JPH06309621A - 複合型磁気ヘッド - Google Patents

複合型磁気ヘッド

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JPH06309621A
JPH06309621A JP11894693A JP11894693A JPH06309621A JP H06309621 A JPH06309621 A JP H06309621A JP 11894693 A JP11894693 A JP 11894693A JP 11894693 A JP11894693 A JP 11894693A JP H06309621 A JPH06309621 A JP H06309621A
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JP
Japan
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head
magnetic
core
inductive head
insulating film
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JP11894693A
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English (en)
Inventor
Akihiko Nomura
昭彦 野村
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Victor Company of Japan Ltd
Original Assignee
Victor Company of Japan Ltd
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/33Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
    • G11B5/39Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
    • G11B5/3903Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
    • G11B5/3967Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read

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  • Magnetic Heads (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 製造時における耐熱性の不都合を生ずること
なく、記録時と再生時とのトラックずれを良好に防止す
る。 【構成】 MRヘッド70は平坦なインダクティブヘッ
ド50上に形成されているので、MR膜74の磁気的構
造が乱れるというようなことはない。また、インダクテ
ィブヘッド50が平坦な構造であるため、従来のように
段差を埋めるための格別な層を設ける必要がない。従っ
て、インダクティブヘッド50の磁気ギャップ66とM
Rヘッド70の感磁部78との間隔が狭くなり、記録時
と再生時とのトラック位置ずれは生じない。インダクテ
ィブヘッド50が形成された後にMRヘッド70が形成
されるので、インダクティブヘッド50の高温処理によ
るMRヘッド70の劣化も防止される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、記録用と再生用とにヘ
ッドが分離して構成されている複合型磁気ヘッドにかか
り、更に具体的にはその構造の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、磁気記録装置,例えば磁気デ
ィスク装置の記録,再生に用いられている磁気ヘッドと
しては、電磁誘導型ヘッド(以下「インダクティブヘッ
ド」という)が一般に用いられている。ところが、近年
は、磁気抵抗効果型ヘッド(以下「MRヘッド」とい
う)と呼ばれる再生専用ヘッドの開発が盛んに行われて
いる。このMRヘッドには、インダクティブヘッドと比
較して、 再生出力がヘッドと記録媒体との相対速度に依存しな
い, 狭トラック幅でも高出力が期待できる, などといった利点があり、今後の磁気記録装置の小型,
高密度化に必要不可欠なものとして期待されている。
【0003】最近は、このMRヘッドを用いて記録と再
生の機能を分離し、記録は従来のインダクティブヘッド
で行い、再生はMRヘッドで行うようにした複合型磁気
ヘッドの開発が行われている。
【0004】このような複合型磁気ヘッドとしては、例
えば図3に示すものがある。この従来例は、図4に示す
ようにディスク100の回転によって矢印FAのように
生ずる空気流によって浮上する磁気ディスク用のもの
で、アーム(図6参照)の先端に取り付けられたスライ
ダ102の先に複合型磁気ヘッド104が取り付けられ
ている。この図の#3−#3線に沿って矢印方向に見た
断面が図3である。
【0005】同図において、スライダ102に対応する
基板10上には、下シールド膜12,絶縁膜14,上シ
ールド膜16が積層して形成されており、絶縁膜14の
下面側に、MR膜18,磁区制御用反強磁性膜20が積
層して形成されている。これら、及び導線,バイアス用
導体膜(図示せず)などによって、MRヘッド22が構
成されている。
【0006】次に、このようなMRヘッド22の上シー
ルド膜16上に、絶縁膜24が形成されており、その上
には上磁気コア26が形成されている。上シールド膜1
6は、下磁気コアとしても作用し、これらコア16,2
6はヘッド中央位置で接するとともに、下面側で磁気ギ
ャップ28を形成している。そして、絶縁膜24中であ
って、コア16,26の接合部分の周囲にコイル30が
形成されている。これらによって、インダクティブヘッ
ド32が構成されている。
【0007】次に、図5には、特開平4−216311
号公報に開示された他の複合型磁気ヘッドの従来例が示
されている。図3の従来例では、スライダ102に対し
て、MRヘッド22,インダクティブヘッド32の順の
ヘッド構造となっているが、この図5の例では逆の順の
ヘッド構造となっている。同図において、基板10上に
は、下磁気コア34,絶縁膜24,上磁気コア26,磁
気ギャップ28,コイル30によって構成されたインダ
クティブヘッド32がまず形成されている。そして、そ
の上に、下シールド膜12,絶縁膜14,上シールド膜
16,MR膜18,磁区制御用反強磁性膜20によるM
Rヘッド22が形成されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、以上のよう
な従来の複合型磁気ヘッドの構造では、インダクティブ
ヘッドの形成時にコイルパターンの部分で大きな段差が
生じる。この段差は、上下磁気コアの厚さが約5μm,
コイルパターンの厚さが約3μmの場合、全体で10μ
mにも達する。このような段差部分にMRヘッドを形成
すると、MR膜の磁気的構造が乱れ、再生時におけるノ
イズ発生の原因になる。このような理由から、MRヘッ
ドは平坦部分に形成することが望ましい。
【0009】他方、近年の記録媒体の高保磁力化に対応
してインダクティブヘッドの磁気コアの記録特性を向上
させるために、窒化鉄などの磁性材料が注目されてい
る。これらの材料は高温での熱処理が必要であるが、こ
のような高温処理はMRヘッドには好ましくない。従っ
て、インダクティブヘッドの熱処理の後にMRヘッドを
形成すること、すなわち、インダクティブヘッドの上に
MRヘッドを形成することが望ましい。
【0010】ところが、図3に示した従来例では、MR
ヘッド22を基板10上の平坦部に形成できるものの、
インダクティブヘッド32を後から形成するため、その
熱処理の際にMRヘッド22が劣化する恐れがある。
【0011】一方、図5に示した従来例では、インダク
ティブヘッド32の上にMRヘッド22を形成するた
め、インダクティブヘッド32の熱処理の後にMRヘッ
ド22を形成することができる。しかし、コイルパター
ンの段差を埋めるために、かなりの厚さの絶縁保護膜を
設けて平坦部分を作らなければならない。このため、イ
ンダクティブヘッド32の磁気ギャップ28とMRヘッ
ド22の感磁部であるMR膜18との距離が広がること
になる。すると、ハードディスクドライブ(HDD)な
どにおける磁気ヘッドと記録媒体の記録トラックとの位
置関係から、トラッキングに問題を生じることになる。
【0012】図6(A)には、現在の小型HDDのヘッ
ド部分が示されており、磁気ヘッド104はアーム10
6の先端に取り付けられている。磁気ヘッド104は、
アーム106によって、トラックTに対して矢印FBの
ように円弧を描くように動く。従って、磁気ヘッド10
4とディスク100のトラックTとは、ある位置で平行
でなくなってある角度を持つようになる。この角度は、
トラックTの最内周あるいは最外周で最大となる。
【0013】この場合において、図5の従来例のように
インダクティブヘッド32の磁気ギャップ28とMRヘ
ッド22の感磁部であるMR膜18との間隔が大きい
と、図6(B)に示すように、MRヘッド22が実線で
示すトラックTMとなり、インダクティブヘッド32が
点線で示すトラックTIとなる。すなわち、記録時と再
生時でトラック位置がずれてしまうといった問題が生じ
る。このような理由から、インダクティブヘッド32の
磁気ギャップ28とMRヘッド22の感磁部であるMR
膜18との間隔はできるだけ狭い方がよい。しかし、図
5の従来例では、このような要求を満たすことができな
い。
【0014】本発明は、これらの点に着目したもので、
製造時における耐熱性の不都合を生ずることなく、記録
時と再生時とのトラックずれを良好に防止することがで
きる高性能の複合型磁気ヘッドを提供することを、その
目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明は、インダクティ
ブヘッドとMRヘッドとを含む複合型磁気ヘッドにおい
て、磁気回路を下コア,上コア,内部中間コア,及び端
部中間コアによって構成するとともに、これらの各コア
を絶縁層に対応して設けてインダクティブヘッドを平坦
に形成し、このインダクティブヘッドの上に前記MRヘ
ッドを形成したことを特徴とする。
【0016】
【作用】本発明によれば、所定基板上に段差のない平坦
なインダクティブヘッドが形成し、その上にMRヘッド
が形成されるので、インダクティブヘッドの加熱処理に
よるMRヘッドの劣化という問題は生じない。また、イ
ンダクティブヘッドの磁気ギャップとMRヘッドの感磁
部の間隔が狭くなるので、記録時と再生時とのトラック
ずれのような不都合も回避される。
【0017】
【実施例】以下、本発明による複合型磁気ヘッドの実施
例について、添付図面を参照しながら説明する。なお、
上述した従来技術と同様の構成部分又は従来技術に対応
する構成部分には、同一の符号を用いることとする。
【0018】<第1実施例>最初に、図1を参照しなが
ら本発明の第1実施例について説明する。本実施例で
は、基板10上にまずインダクティブヘッド50が設け
られており、その上(同図の右側)にMRヘッド70が
設けられている。
【0019】インダクティブヘッド50から説明する
と、基板10上には 例えばTiO2やSiO2などによ
って平坦な下部絶縁膜52が形成されている。そして、
この下部絶縁膜52のヘッド形成用の段差部に、例えば
Fe,Co,Niなどを主成分とする軟磁性膜が、下部
絶縁膜52と段差なく平坦になるように形成され、この
軟磁性膜の部分が下コア54となっている。
【0020】次に、前記下部絶縁膜52及び下コア54
の上には、更に中間絶縁膜56が形成される。そして、
この中間絶縁膜56の所定位置に凹部が形成され、これ
らの凹部に軟磁性膜による端部中間コア58,内部中間
コア60をそれぞれ埋設形成されている。また、この中
間絶縁膜56内部には、前記内部中間コア60を取り巻
くように、螺旋状にCu,Alなどによるコイル62が
埋設形成されている。
【0021】次に、この中間絶縁膜56の上には上部絶
縁膜64が形成されており、この上部絶縁膜64の段差
部であって、前記中間絶縁膜56,中間コア58,60
の上には、磁気ギャップ66を介して上コア68が形成
されている。すなわち、上コア68は、端部中間コア5
8と磁気ギャップ66を介して対向しており、内部中間
コア60と直接接続するように、上部絶縁膜64と段差
なく平坦になるように形成されている。その他、図示は
していないが、通常のインダクティブヘッドに必要なリ
ード線などを備えている。
【0022】このように、下コア54,端部中間コア5
8,磁気ギャップ66,上コア68,内部中間コア60
によって磁気回路が形成されており、これにコイル62
が巻回されて、インダクティブヘッド50が構成されて
いる。なお、このような平坦なインダクティブヘッド5
0の形成方法については、例えば特開平3−58308
号公報に詳細に開示されている。
【0023】次に、このようにして形成された平坦なイ
ンダクティブヘッド50の上に、MRヘッド70が形成
されている。インダクティブヘッド50の上部絶縁膜6
4及び上コア68上には絶縁膜72が形成されている。
そして、この絶縁膜72の下側,すなわち前記磁気ギャ
ップ66側に、NiFe合金によるMR膜74,磁区制
御用反強磁性膜76などによる感磁部78が形成されて
いる。そして、この絶縁膜72上に、軟磁性膜による上
シールド膜80が形成されている。その他、図示はして
いないが、通常のMRヘッドに必要なリード線,バイア
ス用導体膜などを備えている。なお、インダクティブヘ
ッド50の上コア68が下シールド膜として作用する。
【0024】このように、上下のシールド膜68,80
と、絶縁膜72中の感磁部78を中心として、MRヘッ
ド70が構成されている。次に、以上のような構成の第
1実施例の作用について説明する。まず、上述したよう
に、MRヘッド70は平坦なインダクティブヘッド50
上に形成されている。従って、MR膜74の磁気的構造
が乱れるというようなことはなく、良好な高性能の特性
が得られる。
【0025】また、インダクティブヘッド50が平坦な
構造であるため、従来のように段差を埋めるための格別
な層を設ける必要がない。従って、インダクティブヘッ
ド50の磁気ギャップ66とMRヘッド70の感磁部7
8との間隔を狭くすることができる。これにより、図6
(B)に示したような記録時と再生時とのトラック位置
ずれといった不都合も良好に回避される。
【0026】次に、基板10上には、まずインダクティ
ブヘッド50が形成され、次にその上にMRヘッド70
が形成される。このため、インダクティブヘッド50の
磁気コア部分,すなわち下コア54,端部中間コア5
8,内部中間コア60,上コア68に対して高温熱処理
を行った後にMRヘッド70を形成することができ、高
温処理によるMRヘッド70の劣化が防止される。
【0027】<第2実施例>次に、図2を参照しながら
本発明の第2実施例について説明する。なお、上述した
第1実施例と同様の構成部分又は第1実施例に対応する
構成部分には同一の符号を用いる。
【0028】この第2実施例は、インダクティブヘッド
の特性向上のため、中間層を2層にしてコイルを2層と
した場合の実施例である。MRヘッド70は、前記第1
実施例と同様である。同図において、前記中間絶縁膜5
6,中間コア58,60の上には、第2の中間絶縁膜9
2が形成される。そして、この中間絶縁膜92の所定位
置に凹部が形成され、これらの凹部には軟磁性膜による
端部中間コア94,内部中間コア96をそれぞれ埋設形
成されている。また、この中間絶縁膜92内部には、前
記内部中間コア96を取り巻くように、螺旋状にCu,
Alなどによるコイル98が埋設形成されている。
【0029】次に、この第2の中間絶縁膜92の上には
上部絶縁膜64が形成されており、この上部絶縁膜64
の段差部であって、前記中間絶縁膜92,中間コア9
4,96の上には、磁気ギャップ66を介して上コア6
8が形成されている。すなわち、上コア68は、端部中
間コア94と磁気ギャップ66を介して対向しており、
内部中間コア96と直接接続するように、上部絶縁膜6
4と段差なく平坦になるように形成されている。なお、
第1実施例と同様に、通常のインダクティブヘッドに必
要なリード線などは図示していない。
【0030】このように、下コア54,端部中間コア5
8及び94,磁気ギャップ66,上コア68,内部中間
コア60,96によって磁気回路が形成されており、こ
れにコイル62,98が巻回されてインダクティブヘッ
ド90が構成されている。なお、この実施例の場合、磁
気ギャップ66は、いずれの層間に設けてもよいが、M
Rヘッド70の感磁部78と接近した位置が好ましいこ
とから、図示のように、上コア68と端部中間コア94
との間に設けるとよい。その他の部分は第1実施例と同
様である。この第2実施例によれば、前記第1実施例と
同様の効果が得られる他、コイルが2層となっているの
で、インダクティブヘッド90の特性の向上を図ること
ができる。
【0031】<他の実施例>なお、本発明は、何ら上記
実施例に限定されるものではなく、例えば次のようなも
のも含まれる。 (1)上述した各部の形状や寸法,あるいはそれらの材
料などは、いずれも一例であり、同様の作用を奏するよ
うに種々変更可能である。例えば、前記特開平3−58
308号公報には平坦なインダクティブヘッドの他の例
が示されている。 (2)本発明の磁気ヘッドの適用対象としては、図6に
示したようなディスク媒体が好適な例であるが、それ以
外のものに適用することを妨げるものではない。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による複合
型磁気ヘッドによれば、段差のない平坦なインダクティ
ブヘッドをまず形成し、その上にMRヘッドを形成する
こととしたので、記録時と再生時とのトラックずれを良
好に防止することができるとともに、製造時の耐熱性の
問題も解決でき、高性能の複合型磁気ヘッドを得ること
ができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による複合型磁気ヘッドの第1実施例を
示す主要部の断面図である。
【図2】本発明の第2実施例を示す主要部の断面図であ
る。
【図3】従来技術の第1の例を示す主要部の断面図であ
る。
【図4】磁気ディスク上における磁気ヘッドの様子を示
す斜視図である。
【図5】従来技術の第2の例を示す主要部の断面図であ
る。
【図6】磁気ディスク上における磁気ヘッドの様子とト
ラックずれの様子を示す説明図である。
【符号の説明】
10…基板、50,90…インダクティブヘッド、52
…下地絶縁膜、54…下コア、56,92…中間絶縁
膜、58,94…端部中間コア、60,96…内部中間
コア、62,98…コイル、64…上部絶縁膜、66…
磁気ギャップ、68…上コア、70…MRヘッド、72
…絶縁膜、74…MR膜、76…磁区制御用反強磁性
膜、78…感磁部、80…シールド膜。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電磁誘導型ヘッドと磁気抵抗効果型ヘッ
    ドとを含む複合型磁気ヘッドにおいて、磁気回路を下コ
    ア,上コア,内部中間コア,及び端部中間コアによって
    構成するとともに、これらの各コアを絶縁層に対応して
    設けて電磁誘導型ヘッドを平坦に形成し、この電磁誘導
    型ヘッドの上に前記磁気抵抗効果型ヘッドを形成したこ
    とを特徴とする複合型磁気ヘッド。
JP11894693A 1993-04-22 1993-04-22 複合型磁気ヘッド Pending JPH06309621A (ja)

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JP11894693A JPH06309621A (ja) 1993-04-22 1993-04-22 複合型磁気ヘッド

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