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Hintergrund der Erfindung
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1. Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich im Allgemeinen auf Ventile für Module
von Halbleiterbearbeitungseinrichtungen und insbesondere auf Ventile
mit zwei Schiebern und Verfahren zur Verwendung derartiger Ventile
zwischen einzelnen Kammern der Halbleiterbearbeitungseinrichtungen,
so dass der Betrieb in einer Kammer fortgesetzt werden kann, während die
andere Kammer gewartet wird.
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2. Beschreibung der verwandten
Technik
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Bei
der Herstellung von Halbleiterelementen sind die Bearbeitungskammern
miteinander verbunden, um beispielsweise den Transport von Wafern zwischen
den verbundenen Kammern zu gestatten. Ein derartiger Transport findet
mit Transportmodulen statt, die die Wafer beispielsweise durch Schlitze oder Öffnungen
bewegen, die in den benachbarten Wänden der verbundenen Kammern
vorgesehen sind. Beispielsweise werden Transportmodule im Allgemeinen
im Zusammenhang mit einer Vielzahl von Substratbearbeitungsmodulen,
die Halbleiter-Ätzsysteme,
Materialabscheidesysteme und Flachbildschirm-Ätzsysteme umfassen können, verwendet. Aufgrund
der wachsenden Anforderungen an die Reinheit und hohe Bearbeitungsgenauigkeit
gibt es einen wachsenden Bedarf an der Reduzierung der menschlichen
Eingriffe während
und zwischen einzelnen Bearbeitungsschritten. Dieser Bedarf wurde teilweise
durch den Einsatz von Transportmodulen erfüllt, die als zwischengeschaltete
Handhabungsgeräte
arbeiten (die typischerweise auf einem reduzierten Druck, z.B. unter
Vakuumbedingungen, gehalten werden). Beispielsweise kann ein Transportmodul physikalisch
zwischen einem oder mehreren Reinraumiagereinrichtungen, in denen
Substrate gelagert werden, und mehreren Substratbearbeitungsmodulen,
in denen die eigentliche Bearbeitung der Substrate stattfindet,
z.B. Ätz-
oder Abscheidevorgänge vorgenommen
werden, angeordnet sein. Auf diese Weise kann, wenn es erforderlich
ist, ein Substrat zu bearbeiten, ein innerhalb des Transportmoduls
angeordneter Roboterarm verwendet werden, um ein ausgewähltes Substrat
aus dem Lager zu nehmen und es in einem der mehreren Bearbeitungsmodule
zu platzieren.
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Wie
einem Fachmann gut bekannt ist, wird die Anordnung von Transportmodulen
zum "Transport" von Substraten zwischen
den mehreren Lagereinrichtungen und Bearbeitungsmodulen oft als "Cluster-Werkzeug-Architektur"-System bezeichnet. Die 1 zeigt
eine typische Halbleiterbearbeitungs-Cluster-Architektur 100,
in der die verschiedenen Kammern, die mit einem Transportmodul 106 verbunden
sind, dargestellt werden. Das Transportmodul 106 ist dahingehend
dargestellt, dass es mit drei Bearbeitungsmodulen 108a–108c verbunden
ist, die einzeln optimiert werden können, um verschiedene Herstellungsprozesse
durchzuführen.
Beispielsweise können
die Bearbeitungsmodule 108a–108c ausgebildet
sein, um transformatorgekoppeltes Plasma(TCP-)-Substratätzen, Abscheiden
von Schichten und/oder Sputterprozesse durchzuführen.
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Mit
dem Transportmodul 106 ist eine Ladeschleuse 104 verbunden,
die verwendet werden kann, um Substrate in das Transportmodul 106 einzubringen.
Die Ladeschleuse 104 kann mit einem Reinraum 102,
in dem Substrate gelagert werden, verbunden sein. Zusätzlich zu
der Funktion eines Aufnahme- und Zuführungsmechanismus dient die Ladeschleuse 104 auch
als druckvariierende Schnittstelle zwischen dem Transportmodul 106 und
dem Reinraum 102. Daher kann das Transportmodul 106 auf
einem konstanten Druck (z.B. Vakuum) gehalten werden, während der
Reinraum 102 auf atmosphärischem Druck gehalten wird.
Um Undichtigkeiten zwischen den Modulen während der Übergänge mit Druckänderungen
zu vermeiden oder um ein Bearbeitungsmodul gegenüber dem Transportmodul 106 während der
Bearbeitung abzudichten, werden verschiedene Arten von Absperrschieberventilen
verwendet, um die verschiedenen Module zu isolieren.
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Für weitere
Informationen in Bezug auf Absperrschieberventile wird auf das
US-Patent Nr. 4,721,282 verwiesen.
Ein anderes derartiges Absperrschieberventil ist in dem
US-Patent 5,667,197 gezeigt,
bei dem ein Ventilgehäuse
nach dem Stand der Technik mit zwei Zugangsöffnungen gezeigt ist, wobei
nur ein Ventil für
eine der beiden Zugangsöffnungen
vorgesehen ist. Somit ist es weder möglich, jede der beiden Öffnungen
zum gleichen Zeitpunkt zu schließen, noch nur die Öffnung zu
schließen,
der kein Ventil zugeordnet ist. Das Absperrschieberventil des '282-er Patents wird
auch dahingehend dargestellt, dass eine Öffnung zwischen aneinander
anstoßenden
Transport- und Bearbeitungskammern geschlossen wird und kein zwischengeschaltetes
Ventilgehäuse
vorgesehen ist. Eine Antriebsanordnung für den Absperrschieber bewegt
den Absperrschieber mit einer kontinuierlichen Bewegung auf einem vertikalen
Weg und in einem umlaufenden Bogen in Richtung auf die innere Öffnung,
um ein Abdichten oder Schließen
der inneren Öffnung
zu bewirken.
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Das
US-Patent 5,150,882 zeigt
ein Ventil zwischen verschiedenen Kammern eines Behandlungssystems,
einschließlich
zwischen einer Dekompressionskammer und einer Ätzkammer. Solch ein Ventil
wird zum Schließen
und öffnen
einer Gatteröffnung
durch einen Luftzylinder und eine Gelenkanordnung so angetrieben,
dass Stopperplatten mit einer erheblichen Aufprallkraft gegen Rollereinrichtungen stoßen. Eine
ursprünglich
vertikale Bewegung einer Halterungsplatte wird durch das Gelenk,
das gegen den Uhrzeigersinn gedreht wird, in eine horizontale Bewegung
umgewandelt, so dass sich das Gatter in Richtung auf die Gatteröffnung bewegt.
Um Probleme zu vermeiden, sind die Stopperplatten bei dem '882-er Patent aus
einer Doppelborid-Hartlegierung hergestellt. Ferner wird die eine
Bewegung des Luftzylinders nicht gestoppt, sondern die antreibende
Arbeitsweise wird fortgesetzt, nachdem die Stopperplatten gegen
die Rollereinrichtungen gestoßen
sind. Zusätzlich
zu der Notwendigkeit, spezielle Materialien zu verwenden, stellt
das '882-er Patent
keine zwei Ventile zwischen benachbarten Bearbeitungskammern zur
Verfügung.
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Die
EP-A-377464 , die
eine Halbleiterbearbeitungs-Cluster-Architektur-Anordnung gemäß dem Oberbegriff
des Anspruchs 1 offenbart, stellt einen weiteren relevanten Stand
der Technik dar.
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Angesichts
der obigen Ausführungen
besteht ein Bedarf an einer Ventilanordnung zwischen benachbarten
Bearbeitungs- oder Transportkammern, bei der die Arbeitsvorgänge in einer
dieser Kammern fortgesetzt werden können, während in der anderen Kammer
beispielsweise eine Wartung durchgeführt wird.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Allgemein
gesprochen stellt die vorliegende Erfindung eine Halbleiterbearbeitungs-Cluster-Architektur-Anordnung
gemäß Anspruch
1 zur Verfügung. Die
bevorzugten Ausführungsformen
dieser Anordnung werden in den Unteransprüchen definiert. Für jede(n)
der beiden Gehäuseöffnungen
oder -schlitze sind separate Ventile vorgesehen, so dass eine Gehäuseöffnung und
eine passende Öffnung
der Bearbeitungskammern oder der Transportkammern beispielsweise
unabhängig
von der anderen kooperierenden Gehäuseöffnung und Bearbeitungskammeröffnung separat
geschlossen oder geöffnet
werden können.
Die separaten Ventile ermöglichen
das Aufrechterhalten eines Vakuums beispielsweise in einer Transportkammer,
während
eine benachbarte Bearbeitungskammer relativ zu der Umgebung geöffnet wird,
um die Durchführung
von Wartungsarbeiten zu gestatten. Als Ergebnis werden Stillstandzeiten
im Wesentlichen vermieden, da kein Abpumpzyklus erforderlich ist,
um die Transportkammer auf ein gewünschtes Vakuum zu bringen,
nachdem die Bearbeitungskammer gewartet wurde und es müssen auch
keine anderen durch die Wartung der Bearbeitungskammer verursachte
Arbeiten an der Transportkammer durchgeführt werden.
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Bei
einer unter Vakuum stehenden Transportkammer und bei einer durch
eine Ventiltür
geschlossene Öffnung
der der Transportkammer benachbarten Bearbeitungskammer können auch
keine sich in der Bearbeitungskammer befindenden korrodierenden
Gase und Plasma die Transportkammer verschmutzen und die der Transportkammer
zugewandte Ventiltür
wird als Reaktion auf Materialien, die sich in der Bearbeitungskammer
befinden, keinen Ätzvorgängen unterworfen.
Somit muss im Allgemeinen lediglich die der Bearbeitungskammer zugewandte
Ventiltür
bei der Wartung ausgetauscht werden, wenn sie korrodiert ist, und
die Transportkammer kann während
dieses Austauschs unter Vakuumbedingungen verbleiben. Schließlich reduziert
die andere Ventiltür
zwischen dem Ventil und der Bearbeitungskammer die Korrosion der
Bälge und
anderer Teile des Ventils.
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Ferner
weist das doppelseitige Schlitzventil diese Vorteile auf, während es
zunächst
einen leichten Zugang zu einem geöffneten Ventil gestattet, um Wartungsarbeiten
an dem Ventil durchzuführen.
Dieser einfache Zugang wird durch einen Antrieb ermöglicht,
der das Ventil in einer OFFENEN Stellung ohne seitlichen Abstand
(d.h. vertikalen Abstand) relativ zu der Öffnung stoppt. In dieser OFFENEN
Stellung kann das Ventil von der behandschuhten Hand einer Wartungsperson
erreicht werden. Ein separater Antrieb hat dann die Funktion, das
Ventil seitwärts
aus der OFFENEN Stellung und weg von der Öffnung zu bewegen, um die um
die Öffnung
herum angeordnete Dichtfläche
freizulegen, wodurch beispielsweise ein Reinigen der Dichtfläche ermöglicht wird.
Aufgrund des vertikalen Abstands zwischen dem seitwärts bewegten
Ventil und einer Zugangsöffnung,
die normalerweise von einem Deckel geschlossen ist, ist es im Allgemeinen
nach der seitlichen Bewegung schwierig für den Arbeiter, das Ventil
für Wartungsarbeiten
mit dem Schutzhandschuh zu erreichen. In der vertikal veränderten
Stellung stört
das Ventil jedoch nicht bei Reinigungsarbeiten um die Ventiltür herum,
einschließlich
der Oberfläche,
gegen die sich die Tür dichtend
anlegt. Zusätzlich
können
die Betätigungswellen
jeder der Schlitzventiltüren
relativ zueinander versetzt positioniert werden, um den im Reinraum von
dem Ventilgehäuse
beanspruchten Platz beispielsweise zwischen benachbarten Transport-
und Bearbeitungskammern zu reduzieren.
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Es
ist selbstverständlich,
dass während
des fortlaufenden Betriebs in der einen Kammer von den zwei benachbarten
Kammern, viele Arten von Wartungsarbeiten in der anderen der beiden
Kammern durchgeführt
werden können.
Derartige Wartungsarbeiten können
beispielsweise das Entfernen von zerbrochenen Teilen eines Wafers
aus einer Kammer oder einem Ventilgehäuse, das Reinigen der Dichtflächen einer Öffnung,
das Reinigen des Innenraums einer Kammer und das Entfernen und Ersetzen
eines Teils eines Ventils (z.B. einer Tür oder eines O-Rings) umfassen,
das eine Abdichtung an der Dichtungsoberfläche bewirkt. Diese und andere
Arbeiten zum Beispiel zur Wartung derartiger Kammern bei einem normalen
Betrieb bei der Halbleiterbearbeitung werden hier als "Instandhaltung" oder "Service" bezeichnet.
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Andere
Aspekte und Vorteile der Erfindung gehen aus der folgenden genauen
Beschreibung im Zusammenhang mit den beigefügten Zeichnungen, die anhand
von Beispielen die Prinzipien der Erfindung erläutern, hervor.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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Die
vorliegende Erfindung wird durch die folgende genaue Beschreibung
im Zusammenhang mit den beigefügten
Zeichnungen, in denen gleiche Bezugszeichen gleiche Bauteile bezeichnen,
problemlos verstanden werden.
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1 zeigt
eine typische Halbleiterbearbeitungs-Cluster-Architektur nach dem
Stand der Technik, die verschiedene, eine Schnittstelle zu einem Transportmodul
aufweisende Kammern aufweist, wobei sich ein einziger Türflügel in einer
Kammer oder dem Modul befindet, so dass sowohl die Kammer als auch
das Modul abgeschaltet werden müssen,
um an einem von den beiden Wartungsarbeiten vornehmen zu können.
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2 zeigt
ein doppelseitiges Schlitzventil gemäß der vorliegenden Erfindung,
das jeweils zwischen dem Transportmodul und der benachbarten Bearbeitungskammer
angeordnet ist, wobei zwei Türflügel in einem
Ventilvakuumkörper
eines Ventilgehäuses
zwischen dem Transportmodul und den Bearbeitungsmodulen vorgesehen
sind, so dass nur ein ausgewähltes
Modul abgeschaltet werden muss, um Wartungsarbeiten an dem ausgewählten Modul durchführen zu
können.
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3 ist
eine Draufsicht auf ein doppelseitiges Schlitzventil der vorliegenden
Erfindung, das einen Ventilvakuumkörper aufweist, dessen Breite durch
gegenüberliegende
Wände bestimmt
wird, wobei ein Schlitz in jeder Wand vorgesehen ist, um zu gestatten,
dass Wafer von einem Transportmodul in ein Bearbeitungsmodul überführt werden,
wobei jeder der Schlitze gezielt durch eine der beiden Türen mittels
eines Betätigens
eines von zwei separaten Betätigungselementen
geschlossen werden kann, um einen fortgesetzten Betrieb des Transportmoduls zu
gestatten, während
das Bearbeitungsmodul gewartet wird.
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4A ist
eine schematische Darstellung von Steuereinrichtungen zum Steuern
der Bewegungen einer entsprechenden ersten Tür und einer entsprechenden
zweiten Tür
des Ventils, wobei die Steuereinrichtungen mit einem Computer-Arbeitsplatz
verbunden sind, der zum Betätigen
des doppelseitigen Schlitzventils vorgesehen ist.
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4B zeigt
drei Schalter als Eingabeelemente für die Steuereinrichtungen,
um das Steuern der Bewegungen der ersten Tür und der zweiten Tür des Ventils
zu vereinfachen.
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5A zeigt
ein Ablaufdiagramm, das die Arbeitsvorgänge bei einem Verfahren zur
Wartung eines mit dem Transportmodul zusammenarbeitenden Bearbeitungsmoduls
verdeutlicht, wobei das Verfahren das Steuern der Bewegung der ersten
Tür und der
zweiten Tür
des Ventils umfasst, um einen fortgesetzten Betrieb des Transportmoduls
zu gestatten, während
das Bearbeitungsmodul gewartet wird.
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5B zeigt
ein Ablaufdiagramm, das die Arbeitsvorgänge bei einem Verfahren zur
Wartung eines mit dem Bearbeitungsmodul zusammenarbeitenden Transportmoduls
verdeutlicht, wobei das Verfahren das Steuern der Bewegung der ersten
Tür und der
zweiten Tür
des Ventils umfasst, um einen fortgesetzten Betrieb des Bearbeitungsmoduls
zu gestatten, während
das Transportmodul gewartet wird.
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6A ist
eine vertikale Schnittansicht entlang der Linie 6-6 in 3,
die eines der zwei doppelseitigen Schlitzventile der vorliegenden
Erfindung in der OFFENEN und UNTEREN Stellung zeigt, wobei eines
der beiden Betätigungselemente
zum Schließen
von einer der beiden Türen
dargestellt ist und wobei das eine Betätigungselement zwei separat steuerbare
Bewegungen umfasst, um ein Durchführen ausgewählter Wartungsarbeiten beispielsweise an
dem Bearbeitungsmodul zu gestatten, während der Betrieb in dem Transportmodul
fortgesetzt wird.
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6B ist
eine vertikale Schnittansicht ähnlich
der 6A, die das eine Ventil der vorliegenden Erfindung
in der OFFENEN und OBEREN Stellung zeigt, um Wartungsarbeiten an
der dem einen Ventil zugeordneten Tür zu vereinfachen.
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6C ist
eine den 6A und 6B ähnliche
vertikale Schnittansicht, die das eine Ventil der vorliegenden Erfindung
in der OBEREN und GESCHLOSSENEN Stellung zeigt, um den dem einen Ventil
zugeordneten Schlitz zu schließen.
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6D ist
eine schematische Ansicht des einen doppelseitigen Schlitzventils
der vorliegenden Erfindung, in der das Betätigungselement mit einem Öffnungs/Schließ-Luftzylinder gezeigt
ist, der einen Schlitten auf einer Drehplatte dreht, um die Tür in die OFFENE
oder GESCHLOSSENE Stellung zu bewegen, wobei das Betätigungselement
auch einen Doppelhub-Luftzylinder umfasst, der die Tür relativ
zu dem Schlitten in die OFFENE Stellung bewegt, um die Tür auf den
Schlitz auszurichten oder um die Tür unter den Schlitz zu bewegen.
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6E ist
eine der 6D ähnliche schematische Ansicht,
die den Doppelhub-Luftzylinder zeigt,
nachdem er die Tür
relativ zu dem Schlitten in die OFFENE Stellung bewegt hat, um die
Tür mit dem
Schlitz auszurichten, wobei der Doppelhub-Luftzylinder den Schlitten
auf der Drehplatte gedreht hat, um die Tür in die GESCHLOSSENE Stellung
zu bringen, um den Schlitz dichtend zu schließen.
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7 ist
eine schematische Ansicht aufgenommen entlang der Linie 7-7 in 6D,
die die Betätigungswellen
für jedes
Schlitzventil zeigt, die in einer versetzten Nebeneinanderanordnung
auf der Y-Achse angeordnet sind, um die Breite des Vakuumkörpers des
Ventils zu reduzieren und damit die Stellfläche der Halbleiterbearbeitungs-Cluster-Architektur,
die das doppelseitige Schlitzventil der vorliegenden Erfindung umfasst,
zu reduzieren.
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Genaue Beschreibung der bevorzugten
Ausführungsformen
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Es
wird eine Erfindung beschrieben, mit der sichergestellt wird, dass
der Betrieb in einem Modul einer Halbleiterbearbeitungs-Cluster-Architektur
fortgesetzt werden kann, während
ein anderes Modul gewartet wird. Die Erfindung wird im Hinblick
auf Ventile für
Module einer Halbleiterbearbeitungsanlage beschrieben und insbesondere
im Hinblick auf doppelseitige Schlitzventile und Verfahren zur Verwendung
derartiger Ventile für
separate Module von Halbleiterbearbeitungsanlagen.
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Für einen
Fachmann ist es jedoch nahe liegend, dass die Erfindung ohne einige
oder alle dieser spezifischen Einzelheiten ausgeführt werden
kann. In anderen Fällen
wurden hinreichend bekannte Verfahrensschritte nicht im Einzelnen
beschrieben, um die vorliegende Erfindung nicht unnötig zu verschleiern.
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Unter
Bezugnahme auf die 2 wird die Erfindung allgemein
dahingehend beschrieben, dass sie eine Halbleiterbearbeitungs-Cluster-Architektur 200 mit
einem Transportmodul 202 und einem Bearbeitungsmodul 206a umfasst,
wobei ein doppelseitiges Schlitzventil 204a jeweils zwischen
dem Transportmodul 202 und einem benachbarten Bearbeitungsmodul 206a angeordnet
ist. Bei Betrachtung der 2 als Draufsicht wird die Stellfläche der
Architektur durch die kombinierten Bodenbereiche des Transportmoduls 202,
der Bearbeitungsmodule 206a und 206b und der doppelseitigen
Schlitzventile 204b bestimmt. Es ist selbstverständlich,
dass die Bodenbereiche des Transportmoduls 202 und des
Bearbeitungsmoduls 206a in erster Linie durch andere Gesichtspunkte
als die Art und Weise, in der die Module 202, 206b und 206a für den Betrieb
miteinander abgedichtet werden, bestimmt werden können. Die
einzelnen doppelseitigen Schlitzventile 204a bestimmen die
Art und Weise, in der die Module 202 und 206 für den Betrieb
miteinander abgedichtet werden, so dass der Platzbedarf jedes einzelnen
doppelseitigen Schlitzventils 204a bei Versuchen, die Stellfläche der Cluster-Architektur 200 zu
verringern, von Bedeutung ist. Um die Stellfläche jedes einzelnen doppelseitigen
Schlitzventils 204a zu verringern, ist es daher wichtig,
die Breite W jedes einzelnen doppelseitigen Schlitzventils 204a so
weit wie möglich
zu verringern.
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Die 3 stellt
eines der doppelseitigen Schlitzventile 204a der Erfindung
dahingehend dar, dass es einen zwischen den beiden Modulen der Werkzeug-Cluster-Architektur
angeordneten Ventilvakuumkörper 212 aufweist.
Wie gezeigt ist, handelt es sich bei den beiden Modulen um das Transportmodul 202 und
eines der Bearbeitungsmodule 206, wobei es selbstverständlich ist,
dass der Ventilvakuumkörper 212 zwischen
zwei beliebigen Modulen der Cluster-Architektur angeordnet werden
kann. Der Ventilvakuumkörper 212 hat
eine von gegenüberliegenden
Wänden 214 bestimmte
Breite W. Die Seite der Wand 214, die dem Bearbeitungsmodul 206 am nächsten ist,
kann als "PM-Seite" bezeichnet werden, währen die
Seite der Wand 214, die dem Transportmodul 202 am
nächsten
ist, als "TM-Seite" bezeichnet werden
kann. Der Ventilvakuumkörper 212 hat eine
Länge L,
die von gegenüberliegenden
Stirnwänden 216 begrenzt
wird, wobei die Breite W multipliziert mit der Länge L die Stellfläche des
einzelnen doppelseitigen Schlitzventils 204a bestimmt.
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In
jeder Wand 214 ist ein Zugang (oder ein Schlitz oder eine Öffnung) 218 vorgesehen,
um zu gestatten, dass beispielsweise Wafer (nicht dargestellt) von
einem Modul zu einem anderen Modul überführt werden können. Wie
in der 3 gezeigt ist, ist das eine dieser Module das
Transportmodul 202 und das andere dieser Module das Bearbeitungsmodul 206,
wobei der Schlitz 218P dem Bearbeitungsmodul 206 benachbart
ist und der Schlitz 218T dem Transportmodul 202 benachbart
ist. Jeder der Schlitze 218 hat eine im Allgemeinen rechteckige Form
und ist mit jeder seiner Abmessungen kleiner als die im Allgemeinen
rechteckige Form einer Tür (oder
Seitentür) 222,
die zum Schließen
des entsprechenden Schlitzes 218 vorgesehen ist. Im Fall
der Türen 222 und
der Schlitze 218 sind die Ecken abgerundet, so dass die
entsprechenden rechteckigen Formen als "im Allgemeinen rechteckig" bezeichnet werden.
Jede der Türen 222 weist
eine Dichtungsperipherie 224 auf, die eine gegenüberliegende
Dichtfläche 226 der
gegenüberliegenden
Wand 214 des Körpers 212 überlappt.
Die Dichtungsperipherie 224 kann mit einem Dichtungselement,
wie beispielsweise einem O-Ring 228 versehen sein, der
gegen die Dichtfläche 226 gedrückt wird,
um eine luftdichte Dichtung zu schaffen, wenn die Tür 222 sich
in der GESCHLOSSENEN Stellung befindet, wie unten beschrieben wird.
Als Alternative kann ein Dichtelement auf die Tür 222 aufvulkanisiert
werden oder es kann eine andere Art von Dichtelement mit einer austauschbaren
Dichtung verwendet werden. Die Tür 222-2 an
der Wand 214 bildet eine Druckdichtung zwischen dem Transportmodul 202 und
dem Bearbeitungsmodul 206. Auf diese Weise kann die PM-Seite
auf Atmosphäre
belüftet
werden, während die
TM-Seite weiter unter Vakuum verbleibt. Während des normalen Betriebs
der Module 202 und 206, bei dem beide Türen 222 geschlossen
sind, gestattet die Kombination aus Dichtungsperipherie 224,
gegenüberliegender
Dichtfläche 226 und
O-Ring 228 dem Transportmodul 202 auf einem normalen
Vakuumniveau (z.B. von 80–100
Millitorr (= 10,67–13,33 Pascal))
zu arbeiten oder betrieben zu werden, während das Bearbeitungsmodul 206 beispielsweise
unter Prozessdruck arbeitet. Das Ventil 204a ist auch so ausgebildet,
dass es ein Belüften
des Transportmoduls 202 gestattet, während das Bearbeitungsmodul 206 unter
Vakuum steht, oder dass es ein Belüften des Bearbeitungsmoduls 206 gestattet,
während
das Transportmodul 202 unter Vakuum steht.
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Unter
Bezugnahme auf eine der Türen 222, die
als Tür 222-1 beschrieben
wird und beispielsweise in der Ansicht der 3 rechts
dargestellt ist, kann der entsprechende Schlitz 218P wahlweise durch
Betätigung
des einen von zwei Betätigungselementen 232 geschlossen
werden. Eines der Betätigungselemente 232,
das der Tür 222-1 zugeordnet ist,
wird als Betätigungselement 232-1 bezeichnet und
kann separat von dem anderen Betätigungselement 232,
das der Tür 222-2 zugeordnet
und als Betätigungselement 232-2 bezeichnet
ist, betätigt
werden. Eine derartige separate Betätigung gestattet beispielsweise
einen fortgesetzten Betrieb in dem Transportmodul 202,
während
das Bearbeitungsmodul 206a beispielsweise gewartet wird.
Daher muss lediglich ein ausgewähltes
Modul, d.h. das Transportmodul 202 oder das Bearbeitungsmodul 206a,
abgeschaltet werden, um eine Wartung des gewählten Moduls zu gestatten.
Ein Ergebnis der Betätigung des
Betätigungselements 232 ist
das Platzieren der Tür 222 in
der GESCHLOSSENEN Stellung oder in der OFFENEN Stellung, wie in
der 3 gezeigt ist. In der OFFENEN Stellung begrenzt
die Tür 222 einen Zwischenraum 234 zwischen
der Tür 222 und
der Wand 214. Eine andere Art der Betätigung des Betätigungselements 232 ist
das Platzieren der Tür 222 entweder
in einer UNTEREN Stellung oder in einer OBEREN Stellung.
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Die 4A zeigt
das Transportmodul 202, das Bearbeitungsmodul 206a und
eines der doppelseitigen Schlitzventile 204a. Ein Steuerelement 402a ist
mit dem Transportmodul 202 verbunden und steuert den Betrieb
des Transportmoduls 202. Das Steuerelement 402a ist
ebenfalls mit der TM-Seite des Ventils 204a verbunden,
um die Tür 222-2 zu
steuern. Zum Steuern des Betriebs des Bearbeitungsmoduls 206 ist
ein Steuerelement 402b mit diesem verbunden. Das Steuerelement 402b ist
auch mit der PM-Seite des Ventils 204a verbunden, um die
Tür 222-1 zu
steuern. Die Steuerelemente 402a und 402b sind
mit einem Computer-Arbeitsplatz oder einer Werkzeugsteuerung 404 verbunden.
Durch eine elektronische Einheit 406 haben die Steuerelemente 402a und 402b eine
Schnittstelle zu der jeweiligen TM-Seite bzw. PM-Seite des Ventils 204a.
Die 4B zeigt die Oberseite der elektronischen Einheit 406,
die mit einer Reihe von Schaltern 408, 410 und 412 ausgestattet
ist, die jeweils zum Steuern der Bewegung der Türen 222 in die OFFENE
und GESCHLOSSENE Stellung, zum Steuern der Bewegung der Türen 222 in
die UNTERE und OBERE Stellung und zum Auswählen, welches der Module 202 oder 206 gewartet
werden soll (z.B. ist das Bearbeitungsmodul 206 "PM" und das Transportmodul "TM"), vorgesehen sind.
Beispiele für
die zwischen den Steuerelementen 402a oder 402b und
dem Schlitzventil 204a übertragenen
Signale 414 und 416 sind "Tür öffnen", "Tür schließen" und "Tür
freigeben".
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Die 5A zeigt
im Zusammenhang mit der 3 ein Ablaufdiagramm 500 der
Arbeitsvorgänge bei
einem Verfahren zur Wartung eines der Bearbeitungsmodule 206.
Ein anfänglicher
Schritt 502 veranlasst das Öffnen und Absenken der Tür 222-1 auf
der PM-Seite, wie in der 6A gezeigt
ist, um somit den Ventilkörper 212 auf
den gleichen Druck wie das Bearbeitungsmodul 206 zu bringen.
Das Bearbeitungsmodul 206 wird dann auf atmosphärischen Druck
belüftet.
Ein nächster
Schritt 504 besteht in dem Entfernen der Deckel 236 von
der Oberseite des Ventilvakuumkörpers 212 und
(nicht dargestellt) von dem Bearbeitungsmodul 206a. Das
Entfernen des Deckels 236 (der als weggeschnittener Deckel
in der 3 gezeigt ist) von dem Ventilvakuumkörper 212 ermöglicht sowohl
den Zugang zum Innenraum des Ventilvakuumkörpers 212 als auch
einen manuellen Zugang zu den Schaltern 408, 410 und 412.
In einem Schritt 506 kann ein Reinigungsvorgang an dem
Bearbeitungsmodul 206a durchgeführt werden. Ein derartiger
Reinigungsvorgang kann jede der oben erwähnten Wartungsarbeiten bezüglich der
Kammer umfassen. Dann wird der Steuerschalter 412 in Schritt 508 auf "PM" gestellt, um das
Betätigungselement 232-1 zum
Betätigen
der Tür 222-1 auf
der PM-Seite zu aktivieren oder zu konditionieren. In Schritt 510 wird
der Steuerschalter 410 in die OBERE Stellung gebracht,
um zu veranlassen, dass das Betätigungselement 232-1 die
Tür 222-1 auf
der PM-Seite aus einer ursprünglich
UNTEREN (von dem Betrachter der 3 entfernten)
Stellung anzuheben. Ein derartiges Anheben bewegt die Tür 222-1 auf
der PM-Seite in Richtung auf den Betrachter der 3 zu
in die OBERE Stellung.
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Wenn
die Tür 222-1 auf
der PM-Seite in der OBEREN Stellung in der Nähe der Oberseite des Ventilvakuumkörpers 212 (dem
Betrachter der 3 am nächsten) und vertikal mit dem
Schlitz 218P ausgerichtet ist, wird ein Schritt 512 durchgeführt, um
die Tür 222-1 auf
der PM-Seite von dem Betätigungselement 232-1 zu
entfernen. Dieses Entfernen erfolgt durch Lockern von Befestigungsmitteln
(nicht dargestellt), die die Tür 222-1 normalerweise
mit dem Betätigungselement 232-1 verbinden.
Beim letzten Punkt des Schritts 512 wird eine saubere Tür 222-1 auf
der PM-Seite an dem Betätigungselement 232-1 befestigt.
Wenn sich die saubere Tür 222-1 auf
der PM-Seite in der OBEREN und OFFENEN, sich in Richtung auf den
Betrachter der 3 erstreckenden Stellung befindet,
besteht ein nächster
Schritt 514 darin, den Steuerschalter 408 in die
Schalterstellung GESCHLOSSEN zu bringen. Dies bewirkt, dass das
Betätigungselement 232-1 die
Tür 222-1 in
der 3 nach rechts bewegt, so dass die Tür 222-1 den O-Ring 228 der
rechten Tür 222-1 gegen
die Dichtfläche 226 drückt. Bei
einem anfänglichen
Befestigen der sauberen Tür 222-1 an
dem Betätigungselement 232-1 werden
die Befestigungsmittel (nicht dargestellt) zunächst lose gelassen, bis der
Schritt 514 durchgeführt
und die Tür 222-1 nach
rechts bewegt wurde, wie oben beschrieben wurde. Wenn die Tür 222-1 nach
rechts bewegt wurde, so dass die gesamte Länge des O-Rings 228 gegen
die Dichtfläche 226 gepresst
wird, werden die Befestigungsmittel fest angezogen. Auf diese Weise
wird das feste Anziehen der Befestigungsmittel nicht durchgeführt, bis
die Tür 222-1 ordnungsgemäß auf die
Dichtfläche 226 ausgerichtet
wurde und dichtend anliegt.
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Bei
einem Schritt 516 wird der Steuerschalter 408 in
eine Schalterstellung OFFEN gebracht, um zu veranlassen, dass das
Betätigungselement 232-1 die saubere
Tür 222-1 auf
der PM-Seite in die OFFENE Stellung bewegt, worauf der Steuerschalter 410 in Schritt 518 in
die Stellung UNTEN gebracht wird, um zu veranlassen, dass das Betätigungselement 232-1 die
Tür 222-1 auf
der PM-Seite absenkt. Dann werden in Schritt 520 die Deckel 236 wieder
sowohl an dem Bearbeitungsmodul 206 als auch an dem Ventilvakuumkörper 212 angebracht,
um beide Einheiten gegenüber
der Atmosphäre
abzudichten. In Schritt 522 wird ein PM-Pumpbefehl ausgegeben.
Dieser Befehl veranlasst, dass die Steuereinrichtung 402b für das Bearbeitungsmodul
sicherstellt, dass die Tür 222-1 auf
der PM-Seite in der OFFENEN und UNTEREN Stellung ist. Das Bearbeitungsmodul 206 wird dann
bis auf Vakuumniveau leer gepumpt.
-
In
Schritt 524 werden dann die Steuerschalter 410 und 408 in
die entsprechenden Stellungen OFFEN und GESCHLOSSEN gebracht, wodurch das
Betätigungselement 232-1 die
Tür 222 in
die OBERE Stellung anhebt. Nach Abschluss des das Anheben betreffenden
Abschnitts des Schritts 524 veranlasst das Betätigungselement 232-1,
dass sich die Tür 222-1 bei
einer Betrachtung der 3 nach rechts in die GESCHLOSSENE
Stellung bewegt. Wie oben beschrieben wurde, bewirkt eine derartige
Bewegung der Tür 222-1 nach
rechts, dass der O-Ring 228 an die Dichtfläche 226 anschlägt und von
ihr zusammengepresst wird, wodurch eine vakuumdichte Abdichtung
geschaffen wird. An dieser Verbindungsstelle arbeitet die saubere
Tür 222-1 auf
der PM-Seite mit der Tür 222-2 auf
der gegenüberliegenden TM-Seite
zusammen. Die Wartung des Bearbeitungsmoduls 206 ist in
Schritt 526 abgeschlossen.
-
Die 5B zeigt
in Zusammenschau mit der 3 ein Ablaufdiagramm 600 der
Arbeitsvorgänge bei
einem Verfahren zur Wartung eines der Transportmodule 202.
Ein anfänglicher
Schritt 602 veranlasst das Öffnen und Absenken der Tür 222-2 auf
der TM-Seite, um
somit den Ventilkörper 212 auf
den gleichen Druck wie das Transportmodul 202 zu bringen.
Das Transportmodul 202 wird dann auf atmosphärischen
Druck belüftet.
-
Ein
nächster
Schritt 604 besteht in dem Entfernen der Deckel 236 von
der Oberseite des Ventilvakuumkörpers 212 und
(nicht dargestellt) von dem Transportmodul 202. Das Entfernen
des Deckels 236 von dem Ventilvakuumkörper 212 ermöglicht sowohl den
Zugang zum Innenraum des Ventilvakuumkörpers 212 als auch
einen manuellen Zugang zu den Schaltern 408, 410 und 412.
In einem Schritt 606 kann ein Reinigungsvorgang an dem
Transportmodul 202 durchgeführt werden. Ein derartiger
Reinigungsvorgang kann jede der oben erwähnten Wartungsarbeiten bezüglich einer
Kammer umfassen. Dann wird der Steuerschalter 412 in Schritt 608 auf "TM" gestellt, um das
Betätigungselement 232-2 zum
Betätigen
der Tür 222-2 auf
der TM-Seite zu aktivieren oder zu konditionieren.
-
In
Schritt 610 wird der Steuerschalter 410 in die
Stellung OBEN gebracht, um zu veranlassen, dass das Betätigungselement 232-2 die
Tür 222-2 auf
der TM-Seite aus einer ursprünglich
UNTEREN (von dem Betrachter der 3 entfernten)
Stellung anzuheben. Ein derartiges Anheben bewegt die Tür 222-2 auf
der TM-Seite in Richtung auf den Betrachter der 3 zu
in die OBERE Stellung.
-
Wenn
die Tür 222-2 auf
der TM-Seite in der OBEREN Stellung in der Nähe der Oberseite des Ventilvakuumkörpers 212 (dem
Betrachter der 3 am nächsten) und vertikal mit dem
Schlitz 218T ausgerichtet ist, wird ein Schritt 612 durchgeführt, um
die Tür 222-2 auf
der TM-Seite von dem Betätigungselement 232-2 zu
entfernen. Dieses Entfernen erfolgt auch durch Lockern von Befestigungsmitteln
(nicht dargestellt), die die Tür 222-2 normalerweise
mit dem Betätigungselement 232-2 verbinden.
Beim letzten Punkt des Schritts 612 wird eine saubere Tür 222-2 auf
der TM-Seite an dem Betätigungselement 232-2 befestigt.
Wenn sich die saubere Tür 222-2 auf
der TM-Seite in der OBEREN und OFFENEN, sich in Richtung auf den
Betrachter der 3 erstreckenden Stellung befindet,
besteht ein nächster
Schritt 614 darin, den Steuerschalter 408 in die
Schalterstellung GESCHLOSSEN zu bringen. Dies bewirkt, dass das
Betätigungselement 232-2 die
Tür 222-2 bei
einer Betrachtung der 3 nach links bewegt, so dass
die Tür 222-2 den
O-Ring 228 der linken Tür 222-2 gegen
die Dichtfläche 226 drückt. Wie
im Zusammenhang mit der sauberen Tür 222-1 beschrieben
wurde, werden bei einem anfänglichen
Befestigen der sauberen Tür 222-2 an
dem Betätigungselement 232-2 die
Befestigungsmittel (nicht dargestellt) zunächst lose gelassen, bis der
Schritt 614 durchgeführt
und die Tür 222-2 nach
links bewegt wurde, um die gesamte Länge des O-Rings 228 gegen die Dichtfläche 226 zu
pressen. Dann werden die Befestigungsmittel fest angezogen.
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Bei
einem Schritt 616 wird der Steuerschalter 408 in
eine Schalterstellung OFFEN gebracht, um zu veranlassen, dass das
Betätigungselement 232-2 die saubere
Tür 222-2 auf
der TM-Seite in die OFFENE Stellung bewegt, worauf der Steuerschalter 410 in Schritt 618 in
die Stellung UNTEN gebracht wird, um zu veranlassen, dass das Betätigungselement 232-2 die
Tür 222-2 auf
der TM-Seite absenkt. Dann werden in Schritt 620 die Deckel 236 wieder
sowohl an dem Transportmodul 202 als auch an dem Ventilvakuumkörper 212 angebracht,
um beide Einheiten gegenüber
der Atmosphäre
abzudichten.
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In
Schritt 622 wird ein TM-Pumpbefehl ausgegeben. Dieser Befehl
veranlasst, dass die Steuereinrichtung 402b für das Transportmodul
sicherstellt, dass die Tür 222-2 auf
der TM-Seite in der OFFENEN und UNTEREN Stellung ist. Das Transportmodul 202 wird
dann bis auf ein Vakuumniveau ausgepumpt.
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In
Schritt 624 wird dann der Steuerschalter 408 in
die Stellung GESCHLOSSEN gebracht, wodurch das Betätigungselement 232-2 nach
Abschluss des das Anheben betreffenden Abschnitts des Schritts 624 veranlasst,
dass sich die Tür 222-2 bei
einer Betrachtung der 3 nach links in die GESCHLOSSENE
Stellung bewegt. Eine derartige Bewegung der Tür 222-2 nach links
bewirkt, dass der O-Ring 228 an die Dichtfläche 226 anschlägt und von ihr
zusammengepresst wird, wodurch eine vakuumdichte Abdichtung geschaffen
wird. An dieser Verbindungsstelle arbeitet die saubere Tür 222-2 auf
der TM-Seite mit der Tür 222-1 auf
der gegenüberliegenden
PM-Seite zusammen. Die Wartung des Transportmoduls 202 ist
in Schritt 626 fertig.
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Wie
oben beschrieben wurde, umfassen die beiden Betätigungselemente 232 ein
Betätigungselement 232-1,
das der Tür 222-1 zugeordnet
ist. Das Betätigungselement 232-1 kann
separat von dem anderen Betätigungselement 232-2,
das der Tür 222-2 zugeordnet
ist, betätigt
werden. Jedes der Betätigungselemente 232 ist
identisch mit dem anderen Betätigungselement 232,
mit Ausnahme der Drehrichtung der Tür 222, die von dem
entsprechenden Betätigungselement 232 ausgeführt wird.
Im Einzelnen sind die in den 6A–6C gezeigten
Betätigungselemente 232-1 und
die Türen 222-1 auf
der rechten Seite in der Darstellung der 6A–6C für einen
Betrieb mit beispielsweise dem Bearbeitungsmodul 206 vorgesehen.
Die in den 6D und 6E gezeigten
Betätigungselemente 232-2 haben die
Türen 222-2 auf
der in der Darstellung der 6D und 6E linken
Seite, um beispielsweise mit dem Transportmodul 202 betrieben
zu werden. Für
eine effiziente Beschreibung wird die Hauptaufmerksamkeit somit
auf das in den 6A–6C gezeigte
Betätigungselement 232-1 gerichtet,
wobei zusätzliche
Einzelheiten unter Bezugnahme auf die 6D und 6E beschrieben
werden.
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Unter
Bezugnahme auf die 6A–6C bezeichnet
die X-Achse den bogenförmigen
Weg, auf dem sich die Tür 222-1 (z.B.
in Schritt 516) aus der in der 6C dargestellten
GESCHLOSSENEN Stellung nach links in die in der 6B gezeigte
OFFENE Stellung bewegt. Die X-Achse kann sich im Allgemeinen senkrecht
zu der Ebene der Wand 214 erstrecken. Obwohl der Weg der
Türen 222-1 und 222-2 relativ
zu einer Achse C eines Schlittens bogenförmig verläuft, ist der Radius des Bogens
groß genug,
dass von der OFFENEN Stellung der jeweiligen Türen 222-1 und 222-2 gesagt
werden kann, dass sie senkrecht zu und entfernt von der entsprechenden
rechten Seitenwand 214-1 des Körpers 212 ist, und
dass sie senkrecht zu und entfernt von der entsprechenden linken Seitenwand 214-2 des
Körpers 212 ist.
In der OFFENEN Stellung begrenzt die Tür 222-1 den Raum 234 zwischen
der Tür 222-1 und
der Wand 214. Wenn die Tür 222-1 in der OFFENEN
Stellung ist, wird ein einfacher Zugang zu dem Ventil 204 zur Durchführung von
Wartungsarbeiten ermöglicht.
Der Vorteil des Gestattens eines anfänglich einfachen Zugangs zu
dem Ventil 204 in der in der 6D gezeigten
OFFENEN und OBEREN Stellung, die relativ zu dem rechten PM-Schlitz 218P nicht
vertikal unten (d.h. nicht seitlich beabstandet) ist, besteht darin, dass
die Tür 222-1 des
Ventils 204 in der OFFENEN und OBEREN Stellung von der
behandschuhten Hand (nicht dargestellt) einer Wartungsperson für Servicearbeiten
erreicht werden kann.
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Die
Z-Achse entspricht der (dem) oben genannten vertikalen oder seitlichen
Richtung oder Abstand und ist ebenfalls in den 6A–6C dargestellt.
Die Z-Achse ist die Achse des Betätigungselements 232-1,
entlang der sich die Tür 222-1 in
die OBERE und UNTERE Stellung relativ zu der PM-Öffnung 218P bewegt.
Bei einem Vergleich der 6B und 6C wird
erkennbar, dass sich die Z-Achse auf der C-Achse des Schlittens
aus einer vertikalen Ausrichtung (6B) in
eine gekippte Ausrichtung (6C) mit
einem Winkel T relativ zur Vertikalen bewegt und insbesondere dreht.
Die Änderung
der Ausrichtung um die C-Achse herum und der Abstand A von der C-Achse
zu der Tür 222-1 führt zu einer
Bewegung der Tür 222-1 aus
der GESCHLOSSENEN Stellung, 6C (in
der der O-Ring die Dichtfläche 226 berührt), in
die OFFENE Stellung, 6B, in der sie durch den Zwischenraum 234 von
der Wand 214-1 getrennt ist.
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Das
Betätigungselement 232-1 umfasst
den oberen Ventilvakuumkörper 212,
der auf der Oberseite einer Bodenplatte 702 montiert ist.
Der Körper 212 weist
mit der X-Achse ausgerichtete Schlitze 218P und 218T auf
und ist ausgebildet, um durch den Deckel 236 abgedichtet
zu werden. Ein unteres Ende 704 eines Balgs 706 ist
abdichtend mit der Bodenplatte 702 und ein oberes Ende 708 des
Balgs 706 ist abdichtend mit einer Balgplatte 710 verbunden. Wenn
der Balg 706 abdichtend mit der Bodenplatte 702 und
der Balgplatte 710 verbunden ist und der Deckel 236 dichtend
auf der Oberseite des Ventilvakuumkörpers 212 sitzt, ist
der Körper 212 stark
genug, den Kräften
eines Vakuums zu widerstehen, das beispielsweise durch den Schlitz 218P angelegt
wird. Der Balg 706 weist eine hohle zylindrische Form auf, die
einen Hohlraum 712 bildet.
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Die
Bodenplatte 702 trägt
drei im Abstand angeordnete Arme 716 eines ersten Rahmens
oder Schwenkrahmens 718. Ein Arm 716 ist in den 6A–6C dahingehend
dargestellt, dass er sich von der Bodenplatte 702 nach
unten unter den Balg 706 erstreckt. Ein anderer der Arme 716 erstreckt
sich parallel zu dem ersten Arm 716 und trägt einen Drehzapfen 720,
der auf der C-Achse zentriert ist. Der Drehzapfen 720 stellt
eine drehbare Befestigung für
einen Schlitten 722 zur Verfügung, der an dem Zapfen 720 für eine pendelnde
Bewegung um die Achse C aufgehängt
ist. Die Pendelbewegung wird durch einen ersten Pneumatikmotor 724 mit
einem Öffnungs/Schließ-Zylinder 726 und
einer Kolbenstange 728 ermöglicht. Ein Ende, nämlich das distale
Ende 730 der Stange 728 ist an den Armen 716 befestigt,
so dass der Schlitten 722 bei einem Zurückziehen oder Ausfahren der
Stange 728 gegen den Uhrzeigersinn bzw. im Uhrzeigersinn
auf der Achse C rotiert. Die in der 6B gezeigte
zurückgezogene
Stellung der Stange entspricht und führt zu der OFFENEN Stellung
der Tür 222-1 (beispielsweise
Schritt 516), da die Stange 728 ein Drehen des Schlittens 722 auf
dem Zapfen 720 entgegen dem Uhrzeigersinn verursacht. Die
in der 6C gezeigte ausgefahrene Stellung
der Stange entspricht und führt
zu der GESCHLOSSENEN Stellung der Tür 222-1 (beispielsweise
Schritt 522), da die Stange 728 ein Pendeln des
Schlittens 722 auf dem Zapfen 720 im Uhrzeigersinn
verursacht.
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Der
Schlitten 722 trägt
auch einen Doppelhubzylinder 734 eines zweiten oder Doppelhubmotors 736.
Wenn der Zylinder 734 an dem Schlitten 722 befestigt
ist, kann eine Kolbenstange 738 ausgefahren oder eingezogen
werden und gleitet durch ein hohles Führungsrohr 740, das
in einer Öffnung 742 des
Schlittens 722 benachbart zu dem Drehzapfen 720 angeordnet
ist. Der Balg 706 umfasst den Hohlraum 712 mit
einer hohlen zylindrischen Form, um die Kolbenstange 738 und
das Kolbenstangen-Führungsrohr 740 aufzunehmen.
Wie in den 6A–6C gezeigt
ist, gestattet das Kolbenstangen-Führungsrohr 740 der
Kolbenstange 738 des zweiten oder Doppelhubmotors 736 ausgefahren oder
zurückgezogen
zu werden und die Balgplatte 710 entsprechend zu bewegen.
Die Balgplatte 710 trägt
ein Betätigungsgestänge 744,
das ein Paar Türbefestigungsarme 746 für eine Drehung
auf der Y-Achse hält.
Die Arme 746 sind durch die oben beschriebenen (jedoch
nicht dargestellten) Befestigungsmittel an der Tür 222-1 befestigt.
Die Türbefestigungsarme 746 sind
an der Tür 222-1 relativ
zu einem Mittelpunkt der Tür 222-1 außermittig
befestigt (wie am besten durch eine Linie 748 in der 3 dargestellt
ist), so dass keine der Türen 222-1 und 222-2 bezüglich der
längeren
Seite (oder der Erstreckung in Richtung der Y-Achse) der jeweiligen
Tür 222 zentriert
ist. Als Ergebnis der außermittigen
Befestigung der Türen 222 an
den Betätigungselementen 232 kann
die zusammengefasste Breite der Betätigungselemente 232 wesentlich
weniger als zweimal den Durchmesser eines einzelnen der Betätigungselemente 23 betragen.
In der Praxis muss die Breite W des Körpers 212 nur ungefähr 16,8
cm (6,625 Zoll) betragen, was nur einem Platzbedarf der Breite W von
einhundertfünfzig
Prozent (150%) im Vergleich mit der Breite eines einzigen Betätigungselements entspricht.
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Aus
den 6A–6C ist
ersichtlich, dass, wenn die Stange 738 des Doppelhubmotors 736 beispielsweise
in Schritt 510 ausgefahren wird, sich die Tür 222-1 in
der OBEREN Stellung (6C) befindet, wobei der Balg 706 ausgedehnt
ist, um das Vakuum, beispielsweise in dem Bearbeitungsmodul 206 aufrechtzuerhalten.
Wenn die Stange 738 des Doppelhubmotors 736 beispielsweise
in Schritt 518 zurückgezogen
wird, wird die Tür 222-1 in
die UNTERE Stellung (6A) bewegt, wobei der Balg 706 zurückgezogen
wird, um das Vakuum, beispielsweise in dem Bearbeitungsmodul 206,
aufrechtzuerhalten.
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Es
ist außerdem
ersichtlich, dass das Betätigungselement 232 mit
den separaten Motoren 724 und 736 arbeitet, um
die Tür 222-1 separat
in die erste Richtung der X-Achse, die im Allgemeinen senkrecht
zu den jeweiligen ersten und zweiten Wänden 214-1 und 214-2 des
Körpers 212 ist,
zu bewegen und die Tür 222-1 dann
in eine zweite Richtung, die im Allgemeinen parallel zu den Wänden 214 des
Körpers
verläuft,
zu bewegen.
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Die
unerfüllten
Bedürfnisse
der Cluster-Architektur 100 des Stands der Technik werden
durch das oben Beschriebene, in dem Vakuumkörper 212 zwischen
den benachbarten Modulen 202 und 206 vorgesehene
doppelseitige Schlitzventil 204a erfüllt. Wie beschrieben wurde,
sind die separaten Ventilbetätigungselemente 232 für jeden
der beiden Schlitze 218 des Ventilkörpers vorgesehen, so dass der Schlitz 218 auf
der einen Seite des Körpers 212 separat
durch eine der Türen 222 unabhängig von
dem anderen mit ihm zusammenwirkenden Schlitz 218 geschlossen
oder geöffnet
werden kann. Die separaten Türen 222 und
die Türbetätigung durch
die separaten Betätigungselemente 232-1 und 232-2 erleichtern
das Aufrechterhalten eines Vakuums beispielsweise in dem Transportmodul 202,
während
das benachbarte Bearbeitungsmodul 206a gegenüber der Atmosphäre geöffnet wird,
um die Durchführung
von Wartungsarbeiten zu gestatten. Als Ergebnis werden längere Abschaltzeiten
vermieden, da kein Abpumpzyklus erforderlich ist, um das Transportmodul 202 nach
der Wartung des Bearbeitungsmoduls 206 auf ein gewünschtes
Vakuum zu bringen, und keine weiteren Arbeiten an dem Transportmodul 202 aufgrund der
Wartung des Bearbeitungsmoduls 206a durchgeführt werden
müssen.
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Weiter
weist das doppelseitige Schlitzventil 204a diese Vorteile
auf, während
es zunächst
einen leichten Zugang zu der Tür 222 in
der OFFENEN und OBEREN Stellung gestattet, um Wartungsarbeiten an
der Tür 222 durchzuführen. Dieser
einfache Zugang wird durch die Motoren 724 und 736 ermöglicht, die
beispielsweise die Tür 222-1 in
der OFFENEN und OBEREN Stellung, jedoch ohne vertikalen Abstand
in Richtung der Y-Achse relativ zu dem der Tür 222-1 zugeordneten
Schlitz 218P anhalten. In der OFFENEN und OBEREN Stellung
kann die Tür 222 von
der behandschuhten Hand einer Wartungsperson für Wartungsarbeiten erreicht
werden. Der separate Motor 736 bewirkt dann, dass sich
die Tür 222 seitlich
aus der OFFENEN und OBEREN Stellung und von dem Schlitz 218 weg
bewegt, um die um den Schlitz 218 angeordnete Dichtfläche 234 freizulegen, was
beispielsweise eine Reinigung der Dichtfläche 234 ermöglicht.
Aufgrund des Abstands der vertikal bewegten Tür 222 von der Zugangsöffnung (die
normalerweise von dem Deckel 236 verschlossen ist), ist es
sehr schwierig für
die Bedienperson, mit dem Handschuh die Tür 222 in der UNTEREN
Stellung für Wartungsarbeiten
zu erreichen, nachdem eine Bewegung nach unten in Richtung der Z-Achse
stattgefunden hat. In der vertikal bewegten Stellung (Bewegung in
die UNTERE Stellung) behindert die Tür 222 jedoch nicht
die Durchführung
einer Reinigung um die Ventiltür 222 herum,
einschließlich
der Oberfläche 226,
gegen die die Tür 222 sich
abdichtend anlegt. Zusätzlich
können
die Betätigungsstangen 738 für jede der
Türen 222 relativ
zueinander in der in der 3 gezeigten versetzten Anordnung
platziert werden, um den Abstand bzw. die Breite W zu reduzieren,
die von dem Ventilvakuumkörper 212 beispielsweise
zwischen den benachbarten Transport- und Bearbeitungsmodulen 202 bzw. 206 eingenommen wird.
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Obwohl
die vorstehende Erfindung aus dem Grund der Klarheit des Verständnisses
in gewissen Einzelheiten beschrieben wurde, ist offensichtlich, dass
gewisse Änderungen
und Modifikationen innerhalb des Umfanges der beigefügten Ansprüche vorgenommen
werden können.
Demgemäß sind die
vorliegenden Ausführungsbeispiele
als beschreibend und nicht als beschränkend anzusehen und die Erfindung
soll nicht auf die hier beschriebenen Einzelheiten beschränkt werden,
sondern kann im Umfang und gemäß den Entsprechungen
der beigefügten
Ansprüche
modifiziert werden.