DE60116046T2 - Eingebaute Selbsttestschaltung mit einem Schieberegister mit linearer Rückkopplung - Google Patents

Eingebaute Selbsttestschaltung mit einem Schieberegister mit linearer Rückkopplung Download PDF

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    • G11C29/18Address generation devices; Devices for accessing memories, e.g. details of addressing circuits
    • G11C29/20Address generation devices; Devices for accessing memories, e.g. details of addressing circuits using counters or linear-feedback shift registers [LFSR]

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  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)

Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • 1. Bereich der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Halbleitertestvorrichtung und ein Verfahren zum Testen von Halbleiterspeichern; insbesondere eine Vorrichtung und ein Verfahren mit einem eingebauten Selbsttester und einem Schieberegister mit linearer Rückkopplung zum Testen von Halbleiterspeichern.
  • 2. Diskussion des Standes der Technik
  • Eingebauter Selbsttest BIST (built-in self test) ist eine Technik zum Testen von eingebetteten Speichern unter Verwendung einer Schaltung mit einem Testalgorithmus. Eine herkömmliche BIST-Schaltung ist in 1 gezeigt. Wie gezeigt ist, weist die BIST-Schaltung 100 einen Adressengenerator 120 zum Erzeugen von Adressen auf, um auf die Stellen von Speicher 150 zuzugreifen. Ein Datengenerator 130 erzeugt die zu testenden Daten und ein Komparator 140 vergleicht aus dem Speicher 150 herausgelesene Daten mit in den Speicher eingeschriebenen Daten. Eine BIST-Steuerung 110 weist typischerweise ein gespeichertes Programm auf, das bei Ausführung die geeigneten Steuersignale auf den Adressengenerator 120, Datengenerator 130 und Komparator 140 aufgibt, um den Speicher 150 zu testen. Die BIST-Steuerung 110 empfängt auch die verglichenen Daten vom Komparator 140 und bestimmt, ob der Test erfolgreich war oder nicht.
  • Es wird üblicherweise ein March-Testalgorithmus als Testalgorithmus eingesetzt, der zum Testen des eingebetteten Speichers in der BIST- Steuerung gespeichert ist. Der March-Testalgorithmus implementiert eine Testsequenz, die jedes Bit jeder Stelle im Speicher testet, indem veranlasst wird, dass sowohl ein Wert „0" wie „1" in den Speicher eingeschrieben und daraus herausgelesen wird. Die Adressen zum Speicher werden in sequentieller Reihenfolge inkrementiert und dekrementiert, bis alle Stellen getestet sind. Die March-Testsequenz ist:
    ↕(WD) ↑ (RD WD') ↑ (RD' WD) ↓ (RD WD') ↓ (RD' WD) ↕ (RD)
    worin die Symbole ↑, ↓, und ↕ Richtungen zum Zählen der Adressen bezeichnen: „auf" (Adresseninkrement) „ab" (Adressendekrement) bzw. „auf oder ab" (Inkrement oder Dekrement). Die Symbole W und R stellen Schreiben (writing) bzw. Lesen (reading) dar. D ist ein Datenwert, entweder ein „0" oder eine „1" und D' bezeichnet das Gegenteil von D. WD bedeutet einen Schreibvorgang mit Daten D und RD bedeutet einen Lesevorgang mit D'. Die Klammern „()" bezeichnen Vorgänge, die für alle Adressen durchgeführt werden, und wenn mehr als ein Vorgang in den Klammern ist, werden beide Vorgänge an der selben Adressenstelle durchgeführt. Zum Beispiel bedeutet „(RD WD')", dass an der selben Stelle D herausgelesen wird und D' eingeschrieben wird, bevor die Adresse geändert wird. Das March-Testverfahren erfasst Fehler wie Hängenbleiben bei jeder Zelle, kann aber keine Kopplung und Adressenfehler erfassen. Siehe „An Effective BIST Scheme for Ring-Address Type FIFOs" von Y. Zodan, A. J. Van De Goor und Ivo Schanstra, IEEE Int. Test Conference, Washington D. C., Seiten 378–387, Okt. 1994.
  • US-Patent 5,706,293 von Kim et al. beschreibt ein Testverfahren, das Adressenfehler und Kopplungsfehler zusätzlich zu Hängenbleiben erfasst, die vom March-Testalgorithmus erfasst werden. Die im Patent "293 beschriebene Adressierung ist unidirektional (Einzeladresse). Das Patent "293 beschreibt die Verwendung von „Adressdatenhintergrund" als Testdaten, die alle Speicherstellen auf die oben beschriebenen Fehler prüft. Der Adressdatenhintergrund (ADB, Address Data Backgrounds) sind pseudostatistische Daten, die von einem Schieberegister mit linearer Rückkopplung (LFSR, linear feedback shift register) erzeugt werden können. Das Patent "293 offenbart ein Testmuster von:
    (WD), (RD, WD'), (RD', WD), (RD).
  • Der im Patent 293 definierte ADB ist eine Vereinigung all der Daten, die zwei (2) beliebige Zellen mit voneinander verschiedenen Adressen aufweisen können. Beim Testverfahren von "293 wird ein ADB von einer Gruppe als Anfangsdaten ausgewählt, die in alle Stellen des Speichers eingeschrieben werden. Nach Lesen des zuerst in alle Stellen eingeschriebenen ADB wird der inverse oder entgegengesetzte Wert des selben ADB in alle Stellen des Speichers eingeschrieben. Adressieren des Speichers erfolgt durch sequentielle Inkrementierung. Die invertierten ADB-Daten werden gelesen und wenn die invertierten Daten korrekt gelesen werden, werden Daten aus der selben ADB-Gruppe erneut an jeder Stelle des Speichers eingeschrieben und herausgelesen. Diese Schritte werden für jeden Adressdatenhintergrund wiederholt. Beim Testverfahren von 293 können Zähleinrichtungen wie Paralleladdierer vom Typ Carry-Propagation-Adder, Carry-Safe-Adder oder Ripple-Counter für eine unidirektionale Zählung von null bis zur signifikantesten Stelle im Speicher verwendet werden. Das Patent "293 ist auf den Anmelder eingetragen und die Offenbarung des US-Patents 5,706,293 wird hiermit durch Bezugnahme zum Inhalt der vorliegenden Anmeldung gemacht.
  • Nochmals mit Bezug zu 1 ist der Adressengenerator 120 in BISTs typischerweise eine Zähleinrichtung, die in der Lage ist, wiederholt sequentiell auf oder ab zu zählen. Es wird eine sequentielle Auf-Ab-Zähleinrichtung verwendet, um den March-Testalgorithmus zu implementieren. Eine Auf-Ab-Zähleinrichtung zählt sequentiell nach oben oder un ten, indem zu einem vorherigen Zählergebnis eins hinzugezählt oder eins abgezogen wird. Üblicherweise werden Addierer wie Propagation-Half-Adder zum Addieren oder Subtrahieren der Zählungen verwendet. Dies erfordert Fortschreiben eines Übertrags vom am wenigsten signifikanten Bit (LSB, least significant bit) zum signifikantesten Bit (MSB, most significant bit) einer Adressenkette. Die Fortschreibungsdauer des Übertrags vom LSB zum MSB aller Adressenbits stellt die Durchlaufzeit dar, die jedem Testdurchlauf des BIST-Testers zugewiesen werden muss. Daher ist die Adresse umso breiter, je größer die Speicherkapazität ist, und die für Adressengenerator/Zähleinrichtung benötigte Zeit muss notwendigerweise zunehmen.
  • Bei Verwendung einer BIST-Schaltung zum Prüfen eines Speichers mit hoher Kapazität bei Betriebsgeschwindigkeit, d.h. bei Betriebsgeschwindigkeit der Zentraleinheit (CPU, central processing unit), tritt ein Problem auf. In jüngster Zeit sind CPUs, die bei 1,5 GHz betrieben werden, verbreitet verfügbar. Um einen Speicher mit hoher Kapazität bei Betriebsgeschwindigkeit zu prüfen, kann keine herkömmliche Auf-Ab-Zähleinrichtung eingesetzt werden, weil in der Durchlaufzeit eines CPU-Durchlaufs bei Betriebsgeschwindigkeit der Übertrag nicht durch die gesamte Zähleinrichtung fortgeschrieben werden kann.
  • Ferner ist eine BIST-Schaltung typischerweise im Speicher auf dem selben Chip eingebettet. Zum Prüfen eines Speichers mit höherer Kapazität ist die Adresse breiter oder weist mehr Bits auf und es sind mehr Addierer in der Auf-Ab-Zähleinrichtung notwendig. Dies führt dazu, dass eine BIST-Anlage von größerem Umfang erforderlich ist, was wertvollen Platz auf dem Halbleiterchip beansprucht.
  • Dementsprechend besteht eine Notwendigkeit für eine BIST-Schaltung und ein Verfahren zum Prüfen von Halbleiterspeichern, die die oben diskutierten Probleme vermeiden. Die gewünschte BIST-Schaltung und das Verfahren sollten in der Lage sein, Adressen zum Prüfen aller Stellen des Speichers bei normaler CPU-Betriebsgeschwindigkeit zu erzeugen und die BIST-Schaltung keine große Chipfläche besetzen.
  • US 6,006,345 offenbart ein System und Speicher zum Testen eines Speichers beim Einbrennen. Es offenbart die Verwendung eines LFSR zum Erzeugen von pseudostatistischen Adresssequenzen und ein weiteres LFSR zum Erzeugen von Datensequenzen.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Halbleitervorrichtung zur Verfügung gestellt zum Testen eines Speichers mit N Stellen, wobei die Vorrichtung umfasst:
    ein Schieberegister mit linearer Rückkopplung (LFSR, linear feedback shift register) zum Bilden von einseitigen pseudostatistischen (log2N)-Bit Adressenmustern, wobei die Adressenmuster als Adressen von zu testenden Speicherstellen verwendet werden; einen Datengenerator zum Erzeugen von Datenmustern ausgehend von den durch das LFSR erzeugten Adressenmustern, wobei die Datenmuster in (log2N) + 1 Adressendatenhintergrundgruppen (ADB, address data background) gruppiert werden, wobei jede der ADB-Gruppen N Stellen aufweist, die Datenmuster zur Verwendung als Dateneingabe in den Speicher zum Testen; einen Komparator zum Vergleichen der Dateneingabe in den Speicher gegen die Datenausgabe aus dem Speicher zur Verifizierung der Datenintegrität; und eine eingebaute Selbstteststeuerung (BIST, built-in self test), die operativ mit dem LFSR, Datengenerator und Komparator verbunden ist, zur Steuerung des Testens des Speichers.
  • Bevorzugt beinhalten die Datenmuster an jeder Stelle Daten, die in einem ersten Testschritt durch eine erste Logikstufe dargestellt sind und in einem zweiten Testschritt durch eine zweite Logikstufe, worin eine der ADB-Gruppen Daten beinhaltet, die in der gesamten Breite jeder Stelle durch eine niedrige Logikstufe dargestellt sind, wobei die gesamte Breite ein oder mehr Bits beträgt.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung beinhalten (log2N) Gruppen der (log2N) + 1 ADB-Gruppen an jeder Stelle entsprechend einer vom LFSR erzeugten Adresse Daten, die die selbe Logikstufe wie die Logikstufe der Adressendaten in einer vordefinierten Bitposition der Adresse aufweisen.
  • Bevorzugt ist jede der folgenden (log2N) ADB-Gruppen der (log2N) + 1 ADB-Gruppen in eine erste Untergruppe und eine zweite Untergruppe unterteilt, worin Stellen in der ersten Untergruppe mit Daten getestet werden, die eine erste Logikstufe aufweisen und Stellen in der zweiten Untergruppe mit einer zweiten Logikstufe getestet werden. Die letzte der folgenden ADB-Gruppen weist bevorzugt Daten auf, die die erste Logikstufe in jeder zweiten Stelle aufweisen. Alternativ werden die Stellen in jeder der folgenden ADB-Gruppen in zwei Untergruppen unterteilt, bis die letzte der ADB-Gruppen N Untergruppen aufweist.
  • Die BIST-Steuerung gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung weist gespeicherte Programmcodes auf, die bei Ausführung die vom LFSR erzeugten Adressen in einer vordefinierten Sequenz anwenden, worin eine vordefinierte Sequenz ist:
    WD, (RD' WD'), (RD', WD), RD.
  • Ebenso wird in Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung zur Verfügung gestellt zum Testen eines Speichers mit N Stellen eingebettet in einer Halbleitervorrichtung wie in Anspruch 10 angegeben.
  • Das Verfahren beinhaltet bevorzugt Testdaten, die durch eine Logikstufe dargestellt sind, die die selbe ist, wie die Logikstufe eines vordefinierten Bits eines entsprechenden LFSR-Adressenmusters.
  • Das Verfahren gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung beinhaltet ferner den Schritt zum Gruppieren der Datenmuster in (log2N) + 1 ADB-Gruppen, worin jede der (log2N) ADB-Gruppen der (log2N) + 1 ADB-Gruppen ferner in zwei Untergruppen unterteilt wird, wobei eine Untergruppe Daten einer niedrigen Logikstufe aufweist und die andere Untergruppe eine hohe Logikstufe aufweist. Die letzte der (log2N) ADB weist N Untergruppen auf.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Die begleitenden Zeichnungen, die in der Beschreibung enthalten sind und einen Teil davon bilden, stellen eine Ausführungsform der Erfindung dar und zusammen mit der Beschreibung dienen sie zur Erläuterung der Prinzipien der Erfindung:
  • 1 ist ein Blockdiagramm einer herkömmlichen BIST-Schaltung;
  • 2 ist ein vereinfachtes Blockdiagramm einer BIST-Schaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 3A und 3B sind schematische Darstellungen von LFSR-Schaltungen;
  • 4 ist eine Tabelle, die die Beziehung zwischen der Anzahl von Bits von LFSR-Zähleinrichtungen und entsprechenden primitiven Polynomen zeigt;
  • 5 ist ein Blockdiagramm einer BIST-Schaltung gemäß einer erläuternden Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 6A, 6B, 6C und 6D zeigen vier (4) ADB-Gruppen der erläuternden Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und
  • 7 ist ein Fließbild eines Testprozesses, der von einem BIST der vorliegenden Erfindung implementiert wird.
  • Ausführliche Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen
  • Eine BIST-Schaltung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung setzt ein LFSR ein, um ADBs zur Bereitstellung von Adressen zum Testen eines eingebetteten Speichers zu erzeugen. Testdaten, die in den Speicher eingeschrieben und daraus herausgelesen werden, beruhen auch auf ADB. Die BIST-Schaltung implementiert einen unidirektionalen Testalgorithmus zum Testen des Speichers.
  • 2 ist ein vereinfachtes Blockdiagramm einer BIST-Schaltung gemäß der vorliegenden Erfindung. Eine BIST-Schaltung 200 beinhaltet ein LFSR 200 zum Erzeugen von einseitigen pseudostatistischen Adressen für Speicher 250. Ein Datengenerator 230 erzeugt Datenhintergrund, der mindestens teilweise aus Adressdaten abgeleitet ist, die vom LFSR 220 erzeugt sind. Der Datenhintergrund vom Datengenerator 230 ist die Testdateneingabe für Speicher 250. Ein Komparator 240 empfängt die selben Daten eingeschrieben in den Speicher 250 und vergleicht die Eingabedaten gegen aus dem Speicher ausgelesene Daten. BIST-Steuerung 210 enthält einen gespeicherten Testalgorithmus zum Implementieren des Speichertests. Die Steuerung 210 steuert die Funktionen von LFSR 220, Datengenerator 230 und empfängt die Vergleichsergebnisse vom Komparator 240.
  • Die 3A und 3B bilden beispielhaft LFSR-Schaltungen zum Erzeugen von ADBs gemäß bevorzugter Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ab. Die LFSRs beinhalten Flip-Flops oder Register, Gates für exklusive OR- und/oder exklusive NOR- und NOR-Vorgänge, die miteinander verbunden sind, um Ausgabe aufeinanderfolgender Register zum Anfangsregister zurückzuführen. Die LFSRs geben ein pseudostatistisches Bitmuster an C1 bis CN, in Abhängigkeit von der kombinatorischen Verbindung der Gates für XOR- und NOR-Vorgänge. Das bei C1 bis CN ausgegebene Bitmuster wiederholt das Zählen in der Reihenfolge und das Zählmuster wiederholt sich bei jeder 2N Zählung. Zum Beispiel ist für ein LFSR mit 4 Bits, N = 4 und das Zählmuster wiederholt sich alle 24 oder 16 Zählungen. Das Zählmuster bezieht sich auch auf ein primitives Polynom, das gemäß einer gewünschten Anzahl von Bits des LFSR ausgebildet ist. 4 gibt das primitive Polynom für verschiedene Bitzahlen an. Das vom LFSR erzeugte pseudostatistische Muster ist unidirektional. Zum Beispiel ist eine Adressenzählung von 1-3-5-7-9-2-4-6-8 wiederholbar, kann aber nicht umgekehrt werden, um in der Reihenfolge 8-6-4-2-9-7-5-3-1 zu zählen, wie es im March-Testalgorithmus möglich ist.
  • 5 zeigt ein Blockdiagramm einer BIST-Schaltung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Eine BIST-Schaltung 500 beinhaltet eine LFSR-Zähleinrichtung 520 zum Bereitstellen von Adressen zum Testen eines Speichers 550. Die LFSR-Zähleinrichtung 520 beinhaltet Schieberegister 523, 524, 525 und XOR-Gate 521 und NOR-Gate 522. Die Ausgaben der Schieberegister werden durch die XOR- und NOR-Gates zur Eingabe des Registers 525 zurückgeführt. Es ist für einen Fachmann leicht erkennbar, dass obwohl eine Dreibit-LFSR-Zähleinrichtung gemäß dieser Ausführungsform gezeigt ist, die BIST-Schaltung der vorliegenden Erfindung auf jegliche Anzahl von Bits anwendbar ist, was von der Kapazität des zu testenden Speichers abhängig ist. In dieser erläuternden Ausführungsform werden acht (8) Stellen im Speicher 550 geprüft. Und zum Zwecke der Erläuterung sind die Speicherdaten vier (4) Bits breit.
  • Es ist für die Fachleute auch leicht erkennbar, dass das XOR-Gate 521, ein 3-Eingabe-XOR-Gate funktional äquivalent ist und bevorzugt als zwei 2-Eingabe-XOR-Gates implementiert ist, die in Serie verbunden sind wie es in 5 gezeigt ist. Die LFSR-Zähleinrichtung 520 gibt in der Reihenfolge ein Adressmuster von „000", „001", „010", „101", „011", „111", „110" und „100" oder Stellen „0, 1, 2, 5, 3, 7, 6 und 4" aus. Das heißt die LFSR-Zähleinrichtung kann ihre Zählung an irgendeiner der acht (8) Adressen beginnen, aber sobald sie an einer bestimmten Adresse begonnen hat, folgen die nachfolgenden Adressenzählungen der selben Reihenfolge. Die Ausgabe „000" kann ungeachtet der Zählungsfolge durch Aktivieren der Resetleitung Reset-EN ausgewählt werden. Es ist zu sehen, dass alle acht (8) Stellen des Speichers 550 von der LFSR-Zähleinrichtung 520 adressiert werden.
  • Obwohl die Adressenzählausgabe von der LFSR-Zähleinrichtung 520 unidirektional ist, ist die BIST-Schaltung gemäß der vorliegenden Erfindung in der Lage, Fehler wie Hängenbleiben, Übergangsfehler, Adressenfehler und Kopplungsfehler des Speichers zu erfassen. Das vom Datengenerator 530 erzeugte Datenmuster, gekoppelt mit der LFSR-Adressierung, erreicht die obigen Fehlererfassungen. Der Datengenerator 530 erzeugt Datenübergänge für jede Zelle des Speichers von beiden Richtungen unter Verwendung des Adressdatenhintergrunds (ADBs), der von der LFSR-Zähleinrichtung erzeugt ist. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beträgt für jede N Stellen des zu testenden Speichers die Anzahl von Adressenbits, die von der LFSR-Zähleinrichtung erzeugt werden, log2N und (log2N) + 1 ADB-Gruppen werden als Daten zum Testen des Speichers verwendet. Für die vorliegende illustrative Ausführungsform beträgt die Anzahl der zu testenden Speicherstellen N gleich acht (8). Die Anzahl der Adressenbits ist log2(8) oder 3 und es werden log2(8) + 1 oder 4 ADB-Gruppen erzeugt. Der Datengenerator 530 erzeugt die vier (4) Gruppen von ADBs wie in 6 gezeigt. Die in 6 gezeigten ADBs sind die tatsächlichen Daten, die in die acht (89 Stellen des zu testenden Speichers 550 eingeschrieben werden. Die ADBs werden vom Datengenerator 530 erzeugt.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung werden die ADBs von Adressdaten, die von der LFSR-Zähleinrichtung 520 erzeugt sind, wie folgt abgeleitet:
    Die erste ADB-Gruppe sind alle „0" und die inversen D' sind alle „1", ungeachtet der Adresse von der LFSR-Zähleinrichtung 520. Dies ist in 6A gezeigt. Jede der anderen ADB-Gruppen leitet Daten von einem entsprechenden Datenbit der Adresse ab. Zum Beispiel leitet eine zweite ADB-Gruppe ihre Daten vom Wert der zweiten Bitadresse LFSR [2] von der LFSR-Zähleinrichtung 520 ab (6B). Die anderen drei (3) Bits der vier (4) Bit Daten an jeder Stelle des Speichers werden ebenso von LFSR [2] kopiert. Deshalb beträgt jede Testdateneingabe jeder Speicherstelle entweder vier (4) Bits mit „0" oder „1". Der Datengenerator 530 erzeugt dann „1111" als Daten für Adresse „101", die an Stelle 5 des Speichers 550 eingegeben werden. Wenn alle acht (8) Stellen des Speichers 550 mit Daten von der 2-ten ADB-Gruppe in der Reihenfolge der Adressenzählung, die von der LFSR-Zähleinrichtung 520 ausgegeben ist, beschrieben sind, d.h. die Stellen „0, 1, 2, 5, 3, 7, 6 und 4", werden die acht (8) Stellen des Speichers (die Stellen 0 bis 7) mit dem zweiten ADB-Datenmuster beschrieben wie in 6B gezeigt. Auf gleiche Weise werden die dritten ADB-Daten durch Kopieren des Wertes von LFSR des ersten Bits LFSR [1] erzeugt, des von der LFSR-Zähleinrichtung 520 ausgegebenen Adressenmusters. Gleichermaßen wird der vierte ADB durch Kopieren von LFSR [0] erzeugt, um das Datenmuster wie in 6D gezeigt zu erzeugen.
  • Wie aus den 6A bis 6D zu sehen ist, weist die erste ADB-Gruppe von 6A alle „0" als D-Daten auf und alle „1" als D'-Daten. Jede der aufeinander folgenden ADB-Gruppen weist alle „0" oder alle „1" als D-Daten unterteilt in mindestens eine Untergruppe auf, worin jede Untergruppe entweder alle „0" oder alle „1" als D-Daten aufweist. Die Anzahl der Untergruppenstellen mit allen „0" oder allen „1" als D-Daten nimmt von jeder folgenden ADB-Gruppe zu, bis die letzte ADB-Gruppe die D-Daten entweder aller „0" oder aller „1" in jeder zweiten Stelle aufweist. Unter Verwendung der Testdaten der 6A bis 6D wird jede Zelle des Speichers mit dem Umschalten von „0" auf „1" und „1" auf „0" von beiden Richtungen getestet.
  • Der Datengenerator 530 weist einen Multiplexer 532 zum Multiplexen des ausgewählten ADB auf, so dass der Datenwert durchlaufen wird, der gleich den Daten von LFSR [2, 1 oder 0] ist, in Abhängigkeit vom Auswahlsignal, das von der BIST-Steuerung 510 ausgegeben ist. Ein Multiplexer 534 wählt die Daten D oder inverse Daten D, D' als Ausgabe des Datengenerators 530 zum Eingeben von Testdaten an die Stellenadresse von der LFSR-Zähleinrichtung 520 in Speicher 550. Zum Erzeugen der 2-ten ADB-Gruppe wie in 6B gezeigt, führt die BIST-Steuerung 510 einen BIST-Algorithmus 515 aus und wählt Leitung 2 des Multiplexers 532 über Auswahlsignal 537. Zum Erzeugen von vier (4) Bits gleichen Werts können vier (4) Latches (nicht gezeigt) als Port 2 verwendet werden, um LFSR [2] zu empfangen und vier (4) Bits des selben Werts auszugeben. Die vier (4) Bit Daten werden dann unter der Steuerung der BIST-Steuerung 510 durch den Multiplexer 534 geführt oder invertiert. Der Antwortkomparator 540 empfängt, unter der Steuerung der BIST-Steuerung 510, Testdaten vom Datengenerator 530 und aus dem Speicher 550 ausgelesene Daten. Der Komparator 540 vergleicht die Testdaten gegen die entsprechenden Lesedaten und sendet ein Signal erfolgreich/nicht erfolgreich zur BIST-Steuerung 510, durch Prüfen, ob die Daten die in den Speicher 550 eingegeben und daraus ausgegeben sind, gleich sind.
  • Die BIST-Steuerung 510 weist einen gespeicherten BIST-Algorithmus 515 auf, der bei Ausführung die gespeicherte Testsequenz implementiert. 7 zeigt einen Testalgorithmus gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, der von der BIST-Schal tung 500 durchgeführt wird. Beim Betrieb wählt die BIST-Steuerung 510 eine Adressdatenhintergrundgruppe und eine LFSR-Adresse, um den Test der Speicherzellen von 550 zu beginnen (Schritt 702). Zum Zwecke der Erläuterung werden zunächst die Adresse „000" und die 2-te ADB-Gruppe von 6B ausgewählt. Die ersten ADB-Daten von „0000" werden in die Adressenstelle null (0) des Speichers 550 (704) eingeschrieben, die nächste Adressenzählung ist „001" oder Stelle eins (1). Das LFSR [2] ist null (0) und Stelle eins (1) des Speichers 505 wird mit „0000" beschrieben. Dann ist die nächste Adressenzählung „010" oder Stelle zwei (2), die mit LFSR [2] = D oder „0000" beschrieben wird. Dieses Einschreiben von ADB-Daten wird fortgesetzt, bis Daten der gesamten ADB-Gruppe in alle acht (8) zu testenden Stellen im Speicher 550 eingeschrieben sind (706, 708). Die acht (8) Stellen im Speicher 550 sollten nun alle Daten „D" eingeschrieben aufweisen, wie in 6B gezeigt. Dann werden Daten der 2-ten ADB-Gruppe aus dem Speicher 550 (710) ausgelesen und die Inversion der Daten D' wird in die selbe Stelle eingeschrieben, die gerade ausgelesen ist, vor dem nächsten Adresseninkrement (712). Die Daten der 2-ten ADB-Gruppe werden gelesen und geschrieben, bis alle Stellen adressiert sind (714, 716). Wenn dann eine Ungleichheit in irgendwelchen Daten vorhanden ist, die in Schritt 710 gelesen sind, signalisiert der Komparator 540 der BIST-Steuerung 510, dass ein Fehler an der Adressenstelle aufgetreten ist. Wenn keine Ungleichheit vorhanden ist, wählt die BIST-Steuerung 510 dann eine andere ADB-Gruppe zum Eingeben eines anderen Datenmusters an die Stellen des Speichers 550 aus. Die BIST-Steuerung 510 sendet ein ADB-Auswahlsignal 537, so dass es durch andere LFSR-Daten [N] läuft. Zur Erläuterung wird in diesem Fall die in 6C gezeigte dritte ADB-Gruppe ausgewählt, so dass sie durch den Wert der Leitung 1 im Datengenerator 530 läuft, so dass sie durch LFSR [1] läuft. Die Daten der 3-ten ADB-Gruppe werden in die Stellen des Speichers 550 eingeschrieben, während D' der 2-ten ADB-Gruppe aus den selben Stellen ausgelesen werden, die von der LFSR-Zähleinrichtung 520 ad ressiert sind (720, 722). Der Prozess des D'-Lesens und D-Schreibens wird für jede Adressenzählung in den Schritten 724 und 726 wiederholt. Dann werden die D' der 3-ten ADB-Gruppe aus allen Stellen ausgelesen (Schritte 730, 732, 734). Die Schritte 704 bis 754 werden wiederholt, bis alle Daten aller vier (4) ADB-Gruppen in den Speicher 550 eingeschrieben und daraus herausgelesen sind (750). Die Testsequenz von 7 kann beschrieben werden als:
    WD, (RD, WD'), (RD', WD), RD.
  • Der Speicher 550 wird getestet auf Fehler wie Hängenbleiben, Übergangsfehler, Kreuzkopplung und Adressenfehler, wenn der Komparator 540 keine Ungleichheit meldet.
  • Die Erfindung wurde unter Verwendung exemplarischer bevorzugter Ausführungsformen beschrieben. Es versteht sich jedoch, dass der Rahmen der Erfindung nicht auf die offenbarten Ausführungsformen beschränkt ist. Hingegen ist es vorgesehen, dass verschiedene Modifikationen und ähnliche Anordnungen abgedeckt sind. Der Rahmen der Ansprüche sollte deshalb in breitester Interpretation betrachtet werden, so dass alle solche Modifikationen und ähnliche Anordnungen umfasst sind.

Claims (13)

  1. Halbleitervorrichtung (200) zum Testen eines Speichers (250) mit N Stellen, wobei die Vorrichtung umfasst: ein Schieberegister mit linearer Rückkopplung (LFSR, linear feedback shift register) (220) zum Bilden von einseitigen pseudostatistischen (log2N)-Bit Adressenmustern, wobei die Adressenmuster als Adressen von zu testenden Speicherstellen verwendet werden; einen Datengenerator (230) zum Erzeugen von Datenmustern ausgehend von den durch das LFSR erzeugten Adressenmustern, wobei die Datenmuster in (log2N) + 1 Adressendatenhintergrundgruppen (ADB, address data background) gruppiert werden, wobei jede der ADB-Gruppen N Stellen aufweist, die Datenmuster zur Verwendung als Dateneingabe in den Speicher (250) zum Testen; einen Komparator (240) zum Vergleichen der Dateneingabe in den Speicher (250) gegen die Datenausgabe aus dem Speicher (250) zur Verifizierung der Datenintegrität; und eine eingebaute Selbstteststeuerung (BIST, built-in self test) (210), die operativ mit dem LFSR (220), Datengenerator (230) und Komparator (240) verbunden ist, zur Steuerung des Testens des Speichers (250).
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, worin die Datenmuster an jeder Stelle Daten beihalten, die in einem ersten Testschritt durch eine erste Logikstufe dargestellt sind und in einem zweiten Testschritt durch eine zweite Logikstufe.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1, worin eine der ADB-Gruppen Daten beinhaltet, die in der gesamten Breite jeder Stelle durch eine niedrige Logikstufe dargestellt sind, wobei die gesamte Breite ein oder mehr Bits beträgt.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 1, worin (log2N) Gruppen der (log2N) + 1 ADB-Gruppen an jeder Stelle entsprechend einer vom LFSR erzeugten Ad resse Daten beinhalten, die die selbe Logikstufe wie die Logikstufe der Adressendaten in einer vordefinierten Bitposition der Adresse aufweisen.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 1, worin jede der folgenden (log2N) ADB-Gruppen der (log2N) + 1 ADB-Gruppen in eine erste Untergruppe und eine zweite Untergruppe unterteilt ist, worin Stellen in der ersten Untergruppe mit Daten getestet werden, die eine erste Logikstufe aufweisen und Stellen in der zweiten Untergruppe mit einer zweiten Logikstufe getestet werden.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 5, worin die letzte der folgenden ADB-Gruppen Daten aufweist, die die erste Logikstufe in jeder anderen Stelle aufweisen.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 5, worin Stellen in jeder der folgenden ADB-Gruppen in zwei Untergruppen unterteilt sind, bis die letzte der ADB-Gruppen N Untergruppen aufweist.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 1, worin die BIST-Steuerung (210) gespeicherte Programmcodes aufweist, die bei Ausführung die vom LFSR erzeugten Adressen in einer vordefinierten Sequenz anzuwenden.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 8, worin die vordefinierte Sequenz ist: WD, (RD WD'), (RD' WD), RD.
  10. Verfahren zum Testen eines Speichers (250) mit N Stellen eingebettet in einer Halbleitervorrichtung (200) umfassend die Schritte: Bilden von einseitigen pseudostatistischen (log2N)-Bit LFSR-Adressenmustern unter Verwendung eines LFSR (240), die LFSR-Adressenmuster zur Verwendung als Adressen zum Adressieren von Stellen des zu testenden Speichers (250); und Erzeugen von Datenmustern zur Verwendung als Testdaten zum Eingeben an Stellen des Speichers, die von den LFSR-Adressenmustern adressiert werden, wobei die Testdaten auf Adressendaten der LFSR-Adressenmuster beruhen, worin die Datenmuster in (log2N) + 1 Adressendatenhintergrundgruppen (ADB) gruppiert werden, wobei jede der ADB-Gruppen N Stellen aufweist.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, worin die Testdaten Daten beinhalten, die durch eine Logikstufe dargestellt sind, die die selbe ist wie die Logikstufe eines vordefinierten Bits eines entsprechenden LFSR-Adressenmusters.
  12. Verfahren nach Anspruch 10, worin jede der (log2N) ADB-Gruppen der (log2N) + 1 ADB-Gruppen ferner in zwei Untergruppen unterteilt wird, wobei eine Untergruppe Daten einer niedrigen Logikstufe aufweist und die andere Untergruppe eine hohe Logikstufe aufweist.
  13. Verfahren nach Anspruch 12, worin die letzte der (log2N) ADB N Untergruppen aufweist.
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