DE112022001533T5

DE112022001533T5 - Prüfsystem, prüfverwaltungsvorrichtung, prüfprogramm- erzeugungsverfahren und programm

Info

Publication number: DE112022001533T5
Application number: DE112022001533.0T
Authority: DE
Inventors: Takako Onishi
Original assignee: Omron Corp; Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 2021-03-15
Filing date: 2022-01-19
Publication date: 2024-02-08
Also published as: CN116897602A; TWI802270B; WO2022196083A1; TW202238299A; JP2022141065A

Abstract

Ein Prüfsystem umfasst: (1 +n) Arten von Abbildungseinheiten, die jeweils eingerichtet sind, um ein Bild eines Substrats, das ein Prüfobjekt ist, zu erfassen und Bilddaten zu erlangen, (1+m) Arten von Prüfeinheiten, die jeweils eingerichtet sind, um basierend auf (1 +n) Arten von Bilddaten, die jeweils von den (1+n) Arten von Abbildungseinheiten erlangt werden, eine Prüfung entsprechend jeder der (1+n) Arten von Bilddaten durchzuführen, eine Prüfungseignungs-Berechnungseinheit, die eingerichtet ist, um für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem Substrat angebrachten Bauteile beziehen, Prüfungseignungen, die jeweils eine Eignung jeder der (1+m) Arten von Prüfungen, die von den (1+m) Arten von Prüfeinheiten zur Erkennung einer Anomalie anhand des Prüfobjekts durchgeführt werden, angeben, zu berechnen, und eine Prüfprogramm-Erzeugungseinheit, die eingerichtet ist, um basierend auf den Prüfungseignungen zu bestimmen, ob jede der (1+m) Arten von Prüfungen für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem Substrat angebrachten Bauteile beziehen, durchzuführen ist.

Description

STAND DER TECHNIK
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Prüfsystem, eine Prüfverwaltungseinrichtung, ein Prüfprogramm-Erzeugungsverfahren und ein Programm
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
In Herstellungsverfahren für verschiedene Substrate wird das Substrat anhand eines Bildes, das durch Abbilden des Substrats erhalten wird, gemessen und geprüft. Es ist ein System bekannt, bei dem, wenn die Prüfung durch eine Vielzahl von Arten von Prüfgeräten durchzuführen ist, die für jedes Bauteil auf dem Substrat spezifizierten Prüfobjekte auf die Vielzahl von Prüfgeräten aufgeteilt werden (Patentschrift 1).
Patentschrift 1 offenbart eine Technik, bei der in einem Substratprüfsystem mit einer Vielzahl von Arten von Prüfgeräten für jedes zu prüfende Bauteil auf dem Substrat oder für jedes zu prüfende Prüfobjekt ein Prüfgerät ausgewählt wird und diese Auswahl in einem Prüfprogramm an jedem der Prüfgeräte wiedergegeben wird. Mit dieser Konfiguration kann vermindert werden, dass ein und dasselbe Prüfobjekt bei einer Vielzahl von Prüfgeräten unnötigerweise redundant eingestellt wird oder dass ein Prüfobjekt von keinem der Prüfgeräte geprüft wird.
ENTGEGENHALTUNGEN
PATENTSCHRIFTEN
Patentschrift 1: JP 2012-151250 A ( JP 5522065 B )
ERLÄUTERUNG DER ERFINDUNG
TECHNISCHE AUFGABE
Bei der in Patentschrift 1 beschriebenen Technik wird für jedes Prüfobjekt basierend auf Entwurfsinformationen, wie beispielsweise der Art des Bauteils und der Anordnung des Bauteils auf dem Substrat, bestimmt, welches Prüfgerät welches Prüfobjekt prüfen soll. Doch zum Zeitpunkt der eigentlichen Prüfung können Faktoren wie der Zustand der einzelnen auf dem Substrat angebrachten Bauteile und der Zustand der einzelnen Prüfgeräte die Prüfung unerwartet beeinflussen. Die vorstehend beschriebene Zuordnung der Prüfobjekte ist daher nicht unbedingt optimal für die Genauigkeit und Effizienz der Prüfung.
Die vorliegende Erfindung wurde in Anbetracht der vorstehenden Umstände gemacht und es ist eine Aufgabe davon, eine Technik zur Verbesserung der Prüfgenauigkeit und der Prüfwirksamkeit in einem Prüfsystem eines mit Bauteilen bestückten Substrats bereitzustellen, das eine Vielzahl von Arten von Prüfgeräten enthält.
LÖSUNG DER AUFGABE
Zur Lösung des vorstehend beschriebenen Aufgabe verwendet die vorliegende Erfindung die folgende Konfiguration. Das heißt, ein Prüfsystem umfasst: (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten, die jeweils eingerichtet sind, um ein Bild eines mit Bauteilen angebrachten Substrats, das ein Prüfobjekt ist, zu erfassen und Bilddaten zu erlangen, (1 + m) Arten von Prüfeinheiten, die jeweils eingerichtet sind, um basierend auf (1 + n) Arten von Bilddaten, die jeweils von den (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten erlangt werden, eine Prüfung entsprechend jeder der (1+n) Arten von Bilddaten durchzuführen, eine Prüfungseignungs-Berechnungseinheit, die eingerichtet ist, um für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, Prüfungseignungen zu berechnen, die jeweils eine Eignung jeder der (1 + m) Arten von Prüfungen, die von den (1 + m) Arten von Prüfeinheiten zur Erkennung einer Anomalie anhand des Prüfobjekts durchgeführt werden, angeben, und eine Prüfprogramm-Erzeugungseinheit, die eingerichtet ist, um ein Prüfprogramm für das mit Bauteilen bestückte Substrat zu erzeugen oder zu aktualisieren. Die Prüfprogramm-Erzeugungseinheit bestimmt basierend auf den Prüfungseignungen, ob jede der (1 + m) Arten von Prüfungen für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der mit Bauteilen bestückten Substrate beziehen, durchzuführen ist.
Die „Abbildungseinheit“ ist hier nicht auf eine Kamera beschränkt, die eine Wellenlänge im Bereich des sichtbaren Lichts erfasst, sondern kann auch eine Röntgenkamera sein, die Röntgenstrahlen erfasst, oder ein Fotovervielfachersensor, der für die Laserabtastung verwendet wird. Darüber hinaus handelt es sich bei der „Prüfeinheit“ um ein Gerät, das eine Prüfung basierend auf Bilddaten durchführt, die durch Abbilden des Prüfobjekts erhalten werden, wie z. B. ein Gerät, das eine automatische optische Prüfung (AOI) oder eine automatische Röntgenprüfung (AXI) durchführt. Darüber hinaus kann das vorstehend beschriebene „Prüfobjekt“ Informationen wie die Koordinaten, an denen die Prüfung durchgeführt wird, und einen Parameter zum Extrahieren eines Prüfobjekts enthalten. Außerdem kann in der vorstehenden Beschreibung n gleich m sein.
In einer solchen Konfiguration ist es möglich, im Substratprüfsystem mit einer Vielzahl von Arten von Prüfeinheiten basierend auf einem Unterschied in den Messprinzipien der Prüfeinheiten Eignungen für ein für jedes Bauteil des Substrats spezifiziertes Prüfobjekt zu berechnen und das Prüfprogramm derart einzurichten, dass die Prüfung des Prüfobjekts einer Prüfeinheit entsprechend den Eignungen zugeordnet wird (d.h. der Prüfeinheit mit der höchsten Eignung). Dies ermöglicht es, die Zuverlässigkeit (Genauigkeit) und die Effizienz (Geschwindigkeit) der Prüfung zu verbessern.
Ferner kann das Prüfsystem eine Musterbild-Erlangungseinheit umfassen, die eingerichtet ist, um (1 + n) Arten von Musterbildern des mit Bauteilen bestückten Substrats, die jeweils von den (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten erfasst werden, zu erlangen, und die Prüfungseignungs-Berechnungseinheit kann eine erste Prüfungseignungs-Berechnungseinheit umfassen, die eingerichtet ist, um, basierend auf den (1 + n) Arten von Musterbildern, die Prüfungseignungen zu berechnen.
Mit einer solchen Konfiguration lässt sich basierend auf den mit den aktuellen Prüfgeräten erfassten Bildern berechnen, welche Prüfeinheit für das Durchführen einer Prüfung in Bezug auf die Art und Weise, wie das zu prüfende Bauteil tatsächlich abgebildet wird, besser geeignet ist. Beispielsweise eignet sich eine Erscheinungsbild-Prüfung zwar in der Regel für die Prüfung der Form eines von außen sichtbarem Bauteil (und einer Lötnaht um das Bauteil herum), aber in einem tatsächlich von einer Visuell-Kamera erfassten Bild können Sekundärreflexionen in der Lötnaht vorhanden sein, das Bauteil kann sich aufgrund eines anderen Bauteils in einem blinden Fleck befinden, oder es kann eine unzureichende Leuchtdichte/Sättigung vorliegen. In einem solchen Fall verschlechtert sich die Eignung der Prüfung des Erscheinungsbildes (im Vergleich zu allgemeinen Annahmen). Somit ist es möglich, die Eignung unter Berücksichtigung solcher Informationen zu bestimmen und eine genauere Eignung zu berechnen. Außerdem kann durch die Konfiguration des Prüfprogramms basierend auf den Eignungen die Genauigkeit der Prüfung verbessert werden.
Darüber hinaus kann die erste Prüfungseignungs-Berechnungseinheit ein gelerntes Modell aufweisen, das durch das Durchführen von maschinellem Lernen unter Verwendung eines Trainingsdatensatzes, der Prüfbilddaten, die sich auf das mit Bauteilen bestückte Substrat beziehen, aufweist, erhalten wurde, wodurch ein falsches Negativ und/oder ein falsches Positiv in zumindest einer der (1 + m) Arten von Prüfungen, die in der Vergangenheit durchgeführt wurden, entstanden ist.
Es ist zu beachten, dass „falsch Negativ“ ein so genannter übersehener Defekt und „falsch Positiv“ eine so genannte Fehl-Erkennung ist. Bei einer solchen Konfiguration lassen sich die Eignungen mit Hilfe eines Trainingsmodells, das basierend auf früheren Leistungsdaten trainiert wurde, effizient berechnen.
Ferner kann das Prüfsystem eine Prüfungsverlaufs-Erfassungseinheit aufweisen, die eingerichtet ist, um Prüfungsverlaufsinformationen der Vergangenheit zu erfassen, einschließlich eines Prüfergebnisses von falschem Negativ und/oder falschem Positiv, das sich auf Bauteile derselben Art wie die auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile bezieht, und die Prüfeignungs-Berechnungseinheit kann eine zweite Prüfungsverlaufs-Berechnungseinheit aufweisen, die eingerichtet ist, um die Prüfungsverfügbarkeiten basierend auf den Prüfungsverlaufsinformationen zu berechnen.
Der hier verwendete Begriff „Bauteile derselben Art“ ist nicht auf Bauteile mit derselben Bauteilnummer beschränkt, sondern umfasst auch andere Bauteile mit ähnlichen Formen, Anwendungen und dergleichen. Mit einer solchen Konfiguration können die Eignungen genauer berechnet werden, indem für jede Prüfeinheit eine Eignung für ein Prüfobjekt eines Bauteils bestimmt wird, bei dem ein falsches Negativ oder ein falsches Positiv wahrscheinlich ist (eine große Anzahl tatsächlicher Ergebnisse hat), und zwar unter Berücksichtigung solcher tatsächlichen Ergebnisse.
Darüber hinaus kann das Prüfsystem eine Entwurfsinformationen-Erfassungseinheit aufweisen, die eingerichtet ist, um Entwurfsinformationen, die sich auf das mit Bauteilen bestückte Substrat beziehen, zu erlangen, und die Prüfungseignungs-Berechnungseinheit kann eine Anfangswert-Berechnungseinheit aufweisen, die eingerichtet ist, um Anfangswerte der Prüfungseignungen basierend auf den Entwurfsinformationen zu berechnen.
Für jedes Prüfobjekt jedes auf dem Substrat angebrachten Bauteils wurde allgemeines Wissen erlangt, um abschätzen zu können, welche Prüfeinheit zum Durchführen der Prüfung unter Berücksichtigung von Entwurfsinformationen wie Platzierungsbeziehungen zwischen Bauteilen und Größen der Bauteile auf dem Substrat geeignet ist. Basierend auf diesen Erkenntnissen können daher für jedes Prüfobjekt eines jeden auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteils die Eignungen für die Primärprüfung und die Sekundärprüfung berechnet und die berechneten Eignungen als Ausgangswerte festgelegt werden. Somit können die Eignungen relativ einfach berechnet werden, und die Genauigkeit der Prüfung kann verbessert werden, indem man entsprechend der tatsächlichen Lage der Prüfung genauere Eignungen berechnet und dann die Ausgangswerte aktualisiert.
Darüber hinaus werden die Prüfungseignungen einzeln entsprechend jeder der (1 + m) Arten von Prüfungen berechnet, und die Prüfungseignungs-Berechnungseinheit kann die Prüfungseignungen aller (1 + m) Arten von Prüfungen für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der Bauteile beziehen, berechnen.
Im Einzelnen können beispielsweise für jede der (1 + m) Arten von Prüfungen die Prüfungseignungen anhand von Werten in zehn Stufen von 1 bis 10 berechnet werden. Somit ist es möglich, für jede Prüfung die Eignungen entsprechend der tatsächlichen Lage zu berechnen und die berechneten Eignungen zu vergleichen und dann zu bestimmen, wie die Prüfungen für jedes Prüfobjekt aufzuteilen sind, und die Prüfungseignungen im Prüfprogramm genauer wiederzugeben. Es ist jedoch nicht auf die vorstehend beschriebene Art und Weise beschränkt, wie die Prüfungseignungen anzugeben sind. Die Eignungen können beispielsweise durch ein Verhältnis der Eignung einer Prüfung zur Eignung einer anderen Prüfung angegeben werden oder durch die Zuweisung von Werten, so dass die Gesamtsumme der Prüfungseignungen aller Prüfungen stets 100 beträgt. Außerdem können die Eignungen durch Ranglisten für alle Prüfungen angegeben werden.
Darüber hinaus kann die Prüfprogramm-Erzeugungseinheit bestimmen, ob die (1 + m) Arten von Prüfungen für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der Bauteile beziehen, basierend auf den Prüfungseignungen durchzuführen sind, so dass zumindest eine der (1 + m) Arten von Prüfungen für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, durchgeführt wird und alle (1 + m) Arten von Prüfungen für das Prüfobjekt, für das keine der Prüfungseignungen der (1 + m) Arten von Prüfungen ein vorbestimmtes Kriterium erfüllt hat, durchgeführt werden.
Um eine effiziente Prüfung zu gewährleisten, sollte vermieden werden, dass eine Prüfung redundant über mehrere Prüfeinheiten durchgeführt wird. Um jedoch eine genaue Prüfung durchführen zu können, muss eine bestimmte Anzahl von Prüfungen an allen Bauteilen durchgeführt werden. Dabei kann bei einer Konfiguration, wie sie vorstehend beschrieben wurde, in einem Fall, in dem die Eignungen derart sind, dass die Prüfgenauigkeit bei keiner der Prüfungen gewährleistet werden kann, die Abdeckung durch redundante Ausführung aller Prüfungen sichergestellt werden.
Darüber hinaus kann die Prüfprogramm-Erzeugungseinheit eingerichtet sein, eine der (1 + m) Arten von Prüfungen durchzuführen, um die Taktzeit, die sich auf die Prüfung des mit Bauteilen bestückten Substrats bezieht, für das Prüfobjekt, für das sich ein Unterschied zwischen den Prüfeignungen der (1 + m) Arten von Prüfungen innerhalb eines vorbestimmten Bereichs befindet, zu verringern.
Wenn die erste Prüfeinheit und die zweite Prüfeinheit verwendet werden können, weil die Eignungen für die Primärprüfung und die Sekundärprüfung jeweils einen unproblematischen Wert angeben, d.h. wenn die Genauigkeiten der Prüfungen gewährleistet sind, ist es vorteilhaft, das Prüfprogramm so zu erzeugen, dass bestimmt wird, welche Prüfeinheit für das Durchführen der Prüfung des Prüfobjekts geeignet ist, so dass die Taktzeit des gesamten Prüfprozesses minimiert wird (d.h. die Effizienz verbessert wird). Insbesondere kann die Prüfung basierend auf einem Kriterium zugeordnet werden, das keinen Engpass erzeugt, so dass die Prüfung von einer Einheit durchgeführt wird, die, wenn ihr die Prüfung des Prüfobjekts zugeordnet wird, die Anzahl der Abbildungsfelder nicht erhöht, oder unter Bezugnahme auf Prüfungsverlaufsinformationen, die sich auf die für die Prüfung benötigte Zeit oder ähnliches beziehen.
Außerdem können die (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten eine erste Abbildungseinheit, die eine Visuell-Kamera ist, und eine zweite Abbildungseinheit, die eine Röntgenkamera ist, umfassen, und die (1 + m) Arten von Prüfungen können eine erste Prüfung basierend auf den von der ersten Abbildungseinheit erlangten Primärbilddaten und eine zweite Prüfung basierend auf den von der zweiten Abbildungseinheit erlangten Sekundärbilddaten umfassen. Die Kombination dieser Prüfeinheiten ist für die Prüfung eines mit Bauteilen bestückten Substrats geeignet.
Darüber hinaus kann die vorliegende Erfindung auch als Prüfverwaltungsvorrichtung betrachtet werden, die eine Vorrichtung ist, die eingerichtet ist, um eine Prüfung durch ein Prüfsystem zu verwalten, das Prüfsystem umfassend (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten, die jeweils eingerichtet sind, um ein Bild eines mit Bauteilen bestückten Substrats, das ein Prüfobjekt ist, zu erfassen und Bilddaten zu erlangen, und (1 + m) Arten von Prüfeinheiten, die jeweils eingerichtet sind, um basierend auf (1 + n) Arten von Bilddaten, die jeweils von den (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten erlangt werden, eine Prüfung entsprechend jeder der (1 + n) Arten von Bilddaten durchzuführen. Die Prüfverwaltungsvorrichtung umfasst eine Prüfungseignungs-Berechnungseinheit, die eingerichtet ist, um für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, Prüfungseignungen zu berechnen, die jeweils eine Eignung jeder der (1 + m) Arten von Prüfungen, die von den (1 + m) Arten von Prüfeinheiten zur Erkennung einer Anomalie anhand des Prüfobjekts durchgeführt werden, angeben, und eine Prüfprogramm-Erzeugungseinheit, die eingerichtet ist, um ein Prüfprogramm für das mit Bauteilen bestückte Substrat zu erzeugen oder zu aktualisieren. Die Prüfprogramm-Erzeugungseinheit ist eingerichtet, um basierend auf den Prüfungseignungen zu bestimmen, ob jede der (1 + m) Arten von Prüfungen für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, durchzuführen ist.
Darüber hinaus kann die vorliegende Erfindung auch als Prüfprogramm-Erzeugungsverfahren für ein Prüfsystem betrachtet werden, das (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten aufweist, die jeweils eingerichtet sind, um ein Bild eines mit Bauteilen bestückten Substrats, das ein Prüfobjekt ist, zu erfassen und Bilddaten zu erlangen, und (1 + m) Arten von Prüfeinheiten, die jeweils eingerichtet sind, um basierend auf (1 + n) Arten von Bilddaten, die jeweils von den (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten erlangt werden, eine Prüfung entsprechend jeder der (1 + n) Arten von Bilddaten durchzuführen. Das Prüfprogramm-Erzeugungsverfahren umfasst: einen Prüfungseignungs-Berechnungsschritt des Berechnens von Prüfungseignungen für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, wobei jede Eignung eine Eignung jeder der (1 + m) Arten von Prüfungen angibt, die von den (1 + m) Arten von Prüfeinheiten zur Erkennung einer Anomalie anhand des Prüfobjekts durchgeführt werden, und einen Prüfdurchführungs-Bestimmungsschritt des Bestimmens, basierend auf den Prüfungseignungen, ob jede der (1 + m) Arten von Prüfungen für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, durchzuführen ist.
Ferner kann das Prüfprogramm-Erzeugungsverfahren einen Musterbild-Erlangungsschritt des Erlangens von (1 + n) Arten von Musterbildern des mit Bauteilen bestückten Substrats, die von den (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten erfasst werden, umfassen, und der Prüfungseignungs-Berechnungseinheit kann einen ersten Prüfungseignungs-Berechnungsschritt des Berechnens der Prüfungseignungen basierend auf den (1 + n) Arten von Musterbildern umfassen.
Darüber hinaus kann das Prüfprogramm-Erzeugungsverfahren einen Prüfungsverlauf-Erfassungsschritt des Erlangens von Prüfungsverlaufsinformationen der Vergangenheit einschließlich eines Prüfergebnisses von falschem Negativ und/oder falschem Positiv, das sich auf Bauteile derselben Arten wie die auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile bezieht, umfassen, und der Prüfeignungs-Berechnungsschritt kann einen zweiten Eignungs-Berechnungsschritt des Berechnens der Prüfeignungen basierend auf den Prüfungsverlaufsinformationen umfassen.
Darüber hinaus kann das Prüfprogramm-Erstellungsverfahren einen Entwurfsinformationen-Erlangungsschritt des Erlangens von Entwurfsinformationen in Bezug auf das mit Bauteilen bestückte Substrat umfassen, und der Prüfungseignung-Berechnungsschritt kann einen Anfangswert-Berechnungsschritt des Berechnens von Anfangswerten der Prüfungseignungen basierend auf den Entwurfsinformationen umfassen.
Darüber hinaus kann die vorliegende Erfindung auch als ein Programm betrachtet werden, das einen Computer veranlasst, das vorstehend beschriebene Verfahren auszuführen, sowie als ein computerlesbares Speichermedium, in dem ein solches Programm in nicht flüchtiger Weise aufgezeichnet ist.
Es ist zu beachten, dass jede der vorstehend beschriebenen Konfigurationen und Verfahren kombiniert werden kann, um die vorliegende Erfindung zu verwirklichen, solange kein technischer Widerspruch besteht.
VORTEILHAFTE WIRKUNGEN DER ERFINDUNG
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, eine Technik zur Verbesserung der Prüfwirksamkeit und -genauigkeit in einem Prüfsystem für ein mit Bauteilen bestücktes Substrat bereitzustellen, das eine Vielzahl von Arten von Prüfgeräten umfasst.
KURZE BESCHREIBUNG DER FIGUREN

1 ist eine schematische Ansicht, die die schematische Konfiguration eines Prüfsystems gemäß einem Anwendungsbeispiel veranschaulicht.
2 ist ein Blockdiagramm, das eine schematische Konfiguration des Prüfsystems gemäß einer Ausführungsform veranschaulicht.
3 ist ein Flussdiagramm, das den Ablauf der Erzeugung eines Prüfprogramms im Prüfsystem gemäß der vorliegenden Ausführungsform veranschaulicht.

BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel gemäß der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Abmessungen, Werkstoffe, Formen, relative Anordnungen und dergleichen der im folgenden Beispiel beschriebenen Bestandteile sind jedoch nicht dazu bestimmt, den Anwendungsbereich der vorliegenden Erfindung einzuschränken, sofern nicht anders angegeben.
< Anwendungsbeispiel >
(Konfiguration des Anwendungsbeispiels)
Die vorliegende Erfindung kann beispielsweise als Prüfverwaltungsvorrichtung zum Erzeugen eines Prüfprogramms für ein Substratprüfsystem verwendet werden. 1 ist eine schematische Darstellung der Konfiguration des Substratprüfsystems, auf das die vorliegende Erfindung angewendet wird. Wie in 1 dargestellt, umfasst ein Substratprüfsystem 9 gemäß dem vorliegenden Anwendungsbeispiel eine Vielzahl von Prüfgeräten 91, 92, die an einer Produktionslinie (nicht dargestellt) eines mit Bauteilen bestückten Substrats angeordnet sind, eine Prüfverwaltungsvorrichtung 93, die den Inhalt und die Ergebnisse von Prüfungen verwaltet, und eine Kommunikationsleitung, wie z. B. ein lokales Netzwerk (LAN), die diese Komponenten miteinander verbindet. Es ist zu beachten, dass in diesem Anwendungsbeispiel ein System mit zwei Arten von Abbildungseinheiten und Prüfgeräten, die jeweils die Abbildungseinheiten enthalten, als Beispiel beschrieben wird, aber die Anzahl der Abbildungseinheiten und Prüfgeräte ist nicht darauf beschränkt.
Die Prüfgeräte 91, 92 prüfen jeweils ein mit Bauteilen bestücktes Substrat O, das ein Prüfobjekt ist, basierend auf Bilddaten, die von einer Abbildungseinheit erhalten werden, die das mit Bauteilen bestückte Substrat abbildet, das von einer Transportrolle (nicht dargestellt) aus der Produktionslinie transportiert wird. Wie in 1 dargestellt, umfassen die Prüfgeräte 91, 92 jeweils Abbildungseinheiten 911, 921, Bilddaten-Erlangungseinheiten 912, 922 und Prüfverarbeitungseinheiten 913, 923. Es ist zu beachten, dass der weiße Pfeil in eine Transportrichtung für das mit Bauteilen bestückte Substrat O angibt.
In diesem Beispiel werden unterschiedliche Typen von Abbildungseinheiten verwendet, wie die Abbildungseinheit 911 des Prüfgeräts 91 und die Abbildungseinheit 921 des Prüfgeräts 92. Die Abbildungseinheit 911 kann beispielsweise eine Visuell-Kamera und die Abbildungseinheit 921 eine Röntgenkamera sein. Darüber hinaus wird in jedem Prüfgerät das mit Bauteilen bestückte Substrat O von der Prüfverarbeitungseinheit unter Verwendung eines vorbestimmten Prüfprogramms geprüft, um zu bewerten, ob die von den Abbildungseinheiten und den Bilddaten-Erlangungseinheiten erhaltenen Bilddaten gültig sind oder nicht.
Die Prüfverwaltungsvorrichtung 93 kann beispielsweise aus einem Mehrzweckcomputer bestehen und enthält Funktionseinheiten wie eine Prüfungseignungs-Berechnungseinheit 931, eine Prüfprogramm-Erzeugungseinheit 932 und eine Speichereinheit 933. Darüber hinaus sind verschiedene Eingabeeinheiten, wie z. B. eine Maus und eine Tastatur, und Ausgabeeinheiten, wie z. B. ein Bildschirm, vorgesehen, die jedoch nicht dargestellt sind.
Die Prüfungseignungs-Berechnungseinheit 931 berechnet für jedes Prüfobjekt, das sich auf jedes auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat O angebrachte Bauteil bezieht, Prüfungseignungen, die die Eignung der Prüfung durch das Prüfgerät 91 und die Eignung der Prüfung durch das Prüfgerät 92 zur Erkennung einer Anomalie anhand des Prüfobjekts angeben. Eine spezifische Berechnungsmethode wird weiter unten beschrieben.
Ferner erzeugt die Prüfprogramm-Erzeugungseinheit 932 ein Prüfprogramm für die von den Prüfgeräten 91, 92 durchgeführte Prüfung. In diesem Beispiel enthält das erzeugte Prüfprogramm Kennzeichnungsinformationen, die angeben, ob Prüfungen von Prüfobjekten, die sich auf jedes auf dem Prüfgerät mit Bauteilen bestückten Substrat O angebrachte Bauteil beziehen, von jedem der Prüfgeräte 91, 92 durchzuführen sind. Das heißt, wenn das Kennzeichen auf EIN steht, führt das Prüfgerät die Prüfung des zu prüfenden Prüfobjekts durch, wenn das Kennzeichen auf AUS steht, führt das Prüfgerät die Prüfung nicht durch. Es ist zu beachten, dass der hier verwendete Begriff „ein Programm erzeugen“ nicht nur das Erzeugen von Grund auf, sondern auch das Erzeugen durch Aktualisieren eines bestehenden Programms umfasst.
Die Speichereinheit 933 besteht aus einer Speichereinheit, wie z.B. einem Direktzugriffsspeicher (RAM) und einem Festplattenlaufwerk (HDD), und speichert verschiedene Arten von Informationen, wie z.B. verschiedene Arten von Konstruktionsinformationen, die sich auf das mit Bauteilen bestückte Substrat O beziehen (angebrachte Bauteile, Platzierungsbeziehungen zwischen Bauteilen usw.), bauteilbezogene Informationen (Bauteiltyp, Bauteilnummer, Chargennummer, Bauteilbild usw.), ein Prüfprogramm (Prüfgegenstände, Prüfkriterien usw.), Bilddaten früherer Prüfungen und Informationen über frühere Prüfergebnisse.
(Berechnen der Prüfungseignung)
Als nächstes wird die von der Prüfungseignungs-Berechnungseinheit 931 durchgeführte Eignungsberechnung im vorliegenden Anwendungsbeispiel beschrieben. Die Prüfungseignungs-Berechnungseinheit 931 stellt basierend auf verschiedenen Arten von Entwurfsinformationen, die sich auf das mit Bauteilen bestückte Substrat O beziehen und in der Speichereinheit 933 gespeichert sind, für jedes der Prüfgeräte 91, 92 für jedes auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat O angebrachte Bauteil und für jedes Prüfobjekt jedes Bauteils Anfangswerte für die Eignung zum Durchführen von Prüfungen ein (d.h. einen Grad, bis zu dem eine Anomalie in geeigneter Weise erkannt werden kann). Beispielsweise kann bei einem Prüfobjekt für eine Bauteilfarbe oder einen auf einem Bauteil aufgedruckten Zeichenabschnitt, z. B. für „falsche Produktnummer“, die Prüfung nicht mit einem von einer Röntgenkamera abgebildeten Bild durchgeführt werden. Die Prüfungseignung eines Röntgenprüfgerätes ist somit 0. Andererseits kann ein an der Unterseite eines Substrats angebrachtes Bauteil (Ball Grid Array (BGA)) nicht mit Hilfe eines Bildes aus sichtbarem Licht geprüft werden, das man durch Abbilden einer Oberfläche des Substrats erhält. Die Prüfungseignung eines Erscheinungsbild-Prüfgerätes ist somit 0.
Die Prüfungseignungs-Berechnungseinheit 931 führt außerdem einen Prozess zur Aktualisierung der eingestellten Anfangswerte in Übereinstimmung mit der tatsächlichen Prüfungsumgebung durch. So können beispielsweise Bilder von fehlerfreien Proben (im Folgenden einfach als Musterbilder bezeichnet), die zuvor von den Prüfgeräten 91, 92 erfasst wurden, erlangt werden, und die Eignungen können basierend auf den Musterbildern korrigiert werden, um den tatsächlichen Zustand wiederzugeben. Wenn beispielsweise in einem erlangten Musterbild eine unzureichende Leuchtdichte oder Sättigung vorliegt, wird die Prüfungseignung des Prüfgerätes, das das Musterbild erfasst hat, nach unten korrigiert.
Die Prüfungseignungs-Berechnungseinheit 931 berechnet für jedes Prüfobjekt, das sich auf jedes auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat O angebrachte Bauteil bezieht, Prüfungseignungen, die die Eignung der Prüfung durch das Prüfgerät 91 und die Eignung der Prüfung durch das Prüfgerät 92 zur Erkennung einer Anomalie anhand des Prüfobjekts angeben.
Dann erzeugt die Prüfprogramm-Erzeugungseinheit 932 ein Prüfprogramm basierend auf den wie vorstehend berechneten Prüfungseignungen. In diesem Beispiel werden die Prüfungseignungen verwendet, um zu bestimmen, wie die Prüfobjekte derart aufzuteilen sind, dass Prüfungen durch das Prüfgerät 91 und das Prüfgerät 92 so weit wie möglich nicht redundant durchgeführt werden, während gleichzeitig sichergestellt wird, dass eine erforderliche Anzahl von Prüfungen für alle auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat O angebrachten Bauteile durchgeführt wird.
Es ist zu beachten, dass das von der Prüfprogramm-Erzeugungseinheit 932 erzeugte Prüfprogramm an jedes der Prüfgeräte 91, 92 übertragen wird und die Prüfung des mit Bauteilen bestückten Substrats O gemäß dem auf der Basis der Prüfungseignung erzeugten Prüfprogramm gestartet wird.
Gemäß dem vorstehend beschriebenen Prüfverwaltungssystem 9 kann die Prüfung durch eine Vielzahl von Prüfgeräten mit jeweils unterschiedlichen Abbildungssystemen auf einzelne Prüfobjekte aufgeteilt und für jedes Prüfobjekt entsprechend den Eignungen durchgeführt werden. Dadurch können sowohl die Prüfgenauigkeit als auch die Prüfwirksamkeit in kompatibler Weise verbessert werden.
<Ausführungsformen> Nachfolgend wird eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die 2 und 3 näher beschrieben, wobei als Beispiel ein System zur Prüfung eines Substrats mit einem Erscheinungsbild-Prüfgerät und einem Röntgenprüfgerät dient.
(Konfiguration des Systems)
2 ist ein Blockdiagramm, das einen Überblick über die Konfiguration eines Substratprüfsystems 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt. Das Substratprüfsystem 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform umfasst im Allgemeinen ein Erscheinungsbild-Prüfgerät 10, ein Röntgenprüfgerät 20, einen Datenserver 30 und eine Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40. Diese Komponenten sind über eine Kommunikationseinheit (nicht abgebildet) kommunikativ miteinander verbunden.
Das Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 ist beispielsweise ein Gerät, das eine Prüfung des Erscheinungsbildes eines mit Bauteilen bestückten Substrats mit einem Prüfverfahren durchführt, das eine Kombination aus einem sogenannten Phasenverschiebungsverfahren und einem Farbmarkierungsverfahren ist. Das Prüfverfahren, das eine Kombination aus dem Phasenschiebeverfahren und der Farbmarkierungsmethode ist, ist eine bekannte Technik und wird daher hier nicht näher beschrieben. Diese Prüfung durch dieses Verfahren ermöglicht es, die von außen sichtbare Form der Elektrode und den Neigungsgrad des Meniskus im Lötaugen des Substrats genau zu erfassen. Es ist zu beachten, dass das Phasenverschiebungsverfahren eine Technik zur Rekonstruktion der dreidimensionalen Form einer Objektoberfläche ist, indem Musterlicht auf die Objektoberfläche projiziert und die Verzerrung des Musters analysiert wird. Darüber hinaus ist die Farbmarkierungsmethode ein Verfahren zur Darstellung einer dreidimensionalen Form einer Lötfläche als zweidimensionale Farbtoninformation durch Bestrahlung des Substrats mit Licht einer Vielzahl von Farben (Wellenlängen) bei unterschiedlichen Einfallswinkeln und Erfassung eines Bildes des Substrats in einem Zustand, in dem Farbmerkmale (Farben von Lichtquellen in einer spiegelnden Reflexionsrichtung bei Betrachtung durch eine Kamera), die einer Normalrichtung der Lötfläche entsprechen, auf der Lötfläche erscheinen.
Das Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 umfasst in der Regel Funktionseinheiten wie eine Erscheinungsbild-Erfassungseinheit 110, eine Erscheinungsbild-Messeinheit 120 und eine Erscheinungsbild-Prüfeinheit 130 sowie einen Projektor, eine Lichtquelle und einen Tisch zum Halten eines Substrats (von denen keine abgebildet sind). Die Erscheinungsbild-Erfassungseinheit 110 erfasst ein Bild des Substrats, das mit Licht aus dem Projektor und der Lichtquelle (nicht dargestellt) bestrahlt wird, und gibt ein Erscheinungsbild-Prüfbild aus. Die Erscheinungsbild-Messeinheit 120 misst basierend auf dem Erscheinungsbild-Prüfungsbild die Erscheinungsform des Substrats (eines darauf bestückten Bauteils). Die Erscheinungsbild-Prüfeinheit 130 prüft das Erscheinungsbild, d. h. sie bewertet, ob das (auf dem) Substrat angebrachte Bauteil bestanden oder nicht bestanden wurde, indem sie die gemessene Erscheinungsform und das Prüfkriterium vergleicht. Beachten Sie, dass in der folgenden Beschreibung der Ausdruck „Prüfung des Substrats“ auch die Prüfung der auf dem Substrat bestückten Bauteile umfasst.
Es ist zu beachten, dass Informationen, die sich auf das Erscheinungsbild-Prüfungsbild, den Messwert der Erscheinungsform und das Ergebnis der Erscheinungsbild-Prüfung beziehen, vom Prüfgerät 10 an den Datenserver 30 übertragen und im Datenserver 30 gespeichert werden.
Das Röntgenprüfgerät 20 ist beispielsweise ein Gerät, das die dreidimensionale Form des Substrats mit einem Verfahren wie der Computertomographie (CT) oder der Tomosynthese misst und anhand der dreidimensionalen Form bewertet, ob das Substrat besteht oder nicht.
Das Röntgenprüfgerät 20 umfasst in der Regel Funktionseinheiten wie eine Röntgenbild-Erfassungseinheit 210, eine Röntgenmesseinheit 220 und eine Röntgen-Prüfeinheit 230 sowie eine Röntgenquelle und einen Objekttisch (beide nicht abgebildet) zur Aufnahme des Substrats. Die Röntgenbild-Erfassungseinheit 210 erfasst ein Bild von Röntgenstrahlen, die von einer Röntgenquelle (nicht abgebildet) emittiert und durch das Substrat übertragen werden, und gibt ein tomografisches Bild (nachfolgend als Röntgenbild bezeichnet) des Substrats aus. Die Röntgenmesseinheit 220 misst die dreidimensionale Form des Substrats basierend auf einer Vielzahl von Röntgenbildern. Die Röntgen-Prüfeinheit 230 prüft die dreidimensionale Form, d. h. sie bewertet durch den Vergleich der gemessenen dreidimensionalen Form mit dem Prüfkriterium, ob das Substrat die Prüfung besteht oder nicht.
Es ist zu beachten, dass die Informationen, die sich auf das Röntgenbild, die dreidimensionalen Formdaten und das vorstehend beschriebene Ergebnis der Röntgenprüfung beziehen, vom Röntgenprüfgerät 20 an den Datenserver 30 übertragen und im Datenserver 30 gespeichert werden.
Bei der Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40 kann es sich z. B. um einen Universalcomputer handeln. Das heißt, die Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40 umfasst einen Prozessor wie eine Zentraleinheit (CPU) oder einen digitalen Signalprozessor (DSP), eine Speichereinheit mit einer Hauptspeichereinheit wie einem Festwertspeicher (ROM) oder einem Speicher mit wahlfreiem Zugriff (RAM) und einer Hilfsspeichereinheit wie einem löschbaren programmierbaren Festwertspeicher (EPROM), einem Festplattenlaufwerk (HDD) oder einem Wechselmedium, eine Eingabeeinheit wie eine Tastatur oder eine Maus und eine Ausgabeeinheit wie eine Flüssigkristallanzeige. Es ist zu beachten, dass die Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40 aus einem einzigen Computer oder aus einer Vielzahl von Computern bestehen kann, die miteinander zusammenarbeiten.
Die Hilfsspeichereinheit speichert ein Betriebssystem (OS), verschiedene Programme, verschiedene Arten von Informationen, die sich auf das Prüfobjekt beziehen, verschiedene Prüfkriterien und dergleichen, die darin gespeicherten Programme werden in einen Arbeitsbereich der Hauptspeichereinheit geladen und ausgeführt, und die Komponenten und dergleichen werden durch die Ausführung der Programme gesteuert, wodurch Funktionseinheiten, die vorbestimmte Zwecke wie die unten beschriebenen erreichen, realisiert werden können. Es ist zu beachten, dass einige oder alle funktionalen Einheiten durch einen Hardware-Schaltkreis wie einen anwendungsspezifischen integrierten Schaltkreis (ASIC) oder ein feldprogrammierbares Gate-Array (FPGA) realisiert werden können.
Nachfolgend werden die einzelnen Funktionseinheiten der Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40 beschrieben. Die Prüfverwaltungsvorrichtung 40 umfasst die Funktionseinheiten einer Prüfeignungs-Berechnungseinheit 410, einer Entwurfsinformationen-Erlangungseinheit 420, einer Musterbild-Erzeugungseinheit 430, einer Verlaufsinformationen-Erlangungseinheit 440 und einer Prüfprogramm-Erzeugungseinheit 450.
Wie nachfolgend beschrieben wird, berechnet die Prüfungseignungs-Berechnungseinheit 410 die Prüfungseignungen basierend auf den von der Entwurfsinformationen-Erlangungseinheit 420, der Musterbild-Erlangungseinheit 430 und der Verlaufsinformationen-Erlangungseinheit 440 erlangten Informationen. Die Prüfungseignungen sind Abstufungen, die die Eignung der Prüfung durch das Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 und der Prüfung durch das Röntgenprüfgerät 20 angeben, um für jedes Prüfobjekt anhand jedes auf dem Substrat angebrachten Bauteils eine Anomalie zu erkennen. In der vorliegenden Ausführungsform werden eine Erscheinungsbild-Prüfeignung, die die Eignung der Prüfung durch das Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 angibt, und eine Röntgenprüfeignung, die die Eignung der Prüfung durch das Röntgenprüfgerät 20 angibt, jeweils als ein Wert von 0 bis 10 berechnet.
Es ist zu beachten, dass die Prüfungseignungs-Berechnungseinheit 410 ferner Funktionseinheiten einer Anfangswert-Berechnungseinheit 411, einer Bildinformationen-Reflexionseinheit 412 und einer Verlaufsinformationen-Reflexionseinheit 413 umfasst.
Die Entwurfsinformationen-Erlangungseinheit 420 erlangt vom Datenserver 30 Entwurfsinformationen über das Substrat, wie beispielsweise Formen und Größen von Bauteilen, die auf dem zu prüfenden Substrat angebracht sind (und Lötaugen), sowie Platzierungsbeziehungen zwischen den Bauteilen. Darüber hinaus erlangt die Musterbild-Erlangungseinheit 430 vom Datenserver 30 Bilddaten, die durch die Abbildung einer fehlerfreien Probe des zu prüfenden Substrats durch das Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 und das Röntgen-Prüfgerät 20 erhalten wurden. Darüber hinaus erlangt die Verlaufsinformationen-Erlangungseinheit 440 vom Datenserver 30 Prüfungsverlaufsinformationen, einschließlich Prüfergebnissen von falschem Negativ und/oder falschem Positiv, die sich auf Bauteile derselben Art wie die auf dem Substrat angebrachten Bauteile beziehen. Der hier verwendete Begriff „Bauteile derselben Art“ ist nicht auf Bauteile mit derselben Bauteilnummer beschränkt, sondern umfasst auch andere Bauteile mit ähnlichen Formen, Anwendungen und dergleichen.
Die Prüfprogramm-Erzeugungseinheit 450 erzeugt ein Prüfprogramm für die von der Erscheinungsbild-Prüfeinheit 10 und der Röntgen-Prüfeinheit 20 durchgeführte Prüfung. Das Erzeugen des Prüfprogramms wird nachfolgend im Detail beschrieben. Es ist zu beachten, dass der hier verwendete Begriff „ein Programm erzeugen“ nicht nur das Erzeugen von Grund auf, sondern auch das Erzeugen durch Aktualisieren eines bestehenden Programms umfasst.
Die Anfangswert-Berechnungseinheit 411 berechnet basierend auf den von der Entwurfsinformationen-Erfassungseinheit 420 erlangten Entwurfsinformationen die Anfangswerte der Prüfungseignungen. Insbesondere für ein Prüfobjekt, das die Identifizierung einer Bauteilfarbe oder von aufgedruckten Zeichen erfordert, z. B. für „falsche Produktnummer“, kann die Röntgenprüfung nicht angewendet werden. Daher wird die Prüfungseignung für die Röntgenprüfung auf 0 und die Eignung für das Erscheinungsbild auf 10 gesetzt. Für ein Prüfobjekt, das sich auf ein Bauteil bezieht, für das eine Erscheinungsbildprüfung nicht möglich ist, wie beispielsweise ein an der Unterseite des Substrats angebrachtes Bauteil oder ein mit einer Abschirmung versehenes Bauteil, wird die Prüfungseignung für das Erscheinungsbild auf 0 und die Eignung für die Röntgenprüfung auf 10 gesetzt. Darüber hinaus können die Eignungen beispielsweise für eine Prüfung, die sich auf eine Lötform bezieht, wie eine Prüfung, die sich auf einen Meniskus bezieht, derart eingestellt werden, dass die Erscheinungsbild-Prüfungseignung höher ist als die Röntgenprüfungseignung (beispielsweise Erscheinungsbild-Prüfungseignung = 7, Röntgenprüfungseignung = 4). Dennoch ist die Prüfungseignung auch bei einem Prüfobjekt, das sich auf eine Lötform bezieht, niedrig angesetzt, wenn sich das Prüfobjekt eines Bauteils in einem toten Winkel der Erscheinungsbildprüfung befindet oder aufgrund der Lagebeziehung zwischen dem Zielbauteil und einem benachbarten Bauteil durch Sekundärreflexion von dem Meniskus eines benachbarten Bauteils beeinträchtigt werden könnte.
Die Bildinformationen-Reflexionseinheit 412 verwendet die von der Musterbild-Erfassungseinheit 430 erlangten Daten zur Berechnung korrigierter Prüfungseignungen, die durch Korrektur der von der Anfangswert-Berechnungseinheit 411 berechneten Anfangswerte der Prüfungseignungen erhalten werden. Insbesondere in einem Fall, in dem es ein Bauteil gibt, für das eine Sekundärreflexion oder ein blinder Fleck in einem Musterbild der Erscheinungsbild-Prüfung bestätigt wird, oder in einem Fall, in dem eine unzureichende Leuchtdichte oder Sättigung in dem Bild vorhanden ist, wird eine korrigierte Prüfungseignung berechnet, die durch Abwärtskorrektur der auf das Bauteil bezogenen Prüfungseignung erhalten wird. Außerdem wird auch für die Prüfungseignung mit Röntgenstrahlen eine korrigierte Prüfungseignung berechnet, die durch Abwärtskorrektur der Prüfungseignung mit Röntgenstrahlen erhalten wird, wenn beispielsweise das durch ein Bauteil auf der Rückseite des Substrats verursachte Rauschen in einem Musterbild der Röntgenprüfung erheblich ist. Es ist zu beachten, dass eine solche Verarbeitung basierend auf einem Musterbild durchgeführt werden kann, indem eine Bewertung basierend auf der Luminanz oder dem Rauschanteil in der Bildverarbeitung des Musterbildes vorgenommen wird, oder durch Eingabe des Musterbildes in ein gelerntes Modell, das basierend auf früheren Prüfergebnissen trainiert wurde, erhalten werden kann. In der vorliegenden Ausführungsform entspricht die Bildinformationen-Reflexionseinheit 412 einer ersten Berechnungseinheit für die Eignung.
Die Verlaufsinformationen-Reflexionseinheit 413 berechnet korrigierte Prüfeignungen, die durch weitere Korrektur der Prüfungsvereignungs-Anfangswerte oder durch weitere Korrektur der korrigierten Prüfungsvereignungen unter Verwendung der von der Verlaufsinformationen-Erlangungseinheit 440 erlangten Informationen über den bisherigen Prüfungsverlauf erhalten werden. Insbesondere in einem Fall, in dem bei früheren Prüfungen des Erscheinungsbildes desselben Bauteils wie dem Prüfobjekt häufig Fehl-Erkennungen aufgetreten sind, kann eine korrigierte Prüfungseignung berechnet werden, die durch Abwärtskorrektur der Eignung der Erscheinungsbildprüfung erhalten wird. Es ist zu beachten, dass die Verlaufsinformationen-Reflexionseinheit 413 die korrigierte Prüfungseignung nicht zu berechnen braucht, wenn keine besonderen Prüfungsverlaufsinformationen zu berücksichtigen sind. In der vorliegenden Ausführungsform entspricht die Verlaufsinformationen-Reflexionseinheit 413 einer zweiten Eignungs-Berechnungseinheit.
(Verarbeitung zum Erzeugen des Prüfprogramms)
Nachfolgend wird bezugnehmend auf 3 ein Verfahrensablauf zur Erzeugung des Prüfprogramms im Prüfverwaltungssystem 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform beschrieben. 3 ist ein Flussdiagramm, das den Ablauf der Verarbeitung veranschaulicht. Wie in 3 dargestellt, werden zunächst die zu prüfenden Bauteile, die Prüfobjekte für die Bauteile, die Prüfkriterien, die als Kriterien für die Bewertung „erfüllt/nicht erfüllt“ in Bezug auf die Prüfobjekte dienen, und Ähnliches registriert, und es wird ein Anfangsprogramm erzeugt (S101). Diese Verarbeitung kann durch manuelle Eingabe durch einen Benutzer oder durch die Prüfprogramm-Erzeugungseinheit 450 der Prüfverwaltungsvorrichtung 40 durchgeführt werden.
Als nächstes werden Bilder einer fehlerfreien Probe des Substrats durch das Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 und das Röntgenprüfgerät 20 erfasst und die Musterbilddaten im Datenserver 30 (S102) gespeichert.
Als Nächstes erlangt die Prüfverwaltungsvorrichtung 40 über die Entwurfsinformationen-Erlangungseinheit 420 vom Datenserver 30 (S103) Entwurfsinformationen über das zu prüfende Substrat. Es ist zu beachten, dass in einem Fall, in dem die Entwurfsinformationen des zu prüfenden Substrats nicht im Voraus im Datenserver 30 gespeichert sind, die Entwurfsinformationen in diesem Stadium registriert werden können. Nachfolgend verwendet die Prüfverwaltungsvorrichtung 40 die Anfangswert-Berechnungseinheit 411 der Eignungs-Berechnungseinheit 410, um die Anfangswerte der Prüfungseignungen basierend auf den in Schritt S103 (S104) erlangten Entwurfsinformationen zu berechnen. Die Berechnung der Ausgangswerte der Prüfungseignungen erfolgt wie vorstehend beschrieben, so dass hier auf eine Beschreibung verzichtet wird.
Als Nächstes verwendet die Prüfverwaltungsvorrichtung 40 die Musterbild-Erlangungseinheit 430, um die in Schritt S102 erfassten Musterbilder des zu prüfenden Substrats vom Datenserver 30 (S105) zu erlangen. Danach verwendet die Prüfverwaltungsvorrichtung 40 die Bildinformationen-Reflexionseinheit 412 der Prüfeignungs-Berechnungseinheit 410, um basierend auf den in Schritt S105 (S106) erlangten Musterbildinformationen korrigierte Prüfungseignungen zu berechnen. Die Berechnung der korrigierten Prüfungseignungen durch die Bildinformationen-Reflexionseinheit 412 erfolgt wie vorstehend beschrieben, so dass hier auf eine Beschreibung verzichtet wird.
Als nächstes verwendet die Prüfverwaltungsvorrichtung 40 die Verlaufsinformationen-Erlangungseinheit 440, um vom Datenserver 30 Prüfungsverlaufsinformationen zu erlangen, die Prüfergebnisse von falschem Negativ und/oder falschem Positiv enthalten, die sich auf Bauteile derselben Art beziehen wie die auf dem Substrat angebrachten Bauteile (S107). Danach verwendet die Prüfverwaltungsvorrichtung 40 die Verlaufsinformationen-Reflexionseinheit 413 der Prüfeignungs-Berechnungseinheit 410, um basierend auf den in Schritt S107 (S108) erlangten Verlaufsinformationen korrigierte Prüfeignungen zu berechnen. Die Berechnung der korrigierten Prüfungseignungen durch die Verlaufsinformationen-Reflexionseinheit 413 erfolgt wie vorstehend beschrieben, so dass hier auf eine Beschreibung verzichtet wird.
Als nächstes verwendet die Prüfverwaltungsvorrichtung 40 die Prüfprogramm-Erzeugungseinheit 450, um das Anfangsprogramm unter Verwendung der durch die Verarbeitung von Schritt S104 bis Schritt S108 berechneten Prüfeignungen zu aktualisieren. Genauer gesagt bestimmt zunächst die Prüfprogramm-Erzeugungseinheit 450 für jedes Prüfobjekt, das sich auf jedes auf dem Substrat angebrachte Bauteil bezieht, ob Prüfungen durch das Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 und das Röntgen-Prüfgerät 20 (S109) durchzuführen sind („EIN/AUS“). Insbesondere wird die Prüfung EIN/AUS für jedes Prüfgerät so bestimmt, dass ein und dasselbe Prüfobjekt möglichst nicht redundant durch das Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 und das Röntgenprüfgerät 20 geprüft wird, während gleichzeitig sichergestellt wird, dass eine erforderliche Anzahl von Prüfungen für alle auf dem Substrat angebrachten Bauteile durchgeführt wird. Dadurch kann die Prüfwirksamkeit verbessert und das Auftreten von Fällen verringert werden, in denen eine Prüfung mit geringer Prüfungseignung durchgeführt wird und zu einer Fehl-Erkennung führt.
Es ist zu beachten, dass die EIN/AUS-Einstellung eines Prüfobjekts bestimmt werden kann, indem beispielsweise eine Regel wie die folgende berücksichtigt wird. Das heißt, die Regel kann lauten: „Schalte für jede mögliche Fehlerart die Prüfung für Prüfobjekte mit einer hohen Prüfungseignung EIN“ oder „Schalte für Fehlerarten, die nur Prüfobjekte mit einer niedrigen Prüfungseignung in jedem Prüfgerät aufweisen (z. B. Erscheinungsbild-Prüfungseignung = 5, Röntgenprüfungseignung = 4 usw.), die Prüfung durch beide Prüfgeräte EIN, um falsches Positiv zu vermeiden“, oder Ähnliches. Darüber hinaus ist es auch möglich, flexible Einstellungen für unterschiedliche Fälle vorzunehmen, wie z. B. „für die Prüfung des Meniskus nur dann eine Prüfung durch das Röntgenprüfgerät 20 durchführen, wenn das Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 den Meniskus als fehlerhaft bewertet.“
Nachfolgend prüft die Prüfverwaltungsvorrichtung 40, ob das Prüfprogramm, das die in Schritt S109 bestimmten Ein-/Aus-Einstellungen für die Prüfung enthält, aktualisiert werden kann, um die Taktzeit der Linie weiter zu verringern (S110). Genauer gesagt, in einem Fall, in dem die Prüfungseignungen sowohl des Erscheinungsbild-Prüfgeräts 10 als auch des Röntgenprüfgeräts 20 ein vorbestimmtes Kriterium erfüllen und die Prüfgenauigkeit des Prüfobjekts in beiden Fällen gewährleistet ist (z. B. Erscheinungsbild-Prüfgerät-Eignung = 8, Röntgenprüfgerät-Eignung = 8), wird die EIN/AUS-Einstellung der Prüfung derart aktualisiert, dass die Taktzeit des gesamten Prüfvorgangs verringert wird (d. h. dass die Effizienz verbessert wird). Das Prüfprogramm kann beispielsweise basierend auf einem Kriterium wie „Prüfung mit dem Prüfgerät durchführen, dessen Bildfeldnummer sich bei der Prüfung des Prüfobjekts nicht erhöht“ oder „die für die Prüfung eines ähnlichen Prüfobjekts erforderliche Zeit anhand von Prüfungsverlaufsinformationen abschätzen und die Prüfung mit dem Gerät durchführen, das keinen Engpass verursacht“ aktualisiert werden.
Die Prüfverwaltungsvorrichtung 40 speichert das derart erzeugte (aktualisierte) Prüfprogramm im Datenserver 30 (oder in jedem Prüfgerät) (S111) und beendet die Serie der Prüfprogrammerstellung. Außerdem prüfen das Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 und das Röntgenprüfgerät 20 das Substrat gemäß dem Prüfprogramm.
Mit dem Prüfverwaltungssystem der vorliegenden Ausführungsform, wie vorstehend beschrieben, ist es möglich, in einem Prüfsystem des mit Bauteilen bestückten Substrats, das das Erscheinungsbild-Prüfgerät und das Röntgenprüfgerät umfasst, für jedes Prüfobjekt, das sich auf jedes auf dem Substrat angebrachte Bauteil bezieht, Prüfeignungen zu berechnen und basierend auf den Prüfeignungen ein Prüfprogramm zu erzeugen, mit dem eine effiziente Prüfung unter Gewährleistung der Prüfabdeckung durchgeführt werden kann. Dadurch kann die Prüfwirksamkeit verbessert und gleichzeitig die Prüfgenauigkeit gewährleistet werden.
< Sonstiges >
Die vorstehenden Beispiele dienen lediglich der Veranschaulichung der vorliegenden Erfindung, und die vorliegende Erfindung ist nicht auf die vorstehend beschriebenen spezifischen Aspekte beschränkt. Die vorliegende Erfindung kann im Rahmen des technischen Gedankens der vorliegenden Erfindung auf verschiedene Weise modifiziert und kombiniert werden. Obwohl das System in jedem der vorstehend beschriebenen Beispiele zwei Arten von Prüfgeräten umfasst, die zwei Arten von Abbildungseinheiten entsprechen, ist die vorliegende Erfindung auch auf ein System anwendbar, das darüber hinaus ein weiteres Prüfgerät mit einer Abbildungseinheit umfasst. Alternativ kann das System eine Konfiguration aufweisen, bei der ein Prüfgerät mit einer Vielzahl von Abbildungseinheiten und einer Vielzahl von Prüfeinheiten ausgestattet ist, die den Abbildungseinheiten entsprechen. Obwohl die vorliegende Erfindung in den vorstehenden Beispielen als System mit einem Prüfgerät beschrieben wird, kann sie auch als Verwaltungsvorrichtung für ein Prüfsystem mit einem Prüfgerät wie dem vorstehend beschriebenen betrachtet werden.
Darüber hinaus kann im Ablauf der Verarbeitung zum Erzeugen des Prüfprogramms der vorstehend beschriebenen Ausführungsform natürlich die Reihenfolge der Verarbeitung von Schritt S105 bis Schritt S108 geändert werden. Darüber hinaus müssen einer oder alle der Prozesse von Schritt S106, Schritt S108 und Schritt S110 nicht durchgeführt werden.
Obwohl die vorstehend beschriebene Ausführungsform eine Konfiguration aufweist, in der die Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40 zur Erstellung des Prüfprogramms getrennt von dem Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 und dem Röntgen-Prüfgerät 20 eingerichtet ist, kann jede Funktionseinheit der Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40 entweder in dem Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 oder dem Röntgen-Prüfgerät 20 vorgesehen werden, um die Verarbeitung jedes der vorstehend beschriebenen Schritte durchzuführen, ohne dass die Prüfungsverwaltungsvorrichtung 40 separat vorgesehen ist.
Obwohl das Erscheinungsbild-Prüfgerät 10 in den vorstehenden Ausführungen mit einem Prüfverfahren beschrieben wird, das eine Kombination aus dem Phasenverschiebungsverfahren und dem Farbhervorhebungsverfahren ist, kann das Gerät auch ein Erscheinungsbild-Prüfgerät sein, das die Prüfung nur mit dem Phasenverschiebungsverfahren oder nur mit dem Farbhervorhebungsverfahren durchführt.
Darüber hinaus ist die vorliegende Erfindung nicht auf die Kombination des Erscheinungsbild-Prüfgeräts und des Röntgenprüfgeräts beschränkt, sondern kann auch auf eine Kombination aus einem Laser-Scanning-Messgerät und dem Röntgenprüfgerät angewendet werden.
< Ergänzende Anmerkung 1 >
Prüfsystem (1), umfassend:

(1 + n) Arten von Abbildungseinheiten (110, 210), die jeweils eingerichtet sind, um ein Bild eines mit Bauteilen bestückten Substrats, das ein Prüfobjekt ist, zu erfassen und Bilddaten zu erlangen;
(1 + m) Arten von Prüfeinheiten (10, 20), die jeweils eingerichtet sind, um basierend auf (1 + n) Arten von Bilddaten, die jeweils von den (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten erlangt wurden, eine Prüfung durchzuführen, die jeder der (1 + n) Arten von Bilddaten entspricht;
eine Prüfungseignungs-Berechnungseinheit (410), die eingerichtet ist, um für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, Prüfungseignungen zu berechnen, die jeweils eine Eignung jeder der (1 + m) Arten von Prüfungen, die von den (1 + m) Arten von Prüfeinheiten zur Erkennung einer Anomalie anhand des Prüfobjekts durchgeführt werden, angeben; und
eine Prüfprogramm-Erzeugungseinheit (450), die eingerichtet ist, um ein Prüfprogramm für das mit Bauteilen bestückte Substrat zu erzeugen oder zu aktualisieren
wobei die Prüfprogramm-Erzeugungseinheit basierend auf den Prüfungseignungen bestimmt, ob jede der (1 + m) Arten von Prüfungen für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, durchzuführen ist.

< Ergänzende Anmerkung 2 >
Prüfverwaltungsvorrichtung, die eine Vorrichtung (93) ist, die eingerichtet ist, um eine Prüfung durch ein Prüfsystem (9) zu verwalten, das Prüfsystem umfassend (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten (911, 921), die jeweils eingerichtet sind, um ein Bild eines mit Bauteilen bestückten Substrats (O), das ein Prüfobjekt ist, zu erfassen und Bilddaten zu erlangen, und (1 + m) Arten von Prüfeinheiten (91, 92), die jeweils eingerichtet sind, um basierend auf (1 + n) Arten von Bilddaten, die jeweils von den (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten erlangt werden, eine Prüfung entsprechend jeder der (1 + n) Arten von Bilddaten durchzuführen, die Prüfverwaltungsvorrichtung umfassend:

eine Prüfungseignungs-Berechnungseinheit (931), die eingerichtet ist, um für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, Prüfungseignungen zu berechnen, die jeweils eine Eignung jeder der (1 + m) Arten von Prüfungen, die von den (1 + m) Arten von Prüfeinheiten zur Erkennung einer Anomalie anhand des Prüfobjekts durchgeführt werden, angeben; und
eine Prüfprogramm-Erzeugungseinheit (932), die eingerichtet ist, um ein Prüfprogramm für das mit Bauteilen bestückte Substrat zu erzeugen oder zu aktualisieren
wobei die Prüfprogramm-Erzeugungseinheit basierend auf den Prüfungseignungen bestimmt, ob jede der (1 + m) Arten von Prüfungen für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, durchzuführen ist.

< Ergänzende Anmerkung 3 >
Prüfprogramm-Erzeugungsverfahren für ein Prüfsystem, das (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten enthält, die jeweils eingerichtet sind, um ein Bild eines mit Bauteilen angebrachten Substrats, das ein Prüfobjekt ist, zu erfassen und Bilddaten zu erlangen, und (1 + m) Arten von Prüfeinheiten, die jeweils eingerichtet sind, um basierend auf (1 + n) Arten von Bilddaten, die jeweils von den (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten erlangt werden, eine Prüfung entsprechend jeder der (1 + n) Arten von Bilddaten durchzuführen, das Prüfprogramm-Erzeugungsverfahren umfassend:

einen Prüfungseignungs-Berechnungsschritt (S104, S106, S108) des Berechnens für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, von Prüfungseignungen, die jeweils eine Eignung jeder der (1 + m) Arten von Prüfungen, die von den (1 + m) Arten von Prüfeinheiten zur Erkennung einer Anomalie anhand des Prüfobjekts durchgeführt werden, angeben; und

BEZUGSZEICHENLISTE

1,9: Ssubstratprüfsystem
10: Erscheinungsbild-Prüfgerät
110: Erscheinungsbild-Abbildungseinheit
120: Erscheinungsbild-Messeinheit
130: Erscheinungsbild-Prüfeinheit
20: Röntgenprüfgerät
210: Röntgenbild-Erfassungseinheit
220: Röntgenmesseinheit
230: Röntgen-Prüfeinheit
30: Datenserver
40, 93: Prüfverwaltungsvorrichtung
410, 93: Prüfungseignungs-Berechnungseinheit
450, 932: Prüfprogramm-Erzeugungseinheit
91, 92: Prüfgerät
911, 921: Abbildungseinheit
O: mit Bauteilen bestücktes Substrat

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2012151250 A [0004]
JP 5522065 B [0004]

Claims

Prüfsystem umfassend: (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten, die jeweils eingerichtet sind, um ein Bild eines mit Bauteilen bestückten Substrats, das ein Prüfobjekt ist, zu erfassen und Bilddaten zu erlangen; (1 + m) Arten von Prüfeinheiten, die jeweils eingerichtet sind, um basierend auf (1 + n) Arten von Bilddaten, die jeweils von den (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten erlangt wurden, eine Prüfung entsprechend jeder der (1+n) Arten von Bilddaten durchzuführen; eine Prüfungseignungs-Berechnungseinheit, die eingerichtet ist, um für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, Prüfungseignungen zu berechnen, die jeweils eine Eignung jeder der (1 + m) Arten von Prüfungen, die von den (1 + m) Arten von Prüfeinheiten zur Erkennung einer Anomalie anhand des Prüfobjekts durchgeführt werden, angeben; und eine Prüfprogramm-Erzeugungseinheit, die eingerichtet ist, um ein Prüfprogramm für das mit Bauteilen bestückte Substrat zu erzeugen oder zu aktualisieren, wobei die Prüfprogramm-Erzeugungseinheit basierend auf den Prüfungseignungen bestimmt, ob jede der (1 + m) Arten von Prüfungen für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, durchzuführen ist.
Prüfsystem nach Anspruch 1, ferner umfassend: eine Musterbild-Erlangungseinheit, die eingerichtet ist, um (1 + n) Arten von Musterbildern des mit Bauteilen bestückten Substrats, die jeweils von den (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten erfasst werden, zu erlangen, wobei die Prüfungseignungs-Berechnungseinheit eine erste Prüfungseignungs-Berechnungseinheit umfasst, die eingerichtet ist, um, basierend auf den (1 +n) Arten von Musterbildern, die Prüfungseignungen zu berechnen.
Prüfsystem nach Anspruch 2, wobei die erste Prüfungseignungs-Berechnungseinheit ein gelerntes Modell aufweist, das durch das Durchführen von maschinellem Lernen unter Verwendung eines Trainingsdatensatzes, der Prüfbilddaten, die sich auf das mit Bauteilen bestückte Substrat beziehen, aufweist, erhalten wurde, wodurch ein falsches Negativ und/oder ein falsches Positiv in zumindest einer der (1 + m) Arten von Prüfungen, die in der Vergangenheit durchgeführt wurden, entstanden ist.
Prüfsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3, ferner umfassend: eine Prüfungsverlaufs-Erlangungseinheit, die eingerichtet ist, um Prüfungsverlaufsinformationen der Vergangenheit zu erlangen, einschließlich eines Prüfergebnisses von falschem Negativ und/oder falschem Positiv, das sich auf Bauteile der gleichen Art bezieht wie die auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile, wobei die Prüfungseignungs-Berechnungseinheit eine zweite Prüfungseignungs-Berechnungseinheit umfasst, die eingerichtet ist, um die Prüfungseignungen basierend auf den Prüfungsverlaufsinformationen zu berechnen.
Prüfsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, ferner umfassend: eine Entwurfsinformationen-Erlangungseinheit, die eingerichtet ist, um Entwurfsinformationen zu erlangen, die sich auf das mit Bauteilen bestückte Substrat beziehen, wobei die Prüfungseignungs-Berechnungseinheit eine Anfangswert-Berechnungseinheit aufweist, die eingerichtet ist, um basierend auf den Entwurfsinformationen Anfangswerte der Prüfungseignungen zu berechnen.
Prüfsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Prüfungseignungen entsprechend jeder der (1 + m) Arten von Prüfungen einzeln berechnet werden, und die Prüfungseignungs-Berechnungseinheit die Prüfungseignungen aller (1 + m) Arten von Prüfungen für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der Bauteile beziehen, berechnet.
Prüfsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Prüfprogramm-Erzeugungseinheit bestimmt, ob die (1 + m) Arten von Prüfungen für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der Bauteile beziehen, basierend auf den Prüfungseignungen durchzuführen sind, so dass zumindest eine der (1 + m) Arten von Prüfungen für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, durchgeführt wird und alle (1 + m) Arten von Prüfungen für das Prüfobjekt, für das keine der Prüfungseignungen der (1 + m) Arten von Prüfungen ein vorbestimmtes Kriterium erfüllt hat, durchgeführt werden.
Prüfsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Prüfprogramm-Erzeugungseinheit eingerichtet ist, eine der (1 + m) Arten von Prüfungen durchzuführen, um die Taktzeit, die sich auf die Prüfung des mit Bauteilen bestückten Substrats bezieht, für das Prüfobjekt, für das sich ein Unterschied zwischen den Prüfeignungen der (1 + m) Arten von Prüfungen innerhalb eines vorbestimmten Bereichs befindet, zu verringern.
Prüfsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten eine erste Abbildungseinheit, die eine Visuell-Kamera ist, und eine zweite Abbildungseinheit, die eine Röntgenkamera ist, umfassen, und die (1 + m) Arten von Prüfungen eine auf den von der ersten Abbildungseinheit erlangten Primärbilddaten basierende Primärprüfung und eine auf den von der zweiten Abbildungseinheit erlangten Sekundärbilddaten basierende Sekundärprüfung umfassen.
Prüfverwaltungsvorrichtung, die eine Vorrichtung ist, die eingerichtet ist, um eine Prüfung durch ein Prüfsystem zu verwalten, das Prüfsystem umfassend (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten, die jeweils eingerichtet sind, um ein Bild eines mit Bauteilen bestückten Substrats, das ein Prüfobjekt ist, zu erfassen und Bilddaten zu erlangen, und (1 + m) Arten von Prüfeinheiten, die jeweils eingerichtet sind, um basierend auf (1 + n) Arten von Bilddaten, die jeweils von den (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten erlangt werden, eine Prüfung entsprechend jeder der (1 + n) Arten von Bilddaten durchzuführen, die Prüfverwaltungsvorrichtung umfassend: eine Prüfungseignungs-Berechnungseinheit, die eingerichtet ist, um für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, Prüfungseignungen zu berechnen, die jeweils eine Eignung jeder der (1 + m) Arten von Prüfungen, die von den (1 + m) Arten von Prüfeinheiten zur Erkennung einer Anomalie anhand des Prüfobjekts durchgeführt werden, angeben; und eine Prüfprogramm-Erzeugungseinheit, die eingerichtet ist, um ein Prüfprogramm für das mit Bauteilen bestückte Substrat zu erzeugen oder zu aktualisieren, wobei die Prüfprogramm-Erzeugungseinheit basierend auf den Prüfungseignungen bestimmt, ob jede der (1 + m) Arten von Prüfungen für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, durchzuführen ist.
Prüfprogramm-Erzeugungsverfahren für ein Prüfsystem, das (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten aufweist, die jeweils eingerichtet sind, um ein Bild eines mit Bauteilen angebrachten Substrats, das ein Prüfobjekt ist, zu erfassen und Bilddaten zu erlangen, und (1 + m) Arten von Prüfeinheiten, die jeweils eingerichtet sind, um basierend auf (1 + n) Arten von Bilddaten, die jeweils von den (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten erlangt werden, eine Prüfung entsprechend jeder der (1+n) Arten von Bilddaten durchzuführen, das Prüfprogramm-Erzeugungsverfahren umfassend: einen Prüfungseignungs-Berechnungsschritt des Berechnens für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, von Prüfungseignungen, die jeweils eine Eignung jeder der (1 + m) Arten von Prüfungen, die von den (1 + m) Arten von Prüfeinheiten zur Erkennung einer Anomalie anhand des Prüfobjekts durchgeführt werden, angeben; und einen Prüfdurchführungs-Bestimmungsschritt des Bestimmens, basierend auf den Prüfungseignungen, ob jede der (1 + m) Arten von Prüfungen für jedes der Prüfobjekte, die sich auf jedes der auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile beziehen, durchzuführen ist.
Prüfprogramm-Erzeugungsverfahren nach Anspruch 11, ferner umfassend: einen Musterbild-Erlangungsschritt des Erlangens von (1 + n) Arten von Musterbildern des mit Bauteilen bestückten Substrats, die jeweils von den (1 + n) Arten von Abbildungseinheiten erfasst werden, wobei der Prüfungseignungs-Berechnungsschritt einen ersten Eignungs-Berechnungsschritt des Berechnens von Prüfungseignungen basierend auf den (1 + n) Arten von Musterbildern umfasst.
Prüfprogramm-Erzeugungsverfahren nach Anspruch 11 oder 12, ferner umfassend: einen Prüfungsverlaufs-Erfassungsschritt des Erlangens von Prüfungsverlaufsinformationen der Vergangenheit, einschließlich eines Prüfergebnisses von falschem Negativ und/oder falschem Positiv, das sich auf Bauteile derselben Arten wie die auf dem mit Bauteilen bestückten Substrat angebrachten Bauteile bezieht, wobei der Prüfungseignungs-Berechnungsschritt einen zweiten Eignungs-Berechnungsschritt des Berechnens von Prüfungseignungen basierend auf den Prüfungsverlaufsinformationen umfasst.
Prüfprogramm-Erzeugungsverfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 13, ferner umfassend: einen Entwurfsinformationen-Erlangungsschritt des Erlangens von Entwurfsinformationen, die sich auf das mit Bauteilen bestückte Substrat beziehen, wobei der Prüfungseignungs-Berechnungsschritt einen Anfangswert-Berechnungsschritt des Berechnens von Anfangswerten der Prüfungseignungen basierend auf den Entwurfsinformationen umfasst.
Programm zum Veranlassen eines Computers, jeden Schritt des Prüfprogramm-Erzeugungsverfahrens nach einem der Ansprüche 11 bis 14 durchzuführen.