DE4303784A1 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Behälter nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.

Derartige Halbleiterwafer müssen bei ihrer Herstellung sehr vorsichtig gehandhabt werden und sie müssen gegen die Atmo­ sphäre geschützt sein, so daß die Wafer, die in dem Wafer­ träger angeordnet sind, nicht durch Teilchen verunreinigt werden, die in der Luft oder von anderen Teilen mitgeführt werden. Bei der Handhabung derartiger Wafer werden die Trä­ ger in einem Behälter angeordnet, und zwar zwischen den ein­ zelnen Bearbeitungsstufen, denen die Wafer während ihrer Herstellung ausgesetzt werden. Die Behälter können von ei­ nem Bearbeitungsort zu einem Reinigungsraum während der Be­ arbeitung bewegt werden oder sie können überhaupt von einem Ort zu einem anderen transportiert werden.

Die Behälter, die zur Ausbildung der Waferträger konstru­ iert sind, bestehen aus gegossenem Kunststoff. Sie sind in vorteilhafter Weise häufig einsetzbar. Es ist wünschens­ wert, die Behälter zwischen ihren einzelnen Einsätzen zu reinigen, um die Möglichkeit herabzusetzen, daß sich Teil­ chen oder andere Verunreinigungen an oder in der Nähe der Behälter ansammeln, und um eine statische Aufladung zu neu­ tralisieren, die an den Behältern auftreten kann. Bei der Reinigung ist es sehr wünschenswert, den Deckel vollständig von dem Behälter zu entfernen, so daß er unabhängig von die­ sem gereinigt werden kann. Die Ausgestaltung des Behälterun­ terteils und des Deckels und der diese verbindenden Schar­ nierteile soll so sein, daß die Möglichkeit des Einfangens von Verunreinigungen während und nach dem Reinigen auf ein Minimum herabgesetzt wird. Natürlich soll ein unbeabsichtig­ tes Trennen des Deckels von dem Unterteil während des norma­ len Einsatzes des Behälters verhindert werden. Der Deckel soll leicht mit dem Unterteil wieder zusammensetzbar sein, wenn die Reinigung abgeschlossen ist, so daß der Behälter dann seinem eigentlichen Zweck wieder zugeführt werden kann.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Behäl­ ter der eingangs genannten Art zu schaffen, der eine Abnah­ me des Deckels von dem Unterteil unter Berücksichtigung der vorstehend geschilderten Anforderungen ermöglicht. Diese Aufgabe wird grundsätzlich durch das Kennzeichen des Anspru­ ches 1 bzw. des Anspruches 6 gelöst.

Ein Merkmal der Erfindung ist ein Scharnier, das den Sockelabschnitt an einem Teil des Behälters und einen Schar­ nierbolzenabschnitt an dem anderen Teil des Behälters auf­ weist, wobei der Sockel den Scharnierbolzen während der nor­ malen Öffnung und Schließung des Deckels in Verbindung mit dem Unterteil hält, aber einen Zugang oder einen Eingangs- Ausgangsschlitz oder eine entsprechende Öffnung aufweist, die so angeordnet ist, daß eine Entfernung des Scharnierbolzens möglich ist, wenn der Deckel vollständig geöffnet und zusätzlich in eine alternative Stellung über die Serviceebene hinausgeschwenkt ist, auf der das Unterteil abgestellt ist.

Ein weiteres Merkmal der Erfindung liegt in der Schaffung eines teilbaren Scharniers an einem Behälter für Waferträ­ ger, bei dem die schwenkbaren und ortsfesten Scharnierteile glatte Oberflächen aufweisen, die leicht und vollständig gereinigt werden können, wenn sie voneinander getrennt sind.

Noch ein Merkmal liegt in der Schaffung eines trennbaren Scharniers an einem aus Kunststoff gegossenen Behälter zur Lagerung von Waferträgern, bei dem der ortsfeste Scharnier­ teil an dem Unterteil des Behälters einen einfachen, zylin­ drischen Scharnierbolzen aufweist, der zwischen einem Paar von Befestigungsarmen verläuft, und der schwenkbare Teil an dem Deckel mit einem Haken versehen ist, der einen Sockel und eine Eingangs-Ausgangsöffnung zur Aufnahme des Schar­ nierbolzens aufweist, und Schleifenabschnitte des Hakens mit dem oberen Randabschnitt des Behälterunterteils in Ein­ griff gelangen und die Entfernung des Hakens von dem Bolzen verhindern, und eine Eingangs-Ausgangsöffnung oder -schlitz in den Sockel nach oben und in einem schrägen Winkel in Richtung auf den Behälterdeckel führt, so daß es erforder­ lich ist, den Deckel vollständig umzuschwenken, und zwar über die Schwenkstellung, damit er entfernt werden kann.

Im folgenden wird die Erfindung unter Hinweis auf die Zeich­ nung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert.

Es zeigt:

Fig. 1 eine Seitenansicht eines Kunststoffbehälters nach der Erfindung mit dem Deckel gestri­ chelt, in einer teilweise geöffneten Stel­ lung und in einer Stellung nach dem Umschla­ gen;

Fig. 2 eine Teilansicht des Abschnittes der Rück­ seite eines Förderers für den Behälter;

Fig. 3 einen Teilschnitt im vergrößerten Maßstab, ungefähr gemäß der Linie 3-3 der Fig. 2;

Fig. 4 einen Teilschnitt im vergrößerten Maßstab ungefähr gemäß der Linie 4-4 der Fig. 2;

Fig. 4 bis 8 stellen Ansichten dar, um die Folge des Scharnieraufbaus während des Öffnens und während des Umschlagens des Decke 15 in eine umgekippte oder umgeschlagene Stellung dar­ zustellen, die in Fig. 8 veranschaulicht ist, in der der Deckel von dem übrigen Teil des Behälters abgenommen werden kann;

Fig. 9 eine Teildraufsicht auf den ortsfesten Scharnierteil, angebracht an dem Behälter­ boden;

Fig. 10 einen Teilschnitt im vergrößerten Maßstab, ungefähr gemäß der Linie 10-10 der Fig. 9;

Fig. 11 einen Teilschnitt im vergrößerten Maßstab, ungefähr der Linie 11-11 der Fig. 9;

Fig. 12 eine Teildraufsicht auf den drehbaren Schar­ nierteil an dem Behälterdeckel;

Fig. 13 einen Schnitt im vergrößerten Maßstab unge­ fähr gemäß der Linie 13-13 der Fig. 12;

Fig. 14 einen Teilschnitt im vergrößerten Maßstab, ungefähr gemäß der Linie 14-14 der Fig. 12;

Fig. 15 eine Teildraufsicht auf eine abgewandelte Form des Scharnieraufbaus;

Fig. 16 einen Teilschnitt im vergrößerten Maßstab ungefähr gemäß der Linie 16-16 der Fig. 15;

Fig. 17 einen Teilschnitt im vergrößerten Maßstab ungefähr gemäß der Linie 17-17 der Fig. 15; und

Fig. 18 einen Teilschnitt im vergrößerten Maßstab entsprechend demjenigen der Fig. 17, wobei aber der Deckel und der drehbare Scharnier­ teil gedreht und in eine Stellung nach der Umschlagstellung des Deckels des Behälters umgeschlagen sind.

Eine Ausführungsform der Erfindung ist in den Fig. 1 bis 14 dargestellt.

Der aus Kunststoff gegossene Behälter ist mit 10, sein Bo­ den mit 11 und der Behälterdeckel mit 12 bezeichnet. Diese beiden Teile sind abnehmbar durch eine zweiteilige, demon­ tierbare, Scharnieranordnung 13 verbunden, die das Anheben und Öffnen des Deckels in die gestrichelte Stellung "O" des­ selben erleichtert und außerdem ein Schwenken in die Stel­ lung "P" ermöglicht, die hinter der auf- oder umgeschlage­ nen Stellung und tiefer als die Oberfläche "S" liegt, auf der der Behälter 10 abgestellt sein kann. Der Behälter ist besonders geeignet und eingerichtet zum Lagern von Waferträ­ gern oder Kassetten 14 in einer geneigten Stellung, so daß die Wafer, die in den Waferträgern angeordnet sind, norma­ lerweise in einer geneigten Stellung gehalten werden, in der ein Klappern der Wafer in dem Behälter während der Bewe­ gung vermindert wird.

Der Behälterboden oder das Behälterunterteil 11 weist eine Bodenwand 65 zum Abstellen auf der Oberfläche "S" und zum Abstützen des Behälters auf. Ein Wandabschnittspaar 66 des Behälters ist geneigt ausgebildet, um die Waferträger 14 in geneigter Stellung abzustützen, wie es in Fig. 1 veranschau­ licht ist. Zusätzlich weist der Behälterboden 11 geneigte Wandabschnitte 67 auf, an denen eine Stirnseite der Wafer­ träger in der Lagerstellung anliegt. Der Behälterboden 11 ist mit im wesentlichen senkrecht, aber geringfügig schräg gestellten Seitenwänden 68 versehen, die den Behälterboden umgeben. Der Behälterboden 11 weist außerdem einen umlaufen­ den oberen Randabschnitt 69 auf, der um den gesamten Umfang der Seitenwände 68 des Behälterbodens verläuft.

Der Behälterdeckel 12 ist so gestaltet, daß er auf den Be­ hälterboden 11 paßt. Er weist eine obere Wand 70 und Seiten­ wände 71 auf, die um den gesamten Umfang des Behälter­ deckels verlaufen. Der Behälterdeckel 12 ist mit voneinan­ der abgesetzten Wandabschnitten 72 und 73 versehen, die so angeordnet sind, daß sie die Waferträger 14 in der geneig­ ten Stellung innerhalb des Behälters aufnehmen. Die Seiten­ wände 71 des Behälterdeckels 12 bilden einen unteren Randab­ schnitt 74 des Deckels 12. Es ist erkennbar, daß der untere Randabschnitt 74 des Deckels eine Umfangsnut 74 bildet, die den obenliegenden Randabschnitt 69 des Behälterbodens dicht aufnimmt. Der untere Randabschnitt 74 des Deckels bildet außerdem einen schräg nach unten gerichteten Flansch 76, der den gesamten oberen Randabschnitt 69 gegen Einflüsse von außen schützt, wenn der Behälter geschlossen ist.

Abschnitte 66.1 und 73.1 der Wandabschnitte 66 bzw. 73 ver­ laufen im wesentlichen waagerecht nach außen zum Umfang des Behälterbodens 11 und des Deckels 12, und sie wirken mit den Umfangsseitenwänden 68 und 71 des Behälterbodens und des Deckels zusammen, um die Randabschnitte 69 und 74 zu bilden und außerdem als Befestigung für den Scharnieraufbau 13 zu dienen.

Der Scharnierauf- oder -zusammenbau 13 besteht aus einem Paar ortsfester Scharnierteile 77, die an dem Behälterboden 11 befestigt sind, und aus einem Paar schwenkbarer Scharnierteile 78, die an dem Behälterdeckel ausgebildet sind. Die ortsfesten Scharnierteile weisen einen waagerechten Scharnierbolzen 79 auf, der waagerecht verläuft, aber nach außen von dem oberen Randabschnitt 69 des Behälterbodens 11 einen Abstand aufweist, so daß ein Aufnahmespalt 80 zwischen dem Scharnierbolzen 79 und dem oberen Randabschnitt 69 gebildet wird. Die Endabschnitte 79.1 des Scharnierbolzens sind einstückig mit Stützarmen 81 ausgebildet, die wiederum einstückig mit den angrenzenden Seitenwänden 68 der Abschnitte 66.1 der Wandabschnitte 66 und der der oberen Randabschnitte 69 des Behälterbodens ge­ bildet sind.

Wie es am besten den Fig. 10 und 11 zu entnehmen ist, wei­ sen die Stützarme 81 einen teilweise kreisförmigen Stützab­ schnitt 81.1 auf, der einstückig mit dem zylindrischen Scharnierbolzen 79 ausgebildet ist. Stützstreben 81.2 sind an dem Stützarm 81 waagerecht verlaufend vorgesehen, und einstückig mit den angrenzenden Abschnitten des Behälterbo­ dens ausgebildet, um eine mögliche Bewegung des Scharnier­ bolzens 79 zu minimieren.

Der ortsfeste Scharnierteil 77 weist außerdem einen Sperrab­ schnitt 82, angrenzend an den oberen Randabschnitt 69 des Deckelbodens und angrenzend an den Aufnahmespalt 80 auf, um den drehbaren Scharnierabschnitt 78 in der richtigen Stel­ lung relativ zu dem Scharnierbolzen 79 während der Drehung des Scharnierbolzens zu halten, und um eine frühzeitige Ent­ fernung des drehbaren Scharnierteils 78 von dem Behälterbo­ den zu verhindern.

Der drehbare Scharnierteil 78 ist einstückig mit den angren­ zenden Abschnitten des Behälterdeckels 12 einschließlich des oberen Randabschnittes 74, des Wandabschnittes 73.1 und der Umfangsseitenwände 71 des Deckels ausgebildet. Der dreh­ bare Scharnierteil 78 bildet einen Scharnierhaken 83, der lösbar an dem Scharnierbolzen 79 angebracht ist. Der Schar­ nierhaken 83 besteht aus einem Paar im wesentlichen spiegel­ bildlich gestalteter Seitenabschnitte 84, die voneinander durch einen offenen Spalt 85 beabstandet sind. Der Haken 83 und jeder der Seitenabschnitte 84 hat einen vorne liegenden oder äußeren Endabschnitt 85 und einen inneren oder nahelie­ genden Endabschnitt 86, sowie einen mittleren Abschnitt 87, der einen Schleifenabschnitt des Hakens bildet. Der mittle­ re oder Schleifenabschnitt 87 der beiden Seitenabschnitte 84 des Hakens 83 bildet einen Sockel oder einen abgerunde­ ten Sockelhohlraum 88, von dem der Scharnierbolzen 79 aufge­ nommen wird, wenn das drehbare Scharnierteil 78 sich um den Scharnierbolzen dreht.

Die Endabschnitte 85 und 86 des Scharnierhakens 83 bilden eine Eingangs-Ausgangsöffnung 89, die von dem Sockelab­ schnitt 88 grundsätzlich nach oben und schräg in Richtung auf den Behälterdeckel 12 und insbesondere in Richtung auf die hintere Wand 71 desselben verläuft, wenn der Behälter­ deckel 12 in seiner Schließstellung steht, wie in den Fig. 1 und 4 dargestellt. Angrenzende Endabschnitt 85 und 86 der beiden Seitenabschnitte 84 des Hakens sind nahezu gradlinig nach oben und schräge ausgerichtet, wie es beim Betrachten der Fig. 4 und 14 deutlich wird, um die Ausrichtung der Ein­ gangs-Ausgangsöffnung (89) festzulegen.

Der Scharnierhaken 83 weist außerdem eine im wesentlichen ebene Platte 90 auf, die zwischen den Endabschnitten 85 und 86 der Seitenabschnitte 84 des Scharnierhakens 83 verläuft. Die Platte 90 ist einstückig mit den beiden Seitenabschnit­ ten 84 ausgebildet und vermindert eine mögliche Bewegung der Seitenabschnitte 84 relativ zueinander. Es ist erkenn­ bar, daß die Platte 90 vollständig zu dem äußeren Endabschnitt 85 des Hakens verläuft und ihre gegenüberlie­ gende Kante an die Mitte des runden Sockelabschnittes 88 angrenzt, so daß sämtliche unteren Abschnitt der Seitenab­ schnitte 84 des Hakens 83 offen und unbeeinträchtigt sind, um ein leichtes und schnell Reinigen dieser Abschnitte des Scharnierzusammenbaus zu erleichtern.

Der drehbare Scharnierteil 78 weist außerdem einen Führungs­ rand 91 an beiden Seitenabschnitten 84 des Hakens 83 auf.

Der Führungsrand 91 umgibt teilweise den Sockelabschnitt 88, ausgehend von dem inneren Abschnitt 86, um den mittle­ ren Abschnitt 87 und den äußeren Abschnitt 85 des Hakens 83. Der Führungsrand 91 bildet ein Hindernis gegenüber dem Sperrabschnitt 82 an dem ortsfesten Scharnierteil 77, so daß der drehbare Scharnierteil 78 daran gehindert wird, sich von dem ortsfesten Scharnierteil 77 solange zu lösen, bis der Deckel 12 und der drehbare Scharnierteil geschwenkt und durch die Umklappstellung hinter dieser Umklappstellung bewegt wurden, und zwar annähernd in die Stellung, die in den Fig. 1 und 8 dargestellt ist. Ein im wesentlichen fla­ cher oder grader Kantenabschnitt 92 des Führungsrandes ist ungefähr parallel zu der Eingangs-Ausgangsöffnung 89 ange­ ordnet, um eine glatte Bewegung des äußeren Endabschnittes 85 durch den Aufnahmespalt 80 des ortsfesten Scharnierteils 77 zu erlauben, wenn der drehbare Scharnierteil 78 weit ge­ nug geschwenkt wurde, um die in Fig. 8 dargestellte Stellung einzunehmen.

Es ist erkennbar, daß die Sperrwirkung des Führungsrandes an den inneren und äußeren Endabschnitten 85 und 86 des Ha­ kens endet.

Eine abgewandelte Scharnieranordnung ist im einzelnen in den Fig. 15-18 des aus Kunststoff gegossenen Behälters 20 dargestellt, der grundsätzlich dem Behälter 10 der Fig. 1 und 2 ähnlich ist.

Es sind zwei derartige Scharnieranordnungen 31 symmetrisch angrenzend an die Rückwand 21 des Behälterbodenabschnittes 15 vorgesehen, um die Schwenkung des Deckelabschnittes 28 in die Offenstellung zu ermöglichen.

Jede der Scharnieranordnungen 31 weist ein Paar starrer und ortsfester Scharnierteile oder Scharnierhaken 55 auf, die starr und einstückig mit dem Bodenabschnitt 15 des Be­ hälters, und insbesondere mit der Rückwand 21 desselben ver­ bunden sind. Jeder der Scharnierhaken 55 weist zwei benach­ barte, getrennte, abgerundete Hohlraum- oder Sockelabschnit­ te 56, 57 auf; und jeder der Scharnierhaken 55 hat zwei ge­ trennte und angrenzende langgestreckte Zugangsschlitze oder Eingangs-Ausgangsöffnungen 58, 59, die in den entsprechenden abgerundeten Sockelabschnitt 56, 57 öffnen. Es ist erkennbar, daß die langgestreckten Öffnungen 58 die Breite des gesamten Durchmessers des abgerundeten Hohlraumes 56 haben, und daß die Öffnungen 59 teilweise gesperrt sind und eine Breite haben, die wesentlich geringer ist als der Durchmesser der runden Sockelabschnitte 57, und daß weiter­ hin die langgestreckten Öffnungen 59 symmetrisch relativ zu der Mittelachse der runden Sockelabschnitte 57 angeordnet sind. Jeder der Scharnierhaken 55 weist eine runde Lippe oder Sperre 55.1 auf, die die Größe der Öffnung 59 im Ver­ gleich zu dem Sockelabschnitt 57 herabsetzt. Die Öffnung 59 verläuft parallel zu dem Durchmesser des runden Sockelabschnittes 57, aber versetzt von der Mitte des run­ den Sockelabschnittes 57, wobei der Schlitz außerdem in ei­ nem spitzen Winkel in Bezug auf die Radien des runden Sok­ kelabschnittes 57 verläuft.

Jeder der Scharnieranordnungen 31 weist außerdem ein drehba­ res Scharnierteil 60.1 auf, das mit der Wand 58.1 und dem Randabschnitt 27 des Behälterdeckels 28 einstückig gegossen und damit fest verbunden ist. Der Scharnierteil 60.1 weist ein Paar drehbarer Einsätze 60 bzw. 61 auf, die von den run­ den Hohlraumabschnitten 56, 57 aufgenommen sind. Der Einsatz 60 ist ein zylindrisch geformter Scharnierbolzen, um im we­ sentlichen den gesamten Sockelabschnitt 56 auszufüllen und eine Lagerabstützung für den Deckelabschnitt 28 zu bilden, wenn dieser von der geschlossenen in die Offenstellung geschwenkt wird, wie es in Fig. 1 dargestellt ist. Der Ein­ satz 60 kann aus dem Sockelabschnitt 56 herausgehoben wer­ den, wann immer der Einsatz 61 von seinem Sockel 57 gelöst werden kann.

Der Einsatz 61 ist ein im wesentlichen halbkreisförmiger Exzenter, wie er in Fig. 17 und 18 dargestellt ist. Er weist eine flache Seite 61.1 und eine runde Seite 61.2 auf, die mit der runden Gestalt des Sockelabschnittes 57 überein­ stimmt, wobei eine Breite vorgesehen ist, die geringfügig geringer ist als die Breite der Eingangs-Ausgangsöffnung 59, so daß, wenn der Einsatz 61 eine richtige Lage in dem Sockelabschnitt 57 aufweist, er durch die Öffnung herausge­ hoben werden kann.

Die Anordnung des halbkreisförmigen Einsatzes 61 relativ zu dem Deckelabschnitt 28 ist von Bedeutung. Die Ausbildung des Einsatzes zusammen mit der Form und der Lage der Ein­ gangs-Ausgangsöffnung 59 verhindert, daß die Scharnieranord­ nung gelöst wird, d. h. der Einsatz 61 wird daran gehindert, aus dem Sockelabschnitt 57 herausgehoben zu werden, wenn der Deckel geschlossen ist, wie es in Fig. 17 dargestellt ist. Wenn der Deckelabschnitt 28 umgeschlagen ist, so daß er auf der Oberfläche "S" aufliegt, auf der der Behälter, wie in Fig. 1 dargestellt, steht, wird der Einsatz 61 noch von einer Herausnahme durch die Öffnung 59 gehindert, da in dieser Offen- oder Kippstellung des Deckels 28, der Einsatz 61 noch nicht mit der verkleinerten Öffnung oder dem verkleinerten Durchgang 59 ausgerichtet ist.

Wenn jedoch der Deckel wenig weitergeschwenkt wird, so daß er eine andere Stellung, wie sie gestrichelt dargestellt und in den Fig. 1 und 18 mit "P" bezeichnet ist, dann ist der Einsatz 61 unmittelbar mit der Öffnung 59 ausgerichtet, so daß der Einsatz aus dem Sockelabschnitt 57 herausgehoben und der Deckelabschnitt 28 so von dem Bodenabschnitt 15 des Behälters abgehoben werden kann.

Claims (15)

1. Behälter, gegossen aus Kunststoff, zum Lagern von Trägern für Halbleiterwafer, bestehend aus einem Behäl­ terboden oder Unterteil (11) mit einer Bodenwand (65) und Seitenwänden (68), die einen Randabschnitt (69) bilden, und aus einem Deckel (12), der Seitenwände (71) aufweist, die einen unteren Randabschnitt (74) bilden, der auf dem oberen Randabschnitt (69) des Behälterunterteils (11) aufliegt, dadurch gekennzeichnet, daß eine zweiteilige, auseinander­ nehmbare Scharnieranordnung (13), die Randabschnitte (69) und (74) des Behälterunterteils und des Deckels (12) verbin­ det, und drehbare und ortsfeste Scharnierteile (78 und 77) aufweist, von denen ein Scharnierteil einen Einsatz (79) und der andere einen Sockel (83) und eine Eingangs-Ausgangs­ öffnung (89) den Einsatz aufweist, und daß die ortsfesten und drehbaren Scharnierteile außerdem miteinander zusammen­ arbeitende Sperrabschnitte (82) aufweisen, die einander ge­ genüberliegen und die Entfernung des Einsatzes von dem Sok­ kel und der Eingangs-Ausgangsöffnung mit der Ausnahme ver­ hindern, wenn der Deckel und der drehbare Scharnierteil ge­ schwenkt und gedreht sind, über eine Kippstellung, in der Abschnitte des Deckels unterhalb der Bodenwand (65) des Be­ hälterunterteils liegen.

2. Behälter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß der Sockelabschnitt (83) und die Eingangs-Ausgangs­ öffnung (89) an dem drehbaren Scharnierteil (78) ausgebil­ det sind, und daß der ortsfeste Scharnierteil (77) einen waagerechten Scharnierbolzen (79) befestigt an dem Behälter­ unterteil (11) aufweist, der in dem Sockelabschnitt (83) des drehbaren Scharnierteils liegt.

3. Behälter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich­ net, daß der Eingangs-Ausgangsabschnitt (89) schräg nach oben und in Richtung auf den Deckel (12) verläuft, daß der Sperrabschnitt (82) an dem ortsfesten Scharnierteil (77) in waagerechter Richtung von dem Scharnierbolzen beabstandet ist, und an den oberen Randabschnitt (69) angrenzt, und daß der Sperrabschnitt (82) an dem drehbaren Scharnierteil (78) einen Führungsrand (91) aufweist, der den Sockelabschnitt (83) umfaßt und radial außerhalb von diesem liegt, wobei der Führungsrand (91) außerdem zwischen dem Scharnierbolzen (79) und dem Sperrabschnitt (82) an dem Behälterunterteil liegt, und angrenzend an die Eingangs-Ausgangsöffnung (89) endet, so daß der Scharnierbolzen hindurchpaßt, wenn der Deckel umgeklappt ist.

4. Behälter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß der Sockelabschnitt (57) und die Eingangs-Ausgangs­ öffnung (58,59) an dem ortsfesten Scharnierteil (55) ausge­ bildet sind.

5. Behälter nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich­ net, daß die Eingangs-Ausgangsöffnung (58, 59) von dem Sok­ kelabschnitt (57) nach oben verläuft, daß der Sperrabschnitt (55.1) an dem ortsfesten Scharnier­ teil (55) teilweise dem Sockelabschnitt gegenüberliegt und teilweise die Eingangs-Ausgangsöffnung verschließt, und daß der Sperrabschnitt an dem drehbaren Scharnierteil (60.1) einen exzentrischen Abschnitt (61) aufweist, der in Ausrichtung mit der teilweise geschlossenen Eingangs- Ausgangsöffnung (58, 59) drehbar ist.

6. Behälter, gegossen aus Kunststoff, zum Lagern eines Trägers für Halbleiterwafer, bestehend aus einem Behälterboden oder Unterteil (11) , mit einer Boden­ wand (65) und Seitenwänden (68), die einen Randabschnitt (69) bilden, und aus einem Deckel (12), der Seitenwände (71) aufweist, die einen unteren Randabschnitt (74) bilden, der auf dem oberen Randabschnitt (69) des Behälterunterteils (11) aufliegt,
dadurch gekennzeichnet, daß eine zweiteilige, auseinander­ nehmbare Scharnieranordnung (13) vorgesehen ist, die die Randabschnitte (74,69) des Behälterunterteils und des Dek­ kels verbindet, und einen waagerechten Scharnierbolzen (79) aufweist, der waagerechter Richtung von dem oberen Randab­ schnitt (69) des Behälterunterteils beabstandet ist, und parallel zu diesem Randabschnitt verläuft, um einen Aufnah­ mespalt (80) zwischen dem Scharnierbolzen und dem Randab­ schnitt zu bilden, wobei der Scharnierbolzen außerdem Endab­ schnitte (79.1) mit Stützmitteln aufweist, und an dem an­ grenzenden oberen Randabschnitt (69) des Behälterunterteils angebracht ist, und
daß die Scharnieranordnung außerdem einen Scharnierhaken (83) mit inneren und äußeren Seitenabschnitten (85 und 86) und einem Mittelabschnitt (87) dazwischen aufweist, und ei­ nen inneren Sockelabschnitt (88) zur Aufnahme des Scharnier­ bolzens (79) zur Drehung um diesen Scharnierbolzen bildet, wobei der Endabschnitt (86) an dem Scharnierhaken (83) durch den Aufnahmespalt angrenzend an den Scharnierbolzen verläuft, und an dem unteren Randabschnitt des Deckels be­ festigt ist, die Endabschnitte des Hakens außerdem eine Ein­ gangs-Ausgangsöffnung (89) definieren, die einen Zugang zu dem Sockelabschnitt schafft, der Scharnierhaken außerdem einen äußeren Führungsrand (91) aufweist, der von dem Sok­ kelabschnitt (88) beabstandet ist, über einen Teil des Um­ fangs des Sockelabschnittes und an beiden Endabschnitten und am mittleren Abschnitt des Scharnierhakens verläuft, sowie außerdem durch den Aufnahmespalt (80) und dicht neben dem Randabschnitt des Behälterunterteils verläuft.

7. Behälter nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingangs-Ausgangsöffnung (89) an dem Sockelab­ schnitt (88) nach oben verläuft, damit der Deckel (12) voll­ ständig umgeschlagen werden muß, um die Entfernung des Dek­ kels von dem Behälterunterteil zu erleichtern.

8. Behälter nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingangs-Ausgangsöffnung nach oben und schräg in Richtung auf den Deckel (12), ausgehend von dem Sockel­ abschnitt verläuft und sicherzustellen, daß der Deckel bis zur Umschlagstellung und über diese hinaus geschwenkt wer­ den muß, um die Entfernung des Deckels von dem Behälterun­ terteil zu erleichtern.

9. Behälter nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Scharnierhaken (83) ein Paar spiegelbildlich ne­ beneinander und beabstandet angeordneter Seitenabschnitte (84) aufweist, die mit inneren und äußeren Endabschnitten (85 und 86) und einem mittleren Abschnitt (87) und dem Füh­ rungsrand (91) versehen sind, und daß die Seitenabschnitte an die entsprechenden Stützmittel angrenzen, und die an­ grenzenden Endabschnitte des Scharnierbolzens in den Sockelabschnitten (88) aufnehmen.

10. Behälter nach Anspruch 9, dadurch gekennzeich­ net, daß der Scharnierhaken (83) einen Plattenabschnitt (90) aufweist, der zwischen den inneren Endabschnitten (85) der Seitenabschnitte (84) des Scharnierhakens (83) verläuft und an diesen befestigt ist.

11. Behälter nach Anspruch 5, dadurch gekennzeich­ net, daß der exzentrische Abschnitt (61) des drehbaren Scharnierteils (60.1) einen halbzylinderförmigen Abschnitt des drehbaren Scharnierteils aufweist.

12. Behälter nach Anspruch 5, dadurch gekennzeich­ net, daß der Sockelabschnitt einen runden Sockelhohlraum (56) aufweist, der einen Einsatz (60) aufnimmt, und daß die Eingangs-Ausgangsöffnung (58) asymetrisch relativ zu der Mittelachse des runden Hohlraumes angeordnet ist, und der Einsatz eine Größe in Anpassung an die Größe der Eingangs- Ausgangsöffnung aufweist, damit dieser hindurchpaßt.

13. Behälter nach Anspruch 12, dadurch gekennzeich­ net, daß die langgestreckte Eingangs-Ausgangsöffnung (58) parallel zu und versetzt von dem Durchmesser des runden Hohlraumes verläuft.

14. Behälter nach Anspruch 12, dadurch gekennzeich­ net, daß der Einsatz (60, 61) eine flache Seite (61.1) und eine runde Seite entsprechend der Form des runden Hohlrau­ mes (56) aufweist.

15. Behälter nach Anspruch 13, dadurch gekennzeich­ net, daß die Bodenwand des Behälterunterteils auf einer Stützfläche anordenbar ist, und daß der Behälterdeckel in der umgeklappten Offenstellung mit der Stützfläche in Ein­ griff bringbar ist, und daß der Deckel über die Stützfläche und die Bodenwand hinaus schwenkbar ist, um die Abnahme des Deckels von dem Behälterunterteil zu erleichtern.