DE112022001473T5

DE112022001473T5 - Prüfsystem, prüfungsverwaltungsvorrichtung, prüfverfahren und programm

Info

Publication number: DE112022001473T5
Application number: DE112022001473.3T
Authority: DE
Inventors: Takako Onishi
Original assignee: Omron Corp; Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 2021-03-12
Filing date: 2022-01-19
Publication date: 2023-12-28
Also published as: CN116888429A; JP2022140081A; WO2022190654A1; TWI810799B; TW202236166A

Abstract

Somit umfasst ein Prüfsystem: eine erste Prüfeinheit eingerichtet, um eine Primärprüfung basierend auf den Primärbilddaten durchzuführen, die durch Abbilden eines Prüfobjekts durch eine erste Abbildungseinheit erhalten werden, eine zweite Prüfeinheit, eingerichtet, um eine Sekundärprüfung basierend auf den Sekundärbilddaten durchzuführen, die durch Abbilden des Prüfobjekts durch eine zweite, sich von der ersten Abbildungseinheit unterscheidende Abbildungseinheit erhalten wurden, eine erste Prüfsinformationen-Erfassungseinheit, eingerichtet um erste Prüfinformationen einschließlich eines Ergebnisses der Primärprüfung von der ersten Prüfeinheit zu erfassen, eine Gültigkeit-Bewertungseinheit, eingerichtet, um basierend auf einer vorbestimmten Bewertungsbedingung die Gültigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung an dem Prüfobjekt durch die zweite Prüfeinheit zu bewerten, und eine zweite Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit, eingerichtet, um basierend auf der Bewertung durch die Gültigkeit-Bewertungseinheit zumindest eine Notwendigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung zu bestimmen.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Prüfsystem, eine Prüfungsverwaltungsvorrichtung, ein Prüfverfahren und ein Programm.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
In Herstellungsverfahren von verschiedenen Substraten wurden Messungen und Prüfungen unter Verwendung eines Bildes durchgeführt, das durch Abbilden des Substrats erhalten wurde, und es ist eine Technik bekannt, um durch Röntgen-Computertomographie (CT) einen Teil zu prüfen, der nicht durch das Erscheinungsbild geprüft werden kann. Darüber hinaus ist eine Technik bekannt, mit der das als anomal bewertete Prüfobjekt unter Bildgebungsbedingungen, die dem Typ der Anomalie entsprechen, erneut untersucht werden kann (z. B. Patentschrift 1).
Des Weiteren wird eine Technik offenbart, in der bei der Prüfung eines Substrats mit einem Röntgenprüfgerät Sekundärbilddaten mit einer höheren Auflösung als die der Primärbilddaten basierend auf einer Vielzahl von Teilen von Primärbilddaten, die während einer Primärprüfung erfasst wurden, erzeugt werden, und ein Bauteil, das eine Anomalie in den Primärbilddaten aufweist, unter Verwendung der hochauflösenden Sekundärbilddaten erneut geprüft wird (z. B. Patentschrift 2). Dementsprechend müssen während der Sekundärprüfung keine weiteren Bilddaten für die Sekundärprüfung erfasst werden, und die Sekundärprüfung kann effizient durchgeführt werden.
ENTGEGENHALTUNGEN
PATENTSCHRIFTEN

Patentschrift 1: JP 5246187 B
Patentschrift 2: JP 6484838 B

ERLÄUTERUNG DER ERFINDUNG
TECHNISCHES PROBLEM
Mit den in den vorstehenden Patentschriften 1 und 2 beschriebenen Techniken wird eine erneute Prüfung unter neuen Abbildungsbedingungen (einschließlich der Bildqualität) mit einem einzigen Prüfgerät für alle als anomal bewerteten Bauteile durchgeführt. Gemäß solchen Verfahren wird eine erneute Prüfung auch dann durchgeführt, wenn das Produkt eindeutig fehlerhaft ist und keine erneute Prüfung erforderlich ist, oder sogar dann, wenn die Abbildungsprinzipien so eingeschränkt sind, dass ein Problem besteht, das nicht gelöst werden kann, unabhängig davon, wie die Abbildungsbedingungen (einschließlich der Bildqualität) unter denselben Abbildungsprinzipien geändert werden, was zu einer Verschwendung von Ressourcen führt.
Die vorliegende Erfindung wurde in Anbetracht der vorstehenden Umstände gemacht, und es ist eine Aufgabe, eine Technik bereitzustellen, die eine verbesserte Prüfwirksamkeit unter Beibehaltung der Prüfungsgenauigkeit für ein Prüfsystem für ein mit einem Bauteil bestücktes Substrat bereitstellen kann, wobei das System eine Vielzahl von Typen von Prüfgeräten umfasst.
LÖSUNG DER AUFGABE
Zur Lösung des vorstehend beschriebenen Aufgabe verwendet die vorliegende Erfindung die folgende Konfiguration. Somit umfasst ein Prüfsystem: eine erste Prüfeinheit, eingerichtet, um eine Primärprüfung basierend auf den Primärbilddaten durchzuführen, die durch Abbilden eines Prüfobjekts durch eine erste Abbildungseinheit erhalten werden, eine zweite Prüfeinheit, eingerichtet, um eine Sekundärprüfung basierend auf den Sekundärbilddaten durchzuführen, die durch Abbilden des Prüfobjekts durch eine zweite, sich von der ersten Prüfeinheit unterscheidende Abbildungseinheit erhalten wurden, eine erste Prüfsinformationen-Erfassungseinheit, die eingerichtet ist, um erste Prüfinformationen einschließlich eines Ergebnisses der Primärprüfung von der ersten Prüfeinheit zu erfassen, eine Gültigkeit-Bewertungseinheit, eingerichtet, um basierend auf einer vorbestimmten Bewertungsbedingung die Gültigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung am Prüfobjekt durch die zweite Prüfeinheit zu bewerten, und eine zweite Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit, eingerichtet, um basierend auf der Bewertung durch die Gültigkeit-Bewertungseinheit zumindest eine Notwendigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung zu bestimmen. Außerdem kann die Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit auch den Inhalt der Sekundärprüfung bestimmen, wenn die zweite Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit beschließt, die Sekundärprüfung durchzuführen.
Die „Abbildungseinheit“ ist hier nicht auf eine Kamera beschränkt, die eine Wellenlänge im Bereich des sichtbaren Lichts erfasst, sondern kann auch eine Röntgenkamera, die Röntgenstrahlen erfasst, oder einen Photomultiplier-Sensor für die Laserabtastung usw. umfassen. Darüber hinaus ist die „Prüfeinheit“ eine Einheit, die eine Prüfung basierend auf Bilddaten durchführt, die durch Abbilden des Prüfobjekts erhalten werden, wie z. B. eine Einheit, die eine automatische optische Prüfung (AOI) oder eine Einheit, die eine automatische Röntgenprüfung (AXI) durchführt. Darüber hinaus betrifft der vorstehend beschriebene „Inhalt der Prüfung“ Prüfbedingungen wie einen Prüfgegenstand, eine Auflösung der Bilddaten und einen Abbildungsbereich. Das Prüfobjekt kann Informationen wie die Koordinaten, an denen die Prüfung durchgeführt wird, und einen Parameter zur Extraktion eines Prüfobjekts enthalten. Darüber hinaus kann die „Notwendigkeit des Durchführens“ z.B. als, ein Kennzeichen angesehen werden, das angibt, ob das Prüfobjekt von der dem Prüfobjekt entsprechenden Prüfeinheit auf ein Prüfobjekt hin geprüft wird. Wenn das Kennzeichen auf EIN (Prüfung erforderlich) steht, wird das Prüfobjekt von der Prüfeinheit, die dem Prüfobjekt entspricht, auf das Prüfobjekt hin geprüft. Ist das Kennzeichen AUS, wird das Prüfobjekt nicht geprüft. Darüber hinaus umfasst das „Bestimmen des Inhalts der Sekundärprüfung“ auch das Durchführen der Prüfung nach einem vorbestimmten Inhalt in einem Fall, in dem bestimmt wird, dass die Prüfung durchzuführen ist.
Gemäß einer solchen Konfiguration kann in einem Substratprüfsystem mit einer Vielzahl von Typen von Prüfeinheiten, die jeweils unterschiedliche Abbildungseinheiten aufweisen, die Gültigkeit einer Nachprüfung unter Berücksichtigung eines Unterschieds in den Abbildungsprinzipien jeder Einheit bewertet und die Notwendigkeit des Durchführens der Nachprüfung (und des Prüfinhalts) basierend auf dieser Bewertung bestimmt werden. Auf diese Weise kann eine Verringerung der Effizienz, die durch das Durchführen einer Prüfung mit geringer Gültigkeit (d. h. geringer Notwendigkeit) verursacht wird, verhindert werden.
Darüber hinaus kann die Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit bestimmen, dass die Sekundärprüfung in einem Fall durchgeführt werden soll, in dem das Ergebnis der Primärprüfung keine Anomalie ist und die Gültigkeit-Bewertungseinheit das Durchführen der Sekundärprüfung als gültig bewertet.
Nach dem Stand der Technik wird eine Nachprüfung nur dann durchgeführt, wenn bei der Primärprüfung eine Anomalie festgestellt wird. In manchen Fällen liegt jedoch tatsächlich ein Fehler vor, aber es kommt zu einem falsch negativen Ergebnis (so genannter übersehener Fehler), wie z. B. bei einem nicht fehlerhaften Urteil nahe dem Schwellenwert des Prüfungskriteriums. Gemäß der vorstehend eingerichteten Konfiguration kann, auch wenn bei der Primärprüfung „keine Anomalie (d.h. kein fehlerhaftes Produkt)“ bewertet wird, durch das Durchführen der Nachprüfung bei Gültigkeit der Sekundärprüfung ein solcher übersehener Fehler verhindert und die Prüfung mit hoher Genauigkeit durchgeführt werden. Außerdem wird durch die Beschränkung der Sekundärprüfung auf die Fälle, in denen die Gültigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung gegeben ist, eine unnötige Sekundärprüfung vermieden und eine Verschlechterung der Prüfwirksamkeit verhindert.
Darüber hinaus kann das Prüfsystem eine zweite Prüfinformations-Erfassungseinheit, die eingerichtet ist, um zweite Prüfinformationen einschließlich eines Ergebnisses der Sekundärprüfung von der zweiten Prüfeinheit zu erfassen, und eine Bewertungsbedingungs-Erzeugungseinheit umfassen, die eingerichtet ist, um eine verbesserte Bewertungsbedingung zu erzeugen, die für die Bewertungsbedingung besser geeignet ist, indem zumindest die zweiten Prüfinformationen verwendet werden. Mit einer solchen Konfiguration kann die Bedingung für die Bewertung der Gültigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung verbessert werden, wenn sie basierend auf zumindest historischen Informationen der Sekundärprüfung unangemessen ist und Raum für Verbesserungen besteht.
Darüber hinaus können die zweiten Prüfinformationen eine zweite Prüf-Nichtfehlerquote enthalten, die ein Verhältnis einer Menge einer Vielzahl von Prüfobjekten, die als fehlerfrei bewertet wurden, zu einer Gesamtmenge der Vielzahl von Prüfobjekten, die der Sekundärprüfung unterzogen wurden, angibt, und die Bewertungsbedingungs-Erzeugungseinheit kann einen Prozess zur Erzeugung der verbesserten Bewertungsbedingung in einem Fall durchführen, in dem die zweite Prüf-Nichtfehlerquote einen vorbestimmten Schwellenwert überschreitet.
Wenn man auch bei der Sekundärprüfung ein fehlerfreies Prüfergebnis erhält, bedeutet dies, dass die Wahrscheinlichkeit eines Problems beim Ergebnis der Primärprüfung gering ist und eine unnötige Sekundärprüfung durchgeführt wurde. Außerdem bedeutet die hohe Prüf-Nichtfehlerquote bei der Sekundärprüfung vermutlich, dass die Bestimmungsbedingungen für die Bewertung der Gültigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung zu locker eingestellt sind, was die Effizienz der gesamten Prüfung mindert. Durch die Verbesserung der Bestimmungsbedingungen für die Bewertung der Gültigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung, wenn die vorstehend beschriebenen Anforderungen erfüllt sind, kann daher ein Rückgang der Prüfwirksamkeit verhindert werden.
Darüber hinaus kann das Prüfsystem eine Bewertungsbedingungs-Aktualisierungseinheit enthalten, die eingerichtet ist, um die von der Bewertungsbedingungs-Erzeugungseinheit erzeugte verbesserte Bewertungsbedingung als vorbestimmte Bewertungsbedingung neu einzustellen. Mit einer solchen Konfiguration kann die Bestimmungsbedingung automatisch aktualisiert werden. Außerdem ist es durch das Erfassen der Ergebnisinformationen der Sekundärprüfung, die Verbesserung der Bestimmungsbedingung und die Aktualisierung der Bestimmungsbedingung auf die verbesserte Bestimmungsbedingung in Echtzeit möglich, ein Prüfsystem zu konstruieren, das die Bestimmungsbedingung automatisch optimiert. Es ist zu beachten, dass natürlich auch Spezifikationen verwendet werden können, bei denen ein Bediener bei jeder Aktualisierung bestätigt, ob er die verbesserte Bestimmungsbedingung als neue Bestimmungsbedingung einstellen will, anstatt dass die Bedingung automatisch aktualisiert wird.
Darüber hinaus kann die Bewertungseinheit die Gültigkeit basierend auf der vorbestimmten Bewertungsbedingung, die für die ersten Primärbilddaten festgelegt wurde, einem Messwert, der sich auf die Form des Prüfobjekts bezieht, das basierend auf den ersten Bilddaten erhalten wurde, oder Informationen, die sich auf die Gestaltung des Prüfobjekts beziehen, bewerten.
In diesem Fall, in dem das Prüfobjekt ein mit einem Bauteil bestücktes Substrat ist, umfassen die „Informationen, die sich auf die Gestaltung des Prüfobjekts beziehen“, zum Beispiel Informationen wie Formen und Größen von Bauteilen (und Lötaugen) und Platzierungsbeziehungen zwischen Bauteilen. Darüber hinaus kann die Bestimmungsbedingung für die Informationen, die sich auf die Gestaltung des Prüfobjekts beziehen, basierend auf der Wahrscheinlichkeit einer Beeinträchtigung der Primärprüfung eingestellt werden, z. B. als blinder Fleck eines anderen Bauteils oder als Gegenstand einer Sekundärreflexion von einer Lötfläche eines benachbarten Bauteils. Darüber hinaus kann als Prüfungsbedingung für die Primärbilddaten in einigen Fällen eine Bedingung eingestellt werden, die Zweifel an der Zuverlässigkeit der Prüfung anhand der Bilddaten aufkommen lässt, wie z. B. „maximale Leuchtdichte der Bilddaten ist gesättigt oder minimale Leuchtdichte ist Null“ oder ein „geringer Ähnlichkeitsgrad mit einem typischen, nicht fehlerhaften Produktbild“. Darüber hinaus kann in einigen Fällen als Bestimmungsbedingung für den Messwert, der sich auf die Form des Prüfobjekts bezieht, das basierend auf den Primärbilddaten erhalten wurde, eine Bedingung eingestellt werden, die einen Fehler wie eine geringe Abweichung von einem Schwellenwert eines Prüfkriteriums berücksichtigt.
Darüber hinaus kann die Gültigkeit-Bewertungseinheit ein erlerntes Modell enthalten, das durch das Einstellen von maschinellem Lernen unter Verwendung eines Trainingsdatensatzes erhalten wird, der die ersten Bilddaten der ersten Prüfung, die sich auf das Prüfobjekt bezieht und in der Vergangenheit durchgeführt wurde, enthält, wobei die ersten Bilddaten des Prüfobjekts zu einem falsch negativen und/oder falsch positiven Ergebnis bei der Primärprüfung führen.
Falsch negativ" bezieht sich hier auf einen so genannten übersehenen Defekt und „falsch positiv“ auf eine so genannte Übererkennung. Mit einer solchen Konfiguration ist es möglich, eine effiziente Bewertung anhand eines erlernten Modells vorzunehmen, das basierend auf früheren Leistungsdaten trainiert wurde.
Außerdem kann das Prüfobjekt ein mit einem Bauteil bestücktes Substrat sein. Außerdem kann die erste Abbildungseinheit eine Visuell-Kamera und die zweite Abbildungseinheit eine Röntgenkamera sein. Die vorliegende Erfindung ist für ein Prüfsystem unter solchen Bedingungen geeignet.
Darüber hinaus kann die vorliegende Erfindung auch als Prüfungsverwaltungsvorrichtung angesehen werden, die eine Verwaltungsvorrichtung eines Prüfsystems ist, das eine erste Prüfeinheit einschließt, die eingerichtet ist, um eine Primärprüfung basierend auf ersten Primärbilddaten durchzuführen, die durch das Abbilden eines Prüfobjekts durch eine erste Abbildungseinheit erhalten wurden, und eine zweite Prüfeinheit, die eingerichtet ist, um eine Sekundärprüfung basierend auf zweiten Bilddaten durchzuführen, die durch das Abbilden des Prüfobjekts durch eine zweite Abbildungseinheit erhalten wurden, die sich von der ersten Abbildungseinheit unterscheidet. Die Prüfverwaltungsvorrichtung umfasst eine erste Prüfinformations-Erfassungseinheit, die eingerichtet ist, um erste Prüfinformationen einschließlich eines Ergebnisses der Primärprüfung von der ersten Prüfeinheit zu erfassen, eine Gültigkeits-Bewertungseinheit, die eingerichtet ist, um basierend auf einer vorbestimmten Bewertungsbedingung eine Gültigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung an dem Prüfobjekt durch die zweite Prüfeinheit zu bewerten, und eine zweite Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit, die eingerichtet ist, um basierend auf der Bewertung durch die Gültigkeits-Bewertungseinheit zumindest eine Notwendigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung zu bestimmen.
Darüber hinaus kann die vorliegende Erfindung auch betrachtet werden als: ein Prüfverfahren mit einem ersten Prüfschritt zum Durchführen einer Primärprüfung basierend auf ersten Primärbilddaten, die durch Abbilden eines Prüfobjekts durch eine erste Abbildungseinheit erhalten werden, einem ersten Prüfinformations-Erfassungsschritt des Erfassens von ersten Prüfinformationen, die ein Ergebnis der Primärprüfung enthalten, einem Gültigkeits-Bewertungsschritt des Bewertens, basierend auf einer vorbestimmten Bestimmungsbedingung, der Gültigkeit des Durchführens einer Sekundärprüfung an dem Prüfobjekt basierend auf den Sekundärbilddaten, die durch Abbilden des Prüfobjekts durch eine zweite, sich von der ersten Abbildungseinheit unterscheidende Abbildungseinheit erhalten wurden, einen zweiten Prüfdurchführungs-Bestimmungsschritt des Bestimmens, basierend auf der Bewertung durch den Gültigkeits-Bewertungsschritt, zumindest einer Notwendigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung und des Inhalts der Sekundärprüfung.
Darüber hinaus kann das Prüfverfahren einen zweiten Prüfschritt zur Durchführung der Sekundärprüfung umfassen. Der zweite Prüfdurchführungs-Bestimmungsschritt kann ferner in einem Fall, in dem das Durchführen der Sekundärprüfung bestimmt wird, auch das Bestimmen des Inhalts der Sekundärprüfung umfassen, und die Sekundärprüfung wird in einem Fall, in dem der Inhalt der Sekundärprüfung in dem zweiten Prüfdurchführungs-Bestimmungsschritt bestimmt wird, unter Verwendung des bestimmten Inhalts der Sekundärprüfung durchgeführt.
Darüber hinaus kann das Prüfverfahren einen zweiten Prüfsinformations-Erfassungsschritt des Erfassens von zweiten Prüfsinformationen, die ein Ergebnis der Sekundärprüfung enthalten, und einen Bestimmungsbedingungs-Erzeugungsschritt des Erzeugens einer verbesserten Bestimmungsbedingung, die für die Bestimmungsbedingung besser geeignet ist, unter Verwendung zumindest der zweiten Prüfsinformationen umfassen.
Darüber hinaus kann das Prüfverfahren einen Prüfungsbedingungs-Aktualisierungsschritt umfassen, in dem die im Bestimmungsbedingungs-Erzeugungsschritt erzeugte Bewertungsbedingung als vorbestimmte Bewertungsbedingung neu eingestellt wird.
Darüber hinaus kann die vorliegende Erfindung auch als ein Programm angesehen werden, das einen Computer veranlasst, das vorstehend beschriebene Verfahren auszuführen, sowie als ein computerlesbares Speichermedium, in dem ein solches Programm in nicht flüchtiger Weise aufgezeichnet ist.
Es ist zu beachten, dass jede der vorstehend beschriebenen Konfigurationen und Verfahren kombiniert werden kann, um die vorliegende Erfindung zu verwirklichen, solange kein technischer Widerspruch besteht.
VORTEILHAFTE WIRKUNGEN DER ERFINDUNG
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, eine Technik bereitzustellen, die eine verbesserte Prüfwirksamkeit unter Beibehaltung der Prüfgenauigkeit für ein Prüfsystem für ein mit einem Bauteil bestücktes Substrat bereitstellt, wobei das System eine Vielzahl von Typen von Prüfgeräten umfasst.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

1 ist eine schematische Ansicht, die die schematische Konfiguration eines Prüfsystems gemäß einem Anwendungsbeispiel veranschaulicht.
2 ist ein Blockdiagramm, das eine schematische Konfiguration des Prüfsystems gemäß einer Ausführungsform veranschaulicht.
3 ist ein Flussdiagramm, das den Ablauf einer Verarbeitung im Prüfsystem gemäß der vorliegenden Ausführungsform veranschaulicht.

BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel gemäß der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Abmessungen, Werkstoffe, Formen, relative Anordnungen und dergleichen der im folgenden Beispiel beschriebenen Bestandteile sind jedoch nicht dazu bestimmt, den Anwendungsbereich der vorliegenden Erfindung einzuschränken, sofern nicht anders angegeben.
< Anwendungsbeispiel >
(Konfiguration des Anwendungsbeispiels)
Die vorliegende Erfindung kann beispielsweise als Prüfungsverwaltungsvorrichtung in einem Substratprüfsystem eingesetzt werden, das eine Vielzahl von Prüfgeräten umfasst, die jeweils mit unterschiedlichen Abbildungssystemen ausgestattet sind. 1 ist eine schematische Darstellung der Konfiguration des Substratprüfsystems, auf das die vorliegende Erfindung angewendet wird. Wie in 1 dargestellt, umfasst ein Substratprüfsystem 9 gemäß dem vorliegenden Anwendungsbeispiel eine Vielzahl von Prüfgeräten 91, 92, die an einer Produktionslinie (nicht dargestellt) eines mit einem Bauteil bestückten Substrats angeordnet sind, eine Prüfungsverwaltungsvorrichtung 93, die den Inhalt und die Ergebnisse von Prüfungen verwaltet, und eine Kommunikationsleitung, wie z. B. ein lokales Netzwerk (LAN), die diese Komponenten miteinander verbindet.
Die Prüfgeräte 91, 92 prüfen jeweils ein mit einem Bauteil bestücktes Substrat O, das ein Prüfobjekt ist, basierend auf Bilddaten, die von einer Abbildungseinheit erhalten werden, die das mit einem Bauteil bestückte Substrat abbildet, das von einer Transportrolle (nicht dargestellt) aus der Produktionslinie transportiert wird. Wie in 1 dargestellt, umfassen die Prüfgeräte 91, 92 jeweils Abbildungseinheiten 911, 921, Bilddaten-Erfassungseinheiten 912, 922 und Prüfverarbeitungseinheiten 913, 923. Es ist zu beachten, dass der weiße Pfeil in eine Transportrichtung für das mit einem Bauteil bestückte Substrat O angibt.
In diesem Beispiel werden unterschiedliche Typen von Abbildungseinheiten verwendet, wie die Abbildungseinheit 911 des Prüfgeräts 91 und die Abbildungseinheit 921 des Prüfgeräts 92. Die Abbildungseinheit 911 kann beispielsweise eine Visuell-Kamera und die Abbildungseinheit 921 eine Röntgenkamera sein. Darüber hinaus wird in jedem Prüfgerät das mit einem Bauteil bestückte Substrat O von der Prüfverarbeitungseinheit unter Verwendung eines vorbestimmten Prüfprogramms geprüft, um zu bewerten, ob die von den Abbildungseinheiten und den Bilddaten-Erfassungseinheiten erhaltenen Bilddaten gültig sind oder nicht.
Die Prüfungsverwaltungsvorrichtung 93 kann z.B. aus einem Universalcomputer bestehen und enthält die Funktionseinheiten einer ersten Prüfsinformationen-Erfassungseinheit 931, einer Gültigkeit-Bewertungseinheit 932, einer zweiten Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit 933 und einer Speichereinheit 934. Darüber hinaus sind verschiedene Eingabeeinheiten, wie z. B. eine Maus und eine Tastatur, und Ausgabeeinheiten, wie z. B. ein Bildschirm, vorgesehen, die jedoch nicht dargestellt sind.
Die erste Prüfinformations-Erfassungseinheit 931 erfasst verschiedene Arten von Informationen wie Bilddaten des mit einem Bauteil bestückten Substrats O, einen Messwert des mit einem Bauteil bestückten Substrats O, der basierend auf den Bilddaten erfasst wird, und ein Ergebnis einer Prüfung (erfüllt/nicht-erfüllt Bewertung) von dem Prüfgerät 91.
Darüber hinaus bewertet die Bewertungseinheit 932 die Gültigkeit des Durchführens einer Sekundärprüfung auf dem mit einem Bauteil bestückten Substrat O durch das Prüfgerät 92 basierend auf den von der ersten Prüfsinformations-Erfassungseinheit 931 erfassten Informationen und einer vorbestimmten Bewertungsbedingung.
Darüber hinaus bestimmt die zweite Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit 933 basierend auf der Bewertung durch die Gültigkeit-Bewertungseinheit 932, ob die Prüfung des mit einem Bauteil bestückten Substrats O durch das Prüfgerät 92 durchgeführt werden soll. In einem Fall, in dem die Prüfung durchgeführt werden soll, bestimmt die zweite Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit 933 die Bedingungen (Prüfobjekt, Auflösung des erfassten Bildes, Abbildungsbereich usw.), unter denen die Abbildung und die Prüfung durchgeführt werden sollen.
Die Speichereinheit 934 besteht aus einer Speichereinheit, wie z.B. einem Direktzugriffsspeicher (RAM) und einem Festplattenlaufwerk (HDD), und speichert verschiedene Arten von Informationen, wie z.B. verschiedene Arten von Konstruktionsinformationen, die sich auf das mit einem Bauteil bestückte Substrat O beziehen (montierte Bauteile, Platzierungsbeziehungen zwischen Bauteilen usw.), bauteilbezogene Informationen (Bauteiltyp, Bauteilnummer, Chargennummer, Bauteilbild usw.), ein Prüfprogramm (Prüfgegenstände, Prüfkriterien usw.), Bilddaten früherer Prüfungen und Informationen über frühere Prüfergebnisse.
(Verarbeitung von Gültigkeitsbewertungen)
Als nächstes wird die von der Gültigkeit-Bewertungseinheit 932 durchgeführte Bewertung der Gültigkeit im vorliegenden Anwendungsbeispiel beschrieben. Die Gültigkeit-Bewertungseinheit 932 bewertet die Gültigkeit des Durchführens der Prüfung des mit einem Bauteil bestückten Substrats O (und der darauf montierten Bauteile) durch das Prüfgerät 92 basierend auf der vorbestimmten Bewertungsbedingung, die im Voraus festgelegt wurde, und Informationen wie verschiedene Arten von Konstruktionsinformationen, die sich auf das mit einem Bauteil bestückte Substrat O beziehen und in der Speichereinheit 934 gespeichert sind, Merkmale der Bilddaten, die durch das Prüfgerät 91 erfasst wurden, und den Messwert, der sich auf die Form des Prüfobjekts des mit einem Bauteil bestückten Substrats O bezieht. Man beachte, dass ein Kriterium zum Bestimmen, ob die Sekundärprüfung durch das Prüfgerät 92 als gültig angesehen wird, darin bestehen kann, ob das Ergebnis der Prüfung (erfüllt/nicht-erfüllt-Bewertung) durch das Prüfgerät 91 als ein Prüfergebnis in einer sogenannten Grauzone mit fragwürdiger Zuverlässigkeit angesehen werden kann. Hier kann basierend auf der Erfüllung der folgenden Bedingung bewertet werden, ob das Ergebnis als ein Ergebnis in der Grauzone angesehen werden kann. Beispiele für die Bedingung sind, dass der Messwert, der sich auf die Form des Prüfobjekts bezieht, in der Nähe eines Schwellenwerts eines Prüfkriteriums liegt, und dass die erfassten Bilddaten verrauscht sind. Aber auch in einem Fall, in dem das Ergebnis in der Grauzone liegt, das Durchführen der Sekundärprüfung durch das Prüfgerät 92 aber keine Prüfgenauigkeit gewährleisten kann (z. B. in einem Fall, in dem das Ergebnis in der Grauzone liegt, weil ein Zeichen auf einem Bauteil in dem vom Prüfgerät 91 erfassten Bild unklar ist, und das Prüfgerät 92 ein Röntgenprüfgerät ist), ist die Gültigkeit nicht vorhanden (oder gering).
Bewertet die Gültigkeit-Bewertungseinheit 932, dass keine Gültigkeit vorliegt, wird das mit einem Bauteil bestückte Substrat O, das einer Prüfung unterzogen werden soll, ohne Prüfung durch das Prüfgerät 92 zu einem Nachbearbeitungsprozess transportiert. Alternativ dazu kann je nach Bewertung der Gültigkeit eine Nachprüfung durch das Prüfgerät 91 nach Änderung der Prüfungsbedingungen durchgeführt werden.
Andererseits werden in dem Fall, in dem die Gültigkeit-Bewertungseinheit 932 das Vorliegen der Gültigkeit bewertet, die Prüfungsbedingungen des Prüfgeräts 92 bestimmt und an das Prüfgerät 92 übermittelt. Anschließend wird die Sekundärprüfung des mit einem Bauteil bestückten Substrats O durch das Prüfgerät 92 durchgeführt, das das Prüfprogramm unter Berücksichtigung der Prüfungsbedingungen ausführt.
Mit dem vorstehend beschriebenen Prüfverwaltungssystem 9 kann nach Bewertung der Gültigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung bestimmt werden, ob die Sekundärprüfung an dem Prüfobjekt, das der Primärprüfung unterzogen wurde, mit einem Abbildungssystem durchgeführt werden soll, das sich von dem der Primärprüfung unterscheidet. Mit dieser Konfiguration wird eine unnötige Sekundärprüfung eines Prüfobjekts, für das die Gültigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung gering ist, nicht durchgeführt, und die Sekundärprüfung wird nur durchgeführt, wenn eine Sekundärprüfung gültig ist, wodurch die Effizienz verbessert wird, während die Prüfgenauigkeit beibehalten wird.
< Ausführungsformen >
Nachfolgend wird eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die 2 und 3 am Beispiel eines Systems zur Prüfung eines Substrats mittels eines Erscheinungsbild-Prüfgeräts und eines Röntgenprüfgeräts näher beschrieben.
(Konfiguration des Systems)
2 ist ein Blockdiagramm, das einen Überblick über die Konfiguration eines Substratprüfsystems 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt. Das Substratprüfsystem 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform umfasst im Allgemeinen ein Erscheinungsbild-Prüfgerät 10, ein Röntgenprüfgerät 20, einen Datenserver 30 und eine Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40. Diese Komponenten sind über eine Kommunikationseinheit (nicht abgebildet) kommunikativ miteinander verbunden. Das Substratprüfsystem 1 ist ein System, das eingerichtet ist, um ein Substrat basierend auf einem Messergebnis des Substrats, das durch das Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 erhalten wird, und einem Messergebnis des Substrats, das durch das Röntgenprüfgerät 20 erhalten wird, zu prüfen.
Das Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 ist beispielsweise ein Gerät, das eine Prüfung des Erscheinungsbildes eines mit einem Bauteil bestückten Substrats mit einem Prüfverfahren durchführt, das eine Kombination aus einem sogenannten Phasenverschiebungsverfahren und einem Farbmarkierungsverfahren ist. Das Prüfverfahren, das eine Kombination aus der Phasenverschiebungsmethode und der Farbhervorhebungsmethode ist, ist eine bekannte Technik und wird daher hier nicht näher beschrieben. Die Durchführung einer solchen Prüfung ermöglicht es, die Form einer Elektrode, die aus dem Erscheinungsbild und dem Neigungsgrad einer Hohlkehle erkennbar ist, in einem Landabschnitt des Substrats genau zu erkennen. Die Phasenverschiebungsmethode ist eine Technik zur Rekonstruktion der dreidimensionalen Form einer Objektoberfläche durch Analyse der Verzerrung des Musters, wenn das Musterlicht auf die Objektoberfläche projiziert wird. Darüber hinaus ist das Farbhighlight-Verfahren ein Verfahren zur Darstellung einer dreidimensionalen Form einer Lötfläche als zweidimensionale Farbtoninformation durch Bestrahlung des Substrats mit Licht einer Vielzahl von Farben (Wellenlängen) bei unterschiedlichen Einfallswinkeln und Erfassung eines Bildes des Substrats in einem Zustand, in dem Farbmerkmale (Farben von Lichtquellen in einer spiegelnden Reflexionsrichtung bei Betrachtung durch eine Kamera), die einer Normalrichtung der Lötfläche entsprechen, auf der Lötfläche erscheinen.
Das Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 umfasst im Allgemeinen Funktionseinheiten wie eine Erscheinungsbild-Erfassungseinheit 110, eine Erscheinungsbild-Messeinheit 120 und eine Erscheinungsbild-Prüfeinheit 130 sowie einen Projektor, eine Lichtquelle und einen Tisch zum Halten eines Substrats (von denen keine abgebildet sind). Die Erscheinungsbild-Erfassungseinheit 110 erfasst ein Bild des Substrats, das mit Licht aus dem Projektor und der Lichtquelle (nicht dargestellt) bestrahlt wird, und gibt ein Erscheinungsbild-Prüfbild aus. Die Erscheinungsbild-Messeinheit 120 misst basierend auf dem Erscheinungsbild-Prüfbild eine Erscheinungsform des Substrats (eines darauf montierten Bauteils). Die Erscheinungsbild-Prüfeinheit 130 prüft das Erscheinungsbild des (montierten Bauteils auf dem) Substrat, d. h. sie bewertet, ob das (montierte Bauteil auf dem) Substrat bestanden oder nicht bestanden wurde, indem sie die gemessene Erscheinungsform und das Prüfkriterium vergleicht. Beachten Sie, dass in der folgenden Beschreibung der Ausdruck „Prüfung des Substrats“ auch die Prüfung der auf dem Substrat montierten Bauteile umfasst.
Beachten Sie, dass die Informationen über das Erscheinungsbild-Prüfbild, den Messwert der Erscheinungsform und das vorstehend beschriebene Ergebnis der Erscheinungsbild-Prüfung jeweils vom Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 an den Datenserver 30 übertragen und im Datenserver 30 gespeichert werden.
Bei dem Röntgenprüfgerät 20 handelt es sich beispielsweise um ein Gerät, das die dreidimensionale Form des Substrats mit einem Verfahren wie der Computertomografie (CT) oder der Tomosynthese misst und basierend auf der dreidimensionalen Form bewertet, ob das Substrat besteht oder nicht.
Das Röntgenprüfgerät 20 umfasst in der Regel Funktionseinheiten wie eine Röntgenbild-Erfassungseinheit 210, eine Röntgenmesseinheit 220 und eine Röntgen-Prüfeinheit 230 sowie eine Röntgenquelle und einen Objekttisch (beide nicht abgebildet) zur Aufnahme des Substrats. Die Röntgenbild-Erfassungseinheit 210 erfasst ein Bild von Röntgenstrahlen, die von einer Röntgenquelle (nicht abgebildet) emittiert und durch das Substrat übertragen werden, und gibt ein tomografisches Bild (nachfolgend als Röntgenbild bezeichnet) des Substrats aus. Die Röntgenmesseinheit 220 misst die dreidimensionale Form des Substrats basierend auf einer Vielzahl von Röntgenbildern. Die Röntgen-Prüfeinheit 230 prüft die dreidimensionale Form des Substrats, d. h. sie bewertet durch den Vergleich der gemessenen dreidimensionalen Form mit dem Prüfkriterium, ob das Substrat besteht oder nicht.
Beachten Sie, dass das Röntgenbild, die dreidimensionalen Formdaten und das vorstehend beschriebene Ergebnis der Röntgenprüfung vom Röntgenprüfgerät 20 an den Datenserver 30 übertragen und im Datenserver 30 gespeichert werden.
Bei der Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40 kann es sich z. B. um einen Universalcomputer handeln. Das heißt, die Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40 umfasst einen Prozessor wie eine Zentraleinheit (CPU) oder einen digitalen Signalprozessor (DSP), eine Speichereinheit mit einer Hauptspeichereinheit wie einem Festwertspeicher (ROM) oder einem Speicher mit wahlfreiem Zugriff (RAM) und einer Hilfsspeichereinheit wie einem löschbaren programmierbaren Festwertspeicher (EPROM), einem Festplattenlaufwerk (HDD) oder einem Wechselmedium, eine Eingabeeinheit wie eine Tastatur oder eine Maus und eine Ausgabeeinheit wie eine Flüssigkristallanzeige. Es ist zu beachten, dass die Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40 aus einem einzigen Computer oder aus einer Vielzahl von Computern bestehen kann, die miteinander zusammenarbeiten.
Die Hilfsspeichereinheit speichert ein Betriebssystem (OS), verschiedene Programme, verschiedene Arten von Informationen, die sich auf das Prüfobjekt beziehen, verschiedene Prüfkriterien und dergleichen, die darin gespeicherten Programme werden in einen Arbeitsbereich der Hauptspeichereinheit geladen und ausgeführt, und die Komponenten und dergleichen werden durch die Ausführung der Programme gesteuert, wodurch Funktionseinheiten, die vorbestimmte Zwecke wie die unten beschriebenen erreichen, realisiert werden können. Es ist zu beachten, dass einige oder alle funktionalen Einheiten durch einen Hardware-Schaltkreis wie einen anwendungsspezifischen integrierten Schaltkreis (ASIC) oder ein feldprogrammierbares Gate-Array (FPGA) realisiert werden können.
Nachfolgend werden die einzelnen Funktionseinheiten der Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40 beschrieben. Die Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40 umfasst: die Funktionseinheiten einer Erscheinungsbild-Prüfinformationen-Erfassungseinheit 411, eine Prüfinformationen-Erfassungseinheit für die Röntgen-Prüfung 412, eine Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit für die Röntgen-Prüfung 421, eine Prüfdurchführungs-Bewertungseinheit für die Röntgen-Prüfung 422, eine Prüfbedingungs-Erstellungseinheit 431 und eine Prüfbedingungs-Aktualisierungseinheit 432.
Die Erscheinungsbild-Prüfinformationen-Erfassungseinheit 411 erfasst von dem Datenserver 30 (oder dem Erscheinungsbild-Prüfgerät 10) verschiedene Arten von Informationen wie Bilddaten des geprüften Substrats, den Messwert des Substrats, der basierend auf den Bilddaten erfasst wurde, und das Prüfergebnis (erfüllt/nicht-erfüllt-Bewertung). In ähnlicher Weise erfasst die Prüfinformation-Erfassungseinheit 412 vom Datenserver 30 (oder dem Röntgen-Prüfgerät 20) verschiedene Arten von Informationen, wie z. B. Bilddaten des geprüften Substrats, den Messwert des Substrats, der basierend auf den Bilddaten erfasst wurde, und das Prüfergebnis (erfüllt/nicht-erfüllt-Bewertung).
Wie weiter unten beschrieben wird, bewertet die Gültigkeit-Bewertungseinheit für die Röntgen-Prüfung 421 basierend auf den von der Prüfsinformationen-Erfassungseinheit 411 erfassten Informationen und den vorbestimmten Bewertungsbedingungen, ob die weitere Durchführung der Röntgen-Prüfung durch das Prüfgerät 20 auf dem der Erscheinungsbild-Prüfung unterzogenen Substrat gültig ist. Darüber hinaus bestimmt die Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit 422 basierend auf der Bewertung durch die Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit 421 und dem Ergebnis der Erscheinungsbild-Prüfung, ob die Röntgen-Prüfung des zu prüfenden Substrats durchgeführt werden soll. In einem Fall, in dem die Röntgen-Prüfung durchgeführt werden soll, bestimmt die Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit 422 die Prüfungsbedingungen, unter denen die Röntgen-Prüfung durchgeführt werden soll.
Die Bewertungsbedingungs-Erzeugungseinheit 431 verwendet die von der Prüfinformations-Erfassungseinheit 412 erfassten Informationen, um eine verbesserte Bewertungsbedingung zu erzeugen, die für die Gültigkeit-Bewertungsbedingung besser geeignet ist, wenn eine vorbestimmte Bedingung erfüllt ist. Beachten Sie, dass der hier verwendete Begriff „Erzeugen" nicht nur das Erzeugen von Grund auf, sondern auch das Erzeugen durch Änderung eines bestehenden Zustands umfasst. Darüber hinaus kann die vorbestimmte Bedingung z. B. auf einen Fall eingestellt werden, in dem das Verhältnis der als nicht fehlerhaft bewerteten Substrate zur Gesamtzahl der Substrate, die der Röntgenprüfung als Sekundärprüfung unterzogen werden (im Folgenden auch als Nichtfehlerquote bezeichnet), einen vorbestimmten Wert überschreitet. In einem solchen Fall ist das Kriterium für die Bewertung der Gültigkeit vermutlich nur locker eingestellt. Daher wird die Bestimmungsbedingung vorzugsweise dahingehend geändert, dass das Bewertungskriterium der Gültigkeit der Röntgenprüfung strenger ist.
Wenn die Bewertungsbedingungs-Erzeugungseinheit 431 eine verbesserte Bewertungsbedingung erzeugt, stellt die Bewertungsbedingungs-Aktualisierungseinheit 432 die verbesserte Bewertungsbedingung als neue Bedingung für die Gültigkeit ein. Es ist zu beachten, dass die Bestimmungsbedingung automatisch aktualisiert werden kann oder nach Erhalt einer Anweisung von einem Bediener nach einem Prozess der Bestätigung mit dem Bediener, ob es akzeptabel ist, die verbesserte Bestimmungsbedingung einzustellen, aktualisiert werden kann.
(Verarbeitungsablauf des Prüfsystems)
Nachfolgend wird ein Ablauf der Prüfung im Prüfverwaltungssystem 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform unter Bezugnahme auf 3 beschrieben. 3 ist ein Flussdiagramm, das den Ablauf der Verarbeitung veranschaulicht. Wie in 3 dargestellt, wird zunächst eine Prüfung des Erscheinungsbildes durch das Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 an (jedem auf) einem zu prüfenden Substrat (S1 01) montierten Bauteil durchgeführt. Anschließend erfasst die Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40 Informationen einschließlich eines Erscheinungsbild-Prüfungsergebnisses über die Prüfbild-Prüfeinheit 411 (S102).
Anschließend bewertet die Gültigkeit-Bewertungseinheit für die Röntgen-Prüfung 421, ob die Durchführung der Röntgen-Prüfung auf dem zu prüfenden Substrat gültig ist (S103). Die Gültigkeit wird beispielsweise nach den folgenden Bedingungen bewertet.

(1) Der Messwert des Prüfobjekts bei der Prüfung des Erscheinungsbildes liegt in der Nähe eines Schwellenwerts eines Prüfkriteriums.
(2-1) Die Konstruktionsinformationen des Substrats geben an, dass das Prüfobjekt möglicherweise einen toten Winkel aufweist (ein anderes hohes Bauteil befindet sich in der Nähe).
(2-2) Die Entwurfsinformationen des Substrats geben eine mögliche Sekundärreflexion auf der Lötoberfläche des Prüfobjekts an (in der Nähe der Lötoberfläche eines anderen Bauteils).
(3-1) Im Erscheinungsbild der Prüfung ist die maximale Leuchtdichte gesättigt oder der Wert der minimalen Leuchtdichte ist 0.
(3-2) Das Erscheinungsbild der Prüfung hat einen geringen Ähnlichkeitsgrad mit einem typischen, nicht fehlerhaften Produktbild.

Die Gültigkeit kann nach einer der vorstehend beschriebenen Bedingungen oder einer Kombination der vorstehend beschriebenen Bedingungen bewertet werden. Es ist zu beachten, dass die Entwurfsinformationen des Substrats Informationen wie Formen und Größen der auf dem Substrat montierten Komponenten, die einer Prüfung unterzogen werden (und Lötaugen), sowie Platzierungsbeziehungen zwischen den Komponenten umfassen. Diese Informationen können auf dem Datenserver 30 gespeichert werden.
Ob die vorstehende Bedingung (3-1) oder (3-2) erfüllt ist, kann basierend auf der Leuchtdichte oder der Stärke des Rauschens bei der an dem Erscheinungsbild-Prüfungsbild durchgeführten Bildverarbeitung bestimmt werden oder mit Hilfe eines erlernten Modells, das anhand der Ergebnisse früherer Prüfungen trainiert wurde.
Zurück zur Beschreibung des Verarbeitungsablaufs: Wenn die Verarbeitung von Schritt S103 endet, bestimmt die Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit 422 für die Röntgen-Prüfung, ob die Röntgen-Prüfung als Sekundärprüfung notwendig ist, und zwar basierend auf der Bewertung durch die Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit 421 und den Ergebnisinformationen der Erscheinungsbild-Prüfung (S104). In einem Fall, in dem bestimmt wird, dass die Röntgenprüfung nicht erforderlich ist, wird die Verarbeitung vorübergehend beendet, und das Substrat wird nicht der Röntgenprüfung unterzogen und zu einem Nachbearbeitungsprozess transportiert.
Wird dagegen in Schritt S104 bestimmt, dass die Röntgen-Prüfung durchgeführt werden soll, geht die Verarbeitung zu Schritt S105 über, und die Prüfungsbedingung der Sekundärprüfung wird von der Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit 422 (S105) bestimmt. Insbesondere, wenn die Sekundärprüfung als gültig bewertet wird, weil z. B. eine vordere Hohlkehle des zu prüfenden Bauteils unzureichend ist, wird die Abbildungsbedingung so eingestellt (die Auflösung des erfassten Bildes wird erhöht), dass ein Bild einer hinteren Hohlkehle des Bauteils mit hoher Auflösung für eine genaue Prüfung bei der Röntgenprüfung erfasst werden kann. Darüber hinaus kann der Abbildungsbereich in Abhängigkeit von der Anzahl und Anordnung der der Sekundärprüfung unterzogenen Bauteile derart angepasst werden, dass die für die Röntgenprüfung benötigte Zeit so weit wie möglich reduziert werden kann.
Wenn die Prüfungsbedingungen der Röntgenprüfung in Schritt S105 bestimmt werden, werden die Bedingungen an das Röntgenprüfgerät 20 übermittelt, und die Röntgenprüfung wird unter Verwendung eines Prüfprogramms durchgeführt, das die Bedingungen widerspiegelt (S106). Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, erfasst die Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40 die Prüfungsinformationen einschließlich der Ergebnisinformationen der Röntgen-Prüfung über die Prüfsinformations-Erfassungseinheit 412 (S107) und bewertet dann, basierend auf den Röntgen-Prüfinformationen, ob eine Verbesserung der Bestimmungsbedingung für die Gültigkeit des Durchführens der Röntgen-Prüfung erforderlich ist (S108, S109). Das Verfahren zum Bewerten wurde bereits vorstehend beschrieben, so dass hier auf eine detaillierte Beschreibung verzichtet wird.
Wenn in Schritt S109 bestimmt wird, dass eine Verbesserung der Bestimmungsbedingung für die Gültigkeit der Röntgenprüfung nicht erforderlich ist, endet der Ablauf vorübergehend. Andererseits wird in einem Fall, in dem bestimmt wird, dass eine Verbesserung notwendig ist, eine verbesserte Bestimmungsbedingung durch die Bewertungsbedingungs-Erzeugungseinheit 431 (S110) erzeugt. Die Bestimmungsbedingungen können je nach dem Grund, warum das Durchführen der Röntgenprüfung für notwendig erachtet wurde, verbessert werden. In einem Fall, in dem bei der Verarbeitung des vorstehend beschriebenen Schritts S103 die Erfüllung der Bedingung (1) ein Faktor für das Bewerten der Gültigkeit der Röntgenprüfung war, muss beispielsweise der Bereich der „Nähe“ des Schwellenwerts des Prüfkriteriums nur eingeengt werden. In einem Fall, in dem die Erfüllung der vorstehend beschriebenen Bedingungen (2-1) und (2-2) für das Bewerten der Gültigkeit der Röntgenprüfung ausschlaggebend war, braucht der als „nahe“ geltende Abstand zwischen den Bauteilen auf dem Substrat nur verkürzt zu werden. In einem Fall, in dem die Erfüllung der vorstehend beschriebenen Bedingung (3-2) für das Bewerten der Gültigkeit der Röntgenprüfung ausschlaggebend war, muss das Kriterium für den Grad der Ähnlichkeit mit dem Bild des fehlerfreien Produkts nur gelockert werden.
Anschließend wendet die Bewertungsbedingungs-Aktualisierungseinheit 432 die in Schritt S110 erstellte verbesserte Bewertungsbedingung an (d. h. sie aktualisiert die Bewertungsbedingung für die Gültigkeit der Röntgen-Prüfung) (S111), und die Verarbeitungsreihe endet.
Mit dem Prüfungsverwaltungssystem der vorliegenden Ausführungsform, wie vorstehend beschrieben, ist es möglich, in dem Prüfsystem für das mit einem Bauteil bestückte Substrat, das das Erscheinungsbild-Prüfgerät und das Röntgenprüfgerät umfasst, die Röntgenprüfung nur an Substraten durchzuführen, für die die Gültigkeit des Durchführens der Röntgenprüfung als Sekundärprüfung unter den Substraten bestätigt wurde, für die bei der Erscheinungsbild-Prüfung ein Prüfergebnis in der Grauzone erhalten wurde. Auf diese Weise lässt sich ein Prüfsystem aufbauen, das ein gewisses Maß an Genauigkeit beibehält, ohne die Effizienz der gesamten Prüfung durch unnötige Nachprüfungen zu beeinträchtigen.
< Sonstiges >
Die vorstehenden Beispiele dienen lediglich der Veranschaulichung der vorliegenden Erfindung, und die vorliegende Erfindung ist nicht auf die vorstehend beschriebenen spezifischen Aspekte beschränkt. Die vorliegende Erfindung kann im Rahmen des technischen Gedankens der vorliegenden Erfindung auf verschiedene Weise modifiziert und kombiniert werden. Obwohl die vorliegende Erfindung in jedem der vorstehenden Beispiele als System mit einem Prüfgerät beschrieben wird, kann sie auch als Prüfungsverwaltungsvorrichtung betrachtet werden. Obwohl die Primärprüfung und die Sekundärprüfung in den vorstehenden Beispielen von den jeweiligen Prüfgeräten durchgeführt werden, kann die vorliegende Erfindung auch auf ein einziges Prüfgerät angewandt werden, das eine Vielzahl unterschiedlicher Abbildungssysteme enthält und über eine Vielzahl von den Abbildungssystemen entsprechenden Prüffunktionen verfügt.
Obwohl die Gültigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung für Substrate mit einem Ergebnis in der Grauzone in der Primärprüfung in jedem der vorstehend beschriebenen Beispiele bewertet wird, kann die Gültigkeit auch unter der Bedingung bewertet werden, dass das Substrat in der Primärprüfung als fehlerfreies Produkt bewertet wird. Wenn die Sekundärprüfung an einem Produkt durchgeführt wird, obwohl das Produkt in der Primärprüfung als fehlerhaft bewertet wurde und in der Sekundärprüfung als nicht fehlerhaft beurteilt wird, ist die Wahrscheinlichkeit eines so genannten übersehenen Fehlers größer. Unter diesem Gesichtspunkt ist es wünschenswert, mangelhafte Ergebnisse in der Primärprüfung konsequent als Fehler zu behandeln.
Obwohl die vorstehend beschriebene Ausführungsform eine Konfiguration aufweist, in der die Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40 zur Erstellung des Prüfprogramms getrennt von dem Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 und dem Röntgen-Prüfgerät 20 eingerichtet ist, kann jede Funktionseinheit der Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40 entweder in dem Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 oder dem Röntgen-Prüfgerät 20 vorgesehen werden, um die Verarbeitung jedes der vorstehend beschriebenen Schritte durchzuführen, ohne dass die Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40 separat vorgesehen ist.
Obwohl das Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 in den vorstehenden Ausführungen mit einem Prüfverfahren beschrieben wird, das eine Kombination aus dem Phasenverschiebungsverfahren und dem Farbhervorhebungsverfahren ist, kann das Gerät auch ein Erscheinungsbild-Prüfgerät sein, das die Prüfung nur mit dem Phasenverschiebungsverfahren oder nur mit dem Farbhervorhebungsverfahren durchführt.
Darüber hinaus ist die vorliegende Erfindung nicht auf die Kombination des Erscheinungsbild-Prüfgeräts und des Röntgenprüfgeräts beschränkt, sondern kann auch auf eine Kombination aus einem Laser-Scanning-Messgerät und dem Röntgenprüfgerät angewendet werden.
< Ergänzende Anmerkung 1 >
Prüfsystem, umfassend:

eine erste Prüfeinheit (10), die eingerichtet ist, um eine erste Prüfung basierend auf Primärbilddaten durchzuführen, die durch Abbilden eines Prüfobjekts durch eine erste Abbildungseinheit (110) erhalten werden;
eine zweite Prüfeinheit (20), die eingerichtet ist, um eine zweite Prüfung basierend auf den Sekundärbilddaten durchzuführen, die durch Abbilden des Prüfobjekts durch eine von der ersten Abbildungseinheit unterscheidende zweite Abbildungseinheit (210) erhalten werden;
eine erste Prüfsinformationen-Erfassungseinheit (411), die eingerichtet ist, um erste Prüfinformationen einschließlich eines Ergebnisses der Primärprüfung von der ersten Prüfeinheit zu erfassen;
eine Gültigkeit-Bewertungseinheit (421), die eingerichtet ist, um basierend auf einer vorbestimmten Bewertungsbedingung die Gültigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung an dem Prüfobjekt durch die zweite Prüfeinheit zu bewerten; und eine zweite Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit (422), die eingerichtet ist, um basierend auf der Bewertung durch die Gültigkeit-Bewertungseinheit zumindest eine Notwendigkeit des Durchführens der zweiten Prüfung zu bestimmen.

< Ergänzende Anmerkung 2>
Prüfungsverwaltungsvorrichtung, die eine Verwaltungsvorrichtung (93) eines Prüfsystems (9) ist, mit einer ersten Prüfeinheit (91), die eingerichtet ist, um eine Primärprüfung basierend auf Primärbilddaten durchzuführen, die durch Abbilden eines Prüfobjekts (O) durch eine erste Abbildungseinheit (911) erhalten werden, und einer zweiten Prüfeinheit (92), die eingerichtet ist, um eine Sekundärprüfung basierend auf Sekundärbilddaten durchzuführen, die durch Abbilden des Prüfobjekts durch eine zweite Abbildungseinheit (921), die sich von der ersten Abbildungseinheit unterscheidet, erhalten werden, wobei die Prüfungsverwaltungsvorrichtung umfasst:

eine erste Prüfsinformationen-Erfassungseinheit (931), die eingerichtet ist, um erste Prüfinformationen einschließlich eines Ergebnisses der Primärprüfung von der ersten Prüfeinheit zu erfassen;
eine Gültigkeit-Bewertungseinheit (932), die eingerichtet ist, um basierend auf einer vorbestimmten Bewertungsbedingung die Gültigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung an dem Prüfobjekt durch die zweite Prüfeinheit zu bewerten; und eine zweite Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit (933), die eingerichtet ist, um basierend auf der Bewertung durch die Gültigkeit-Bewertungseinheit zumindest eine Notwendigkeit des Durchführens der zweiten Prüfung zu bestimmen.

< Ergänzende Anmerkung 3>
Prüfverfahren, umfassend:

einen ersten Prüfschritt (S101) des Durchführens einer ersten Prüfung basierend auf ersten Bilddaten, die durch Abbilden eines Prüfobjekts durch eine erste Abbildungseinheit erhalten werden;
einen ersten Prüfsinformationen-Erfassungsschritt (S102) des Erfassens von ersten Prüfsinformationen einschließlich eines Ergebnisses der Primärprüfung; einen Gültigkeits-Bewertungsschritt (S103), basierend auf einer vorbestimmten Bewertungsbedingung die Gültigkeit des Durchführens einer Sekundärprüfung an dem Prüfobjekt basierend auf den Sekundärbilddaten zu bewerten, die durch Abbilden des Prüfobjekts durch eine zweite, sich von der ersten Abbildungseinheit unterscheidende, Abbildungseinheit erhalten wurden; und
einen zweiten Prüfdurchführungs-Bestimmungsschritt (S105) des Bestimmens, basierend auf der Bewertung durch den Gültigkeits-Bewertungsschritt, zumindest einer Notwendigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung und des Inhalts der Sekundärprüfung.

BESCHREIBUNG DER SYMBOLE

1, 9: Substratprüfsystem
10: Erscheinungsbild-Prüfgerät
110: Erscheinungsbild-Abbildungseinheit
120: Erscheinungsbild-Messeinheit
130: Erscheinungsbild-Prüfeinheit
20: Röntgenprüfgerät
210: Röntgenbild-Erfassungseinheit
220: Röntgenmesseinheit
230: Röntgen-Prüfeinheit
30: Datenserver
40, 93: Prüfungsverwaltungsvorrichtung
91, 92: Prüfvorrichtung
911, 921: Abbildungseinheit
O: mit einem Bauteil bestücktes Substrat

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 5246187 B [0003]
JP 6484838 B [0003]

Claims

Prüfsystem umfassend: eine erste Prüfeinheit, die eingerichtet ist, um eine Primärprüfung basierend auf den Primärbilddaten durchzuführen, die durch Abbilden eines Prüfobjekts durch eine erste Abbildungseinheit erhalten werden; eine zweite Prüfeinheit, die eingerichtet ist, um eine zweite Prüfung basierend auf den Sekundärbilddaten durchzuführen, die durch Abbilden des Prüfobjekts durch eine zweite, sich von der ersten Prüfeinheit unterscheidende Abbildungseinheit erhalten werden; eine erste Prüfsinformationen-Erfassungseinheit, die eingerichtet ist, um erste Prüfinformationen einschließlich eines Ergebnisses der Primärprüfung von der ersten Prüfeinheit zu erfassen; eine Gültigkeit-Bewertungseinheit, die eingerichtet ist, um basierend auf einer vorbestimmten Bewertungsbedingung die Gültigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung an dem Prüfobjekt durch die zweite Prüfeinheit zu bewerten; und eine zweite Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit, die eingerichtet ist, um basierend auf der Bewertung durch die Gültigkeit-Bewertungseinheit zumindest die Notwendigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung zu bestimmen.
Prüfsystem nach Anspruch 1, wobei in einem Fall, in dem die zweite Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit bestimmt, die Sekundärprüfung durchzuführen, die zweite Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit auch den Inhalt der Sekundärprüfung bestimmt.
Prüfsystem nach Anspruch 1 oder 2, wobei die zweite Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit bestimmt, dass die Sekundärprüfung in einem Fall durchgeführt werden soll, in dem das Ergebnis der Primärprüfung keine Anomalie ist, und die Gültigkeit-Bewertungseinheit bewertet, dass das Durchführen der Sekundärprüfung gültig ist.
Prüfsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3, ferner umfassend: eine zweite Prüfsinformationen-Erfassungseinheit, die eingerichtet ist, um zweite Prüfinformationen einschließlich eines Ergebnisses der Sekundärprüfung von der zweiten Prüfeinheit zu erfassen; und eine Bewertungsbedingungs-Erzeugungseinheit, die eingerichtet ist, um eine verbesserte Bewertungsbedingung zu erzeugen, die für die Bewertungsbedingung besser geeignet ist, indem zumindest die zweiten Prüfsinformationen verwendet werden.
Prüfsystem nach Anspruch 4, wobei die zweiten Prüfsinformationen eine zweite Prüf-Nichtfehlerquote umfassen, die ein Verhältnis einer Menge einer Vielzahl der als nicht fehlerhaft bewerteten Prüfobjekte zu einer Gesamtmenge der Vielzahl von Prüfobjekten angibt, die der Sekundärprüfung unterzogen wurden, und die Bewertungsbedingungs-Erzeugungseinheit einen Prozess zum Erzeugen der verbesserten Bewertungsbedingung in einem Fall durchführt, in dem die zweite Prüf-Nichtfehlerquote einen vorbestimmten Schwellenwert überschreitet.
Prüfsystem nach Anspruch 4 oder 5, ferner umfassend: eine Bewertungsbedingungs-Aktualisierungseinheit, eingerichtet, um die verbesserte Bewertungsbedingung, die von der Bewertungsbedingungs-Erzeugungseinheit erzeugt wurde, als die vorbestimmte Bewertungsbedingung neu einzustellen.
Prüfsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Bewertungseinheit die Gültigkeit basierend auf der vorbestimmten Bewertungsbedingung bewertet, die für zumindest eines der Primärbilddaten, einen auf eine Form des Prüfobjekts bezogenen Messwert, der basierend auf den Primärbilddaten erhalten wurde, oder Informationen, die sich auf die Gestaltung des Prüfobjekts beziehen, eingestellt wurde.
Prüfsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die Gültigkeit-Bewertungseinheit ein erlerntes Modell enthält, das durch Einstellen von maschinellem Lernen unter Verwendung eines Trainingsdatensatzes erhalten wird, der die Primärbilddaten enthält, die sich auf die Primärprüfung beziehen, die in der Vergangenheit an dem Prüfobjekt durchgeführt wurde, wobei die Primärbilddaten des Prüfobjekts zu einem falsch negativen und/oder einem falsch positiven Ergebnis bei der Primärprüfung führen.
Prüfsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei das Prüfobjekt ein mit einem Bauteil bestücktes Substrat ist.
Prüfsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei die erste Abbildungseinheit eine Visuell-Kamera ist und die zweite Abbildungseinheit eine Röntgenkamera ist.
Prüfungsverwaltungsvorrichtung, die eine Verwaltungsvorrichtung eines Prüfsystems ist, das eine erste Prüfeinheit umfasst, die eingerichtet ist, um basierend auf Primärbilddaten, die durch Abbilden eines Prüfobjekts durch eine erste Abbildungseinheit erhalten werden, eine Primärprüfung durchzuführen, und eine zweite Prüfeinheit, die eingerichtet ist, um basierend auf Sekundärbilddaten, die durch Abbilden des Prüfobjekts durch eine zweite, sich von der ersten Abbildungseinheit unterscheidende Abbildungseinheit erhalten werden, eine zweite Prüfung durchzuführen, die Prüfungsverwaltungsvorrichtung umfassend: eine erste Prüfsinformationen-Erfassungseinheit, die eingerichtet ist, um erste Prüfinformationen einschließlich eines Ergebnisses der Primärprüfung von der ersten Prüfeinheit zu erfassen; eine Gültigkeit-Bewertungseinheit, die eingerichtet ist, um basierend auf einer vorbestimmten Bewertungsbedingung die Gültigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung an dem Prüfobjekt durch die zweite Prüfeinheit zu bewerten; und eine zweite Prüfdurchführungs-Bestimmungseinheit, die eingerichtet ist, um basierend auf der Bewertung durch die Gültigkeit-Bewertungseinheit zumindest die Notwendigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung zu bestimmen.
Prüfverfahren, umfassend: einen ersten Prüfschritt des Durchführens einer Primärprüfung basierend auf den Primärbilddaten, die durch Abbilden eines Prüfobjekts durch eine erste Abbildungseinheit erhalten werden; einen ersten Prüfinformations-Erfassungsschritt des Erfassens von ersten Prüfinformationen, die ein Ergebnis der Primärprüfung enthalten; einen Gültigkeits-Bewertungsschritt, basierend auf einer vorbestimmten Bewertungsbedingung die Gültigkeit des Durchführens einer Sekundärprüfung an dem Prüfobjekt basierend auf den Sekundärbilddaten zu bewerten, die durch Abbilden des Prüfobjekts durch eine zweite, sich von der ersten Abbildungseinheit unterscheidende, Abbildungseinheit erhalten wurden; und einen zweiten Prüfdurchführungs-Bestimmungsschritt des Bestimmens, basierend auf der Bewertung im Gültigkeits-Bewertungsschritt, zumindest einer Notwendigkeit des Durchführens der Sekundärprüfung.
Prüfverfahren nach Anspruch 12, ferner umfassend: einen zweiten Prüfschritt des Durchführens der Sekundärprüfung, wobei, in einem Fall, in dem das Durchführen der Sekundärprüfung bestimmt wird, der zweite Prüfdurchführungs-Bestimmungsschritt ferner das Bestimmen des Inhalts der Sekundärprüfung umfasst, und die Sekundärprüfung unter Verwendung des bestimmten Inhalts der Sekundärprüfung durchgeführt wird, in einem Fall, in dem der Inhalt der Sekundärprüfung im zweiten Prüfdurchführungs-Bestimmungsschritt bestimmt wird.
Prüfverfahren nach Anspruch 12 oder 13, ferner umfassend: einen zweiten Prüfinformations-Erfassungsschritt des Erfassens einer zweiten Prüfinformation, die ein Ergebnis der Sekundärprüfung enthält; und einen verbesserten Bestimmungsbedingungs-Erzeugungsschritt zum Erzeugen einer verbesserten Bestimmungsbedingung, die für die Bestimmungsbedingung besser geeignet ist, indem zumindest die zweiten Prüfinformationen verwendet werden.
Prüfverfahren nach Anspruch 14, ferner umfassend: einen Bestimmungsbedingungs-Aktualisierungsschritt des Neueinstellens der im Bestimmungsbedingungs-Erzeugungsschritt erzeugten Bestimmungsbedingung als die vorbestimmte Bewertungsbedingung.
Programm zum Veranlassen eines Computers, jeden Schritt des Prüfverfahrens nach einem der Ansprüche 12 bis 15 durchzuführen.