DE4207770A1 - Vorrichtung zum sichern einer traegerplatte fuer zu pruefende vorrichtungen bezueglich kontaktfuehlern eines pruefkopfes - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Sichern einer Träger­ platte, wie einer frei beweglichen DUT-Platte (Device-Under-Test- Platte) bezüglich Kontaktfühlern an einem Prüfkopf, welcher ein Interface zwischen einem Prüfsystem zum Prüfen von Halbleitervor­ richtungen und einer zu prüfenden Einrichtung (DUT) darstellt.

Eine Prüfkopfanordnung für eine Träger- oder DUT-Platte hat mehre­ re Stiftplatten oder -karten, von denen jede mit einem Kontaktfüh­ ler zum Kontaktieren einer DUT-Platte ausgerüstet ist. Auf dieser Platte ist ein DUT montiert und über die Kontaktfühler ansteuer­ bar. Um vollständigen Kontakt zwischen dem Prüfkopf und der DUT- Platte herzustellen, sind die Kontaktfühler so von Federn unter­ stützt, daß sie von der Stiftplatte vorstehen und in diese ge­ drückt werden können. Die DUT-Platte ist am Prüfkopf fest mon­ tiert, wobei sie unter dem Druck der Kontaktfühler steht, welche durch die Federn belastet sind.

Fig. 1 zeigt eine herkömmliche Montageanordnung zum Montieren der DUT-Platte am Prüfkopf. Eine Andock-Platte 20 in Gestalt eines quadratischen Rahmens ist auf der Oberseite eines DUT-Platten- Montageabschnittes 1a des Prüfkopfes 1 vorgesehen, und ein Paar Nocken 21 ist auf gegenüberliegenden Seiten der Andock-Platte 20 angeordnet. Die DUT-Platte 10 ist an einem quadratischen Träger 22 an mehreren Punkten lösbar befestigt. Der quadratische Träger 22 hat mit den Nocken 21 in Eingriff kommende Gegennocken 23, welche nach unten in die Nocken 21 eingreifen. Bei Drehung der Nocken 21 durch Betätigen eines Hebels 21a kommen die Gegennocken 23 in Eingriff mit Nuten der Nocken 21, so daß der Träger 22 längs den Schrägflächen der Nuten unten befestigt ist. Nocken 21 sind miteinander über einen Draht 24 gekoppelt, so daß sie gemein­ sam betätigbar sind.

Die oben beschriebene Montageanordnung hat die folgenden Nachtei­ le. Zunächst ist der Träger 22 mit den Gegennocken 23 zwingend erforderlich. Zudem müssen eine DUT-Platte nach der anderen am Träger 22 befestigt und davon wieder entfernt werden, so daß der Betrieb umständlich ist. Ferner ragen der Nocken 21, der Hebel 21a und der Draht 24 von der Oberseite des Prüfkopfes 1 vor. Das Auskragen dieser Bauteile beschränkt das Zugangsgebiet. Ferner ragen die Gegennocken 23 von den Seitenflächen des Trägers 22 vor und schränken ebenso den Zugang ein. Schließlich wird der Träger 22 aufgrund der Drehung der Nocken 21 von einer horizontal gerich­ teten Kraft beaufschlagt, welche eine Deplazierung der DUT-Platte 10 erzeugt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die genannten Nachteile zu vermeiden und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art anzugeben, bei der die Montage und Demontage oder ein Austausch der Trägerplatte für die Prüflinge (DUT-Platte) einfach ausgeführt werden kann, wobei gleichwohl eine stabile Montage der Trägerplat­ te gewährleistet ist. Diese Aufgabe ist durch Anspruch 1 gelöst.

Eine bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung weist die folgenden Merkmale auf:

• (1) eine drehbare Nockenvorrichtung ist in einer zylindrischen Bohrung in einem DUT-Plattenmontageabschnitt des Prüfkopfes ange­ ordnet;
• (2) die Nockenvorrichtung weist eine Nockenwelle mit einem von ihrer äußeren Umfangsfläche wegragenden Führungsstift sowie einen frei auf der Nockenwelle beweglichen zylindrischen Triebring auf;
• (3) der Triebring hat ein mit einem oberen Abschnitt der DUT- Platte in Eingriff bringbares Niederhalteteil und eine geneigte Führungsnut zum Führen des Führungsstiftes der Nockenwelle längs des äußeren Umfangs des Triebringes, um den Triebring je nach der Drehrichtung der Nockenwelle aufwärts oder abwärts zu bewegen;
• (4) der Triebring weist ferner einen von seiner äußeren Umfangs­ fläche wegragenden Mitnehmerstift sowie eine Nut zum Führen des Mitnehmerstiftes des Triebringes im oberen Endabschnitt der Innen­ wand der zylindrischen Bohrung des Prüfkopfes auf, wobei die Nut einen horizontalen Abschnitt und einen vertikalen Abschnitt auf­ weist;
• (5) die DUT-Platte hat eine Fläche, mit welcher das Niederhalte­ teil des Triebrings aufgrund von dessen Drehung in Eingriff kommt.

Je eine Nockenvorrichtung kann in mehreren zylindrischen Öffnungen angeordnet sein, die an den verschiedenen Ecken des DUT-Platten­ montageabschnittes angeordnet sein können, und ein über Riemen­ scheiben gespannter Gurt kann zum synchronen Antrieb sämtlicher Nockenwellen vorgesehen sein.

Ferner kann die so aufgebaute Vorrichtung ein Positionierglied am DUT-Plattenmontageabschnitt zum Positionieren und Unterstützen der am Prüfkopf installierten Stiftplatten benachbart den Kontakt­ fühlern haben, die mit der DUT-Platte kontaktiert werden. Das Positionierglied ist mit einer Öffnung versehen und die Nockenvor­ richtung ist drehbar in der Öffnung angeordnet.

Ferner kann bei der oben beschriebenen Vorrichtung die DUT-Platte mit einem Durchgangsloch versehen sein, in welches das Niederhal­ teteil des Triebringes eingesetzt ist, wobei dann die mit dem Niederhalteteil in Eingriff kommende Fläche an der Innenwand des Durchgangsloches ausgebildet sein kann.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung weist eine Vorrichtung zur frei beweglichen Montage einer DUT-Platte an einem Prüfkopf folgende Merkmale auf:

• (1) Eine drehbare Nockenvorrichtung ist in einer zylindrischen Bohrung in einem DUT-Plattenmontageabschnitt des Prüfkopfes ange­ ordnet;
• (2) die Nockenvorrichtung weist eine Nockenwelle mit einem zylin­ drischen Loch enthaltend einen von dessen Innenwand wegragenden Führungsstift auf und
• (3) die DUT-Platte ist mit einem Zapfen versehen, der in das zylindrische Loch der Nockenwelle einführbar ist, wobei der Zapfen an seinem äußeren Umfang zum Führen des Führungsstiftes eine geneigte Nut aufweist, welche nach unten offen ist.

Die Erfindung ist im folgenden anhand schematischer Zeichnungen an Ausführungsbeispielen mit weiteren Einzelheiten näher erläu­ tert. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer herkömmlichen DUT-Plat­ tenmontageanordnung;

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht einer ersten Ausführung einer DUT-Plattenmontagevorrichtung nach der Erfindung;

Fig. 3 eine Explosionsdarstellung einer bei der Ausführung nach Fig. 2 verwendeten Nockenvorrichtung gemäß der Erfindung in größe­ rem Maßstab;

Fig. 4A einen Schnitt der Nockenvorrichtung vor der endgültigen Festlegung der Trägerplatte mittels der Nockenvorrichtung;

Fig. 4B einen Schnitt durch die Nockenvorrichtung nach der endgül­ tigen Festlegung der Trägerplatte durch die Nockenvorrichtung;

Fig. 5A eine Draufsicht der Nockenvorrichtung entsprechend dem Montagezustand nach Fig. 4A;

Fig. 5B eine Draufsicht der Nockenvorrichtung entsprechend dem Montagezustand nach Fig. 4B;

Fig. 6 eine Explosionsdarstellung eines Prüfkopfes gemäß der Erfindung und

Fig. 7 einen Schnitt durch eine andere Ausführung einer Nockenvor­ richtung nach der Erfindung.

Anhand der Fig. 2-6 ist nun eine vorteilhafte Ausführung der Erfindung beschrieben.

Gemäß Fig. 6 hat eine Träger- oder DUT-Plattenmontagevorrichtung ein Positionierglied 2 in Form eines quadratischen Rahmens einer der DUT-Platte 10 entsprechende Größe. Das Positionierglied 2 dient zum Positionieren und Unterstützen mehrerer Stiftplatten 12, welche im Prüfkopf 1 installiert sind und hat mehrere Positionier­ löcher 2a zum Unterstützen von Umfangsabschnitten von Kontaktfüh­ lern 12a, welche von den Oberseiten der positionierten Stiftplat­ ten 12 vorkragen. Die Kontaktfühler 12a sind ähnlich wie bei der herkömmlichen DUT-Plattenmontagevorrichtung von deren Oberfläche herausragend und in diese einschiebbar unterstützt. Die DUT-Platte 10 ist lösbar auf dem Positionierglied 2 angeordnet, wobei an der Innenfläche der DUT-Platte 10 angeordnete Pads in Kontakt mit den Kontaktfühlern 12a gebracht sind, wodurch eine Prüfung oder Ver­ messung der zu prüfenden Vorrichtung (DUT) ermöglicht ist.

Gemäß Fig. 2 ist eine zylindrische Öffnung 3 in jeder der vier Ecken des Positioniergliedes 2 vorgesehen, und eine Nockenvorrich­ tung ist in jeder Bohrung 3 aufgenommen. Die Nockenvorrichtungen sind miteinander über einen Steuergurt 8a gekoppelt und gemeinsam von einem Antriebsgurt 8b eines Antriebs 9 angetrieben. Jede Nockenvorrichtung weist eine Nockenwelle 5 mit einer Riemenscheibe 6 an ihrem unteren Ende sowie einen zylindrischen Triebring 7 auf, der frei beweglich auf der Nockenwelle 5 unterstützt ist. Die Nockenwelle 5 ist über die Riemenscheibe 6 und die Gurte 8a und 8b angetrieben. Das Drehmoment wird auf den Triebring 7 zum Zwecke der Festlegung der DUT-Platte 10 am Prüfkopf 1 übertragen.

Im einzelnen ist die Montage der DUT-Platte 10 am Prüfkopf im folgenden beschrieben. Gemäß Fig. 3 weist die Welle 5 den von ihrer Umfangsfläche wegragenden Führungsstift 5a auf, und der Triebring 7 ist mit einer geneigten Nut 7a zum Führen des Füh­ rungsstiftes 5a längs der Umfangsfläche des Triebringes versehen. Die geneigte Nut 7a erstreckt sich über einen vorbestimmten Winkel längs des Umfanges des Triebringes 7. Da eine vertikale Bewegung der Nockenwelle 5 ausgeschlossen ist, wird der Triebring 7 bei Drehung der Nockenwelle 5 dazu gezwungen, sich in vertikaler Richtung zu bewegen. Der Hub des Triebringes 7 ist durch die Länge und den Neigungswinkel der geneigten Nut 7a begrenzt. Der Triebring 7 bewegt sich nach unten, wenn die Nockenwelle im Gegen­ uhrzeigersinn betrieben wird, wie in Fig. 3 durch einen Drehpfeil angedeutet ist. Der Triebring 7 hat ein Niederhalteteil 7c an seinem oberen Ende. Das Niederhalteteil 7c hat eine Form, die durch paralleles Abflachen gegenüberliegender Seiten einer Rund­ scheibe erhalten ist. Das Niederhalteteil ist mit dem Triebring 7 gemeinsam drehbar.

Weiterhin gemäß Fig. 3 umfaßt die DUT-Plattenanordnung eine Ver­ stärkungsplatte 11 in Gestalt eines quadratischen Rahmens, die fest an der eigentlichen DUT-Platte 10 angebracht ist, um die Umfangsränder der DUT-Platte 10 zu verstärken. Bei der gezeigten Ausführung ist eine Aluminiumplatte von 10 mm Stärke als Verstär­ kungsplatte verwendet. An den vier Ecken hat die Verstärkungsplat­ te 11 je eine Bohrung 11a, mit welcher das Niederhalteteil 7c des Triebringes 7 über im wesentlichen kreisbogenförmige Flächen 11b zusammenwirkt. Das Niederhalteteil 7c des Triebringes 7 ist durch die Bohrung 11a in Positionierstellung gem. Fig. 5A gebracht. Dann wird das Niederhalteteil 7c im Gegenuhrzeigersinn verdreht, um an der Fläche 11b gem. Fig. 5B anzugreifen.

Wie in Fig. 3 gezeigt ist, ist eine Nut 4 in die obere Innen­ fläche der zylindrischen Bohrung 3 des Positioniergliedes 2 ein­ gearbeitet, die eine im wesentlichen L-förmige Gestalt mit einem horizontalen Abschnitt 4a und einem vertikalen Abschnitt 4b auf­ weist. Der horizontale Abschnitt 4a und der vertikale Abschnitt 4b der Nut 4 sind so angeordnet, daß sie sich zur oberen Stirn­ fläche des Positioniergliedes 2 hin öffnen. Bei dieser Ausführung erstreckt sich die Nut 4 längs des Umfangs der zylindrischen Öffnung über 45°. Ein Mitnehmerstift 7a ragt von der äußeren Umfangsfläche des Triebringes 7 weg und in die Nut 4 hinein, wenn der Triebring 7 in die Bohrung 3 eingesetzt ist. Der Mitnehmer­ stift 7b befindet sich anfänglich am rechten Ende des horizontalen Abschnittes 4a der Nut 4. Bei einer Verdrehung im Gegenuhrzeiger­ sinn des Triebringes 7 gleitet der Mitnehmerstift 7b längs des horizontalen Abschnittes 4a und fällt dann nach unten in den vertikalen Abschnitt 4b ein. Folglich ist der Triebring 7 an einer Bewegung nach unten gehindert, solange der Mitnehmerstift 7b sich im horizontalen Abschnitt 4a befindet, kann jedoch nach unten abfallen, wenn der Mitnehmerstift 7b den vertikalen Ab­ schnitt 4b erreicht. Der Führungsstift 5a und der Mitnehmerstift 7b können als Zapfen und darauf frei drehbare Rollen ausgebildet sein.

Im folgenden ist eine Schrittfolge beim Montieren der DUT-Platte 10 auf dem Prüfkopf 1 bei der beschriebenen Ausführung erläutert. Zunächst wird gemäß Fig. 4A die DUT-Platte 10 mit der daran befe­ stigten Verstärkungsplatte 11 auf dem Positionierglied 2 angeord­ net, wobei die Niederhalteteile 7c in die Bohrungen 11a an den vier Ecken der DUT-Platte 10 eingesetzt werden. In diesem Zustand ist die DUT-Platte 10 von den Kontaktfühlern 12a unterstützt, die von der Oberseite des Positioniergliedes 2 vorkragen.

Wenn der Antrieb 9 eingeschaltet wird, wird die Nockenwelle 5 mittels der Gurte 8a und 8b im Gegenuhrzeigersinn verdreht. Die Nockenwelle 5 wird unabhängig von dem Triebring 7 verdreht, um den Triebring 7 nach unten zu bewegen. Dabei steigt der Führungs­ stift 5a längs der geneigten Nut 7a des Triebringes 7 an. Der Triebring 7 ist jedoch in diesem Zustand an einer Abwärtsbewegung gehindert, weil der Mitnehmerstift 7b des Triebrings 7 sich im horizontalen Abschnitt 4a der Nut 4 befindet, so daß der Triebring 7 gemeinsam mit der Nockenwelle 5 verdreht wird.

Wenn der Triebring 7 gemeinsam mit der Nockenwelle 5 etwa um 45° verdreht ist, erreicht der Mitnehmerstift 7b des Triebringes 7 den vertikalen Abschnitt 4b der Nut 4. Der Mitnehmerstift 7b läuft an der Innenwand des vertikalen Abschnittes 4b gemäß Fig. 4B an. Folglich wird der Triebring 7 an einer weiteren Drehung gehindert, er kann sich jedoch vertikal bewegen. In diesem Zustand erreicht das Niederhalteteil 7c des Triebringes 7 eine Position, in welcher das Niederhalteteil 7c von der Fläche 11b gemäß Fig. 5B unterstützt ist.

Wenn die Nockenwelle 5 weiter gedreht wird, während der Triebring 7 an einer Drehung gehindert ist, wird die Nockenwelle 5 unabhän­ gig vom Triebring 7 verdreht, so daß der Führungsstift 5a der Nockenwelle 5 längs der geneigten Nut 7a gleitet, um den Triebring 7 gemäß Fig. 4B nach unten zu drücken. Der Triebring 7 bewegt sich nach unten, während der Mitnehmerstift 7b längs dem vertika­ len Abschnitt 4b geführt ist. Diese Abwärtsbewegung des Triebrin­ ges 7 drängt die DUT-Platte 10 gegen die federnd unterstützten Kontaktfühler 12a. Diese Vorgänge finden aufeinander folgend synchron an den vier Nockenvorrichtungen statt. Ein Lösen und Entfernen der DUT-Platte 10 vom Prüfkopf 1 wird durch Drehen der Nockenwelle in der entgegengesetzten Richtung im Uhrzeigersinn bewerkstelligt.

Bei der beschriebenen Ausführung kann die Nockenvorrichtung in einer zylindrischen Öffnung aufgenommen sein, die im Chassis des Prüfkopfs 1 vorgesehen ist, so daß das Positionierglied 2 nicht notwendig erforderlich ist. Es muß nicht an jeder der vier Ecken eine Nockenvorrichtung vorhanden sein. Beispielsweise können zwei Nockenvorrichtungen an gegenüberliegenden Stellen vorgesehen sein, um eine stabile Montage der DUT-Platte zu ermöglichen.

In Fig. 7 ist ein Querschnitt durch eine Nockenvorrichtung gemäß einer anderen Ausführung der Erfindung. Die DUT-Plattenmontagevor­ richtung bei dieser Ausführung ist im wesentlichen ebenso aufge­ baut wie bei der ersten Ausführung mit Ausnahme der Konstruktion der Nockenvorrichtung. Daher ist eine Beschreibung der DUT-Plat­ tenmontagevorrichtung entbehrlich. Bei dieser Ausführung weist die Nockenvorrichtung, welche in der zylindrischen Bohrung 3 des Positioniergliedes 2 aufgenommen ist, im oberen Bereich der Nocken­ welle 30 ein hohlzylindrisches Sackloch 30a auf. Von der Innen­ wand des Sackloches 30a ragt ein Führungsstift 31 weg. Ein in das Sackloch 30a passender zylindrischer Zapfen 33 ragt von der Unterseite der Verstärkungsplatte 32 weg, welche auf der DUT- Platte 10 plaziert ist. Am Umfang des Zapfens 33 ist eine geneigte Nut 34 eingearbeitet, in welche ein Führungsstift 31 über eine untere Öffnung einfahren kann, wenn der Zapfen 33 in das Sackloch 30a eingesetzt wird. Wenn die DUT-Platte 10 am Positionierglied 2 angebracht wird, wobei der Führungsstift 31 des Sackloches 30a in die Nut 34 des Zapfens 33 einfährt, wird bei der so aufgebauten DUT-Plattenmontagevorrichtung der Antrieb 9 (nicht gezeigt) einge­ schaltet, um die Nockenwelle 30 über die Gurte 8a und 8b anzutrei­ ben. Wie oben bei der ersten Ausführung beschrieben, ist die DUT- Platte fest am Prüfkopf montiert, wobei sie gegen die Kontaktfüh­ ler 12a aufgrund der gegenseitigen Positionierung des Führungs­ stiftes 31 und der Nut 34 gedrängt wird.

Wie oben beschrieben steht bei der Vorrichtung nach der Erfindung der größte Teil der DUT-Plattenmontagevorrichtung nicht über die Oberseite des DUT-Plattenmontageabschnittes vor, so daß die Prüf- Umgebung und auch die Positioniergenauigkeit in Ebenenrichtung (horizontal) verbessert ist. Bei der Vorrichtung nach der Erfin­ dung ist eine spezielle Konstruktion oder ein spezielles Element für die DUT-Plattenseite nicht erforderlich, so daß mehrere Ver­ stärkungsplatten mit niedrigen Kosten herstellbar sind, die vorher auf der DUT-Plattenseite montiert werden können. Dies spart Zeit zum Sichern und Entfernen der Verstärkungsplatte oder von der DUT-Platte ein. Da weiterhin die an den Ecken des DUT-Plattenmon­ tageabschnittes vorgesehenen Nockenvorrichtungen synchron mitein­ ander betrieben werden, kann die DUT-Platte unter gleichzeitigem Horizontalhalten nach unten gedrückt werden, so daß die Kontakt­ fühler gleichförmig angedrückt werden. Im Ergebnis kann die DUT- Platte stabil am Prüfkopf montiert werden.

Claims (8)

1. Vorrichtung zum Sichern einer Trägerplatte für zu prüfende Vorrichtungen bezüglich Kontaktfühlern eines Prüfkopfes (1), dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine drehbare Nocken­ vorrichtung (7, 7c) vorgesehen ist, welche zum direkten Angreifen an einer Trägerplattenanordnung (10, 11) gestaltet ist, indem Drehung der Nockenvorrichtungen in einer Richtung die Trägerplattenanordnung gegenüber dem Prüfkopf (1) fest­ legt, ohne daß dabei eine merkliche horizontale Bewegung der Trägerplattenanordnung stattfindet, wobei Bereiche an der gesicherten Trägerplatte mit vorbestimmten Kontaktfühlern (12a) des Prüfkopfes (1) in Kontakt gehalten werden, und indem die Drehung der Nockenvorrichtung (7, 7c) in einer zweiten, entgegengesetzten Richtung die gesicherte Träger­ plattenanordnung (10, 11) von der Nockenvorrichtung löst.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel (5, 6, 8a, 8b, 9) zum Verdrehen der Nockenvorrichtung (7, 7c) vorgesehen sind, wodurch eine Trägerplatte (10) schnell und leicht montiert und demontiert werden kann, ohne daß eine Montage und Demontage der Trägerplatte an einer gesonderten Unterstützung erforderlich ist, wobei die hori­ zontale Verlagerung kleiner als bisher möglich gehalten ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Bestandteil (7c) der Nockenvorrichtung (7) in Ein­ griff mit der Trägerplattenanordnung (10, 11) kommt, wobei eine weitere Verdrehung der Nockenvorrichtung (7, 7c) in gleicher Richtung die Trägerplattenanordnung gegen die Kon­ taktfühler (12a) drängt.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekenn­ zeichnet, daß mehrere Nockenvorrichtungen (7, 7c) vorgesehen sind und daß die Nockenvorrichtungen untereinander zu einer gemeinsamen Betätigung verbunden sind.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Nockenvorrichtung (7, 7c) an einer Verstär­ kungsplatte (11) der Trägerplatte (10) angreift.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die entfernbare Trägerplattenanordnung (10, 11) eine Trägerplatte (10) mit mehreren Bohrungen und eine Verstärkungsplatte (11) mit mehreren Bohrungen (11b) auf­ weist, welche sich mit entsprechenden Bohrungen der Träger­ platte (10) überdecken und das die Nockenvorrichtung (7, 7c) mit der Trägerplattenanordnung (10, 11) über die Bohrungen der Trägerplatte (10) und der Verstärkungsplatte (11) zusam­ menwirkt.

7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine weitere Nockenvorrichtung (7, 7c) die Trägerplatten­ anordnung (10, 11) gegen die Kontaktfühler (12a) des Prüf­ kopfes (1) in einer bestimmten Richtung drängt.

8. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die drehbare Nockenvorrichtung in einer zylindrischen Öffnung (3) angeordnet ist, welche in einem Trägerplatten-Montageabschnitt (2) des Prüfkopfes (1) ausge­ bildet ist, wobei die Nockenvorrichtung eine Nockenwelle (5) mit einem Führungsstift (5a), welcher von der äußeren Umfangsfläche wegragt, sowie einen zylindrischen Triebring (7) aufweist, der auf der Nockenwelle frei beweglich ist; daß der Triebring (7) ein Niederhalteteil (7c), welches mit einem oberen Abschnitt der Trägerplattenanordnung (10, 11) zusammenwirken kann, sowie eine geneigte Führungsnut (7a) zum Führen des Führungsstiftes (5) der Nockenwelle (5) längs der äußeren Umfangsfläche des Triebringes (7) aufweist, um den Triebring je nach Drehrichtung der Nockenwelle (5) auf­ wärts oder abwärts zu bewegen;
daß der Triebring ferner einen Mitnehmerstift (7b) aufweist, der von der Umfangsfläche des Triebringes vorsteht, und
daß eine Nut zur Führung des Mitnehmerstiftes (7b) des Triebringes (7) an einem oberen Endabschnitt der Innen­ wand der zylindrischen Bohrung (3) vorgesehen ist, wobei diese Nut (4) einen horizontalen Abschnitt (4a) und einen vertikalen Abschnitt (4b) aufweist; und
daß die Trägerplattenanordnung (10, 11) eine mit dem Nieder­ halteteil (7c) des Triebringes (7) durch dessen Verdrehung in Eingriff kommende Fläche (11b) aufweist.