JPH04282472A - テストヘッドにおけるｄｕｔボードの着脱機構 - Google Patents

テストヘッドにおけるｄｕｔボードの着脱機構

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JPH04282472A
JPH04282472A JP3070635A JP7063591A JPH04282472A JP H04282472 A JPH04282472 A JP H04282472A JP 3070635 A JP3070635 A JP 3070635A JP 7063591 A JP7063591 A JP 7063591A JP H04282472 A JPH04282472 A JP H04282472A
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伸一 斉藤
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Tetsuya Shiraishi
哲也 白石
Toshifumi Tamura
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体デバイス等のテス
トを行うためのテストシステムと被測定デバイス（ＤＵ
Ｔ）とのインターフェイスであるテストヘッド上にＤＵ
Ｔボードを着脱自在に装着するための機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】テストヘッドには，コンタクトプローブ
を備えた多数のピンボードが実装され，このコンタクト
プローブによってＤＵＴを搭載したＤＵＴボードとの接
触がなされる。この際，ＤＵＴボードとの確実な接触を
実現するため，コンタクトプローブはばねによって出没
自在に支持され，ＤＵＴボードはここに押しつけたられ
た状態で固定・保持されるようになる。
【０００３】そして，このようなＤＵＴボードの装着構
造としては，従来，図７に示すようなものがある。すな
わち図に示すように，テストヘッド１のＤＵＴボード装
着部１ａ上面には，方形枠状のドッキングプレート２０
が設けられ，この対抗位置に一対のカム２１が装着され
ている。ＤＵＴボード１０は，方形状の保持具２２に着
脱できるように数カ所を固定され，この保持具２２には
上記カム２１に係合できるカムフォロア２３が取りつけ
られている。カム２１は上方からカムフォロア２３を挿
入可能であり，レバー２１ａの操作によってカム２１が
回転されると，カムフォロア２３がカム溝に噛み合って
，その傾斜面に沿って保持具２２を下方に締めつける。 。　　このカム２１はワイヤ２４によって連結され，両
方のカム２１が連動するようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構造においては，以下のような問題点があった。ｌカ
ムフォロア２３を備えた保持具２２が必要となり，かつ
この保持具２２に対し測定対象となるＤＵＴボード１０
を交換するたびに，いちいちこれを取付け・取り外しし
なければならず，作業性が悪かった。■カム２１，その
レバー２１ａおよびワイヤ２４がテストヘッド１上面に
突出し，測定時に作業の邪魔になり，またカムフォロア
２３も保持具２２の側面より突出していて作業の邪魔と
なる。■カム２１の回転操作により，保持具２２に平面
方向の力が作用し，ＤＵＴボード１０の位置ずれを起こ
す原因となる。本発明は，上記従来の課題を解決するた
めになされたものであり，ＤＵＴボードの装着および取
り外し，あるいは交換作業を容易にし，かつその装着状
態も安定的であるテストヘッドにおけるＤＵＴボードの
着脱機構を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明のテストヘッドにおけるＤＵＴボードの着脱機構
は，第１に，テストヘッド上にＤＵＴボードを着脱自在
に装着するために， （イ）テストヘッドのＤＵＴボード装着部に形成した円
孔内に，回動操作されるカム機構を備え，（ロ）上記カ
ム機構は，外周面にガイドピンを突設したカムシャフト
と，該カムシャフトに遊嵌した円柱状の従動リングを備
え， （ハ）上記従動リングは，上部にＤＵＴボードへの係合
部を備えると共に，外周面に沿って上記カムシャフトの
ガイドピンをガイドしてカムシャフトの回転に伴って該
従動リングを上下動させる傾斜状のガイド溝を備え，（
ニ）上記従動リングの外周面にガイドピンを突設すると
共に，テストヘッドの上記円筒孔の内壁面上端部に，該
従動リングのガイドピンをガイドする水平部および該水
平部に連続する垂直部を有するカム溝を設け，（ホ）Ｄ
ＵＴボード側に，上記従動リングの回転によって従動リ
ングの上記係合部と係合する係合部を備えたことを特徴
とする。
【０００６】この場合に，テストヘッドのＤＵＴボード
装着部の複数の隅部に形成した円孔内に，回動操作され
るカム機構をそれぞれ備え，各カムシャフトに設けたプ
ーリ間にベルトを巻装してカム機構を同期して作動させ
てもよく，またテストヘッドのＤＵＴボード装着部に設
けられ，ＤＵＴボードと接触をなすコンタクトプローブ
の近傍で，テストヘッドに実装されるピンボードを位置
決め支持する位置決め部材を設け，該位置決め部材に形
成した円孔内に，回動操作されるカム機構を備えるよう
にしてもよい。さらに，ＤＵＴボード側には貫通孔を形
成し，この内壁面に設けた係合面に従動リングの係合部
を係合するようにしてもよい。
【０００７】また第３に，テストヘッド上にＤＵＴボー
ドを着脱自在に装着するために， （イ）テストヘッドのＤＵＴボード装着部に形成した円
筒孔内に，回動操作されるカム機構を備え，（ロ）上記
カム機構は，内周面にガイドピンを突設した円筒部を有
するカムシャフトを備え， （ハ）ＤＵＴボード側に，上記カムシャフトの円筒部に
挿入される円柱部を備え，該円柱部の外周面に沿って下
側を開口して，上記円筒部のガイドピンをガイドする傾
斜状の溝を設けたことを特徴とする。
【０００８】
【実施例】以下，本発明の一実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図１ないしは図５は，本発明の一実施例
に係り，図１は本発明に係る脱着機構を示す斜視図，図
２はそのカム機構部分を拡大して示す分解斜視図，図５
はテストヘッドの分解斜視図である。上記各図に示すよ
うに本実施例においてテストヘッド１のＤＵＴボード装
着部（以下，装着部１ａ）には，ＤＵＴボード１０に対
応した大きさの方形枠状の位置決め部材２が設けられる
。この位置決め部材２は，テストヘッド１に実装される
多数のピンボード１２を位置決め支持するために設けら
れ，コンタクトプローブ１２ａの近傍を支承する多数の
位置決め孔２ａを有する。この位置決め部材２によって
位置決めされたピンボード１２は，その上面より多数の
コンタクトプローブ１２ａを突出状にする。コンタクト
プローブ１２ａは，従来の構成どおりばねによって出没
自在に支持されている。ＤＵＴボード１０はこの位置決
め部材２上に着脱自在に搭載され，その裏面側のパッド
をコンタクトプローブ１２ａに接触させて，ＤＵＴの測
定を可能とする。
【０００９】この位置決め部材２の四隅には円筒孔３が
形成され，ここに本発明に係るカム機構が設けられる。 図１に示すように，上記カム機構は，タイミングベルト
８ａを介して連結され，タイミングベルト８ｂを介して
与えられるアクチュエータ９の動力によって同期して回
動操作される。
【００１０】図１ないし図３に示すように，上記各カム
機構は，下端にプーリ６を備えたカムシャフト５と，該
カムシャフト５に遊嵌した円柱状の従動リング７を備え
る。カムシャフト５は，プーリ６および上記したタイミ
ングベルト８ａ，８ｂを介して動力を受けて回転し，従
動リング７に回転を伝達する。そして従動リング７の回
転によってＤＵＴボード１０は固定され，保持されるこ
ととなる。
【００１１】以下，この点について詳細に説明する。上
記カムシャフト５は，その外周面にガイドピン５ａを突
設してあり，上記従動リング７にはこのガイドピン５ａ
をガイドする傾斜溝７ａが形成してある。傾斜溝７ａは
従動リング７の周面に沿って一定の勾配で傾斜状に穿設
され，したがって上下方向に規制されたカムシャフト５
が回転すると従動リング７は上下動するようになる。従
動リング７のストロークは傾斜溝７ａの長さおよび勾配
によって決定される。ガイドピン５ａは初期状態におい
て，傾斜溝７ａの最下部に位置し，カムシャフト５が左
回転すると従動リング７を引き下げる。
【００１２】また上記従動リング７の上端には，係合部
７ｃが形成されている。この係合部７ｃは円盤体の両側
を平行に切り落とした形状を有しており，従動リング７
の回転に伴ってこれと一体になって回転する。一方，Ｄ
ＵＴボード１０には，方形枠状の補強板１１が固定され
ている。補強板１１は強度的に弱いＤＵＴボード１０を
補強するために，その周縁に重ね合わせるように取付け
られるものであり，１０ｍｍ程の厚みのアルミ板等が用
いられる。上記補強板１１の四隅には，上記従動リング
７の係合部７ｃに対応する大きさの貫通孔１１ａが形成
してあり，更に係合部７ｃを載置しうる略円弧状の係合
面１１ｂが形成してある。従動リング７の係合部７ｃは
，図４Ａで示す状態で貫通孔１１ａに挿入され，その後
回転して，図４Ｂで示す状態で係合面１１ｂ上に位置さ
れる。
【００１３】次に上記位置決め部材２の円筒孔３には，
その内壁面に沿って，カム溝４が形成されている。この
カム溝４は，図２で示すように上方を開口すると共に，
水平部４ａと垂直部４ｂとで略Ｌ字状に形成されている
。実施例においては，円筒孔３の円周角約４５°の範囲
にカム溝４を形成してある。また従動リング７の外周面
には，ガイドピン７ｂが突設されており，従動リング７
が円筒孔３に収まった状態で，カム溝４にガイドされる
。ガイドピン７ａの初期位置は，カム溝４の水平部４ａ
の右端側であり，従動リング７が左回転すると，ガイド
ピン７ｂは最初，水平部４ａに沿って移動し，次いで垂
直部４ｂで下方に落下する。したがって従動リング７は
，ガイドピン７ｂが水平部４ａ上にあるときは，下方へ
の移動を規制され，ガイドピン７ｂが垂直部４ｂに達し
て下方への移動を許される。なお，上記ガイドピン５ａ
，７ａとしては，軸ピンに回転ローラを遊嵌したもの等
を用いることができる。
【００１４】次に本実施例に基づいてＤＵＴボード１０
のテストヘッド１への実装手順について説明する。最初
に，補強板１１を取付けたＤＵＴボード１０は，四隅の
貫通孔１１ａを従動リング７の係合部７ｃに挿入したか
たちで，位置決め部材２上に載置される。この状態でＤ
ＵＴボード１０は，位置決め部材２の上面に突出した多
数のコンタクトプローブ１２ａによって支持されている
（図３Ａおよび４Ａ）。
【００１５】この状態からアクチュエータ９を作動する
と，タイミングベルト８ａ，８ｂを介して，各カムシャ
フト５が左回りの回転力を受ける。カムシャフト５は，
従動リング７に対して独立して回転して従動リング７を
下方に引き下げようとするが（すなわち，ガイドピン５
ａが傾斜溝７ａを上ろうとするが），この状態では従動
リング７のガイドピン７ｂがカム溝４の水平部４ａ上に
あるため，従動リング７は下がることが出来ず，したが
って，従動リング７と一体になって回転することとなる
。
【００１６】従動リング７が一体になって約４５°回転
すると，そのガイドピン７ｂがカム溝４の垂直部４ｂに
達し，その壁面に対し当接した状態になる。そのため従
動リング７は，その回転方向の動きを規制される一方，
上下方向の動きに対して自由になる。この位置で従動リ
ング７の係合部７ｃは，図４Ｂに示すような係合面１１
ｂとの係合可能な位置に達する。
【００１７】このように従動リング７が回転方向の動き
を規制された状態で，さらにカムシャフト５が回転され
ると，，カムシャフト５は今度は独立して回転し，その
ガイドピン５ａが傾斜溝７ａ内を移動し，従動リング７
を引き下げる方向に作用する。従動リング７は，そのガ
イドピン７ｂを垂直部４ｂにガイドさせながら下方に移
動し，係合させたＤＵＴボード１０を，コンタクトプロ
ーブ１２ａのばね力に抗して引き下げる。これらの動作
は一連の動作として行われ，かつ各カム機構において同
期的に行われる。
【００１８】ＤＵＴボード１０の取り外しは，カムシャ
フト５を上記と反対方向に回転させることによって実現
される。
【００１９】なお，上記カム機構はテストヘッド１のシ
ャーシに形成した円筒孔に設けてもよく，必ずしも位置
決め部材２を必要とせず，また必ずしも実施例のように
カム機構を四隅に設けなくともよく，適宜設定できるが
，対抗位置に少なくとも二つのカム機構を設けることに
よってＤＵＴボードの安定的な実装が可能となる。
【００２０】次に本発明の他の実施例について説明する
。図６は，本発明の他の実施例に係るカム機構を示す側
断面図である。本実施例は，先の実施例と比較してカム
機構の構成のみが異なり，他の部分は先の例と同様ゆえ
，その説明を省略する。
【００２１】本実施例においては，位置決め部材２の円
筒孔３内に装着されるカム機構は，上部に円筒部３０ａ
を有したカムシャフト３０を備え，円筒部３０ａの内周
面には，ガイドピン３１を突設してある。一方，ＤＵＴ
ボード１０に固定された補強板３２には，上記円筒部３
０ａに対応した円柱部３３を設けてあり，この外周面に
沿って傾斜状の溝３４が形成してある。この溝３４は下
方を開口してあり，円柱部３３を円筒部３０ａに挿入し
た際にガイドピン３１を受入れられるようになっている
。このような構造において，ガイドピン３１に円柱部３
３の溝３４を挿入した状態で，ＤＵＴボード１０を位置
決め部材２上に載置し，アクチュエータを作動させれば
，ガイドピン３１と溝３４の関係によって，前記実施例
同様，ＤＵＴボード１０はコンタクトプローブ１２ａ上
に押しつけられた状態で保持されることとなる。
【００２２】
【発明の効果】以上の説明したように本発明によれば，
テストヘッドのＤＵＴボード装着部上面には，ＤＵＴボ
ードの着脱機構が殆ど露出しなくなり，作業性が向上す
ると共に，平面方向に対する位置決め精度も向上する。
【００２３】また請求項１ないしは請求項４に係る発明
にあっては，ＤＵＴボード側に特殊な構造を必要としな
いことから，ＤＵＴボード側に取付ける補強板を安価に
作製することができるので，補強板を複数作製して，Ｄ
ＵＴボードにあらかじめ取付けておくことも可能であり
，これによってＤＵＴボードの補強板への取付け・取外
し作業の手間を省くことができる。
【００２４】また請求項２ないしは請求項４に係る発明
にあっては，ＤＵＴボードの装着部の各隅部に設けたカ
ム機構を同期させて作動するようにしたことから，ＤＵ
Ｔボードが水平を保ちながら押し下げられ，コンタクト
プローブを均一に押しつけることから，ＤＵＴボードの
安定した取付けが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係るＤＵＴボードの着脱機
構を示す斜視図である。
【図２】図１のカム機構部分を拡大して示す分解斜視図
である。
【図３Ａ】ＤＵＴボードの固着前のカム機構部分の側断
面である。
【図３Ｂ】ＤＵＴボードの固着後のカム機構部分の側断
面である。
【図４Ａ】図３Ａの対応平面図である。
【図４Ｂ】図３Ｂの対応平面図である。
【図５】テストヘッドの分解斜視図である。
【図６】本発明に係る他の実施例のカム機構部分の側断
面図である。
【図７】従来例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１　　：テストヘッド １ａ：装着部 ２　　：位置決め部材 ３　　：円筒孔 ４　　：カム溝 ４ａ：水平部 ４ｂ：垂直部 ５　　：カムシャフト ５ａ：ガイドピン ７　　：従動リング ７ａ：傾斜溝 ７ｂ：ガイドピン ７ｃ：係合部 １０：ＤＵＴボード １１：補強板 １１ａ：貫通孔 １１ｂ：係合面

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】テストヘッド上にＤＵＴボードを着脱自在
    に装着するための以下の構成からなることを特徴とする
    テストヘッドにおけるＤＵＴボードの着脱機構。 （イ）テストヘッドのＤＵＴボード装着部に形成した円
    孔内に，回動操作されるカム機構を備える。 （ロ）上記カム機構は，外周面にガイドピンを突設した
    カムシャフトと，該カムシャフトに遊嵌した円柱状の従
    動リングを備える。 （ハ）上記従動リングは，上部にＤＵＴボードへの係合
    部を備えると共に，外周面に沿って上記カムシャフトの
    ガイドピンをガイドしてカムシャフトの回転に伴って該
    従動リングを上下動させる傾斜状のガイド溝を備える。 （ニ）上記従動リングの外周面にガイドピンを突設する
    と共に，テストヘッドの上記円筒孔の内壁面上端部に，
    該従動リングのガイドピンをガイドする水平部および該
    水平部に連続する垂直部を有するカム溝を設ける。 （ホ）ＤＵＴボード側に，上記従動リングの回転によっ
    て従動リングの上記係合部と係合する係合部を備える。
  2. 【請求項２】テストヘッドのＤＵＴボード装着部の複数
    の隅部に形成した円孔内に，回動操作されるカム機構を
    それぞれ備え，各カムシャフトに設けたプーリ間にベル
    トを巻装してカム機構を同期して作動させたことを特徴
    とする請求項１に記載のテストヘッドにおけるＤＵＴボ
    ードの着脱機構。
  3. 【請求項３】テストヘッドのＤＵＴボード装着部に設け
    られ，ＤＵＴボードと接触をなすコンタクトプローブの
    近傍で，テストヘッドに実装されるピンボードを位置決
    め支持する位置決め部材を設け，該位置決め部材に形成
    した円孔内に，回動操作されるカム機構を備えたことを
    特徴とする請求項１または２に記載のテストヘッドにお
    けるＤＵＴボードの着脱機構。
  4. 【請求項４】ＤＵＴボード側に従動リングの係合部を挿
    入する貫通孔を形成し，該貫通孔の内壁面に上記係合部
    を係合する係合面を形成したことを特徴とする請求項１
    ，２又は３に記載のテストヘッドにおけるＤＵＴボード
    の着脱機構。
  5. 【請求項５】テストヘッド上にＤＵＴボードを着脱自在
    に装着するための以下の構成からなることを特徴とする
    テストヘッドにおけるＤＵＴボードの着脱機構。 （イ）テストヘッドのＤＵＴボード装着部に形成した円
    筒孔内に，回動操作されるカム機構を備える。 （ロ）上記カム機構は，内周面にガイドピンを突設した
    円筒部を有するカムシャフトを備える。 （ハ）ＤＵＴボード側に，上記カムシャフトの円筒部に
    挿入される円柱部を備え，該円柱部の外周面に沿って下
    側を開口して，上記円筒部のガイドピンをガイドする傾
    斜状の溝を設ける。
JP3070635A 1991-03-11 1991-03-11 テストヘッドにおけるｄｕｔボードの着脱機構 Expired - Lifetime JP3062268B2 (ja)

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