JP2727915B2 - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JP2727915B2 JP2727915B2 JP12782193A JP12782193A JP2727915B2 JP 2727915 B2 JP2727915 B2 JP 2727915B2 JP 12782193 A JP12782193 A JP 12782193A JP 12782193 A JP12782193 A JP 12782193A JP 2727915 B2 JP2727915 B2 JP 2727915B2
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- Japan
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- magnetic
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は薄膜磁気ヘッドにかか
り、更に具体的にはヘッド先端部分における磁気飽和に
対する改良に関する。
り、更に具体的にはヘッド先端部分における磁気飽和に
対する改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の薄膜磁気ヘッドとしては、例えば
本件出願人による特開平３−５８３０８号公報に開示さ
れたものがある。これによれば、薄膜磁気ヘッドの磁気
回路は、上下のコアの他にそれらを接続する中間コアに
よって構成されており、全体が絶縁層によって平坦に構
成されている。このため、フォトリソグラフィなどの薄
膜技術による各部のパターン形成を良好に行うことがで
き、優れた磁気特性を得ることができる。なお、以下の
説明では、便宜上薄膜磁気ヘッドの媒体対向面側を前，
その反対側を後，基板側を下，その反対側を上とそれぞ
れ表現する。
本件出願人による特開平３−５８３０８号公報に開示さ
れたものがある。これによれば、薄膜磁気ヘッドの磁気
回路は、上下のコアの他にそれらを接続する中間コアに
よって構成されており、全体が絶縁層によって平坦に構
成されている。このため、フォトリソグラフィなどの薄
膜技術による各部のパターン形成を良好に行うことがで
き、優れた磁気特性を得ることができる。なお、以下の
説明では、便宜上薄膜磁気ヘッドの媒体対向面側を前，
その反対側を後，基板側を下，その反対側を上とそれぞ
れ表現する。
【０００３】図７には、かかる従来例の薄膜磁気ヘッド
が示されている。同図中（Ａ）は平面図，（Ｂ）は
（Ａ）の＃Ａ−＃Ａ線に沿って矢印方向に見た断面図、
同図（Ｃ）は磁気コアの部分を示す斜視図である。これ
らの図において、基板１０上には、絶縁膜１２，１４が
形成されており、絶縁膜１４には下コア１６が形成され
ている。この下コア１６上には、前部中間コア１８，２
０，後部中間コア２２，２４がそれぞれ形成されてい
る。
が示されている。同図中（Ａ）は平面図，（Ｂ）は
（Ａ）の＃Ａ−＃Ａ線に沿って矢印方向に見た断面図、
同図（Ｃ）は磁気コアの部分を示す斜視図である。これ
らの図において、基板１０上には、絶縁膜１２，１４が
形成されており、絶縁膜１４には下コア１６が形成され
ている。この下コア１６上には、前部中間コア１８，２
０，後部中間コア２２，２４がそれぞれ形成されてい
る。
【０００４】そして、前部中間コア１８，２０の間には
絶縁膜による磁気ギャップ２６が形成されており、更に
後部中間コア２２，２４を巻回するようにコイル２８が
形成されている。前部中間コア２０，後部中間コア２４
上には絶縁膜３０中に上コア３２が形成されている。コ
イル２８はリード線３４に接続されている。同図（Ａ）
では、絶縁膜３０は省略されている。
絶縁膜による磁気ギャップ２６が形成されており、更に
後部中間コア２２，２４を巻回するようにコイル２８が
形成されている。前部中間コア２０，後部中間コア２４
上には絶縁膜３０中に上コア３２が形成されている。コ
イル２８はリード線３４に接続されている。同図（Ａ）
では、絶縁膜３０は省略されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、以上のよう
な薄膜磁気ヘッドを同図（Ａ）の平面から見ると、上下
コア１６，３２の形状はそれらの後側（同図の右側）で
は広がっているが、コア先端部（同図の左側）になるほ
ど絞り込まれており、最終的には信号記録のトラック幅
と略同一となる。幅が絞り込まれてトラック幅と同じに
なる位置を変曲点Ｐとすると、この変曲点Ｐと前部中間
コア１８，２０との後縁とは略一致している。また、変
曲点Ｐから前方の部分では、上下コア１６，３２，前部
中間コア１８，２０がほぼ同一の面積となっている。
な薄膜磁気ヘッドを同図（Ａ）の平面から見ると、上下
コア１６，３２の形状はそれらの後側（同図の右側）で
は広がっているが、コア先端部（同図の左側）になるほ
ど絞り込まれており、最終的には信号記録のトラック幅
と略同一となる。幅が絞り込まれてトラック幅と同じに
なる位置を変曲点Ｐとすると、この変曲点Ｐと前部中間
コア１８，２０との後縁とは略一致している。また、変
曲点Ｐから前方の部分では、上下コア１６，３２，前部
中間コア１８，２０がほぼ同一の面積となっている。
【０００６】更に、同図（Ｂ）の断面からみると、コア
厚みは、媒体対向面から変曲点Ｐに至る寿命寸法Ｌの範
囲では、上下コア１６，３２に前部中間コア１８，２０
を加えた厚みとなっている。
厚みは、媒体対向面から変曲点Ｐに至る寿命寸法Ｌの範
囲では、上下コア１６，３２に前部中間コア１８，２０
を加えた厚みとなっている。
【０００７】次に、以上のような上下コア１６，３２、
中間コア１８，２０，２２，２４による磁気回路の断面
積を、図８を参照しながら説明する。同図（Ａ）には、
上コア３２を分離した状態が示されており、線Ｘ１〜Ｘ
４による断面が同図（Ｂ）〜（Ｅ）にそれぞれ示されて
いる。変曲点Ｐより前方の部分の磁気回路では、同図
（Ｂ）のように中間コア１８，２０の断面積となってい
る。次に、上下コア１６，３２の部分では、同図
（Ｃ），（Ｄ）に示すようにそれらコアの断面積となっ
ている。また、後部中間コア２２，２４の部分では、同
図（Ｅ）に示すように、それらのコアの断面積となって
いる。
中間コア１８，２０，２２，２４による磁気回路の断面
積を、図８を参照しながら説明する。同図（Ａ）には、
上コア３２を分離した状態が示されており、線Ｘ１〜Ｘ
４による断面が同図（Ｂ）〜（Ｅ）にそれぞれ示されて
いる。変曲点Ｐより前方の部分の磁気回路では、同図
（Ｂ）のように中間コア１８，２０の断面積となってい
る。次に、上下コア１６，３２の部分では、同図
（Ｃ），（Ｄ）に示すようにそれらコアの断面積となっ
ている。また、後部中間コア２２，２４の部分では、同
図（Ｅ）に示すように、それらのコアの断面積となって
いる。
【０００８】これら各部の断面積を比較すると、上下コ
ア１６，３２が前部から後部に向かって広がっているた
め、その前方にいくほど断面積は小さくなる。しかし、
変曲点Ｐより前方の部分では、中間コア１８，２０の断
面積が寄与するので、結果的に変曲点Ｐの近傍領域で相
対的に最も磁気回路の断面積が小さくなる（同図（Ｃ）
参照）。このため、その部分で磁気飽和しやすく、磁気
ヘッドとしての効率の低下が生ずる恐れがある。
ア１６，３２が前部から後部に向かって広がっているた
め、その前方にいくほど断面積は小さくなる。しかし、
変曲点Ｐより前方の部分では、中間コア１８，２０の断
面積が寄与するので、結果的に変曲点Ｐの近傍領域で相
対的に最も磁気回路の断面積が小さくなる（同図（Ｃ）
参照）。このため、その部分で磁気飽和しやすく、磁気
ヘッドとしての効率の低下が生ずる恐れがある。
【０００９】本発明は、これらの点に着目したもので、
磁気飽和の発生を緩和して効率の低下を防止することが
できる薄膜磁気ヘッドを提供することをその目的とす
る。
磁気飽和の発生を緩和して効率の低下を防止することが
できる薄膜磁気ヘッドを提供することをその目的とす
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、上コア、下コア、前部中間コア、後部中
間コアによって磁気回路を構成する各層が平坦に構成さ
れており、前記前部中間コア間には磁気ギャップが形成
され、前記上コア、前記下コアの前記前部中間コアに接
する第１の部分の幅はトラック幅と略同一であり、前記
上コア、前記下コアの前記前部中間コアに接しない第２
の部分の幅は前記トラック幅より大であり、前記上コ
ア、前記下コアの前記第１の部分は前記中間コアの後縁
となる略変曲点を介して前記第２の部分に連続している
薄膜磁気ヘッドにおいて、前記前部中間コアのうち、少
なくとも１層の後縁を、上コア又は下コアの略変曲点よ
りも前記後部中間コア側に延長したことを特徴とする。
本発明の主要な態様によれば、前記前部中間コアの延長
部分が、上コア又は下コアに沿った形状となっている。
め、本発明は、上コア、下コア、前部中間コア、後部中
間コアによって磁気回路を構成する各層が平坦に構成さ
れており、前記前部中間コア間には磁気ギャップが形成
され、前記上コア、前記下コアの前記前部中間コアに接
する第１の部分の幅はトラック幅と略同一であり、前記
上コア、前記下コアの前記前部中間コアに接しない第２
の部分の幅は前記トラック幅より大であり、前記上コ
ア、前記下コアの前記第１の部分は前記中間コアの後縁
となる略変曲点を介して前記第２の部分に連続している
薄膜磁気ヘッドにおいて、前記前部中間コアのうち、少
なくとも１層の後縁を、上コア又は下コアの略変曲点よ
りも前記後部中間コア側に延長したことを特徴とする。
本発明の主要な態様によれば、前記前部中間コアの延長
部分が、上コア又は下コアに沿った形状となっている。
【００１１】
【作用】本発明によれば、前部中間コアの後縁が、それ
に連続する上コア又は下コアの略変曲点よりも後側に延
長されている。これにより、上コア又は下コアと前部中
間コアが接続する部分の磁路面積が増大し、磁気飽和が
緩和されるようになる。
に連続する上コア又は下コアの略変曲点よりも後側に延
長されている。これにより、上コア又は下コアと前部中
間コアが接続する部分の磁路面積が増大し、磁気飽和が
緩和されるようになる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明による薄膜磁気ヘッドの実施例
について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。な
お、上述した従来技術と同一の構成部分又は従来技術に
対応する構成部分には、同一の符号を用いることとす
る。
について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。な
お、上述した従来技術と同一の構成部分又は従来技術に
対応する構成部分には、同一の符号を用いることとす
る。
【００１３】＜第１実施例＞最初に、図１及び図２を参
照しながら本発明の第１実施例について説明する。図１
には第１実施例の薄膜磁気ヘッドが示されており、同図
（Ａ）は断面，（Ｂ）はコア部分の斜視図である。ま
た、同図（Ｃ）は本実施例と前記従来例のコア部分平面
を比較したものである。これらの図に示すように、本実
施例では、磁気ギャップ５０を挟んで形成されている前
部中間コア５２，５４は、その後縁が寿命寸法Ｌ＝０の
位置，すなわち略変曲点Ｐより後側に延長されている。
他の構成部分は前記従来例と同様である。
照しながら本発明の第１実施例について説明する。図１
には第１実施例の薄膜磁気ヘッドが示されており、同図
（Ａ）は断面，（Ｂ）はコア部分の斜視図である。ま
た、同図（Ｃ）は本実施例と前記従来例のコア部分平面
を比較したものである。これらの図に示すように、本実
施例では、磁気ギャップ５０を挟んで形成されている前
部中間コア５２，５４は、その後縁が寿命寸法Ｌ＝０の
位置，すなわち略変曲点Ｐより後側に延長されている。
他の構成部分は前記従来例と同様である。
【００１４】次に、図２を参照しながら磁気回路の主要
部の断面積を検討する。同図（Ａ）には、上コア３２を
分離した状態が示されており、線Ｘ１〜Ｘ４による断面
が同図（Ｂ）〜（Ｅ）にそれぞれ示されている（後述す
る図３も同様）。線Ｘ１，Ｘ３，Ｘ４の断面である同図
（Ｂ），（Ｄ），（Ｅ）に示す断面積は前記従来例と同
様である。しかし、線Ｘ２による断面では、前部中間コ
ア５２，５４が延長されていることからそれらの断面が
下コア１６の断面に加わることになる。このため、断面
は同図（Ｃ）に示すようになり、前記従来例よりも増大
することになる。これにより、変曲点Ｐの近傍の磁路の
断面積が増大して、その部分における磁気飽和が緩和さ
れるようになる。
部の断面積を検討する。同図（Ａ）には、上コア３２を
分離した状態が示されており、線Ｘ１〜Ｘ４による断面
が同図（Ｂ）〜（Ｅ）にそれぞれ示されている（後述す
る図３も同様）。線Ｘ１，Ｘ３，Ｘ４の断面である同図
（Ｂ），（Ｄ），（Ｅ）に示す断面積は前記従来例と同
様である。しかし、線Ｘ２による断面では、前部中間コ
ア５２，５４が延長されていることからそれらの断面が
下コア１６の断面に加わることになる。このため、断面
は同図（Ｃ）に示すようになり、前記従来例よりも増大
することになる。これにより、変曲点Ｐの近傍の磁路の
断面積が増大して、その部分における磁気飽和が緩和さ
れるようになる。
【００１５】＜第２実施例＞次に、図３及び図４を参照
しながら本発明の第２実施例について説明する。図３は
コア部分を示すもので、図４はコア部分の平面図であ
る。これらの図に示すように、本実施例によれば、磁気
ギャップ６０を挟んで形成されている前部中間コア６
２，６４は、第１実施例と同様に後縁が延長されてお
り、かつ、この部分が上下コア１６，３２の形状に沿っ
て扇状に広がった形状となっている。
しながら本発明の第２実施例について説明する。図３は
コア部分を示すもので、図４はコア部分の平面図であ
る。これらの図に示すように、本実施例によれば、磁気
ギャップ６０を挟んで形成されている前部中間コア６
２，６４は、第１実施例と同様に後縁が延長されてお
り、かつ、この部分が上下コア１６，３２の形状に沿っ
て扇状に広がった形状となっている。
【００１６】前部中間コア６２，６４をこのような形状
とすることで、上下コア１６，３２との接続部分の面積
が増加する。これによって、磁気飽和しやすい変曲点Ｐ
の近傍部分の断面積が図３（Ｃ）に示すように更に増加
するので、第１実施例における磁気飽和を緩和する効果
を向上させることができる。
とすることで、上下コア１６，３２との接続部分の面積
が増加する。これによって、磁気飽和しやすい変曲点Ｐ
の近傍部分の断面積が図３（Ｃ）に示すように更に増加
するので、第１実施例における磁気飽和を緩和する効果
を向上させることができる。
【００１７】＜第３実施例＞次に、図５を参照しながら
本発明の第３実施例について説明する。同図中（Ａ）は
断面図，（Ｂ）はコア部分の斜視図である。この第３実
施例では、前部中間コアのうち、磁気ギャップ７０の下
側の前部中間コア７２のみが矢印ＦＡで示すように後方
に延長されている。なお、反対に上側の前部中間コア２
０の方を延ばすようにしてもよい。
本発明の第３実施例について説明する。同図中（Ａ）は
断面図，（Ｂ）はコア部分の斜視図である。この第３実
施例では、前部中間コアのうち、磁気ギャップ７０の下
側の前部中間コア７２のみが矢印ＦＡで示すように後方
に延長されている。なお、反対に上側の前部中間コア２
０の方を延ばすようにしてもよい。
【００１８】＜第４実施例＞次に、図６を参照しながら
本発明の第４実施例について説明する。同図中（Ａ）は
断面図，同図（Ｂ）はコア部分の斜視図，（Ｃ）は平面
図である。この実施例では、磁気ギャップ８０の下側の
前部中間コア８２は手前側に、上側の前部中間コア８４
は向こう側にそれぞれ延長されている。すなわち、寿命
寸法Ｌ＝０又は変曲点Ｐより後ろ側の前部中間コア８
２，８４の延長部分が、互いに重ならないように構成さ
れている。
本発明の第４実施例について説明する。同図中（Ａ）は
断面図，同図（Ｂ）はコア部分の斜視図，（Ｃ）は平面
図である。この実施例では、磁気ギャップ８０の下側の
前部中間コア８２は手前側に、上側の前部中間コア８４
は向こう側にそれぞれ延長されている。すなわち、寿命
寸法Ｌ＝０又は変曲点Ｐより後ろ側の前部中間コア８
２，８４の延長部分が、互いに重ならないように構成さ
れている。
【００１９】磁気ヘッドでは、磁気回路中の磁束によっ
て磁気ギャップの前側，すなわち媒体対向面側に強力な
磁界を形成することが好ましい。前部中間コアが前記実
施例のように延長されると、延長部分のギャップを介し
て磁束が漏れるようになり、磁気ギャップの媒体側の磁
界が結果的に弱くなってしまうことになる（図６（Ａ）
矢印ＦＢ参照）。そこで、本実施例では、かかる磁束漏
洩を防止するため、前部中間コア８２，８４の延長方向
を反対方向として、それらの重なりをなくすようにして
いる。
て磁気ギャップの前側，すなわち媒体対向面側に強力な
磁界を形成することが好ましい。前部中間コアが前記実
施例のように延長されると、延長部分のギャップを介し
て磁束が漏れるようになり、磁気ギャップの媒体側の磁
界が結果的に弱くなってしまうことになる（図６（Ａ）
矢印ＦＢ参照）。そこで、本実施例では、かかる磁束漏
洩を防止するため、前部中間コア８２，８４の延長方向
を反対方向として、それらの重なりをなくすようにして
いる。
【００２０】＜他の実施例＞なお、本発明は、何ら上記
実施例に限定されるものではなく、例えば次のようなも
のも含まれる。 （１）前記実施例では、コイルが２段に巻回されている
が、例えば１段するなど必要に応じて適宜変更してよ
い。前部中間コアの延長部分の形状，寸法も必要に応じ
て適宜変更してよい。また、後部中間コアについても必
要があれば延長してよい。 （２）本発明の薄膜磁気ヘッドの適用対象としてはヘリ
カルスキャン型のＶＴＲにおける信号の記録又は再生，
あるいは消去などが考えられるが、他の磁気記録媒体に
使用することを妨げるものではない。
実施例に限定されるものではなく、例えば次のようなも
のも含まれる。 （１）前記実施例では、コイルが２段に巻回されている
が、例えば１段するなど必要に応じて適宜変更してよ
い。前部中間コアの延長部分の形状，寸法も必要に応じ
て適宜変更してよい。また、後部中間コアについても必
要があれば延長してよい。 （２）本発明の薄膜磁気ヘッドの適用対象としてはヘリ
カルスキャン型のＶＴＲにおける信号の記録又は再生，
あるいは消去などが考えられるが、他の磁気記録媒体に
使用することを妨げるものではない。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による薄膜
磁気ヘッドによれば、コア断面積が小さくなる上コア又
は下コアの変曲点付近の磁路断面積を前部中間コアの延
長によって補うことしたので、変曲点付近における磁気
飽和が緩和され、磁気ヘッドの効率の低下を良好に防止
することができるという効果がある。
磁気ヘッドによれば、コア断面積が小さくなる上コア又
は下コアの変曲点付近の磁路断面積を前部中間コアの延
長によって補うことしたので、変曲点付近における磁気
飽和が緩和され、磁気ヘッドの効率の低下を良好に防止
することができるという効果がある。
【図１】本発明による薄膜磁気ヘッドの第１実施例を示
す説明図である。
す説明図である。
【図２】前記第１実施例のコア部分を示す説明図であ
る。
る。
【図３】本発明の第２実施例のコア部分を示す説明図で
ある。
ある。
【図４】前記第２実施例の平面を示す説明図である。
【図５】本発明の第３実施例を示す説明図である。
【図６】本発明の第４実施例を示す説明図である。
【図７】従来の平坦な形状の薄膜磁気ヘッドの一例を示
す説明図である。
す説明図である。
【図８】前記従来例のコア部分を示す説明図である。
１０…基板、１２，１４，３０…絶縁膜、１６…下コ
ア、１８，２０…前部中間コア、２２，２４…後部中間
コア、２６，５０，６０，７０，８０…磁気ギャップ、
２８…コイル、３２…上コア、３４…リード線、５２，
５４，６２，６４，７２，８２，８４…前部中間コア、
ＦＡ…延長方向を示す矢印、ＦＢ…磁束漏洩を示す矢
印、Ｌ…寿命寸法、Ｐ…変曲点、Ｘ１〜Ｘ４…切断線。
ア、１８，２０…前部中間コア、２２，２４…後部中間
コア、２６，５０，６０，７０，８０…磁気ギャップ、
２８…コイル、３２…上コア、３４…リード線、５２，
５４，６２，６４，７２，８２，８４…前部中間コア、
ＦＡ…延長方向を示す矢印、ＦＢ…磁束漏洩を示す矢
印、Ｌ…寿命寸法、Ｐ…変曲点、Ｘ１〜Ｘ４…切断線。
Claims (1)
- 【請求項１】 上コア、下コア、前部中間コア、後部中
間コアによって磁気回路を構成する各層が平坦に構成さ
れており、前記前部中間コア間には磁気ギャップが形成
され、前記上コア、前記下コアの前記前部中間コアに接
する第１の部分の幅はトラック幅と略同一であり、前記
上コア、前記下コアの前記前部中間コアに接しない第２
の部分の幅は前記トラック幅より大であり、前記上コ
ア、前記下コアの前記第１の部分は前記中間コアの後縁
となる略変曲点を介して前記第２の部分に連続している
薄膜磁気ヘッドにおいて、 前記前部中間コアのうち、少なくとも１層の後縁を、上
コア又は下コアの略変曲点よりも前記後部中間コア側に
延長したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12782193A JP2727915B2 (ja) | 1993-04-30 | 1993-04-30 | 薄膜磁気ヘッド |
| MYPI94001022A MY121538A (en) | 1993-04-30 | 1994-04-26 | Thin film magnetic head |
| US08/236,623 US5473491A (en) | 1993-04-30 | 1994-04-29 | Thin film magnetic head having an improved magnetic core |
| KR94009672A KR0134944B1 (en) | 1993-04-30 | 1994-04-29 | Thin film magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12782193A JP2727915B2 (ja) | 1993-04-30 | 1993-04-30 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06314413A JPH06314413A (ja) | 1994-11-08 |
| JP2727915B2 true JP2727915B2 (ja) | 1998-03-18 |
Family
ID=14969503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12782193A Expired - Lifetime JP2727915B2 (ja) | 1993-04-30 | 1993-04-30 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2727915B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11288503A (ja) * | 1998-04-02 | 1999-10-19 | Tdk Corp | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
| JP2000099919A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-07 | Fujitsu Ltd | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
| JP2000099918A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-07 | Fujitsu Ltd | 薄膜誘導書き込み磁気ヘッドおよびその製造方法 |
| JP2000207707A (ja) | 1999-01-08 | 2000-07-28 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘッド及びこれを用いた磁気ディスク装置 |
| JP3856591B2 (ja) | 1999-04-28 | 2006-12-13 | Ｔｄｋ株式会社 | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
| US7012784B2 (en) | 1999-07-08 | 2006-03-14 | Tdk Corporation | Thin-film magnetic head and method of manufacturing same |
| JP3859398B2 (ja) | 1999-07-08 | 2006-12-20 | Ｔｄｋ株式会社 | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
| JP2001167409A (ja) | 1999-09-30 | 2001-06-22 | Fujitsu Ltd | 薄膜磁気ヘッドおよび磁気記録媒体駆動装置 |
| JP3440224B2 (ja) | 1999-11-29 | 2003-08-25 | Ｔｄｋ株式会社 | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
| JP2001167408A (ja) | 1999-12-09 | 2001-06-22 | Tdk Corp | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
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-
1993
- 1993-04-30 JP JP12782193A patent/JP2727915B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Publication date |
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