DE60117645T2 - Verfahren und Vorrichtung zur Vorprüfung eines elektrophotographischen photosensitiven Elements - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Vorprüfung eines elektrophotographischen photosensitiven Elements Download PDF

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DE60117645T2
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Ryozo Ohta-ku Fukuda
Kazuya Ohta-ku Tokuda
Kenji Ohta-ku Muranaka
Shoshin Ohta-ku Igarashi
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Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Vorbetrachtungsprüfverfahren für einen Artikel bzw. Gegenstand vor einer visuellen Prüfung bzw. Inspektion und eine Vorrichtung dafür.
  • Verwandter Stand der Technik
  • Bei herkömmlichen Herstellungsvorgängen für verschiedenste Produkte sind verschiedenste Prüfschritte bzw. Inspektionsschritte zur Verfügung gestellt, um zu verhindern, dass ein Produkt mit schweren Defekten, welches nicht zur Verwendung geeignet ist, nämlich ein defektes Produkt, auf den Markt gebracht wird. Bei derartigen Prüfschritten ist aus den folgenden Gründen die Prüfung durch Prüfvorrichtungen oft nicht ausreichend, und in vielen Fällen wird eine visuelle Prüfung durch eine Prüfperson eingesetzt.
  • Defekte bei einem Prüfgegenstand führen nicht notwendigerweise zu praktischen Nachteilen, was nicht nur von ihren Bereich oder Volumen sondern auch von ihrer Form und Art abhängt. Anders gesagt, es gibt viele Defekte, welche keinen praktischen Einfluss haben, und es ist nicht notwendig, einen Gegenstand auszusortieren, welcher einen Defekt ohne praktischen Einfluss aufweist. Es gibt außerdem keine Prüfvorrichtung, welche in der Lage ist, unmittelbar den Einfluss der Defekte dieser verschiedensten Formen für die praktische Verwendung zu bewerten. Darüber hinaus kann eine Prüfvorrichtung fehlerhafter Weise einen Defekt identifizieren, welcher tatsächlich nicht vorhanden ist. Diese Gründe führen dazu, dass die visuelle Prüfung durch eine Prüfperson erforderlich ist. Prüfvorrichtungen wurden in Bezug auf ihre Auflösungsfähigkeit zur Erfassung feinerer Defekte verbessert, und sie sind mit einer Logikschaltung zur Beurteilung ausgestattet, ob ein Artikel bzw. Gegenstand verwendbar ist oder nicht, jedoch wird die Beurteilung bei dem Grenzniveau einer Prüfperson anvertraut, wie zuvor beschrieben.
  • Die visuelle Prüfung durch eine Prüfperson ist eine visuelle Prüfung, bei welcher eine Prüfperson Defekte bei Artikeln bzw. Gegenständen prüft, an welchen es für eine Prüfvorrichtung schwierig ist zu beurteilen, ob ein Gegenstand verwendbar ist oder nicht, und er bestimmt auf der Grundlage eines Vergleichs mit Defektkriterien oder empirischen Regeln, ob der Gegenstand verwendbar ist oder nicht.
  • In den letzten Jahren wurde jedoch eine höhere Qualität für die zu prüfenden Gegenstände gefordert, und die durch eine Prüfperson zu beurteilenden Defekte wurden kleiner und kleiner. Aus diesem Grund hat die auf einer derartigen Inspektion bzw. Prüfung lastende Bürde zugenommen, was bei der letztendlichen Beurteilung eine Verschlechterung der Prüfeffizienz oder Prüffehler durch eine Prüfperson zur Folge hat.
  • JP(A) 07083849 offenbart ein Verfahren zur Bestimmung, ob eine gedruckte Verdrahtungsplatte defekt ist oder nicht, indem ein lichtempfindlicher Prüfkopf Verwendung findet. Hier wird eine Position des Defekts erkannt und einer Vorrichtung zur Bestimmung zugeführt, ob eine Unterbrechung bzw. Freischaltung oder Verschaltung modifiziert werden sollte oder nicht. Für den Fall, dass ein Defekt des Verdrahtungsmusters innerhalb eines im voraus durch eine Bestimmungsvorrichtung registrierten Modifikationsverhinderungsbereichs S erfasst wird, wird die Prüfung beendet, und es wird eine Markierung in der Nähe eines innerhalb des Bereichs S erfassten unmodifizierbaren Defekts vorgenommen.
  • JP(A) 2000051937 offenbart ein Defektmarkierungsverfahren für ein dünnes Stahlblatt bzw. Stahlscheibe unter Verwendung eines Strahlprojektors. Das von der Stahlscheibe reflektierte Licht gibt einen Defekt an der Stahlscheibenoberfläche an. Die verschiedenen Defekte werden mit verschiedenen Farben markiert, um die Art des Defekts anzugeben.
  • GB-A-2186365 offenbart ein Verfahren des Prüfens von Textilgegenständen, um hervorstechende Merkmale eines Textilgegenstands unter Verwendung eines Bildes davon zu erfassen, welches durch beispielsweise eine Videokamera erzeugt wird. Zusätzlich wird eine Markierung von Defekten erwähnt.
  • JP(A) 11319944 offenbart ein Oberflächendefektanzeigeinstrument zur Erfassung von Defektinformationen, welche einen defekten Ort der Oberfläche einer überzogenen Spule umfasst. Hierbei findet eine Defektmarkierungsvorrichtung Verwendung.
  • JP(A) 04069563 offenbart ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Filmdefektinspektion bzw. Filmdefektprüfung durch Anlegen einer Spannung zwischen dem Metall eines Netzes und einer Elektrodenspule. Hierbei wird ein Defekt durch den Betrag eines Stromes erfasst, welcher durch jeweilige Widerstände einer Erfassungsschaltung fließt. Für den Fall, dass ein Defekt erfasst wird, wird er durch ein Färbespray an der oberen Oberfläche des Netzes oder an einem Rand des Netzes in der Nähe des Defekts markiert.
  • JP(A) 11319943 offenbart ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Markierung eines Fehlers oder Defekts einer Oberfläche mit einer Tintenmarkierungsvorrichtung an der defekten Position. Zusätzlich werden der Name, die Länge, und das Maß des Defekts auf der Grundlage der Informationen über den erfassten Defekt verarbeitet, um einen schädlichen und einen nicht schädlichen Defekt zu unterscheiden.
  • JP(A) 10277912 offenbart ein Oberflächenfehlerbehandlungsverfahren für ein Stahlstück. Hierbei wird an dem Stahlstück ein erfasster Fehler durch eine entsprechende Symbolmarkierung markiert. Durch die Verwendung einer Fernsehkamera werden die Oberflächenfehlerdaten des Stahlstücks zur Verfügung gestellt, welche aus der Position der Symbolmarkierung, der Fehlerklassifizierung und einem Bereich des durch die Symbolmarkierung unterstützten Teils zusammengesetzt sind.
  • JP(A) 2000146920 beschreibt eine Vorrichtung zur Prüfung eines elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteils. Jedoch ist die durch eine Vorrichtung ausgeführte Prüfung nicht durch eine Prüfung durch eine Arbeiter gefolgt.
  • JP(A) 2000097873 offenbart eine Vorrichtung zur optischen Prüfung eines elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteils.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Vorbetrachtungsverfahren (oder ein Prüfverfahren vor einer visuellen Prüfung) zur Unterstützung der visuellen Prüfung, welche hauptsächlich auf eine Erfassung von winzigen Defekten gerichtet wurde, und zur Verbesserung der Effizienz und Präzision der Prüfung und eine Vorrichtung dafür zur Verfügung zu stellen.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung kann die zuvor erwähnte Aufgabe durch ein Vorbetrachtungsprüfverfahren für ein elektrophotographisches lichtempfindliches Bauteil gemäß Anspruch 1 erzielt werden.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung kann die zuvor erwähnte Aufgabe durch eine Vorbetrachtungsprüfvorrichtung für ein elektrophotographisches lichtempfindliches Bauteil gemäß Anspruch 7 erzielt werden.
  • Weitere Entwicklungen sind in den abhängigen Ansprüchen dargelegt.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
  • 1 ist ein Blockschaltbild der Hardwarekonfiguration einer Vorbetrachtungsprüfvorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
  • 2 ist ein Flussdiagramm der Operationssequenz eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung;
  • 3 ist ein Blockschaltbild der Hardwarekonfiguration eines Hostcomputers bei der Vorbetrachtungsprüfvorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung; und
  • 4 ist eine Ansicht eines Druckbeispiels von Zeicheninformationen (oder Buchstabeninformationen) an einem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil und ein spezifisches Beispiel von Zeicheninformationen bei einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Bei der vorliegenden Erfindung wird es zusätzlich zu den zuvor beschriebenen Erfordernissen bevorzugt, auf der Grundlage der durch den detaillierten Defektinformationserzeugungsschritt erzeugten detaillierten Defektinformationen zu unterscheiden, ob der Prüfartikel eine visuelle Inspektion bzw. visuelle Prüfung erforderlich macht oder nicht, und die detaillierten Defektinformationen an nur dem für die visuelle Prüfung identifizierten Prüfartikel bzw. Prüfgegenstand zu visualisieren.
  • Gemäß der Erfindung umfassen die bei dem detaillierten Defektinformationenerzeugungsschritt erzeugten detaillierten Defektinformationen Defektpositionsinformationen, da die Mühe zur Erfassung von Defekten bei der visuellen Prüfung effektiv reduziert werden kann.
  • Die detaillierten Defektinformationen werden in einem Nicht-Bildbereich des elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteils visualisiert, wie es später ausführlicher beschrieben wird.
  • Die Einrichtung zur Visualisierung der detaillierten Defektinformationen ist eine Laserlicht verwendende Druckeinrichtung. Die das Laserlicht verwendende Druckeinrichtung ist aus den Gründen insbesondere geeignet, dass ein feineres Drucken möglich ist, dass es kein Verstreuen von Färbematerial gibt, da kein Färbematerial, wie beispielsweise Tinte, Verwendung findet, und ihre Wartung einfach ist.
  • Die zu visualisierenden detaillierten Defektinformationen werden vorzugsweise so kurz wie möglich dargestellt, beispielsweise durch Symbolisieren der Position, des Typs, der Anzahl usw. von Defekten mit Ziffern oder Mustern, da der Raum zur Visualisierung beschränkt ist.
  • Die vorliegende Erfindung ist insbesondere effektiv, wenn sie auf einen Prüfartikel bzw. Prüfgegenstand oder ein Bauteil angewendet wird, welches eine Funktion an seiner Oberfläche aufweist, da die Prüfung zufriedenstellend vorgenommen werden kann, ohne die Funktion zu beeinflussen. Eine derartige Tendenz ist insbesondere bedeutend, wenn, wie bei der vorliegenden Erfindung, der Prüfgegenstand ein elektrophotographisches lichtempfindliches Bauteil ist, bei welchem die Qualität der funktionellen Oberfläche direkt mit der Bildqualität verknüpft ist. Bei dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil resultiert sogar ein Defekt in einem schweren nachteiligen Effekt bzw. Wirkung, und die Anerkennung verdienenden Wirkungen bzw. Effekte der vorliegenden Erfindung werden besonders deutlich an den Tag gelegt.
  • Gemäß der Erfindung umfassen die detaillierten Defektinformationen Defektpositionsinformationen, und sie werden in einem Nicht-Bildbereich in der longitudinalen Ausdehnung der Defektposition visualisiert, welche von den Defektpositionsinformationen abgeleitet wird.
  • Das zuvor erwähnte Defektsignal kann durch die folgenden Verfahren erfasst werden:
    Die japanischen Patentanmeldungsoffenlegungsschriften Nr. 63-73139 und 7-218442, und die japanischen Patente Nr. 2,935,881 und 2,967,291 offenbaren Einrichtungen zur optischen Erfassung eines Defekts bei einer bei einem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil installierten lichtempfindlichen Schicht. Zur optischen Identifizierung des Defekts bei dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil gibt es beispielsweise ein Laserlicht verwendendes Verfahren. Ein von einer Lichtquelle emittierter Laserstrahl wird durch einen Strahlexpander in einen parallelen Strahl umgewandelt, welcher das elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil mit einem spitzen Winkel bestrahlt. Weist das elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil keinen Defekt auf, wird das Licht mit einem konstanten Winkel in einem parallelen Strahlzustand reflektiert. Weist das elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil andererseits einen Defekt auf, wird der Laserstrahl durch einen derartigen Defekt gestreut, wodurch das reflektierte Licht deformiert bzw. verzerrt wird. Das reflektierte Licht wird durch einen photoelektrischen Sensor empfangen, und die Differenz zwischen dem einfallenden Licht und dem reflektierten Licht wird photoelektrisch umgewandelt, um ein elektrisches Signal zu geben, welches den Defekt identifiziert.
  • Auch die japanische Patentanmeldungsoffenlegungsschrift Nr. 57-192847 und die japanischen Patente Nr. 1,620,166 und 2,539,218 offenbaren Verfahren zur Erfassung eines Defekts durch eine Änderung bei einem in einer lichtempfindlichen Schicht fließenden elektrischen Signal. Zur elektrischen Identifizierung des Defekts bei dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil gibt es beispielsweise ein eine Quelle hoher Spannung verwendendes Verfahren. Eine leitfähige Aufladungswalze bzw. Aufladungsrolle wird in Kontakt mit der lichtempfindlichen Schicht gehalten, und es wird eine Spannung gemäß der Dicke des Films an dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil angelegt, während die Aufladungsrolle und das elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil in synchronisierter Weise gedreht werden. Hat der Film eine gleichmäßige Dicke und Qualität, ist der Spannungswiderstandswert über das gesamte elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil gleichmäßig. Weist der Film jedoch eine örtliche Fluktuation auf, zeigt der in dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil fließende Strom eine Änderung, oder in einigen Fällen einen Verlust auf. Derartige Änderungen werden zur Identifikation des Defekts gelesen.
  • Diese Inspektionen bzw. Prüfungen ergeben Defektsignale für punktförmige Defekte, streifenförmige Defekte, blasenförmige Defekte, Kratzer oder Ablagerungen an dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil.
  • Nun wird die vorliegende Erfindung anhand ihres Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf beiliegende Zeichnungen erläutert.
  • 1 ist eine Ansicht einer Vorbetrachtungsprüfvorrichtung für das elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil, welche ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bildet.
  • Durch eine Signalleitung 101 sind eine Transporteinheit 102 für das elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil, Prüfeinheiten bzw. Inspektionseinheiten (Defektsignalerfassungseinrichtungen) 103 bis 105 und eine Laserlichtbestrahlungseinheit (detaillierte-Defektinformationen-Visualisierungseinrichtung) 106 mit einem Hostcomputer 107 verbunden, und diese Einheiten werden durch den Hostcomputer 107 entweder direkt oder durch eine andere Einheit, wie beispielsweise eine Ablaufsteuerung oder eine Steuereinrichtung gesteuert.
  • Ist die Prüfeinheit eine optische Prüfeinheit, ist sie ausgestattet mit einer Lichtquelle zur Bestrahlung des elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteils mit Licht, einer Kamera zur Erfassung von reflektiertem Licht (Defektsignal) von dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil, und einem Computer für den optischen Inspektionseinheitcomputer, welcher die durch die Kamera erfassten Defektsignale verarbeitet und sie an den Hostcomputer 107 sendet.
  • Erzeugt der Hostcomputer 107 die detaillierten Defektinformationen (über die Positionen, Typen, Anzahl usw. von Defekten) des elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteils aus dem Defektsignal, können die von der optischen Prüfeinheit an den Hostcomputer 107 gesendeten Daten von den Defekten stammende Rohdaten sein, wie beispielsweise eine Lichtstreuung und Informationen über die Position, bei welcher diese Streuung auftritt.
  • Ist die Prüfeinheit ein anderer Typ, beispielsweise eine elektrische Prüfeinheit, ist sie ausgestattet mit einer Aufladungseinrichtung zum Anlegen einer Spannung an das elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil, einer Strom/Spannungserfassungseinrichtung zur Erfassung eines elektrischen Stroms (Defektsignal) in dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil oder der Spannung (Defektsignal) bei einem Spannungsanlegen daran, und einem elektrischen Prüfeinheitcomputer zur Verarbeitung der durch den Detektor erfassten Defektsignale und Sendung dieser an den Hostcomputer 107.
  • Um die Defektpositionsinformationen durch die Verwendung der Prüfeinheit zu erlangen, kann sie mit einem Positionssensor, wie beispielsweise eine Codiereinrichtung, zur Erfassung der Position bei dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil ausgestattet sein. Natürlich ist es nicht erforderlich, dass der Positionssensor einstückig mit der Prüfeinheit gebaut ist, sondern er kann separat zur Verfügung gestellt sein.
  • Nachfolgend wird die Betriebssequenz von der Vorbetrachtungsprüfung zu der visuellen Prüfung gemäß einer Wirkung der die Vorrichtung bildenden Einheiten unter Bezugnahme auf 1 und ein Flussdiagramm (2) der Vorbetrachtungsprüfung erläutert, welche die Vorbetrachtungsprüfvorrichtung des vorliegenden Ausführungsbeispiels verwendet.
  • Zur Verdeutlichung des Flusses von dem Einführen in die Vorbetrachtungsprüfvorrichtung bis zu der visuellen Prüfung für die letztendliche Beurteilung zeigt 2 auch die Vorgänge vor und nach den Schritten 201 bis 205, welche durch eine CPU 301 durchgeführt werden, wie es später beschrieben wird.
  • Ein in die Vorbetrachtungsprüfvorrichtung eingeführtes elektrophotographisches lichtempfindliches Bauteil ist an einer Transporteinheit 102 montiert. Oder das elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil ist vor einer visuellen Prüfung an einer Prüfvorrichtung montiert.
  • Das an der Transporteinheit 102 montierte elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil wird durch die Drehung der Transporteinheit zuerst zu einer (nachfolgend Prüfstelle genannten) Position 108 transportiert, bei welcher die Prüfung durch eine Prüfeinheit 103 vorgenommen wird, und dann wird es zu Prüfstellen 108 zur Prüfung durch Prüfeinheiten 104, 105 transportiert, bei welchen optische oder elektrische Prüfungen durch die Prüfeinheiten 104 und 105 für die Position oder den Typ von jedem der Defekte durchgeführt werden, wodurch Signale (Defektsignale) für die Farbe (Kontrast), Filmzustand oder -bedingung, elektrische Charakteristika usw. zusammen mit jeweiligen Defektpositionssignalen erlangt werden (201 in 2).
  • Für derartige Prüfungen können verschiedenste Prüfverfahren als eine Prüfung in Bezug auf die Farbe des Defekts eingesetzt werden, indem das um seine Achse gedrehte elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil mit weißem Licht bestrahlt wird, das reflektierte Licht in ein photoelektrisches Umwandlungselement, wie beispielsweise einen Zeilensensor, oder eine CCD-Kamera, eingeführt wird und eine Kontraständerung erfasst wird, wodurch ein normaler Abschnitt und ein anormaler Abschnitt identifiziert werden, oder es kann eine Prüfung in Bezug auf den Filmdefekt zum Einsatz kommen, indem das sich drehende elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil bei einem spitzen Winkel mit einem Laserstrahl bestrahlt wird, das reflektierte Licht in ein photoelektrisches Umwandlungselement, wie beispielsweise einen Zeilensensor oder eine CCD-Kamera, eingeführt wird, und aus der Abweichung bei dem Reflektionswinkel eine Änderung der Filmqualität oder Filmdicke erfasst wird, wodurch ein normaler Abschnitt und ein anormaler Abschnitt identifiziert wird, oder es kann eine Prüfung in Bezug auf die elektrischen Charakteristika der lichtempfindlichen Schicht zum Einsatz kommen, indem an die lichtempfindliche Schicht durch eine Corona-Aufladungseinrichtung oder eine Aufladungsrolle eine Spannung angelegt wird, und die Aufladungsspannung oder der Strom in der lichtempfindlichen Schicht erfasst wird.
  • In 1 werden drei Prüfstellen 108 für die Prüfeinheiten 103 bis 105 jeweils für die Farbe (Kontrast), den Filmzustand und die elektrischen Charakteristika eingesetzt, jedoch können bei einer einzelnen Prüfstelle 108 eine Vielzahl von Prüfungen angewendet werden, was von der Prüflichtquelle, der Gestaltung bzw. dem Layout der photoelektrischen Umwandlungselemente, und dem Bereich und den Gegenständen der Prüfung abhängig ist.
  • Die durch jede Inspektion bzw. Prüfung erlangten Defekte bei dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil werden als Signale an den Hostcomputer 107 gesendet. Das heißt, Defektsignale usw. werden von den Prüfeinheiten 103 bis 105 an den Hostcomputer 107 gesendet (202 in 2).
  • Beim Empfang der Defektsignale von den Prüfeinheiten erzeugt der Hostcomputer 107 auf der Grundlage der Signale detaillierte Defektinformationen, welche beispielsweise angeben, welches elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil welche Anzahl und Typen von Defekten bei welchen Positionen aufweist (203 in 2).
  • Nach Erzeugen der detaillierten Defektinformationen beurteilt der Hostcomputer 107 auf der Grundlage derartiger detaillierter Defektinformationen, ob das elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil ohne praktisches Problem verwendet werden kann und keine visuelle Prüfung erfordert (visuelle Prüfung ist nicht notwendig), oder ob das elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil nicht beurteilt werden kann und der visuellen Prüfung unterzogen werden muss (visuelle Prüfung notwendig) (204 in 2).
  • Eine derartige Beurteilung wird durch Vergleich mit der Datenbank von Defektkriterien vorgenommen, welche im Voraus bestimmt sind und in dem Hostcomputer zur Verfügung gestellt sind.
  • Dann werden von den elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteilen, welche durch die Transporteinheit 102 an eine (nachfolgend Visualisierungsstelle genannte) Position 109 transportiert, bei welcher die detaillierten Defektinformationen durch eine Laserlichtbestrahlungseinheit (detaillierte-Defektinformationen-Visualisierungseinrichtung) 106 visualisiert werden, nur diejenigen der Visualisierung der in dem Hostcomputer gespeicherten detaillierten Defektinformationen unterzogen, welche als die visuelle Prüfung erfordernd beurteilt wurden (205 in 2).
  • Die detaillierten Defektinformationen werden, wie es später beschrieben wird, als Zeicheninformationen an einem Nicht-Bildbereich in einem Randabschnitt des elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteils, beispielsweise durch Laserlicht eines Kohlendioxidgaslasers, visualisiert.
  • 3 ist ein Blockschaltbild der Hardwarekonfiguration des Hostcomputers 107 bei dem Ausführungsbeispiel 1 der vorliegenden Erfindung.
  • Eine CPU 301 führt eine Sendung, einen Empfang und eine Kopplung von Daten durch und steuert über einen Bus 308 verbundene Komponenten. Durch den Bus 308 werden Adresssignale, Steuersignale und verschiedenste Daten unter den damit verbundenen Komponenten (Vorrichtungen) übertragen. Die CPU 301 führt die zuvor erwähnten Schritte 201 bis 205 aus, die in dem Flussdiagramm von 2 gezeigt sind.
  • Ein ROM (Nur-Lese-Speicher) 302 speichert im Voraus eine Steuersequenz (Steuerprogramm) für die CPU 301, welche eine derartige Steuersequenz zur Realisierung verschiedenster Vorgänge, wie beispielsweise eine Datensendung und einen Datenempfang und eine Beurteilung über das elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil, durchführt. Ein RAM 303 wird als ein Arbeitsspeicher für die zuvor erwähnte Datensendung/empfang und die Beurteilung und als ein temporärer Speicher zur Steuerung verschiedenster Komponenten verwendet.
  • Zur Speicherung einer Datenbank usw. findet eine externe Speichervorrichtung 304 Verwendung, welche in der Lage ist Inhalte zu halten, auch wenn die Energieversorgung ausgeschaltet ist, wie beispielsweise eine Festplatte. Eine Schnittstelle 305 verbindet die in 1 gezeigten Einheiten mit einer Signalleitung.
  • 4 zeigt ein Beispiel des Druckens der Zeicheninformationen an dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil und ein spezifisches Beispiel der Zeicheninformationen.
  • Die Zeicheninformationen bestehen, wie durch ein Druckmuster 401 angegeben, aus einer Kombination von drei Buchstaben, bei welcher der erste Buchstabe die Position eines Defekts des elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteils angibt, der zweite Buchstabe den Typ des Defekts angibt, und der dritte Buchstabe die Anzahl bzw. Nummer des Defekts angibt. Hier ist in Bezug auf den ersten Buchstaben die Position des Defekts unter Verwendung von arabischen Ziffern angegeben. Hierbei ist der erste Buchstabe derart bestimmt, dass die Gesamtlänge eines Überzugsbereichs beispielsweise in zehn gleiche Teile geteilt ist. Diesem Beispiel folgend gibt es Abschnitte 1 bis 10 von oben. Somit gibt die arabische Ziffer „1" an, dass ein Defekt in Abschnitt 1 vorhanden ist, die arabische Ziffer „5" gibt an, dass ein Defekt in Abschnitt 5 vorhanden ist, und die arabische Ziffer „0" gibt an, dass ein Defekt in Abschnitt 10 vorhanden ist.
  • Die Umfangsdruckposition befindet sich, wie bei einer Druckposition 402 angegeben, bei dem Ende des Nicht-Bildbereichs bei einer Umfangsposition entsprechend einem schlimmsten Defekt unter den erfassten Defekten. Insbesondere ist die Druckposition 402 eine Position in der Umfangsrichtung XP, und die Druckposition 402 befindet sich in dem Nicht-Bildbereich auf der selben Achse wie der erste Defekt. In diesem Fall liegt die Differenz zwischen der Defektposition und dem ersten markierten Buchstaben innerhalb von ±5 mm (gemäß der Betriebsart).
  • Die Größe des gedruckten Buchstabens kann beliebig ausgewählt werden, jedoch wird sie bei dem vorliegenden Beispiel als 2 × 2 mm ausgewählt. Außerdem werden die Intensität des Laserstrahls und seines Punktdurchmessers bei geeigneten Pegeln ausgewählt, welche kein Spritzen oder Wölben um den gedruckten Abschnitt herum verursachen.
  • Beispielsweise gibt ein Zeichenzug „1·2" bei einem Druckbeispiel 403 an, dass „ein punktförmiger Defekt (Punkt) in einem Überzugsbereich von 1/10 von dem oberen Rand des Überzugsbereichs an der Ausdehnung der Umfangsposition des Zeichenzugs vorhanden ist, und die Anzahl von Defekten insgesamt zwei beträgt, wobei ein Defekt in einer weiteren Position umfasst ist".
  • Unter Bezugnahme auf das Beispiel, das die volle Länge eines Überzugsbereichs in zehn gleiche Teile unterteilt ist, gibt beispielsweise ein Zeichenzug „1·1" bei einem Druckbeispiel 403 an, dass bei der vollen Überzugsbreite ein „punktförmiger Defekt innerhalb von Abschnitt 1 und an einem Produkt in der axialen Richtung XR des ersten markierten Buchstabens vorhanden ist. Der Defekt ist an einer Position vorhanden". Somit gibt ein Zeichenzug „9★3" bei einem Druckbeispiel 403 an, dass es in der gesamten bzw. vollen Überzugsbreite „eine Sache gibt, die innerhalb von Abschnitt 9 und an einem Produkt in der axialen Richtung XR des ersten markierten Zeichens anhaftet. Andere Defekte sind bei zwei Positionen (drei Defekte insgesamt) vorhanden".
  • Die in dem Hostcomputer 107 gespeicherten detaillierten Defektinformationen umfassen einen schweren Defekt, welcher keine visuelle Prüfung durch eine Prüfperson bei dem nachstehenden Schritt erfordert, einen geringfügigen Defekt bei der Grenze einer verwendbaren/nicht verwendbaren Beurteilung, einen extremen Bagatelldefekt und sogar eine fehlerhafte Erfassung durch die Defektsignalerfassungseinrichtung. Beispielsweise kann ein elektrophotographisches lichtempfindliches Bauteil (Prüfgegenstand) mit einem schweren Defekt, unmittelbar nachdem es aus der Vorbetrachtungsprüfvorrichtung ausgestoßen wurde, abgelegt werden, wodurch es durch die visuelle Prüfung durch eine Prüfperson ausgelassen wird. Nach Ausstoß aus der Vorbetrachtungsprüfvorrichtung kann ein Sortierschritt für das abzulegende elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil (Prüfgegenstand), das die visuelle Prüfung durch eine Prüfperson erfordernde elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil (Prüfgegenstand), und das an einen nachfolgenden Vorgang weiterzuleitende zufriedenstellende elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil (Prüfgegenstand) zur Verfügung gestellt werden.
  • Das auf diese Weise sortierte und bedruckte elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil wird der visuellen Prüfung durch eine Prüfperson unterzogen, wodurch es beurteilt wird, ob es bei dem letztendlichen Produkt verwendet werden kann oder nicht.
  • Da die Positionen, Nummern bzw. Anzahl, Typen usw. der Defekte aus den detaillierten Defektinformationen im Voraus bekannt sein können, welche an dem Randabschnitt des elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteils visualisiert sind, kann eine Prüfperson sehr effektiv die visuelle Prüfung durchführen, und das im Voraus Vorhandensein der Defektinformationen verhindert einen Fehler durch Übersehen, wodurch eine zufriedenstellende Genauigkeit der Prüfung erzielt wird.
  • Wie im Voraus erläutert, wurden aufgrund der zunehmenden Anforderung nach höherer Qualität die an Prüfgegenständen zu identifizierenden Defekte feiner und feiner, und außer wenn der Ort der Defekte im Voraus identifiziert wird, sind derartige Defekte sehr viel schwieriger zu entdecken. Das Prüfverfahren und die Prüfvorrichtung der vorliegenden Erfindung würden eine signifikante Verbesserung der Effizienz und der Genauigkeit des Prüfschritts mit sich bringen, bei welchem ein Hauptteil der Mühe auf eine Ortung von feinen Defekten konzentriert worden ist.

Claims (12)

  1. Vorbetrachtungsprüfverfahren für ein elektrophotographisches lichtempfindliches Bauteil vor seiner Sichtprüfung, mit einem Defektsignal-Erfassungsschritt des Erfassens eines Defektsignals auf der Grundlage eines Defektzustands des elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteils, einem detaillierte-Defektinformationen-Erzeugungsschritt des Erzeugens von detaillierten Defektinformationen auf der Grundlage des bei dem Defektsignal-Erfassungsschritt erfassten Defektsignals, und einem detaillierte-Defektinformationen-Visualisierungsschritt des Visualisierens in einem Nichtbildbereich des elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteils der bei dem detaillierte-Defektinformationen-Erzeugungsschritt erzeugten detaillierten Defektinformationen, dadurch gekennzeichnet, dass die detaillierten Defektinformationen Defektpositionsinformationen umfassen, und der detaillierte-Defektinformationen-Visualisierungsschritt ein mit Laserlicht ausgeführter Druckschritt ist und zum Visualisieren, auf der Grundlage der Defektpositionsinformationen, der detaillierten Defektinformationen an einer longitudinalen Verlängerung einer Defektposition an dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil angewendet wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, zudem mit einem elektrophotographisches-lichtempfindliches-Bauteil-Beurteilungsschritt des Beurteilens auf der Grundlage der bei dem detaillierte-Defektinformationen-Erzeugungsschritt erzeugten detaillierten Defektinformationen, ob für das elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil die visuelle Prüfung erforderlich ist oder nicht, wobei der detaillierte-Defektinformationen-Visualisierungsschritt angewendet wird, um die detaillierten Defektinformationen nur an dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil zu visualisieren, welches bei dem elektrophotographischeslichtempfindliches-Bauteil-Beurteilungsschritt als die visuelle Prüfung erfordernd identifiziert wurde.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, zudem mit einem detaillierte-Defektinformationen-Symbolisierschritt des Symbolisierens der bei dem detaillierte-Defektinformationen-Erzeugungsschritt erzeugten detaillierten Defektinformationen, wobei der Druckschritt an dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil die bei dem detaillierte-Defektinformationen-Symbolisierschritt symbolisierten detaillierten Defektinformationen visualisiert.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil eine Funktionalität an seiner gesamten Fläche oder einem Teil davon aufweist.
  5. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Defektsignal-Erfassungsschritt ein optischer Defektsignal-Erfassungsschritt ist, mit einem Lichtbeleuchtungsschritt des Beleuchtens des elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteils mit Licht, und einem Reflexionslicht-Erfassungsschritt des Erfassens von Reflexionslicht von dem bei dem Lichtbeleuchtungsschritt mit Licht beleuchteten elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil.
  6. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Defektsignal-Erfassungsschritt ein elektrischer Defektsignal-Erfassungsschritt ist, mit einem Spannungsanlegeschritt des Anlegens einer Spannung an das elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil, und einem Strom/Spannungs-Erfassungsschritt des Erfassens eines elektrischen Stroms bei dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil, welches einem Spannungsanlegen bei dem Spannungsanlegeschritt unterzogen ist, oder der Spannung bei dem Spannungsanlegeschritt.
  7. Vorbetrachtungsprüfvorrichtung für ein elektrophotographisches lichtempfindliches Bauteil vor seiner Sichtprüfung, mit einer Defektsignal-Erfassungseinrichtung zur Erfassung eines Defektsignals auf der Grundlage eines Defektzustands des elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteils, einer detaillierte-Defektinformationen-Erzeugungseinrichtung zur Erzeugung von detaillierten Defektinformationen auf der Grundlage des durch die Defektsignal-Erfassungseinrichtung erfassten Defektsignals, und einer detaillierte-Defektinformationen-Visualisierungseinrichtung zur Visualisierung in einem Nichtbildbereich des elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteils der durch die detaillierte-Defektinformationen-Erzeugungseinrichtung erzeugten detaillierten Defektinformationen, dadurch gekennzeichnet, dass die detaillierten Defektinformationen Defektpositionsinformationen umfassen, und die detaillierte-Defektinformationen-Visualisierungseinrichtung eine Laserlicht verwendende Druckeinrichtung ist und zur Visualisierung, auf der Grundlage der Defektpositionsinformationen, der detaillierten Defektinformationen an einer longitudinalen Verlängerung einer Defektposition an dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil ausgestaltet ist.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 7, zudem mit einer elektrophotographisches-lichtempfindliches-Bauteil-Beurteilungseinrichtung zur Beurteilung auf der Grundlage der durch die detaillierte-Defektinformationen-Erzeugungseinrichtung erzeugten detaillierten Defektinformationen, ob für das elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil die visuelle Prüfung erforderlich ist oder nicht, wobei die detaillierte-Defektinformationen-Visualisierungseinrichtung ausgestaltet ist, um die detaillierten Defektinformationen nur an dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil zu visualisieren, welches durch die elektrophotographischeslichtempfindliches-Bauteil-Beurteilungseinrichtung als die visuelle Prüfung erfordernd identifiziert wurde.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 7, zudem mit einer detaillierte-Defektinformationen-Symbolisiereinrichtung zur Symbolisierung der durch die detaillierte-Defektinformationen-Erzeugungseinrichtung erzeugten detaillierten Defektinformationen, wobei die Druckeinrichtung ausgestaltet ist, um an dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil die durch die detaillierte-Defektinformationen-Symbolisiereinrichtung symbolisierten detaillierten Defektinformationen zu visualisieren.
  10. Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei das elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil eine Funktionalität an seiner gesamten Fläche oder einem Teil davon aufweist.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei die Defektsignal-Erfassungseinrichtung eine optische Defektsignal-Erfassungseinrichtung ist, mit einer Lichtbeleuchtungseinrichtung zur Beleuchtung des elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteils mit Licht, und einer Reflexionslicht-Erfassungseinrichtung zur Erfassung von Reflexionslicht von dem durch die Lichtbeleuchtungseinrichtung mit Licht beleuchteten elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil.
  12. Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei die Defektsignal-Erfassungseinrichtung eine elektrische Defektsignal-Erfassungseinrichtung ist, mit einer Spannungsanlegeeinrichtung zum Anlegen einer Spannung an das elektrophotographische lichtempfindliche Bauteil, und einer Strom/Spannungs-Erfassungseinrichtung zur Erfassung eines elektrischen Stroms bei dem elektrophotographischen lichtempfindlichen Bauteil, welches einem Spannungsanlegen durch die Spannungsanlegeeinrichtung unterzogen ist, oder der durch die Spannungsanlegeeinrichtung angelegten Spannung.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7272330B2 (en) * 2004-04-20 2007-09-18 Rochester Institute Of Technology System for analyzing an organic photoconducting drum and a method thereof
US7328125B2 (en) * 2004-09-01 2008-02-05 Canon Kabushiki Kaisha Measuring method of cylindrical body
US8374398B2 (en) * 2008-10-14 2013-02-12 Bell and Howell, LLC. Linear image lift array for transported material
JP2018205099A (ja) * 2017-06-02 2018-12-27 コニカミノルタ株式会社 筒状物の検査装置
IT201800009209A1 (it) * 2018-10-05 2020-04-05 Sica Spa Metodo e dispositivo di misurazione dell’ingombro della sezione trasversale di tubi

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4383263A (en) 1980-05-20 1983-05-10 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejecting apparatus having a suction mechanism
JPS57161641A (en) * 1981-03-31 1982-10-05 Olympus Optical Co Ltd Inspecting device for defect of surface
GB2186365B (en) 1983-07-16 1988-05-25 Nat Res Dev Inspecting textile items
JPS6373139A (ja) 1986-09-17 1988-04-02 Canon Inc 表面検査装置
US4803336A (en) * 1988-01-14 1989-02-07 Hughes Aircraft Company High speed laser marking system
US4968998A (en) 1989-07-26 1990-11-06 Hewlett-Packard Company Refillable ink jet print system
JPH087192B2 (ja) 1990-07-09 1996-01-29 東洋製罐株式会社 被膜欠陥検査方法と装置
JP2967291B2 (ja) 1990-07-11 1999-10-25 富士ゼロックス株式会社 傷検査方法
JP2935881B2 (ja) 1990-09-07 1999-08-16 株式会社リコー 欠陥検査方法及び装置
US5657891A (en) 1993-05-18 1997-08-19 The Procter & Gamble Company Container for fluids
JP2854223B2 (ja) 1993-09-08 1999-02-03 ジャパンゴアテックス株式会社 撥油防水性通気フィルター
JPH0783849A (ja) 1993-09-16 1995-03-31 Hitachi Chem Co Ltd プリント配線板の良否判定方法
JP3238805B2 (ja) 1993-09-30 2001-12-17 キヤノン株式会社 インクタンク、インクジェット用カートリッジ及びインクジェット記録方法
JPH07201946A (ja) * 1993-12-28 1995-08-04 Hitachi Ltd 半導体装置等の製造方法及びその装置並びに検査方法及びその装置
JPH07218442A (ja) 1994-02-02 1995-08-18 Canon Inc 円筒物検査装置
TW373595U (en) 1994-05-25 1999-11-01 Canon Kk An ink container and an ink jet recording apparatus using the same
US6148097A (en) * 1995-06-07 2000-11-14 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof
JP3450643B2 (ja) 1996-04-25 2003-09-29 キヤノン株式会社 液体収容容器への液体補充方法、該補充方法を用いる液体吐出記録装置、液体補充容器、液体収容容器およびヘッドカートリッジ
SE511822C2 (sv) * 1996-11-13 1999-11-29 Svante Bjoerk Ab Anordning och metod för att markera defekter på en transparent remsa
JPH10277912A (ja) 1997-04-04 1998-10-20 Nippon Steel Corp 鋼片の表面疵処理方法
US6118540A (en) * 1997-07-11 2000-09-12 Semiconductor Technologies & Instruments, Inc. Method and apparatus for inspecting a workpiece
JP3287791B2 (ja) 1997-07-30 2002-06-04 キヤノン株式会社 液体収容室を有する液体収容容器への液体充填方法及び液体充填装置
US5985680A (en) * 1997-08-08 1999-11-16 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for transforming a substrate coordinate system into a wafer analysis tool coordinate system
JP3483494B2 (ja) * 1998-03-31 2004-01-06 キヤノン株式会社 真空処理装置および真空処理方法、並びに該方法によって作成される電子写真感光体
JPH11319943A (ja) 1998-05-08 1999-11-24 Nkk Corp 欠陥マーキング方法及び装置並びに欠陥マーキングしたコイルの作業方法
JP3358537B2 (ja) 1998-05-13 2002-12-24 日本鋼管株式会社 連続ラインにおける欠陥対応の自動減速方法及び装置
JP2000051937A (ja) 1998-08-06 2000-02-22 Nkk Corp 薄鋼板への欠陥マーキング方法
JP3676092B2 (ja) 1998-09-28 2005-07-27 株式会社リコー 表面欠陥検査装置
JP2000146920A (ja) 1998-11-13 2000-05-26 Ricoh Co Ltd ピンホール検査装置
US6476913B1 (en) * 1998-11-30 2002-11-05 Hitachi, Ltd. Inspection method, apparatus and system for circuit pattern

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Publication number Publication date
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DE60117645D1 (de) 2006-05-04
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CN1339700A (zh) 2002-03-13
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