauf, der zur Fehlerunterscheidung der relevanten LSI, oder zur Bestimmung der Relief-Objektbits des Fehlers, unter Verwendung einer redundanten Schaltung des RAM bei dem Massenproduktionstest der LSI eingesetzt wird.
  • Nach Beginn des Tests (Schritt S401) werden zuerst der Instruktionscode und das Modussignal über Scan-In für die Scankette des RAM-BIST-Mustererzeugungsblocks eingestellt. Der Anfangswert des Zählers innerhalb des RAM-BIST-Mustererzeugungsblocks wird auch eingestellt (Schritt S402). In diesem Fall wird die Rückführungsschleifenschaltung in der Fehlerunterscheidungsschaltung auf EIN gestellt (Schleife = '1'), und eine Initialisierung wird ausgeführt, indem die Fehlerinformationen, die in dem Fehlerhalte-FF in der Fehlerunterscheidungsschaltung gehalten werden, gelöscht werden (Schritt S403).
  • Als nächster Schritt werden so viele Takte wie für den relevanten RAM-Test erforderlich auf den Testobjekt-RAM angewendet (Schritt S404 bis S405). Die Schreib- und Leseoperationen des Testobjekt-RAM werden jedes Mal, wenn ein Takt angewendet wird, mit dem Testmuster ausgeführt, das in dem RAM-BIST-Mustererzeugungsblock automatisch erzeugt wird.
  • Es wird auch eine Fehlerunterscheidung in der Fehlerunterscheidungsschaltung ausgeführt. Nach Anwendung der für den Testobjekt-RAM erforderlichen Takte hält das Fehlerhalte-FF in der Fehlerunterscheidungsschaltung die Fehlerinformationen für jedes Bit. Die relevanten Fehlerinformationen werden unter Verwendung der Scankette für die externe Seite der Testobjekt-LSI gelesen (Schritt S406). Danach ist der Test unter Verwendung der RAM-BIST-Schaltung vollendet (Schritt S407). Da die relevanten Fehlerinformationen jedem Bit des Testobjekt-RAM entsprechen, kann ein Fehlererzeugungsbit von der Bitstelle in der relevanten Scankette unterschieden werden. Dennoch ist es unmöglich, eine Fehlererzeugungsadresse des Testobjekt-RAM zu unterscheiden.
  • Bei einer Fehleranalyse einer LSI ist es erforderlich, den physikalischen Ort zu identifizieren, wo ein Fehler erzeugt wird. Ferner muss, wenn der relevante Fehler erzeugt wird, unterschieden werden, ob ein hoher Wert gelesen wurde, wenn ein niedriger Wert erwartet worden ist, oder im Gegensatz dazu ein niedriger Wert gelesen wurde, wenn ein hoher Wert erwartet worden ist. Als Verfahren der Fehleranalyse einer LSI muss aus den Informationen auch eine Ursache des Fehlers des Testobjekt-RAM beurteilt werden. Solch eine Beurteilung kann eine Verteilung der physikalischen Orte der detektierten Fehler und ein Profil der Fehlererzeugung enthalten. Solche Informationen werden als FBM-(Fehler-Bitmap)-Informationen bezeichnet.
  • 5 zeigt ein Beispiel für den Testablauf, wenn die FBM-Informationen in der RAM-BIST-Schaltung der Hintergrundtechnik erhalten werden. Die RAM-BIST-Schaltung der Hintergrundtechnik ist nicht mit einem Mittel zum Identifizieren der Fehlererzeugungsadresse versehen. Deshalb werden die Fehlerinformationen, die in dem Fehlerhalte-FF der Fehlerunterscheidungsschaltung gehalten werden, mit der Scankette gelesen, immer wenn Daten aus dem Testobjekt-RAM gelesen werden, ob nun ein Fehler in dieser Zeitlage erzeugt wird oder nicht. Ein Musterort, wo ein Fehler detektiert wird, kann durch Scanverschiebung der Fehlerinformationen nach jeder Leseoperation des Testobjekt-RAM identifiziert werden. Die Fehlererzeugungsadresse und die Erwartungswertdaten, die bei der Leseoperation erhalten werden, können mit den relevanten Scanverschiebungsinformationen analysiert werden. Unten wird jeder Schritt des relevanten Testablaufs erläutert.
  • Zuerst werden der Instruktionscode und das Modussignal durch Ausführen des Scan-In für die Scankette des RAM-BIST-Mustererzeugungsblocks nach Beginn des Tests eingestellt (Schritt S501). Der Anfangswert des Zählers in dem RAM-BIST-Mustererzeugungsblock wird auch eingestellt (Schritt S502). In diesem Fall wird die Rückführungsschleifenschaltung in der Fehlerunterscheidungsschaltung auf AUS gestellt (Schleife = '0'), und die Initialisierung wird ausgeführt, indem die Fehlerinformationen gelöscht werden, die durch das Fehlerhalte-FF innerhalb der Fehlerunterscheidungsschaltung gehalten werden (Schritt S502).
  • Als nächster Schritt werden Takte auf den Testobjekt-RAM angewendet (Schritt S503). Die Schreib- und Leseoperationen des Testobjekt-RAM werden mit dem Testmuster, das in dem RAM-BIST-Mustererzeugungsblock automatisch erzeugt wird, immer dann ausgeführt, wenn der Takt angewendet wird. Die Fehlerunterscheidung des relevanten Testobjekt-RAM wird mit der Fehlerunterscheidungsschaltung ausgeführt. Nach jeder Leseoperation (Schritt S504) des Testobjekt-RAM werden die Fehlerinformationen, die in dem Fehlerhalte-FF in der Fehlerunterscheidungsschaltung gehalten werden, für die externe Seite der Testobjekt-LSI unter Verwendung der Scankette gelesen (Schritt S505). Mit der Wiederholung des oben erläuterten Prozesses (Schritte S504 bis S505) wird der Test unter Verwendung der RAM-BIST-Schaltung vollendet (Schritt S507).
  • Bei diesem Beispiel werden Fehlerinformationen, wie etwa der Inhalt, der in dem Fehlerhalte-FF in der Fehlerunterscheidungsschaltung gehalten wird, einer Scanverschiebung unterzogen, aber der in dem FF zur Einstellung gehaltene Inhalt, wie beispielsweise der Instruktionscode und das Modussignal in der Mustererzeugungsschaltung, werden keiner Scanverschiebung unterzogen, um die Einstelldaten zur Fortsetzung von Operationen bei Anwendung des nächsten Taktes zu halten. Die Leseoperation durch Anwenden des relevanten Taktes und Scanverschiebung der Fehlerinformationen wird wiederholt, bis der Test vollendet ist. Bei diesem Testablauf können ein Fehlererzeugungsbit und ein Fehlererzeugungslesezyklus leicht analysiert werden.
  • In dem Testablauf von 4 ist ein Hochgeschwindigkeitsoperationstest des Testobjekt-RAM möglich, da ein Testprozess lediglich mit Anwendung eines Taktes nach der Anfangseinstellung vollendet wird. Da jedoch die Bitinformationsmenge von einem Bit in der Adressrichtung für jedes Bit der Ausgabe des Testobjekt-RAM bereitgestellt wird, ergibt sich ein Problem insofern, als die Informationen über die Fehlererzeugungsadresse nicht erhalten werden können und dadurch die FBM-Informationen nicht erlangt werden können.
  • Darüber hinaus können die FBM-Informationen bei dem Testablauf von 5 erfasst werden, aber die Leseoperation durch Scanverschiebung des Fehlerhalte-FF in der Fehlerunterscheidungsschaltung wird bei jeder Leseoperation des Testobjekt-RAM erzeugt. Wenn deshalb ein einzelner Takt während der Operation des Testobjekt-RAM angewendet wird, kann ein Fehler von dem Typ, der durch kontinuierliche Hochgeschwindigkeitsanwendung des Taktes auf den RAM zu erzeugen ist, in manchen Fällen nicht reproduziert werden.
  • Deshalb kann nicht gesagt werden, dass das Testverfahren unter Verwendung der RAM-BIST-Schaltung der Hintergrundtechnik ein höheres Fehleranalysevermögen hat, da es unmöglich ist, eine Operationsgeschwindigkeit, die der tatsächlichen Operationsbedingung der Testobjekt-LSI ähnlich ist, zu realisieren und auf der Basis des Operationsmusters gleichzeitig Test- und FBM-Informationen zu erfassen.
  • 14 zeigt ein Beispiel für die Struktur einer gewöhnlichen RAM-Zellenschaltung eines Bits. 14 zeigt die RAM-Zellenschaltung eines Bits, die aus pMOS-Transistoren (positiv Metall-Oxid-Silizium) 1401, 1402, nMOS-Transistoren (negativ Metall-Oxid-Silizium) 1403, 1404 und INV-(Inverter)-Gattern 1405, 1406 gebildet ist.
  • Als Nächstes wird die Schreiboperation in der relevanten RAM-Zellenschaltung erläutert. Zuerst werden die Bitleitungen BL1409, XBL1410 im Anfangszustand vorgeladen. Als Nächstes startet, wenn die Adresse, die Schreibdaten und das Schreibfreigabesignal (nicht gezeigt) den RAM-Eingangsanschluss erreichen und auch der Taktimpuls angewendet wird, der RAM die Operation, und die BL1409 und XBL1410 werden gemäß den Schreibdaten angetrieben. Wenn als Nächstes die Reihenadresse (nicht gezeigt) decodiert wird, werden die INV-(Inverter)-Gatter 1405, 1406, die ein Aufzeichnungselement bilden, leitend, und die Daten werden in dem relevanten Speicherelement als Speicherzustand Q gehalten, indem der Impuls für die decodierte Wortleitung WL1408 erzeugt wird. Des Weiteren wird die Vorladeoperation mit einem PC1407 gestartet, und dadurch werden die Bitleitungen BL1409 und XBL1410 auf den hohen Zustand getrieben.
  • Nun wird die Leseoperation der relevanten RAM-Zellenschaltung erläutert. Zuerst werden die Bitleitungen BL1409, XBL1410 im Anfangszustand vorgeladen. Als Nächstes startet, wenn die Adresse, die Schreibdaten und das Schreibfreigabesignal (nicht gezeigt) den RAM-Eingangsanschluss erreichen und der Taktimpuls angewendet wird, der RAM die Operation. Als Nächstes werden, wenn die Reihenadresse (nicht gezeigt) decodiert wird, die INV-(Inverter)-Gatter 1405, 1406, die ein Aufzeichnungselement bilden, durch Erzeugen des Impulses in der decodierten Wortleitung WL1408 leitend. Mit dem Inhalt des Speicherzustandes Q des relevanten Speicherelementes wird das Potential der Bitleitungen BL1409 oder XBL1410 verringert, und eine Potentialdifferenz wird zwischen den Bitleitungen BL1409 und XBL1410 erzeugt. Hier startet ein Leseverstärker (nicht gezeigt) die Operation und wird ein Lesewert durch eine Potentialdifferenz zwischen den Bitleitungen BL1409 und XBL1410 bestimmt. Des Weiteren startet der PC1407 die Vorladeoperation, um die Bitleitungen BL1409, XBL1410 auf den hohen Zustand zu treiben.
  • 15 zeigt ein Zeitlagendiagramm, das ein Beispiel für einen Fehler von dem Typ zeigt, der durch Hochgeschwindigkeitsanwendung eines kontinuierlichen Taktes auf den RAM erzeugt wird; nämlich ein Beispiel für einen Fehler, der bei dem Hochgeschwindigkeitsoperationstest des RAM erzeugt wird.
  • Zum Beispiel kann ein Fehler erzeugt werden, weil die Operation des nächsten Zyklus vor Vollendung des Vorladens der Bitleitung gestartet wird. Falls insbesondere die Leseoperation einen Potentialabfall 1502 vor ausreichender Vollendung des Potentialanstiegs durch die Vorladung 1501 beginnt, kann eine Potentialdifferenz zwischen den Bitleitungen BL und XBL möglicherweise nicht ausreichen, und es können fehlerhafte Daten ausgegeben werden. Anderenfalls nimmt die Zeit (Verzögerungszeit) zu, die zum Erfüllen einer Ausgabe bei der Leseoperation benötigt wird, wodurch die Leistung nachteilig beeinflusst wird.
  • Wenn eine Verzögerungszeit länger wird, weil keine ausreichende Potentialdifferenz zwischen den Bitleitungen BL und XBL erlangt werden kann, wird weiterhin manchmal ein Wortleitungsimpuls 1504 vor Vollendung 1503 des Decodierens der Adresse erzeugt. Wenn die Ausgabeverzögerung bei solch einer Leseoperation groß wird, kann ein Inkrement der relevanten Verzögerung bei einer früheren Anwendung des Taktes nach der Leseoperation detektiert werden.
  • Weiterhin führt ein Vorladen manchmal zu einem nachteiligen Effekt für das Speicherelement. Wenn die Aktivierungsperiode mit der Vorladeperiode der Wortleitung überlappt ist, kann ein nachteiliger Effekt bei dem Haltevermögen des Speicherelementes hervorgerufen werden. Dieser nachteilige Effekt kann auf die vorherige und nachfolgende Beziehung der Zeitlagen der Erzeugung des Wortleitungsimpulses 1504 durch das Decodieren und des Vorladens 1505 zurückgeführt werden, da beide Bitleitungen BL und XBL des Speicherelementes auf den hohen Wert getrieben werden. Selbst wenn der relevante nachteilige Effekt innerhalb des Toleranzbereichs der RAM-Charakteristik liegt, können die Daten in manchen Fällen jedoch nicht normal gehalten werden, falls solch ein nachteiliger Effekt bei der RAM-Zelle, die die schlechte Charakteristik aufweist, wiederholt mit einer hohen Rate erzeugt wird. Falls ein Intervall des relevanten Wortleitungsimpulses 1504 darüber hinaus lang genug ist, ergibt sich das Problem, dass die Wahrscheinlichkeit, dass ein Fehler nicht detektiert werden kann, höher ist, da das Potential mit der Schleifenschaltung des Inverters, der ein Speicherelement bildet, wiederhergestellt werden kann.
  • 16 zeigt ein Zeitlagendiagramm für eine Leseoperation des nächsten Zyklus, die vor dem ausreichenden Vorladen der Bitleitungen während der Schreiboperation bei dem Hochgeschwindigkeitsoperationstest des RAM gestartet wird.
  • Ein Zugriff kann während der Schreib- und Leseoperationen auch auf die anderen Adressen erfolgen, und die Datenwerte des relevanten Schreibobjektes und Leseobjektes werden eine invertierte Beziehung zueinander haben. Falls die nächste Leseoperation vor Vollendung des Vorladens startet, wird in manchen Fällen keine ausreichende Potentialdifferenz zwischen den Bitleitungen BL und XBL erzeugt. Dies kann auf Grund einer verzögerten Vorladestartzeitlage geschehen oder weil das Vorladetreibervermögen niedrig ist, oder wenn die Leseverstärkeroperation wegen solch eines komplizierten Grundes startet, dass zum Beispiel das Treibervermögen der RAM-Zelle niedrig ist. In diesem Fall wird ein Fehler bei den Lesedaten erzeugt, aber ein ausreichendes Vorladen wird herbeigeführt, wenn der Lesezyklus länger ist. Daher ergibt sich das Problem, dass der Fehler nicht reproduziert werden kann.
  • Die JP-A Nr. 1999-39226 offenbart einen Testobjekt-RAM und eine Selbsttestschaltung zum Testen des Testobjekt-RAM. Die Selbsttestschaltung umfasst einen Controller zum Ausgeben eines Steuersignals, wenn er den Testtakt und das Teststartsignal empfängt. Ein Adressgenerator erzeugt ein Adresssignal, wenn er das Steuersignal empfängt, und gibt solch ein Adresssignal an den RAM aus.
  • Ein Datengenerator erzeugt Testdaten, wenn er das Steuersignal empfängt, und gibt die Testdaten an den RAM aus. Ein Komparator vergleicht die gegebenen Testdaten, die durch den Datengenerator ausgegeben werden, mit den tatsächlichen Daten, die danach aus dem RAM gelesen werden, und schreibt die gegebenen Testdaten und gibt ein Fehlersignal aus, wenn sich die Testdaten von den tatsächlichen Daten unterscheiden. Eine Scanschaltung empfängt die tatsächlichen Daten, die von der Speichervorrichtung ausgegeben werden, oder das Adresssignal, das von dem Adressgenerator ausgegeben wird, und sieht eine serielle Ausgabe vor.
  • Ein Multiplexer gibt auf der Basis des Steuersignals selektiv ein Fehlersignal, das von dem Komparator ausgegeben wird, ein Fehlersignal, das von der Scanschaltung ausgegeben wird, oder tatsächliche Daten, die von der Scanschaltung ausgegeben werden, oder das Adresssignal aus. Wenn das Fehlersignal nach Beginn des Tests ausgegeben wird, werden die tatsächlichen Daten, als der Fehler erzeugt wurde, an die externe Seite über den Multiplexer ausgegeben, und weiterhin wird das Adresssignal entsprechend solchen tatsächlichen Daten an die externe Seite über den Multiplexer ausgegeben.
  • Diese Technik offenbart nämlich, dass bei Erzeugung eines Fehlers bei dem RAM-Test die tatsächlichen Daten oder die Adresse bezüglich des erzeugten Fehlers gehalten werden und die relevanten Informationen für die externe Seite der LSI bei der Scanverschiebung gelesen werden.
  • Jedoch hat die Technik, die durch die JP-A Nr. 1999-39226 offenbart wird, dadurch, dass die Testoperation des RAM gestoppt wird, wenn ein Fehler in dem Testobjekt-RAM detektiert wird, das Problem, dass ein Fehler von dem Typ, der erzeugt wird, wenn die Takte kontinuierlich in höherer Rate auf den relevanten RAM angewendet werden, nicht reproduziert werden kann.
  • Die Erfindung wird durch die Ansprüche 1, 10 und 16 definiert.
  • Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unterscheidet sich von der JP-A Nr. 1999-39226 darin, dass bei Erzeugung eines Fehlers die Operationsbedingung nicht später durch Lesen solch einer Operationsbedingung für die externe Seite der LSI bei der Scanverschiebung detektiert wird, sondern der Test vielmehr durch vorheriges Begrenzen der Fehlerdetektionsbedingung ausgeführt wird. Deshalb ist die Operationsbedingung als Vorbedingung bereits detektiert, wenn der Fehler erzeugt wird, und die Operationsbedingung braucht später nicht mehr detektiert zu werden.
  • Darüber hinaus wird bei der in der JP-A Nr. 1999-39226 offenbarten Technik die Testoperation auf Grund der erforderlichen Scanverschiebung, falls ein Fehler erzeugt wird, wegen der Operationsbedingung, wenn solch ein Fehler erzeugt wird, unterbrochen, während im Falle einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die Testoperation nicht unterbrochen wird.
  • Daher offenbart die JP-A Nr. 1999-39226 keine effektive RAM-Testvorrichtung und kein effektives RAM-Testverfahren unter RAM-BIST-Verwendung.
  • Falls die Fehlerinformationen über einen Fehler bei der Leseoperation einer Scanverschiebung unterzogen werden, wenn der Takt nach der Anfangseinstellung des RAM-BIST-Mustererzeugungsblocks kontinuierlich angewendet wird, und der Fehler nach Vollendung der Anwendung des Taktes in der RAM-BIST-Schaltung zum Testen des RAM detektiert wird, der in der LSI wie beispielsweise einer CPU und einem Controller enthalten ist, können die Informationen über die Fehlererzeugungsadresse nicht erhalten werden und können des Weiteren auch die FBM-Informationen nicht erhalten werden, da nur ein Bit in der Adressrichtung vorgesehen ist.
  • Falls die Fehlerinformationen bei jeder Anwendung des Taktes bei der Leseoperation nach der Anfangseinstellung des RAM-BIST-Mustererzeugungsblocks in der RAM-BIST-Schaltung zum Testen des RAM, der in der LSI wie etwa einer CPU und einem Controller enthalten ist, einer Scanverschiebung unterzogen werden, kann der Fehler von dem Typ, der durch kontinuierliche Anwendung des Taktes mit der höheren Rate auf den RAM erzeugt wird, nicht reproduziert werden, da während der Operation ein Takt nach dem anderen angewendet wird.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung sind eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Testen eines RAM vorgesehen, bei denen die Erzeugung eines Fehlers bei der Leseoperation bei der vermerkten Adresse unterschieden werden kann, wenn die Fehlerinformationen in dem Fehlerhalte-FF der Fehlerdetektionsschaltung nach Vollendung des RAM-Tests gehalten werden, indem der Fehler nur während der Leseoperation bei der besonderen vermerkten Adresse in der RAM-BIST-Schaltung zum Testen des RAM detektiert wird, der in der LSI wie etwa einer CPU und einem Controller enthalten ist.
  • Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung sind eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Testen des RAM vorgesehen, bei denen die Fehlerdetektion einer Leseoperation nur bei den besonderen Erwartungswertdaten ausgeführt wird, und wenn der Fehler detektiert wird, wie zum Beispiel bei dem Test, der die Fehlerdetektion nur für den niedrigen Erwartungswert einstellt, kann der Fehler unterschieden werden, weil die Lesedaten, die den niedrigen Erwartungswert haben sollten, ein hoher Wert sind. Darüber hinaus kann eine Ausführungsform der Erfindung eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Testen eines RAM vorsehen, bei denen, wenn ein Fehler bei dem Test detektiert wird, der die Fehlerdetektion nur für den hohen Erwartungswert einstellt, der Fehler unterschieden werden kann, weil die Lesedaten, die den hohen Erwartungswert haben sollten, ein niedriger Wert sind.
  • Ein Aspekt der vorliegenden Erfindung kann durch eine Halbleitervorrichtung vorgesehen werden, die eine Scankette und wenigstens eine Speichervorrichtung enthält, mit einer Adressenhalteschaltung, die mit der Scankette eingestellt wird, einem Testmustererzeugungsmittel zum Erzeugen eines Testmusters und Eingeben des Testmusters zusammen mit einer Schreibadresse in die Speichervorrichtung, einem Erwartungswertkomparator zum Vergleichen von Lesedaten, die von der Speichervorrichtung ausgegeben werden, mit den Erwartungswertdaten, die von dem Testmustergenerator ausgegeben werden, indem eine Leseadresse von dem Testmustergenerator geliefert wird, einer Fehlerhalteschaltung zum Halten des Resultats des Vergleichs als Fehlerzustand, falls ein Fehler durch den Vergleich in dem Erwartungswertkomparator detektiert wird, einem Adressenkomparator zum Vergleichen der vermerkten Adresse, die in der Adressenhalteschaltung gehalten wird, mit der Leseadresse, und einem Fehlerhaltesteuermittel zum Ausführen einer Freigabesteuerung für die Fehler halteschaltung, wenn eine Adressenübereinstimmung zwischen der vermerkten Adresse und der Leseadresse durch den Vergleich in dem Adressenkomparator detektiert worden ist.
  • In einer anderen Ausführungsform ist eine Halbleitervorrichtung vorgesehen, in der der Erwartungswertkomparator eine Freigabesteuerung der Fehlerhalteschaltung ausführt, wenn die Erwartungswertdaten, die von dem Testmustergenerator ausgegeben werden, ein hoher Wert sind und die Lesedaten während des Tests ein niedriger Wert sind, falls der hohe Wert der Erwartungswert ist. Der Erwartungswertkomparator führt auch eine Freigabesteuerung der Fehlerhalteschaltung aus, wenn die Erwartungswertdaten, die von dem Testmustergenerator ausgegeben werden, ein niedriger Wert sind und die Lesedaten während des Tests ein hoher Wert sind, falls der niedrige Wert der Erwartungswert ist.
  • In einer anderen Ausführungsform ist eine Halbleitervorrichtung vorgesehen, in der der Adressenkomparator eine Freigabesteuerung der Fehlerhalteschaltung ausführt, wenn die Leseadresse, nach dem Maskieren mit einem Maskenmittel, in dem Bereich der vermerkten Adresse enthalten ist, indem ein Komparator für jedes Bit vorgesehen wird, das eine Adresse bildet, und dann das Maskenmittel zum Maskieren der Ausgabe des Komparators vorgesehen wird.
  • In einer anderen Ausführungsform ist eine Halbleitervorrichtung vorgesehen, die eine Adressenhalteschaltung enthält, die mit der Scankette eingestellt wird, einen Testmustergenerator zum Erzeugen eines Testmusters und Eingeben des Testmusters zusammen mit einer Schreibadresse in die Speichervorrichtung, einen Erwartungswertkomparator zum Vergleichen von Lesedaten, die von der Speichervorrichtung ausgegeben werden, mit Erwartungswertdaten, die von dem Testmustergenerator ausgegeben werden, indem eine Leseadresse von dem Testmustergenerator geliefert wird, eine Fehlerhalteschaltung zum Halten des Vergleichsresultats als Fehlerzustand, wenn ein Fehler bei dem Vergleich in dem Erwartungswertkomparator detektiert wird, ein Inkrementierungsmittel, ein Speicher/Rücksetz-Flag-Mittel einer vermerkten Adresse, das mit der Scankette eingestellt wird, und ein Speichermittel einer vermerkten Adresse, zum Halten eines Wertes nach dem Inkrementieren, mit dem Inkrementierungsmittel, der vermerkten Adresse, die in der Adressenhalteschaltung gehalten wird, wobei der Wert, der in dem Speichermittel der vermerkten Adresse gehalten wird, für die Halteschaltung der vermerkten Adresse zurückgesetzt wird, indem das Speicher/Rücksetz-Flag-Mittel der vermerkten Adresse eingestellt wird.
  • In einer Ausführungsform ist eine Halbleitervorrichtung vorgesehen, in der die Halteschaltung der vermerkten Adresse nicht mit der Scankette verbunden ist.
  • In einer anderen Ausführungsform ist ein Informationsprozessor mit einer Halbleitervorrichtung vorgesehen, die eine Scankette und wenigstens eine Speichervorrichtung enthält, welche Halbleitervorrichtung eine Adressenhalteschaltung enthält, die mit der Scankette eingestellt wird, einen Testmustergenerator zum Erzeugen eines Testmusters und Eingeben des Testmusters zusammen mit einer Schreibadresse in die Speichervorrichtung, einen Erwartungswertkomparator zum Vergleichen eines Lesewertes, der von der Speichervorrichtung ausgegeben wird, mit den Erwartungswertdaten, die von dem Testmustergenerator ausgegeben werden, indem eine Leseadresse von dem Testmustergenerator geliefert wird, eine Fehlerhalteschaltung zum Halten des Vergleichsresultats als Fehlerzustand, wenn ein Fehler durch den Vergleich in dem Erwartungswertkomparator detektiert wird, einen Adressenkomparator zum Vergleichen der erwarteten Adresse, die in der Adressenhalteschaltung gehalten wird, mit der Leseadresse, und ein Fehlerhaltesteuermittel zum Ausführen einer Freigabesteuerung für die Fehlerhalteschaltung, wenn eine Adressübereinstimmung zwischen der vermerkten Adresse und der Leseadresse durch den Vergleich in dem Adressenkomparator detektiert wird.
  • In einer anderen Ausführungsform ist ein Informationsprozess vorgesehen, mit einer Halbleitervorrichtung, die eine Scankette und wenigstens eine Speichervorrichtung enthält, welche Halbleitervorrichtung eine Adressenhalteschalturig enthält, die mit der Scankette eingestellt wird, einen Testmustergenerator zum Erzeugen eines Testmusters und Eingeben des Testmusters zusammen mit einer Schreibadresse in die Speichervorrichtung, einen Erwartungswertkomparator zum Vergleichen von Lesedaten, die von der Speichervorrichtung ausgegeben werden, mit den Erwartungswertdaten, die von dem Testmustergenerator ausgegeben werden, indem eine Leseadresse von dem Testmustergenerator geliefert wird, eine Fehlerhalteschaltung zum Halten des Vergleichsresultats als Fehlerzustand, wenn ein Fehler durch den Vergleich in dem Erwartungswertkomparator detektiert wird, ein Inkrementierungsmittel, ein Speicher/Rücksetz-Flag-Mittel einer vermerkten Adresse, das mit der Scankette eingestellt wird, und ein Speichermittel einer vermerkten Adresse, zum Halten des Wertes nach dem Inkrementieren, mit dem Inkrementierungsmittel, der vermerkten Adresse, die in der Adressenhalteschaltung gehalten wird, wobei der Wert, der in dem Speichermittel der vermerkten Adresse gehalten wird, für die Halte schaltung der vermerkten Adresse zurückgesetzt wird, indem das Speicher/Rücksetz-Flag-Mittel der vermerkten Adresse eingestellt wird.
  • Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Testen einer Halbleitervorrichtung vorgesehen, die eine Scankette und wenigstens eine Speichervorrichtung enthält, bei dem die Halbleitervorrichtung eine Adressenhalteschaltung enthält, die mit der Scankette eingestellt wird, ein Testmustergenerator ein Testmuster erzeugt und das Testmuster zusammen mit einer Schreibadresse in die Speichervorrichtung schreibt, ein Erwartungswertkomparator Lesedaten, die von der Speichervorrichtung ausgegeben werden, mit den Erwartungswertdaten vergleicht, die von dem Testmustergenerator gelesen werden, indem eine Leseadresse von dem Testmustergenerator geliefert wird, und eine Fehlerhalteschaltung das Vergleichsresultat als Fehlerzustand hält, wenn ein Fehler durch das Vergleichsresultat in dem Erwartungswertkomparator detektiert wird, wobei die Fehlerhalteschaltung eine Rückführungsschaltung enthält, die EIN- oder AUSgeschaltet werden kann, um die Rückführungsschaltung zu der Zeit der Initialisierung beim Testen der Speichervorrichtung auf EIN zu stellen, Schreib- und Leseoperationen des Testmusters, das mit dem Testmustergenerator erzeugt wird, in die und von der Speichervorrichtung zusätzlich zu der Anwendung des Taktes auf sie auszuführen und die Fehlerinformationen, die in der Fehlerhalteschaltung gehalten werden, nach Vollendung von Schreib- und Leseoperationen für alle Adressen der Speichervorrichtung zu lesen.
  • In einer anderen Ausführungsform ist ein Verfahren zum Testen einer Halbleitervorrichtung vorgesehen, die eine Scankette und wenigstens eine Speichervorrichtung enthält, bei dem eine Adressenhalteschaltung mit der Scankette eingestellt wird, ein Testmustergenerator ein Testmuster erzeugt und das Testmuster zusammen mit einer Schreibadresse in die Speichervorrichtung schreibt, ein Erwartungswertkomparator Lesedaten, die von der Speichervorrichtung ausgegeben werden, mit den Erwartungswertdaten vergleicht, die von dem Testmustergenerator gelesen werden, indem eine Leseadresse von dem Testmustergenerator geliefert wird, und eine Fehlerhalteschaltung das Vergleichsresultat als Fehlerzustand hält, wenn ein Fehler durch das Vergleichsresultat in dem Erwartungswertkomparator detektiert wird, wobei die Fehlerhalteschaltung eine Rückführungsschaltung enthält, die EIN- oder AUSgeschaltet werden kann, um die Rückführungsschaltung zu der Zeit der Initialisierung beim Testen der Speichervorrichtung auf AUS zu stellen, Schreib- und Leseoperationen des Testmusters, das mit dem Testmustergenerator erzeugt wird, in die und von der Speichervorrichtung zusätzlich zu der Anwendung des Taktes auf sie auszuführen und auch die Leseoperation der Fehlerinformationen auszuführen, die in der Fehlerhalteschaltung gehalten werden.
  • In einer anderen Ausführungsform ist ein Verfahren zum Testen einer Halbleitervorrichtung vorgesehen, die eine Scankette und wenigstens eine Speichervorrichtung enthält, mit einer Adressenhalteschaltung, die mit der Scankette eingestellt wird, einem Testmustergenerator, der ein Testmuster erzeugt und das Testmuster zusammen mit einer Schreibadresse in die Speichervorrichtung schreibt, einem Erwartungswertkomparator, der Lesedaten, die von der Speichervorrichtung ausgegeben werden, und die Erwartungswertdaten vergleicht, die von dem Testmustergenerator gelesen werden, indem eine Leseadresse von dem Testmustergenerator geliefert wird, und einer Fehlerhalteschaltung, die das Vergleichsresultat als Fehlerzustand hält, wenn ein Fehler durch das Vergleichsresultat in dem Erwartungswertkomparator detektiert wird, wobei die Fehlerhalteschaltung eine Rückführungsschaltung enthält, die EIN- und AUSgeschaltet werden kann, um die Rückführungsschaltung zu der Zeit der Initialisierung beim Testen der Speichervorrichtung auf EIN zu stellen, die Schreib- und Leseoperationen in die und von der Speichervorrichtung des Testmusters, das mit dem Testmustergenerator erzeugt wird, zusätzlich zu der Anwendung des Taktes auf sie auszuführen, die Rückführungsschaltung zu der Zeit der Initialisierung beim Testen der Speichervorrichtung nach Vollendung der Schreib- und Leseoperationen für alle Adressen der Speichervorrichtung auf AUS zu stellen und die Schreib- und Leseoperationen in die und von der Speichervorrichtung des Testmusters, das mit dem Testmustergenerator erzeugt wird, zusätzlich zu der Anwendung des Taktes auf sie auszuführen und auch die Leseoperation der Fehlerinformationen auszuführen, die in der Fehlerhalteschaltung gehalten werden.
  • Beispielhaft wird nun Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen genommen, in denen:
  • 1 ein Schema einer gewöhnlichen LSI-Schaltung zeigt;
  • 2 ein Schema einer RAM-BIST-Schaltung der Hintergrundtechnik zeigt;
  • 3 ein Schema einer Fehlerunterscheidungsschaltung für ein Bit der Hintergrundtechnik zeigt;
  • 4 ein Flussdiagramm eines Tests unter Verwendung einer RAM-BIST-Schaltung der Hintergrundtechnik zeigt;
  • 5 ein Flussdiagramm von FBM-Informationen zeigt, die in einer RAM-BIST-Schaltung der Hintergrundtechnik erfasst werden;
  • 6 ein Schema einer RAM-BIST-Schaltung gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt;
  • 7 ein Schema einer Adressenvergleichsschaltung und einer Fehlerhalte-/Steuerschaltung zur Verwendung mit der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt;
  • 8 ein Schema einer RAM-BIST-Schaltung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt;
  • 9 ein Schema einer RAM-BIST-Schaltung zur Verwendung mit der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 10 ein Schema einer Adressenvergleichsschaltung und einer Fehlerhalte-/Steuerschaltung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 11 ein Schema einer RAM-BIST-Schaltung gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 12 ein Schema einer Schaltung eines Speichermechanismus einer vermerkten Adresse zur Verwendung bei der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 13 ein Flussdiagramm gemäß der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 14 ein Schema einer gewöhnlichen RAM-Zellenschaltung für ein Bit zeigt;
  • 15 ein Zeitlagendiagramm zeigt, das ein Beispiel für einen Fehler darstellt, der bei einem Hochgeschwindigkeitsoperationstest eines RAM erzeugt wird; und
  • 16 ein Zeitlagendiagramm zeigt, wenn die Leseoperation des nächsten Zyklus vor einem ausreichenden Vorladen der Bitleitung während der Schreiboperation bei dem Hochgeschwindigkeitsoperationstest des RAM gestartet wird.
  • In den Zeichnungen bezeichnen die gleichen Bezugszeichen durchgängig die gleichen Teile.
  • (Erste Ausführungsform)
  • 6 zeigt ein Beispiel für die Struktur der RAM-BIST-Schaltung zur Fehlerunterscheidung von nur einer einzelnen vermerkten Adresse als erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die RAM-BIST-Schaltung dieser Ausführungsform ist, als periphere Schaltungen des Testobjekt-RAM 621, aus einem RAM-BIST-Mustererzeugungsblock 601 gebildet, worin eine Testmustererzeugungsschaltung 614, eine Adressenvergleichsschaltung 615 und eine Fehlerhaltesteuerschaltung 616 enthalten sind, sowie einer Erwartungswertvergleichsschaltung 631 und einem Fehlerhalte-FF (Flipflop) 641, die eine Fehlerdetektionsschaltung bilden.
  • In der Testmustererzeugungsschaltung 614, die in dem RAM-BIST-Mustererzeugungsblock 601 enthalten ist, stellt die Scan-FF-Gruppe 611, die mit der Scankette zur Eingabe von Scan-In und zur Ausgabe an Scan-Out verbunden ist, den Instruktionscode und das Modussignal ein, die an die Testmustererzeugungsschaltung 614 zu liefern sind, und die Scan-FF-Gruppe 612 zur Zählereinstellung stellt den Anfangswert des Zählers innerhalb der Testmustererzeugungsschaltung 614 ein.
  • Darüber hinaus ist in dieser Ausführungsform zusätzlich eine Scan-FF-Gruppe 613 zum Einstellen einer vermerkten Adresse vorgesehen, um die vermerkte Adresse innerhalb der Scankette zu halten, und die Adressenvergleichsschaltung 615 vergleicht die vermerkte Adresse, die für die Scan-FF-Gruppe 613 zum Einstellen der vermerkten Adresse mit der Scanverschiebung eingestellt wird, mit der Leseadresse, die durch die Testmustererzeugungsschaltung 614 erzeugt wird. Falls ein Fehler durch den relevanten Vergleich detektiert wird, führt die Fehlerhaltesteuerschaltung 616 die Steuerung (Unterdrückungssteuerung) aus, um eine Freigabebegrenzung für den IH-(Unterdrückungs)-Anschluss des Fehlerhalte-FF 641 vorzusehen, um die Schreiboperation des relevanten Fehlerunterscheidungsresultats zu verhindern. Wenn die relevante vermerkte Adresse mit der Leseadresse übereinstimmt, wird das existierende Ladefreigabesignal mit negativer Logik(-LE) direkt ausgegeben. Während der Schreiboperation des relevanten Testobjekt-RAM sollte keine Fehlerunterscheidung ausgeführt werden, da die relevante RAM-Ausgabe der ignorierte Wert oder der feststehende Wert ist. Daher wird während der Schreiboperation des relevanten Testobjekt-RAM das Ladefreigabesignal mit negativer Logik(-LE), das gesteuert wird, um eine Fehlerunterscheidung zu verhindern, durch die Testmustererzeugungsschaltung 614 erzeugt.
  • 7 zeigt ein Beispiel für die Struktur der Adressenvergleichsschaltung und der Fehlerhaltesteuerschaltung gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die entsprechenden Bits der Leseadresse 702, die bei der Einstellung der vermerkten Adresse und des Instruktionscodes 701 erzeugt werden und in den Halte-FFs der vermerkten Adresse 704, 705, ..., 706 gehalten werden, werden unter Verwendung der Ex-OR-(Exklusiv-ODER)-Gatter 708, 709, ..., 710 mit 2 Eingängen verglichen. Das Ex-OR-Gatter mit 2 Eingängen gibt bei einer Nichtübereinstimmung der Eingabe '1' aus. Falls eine Nichtübereinstimmung auch nur bei einem Bit unter den Bits, die die entsprechende Adresse bilden, bei dem ODER-Gatter detektiert wird, mit dem der Ausgang von jedem Ex-OR-Gatter verbunden ist, gibt das Ladefreigabesignal(-LE) '1' aus. Als Resultat wird der Inhalt, der in dem Fehlerhalte-FF gehalten wird, durch Unterdrücken einer Aktualisierung des Fehlerhalte-FF beibehalten. Wenn alle Bits, die die Adresse bilden, übereinstimmen, geben alle Ex-OR-Gatter mit 2 Eingängen '0' aus. Daher wird die existierende Ladefreigabeerzeugungslogik 703, die durch Einstellen des Instruktionscodes 701 erzeugt wird, als Ladefreigabesignal(-LE) ausgegeben. Deshalb ist es möglich, die Steuerung zum Ausführen der Fehlerunterscheidung nur auszuführen, wenn eine Fehlerunterscheidung bei dem RAM-Test erforderlich ist, wie oben erläutert.
  • (Zweite Ausführungsform)
  • 8 zeigt ein Beispiel für die Struktur der RAM-BIST-Schaltung zum Ausführen der Fehlerunterscheidung durch Begrenzen des vermerkten Erwartungswertes als zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die RAM-BIST-Schaltung in dieser Ausführungsform ist, als periphere Schaltung des Testobjekt-RAM 821, aus dem RAM-BIST-Mustererzeugungsblock 801 gebildet, der die Testmustererzeugungsschaltung 815, die Adressenvergleichsschaltung 816 und die Fehlerhaltesteuerschaltung 817 umfasst, sowie aus der Erwartungswertvergleichsschaltung 831 und dem Fehlerhalte-FF 841, die die Fehlerdetektionsschaltung bilden.
  • In der Testmustererzeugungsschaltung 815, die in dem RAM-BIST-Mustererzeugungsblock 801 enthalten ist, stellt die Scan-FF-Gruppe 811, die mit der Scankette verbunden ist, die von Scan-In eingegeben wird und an Scan-Out ausgegeben wird, den Instruktionscode und das Modussignal ein, die an die Testmustererzeugungsschaltung 8 zu liefern sind, und die Scan-FF-Gruppe 812 zur Zählereinstellung stellt den Anfangswert des Zählers innerhalb der Testmustererzeugungsschaltung 815 ein.
  • Darüber hinaus vergleicht in dieser Ausführungsform die Adressenvergleichsschaltung 816 die vermerkte Adresse, die durch Scanverschiebung mit der Scan-FF-Gruppe 813 zum Einstellen einer vermerkten Adresse zum Halten der vermerkten Adresse mit der Scankette eingestellt wird, mit der Leseadresse, die durch die Testmustererzeugungsschaltung 815 erzeugt wird.
  • Darüber hinaus ist in dieser Ausführungsform eine Scan-FF-Gruppe 814 zum Einstellen des Erwartungswertunterscheidungssignals und zum Halten des Erwartungswertsignals innerhalb der Scankette angesichts des Steuerns des Vergleichsverfahrens der Lesedaten, die mit der Testmustererzeugungsschaltung 815 erzeugt werden, in der Erwartungswertvergleichsschaltung 831 zusätzlich vorgesehen, wobei das hohe Erwartungswertunterscheidungssignal oder niedrige Erwartungswertunterscheidungssignal, die für die Scan-FF-Gruppe 814 eingestellt werden, zum Einstellen des Erwartungswertunterscheidungssignals durch die Scanverschiebung verwendet wird.
  • Die Erwartungswertvergleichsschaltung vergleicht die erwarteten Daten mit den Lesedaten und unterscheidet die Detektion eines Fehlers, wenn bei Unterscheidung des hohen Erwartungswertes die Erwartungsdaten der hohe Wert sind und die Lesedaten der niedrige Wert sind, oder wenn bei Unterscheidung des niedrigen Erwartungswertes die Erwartungswertdaten der niedrige Wert sind und die Lesedaten der hohe Wert sind.
  • Wenn ein Fehler bei dem relevanten Vergleich detektiert wird, führt die Fehlerhaltesteuerschaltung 817 die Steuerung (Unterdrückungssteuerung) zum Erteilen einer Freigabebegrenzung für den IH-(Unterdrückungs)-Anschluss des Fehlerhalte-FF 841 aus, um die Schreiboperation des relevanten Vergleichsresultats zu verhindern. Wenn die relevante vermerkte Adresse mit der Leseadresse übereinstimmt, wird das existierende Ladefreigabesignal mit negativer Logik(-LE) in direkt ausgegeben. Während der Schreiboperation des relevanten Testobjekt-RAM sollte keine Fehlerunterscheidung ausgeführt werden, da die relevante RAM-Ausgabe der ignorierte Wert oder der feststehende Wert ist. Während der Schreiboperation des relevanten Testobjekt-RAM wird daher das Ladefreigabesignal mit negativer Logik(-LE), das gesteuert wird, um eine Fehlerunterscheidung zu verhindern, durch die Testmustererzeugungsschaltung 815 erzeugt.
  • 9 zeigt ein Beispiel für die Struktur der Fehlerunterscheidungsschaltung für ein Bit gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Erwartungswertvergleichsschaltung ist gebildet aus den UND-Gattern 905, 906 jeweilig für die Unterscheidung eines hohen Erwartungswertes und die Unterscheidung eines niedrigen Erwartungswertes, und sie unterscheidet, ob die Lesedaten von dem Testobjekt-RAM die folgende Fehlerbedingung bei der Unterscheidung des Erwartungswertes und bei dem Erwartungswert erfüllen oder nicht. Bei dem hohen Wert der Erwartungswertdaten und niedrigen Lesedaten bei der Unterscheidung des hohen Erwartungswertes oder bei niedrigen Erwartungswertdaten und einem hohen Wert der Lesedaten bei der Unterscheidung des niedrigen Erwartungswertes wird die Fehlerdetektionsbedingung erfüllt, und deshalb wird '1' als Resultat der Fehlerunterscheidung ausgegeben. Das relevante Testresultat wird in das FF 908 geschrieben, wobei das ODER-Gatter 907 durchlaufen wird. Wenn ferner die Rückführungsschleifenschaltung für den Test verwendet wird (Schleife = '1') und ein Fehler bei dem identischen Bit detektiert wird, wird der Zustand, bei dem der relevante Fehler mit der relevanten Rückführungsschleife detektiert worden ist, die aus dem UND-Gatter 904 gebildet ist, in dem FF 908 gehalten. Nach einer Vielzahl von Malen der Fehlerunterscheidung kann das FF 908 daher als Flag zum Unterscheiden der Erzeugung eines Fehlers bei dem relevanten Bit verwendet werden. Während der Schreiboperation in den Testobjekt-RAM sollte, da die Lesedaten von dem relevanten Testobjekt-RAM keinerlei Bedeutung haben, der Erwartungswert nicht verglichen werden. Deshalb wird das Ladefreigabesignal mit negativer Logik(-LE) mit dem RAM-BIST-Mustererzeugungsblock auf (-LE = '1') gesteuert, und die Aktualisierung des Wertes, der in dem FF 908 gehalten wird, wird mit dem IH-(Unterdrückungs)-Anschluss des FF 908 unterdrückt. Da im Allgemeinen einer oder mehrere Zyklen zum Lesen der Lesedaten von dem RAM erforderlich sind, stellen der Erwartungswert und das Ladefreigabesignal mit negativer Logik (-LE) die Zyklen durch die Zykluseinstellschaltungen 901, 902, 903 ein, die aus dem Schieberegister zur Einstellung von Zyklen der Lesedaten gebildet sind.
  • (Dritte Ausführungsform)
  • Bei dem Testablauf zum Erfassen der FBM-Informationen in der RAM-BIST-Schaltung der Hintergrundtechnik, die in 5 gezeigt ist, können die FBM-Informationen während der Hochgeschwindigkeitsoperation des Testobjekt-RAM erfasst werden, wobei hier aber ein neues Problem aufgeworfen wird.
  • Und zwar wird die gesamte Testzeit länger, weil Tests wiederholt werden.
  • In der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann das oben erläuterte Problem gelöst werden, indem der Test für den Bereich der vorbestimmten Adresse oder den Erwartungswert auf einmal ausgeführt wird, statt den Test mit der einzelnen vermerkten Adresse oder dem einzelnen Erwartungswert auszuführen, wie es bei der Hintergrundtechnik geschehen ist, und danach den Rastertest für den Bereich der relevanten Adresse oder den Erwartungswert auszuführen.
  • Wenn hier zum Beispiel die Adresse betrachtet wird, ist es möglich, den Test mit der vermerkten Adresse des vorbestimmten Bereichs auszuführen, statt den Test für die einzelne vermerkte Adresse auszuführen. Als Beispiel sind die Tests mit 4096-maliger Wiederholung ausgeführt worden, um den RAM mit 4096 Wörtern zu testen. Jedoch kann solch eine Anzahl von Tests auf 128 Mal reduziert werden, indem der Test für den Bereich der vermerkten Adresse in einer Einheit von 32 Wörtern ausgeführt wird.
  • Falls ein Fehler erzeugt wird, wird danach der Test mit der einzelnen vermerkten Adresse nur für den Adressbereich ausgeführt, wo ein Fehler erzeugt wird. Falls zum Beispiel ein Fehler in den zehn (10) Adressbereichen bei einer Anzahl der Tests von 128 detektiert wird, sind 320 Tests mit der einzelnen vermerkten Adresse für weitere 10 Adressbereiche erforderlich. Daher beträgt die Gesamtanzahl der Male des Tests 448, und diese Anzahl der Male des Tests ist gegenüber 4096 bei dem RAM-Testverfahren, bei dem der gesamte Adressbereich nur mit einer einzelnen vermerkten Adresse getestet wird, beachtlich reduziert worden.
  • 10 zeigt ein Beispiel für die Struktur der Adressenvergleichsschaltung und der Fehlerhaltesteuerschaltung in dem Fall, wenn die vermerkte Adresse nicht als einzelne Adresse selektiert wird, sondern als vorbestimmter Adressbereich, als dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Struktur der RAM-BIST-Schaltung in dieser dritten Ausführungsform kann die der RAM-BIST-Schaltung in der ersten Ausführungsform zum Ausführen einer Fehlerunterscheidung nur bei der einzelnen vermerkten Adresse von 6 ähnlich sein.
  • Der Unterschied zwischen der Adressenvergleichsschaltung in der dritten Ausführungsform und der Adressenvergleichsschaltung in der ersten Ausführungsform ist die Existenz oder Nichtexistenz der Maskenschaltung mit den UND-Gattern 1010, 1011, ..., 1012 und dass die relevanten Bits zwingend behandelt werden können, da diese mit den Signalen MASKO bis 3 in einem Teil der Bits, die die Adresse der vermerkten Adresse bilden, mit der relevanten Maskenschaltung verglichen werden. Wenn zum Beispiel nur das Signal-MASKO auf '0' gesetzt wird und das Signal-MASK1 und das Signal-MASK2 auf '1' gesetzt werden, wird das Adressbit –0 als übereinstimmend behandelt, und das Vergleichsresultat wird in direkt für das Adressbit –1 und das Adressbit –2 verwendet. In jedem Fall wird daher, wenn das Adressbit –0 '0' oder '1' ist, eine Fehlerunterscheidung ausgeführt, die dem Fall äquivalent ist, wenn die vermerkte Adresse in ein paar Adressbereichen eingestellt wird.
  • (Vierte Ausführungsform)
  • In den ersten bis dritten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung muss die vermerkte Adresse, die auf die Mustererzeugungsschaltung anzuwenden ist, adäquat einge stellt werden, da die Tests wiederholt werden, während die vermerkte Adresse verändert wird. Jedoch erhöhen sich in dem Fall, wenn das Testmuster für jede vermerkte Adresse vorbereitet wird, die Musterarten auf eine unzählige Anzahl. Deshalb ist das nicht zweckmäßig.
  • Indessen wird in den ersten bis dritten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung der identische Test als Operationen des Testobjekt-RAM von Anfang an wiederholt. In diesem Fall wird der Anfangswert der Mustererzeugungsschaltung unter Verwendung der Scanverschiebung bei jedem Test eingegeben. Dadurch kommt es auch zu einem Problem. Und zwar wird der Inhalt, der in der Scan-FF-Gruppe zum Einstellen der vermerkten Adresse gehalten wird, die in der Scankette existiert, unterbrochen.
  • In der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird die vermerkte Adresse für den vorhergehenden Test in dem FF gespeichert, das außerhalb der Scankette vorgesehen ist, um das oben erläuterte Problem zu lösen. Da erstens die vermerkte Adresse für den Anfangstest nicht gespeichert wird, wird der Test mit einem Wert gestartet, der mit der Scanverschiebung eingestellt wird, und wird die vermerkte Adresse, die für diesen Anfangstest verwendet wird, gespeichert. Als Nächstes werden die zweiten und nachfolgenden Tests ausgeführt, indem die vermerkte Adresse, die außerhalb der Scankette gespeichert ist, zurückgesetzt wird, und die relevante vermerkte Adresse wird während der Tests gespeichert. Da in dieser Ausführungsform die Informationen zum Zurücksetzen oder Nichtzurücksetzen der vermerkten Adresse verwendet werden müssen, kann der Test aller Adressen für den relevanten Testobjekt-RAM mit nur zwei Arten von Testmustern erfolgen.
  • Ein Beispiel für die Struktur der RAM-BIST-Schaltung, die den Speichermechanismus der vermerkten Adresse enthält, ist zusätzlich zu der Struktur der zweiten Ausführungsform gezeigt. Die vermerkte Adresse ist mit dem Zählerwert identisch, der durch jeden RAM-Test inkrementiert wird; da aber auch der vermerkte Erwartungswert bei dem RAM-Test identisch wie die vermerkte Adresse behandelt werden kann, indem er als Adressinformation angesehen wird, die den niedrigstwertigen Bits der vermerkten Adresse kontinuierlich folgt und der vermerkten Adresse zugeordnet ist, unter der Annahme, dass der vermerkte Erwartungswert die Information ist, die der vermerkten Adresse zugeordnet ist, werden die vermerkte Adresse und der vermerkte Erwartungswert hier nicht besonders unterschieden.
  • Die RAM-BIST-Schaltung dieser Ausführungsform ist, als periphere Schaltungen des Testobjekt-RAM 1121, aus dem RAM-BIST-Mustererzeugungsblock 1101 gebildet, worin die Testmustererzeugungsschaltung 1117, die Adressenvergleichsschaltung 1119 und die Fehlerhalte-/Steuerschaltung 1120 enthalten sind, sowie aus der Erwartungswertvergleichsschaltung 1131 und dem Fehlerhalte-FF 1141, die die Fehlerdetektionsschaltung bilden.
  • In der Testmustererzeugungsschaltung 1117, die in dem RAM-BIST-Mustererzeugungsblock 1101 enthalten ist, legt nicht nur die Scan-FF-Gruppe 1111, die mit der Scankette verbunden ist, die von Scan-In eingegeben wird und an Scan-Out ausgegeben wird, den Instruktionscode und das Modussignal fest, die an die Testmustererzeugungsschaltung 1117 zu liefern sind, sondern auch die Scan-FF-Gruppe 1112 zur Zählereinstellung legt den Anfangswert des Zählers in der Testmustererzeugungsschaltung 1117 fest, und auch die Scan- FF-Gruppe 1113 zum Einstellen der vermerkten Adresse und die Scan-FF-Gruppe 1114 zum Einstellen des Erwartungswertunterscheidungssignals können die vermerkte Adresse und das Erwartungswertunterscheidungssignal einstellen.
  • Des Weiteren ist in der vorliegenden Ausführungsform das Scan-FF 1115 zum Einstellen des Speicher/Rücksetz-Flags der vermerkten Adresse zum Bestimmen des Speicherns der vermerkten Adresse für die Scankette oder des Zurücksetzens der einst gespeicherten vermerkten Adresse zusätzlich vorgesehen. Ferner ist in dieser Ausführungsform eine Nicht-Scan-FF-Gruppe 1116 zum Speichern der vermerkten Adresse außerhalb der Scankette vorgesehen. Diese Nicht-Scan-FF-Gruppe 1116 zum Speichern der vermerkten Adresse ist außerhalb der Scankette vorgesehen, um einen Einfluss der Scanverschiebung zu der Zeit der Einstellung jedes RAM-Tests zu eliminieren.
  • 12 zeigt ein Beispiel für die Struktur der Schaltung des Speichermechanismus der vermerkten Adresse als vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Da die vermerkte Adresse bei jedem RAM-Test verändert werden muss, wird die relevante vermerkte Adresse um eins (1) inkrementiert, wenn die vermerkte Adresse gespeichert wird. Anderenfalls kann ein ähnlicher Effekt mit dem Verfahren erreicht werden, bei dem die vermerkte Adresse inkrementiert wird, wenn sie zurückgesetzt wird.
  • Der Speichermechanismus der vermerkten Adresse ist gebildet aus dem Scan-FF (FA-FF) 1202, 1202, ..., 1204 zum Einstellen der vermerkten Adresse, das mit der Scankette verbunden ist, dem Nicht-Scan-FF (FA2-FF) 1207, 1208, 1209 zum Speichern der vermerkten Adresse, das nicht mit der Scankette verbunden ist, dem Scan-FF (FAR-FF) 1205 zum Einstellen des Speicher/Rücksetz-Flags der vermerkten Adresse, der Inkrementierungsschaltung 1206 und dem INV-(Inverter)-Gatter 1201.
  • Für den RAM-Test wird die Adresse des ersten Tests in das Scan-FF (FA-FF) 1202, 1202, ..., 1204 zum Einstellen der vermerkten Adresse bei der Scanverschiebung bei dem ersten Test gesetzt, während das Scan-FF (FAR-FF) 1205 zum Einstellen des Speicher/Rücksetz-Flags der vermerkten Adresse auf '0' gesetzt wird. Dadurch wird in dem Scan-FF (FA-FF) 1202, 1202, ..., 1204 zum Einstellen der vermerkten Adresse der Einstellwert '0' des Scan-FF (FAR-FF) 1205 zum Einstellen des Speicher/Rücksetz-Flags der vermerkten Adresse mit dem INV-(Inverter)-Gatter 1201 invertiert. Daher wird der IH-(Unterdrückungs)-Anschluss EINgeschaltet, und dadurch wird auch dann keine Aktualisierung ausgeführt, wenn der Takt angewendet wird. Hinsichtlich des Nicht-Scan-FF (FA2-FF) 1207, 1208, ..., 1209 zum Speichern der vermerkten Adresse wird ein Wert des Inhaltes des Scan-FF (FA-FF) 1202, 1202, 1204 zum Einstellen der vermerkten Adresse, der mit der Inkrementierungsschaltung 1206 um eins (1) inkrementiert wird, gehalten, wenn der Takt angewendet wird.
  • Bei dem zweiten und den nachfolgenden Tests wird der Einstellwert des Scan-FF (FAR-FF) 1205 zum Einstellen des Speicher/Rücksetz-Flags der vermerkten Adresse zuvor auf '1' gesetzt. Da der Einstellwert '1' des Scan-FF zum Einstellen des Speicher/Rücksetz-Flags der vermerkten Adresse mit dem INV-(Inverter)-Gatter 1201 in dem Scan-FF zum Einstellen der vermerkten Adresse (FA-FF) 1202, 1202, ..., 1204 invertiert wird, wird die vermerkte Adresse, die in dem Nicht-Scan-FF zum Speichern der vermerkten Adresse (FA-FF) 1207, 1208, ..., 1209 gespeichert ist, für das Scan-FF zum Einstellen der vermerkten Adresse (FA-FF) 1202, 1202, ..., 1204 zurückgesetzt, wenn der erste Takt angewendet wird.
  • Daher wird der vermerkte Adresswert, der zuerst der Scanverschiebung unterzogen wurde, in dieser Zeitlage überschrieben. Die Daten '0' werden von dem D-Eingang in das Scan-FF zum Einstellen des Speicher/Rücksetz-Flags der vermerkten Adresse (FARORR) 1205 geschrieben, wenn der Takt angewendet wird. Der gewöhnliche Test wird bei der zweiten und den nachfolgenden Anwendungen des Taktes gestartet, und die neue vermerkte Adresse wird in dem Nicht-Scan-FF zum Speichern der vermerkten Adresse (FA2-FF) 1207, 1208, ..., 1209 gespeichert. Hier muss in dem Adressrücksetzzyklus, wenn das Scan-FF zum Einstellen des Speicher/Rücksetz-Flags der vermerkten Adresse (FAR-FF) 1205 auf '1' gesetzt wird, die RAM-BIST-Schaltung gestoppt werden, um nicht zu arbeiten.
  • 13 zeigt ein Beispiel für den Testablauf in dem Fall, wenn die FMB-Informationen in der RAM-BIST-Schaltung erfasst werden, wenn die vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zum Einsatz kommt. In dieser Ausführungsform wird zum Vereinfachen der Erläuterung die einzelne vermerkte Adresse verwendet.
  • Nach Beginn des Tests (Schritt S1301) können der Instruktionscode und das Modussignal mit Scan-In für die Scankette des RAM-BIST-Mustererzeugungsblocks eingestellt werden und wird auch der Anfangswert des Zählers in dem RAM-BIST-Mustererzeugungsblock eingestellt (Schritt S1302). In diesem Fall erfolgt die Initialisierung durch Einstellen der Rückführungsschleifenschaltung in der Fehlerunterscheidungsschaltung auf EIN (Schleife = '1') sowie durch Einstellen des Scan-FF zum Einstellen des Speicher/Rücksetz-Flags der vermerkten Adresse auf '0' und durch Löschen der Fehlerinformationen, die in dem Fehlerhalte-FF in der Fehlerunterscheidungsschaltung gespeichert sind (Schritt S1303).
  • Als nächster Schritt wird der Takt, der zum Testen des relevanten RAM ausreicht, auf den Testobjekt-RAM angewendet (Schritte S1304 bis S1305). Bei jeder Anwendung des Taktes werden die Schreib- und Leseoperationen für den und von dem Testobjekt-RAM mit dem Testmuster ausgeführt, das in dem RAM-BIST-Mustererzeugungsblock automatisch erzeugt wird, und die Fehlerunterscheidung für den relevanten Testobjekt-RAM wird mit der Fehlerunterscheidungsschaltung ausgeführt. Nach Vollendung der Anwendung des Taktes, der für den Testobjekt-RAM erforderlich ist, werden die Fehlerinformationen von jedem Bit in dem Fehlerhalte-FF in der Fehlerunterscheidungsschaltung gespeichert. Die relevanten Fehlerinformationen können für die externe Schaltung der Testobjekt-LSI unter Verwendung der Scankette gelesen werden (Schritt S1306).
  • Als Nächstes werden der Instruktionscode und das Modussignal mit Scan-In für die Scankette des RAM-BIST-Mustererzeugungsblocks eingestellt und wird auch der Anfangswert oder dergleichen des Zählers in dem RAM-BIST-Mustererzeugungsblock eingestellt (Schritt S1307). In diesem Fall erfolgt die Initialisierung durch Einstellen der Rückführungsschleifenschaltung in der Fehlerunterscheidungsschaltung auf EIN (Schleife = '1'), auch durch Einstellen des Scan-FF zum Einstellen des Speicher/Rücksetz-Flags der vermerkten Adresse auf '1' und durch Löschen der Fehlerinformationen, die in dem Fehlerhalte-FF in der Fehlerunterscheidungsschaltung gespeichert sind.
  • Als nächster Schritt wird der Takt, der zum Testen des relevanten RAM ausreicht, auf den Testobjekt-RAM angewendet (Schritte S1309 bis S1310). Immer wenn der Takt angewendet wird, werden die Schreib- und Leseoperationen für den und von dem Testobjekt-RAM auf der Basis des Testmusters ausgeführt, das mit dem RAM-BIST-Mustererzeugungsblock automatisch erzeugt wird, und wird die Fehlerunterscheidung des relevanten Testobjekt-RAM mit der Fehlerunterscheidungsschaltung ausgeführt. Nach Vollendung der Anwendung des Taktes, der für den Testobjekt-RAM erforderlich ist, werden die Fehlerinformationen von jedem Bit in dem Fehlerhalte-FF innerhalb der Fehlerunterscheidungsschaltung gespeichert. Die relevanten Fehlerinformationen werden für die externe Seite der Testobjekt-LSI unter Verwendung der Scankette gelesen (Schritt S1306).
  • Als nächster Schritt werden die oben erläuterten Schritte (Schritte S1307 bis S1312) für alle Adressen des Testobjekt-RAM durch Zurücksetzen der gespeicherten vermerkten Adresse wiederholt. Danach ist der Test unter Verwendung der RAM-BIST-Schaltung vollendet (Schritte S1313).
  • Der Testablauf, für den die vierte Ausführungsform ausgelegt ist, unterscheidet sich von dem Testablauf, auch wenn die FBM-Informationen erfasst werden, bei dem die FBM-Informationen in der RAM-BIST-Schaltung der Hintergrundtechnik erfasst werden, und ist dadurch gekennzeichnet, dass die Leseoperation mit der Scanverschiebung der Fehlerinformationen bei jedem Lesezyklus nicht mehr ausgeführt werden muss. Deshalb ist die kontinuierliche Anwendung des Taktes möglich, und der Test kann auch unter der Bedingung ausgeführt werden, die der tatsächlichen Bedingung des Testobjekt-RAM ähnlich ist. Bei diesem Testablauf wird der Test wiederholt, während die vermerkte Adresse nacheinander verändert wird, weil die Fehlerunterscheidung nur ausgeführt wird, wenn die besondere vermerkte Adresse gelesen wird, um die Fehlererzeugungsadresse zu identifizieren. Zuerst wird der Anfangstest durch Einstellen der vermerkten Adresse mit der Scanverschiebung ausgeführt. Bei dem zweiten und den nachfolgenden Tests werden die Tests für alle Adressen des Testobjekt-RAM wiederholt, indem die einst gespeicherte vermerkte Adresse zurückgesetzt wird. Die vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann nämlich dadurch gekennzeichnet sein, dass Fehlerunterscheidungen aller Adressen in den zweiten Stufen ausgeführt werden.
  • Wie oben erläutert, kann gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, da die Fehlerunterscheidung nicht für die Adressen, außer der vermerkten Adresse, ausgeführt wird, wenn der RAM-Test unter Verwendung einer Reihe von Testmustern ausgeführt worden ist, falls ein Fehler detektiert wird, die Erzeugung eines Fehlers in der vorbestimmten vermerkten Adresse leicht unterschieden werden.
  • Da gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die vermerkte Adresse ferner unter Verwendung der Inkrementierungsschaltung eingestellt wird, muss das Testmuster nicht mehr für jede vermerkte Adresse vorbereitet werden, und dadurch kann die Zunahme der Testmuster gesteuert werden.
  • Da gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die vermerkte Adresse ferner nicht als einzelne Adresse definiert ist, sondern als vorbestimmter Adressbereich, kann dann, falls ein Fehler nach dem Test des relevanten gesamten Adressbereichs erzeugt wird, die Gesamtanzahl der Male des Tests gesteuert werden, indem der Rastertest ausgeführt wird, der für die einzelne Adresse in dem Adressbereich ausgeführt wird, wenn ein Fehler erzeugt wird.
  • Da gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die Fehlerdetektion ferner nicht für den Erwartungswert, außer dem vermerkten Erwartungswert, ausgeführt wird, wenn alle RAM-Tests unter Verwendung einer Reihe von Testmustern ausgeführt werden, kann die Erzeugung eines Fehlers mit dem vermerkten Erwartungswert leicht unterschieden werden, wenn ein Fehler detektiert wird.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung können weiterhin die FBM-Informationen während der Hochgeschwindigkeitsoperation des Testobjekt-RAM mit der zweckmäßigen Anzahl von Testmustern und der zweckmäßigen Anzahl der Male des Tests erfasst werden, woraus sich der besondere Effekt ergibt, dass die Fehleranalyse vereinfacht werden kann. Folglich kann die vorliegende Erfindung den Effekt bieten, dass die Entwicklungsprozesse der LSI beschnitten werden können.
  • Weiterhin sind die Ausführungsformen und deren Operationen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen eingehend beschrieben worden. Die zweckmäßigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung sind jedoch nicht auf diese begrenzt, und die vorliegende Erfindung enthält auch verschiedenartige Veränderungen oder Abwandlungen innerhalb des Umfangs, ohne von ihrem Gegenstand abzuweichen.
  • Da ferner die Fachwelt ohne weiteres auf zahlreiche Abwandlungen und Veränderungen kommen wird, soll die Erfindung nicht auf die exakte Konstruktion und die gezeigte und beschriebene Operation begrenzt werden, und daher fallen alle geeigneten Abwandlungen und Äquivalente, auf die zu rückgegriffen werden kann, in den Umfang der Erfindung, wie er durch die beigefügten Ansprüche definiert ist.
  • Diese Anmeldung beansprucht die Priorität für JP 2005-08821 , eingereicht am 25. März 2005.

Claims (16)

  1. Halbleitervorrichtung, die eine Scankette und eine Speichervorrichtung (621, 821, 1121) hat und umfasst: einen Fehlerhalter (641, 841, 1141) zum Halten eines Abweichungsstatus; und einen Datenkomparator (631, 831, 1131) zum Vergleichen von Lesedaten von der Speichervorrichtung (621, 821, 1121) mit Erwartungswertdaten, um einen Abweichungsstatus der Lesedaten zu detektieren; und dadurch gekennzeichnet ist, dass sie umfasst: einen Adressenhalter (613, 813, 1113) zum Speichern einer vermerkten Adresse, die eine Testadresse für die Speichervorrichtung (621, 821, 1121) zum Testen der Halbleitervorrichtung ist, die mit der Scankette gesetzt wird; und einen Adressenkomparator (615, 816, 1119) zum Vergleichen der vermerkten Adresse, die in dem Adressenhalter (613, 813, 1113) gespeichert ist, mit einer Leseadresse zum Lesen der Lesedaten; und einen Fehlerhaltecontroller (616, 817, 1120) zum Ausführen einer Freigabesteuerung des Fehlerhalters (641, 841, 1141), wenn eine Adressenübereinstimmung zwischen der vermerkten Adresse und der Leseadresse auftritt, und Speichern des Abweichungsstatus in dem Fehlerhalter (641, 841, 1141).
  2. Halbleitervorrichtung nach Anspruch 1, die ferner eine Scankette zum Speichern der vermerkten Adresse in einem Adressenhalter (613, 813, 1113) umfasst.
  3. Halbleitervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, die ferner einen Testmustergenerator (614, 815, 1117) umfasst, zum Generieren eines Testmusters und Eingeben des Testmusters zusammen mit der Schreibadresse in die Speichervorrichtung (621, 821, 1121).
  4. Halbleitervorrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, bei der der Adressenkomparator (615, 816, 1119) betriebsfähig ist, um eine Freigabesteuerung für den Fehlerhalter (641, 841, 1141) auszuführen, wenn die Leseadresse durch das Vergleichen jedes Bit, das die Leseadresse bildet, mit einer Maske in einem Bereich der gespeicherten vermerkten Adresse enthalten ist.
  5. Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei der der Datenkomparator (631, 831, 1131) betriebsfähig ist, um eine Freigabesteuerung des Fehlerhalters (641, 841, 1141) auszuführen, wenn die Erwartungswertdaten ein hoher Wert sind und die Lesedaten ein niedriger Wert sind.
  6. Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei der der Datenkomparator (631, 831, 1131) betriebsfähig ist, um eine Freigabesteuerung des Fehlerhalters (641, 841, 1141) auszuführen, wenn die Erwartungswertdaten ein niedriger Wert sind und die Lesedaten ein hoher Wert sind.
  7. Halbleitervorrichtung nach einem vorhergehenden Anspruch, die ferner einen Adresseninkrementierer (1206) umfasst.
  8. Halbleitervorrichtung nach einem vorhergehenden Anspruch, bei der der Adressenhalter (613, 813, 1113) nicht mit der Scankette verbunden ist.
  9. Halbleitervorrichtung nach einem vorhergehenden Anspruch, bei der der Fehlerhalter (641, 841, 1141) eine Rückführungsschaltung enthält.
  10. Verfahren zum Testen einer Halbleitervorrichtung, die eine Scankette und eine Speichervorrichtung (621, 821, 1121) hat, das die Schritte umfasst: Vergleichen von Lesedaten von der Speichervorrichtung (621, 821, 1121) mit Erwartungswertdaten, um einen Abweichungsstatus der Lesedaten zu detektieren; und gekennzeichnet ist durch: Vergleichen einer gespeicherten vermerkten Adresse, die eine Testadresse für die Speichervorrichtung (621, 821, 1121) zum Testen der Halbleitervorrichtung ist, mit einer Leseadresse zum Lesen der Lesedaten; und Ausführen einer Freigabesteuerung eines Fehlerhalters (641, 841, 1141), der den Abweichungsstatus hält, wenn eine Adressenübereinstimmung zwischen der vermerkten Adresse und der Leseadresse auftritt, und Speichern des Abweichungsstatus in dem Fehlerhalter (641, 841, 1141).
  11. Verfahren zum Testen einer Halbleitervorrichtung nach Anspruch 9, ferner mit: Lesen eines Testmusters, das durch einen Testmustergenerator (614, 815, 1117) über die Scankette generiert wurde.
  12. Verfahren zum Testen einer Halbleitervorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, ferner mit dem Takten der Halbleitervorrichtung.
  13. Verfahren zum Testen einer Halbleitervorrichtung nach Anspruch 9, 10 oder 11, ferner mit dem Sperren einer Rückführungsschaltung in dem Fehlerhalter (641, 841, 1141).
  14. Verfahren zum Testen einer Halbleitervorrichtung nach Anspruch 9, 10 oder 11, ferner mit dem Freigeben einer Rückführungsschaltung in dem Fehlerhalter (641, 841, 1141).
  15. Verfahren zum Testen einer Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 14, ferner mit: Speichern der vermerkten Adresse; Setzen eines Flags in dem Fehlerhalter (641, 841, 1141) mit der Rückführungsschaltung; Inkrementieren der vermerkten Adresse; Speichern der inkrementierten vermerkten Adresse; und Zurücksetzen eines Wertes, der in dem Fehlerhalter (641, 841, 1141) gehalten wird.
  16. System zum Testen auf Fehler in einem Halbleiter, der eine Scankette und einen Speicher (621, 821, 1121) hat, das umfasst: ein Mittel (641, 841, 1141) zum Halten eines Abweichungsstatus; und ein Mittel (631, 831, 1131) zum Vergleichen von Lesedaten von dem Speicher mit Erwartungswertdaten, um einen Abweichungsstatus der Lesedaten zu detektieren; und dadurch gekennzeichnet ist, dass es umfasst: ein Mittel (613, 813, 1113) zum Halten einer vermerkten Adresse, die eine Testadresse für den Speicher (621, 821, 1121) zum Testen des Halbleiters ist, die mit der Scankette gesetzt wird; und ein Mittel (615, 816, 1119) zum Vergleichen einer vermerkten Adresse, die in dem Mittel (613, 813, 1113) zum Halten einer vermerkten Adresse gespeichert ist, mit einer Leseadresse zum Lesen der Lesedaten; und ein Mittel (616, 817, 1120) zum Ausführen einer Freigabesteuerung des Mittels (641, 841, 1141) zum Halten eines Abweichungsstatus, wenn eine Adressenübereinstimmung zwischen der vermerkten Adresse und der Leseadresse auftritt, und Speichern des Abweichungsstatus in dem Mittel (641, 841, 1141) zum Halten eines Abweichungsstatus.
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