DE60034521T2 - Dünnfilmmagnetkopf mit kurzem unterem Magnetpolstück - Google Patents

Dünnfilmmagnetkopf mit kurzem unterem Magnetpolstück Download PDF

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Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Gebiet der Erfindung:
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Dünnfilmmagnetkopf, der im Allgemeinen in einem Laufwerk für magnetische Aufzeichnungsmedien wie beispielsweise einem Magnetplattenlaufwerk, das ein Festplattenlaufwerk (hard disk drive: HDD) enthält, und einem Magnetbandlaufwerk eingesetzt wird, wie es aus JP-A-11 213329 bekannt ist.
  • Beschreibung des Standes der Technik:
  • Ein Dünnfilmmagnetkopf umfasst im Allgemeinen einen zentralen Magnetkern, der innerhalb einer Dünnfilmspule angeordnet ist, die sich über eine Ebene ausbreitet. Eine obere und eine untere Magnetpolschicht sind so konstruiert, um sich von dem zentralen Magnetkern jeweilig nach vorn hin zu einer einem Medium gegenüberliegenden Fläche eines Kopfgleiters zu erstrecken. Der Kopfgleiter ist konstruiert, um einer Aufzeichnungsplatte an der dem Medium gegenüberliegenden Fläche, wie etwa einer Bodenfläche, die zum Beispiel eine Luftlageroberfläche enthält, gegenüberzuliegen. Die Spaltschicht liegt zwischen den oberen und unteren Magnetpolschichten.
  • Das äußerste oder vordere Ende der oberen Magnetpolschicht wird an einem schmaleren oberen vorderen Magnetpolstück aufgenommen, dessen äußerstes oder vorderes Ende an der dem Medium gegenüberliegenden Fläche exponiert ist, wie es zum Beispiel in der japanischen offengelegten Patentanmeldung Nr. 7-225917 offenbart ist. Das obere vordere Magnetpolstück liegt quer durch die Spaltschicht hindurch dem vorderen Ende eines schmaleren unteren Magnetpolstücks gegenüber. Das untere vordere Magnetpolstück ist mit dem vorderen Ende der unteren Magnetpolschicht verbunden.
  • Der offenbarte Dünnfilmmagnetkopf ist so konstruiert, dass der Magnetfluss, der in der Dünnfilmspule erzeugt wird, durch die obere Magnetpolschicht zu dem oberen vorderen Magnetpolstück übertragen wird. Falls das obere vordere Magnetpolstück so konstruiert ist, um die obere Magnetpolschicht über einen größeren Kontaktbereich hinweg zu kontaktieren, kann die Sättigung des Magnetflusses in dem Kontaktbereich unterdrückt werden, so dass ein größeres oder stärkeres Magnetfeld zur Aufzeichnung an dem Spalt zwischen den oberen und unteren vorderen Magnetpolstücken längs der dem Medium gegenüberliegenden Fläche erhalten werden kann. Daher muss sich das obere vordere Magnetpolstück von der dem Medium gegenüberliegenden Fläche mit einer größeren longitudinalen Länge in der Hin- und Rückrichtung nach hinten erstrecken.
  • In den letzten Jahren wird eine sogenannte Kernbreite der oberen und unteren vorderen Magnetpolstücke merklich kleiner oder schmaler als jene der oberen Magnetpolschicht, wie aus der obenerwähnten offengelegten japanischen Patentanmeldung Nr. 7-225917 hervorgeht. Die Kernbreite kann längs der dem Medium gegenüberliegenden Fläche in der lateralen Richtung einer Aufzeichnungsspur gemessen werden. Die schmalere Kernbreite führt unvermeidlich zu einer Reduzierung des Magnetfeldes zur Aufzeichnung an dem Spalt zwischen den oberen und unteren vorderen Magnetpolstücken längs der dem Medium gegenüberliegenden Fläche.
  • Die japanische offengelegte Patentanmeldung Nr. 6-314414 offenbart einen Vorschlag zum Beibehalten eines stärkeren Magnetfeldes zur Aufzeichnung an dem Spalt zwischen den oberen und unteren vorderen Magnetpolstücken längs der dem Medium gegenüberliegenden Fläche. Gemäß dem Vor schlag kommt eine Schwellung oder Verdickung mit hinten gelegener Stufe zum Einsatz, die auf dem unteren vorderen Magnetpolstück an einer Stelle gebildet ist, die von der dem Medium gegenüberliegenden Fläche beabstandet ist. Solch eine Schwellung dient dazu, den Magnetfluss an den vorderen Enden der oberen und unteren vorderen Magnetstücke zu konzentrieren. Ein stärkeres Magnetfeld kann an dem Spalt aus der dem Medium gegenüberliegenden Fläche nach außen dringen.
  • Jedoch ist es schwierig, die Schwellung auf dem unteren vorderen Magnetpolstück mit schmalerer Breite und kleineren Dimensionen zu bilden oder zu formen. Selbst wenn die Schwellung gebildet werden kann, ist es sehr schwierig, das schmalere obere vordere Magnetpolstück mit solch einer schmaleren Schwellung bei dazwischenliegender Spaltschicht auszurichten.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Daher ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Dünnfilmmagnetkopf vorzusehen, bei dem ein oberes vorderes Magnetpolstück mit einem unteren vorderen Magnetpolstück ohne jede Schwierigkeit ausgerichtet werden kann, auch wenn das untere vordere Magnetpolstück in der Längsrichtung im Vergleich zu dem oberen vorderen Magnetpolstück verkürzt ist.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung ist ein Dünnfilmmagnetkopf vorgesehen, der umfasst: eine Dünnfilmspule; einen zentralen Magnetkern, der innerhalb der Dünnfilmspule angeordnet ist; eine obere Magnetpolschicht, die sich von dem zentralen Magnetkern über einer Bezugsebene nach vorn erstreckt; eine untere Magnetpolschicht, die sich von dem zentralen Magnetkern unter der Bezugsebene nach vorn er streckt; ein oberes vorderes Magnetpolstück, das ein vorderes Ende der oberen Magnetpolschicht aufnimmt und sich über die Bezugsebene von seinem vorderen Ende, das an einer einem Medium gegenüberliegenden Fläche exponiert ist, nach hinten erstreckt; und ein unteres vorderes Magnetpolstück, das mit einem vorderen Ende der unteren Magnetpolschicht verbunden ist und sich unter der Bezugsebene in einer lateralen Richtung längs der dem Medium gegenüberliegenden Fläche mit einer lateralen Breite erstreckt, die größer als jene des oberen vorderen Magnetpolstücks ist, wobei sich das untere vordere Magnetpolstück von der dem Medium gegenüberliegenden Fläche mit einer longitudinalen Länge nach hinten erstreckt, die kleiner als jene des oberen vorderen Magnetpolstücks ist.
  • Bei der obigen Anordnung zirkuliert ein Magnetfluss, der in dem zentralen Magnetkern innerhalb der Dünnfilmspule erzeugt wird, durch die oberen und unteren Magnetpolschichten. Im Besonderen tendiert der Magnetfluss dazu, durch das obere vordere Magnetpolstück mit einer ersten longitudinalen Länge hin zu dem unteren vorderen Magnetpolstück mit einer zweiten longitudinalen Länge, die kleiner als die erste longitudinale Länge ist, zu verlaufen. Das untere vordere Magnetpolstück dient dazu, den Magnetfluss an den Vorderenden der oberen und unteren vorderen Magnetpolstücke zu konzentrieren. Daher kann ein größeres oder stärkeres Mag netfeld zur Aufzeichnung längs der dem Medium gegenüberlie genden Fläche eines Kopfgleiters erhalten werden.
  • Zusätzlich ist das untere vordere Magnetpolstück so konstruiert, um eine größere laterale Breite in der lateralen Richtung ungeachtet einer kleineren Länge in der longitudinalen Richtung zu haben, wie oben beschrieben. Im Ver gleich zu dem Fall, wenn das untere vordere Magnetpolstück konstruiert ist, um eine schmalere Breite entsprechend jener des oberen vorderen Magnetpolstücks zu haben, kann die Produktion des unteren vorderen Magnetpolstücks spürbar erleichtert werden. Des Weiteren dient eine größere Breite des unteren vorderen Magnetpolstücks in der lateralen Richtung dazu, die Ausrichtung des oberen vorderen Magnetpolstücks mit dem unteren vorderen Magnetpolstück in der lateralen Richtung zu erleichtern.
  • Das untere vordere Magnetpolstück ist vorzugsweise konstruiert, um eine Sättigungsflussdichte zu haben, die größer als jene der unteren Magnetpolschicht ist. Die festgelegte Sättigungsflussdichte trägt zum zuverlässigen Vermeiden der Sättigung des Flusses in dem unteren vorderen Magnetpolstück bei. In dem Fall, wenn 80Ni20Fe in der unteren Magnetpolschicht eingesetzt wird, um Bs = 1,0 T zu erreichen, kann für das untere vordere Magnetpolstück 50Ni50Fe oder 45Ni55Fe verwendet werden. Mit 50Ni50Fe wird gewöhnlich Bs = 1,4 T erreicht, und 45Ni55Fe wird gewöhnlich verwendet, um Bs = 1,6 T zu erreichen.
  • Die obere Magnetpolschicht kann an ihrem vorderen Ende von der dem Medium gegenüberliegenden Fläche zurückgesetzt sein. Die zurückgesetzte obere Magnetpolschicht dient dazu, ein unerwünschtes Austreten des Magnetflusses zu vermeiden, der das Magnetfeld zur Aufzeichnung an der dem Medium gegenüberliegenden Fläche stört. Falls hierbei das untere vordere Magnetpolstück die longitudinale Länge hat, die kleiner als jene des oberen vorderen Magnetpolstücks ist, kann die zurückgesetzte obere Magnetpolschicht das Magnetfeld zur Aufzeichnung nicht reduzieren oder abschwächen. Eine herkömmliche zurückgesetzte obere Magnetpolschicht tendiert dazu, eine Reduzierung der Größe des Magnetfeldes zur Aufzeichnung herbeizuführen.
  • Das untere vordere Magnetpolstück kann mit einem Vorsprung versehen sein, der auf einer oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks gebildet ist, um eine laterale Breite entsprechend jener des oberen vorderen Magnetpolstücks zu haben. Durch den Vorsprung kann somit die obenerwähnte zweite longitudinale Länge beibehalten werden, während ein schmalerer Spalt zwischen dem Vorsprung und dem oberen vorderen Magnetpolstück definiert sein kann. Daher kann die Breite einer Aufzeichnungsspur auf dem Aufzeichnungsmedium weiter reduziert werden, während ein stärkeres oder größeres Magnetfeld zur Aufzeichnung beibehalten wird.
  • Alternativ dazu kann das untere vordere Magnetpolstück mit einem longitudinalen Vorsprung versehen sein, der auf einer oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks so gebildet ist, um sich von der dem Medium gegenüberliegenden Fläche mit einer dritten longitudinalen Länge, die kleiner als die zweite longitudinale Länge des unteren vorderen Magnetpolstücks ist, nach hinten zu erstrecken. Der longitudinale Vorsprung ist so konstruiert, um eine laterale Breite entsprechend jener des oberen vorderen Magnetpolstücks zu haben. In diesem Fall ist ein lateraler Vorsprung vorzugsweise mit dem hinteren Ende des longitudinalen Vorsprungs verbunden, um sich auf der oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks mit der lateralen Breite zu erstrecken, die größer als jene des longitudinalen Vorsprungs ist.
  • Der laterale Vorsprung dient dazu, eine vordere Wandfläche zu definieren, die von dem unteren vorderen Magnetpolstück an einer Position emporsteigt, die von der Fläche, die dem Medium gegenüberliegt, zurückgesetzt ist. Die vor dere Wandfläche definiert zusätzlich zu einer ersten Kante, die sich längs der dem Medium gegenüberliegenden Fläche in der lateralen Richtung von dem vorderen Ende des longitudinalen Vorsprungs erstreckt, eine zweite Kante, die sich in der lateralen Richtung von dem hinteren Ende des longitudinalen Vorsprungs erstreckt. Bei diesem Typ des Dünnfilmmagnetkopfes kann der Magnetfluss, der in das untere vordere Magnetpolstück hineingetreten ist, aus der ersten bzw. zweiten Kante hin zu dem oberen vorderen Magnetpolstück gelangen. Die derartige Trennung oder Divergenz des Magnetflusses dient dazu, das Austreten eines Magnetfeldes aus der dem Medium gegenüberliegenden Fläche von dem unteren vorderen Magnetpolstück zuverlässig zu reduzieren oder zu unterdrücken. Die Reduzierung oder Unterdrückung des Heraustretens des Magnetfeldes soll zu einer weiteren Reduzierung der Breite einer Aufzeichnungsspur beitragen.
  • Der obenerwähnte Dünnfilmmagnetkopf kann in einem Laufwerk für Aufzeichnungsmedien wie etwa einem Magnetplattenlaufwerk, das ein Festplattenlaufwerk (HDD) enthält, und einem Magnetbandlaufwerk eingesetzt werden.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die obigen und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung gehen aus der folgenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen hervor, in denen:
  • 1 eine Draufsicht ist, die die innere Struktur eines Festplattenlaufwerks (HDD) schematisch zeigt;
  • 2 eine vergrößerte perspektivische Ansicht ist, die ein Beispiel für einen fliegenden Kopfgleiter zeigt;
  • 3 eine Draufsicht ist, die schematisch die Struktur eines induktiven Schreibkopfes oder Dünnfilmmagnetkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 4 eine Schnittteilansicht längs der Linie 4-4 in 3 ist;
  • 5 eine vergrößerte Draufsicht ist, die ein oberes vorderes Magnetpolstück zeigt;
  • 6 eine vergrößerte Schnittteilansicht des Dünnfilmmagnetkopfes zum Darstellen des Verlaufs eines Magnetflusses ist;
  • 7 eine Draufsicht ist, die ein Beispiel für einen Photoresistfilm zum Mustern der Kontur eines unteren vorderen Magnetpolstücks zeigt;
  • 8 eine Draufsicht ist, die ein anderes Beispiel für einen Photoresistfilm zum Mustern der Kontur des unteren vorderen Magnetpolstücks zeigt;
  • 9A9D schematisch einen Prozess zum Bilden des Dünnfilmmagnetkopfes zeigen, bis eine Bezugsebene gebildet wird;
  • 10 schematisch einen Prozess zum Bilden des oberen vorderen Magnetpolstücks zeigt;
  • 11A11C schematisch einen Prozess zum Bilden des Dünnfilmmagnetkopfes zeigen, nachdem das obere vordere Magnetpolstück gebildet worden ist;
  • 12 eine vergrößerte perspektivische Teilansicht ist, die ein Beispiel für einen Vorsprung schematisch zeigt, der aus dem unteren vorderen Magnetpolstück geformt ist;
  • 13 schematisch einen Prozess zum Bilden des unteren vorderen Magnetpolstücks zeigt; und
  • 14 eine vergrößerte perspektivische Teilansicht ist, die schematisch ein Beispiel für longitudinale und laterale Vorsprünge zeigt, die aus dem unteren vorderen Magnetpolstück geformt sind.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
  • 1 zeigt die innere Struktur eines Festplattenlaufwerks (HDD) 10 als Beispiel für ein Laufwerk für magnetische Aufzeichnungsmedien. Ein Gehäuse 11 des HDD 10 enthält ein magnetisches Aufzeichnungsmedium, wie etwa eine Magnetplatte 13, die auf eine Rotationsachse zum Beispiel eines Spindelmotors 12 montiert ist, und einen fliegenden oder Luftlagerungskopfgleiter 14, der der Oberfläche der Magnetplatte 13 gegenüberliegt. Der fliegende Kopfgleiter 14 ist an dem vorderen Ende eines Wagenarms 16 befestigt, der um eine Stützachse 15 herum schwingen kann. Wenn Informationsdaten aus der Aufzeichnungsplatte 13 gelesen werden oder in sie geschrieben werden, treibt ein Betätiger 17, der eine Magnetschaltung wie beispielsweise einen Schwingspulenmotor umfasst, den Wagenarm 16 zur Schwingbewegung an, so dass der fliegende Kopfgleiter 14 an dem vorderen Ende des Wagenarms 16 über einer Zielaufzeichnungsspur auf der Oberfläche der Magnetplatte 13 positioniert wird. Eine Abdeckung, die nicht gezeigt ist, kann mit dem Gehäuse 11 gekoppelt sein, um einen geschlossenen Innenraum zu definieren.
  • 2 zeigt ein Beispiel für den fliegenden Kopfgleiter 14. Der fliegende Kopfgleiter 14 des Typs umfasst einen Gleiterkörper 21 aus Al2O3-TiC und eine Kopfschutzschicht 23 aus Al2O3, die mit dem Herausströmungs- oder hinteren Ende des Gleiterkörpers 21 gekoppelt ist, um einen Lese-/Schreibkopf 22 zu enthalten. Der Gleiterkörper 21 und die Kopfschutzschicht 23 liegen der Oberfläche der Magnetplatte 13 an einer dem Medium gegenüberliegenden Fläche oder Boden fläche 24 gegenüber. Ein Paar von Schienen 25 ist gebildet, um sich in einer Hin- und Herrichtung oder Längsrichtung des Gleiterkörpers 21 zu erstrecken, um jeweilig eine Luftlageroberfläche (air bearing surface: ABS) auf der oberen Fläche zu definieren. Wenn ein Luftstrom 26 erzeugt wird, um der Oberfläche der rotierenden Magnetplatte 13 entlangzuströmen, ist der fliegende Kopfgleiter 14 dafür ausgelegt, um den Luftstrom 26 an der Bodenfläche 24, insbesondere an den Luftlageroberflächen zu empfangen, um dadurch über der Oberfläche der Magnetplatte 13 zu fliegen.
  • Unter Bezugnahme auf 3 wird als Nächstes die Struktur des Lese-/Schreibkopfs 22 eingehend beschrieben. Der Lese-/Schreibkopf 22 umfasst ein induktives Schreibkopfelement, nämlich einen Dünnfilmmagnetkopf 29, das dazu bestimmt ist, Informationsdaten in die Magnetplatte 13 unter Verwendung eines Magnetflusses zu schreiben, der an einer Dünnfilmspule oder einem leitfähigen Wirbelmuster 28 erzeugt wird. Der an dem leitfähigen Wirbelmuster 28 erzeugte Magnetfluss ist dafür ausgelegt, um in einem Magnetjoch 30 zu zirkulieren, dass das leitfähige Wirbelmuster 28 durchdringt.
  • Das Magnetjoch 30 umfasst ein oberes und ein unteres vorderes Magnetpolstück 31, 32. Das obere vordere Magnetpolstück 31 ist so konstruiert, um sich mit einer ersten longitudinalen Länge SD von seinem äußersten oder vorderen Ende, das an der Bodenfläche 24 exponiert ist, nach hinten zu erstrecken. Das untere vordere Magnetpolstück 32 ist ebenfalls konstruiert, um sich mit einer zweiten longitudinalen Länge GD von seinem äußersten oder vorderen Ende, das an der Bodenfläche 24 exponiert ist, nach hinten zu erstrecken. Die zweite longitudinale Länge GD des unteren vorderen Magnet polstücks 32 von beispielsweise ungefähr 1,0 μm ist kleiner als die erste longitudinale Länge SD des oberen vorderen Magnetpolstücks 31 von zum Beispiel ungefähr 4,0 μm. Weiterhin erstreckt sich das untere vordere Magnetpolstück 32 in der lateralen Richtung längs der Bodenfläche 24, wie aus 3 hervorgeht, mit einer lateralen Länge, die merklich größer als jene des oberen vorderen Magnetpolstücks 31 ist. Die laterale Richtung entspricht einer Richtung zum Definieren der Breite einer Aufzeichnungsspur auf der Magnetplatte 13. Die Kernbreite des oberen vorderen Magnetpolstücks 31 in der lateralen Richtung kann zum Beispiel ungefähr 0,3 μm betragen.
  • Unter Bezugnahme auch auf 4 umfasst das Magnetjoch 30 ferner einen zentralen Magnetkern 36, der im Zentrum des leitfähigen Wirbelmusters 28 angeordnet ist. Eine obere Magnetpolschicht 33 erstreckt sich von dem zentralen Magnetkern 36 nach vorn hin zu der Bodenfläche 24. Das äußerste oder vordere Ende der oberen Magnetpolschicht 33 wird auf der oberen Fläche des oberen vorderen Magnetpolstücks 31 aufgenommen. Die obere Magnetpolschicht 33 ist so konstruiert, dass ihr vorderes Ende von der Bodenfläche 24 mit der Tiefe von beispielsweise PH = 1,5 μm zurückgesetzt ist. Die obere Magnetpolschicht 33 kann zum Beispiel aus NiFe hergestellt sein. Die Dicke der oberen Magnetpolschicht 33 kann ungefähr 0,3 μm betragen, während sich das obere vordere Magnetpolstück 31 über eine Bezugsebene 34 in der longitudinalen Richtung mit einer Dicke von beispielsweise etwa 1,5 μm erstrecken kann.
  • Eine untere Magnetpolschicht 35 erstreckt sich unter der Bezugsebene 34 ebenfalls von dem zentralen Magnetkern 36 nach vorn, bis sie die Bodenfläche 24 erreicht. Das äußerste oder vordere Ende der unteren Magnetpolschicht 35 ist mit dem unteren vorderen Magnetpolstück 32 verbunden. Das leitfähige Wirbelmuster 28 ist zwischen den oberen und unteren Magnetpolschichten 33, 35 angeordnet. Die untere Magnetpolschicht 35 kann zum Beispiel aus NiFe sein. Die Dicke der unteren Magnetpolschicht 35 kann ungefähr 3,0 μm betragen, während sich das untere vordere Magnetpolstück 32 über die Fläche der unteren Magnetpolschicht 35 mit einer Dicke von zum Beispiel etwa 2,0 μm erstrecken kann. Das leitfähige Wirbelmuster 28 braucht nicht unbedingt eine mehrschichtige Struktur zu haben, wie in 4 gezeigt, sondern kann bekanntlich auch eine einschichtige Struktur haben.
  • Eine Spaltschicht 37 ist zwischen den oberen und unteren vorderen Magnetpolstücken 31, 32 an dem äußersten oder vorderen Ende des Magnetjochs 30 angeordnet. Wenn ein Magnetfluss in dem Magnetjoch 30 als Antwort auf die Zufuhr von elektrischem Strom zirkuliert, dient die Spaltschicht 37 dazu, dass der Magnetfluss von dem oberen vorderen Magnetpolstück 31 aus der Bodenfläche 24 heraustreten kann. Demzufolge kann ein schmales Magnetfeld zur Aufzeichnung gemäß der schmalen Kernbreite des oberen vorderen Magnetpolstücks 31 erhalten werden.
  • Der Dünnfilmmagnetkopf 29 ist auf der Oberfläche einer Al2O3-Schicht 39 gebildet, in der ein Lesekopfelement wie beispielsweise ein magnetoresistiver (MR) Kopf 38 eingebettet ist. Die Al2O3-Schicht 39 liegt zwischen der unteren Magnetpolschicht 35 des Dünnfilmmagnetkopfes 29 und einer unteren magnetischen Schirmschicht 40, die zum Beispiel aus FeN oder NiFe ist. Die untere Magnetpolschicht 35 ist dazu bestimmt, um als obere Schirmschicht für den MR-Kopf 38 zu fungieren. Durch die Anordnung des MR-Kopfes 38 muss sich die untere Magnetpolschicht 35 in der lateralen Richtung zwangsläufig mit einer lateralen Länge zu erstrecken, die merklich größer als jene der oberen Magnetpolschicht 33 in dem Dünnfilmmagnetkopf 29 ist, wie in 3 gezeigt. Der MR-Kopf 38 kann ein Element mit gigantischem magnetoresistiven Effekt (GMR-Element), ein magnetoresistives Tunnelübergangs-(TMR)-Element und dergleichen enthalten. Der Dünnfilmmagnetkopf 29 kann unabhängig von einem magnetischen Leseelement verwendet werden.
  • Das obere vordere Magnetpolstück 31 umfasst, wie in 5 gezeigt, eine vordere Verlängerungskomponente 42, die sich in der longitudinalen Richtung über die Bezugsebene 34 mit einer konstanten Breite in der lateralen Richtung nach hinten erstreckt, und eine Zwischenkomponente 43, die sich von dem hinteren Ende der vorderen Verlängerungskomponente 42 über die Bezugsebene 34 nach hinten erstreckt. Die Breite der Zwischenkomponente 43 in der lateralen Richtung ist so festgelegt, um größer als jene der vorderen Verlängerungskomponente 42 zu sein. Die Zwischenkomponente 43 kann mit der vorderen Verlängerungskomponente 42 eine Einheit bilden. Die Zwischenkomponente 43 dient dazu, einen größeren Kontaktbereich zwischen der oberen Magnetpolschicht 33 und dem oberen vorderen Magnetpolstück 31 herzustellen. So kann die Sättigung des Magnetflusses in dem Kontaktbereich unterdrückt werden. Es ist möglich, ein unerwünschtes Heraustreten des Magnetflusses zu vermeiden, der das obenerwähnte Magnetfeld zur Aufzeichnung an der Bodenfläche 24 stört.
  • Die Zwischenkomponente 43 enthält eine Vorderseitenschicht 45, die sich von dem hinteren Ende der vorderen Verlängerungskomponente mit ihrer in der lateralen Richtung allmählich zunehmenden Breite nach hinten erstreckt, und eine Hinterseitenschicht 46, die mit dem hinteren Ende der Vorderseitenschicht 45 verbunden ist, um sich mit einer konstanten Breite, die größer als die Breite der oberen Magnetpolschicht 33 in der lateralen Richtung ist, nach hinten zu erstrecken. Die Breite der Hinterseitenschicht 46 in der lateralen Richtung kann sich zum Beispiel ungefähr auf 2,0 μm belaufen. Die Hinterseitenschicht 46 ist so konstruiert, um sich in der lateralen Richtung über die obere Magnetpolschicht 33 hinaus auszubreiten. Die Hinterseitenschicht 46 dient dazu, zuverlässig einen größeren Kontaktbereich zwischen der oberen Magnetpolschicht 33 und dem oberen vorderen Magnetpolstück 31 zu bilden. In dem Kontaktbereich kann die Sättigung des Magnetflusses zuverlässig unterdrückt werden.
  • Nun wird angenommen, dass dem leitfähigen Wirbelmuster 28 in dem Dünnfilmmagnetkopf 29 ein elektrischer Strom zugeführt wird. Ein Magnetfluss wird in dem zentralen Magnetkern 36 innerhalb des leitfähigen Wirbelmusters 28 induziert. Der Magnetfluss zirkuliert in den oberen und unteren Magnetpolschichten 33, 35. Der übertragene Magnetfluss ist dafür bestimmt, um von dem schmaleren oberen vorderen Magnetpolstück 31 aus der Bodenfläche 24 herauszutreten, um einen Umweg um die Spaltschicht 37 zu machen. Daher kann ein Magnetfeld zur Aufzeichnung an der Bodenfläche 24 gebildet werden. Das Magnetfeld ist dazu bestimmt, um auf die Oberfläche der Magnetplatte 13 zur Magnetisierung zu wirken. Auf der Oberfläche der Magnetplatte 13 kann entsprechend der schmaleren Kernbreite des oberen vorderen Magnetpolstücks 31 eine schmalere Aufzeichnungsspur definiert werden.
  • Der Magnetfluss 48 soll, wie in 6 gezeigt, durch das obere vordere Magnetpolstück 31 mit der ersten longitu dinalen Länge SD zu dem unteren vorderen Magnetpolstück 32 mit der zweiten longitudinalen Länge GD verlaufen, die kleiner als die erste longitudinale Länge SD ist. Das untere vordere Magnetpolstück 32 mit der zweiten longitudinalen Länge GD dient zum Konzentrieren des Magnetflusses 48 an den vorderen Enden der oberen und unteren vorderen Magnetpolstücke 31, 32, wie aus 6 hervorgeht. Ein größeres oder stärkeres Magnetfeld zur Aufzeichnung kann längs der Bodenfläche 24 erhalten werden. Insbesondere die obere Magnetpolschicht 33, die so konstruiert ist, um mit ihrem vorderen Ende von der Bodenfläche 24 in der obenerwähnten Weise zurückgesetzt zu sein, tendiert dazu, eine Reduzierung der Größe des Magnetfeldes zur Aufzeichnung herbeizuführen. Das zurückgesetzte vordere Ende der oberen Magnetpolschicht 33 in Kombination mit dem obenerwähnten unteren vorderen Magnetpolstück 32 soll eine Reduzierung des Magnetfeldes zur Aufzeichnung verhindern.
  • Als Nächstes folgt eine kurze Beschreibung der Produktion des oben beschriebenen Dünnfilmmagnetkopfes 29. Ein Wafer aus Al2O3-TiC wird hergestellt, um die untere Magnetpolschicht 35 vorzusehen. Die untere Magnetpolschicht 35 ist auf der Al2O3-Schicht 39 gebildet worden, in der das MR-Element 38 eingebettet ist. Die Al2O3-Schicht 39 ist auf der unteren magnetischen Schirmschicht 40 angeordnet.
  • Anschließend wird das untere vordere Magnetpolstück 32 auf der Oberfläche der unteren Magnetpolschicht 35 gebildet. Zum Bilden des unteren vorderen Magnetpolstücks 32 kann zum Beispiel eine galvanische Abscheidung zum Einsatz kommen. Wenn die galvanische Abscheidung auszuführen ist, kann ein Photoresistfilm 51 auf der Oberfläche der unteren Magnetpolschicht 35 gebildet werden, wie in 7 gezeigt. Der Photoresistfilm 51 dient dazu, einen Hohlraum 52 zu definieren, der nach der Kontur des unteren vorderen Magnetpolstücks 32 gemustert wird. Da das untere vordere Magnetpolstück 32 so konstruiert ist, um sich weit in der lateralen Richtung DR2 ungeachtet der kürzeren Länge in der longitudinalen Richtung DR1 zu erstrecken, kann der Hohlraum 52 in dem Photoresist 51 während der galvanischen Abscheidung vollständig mit einem Elektrolyten gefüllt werden. Das untere vordere Magnetpolstück 32 kann präzise in der konstruierten Form gebildet werden.
  • Hierbei kann ein Rand- oder Hilfsabschnitt 54 in dem Wafer aus Al2O3-TiC enthalten sein, wie in 8 gezeigt. Der Randabschnitt 54 kann angrenzend an einen Primärabschnitt entsprechend dem fertiggestellten Gleiterkörper 21 des fliegenden Kopfgleiters 14 definiert sein. Eine Ebene 53 entsprechend der fertiggestellten Bodenfläche 24 des Glei terkörpers 21 ist dazu bestimmt, den Randabschnitt 54 und den Primärabschnitt voneinander zu trennen. Der Randabschnitt 54 dient zum Definieren des Hohlraums 52 in dem Photoresistfilm 51 jenseits des Primärabschnittes, so dass der Hohlraum 52 in einer Länge vorgesehen werden kann, die größer als jene des künftigen unteren vorderen Magnetpolstücks 32 in der longitudinalen Richtung DR1 ist. Der Hohlraum 52 mit den größeren Maßen kann zu einer leichteren Einführung eines Elektrolyten während der galvanischen Abscheidung beitragen. Das untere vordere Magnetpolstück 32 kann zuverlässiger präzise in der konstruierten Form gebildet werden. Der Randabschnitt 54 kann bei einem nachfolgenden Prozess entfernt werden. Nach dem Entfernen des Randabschnittes 54 ist die Bodenfläche 24 des Kopfgleiters 21 exponiert.
  • Wenn das untere vordere Magnetpolstück 32 gebildet worden ist, wird eine SiO2-Schicht 55 über der Oberfläche des Wafers gebildet, wie in 9A gezeigt. Anschließend wird ein Photoresistfilm 56 auf der Oberfläche der SiO2-Schicht 55 zum Mustern der Kontur der ersten oder unteren Schicht des leitfähigen Wirbelmusters 28 gebildet. Wenn ein Ionenätzen über dem Photoresistfilm 56 ausgeführt wird, wie in 9B gezeigt, wird eine Wirbelnut 57 in der SiO2-Schicht 55 zum Mustern der Form des leitfähigen Wirbelmusters 28 gebildet. Nach dem Entfernen des Photoresistfilms 56 kann das leitfähige Wirbelmuster 28 zum Beispiel während einer galvanischen Abscheidung in der Nut 57 wachsen, wie in 9C gezeigt. Anstelle der SiO2-Schicht 55 kann für einen Isolator eine Al2O3-Schicht verwendet werden.
  • Dann wird auf die Oberfläche des Wafers ein Abflachungsprozess wie beispielsweise ein CMP (chemisch-mechanisches Polieren) angewendet, so dass eine flache Oberfläche oder Ebene 58 erhalten werden kann, wie in 9D gezeigt. Eine nichtmagnetische Schicht 59 wird über der flachen Oberfläche 58 aufgetragen. Die Oberfläche der nichtmagnetischen Schicht 59, die in dieser Weise gebildet wird, entspricht der Bezugsebene 34.
  • Ein Photoresistfilm 60 wird, wie in 10 gezeigt, auf der Oberfläche der nichtmagnetischen Schicht 59, nämlich der Bezugsebene 34 gebildet. Der Photoresistfilm 60 ist so konstruiert, um einen Hohlraum 61 zum Mustern des oberen vorderen Magnetpolstücks 31 zu definieren. Durch galvanische Abscheidung kann eine Magnetschicht in dem Hohlraum 61 wachsen. Auf diese Weise kann das obere vordere Magnetpolstück 31 erhalten werden. Da das untere vordere Magnetpolstück 32 konstruiert ist, um in der lateralen Richtung ein größeres Maß zu haben, kann das obere vordere Magnetpolstück 31 mit dem unteren vorderen Magnetpolstück 32 mit kleinerer longitudinaler Länge bezüglich des oberen vorderen Magnetpolstücks 31 ausgerichtet werden.
  • Wenn das obere vordere Magnetpolstück 31 auf die obige Weise gebildet worden ist, wird dann die zweite oder obere Schicht des leitfähigen Wirbelmusters 28 auf der Oberfläche der nichtmagnetischen Schicht 59, nämlich der Bezugsebene 34 gebildet. Eine Wirbelnut kann verwendet werden, um die Form des leitfähigen Wirbelmusters 28 in einer SiO2-Schicht auf die oben beschriebene Weise zu mustern. Wenn dann ein galvanisches Abscheiden erfolgt, kann das leitfähige Wirbelmuster 28 erhalten werden, wie in 11A gezeigt. Anstelle der SiO2-Schicht kann für einen Isolator auch eine Al2O3-Schicht eingesetzt werden.
  • Wenn das leitfähige Wirbelmuster 28 auf die obige Weise gebildet worden ist, wie in 11B gezeigt, wird dann ein Abflachungsprozess wie etwa ein CMP-(chemisch-mechanischer Polier-)Prozess auf der Oberfläche des Wafers ausgeführt. Anschließend wird die obere Magnetpolschicht 33 auf einer flachen Oberfläche oder Ebene 58 gebildet, die durch den Abflachungsprozess erhalten wurde, wie in 11C gezeigt. Ein galvanisches Abscheiden oder Sputtern kann zum Einsatz kommen, um die obere Magnetpolschicht 33 zu bilden. Der Einsatz des Sputterns dient dazu, die obere Magnetschicht 33 zu realisieren, die aus solchen Materialien wie FeN, FeNAl2O3, FeZrN, CoFe, FeAl2O3, FeTaN, CoZrNb und dergleichen zum Verbessern der Sättigungsflussdichte Bs und/oder des spezifischen elektrischen Widerstandes hergestellt wird.
  • Ein winziger Vorsprung 65 kann gebildet werden, wie in 12 gezeigt, um von der oberen Fläche des unteren vorde ren Magnetpolstücks 32 hin zu dem oberen vorderen Magnetpolstück 31 emporzusteigen. Der Vorsprung 65 kann mit dem unteren vorderen Magnetpolstück 32 eine Einheit bilden. Der Vorsprung 65 ist so konstruiert, um eine Kontur zu haben, die teilweise jene des oberen vorderen Magnetpolstücks 31 reflektiert. Der Vorsprung 65 kann somit eine laterale Breite entsprechend der Kernbreite CW des oberen vorderen Magnetpolstücks 31 haben, während die zweite Länge GD in dem Vorsprung 65 in der longitudinalen Richtung beibehalten werden kann. Daher kann ein noch schmaleres Magnetfeld zur Aufzeichnung zwischen dem oberen vorderen Magnetpolstück 31 und dem Vorsprung 65 auf dem unteren vorderen Magnetpolstück 32 erhalten werden, während das Magnetfeld zur Aufzeichnung mit einem stärkeren oder höheren Niveau beibehalten werden kann. Die Breite einer Aufzeichnungsspur auf der Aufzeichnungsplatte 13 kann weiter reduziert werden.
  • Beim Bilden des Vorsprungs 65 auf dem unteren vorderen Magnetpolstück 32 kann ein Ionenstrahlätzen unter Einsatz des oberen vorderen Magnetpolstücks 31 als Maske verwendet werden, wie in 13 gezeigt. Wenn das Ionenstrahlätzen ausgeführt wird, kann die nichtmagnetische Schicht oder die Spaltschicht 37 außerhalb der Peripherie des oberen vorderen Magnetpolstücks 31 entfernt werden. Gleichzeitig leidet das untere vordere Magnetpolstück 32 unter der teilweisen Entfernung außerhalb der Peripherie des oberen vorderen Magnetpolstücks 31 unter der Spaltschicht 37, so dass der Vorsprung 65 aus dem unteren vorderen Magnetpolstück 32 geformt werden kann. Die Dicke oder Höhe des Vorsprungs 65 ausgehend von der endgültigen Oberfläche des unteren vorderen Magnetpolstücks 32 kann ungefähr 0,2 μm betragen.
  • Alternativ dazu kann ein longitudinaler Vorsprung 66 gebildet werden, um von der oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks 32 hin zu dem oberen vorderen Magnetpolstück 31 emporzusteigen, wie zum Beispiel in 14 gezeigt. Der longitudinale Vorsprung 66 ist so konstruiert, um sich von der Bodenfläche 24 mit einer dritten longitudinalen Länge DD, die kleiner als die zweite longitudinale Länge GD des unteren vorderen Magnetpolstücks 32 ist, nach hinten zu erstrecken. Gleichzeitig ist auch der longitudinale Vorsprung 66 so konstruiert, um die laterale Breite entsprechend jener des oberen vorderen Magnetpolstücks 31 zu haben.
  • Ein lateraler Vorsprung 67 kann mit dem hinteren Ende des longitudinalen Vorsprungs 66 verbunden sein. Der laterale Vorsprung 67 ist so konstruiert, um sich auf der oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks 32 mit der lateralen Breite zu erstrecken, die größer als jene des longitudinalen Vorsprungs 66 ist. Wie aus 14 hervorgeht, kann der laterale Vorsprung 67 die laterale Breite haben, die jener des unteren vorderen Magnetpolstücks 32 gleich ist.
  • Wenn der laterale Vorsprung 67 mit dem hinteren Ende des longitudinalen Vorsprungs 66 auf die oben beschriebene Weise verbunden ist, kann eine vordere Wandfläche 68 definiert sein, um von der Oberfläche des unteren vorderen Magnetpolstücks 32 an einer Position emporzuragen, die von der Bodenfläche 24 zurückgesetzt ist. Die vordere Wandfläche 68 kann konstruiert sein, um sich parallel zu der Bodenfläche 24 zu erstrecken. Die vordere Wandfläche 68 dient dazu, eine erste und eine zweite Kante 69, 70 auf beiden Seiten des longitudinalen Vorsprungs 66 zu definieren. Die erste Kante 69 kann sich entlang der Bodenfläche 24 in der latera len Richtung ab dem vorderen Ende des longitudinalen Vorsprungs 66 erstrecken, während sich die zweite Kante 70 in der lateralen Richtung ab dem hinteren Ende des longitudinalen Vorsprungs 66 erstrecken kann. Die ersten und zweiten Kanten 69, 70 können sich parallel zueinander erstrecken.
  • Im Allgemeinen ist wohlbekannt, dass sich ein Magnetfluss gewöhnlich an der Kante eines Magnetstücks oder -körpers konzentrieren kann. Der Magnetfluss, der in das untere vordere Magnetpolstück 32 hineingetreten ist, kann zu den ersten und zweiten Kanten 69, 70 in dem obenerwähnten Dünnfilmmagnetkopf 29 geführt werden. Der geführte Magnetfluss kann durch die ersten und zweiten Kanten 69, 70 hin zu dem oberen vorderen Magnetpolstück 31 verlaufen. Die derartige Trennung oder Divergenz des Magnetflusses dient zum zuverlässigen Reduzieren oder Unterdrücken des Heraustretens eines Magnetfeldes von dem unteren vorderen Magnetpolstück 32 aus der Bodenfläche 24. Die Reduzierung oder Unterdrückung des Heraustretens des Magnetfeldes soll zu einer weiteren Reduzierung der Breite einer Auszeichnungsspur auf der Magnetplatte 13 beitragen.
  • Es sei erwähnt, dass das untere vordere Magnetpolstück 32 vorzugsweise konstruiert ist, um eine Sättigungsflussdichte Bs zu haben, die größer als jene der unteren Magnetpolschicht 35 ist. Die festgelegte Sättigungsflussdichte Bs trägt zum zuverlässigen Vermeiden der Sättigung des Flusses in dem unteren vorderen Magnetpolstück 32 bei. In dem Fall, wenn 80Ni20Fe in der unteren Magnetpolschicht 35 verwendet wird, um Bs = 1,0 T zu erreichen, kann 50Ni50Fe oder 45Ni55Fe für das untere vordere Magnetpolstück 32 verwendet werden. 50Ni50Fe ergibt gewöhnlich Bs = 1,4 T, und 45Ni55Fe wird gewöhnlich verwendet, um Bs = 1,6 T zu erreichen.

Claims (26)

  1. Dünnfilmmagnetkopf mit: einer Dünnfilmspule (28); einem zentralen Magnetkern (36), der innerhalb der Dünnfilmspule angeordnet ist; einer nichtmagnetischen Schicht (59); einer oberen Magnetpolschicht (33), die sich von dem zentralen Magnetkern über der nichtmagnetischen Schicht nach vorn erstreckt; einer unteren Magnetpolschicht (35), die sich von dem zentralen Magnetkern unter der nichtmagnetischen Schicht nach vorn erstreckt; einem oberen vorderen Magnetpolstück (31), das ein vorderes Ende der oberen Magnetpolschicht aufnimmt und sich über die Fläche der nichtmagnetischen Schicht von seinem vorderen Ende, das an einer einem Medium gegenüberliegenden Fläche exponiert ist, nach hinten erstreckt; und einem unteren vorderen Magnetpolstück (32), das mit einem vorderen Ende der unteren Magnetpolschicht verbunden ist und sich von der dem Medium gegenüberliegenden Fläche mit einer longitudinalen Länge, die kleiner als jene des oberen vorderen Magnetpolstücks ist, unter der nichtmagnetischen Schicht nach hinten erstreckt, dadurch gekennzeichnet, dass das untere vordere Magnetpolstück (32) sich in einer lateralen Richtung längs der dem Medium gegenüberliegenden Fläche mit einer lateralen Breite erstreckt, die größer als jene des oberen vorderen Magnetpolstücks (31) ist.
  2. Dünnfilmmagnetkopf nach Anspruch 1, bei dem das untere vordere Magnetpolstück (32) so ausgebildet ist, um eine Sättigungsflussdichte zu haben, die größer als jene der unteren Magnetpolschicht ist.
  3. Dünnfilmmagnetkopf nach Anspruch 2, bei dem die untere Magnetpolschicht aus 80Ni20Fe ist, während das untere vordere Magnetpolstück entweder aus 50Ni50Fe oder 45Ni55Fe ist.
  4. Dünnfilmmagnetkopf nach Anspruch 1, bei dem die obere Magnetpolschicht von der dem Medium gegenüberliegenden Fläche zurückgesetzt ist.
  5. Dünnfilmmagnetkopf nach Anspruch 4, bei dem das obere vordere Magnetpolstück eine Schicht enthält, die sich mit einer Breite, die größer als jene der oberen Magnetpolschicht in der lateralen Richtung ist, nach hinten erstreckt.
  6. Dünnfilmmagnetkopf nach Anspruch 5, bei dem das untere vordere Magnetpolstück mit einem Vorsprung versehen ist, der auf einer oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks gebildet ist, um eine laterale Breite entsprechend jener des oberen vorderen Magnetpolstücks zu haben.
  7. Dünnfilmmagnetkopf nach Anspruch 5, bei dem das untere vordere Magnetpolstück versehen ist mit: einem longitudinalen Vorsprung, der auf einer oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks gebildet ist, um sich von der dem Medium gegenüberliegenden Fläche mit einer longitudinalen Länge, die kleiner als jene des unteren vorderen Magnetpolstücks ist, nach hinten zu erstrecken, welcher longitudinale Vorsprung eine laterale Breite entsprechend jener des oberen vorderen Magnetpolstücks hat; und einem lateralen Vorsprung, der mit einem hinteren Ende des longitudinalen Vorsprungs verbunden ist, um sich auf der oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks mit einer lateralen Breite zu erstrecken, die größer als jene des longitudinalen Vorsprungs ist.
  8. Dünnfilmmagnetkopf nach Anspruch 4, bei dem das obere vordere Magnetpolstück (31) enthält: eine vordere Verlängerungskomponente (42), die sich über die Fläche der nichtmagnetischen Schicht mit einer konstanten Breite in der lateralen Richtung nach hinten erstreckt; und eine Zwischenkomponente (43), die sich von einem hinteren Ende der vorderen Verlängerungskomponente über die Fläche der nichtmagnetischen Schicht nach hinten erstreckt und so konstruiert ist, um eine laterale Breite zu haben, die größer als jene der vorderen Verlängerungskomponente (42) ist.
  9. Dünnfilmmagnetkopf nach Anspruch 8, bei dem die Zwischenkomponente enthält: eine Schicht der vorderen Seite, die sich von dem hinteren Ende der vorderen Verlängerungskomponente mit einer Breite, die kleiner als jene der oberen Magnetpolschicht in der lateralen Richtung ist, nach hinten erstreckt; und eine Schicht der hinteren Seite, die sich von einem hinteren Ende der Schicht der vorderen Seite mit einer Breite, die größer als jene der oberen Magnetpolschicht in der lateralen Richtung ist, nach hinten erstreckt.
  10. Dünnfilmmagnetkopf nach Anspruch 9, bei dem das untere vordere Magnetpolstück mit einem Vorsprung versehen ist, der auf einer oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks gebildet ist, um eine laterale Breite entsprechend jener des oberen vorderen Magnetpolstücks zu haben.
  11. Dünnfilmmagnetkopf nach Anspruch 9, bei dem das untere vordere Magnetpolstück versehen ist mit: einem longitudinalen Vorsprung, der auf einer oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks gebildet ist, um sich von der dem Medium gegenüberliegenden Fläche mit einer longitudinalen Länge, die kleiner als jene des unteren vorderen Magnetpolstücks ist, nach hinten zu erstrecken, welcher longitudinale Vorsprung eine laterale Breite entsprechend jener des oberen vorderen Magnetpolstücks hat; und einem lateralen Vorsprung, der mit einem hinteren Ende des longitudinalen Vorsprungs verbunden ist, um sich auf der oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks mit einer lateralen Breite zu erstrecken, die größer als jene des longitudinalen Vorsprungs ist.
  12. Dünnfilmmagnetkopf nach Anspruch 1, bei dem das obere vordere Magnetpolstück eine Schicht enthält, die sich mit einer Breite, die größer als jene der oberen Magnetpolschicht in der lateralen Richtung ist, nach hinten erstreckt.
  13. Dünnfilmmagnetkopf nach Anspruch 1, bei dem das obere vordere Magnetpolstück enthält: eine vordere Verlängerungskomponente, die sich über die Bezugsebene mit einer konstanten Breite in der lateralen Richtung nach hinten erstreckt; und eine Zwischenkomponente, die sich von einem hinteren Ende der vorderen Verlängerungskomponente über die Bezugsebene nach hinten erstreckt und so konstruiert ist, um eine laterale Breite zu haben, die größer als jene der vorderen Verlängerungskomponente ist.
  14. Dünnfilmmagnetkopf nach Anspruch 13, bei dem die Zwischenkomponente enthält: eine Schicht der vorderen Seite, die sich von dem hinteren Ende der vorderen Verlängerungskomponente mit einer Breite, die kleiner als jene der oberen Magnetpolschicht in der lateralen Richtung ist, nach hinten erstreckt; und eine Schicht der hinteren Seite, die sich von einem hinteren Ende der Schicht der vorderen Seite mit einer Breite, die größer als jene der oberen Magnetpolschicht in der lateralen Richtung ist, nach hinten erstreckt.
  15. Dünnfilmmagnetkopf nach Anspruch 1, bei dem das untere vordere Magnetpolstück mit einem Vorsprung versehen ist, der auf einer oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks gebildet ist, um eine laterale Breite entsprechend jener des oberen vorderen Magnetpolstücks zu haben.
  16. Dünnfilmmagnetkopf nach Anspruch 1, bei dem das untere vordere Magnetpolstück versehen ist mit: einem longitudinalen Vorsprung, der auf einer oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks gebildet ist, um sich von der dem Medium gegenüberliegenden Fläche mit einer longitudinalen Länge, die kleiner als jene des unteren vorderen Magnetpolstücks ist, nach hinten zu erstrecken, welcher longitudinale Vorsprung eine laterale Breite entsprechend jener des oberen vorderen Magnetpolstücks hat; und einem lateralen Vorsprung, der mit einem hinteren Ende des longitudinalen Vorsprungs verbunden ist, um sich auf der oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks mit einer lateralen Breite zu erstrecken, die größer als jene des longitudinalen Vorsprungs ist.
  17. Aufzeichnungsmedienlaufwerk mit: einem Aufzeichnungsmedium (13); und einem Dünnfilmmagnetkopf (29), der dem Aufzeichnungsmedium gegenüberliegt, welcher Dünnfilmmagnetkopf enthält: eine Dünnfilmspule (28); einen zentralen Magnetkern (36), der innerhalb der Dünnfilmspule angeordnet ist; eine nichtmagnetische Schicht (59); eine obere Magnetpolschicht (33), die sich von dem zentralen Magnetkern über der nichtmagnetischen Schicht nach vorn erstreckt; eine untere Magnetpolschicht (35), die sich von dem zentralen Magnetkern unter der nichtmagnetischen Schicht nach vorn erstreckt; ein oberes vorderes Magnetpolstück (31), das ein vorderes Ende der oberen Magnetpolschicht aufnimmt und sich über die Fläche der nichtmagnetischen Schicht von seinem vorderen Ende, das an einer einem Medium gegenüberliegenden Fläche exponiert ist, nach hinten erstreckt; und ein unteres vorderes Magnetpolstück (32), das mit einem vorderen Ende der unteren Magnetpolschicht verbunden ist und sich von der dem Medium gegenüberliegenden Fläche mit einer longitudinalen Länge, die kleiner als jene des oberen vorderen Magnetpolstücks ist, unter der nichtmagnetischen Schicht nach hinten erstreckt, dadurch gekennzeichnet, dass das untere vordere Magnetpolstück (32) sich in einer lateralen Richtung längs der dem Medium gegenüberliegenden Fläche mit einer lateralen Breite erstreckt, die größer als jene des oberen vorderen Magnetpolstücks (31) ist.
  18. Aufzeichnungsmedienlaufwerk nach Anspruch 17, bei dem das Aufzeichnungsmedium entweder ein Magnetband oder eine Magnetplatte ist.
  19. Aufzeichnungsmedienlaufwerk nach Anspruch 18, bei dem das untere vordere Magnetpolstück mit einem Vorsprung versehen ist, der auf einer oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks gebildet ist, um eine laterale Breite entsprechend jener des oberen vorderen Magnetpolstücks zu haben.
  20. Aufzeichnungsmedienlaufwerk nach Anspruch 18, bei dem das untere vordere Magnetpolstück versehen ist mit: einem longitudinalen Vorsprung, der auf einer oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks gebildet ist, um sich von der dem Medium gegenüberliegenden Fläche mit einer longitudinalen Länge, die kleiner als jene des unteren vorderen Magnetpolstücks ist, nach hinten zu erstrecken, welcher longitudinale Vorsprung eine laterale Breite entsprechend jener des oberen vorderen Magnetpolstücks hat; und einem lateralen Vorsprung, der mit einem hinteren Ende des longitudinalen Vorsprungs verbunden ist, um sich auf der oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks mit einer lateralen Breite zu erstrecken, die größer als jene des longitudinalen Vorsprungs ist.
  21. Aufzeichnungsmedienlaufwerk nach Anspruch 17, bei dem die obere Magnetpolschicht (33) von der dem Medium gegenüberliegenden Fläche zurückgesetzt ist.
  22. Aufzeichnungsmedienlaufwerk nach Anspruch 21, bei dem das obere vordere Magnetpolstück (31) eine Schicht enthält, die sich mit einer Breite, die größer als jene der oberen Magnetpolschicht (33) in der lateralen Richtung ist, nach hinten erstreckt.
  23. Aufzeichnungsmedienlaufwerk nach Anspruch 22, bei dem das untere vordere Magnetpolstück (32) mit einem Vorsprung (65) versehen ist, der auf einer oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks gebildet ist, um eine laterale Breite entsprechend jener des oberen vorderen Magnetpolstücks (31) zu haben.
  24. Aufzeichnungsmedienlaufwerk nach Anspruch 22, bei dem das untere vordere Magnetpolstück (32) versehen ist mit: einem longitudinalen Vorsprung (66), der auf einer oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks gebildet ist, um sich von der dem Medium gegenüberliegenden Fläche mit einer longitudinalen Länge, die kleiner als jene des unteren vorderen Magnetpolstücks ist, nach hinten zu erstrecken, welcher longitudinale Vorsprung eine laterale Breite entsprechend jener des oberen vorderen Magnetpolstücks hat; und einem lateralen Vorsprung (67), der mit einem hinteren Ende des longitudinalen Vorsprungs (66) verbunden ist, um sich auf der oberen Fläche des unteren vorderen Magnetpolstücks mit einer lateralen Breite zu erstrecken, die größer als jene des longitudinalen Vorsprungs ist.
  25. Aufzeichnungsmedienlaufwerk nach Anspruch 21, bei dem das obere vordere Magnetpolstück (31) enthält: eine vordere Verlängerungskomponente (42), die sich über die Fläche der nichtmagnetischen Schicht mit einer konstanten Breite in der lateralen Richtung nach hinten erstreckt; und eine Zwischenkomponente (43), die sich von einem hinteren Ende der vorderen Verlängerungskomponente über die nichtmagnetische Schicht nach hinten erstreckt und so konstruiert ist, um eine laterale Breite zu haben, die größer als jene der vorderen Verlängerungskomponente (42) ist.
  26. Aufzeichnungsmedienlaufwerk nach Anspruch 25, bei dem die Zwischenkomponente enthält: eine Schicht der vorderen Seite, die sich von dem hinteren Ende der vorderen Verlängerungskomponente mit einer Breite, die kleiner als jene der oberen Magnetpolschicht in der lateralen Richtung ist, nach hinten erstreckt; und eine Schicht der hinteren Seite, die sich von einem hinteren Ende der Schicht der vorderen Seite mit einer Breite, die größer als jene der oberen Magnetpolschicht in der lateralen Richtung ist, nach hinten erstreckt.
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