DE102004031426A1 - Dockingantrieb, Verriegelungselement, Dockingsystem - Google Patents

Dockingantrieb, Verriegelungselement, Dockingsystem Download PDF

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DE102004031426A1
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    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
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Abstract

Ein Dockingantrieb für einen Testkopf mit mehreren Verriegelungsmechanismen (10), die je einen eigenen Verriegelungsantrieb (14, 21-28) aufweisen, hat eine Synchronisationsvorrichtung (11, 12, 13), die die Verriegelungsantriebe (14, 21-28) der Verriegelungsmechanismen (10) zueinander synchronisiert. Sie kann je eine Fangvorrichtung (15a, b) in mehreren Verriegelungsmechanismen (10) aufweisen, die je ein im jeweiligen Verriegelungsmechanismus (10) zu verriegelndes Verriegelungselement (50) in einer bestimmten Position halten. Ein Verriegelungselement (50) eines Dockingsystems hat eine Basis (51), einen Verriegelungsbereich (55) und einen Verbindungsmechanismus (52-54) zwischen Basis (51) und Verriegelungsbereich (55), der manuell ohne Werkzeuge lösbar ist. Der Verriegelungsbereich (55) kann gegenüber der Basis (51) elastisch gehalten sein. Das Verriegelungselement kann einen ersten Haltebereich (56) für die Fangvorrichtung (15) und einen zweiten Haltebereich (57) für eine Verriegelungsvorrichtung (16) haben.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Dockingantrieb, ein Verriegelungselement und ein Dockingsystem nach den Oberbegriffen der unabhängigen Patentansprüche. 5 zeigt, wo solche Dockingsysteme Verwendung finden. 63 symbolisiert einen Handler oder einen Prober für hochintegrierte Schaltkreise, von denen einer durch 69 symbolisiert ist. Es kann sich hierbei um rein digitale Komponenten oder um Digital- und Analog-Schaltungen auf einem Chip handeln. Es können hochintegrierte und bei hohen und höchsten Frequenzen arbeitende Bausteine sein. Für viele Anwendungen ist die 100 %-ige Durchtestung aller herzustellenden ICs vorgesehen, sei es, bevor sie in ein Kunststoffgehäuse eingegossen werden (der Test erfolgt dann in einem sog. "Prober") oder nachdem sie in ein Kunststoffgehäuse eingegossen wurden (der Test erfolgt dann in einem sog. "Handler").
  • Mit steigender Integration und Betriebsfrequenz sinken die geometrischen Abmessungen und Abstände der Kontakte. Gleichzeitig steigen ihre Anzahl und die Größe des Chips. Die Kontaktierung solcher Chips zu Testzwecken ist insbesondere dann, wenn sie schnell, routinemäßig und gleichzeitig elektrisch wie mechanisch zuverlässig und zerstörungsfrei erfolgen soll, eine nicht-triviale Angelegenheit.
  • Prober oder Handler 63 stellen die unmittelbaren Kontakte zum zu testenden Chip bzw. IC 69 her und können weitere Elektronik auf weisen. Der eigentliche Test des Chips bzw. ICs 69 wird jedoch durch einen separat herangeführten Testkopf 61 vorgenommen. Solche Testköpfe sind zwischenzeitlich massive, große und schwere Komponenten. Gewichte von 1000 kg und mehr sind derzeit üblich. Testköpfe 61 werden von Manipulatoren 62 bewegt, die die Bewegung des Testkopfs 61 längs mehrerer translatorischer und rotatorischer Achsen erlauben, so dass die Kontakte 67 des Testkopfs 61 die Kontakte 68 des Handlers oder Probers 63 erreichen können. Um für die Dauer des Tests die Verbindung sowohl mechanisch wie elektrisch zuverlässig zu halten, ist die zuverlässige und zerstörungsfreie mechanische Verbindung der beteiligten Komponenten notwendig. Gerade im Hinblick auf Hochfrequenzanwendungen und Hochfrequenztests muss die Verbindung so sein, dass auch kleinere Erschütterungen den Testlauf elektrisch nicht beeinflussen.
  • Um Testkopf 61 und Handler bzw. Prober 63 miteinander zu verbinden, ist ein Dockingsystem 10, 50 notwendig. Die Verwendungsweise ist dabei so, dass durch eine Bedienperson der Testkopf 61 mittels des Manipulators 62 so in die Nähe des Handlers bzw. Probers 63 gebracht wird, dass die Komponenten des Dockingsystems 10, 50 in einer Pre-Docking-Position in Eingriff zueinander gelangen. Ausgehend davon erfolgt dann die endgültige Verriegelung praktisch automatisch, ohne dass seitens des Bedieners noch eingegriffen werden müsste bzw. könnte.
  • Ein Dockingsystem 10, 50 hat Komponenten einerseits seitens des Testkopfs 61 und andererseits seitens des Handlers bzw. Probers 63 oder seitens eines vorgeschalteten Versteifungsrahmens, der als Teil des Handlers bzw. Probers angesehen werden kann. Diese wirken so zusammen, dass während des Dockings, also des automatisierten Vorgangs, nachdem der Bediener die Komponenten manuell verfahren hat, die Komponenten je paarweise so zusammenwirken, dass noch ein gewisser Weg in z-Richtung zurückgelegt wird und dass hierbei auch die genaue mechanische Positionierung und Ausrichtung sowie das feste Halten der Komponenten in der Endposition bewirkt werden. Es sind hierbei regelmäßig mehrere Paarungen von jeweils Komponenten 10 und 50 vorgesehen, die dann gleichzeitig arbeitend während des Dockingvorgangs das Docking bewirken.
  • Nach dem Docking erfolgt der eigentliche Test des Chips. Danach wird die Verbindung wieder gelöst, um den nächsten Chip testen zu können.
  • Bekannte Dockingsysteme weisen vier Paarungen der Komponenten 10 und 50 auf. 10 kann eine aktive, angetriebene Komponente sein, während 50 eine passive Komponente sein kann. Die mehreren aktiven Komponenten werden gleichzeitig betrieben, bis das Docking beendet ist. Da hierbei durchaus hohe Kräfte aufzuwenden sind (in Summe entsprechend mehreren hundert Kilogramm, sich ergebend aus Gewichtskräften und Federkräften der heranzuführenden Kontakte); sind entsprechend kräftige aktive Komponenten notwendig. Wenn diese in den mehreren Komponenten 10 dann gleichzeitig arbeiten, kann es zu Problemen kommen, wenn die Wirkungsweise nicht mechanisch synchron läuft. Da wegen der elektrischen Kontakte nur geringste mechanische Toleranzen zulässig sind, aber gleichzeitig hohe Kräfte aufzubringen sind, kann es zu Verkantungen und dann bestenfalls zum Festfahren des Dockingvorgangs "auf halber Strecke" kommen. Es kann aber auch zu Zerstörung von Komponenten kommen.
  • Ein weiterer Nachteil bekannter Dockingsysteme ist, dass das manuelle Verfahren des Testkopfs mit dessen Dockingsystemkomponenten hin zum Handler bzw. Prober mit dessen Dockingsystemkomponenten schwierig sein kann. Der automatische Teil des Dockings kann erst dann gestartet werden, wenn alle Paarungen 10, 50 in der vorgesehenen Startposition (Pre-Docking-Position) sind. Es kann schwierig, insbesondere kraft- bzw. zeitaufwendig werden, bis alle diese Positionen gleichzeitig eingenommen sind, so dass der automatische Vorgang begonnen werden kann.
  • Ein weiterer Nachteil bekannter Dockingsysteme ist es, dass sie nur durch die elektrische Betätigung des Systems wieder lösbar sind. Dies kann bei Fehlern zu Problemen führen. Ein Fehler im Dockingsystem würde dann sowohl den Testkopf 61 wie auch den Prober bzw. Handler 63 blockieren.
  • Weiterhin kann es Anwendungen geben, bei denen die völlig starre Verbindung zwischen Testkopf 61 und Prober bzw. Handler 63 unerwünscht ist, was aber bei den bisherigen Dockingsystemen der Fall ist.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, einen Dockingantrieb, ein Verriegelungselement und ein Dockingsystem anzugeben, die in einfacher und zuverlässiger Weise das Pre-Docking und den eigentlichen Docking-Vorgang bewerkstelligen und die im Fehlerfall schnell gelöst werden können.
  • Diese Aufgaben werden mit den Merkmalen der unabhängigen Patentansprüche gelöst. Abhängige Patentansprüche sind auf bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung gerichtet.
  • Ein Dockingantrieb für eine Komponente eines Testsystems, etwa einen Testkopf, einen Handler, einen Prober oder einen Versteifungsrahmen, weist mehrere Verriegelungsmechanismen auf, die je einen Verriegelungsantrieb aufweisen. Eine Synchronisationsvorrichtung bewirkt den störungsfreien Ablauf des Dockings und verhindert insbesondere Verkantungen bzw. stark unsymmetrische Arbeitsweise der einzelnen Verriegelungsmechanismen.
  • Die Synchronisationsvorrichtung kann die Verriegelungsantriebe der Verriegelungsmechanismen zueinander synchronisieren, beispielsweise nach Maßgabe von Sensorsignalen von den einzelnen Antrieben, durch geeignete Ansteuerung aller Verriegelungsantriebe, beispielsweise so, dass schneller laufende nach Maßgabe des am langsamsten verlaufenden Verriegelungsantriebs gesteuert werden.
  • Ein Dockingantrieb, der wie oben ausgebildet sein kann, aber nicht muss, kann eine Fangvorrichtung in mehreren oder allen Verriegelungsmechanismen aufweisen zum jeweiligen Halten eines korrespondierenden Verriegelungselements in einer bestimmten Position, insbesondere in der Startposition des automatischen Dockens (Pre-Docking-Position). Auf diese Weise können die einzelnen Paarungen 10, 50 nacheinander durch den Bediener während des Pre-Dockings in der bestimmten Position in vorläufigen Kontakt zueinander gebracht werden, indem die Komponenten durch die Fangvorrichtung in der Pre-Docking-Position gehalten werden. Wenn dann an allen Paarungen 10, 50 die Pre-Docking-Position erreicht ist, kann der automatische Teil des Dockings gestartet werden.
  • Durch die Fangvorrichtung wird verhindert, dass der Benutzer selber dafür Sorge tragen muss, dass alle Paarungen 10, 50 gleichzeitig in vorläufigem Eingriff zueinander stehen. Vielmehr kann er dies an den einzelnen Paarungen der Reihe nach herbeiführen. Die Fangvorrichtung hält die Paarungen dann vorläufig in der jeweiligen Pre-Docking-Position, bis das automatische Docking beginnt.
  • Eine Komponente des Dockingsystems, insbesondere je ein Element der Paarungen 10, 50, kann eine Basis und einen Verriegelungsbereich aufweisen, die durch einen Verbindungsmechanismus miteinander verbunden sind, der manuell und vorzugsweise ohne Werkzeuge lösbar ist. Dadurch ist eine Lösung des Dockingsystems auch dann möglich, wenn einzelne Komponenten oder auch beispielsweise Strom oder sonstige Energiezufuhr ausgefallen sein sollten.
  • Ein Verriegelungselement kann auch teilweise federnd gelagert sein, um bestimmten Anwendungen gerecht werden zu können.
  • Ein Dockingsystem kann einen Dockingantrieb sowie Verriegelungselemente wie oben beschrieben aufweisen. Der Dockingantrieb kann auf Seiten des Testkopfs oder auf Seiten des Handlers bzw. Probers bzw. Versteifungsrahmens vorgesehen sein. Dementsprechend auf jeweils der anderen Seite sind die Verriegelungselemente vorgesehen. Pro Verriegelungsmechanismus des Dockingantriebs kann je ein Verriegelungselement vorgesehen sein, wobei die Positionen zueinander entsprechend gewählt sind. Es können drei oder mehr Paarungen von Verriegelungsmechanismus und Verriegelungselement vorgesehen sein, vorzugsweise sind es vier oder sechs Paarungen.
  • Nachfolgend werden Bezug nehmend auf die Zeichnungen einzelne Ausführungsform der Erfindung beschrieben. Es zeigen:
  • 1 ein Dockingsystem, in dem die Erfindung angewendet werden kann,
  • 2 den Schnitt durch einen Verriegelungsmechanismus,
  • 3 den Schnitt durch ein Verriegelungselement,
  • 4 schematisch mechanische Komponenten des Verriegelungsmechanismus, und
  • 5 schematisch ein Messsystem bestehend aus Testkopf 61, Handler bzw. Prober 63, Dockingsystem und weiteren Komponenten.
  • 1 zeigt ein Dockingsystem in perspektivischer Ansicht. Nicht gezeigt sind die mit den gezeigten Komponenten jeweils in Verbindung stehenden weiteren Systembestandteile, also insbesondere Testkopf 61 bzw. Handler/Prober/Versteifungsrahmen 63. Gezeigt sind nur diejenigen Systemkomponenten, die unmittelbar den Kontakt zueinander herstellen. In 1 liegt der Dockingantrieb 1 oben, während unten die mehreren Verriegelungselemente 50 zu erkennen sind. Der Dockingantrieb 1 weist mehrere Verriegelungsmechanismen 10 auf, für die entsprechend auf einem Träger 3 des Handlers/Probers/Versteifungsrahmens 63 jeweils Verriegelungselemente 50 vorgesehen sind. Während des Pre-Dockings wird der Dockingantrieb samt seiner Verriegelungsmechanismen 10 durch den Bediener auf die Verriegelungselemente 50 aufgesetzt, also noch weiter in z-Richtung nach unten verfahren, als dies in 1 gezeigt ist. In der nachfolgenden Beschreibung wird angenommen, dass der Dockingantrieb seitens des Testkopfs 61 vorgesehen ist und die Verriegelungselemente seitens Handler/Prober/Versteifungsrahmen 63 vorgesehen sind. Es kann aber auch andersherum sein.
  • Im Inneren des Dockingantriebs 1 ist ein sog. "Configuration Board" 2 schematisch dargestellt, mit dem umfangreiche Anpassungen zwischen der Hardware des Testkopfs 61 und den zu testenden Chips bzw. vorgelagerten elektrischen Komponenten vorgenommen werden können. Im Inneren des Trägers 3 der Verriegelungselemente 50 kann beispielsweise ein sog. "Performance Board" 4 stabil gehalten sein, das seinerseits mit dem zu testenden Chip bzw. Baustein in Verbindung steht. Den elektrischen Kontakt beim Docking bewirken dann unmittelbar Configuration Board 2 und Performance Board 4 miteinander. Sie können hierzu nachgiebige, federbelastete Pins 67 sowie Kontaktflächen 68 aufweisen, die während des Dockings miteinander in Kontakt gebracht werden und so die elektrische Kontaktierung bewirken.
  • 2 zeigt einen Schnitt durch einen Verriegelungsmechanismus 10, von denen der in 1 gezeigte Dockingantrieb 1 vier Stück aufweist. In diesem Zusammenhang wird darauf verwiesen, dass gleiche Be zugsziffern in der gesamten Anmeldung gleiche Komponenten bezeichnen. Die angedeuteten Koordinatensysteme sind gleich ausgerichtet. Die z-Richtung ist die Bewegungsrichtung während des Dockings. Der „Docking-Weg" ist in z-Richtung gerichtet und ist der Weg zwischen der Position der Komponenten am Ende des Pre-Dockings und der Endposition.
  • Der Verriegelungsmechanismus 10 weist eine Öffnung 17 auf, in die ein Verriegelungselement 50 gemäß 3 eingeführt werden kann. Der Verriegelungsmechanismus 10 weist einen Antrieb 14, 2128 auf, der eine Ergreifung und translatorische Bewegung des Verriegelungselements 50 in der Öffnung 17 bewirkt und diesen im Endzustand festhält. Der Antrieb kann selbsthemmend sein.
  • Eine Synchronisationsvorrichtung 11, 12, 13 verhindert Verkantungen, wenn die mehreren Verriegelungsantriebe der einzelnen Verriegelungsmechanismen gleichzeitig laufen. Insbesondere synchronisiert sie den Lauf der einzelnen Verriegelungsantriebe 14 zueinander. Sie kann hierzu für jeden Verriegelungsantrieb Sensorik 12 und Aktorik 13, beispielsweise An/Aus-Schalter oder Ähnliches, aufweisen. Eine Steuerung 11 wertet die Signale, die sie von den mehreren Verriegelungsantrieben 14 der mehreren Verriegelungsmechanismen 10 empfängt, aus und bewirkt die Synchronisation, indem die einzelnen Antriebe 14 geeignet angesteuert werden, insbesondere jeder über die ihm zugeordnete Aktorik 13. 2 zeigt für einen der Verriegelungsmechanismen 10 das Zusammenspiel aus Sensorik 12, Steuerung 11 und Aktorik 13, hier als Schalter (ggf. elektronisch ausgeführt) dargestellt. Die Steuerung 11 empfängt auch die Sensorsignale von den übrigen Verriegelungsantrieben 14 und steuert auch diese entsprechend an.
  • Die Verriegelungsantriebe 14, 2128 können Schrittmotoren aufweisen. Der Sensor 12 kann ein Positionssensor insbesondere für die Drehposition des Motors 14 sein, oder es kann sich um einen Geschwindigkeitssensor (Drehgeschwindigkeit) handeln. Auf diese Weise empfängt die Steuerung 11 die Position bzw. Drehposition bzw. Geschwindigkeit eines jeden Antriebs 14 und kann geeignete Steuerungsmaßnahmen vornehmen. Eine Strategie kann sein, dass schnell laufende Motoren 14, die anhand jeweils einlaufenden Signale vom jeweiligen Sensor 12 erkennbar sind, in ihrer Geschwindigkeit so gedrosselt werden, dass sie synchron zum am langsamsten laufenden Motor 14 laufen.
  • Auf diese Weise ist sichergestellt, dass die Aktionen in den einzelnen Verriegelungsmechanismen 10 synchron zueinander laufen und den gleichen Wegfortschritt machen. Es kann dadurch nicht zu Verkantungen kommen, so dass die zuverlässige und zerstörungsfreie Herstellung der mechanischen Verbindung und dementsprechend auch der elektrischen Verbindung gewährleistet ist.
  • Es kann weiterhin ein (nicht gezeigter) Anschlagsensor vorgesehen sein, der anzeigt, ob bzw. dass das Verriegelungselement in seiner Endposition (am Ende des Dockings) angelangt ist. Es kann auch Wegsensorik für das Verriegelungselement 50 vorgesehen sein, die anzeigt, wie weit das Verriegelungselement in den Verriegelungsmechanismus 10 eingedrungen ist. Die Steuerung des Dockings kann auch nach Maßgabe dieser (nicht gezeigten) Sensoren erfolgen. Es kann weiterhin eine Kraftmessung erfolgen und eine Kraftsteuerung des Dockingvorgangs vorgenommen werden.
  • Das Beendigen des Dockings, insbesondere seines automatischen Teils, kann nach Maßgabe des Signals vom genannten Anschlagsensor eingestellt werden. Es kann auch nach Zurücklegen einer bestimmten Strecke in z-Richtung (in 2 von rechts nach links) beendigt werden, entweder nach Maßgabe des Signals von Sensor 12, das in eine z-Position des Docking-Mechanismus' umgerechnet wer den kann, oder nach Maßgabe eines eigens beispielsweise im Verriegelungsmechanismus 10 vorzusehenden Wegsensors, wie er oben schon angesprochen wurde. Das Beendigen des Dockings kann auch nach Maßgabe der aufzuwendenden Kraft eingestellt werden. Da während des Dockings Federn von federbelasteten Kontakt-Pins eingedrückt werden, baut sich längs des Docking-Wegs eine stärker werdende Kraft auf, die von den Antrieben zu überwinden ist. Ein im Antriebsstrang des Verriegelungsmechanismus 10 vorgesehener Kraftsensor kann ein Signal liefern, das zum Einstellen der Beendigung des Dockings herangezogen werden kann.
  • Da mehrere Verriegelungsmechanismen 10 vorhanden sind, können dementsprechend auch mehrere Kraftsensoren bzw. Wegsensoren vorgesehen sein. Es können dann die Signale eines vorbestimmten Sensors oder die Signalsumme mehrerer oder aller Sensoren (bzw. deren Mittelwert) oder das jeweils maximale Signal zur Einsteuerung des Endes des automatischen Dockings herangezogen werden. Die verwendeten Sensorsignale oder daraus abgeleitete Signale (Summe, Mittelwert) können auf das Überschreiten von Schwellenwerten abgefragt werden. Ist dies der Fall, wird der automatische Teil des Dockings beendet.
  • Das Beendigen des automatischen Dockings kann durch Stromlos-Stellen der Antriebe erfolgen. Wenn diese selbsthemmend sind, verbleiben die Antriebe in der zuletzt eingenommenen Position. Gegebenenfalls können auch Bremsmechanismen vorgesehen sein.
  • Nach dem Docking können mehrere oder alle elektrischen Komponenten des Dockingantriebs (insbesondere Motoren, Sensoren, Steuerung, Leitungen) durch eine nicht gezeigte Abschaltvorrichtung stromlos gestellt werden, um die nachfolgenden Messungen nicht zu beeinträchtigen.
  • Der Antrieb wird in der gezeigten Ausführungsform konkret wie folgt bewirkt: Auf der Abtriebswelle des Motors 14 sitzt ein Keilrad 26, das einen Keilriemen 25 antreibt, der seinerseits ein Keilrad 24 antreibt, das auf ein Schneckengewinde 21 wirkt. Dieses Schneckengewinde bewirkt translatorische Bewegung des Balkens 22 in z-Richtung, der dabei das Bauteil 23 und eine Fangvorrichtung 15 sowie eine Verriegelungsvorrichtung 16 in noch näher zu beschreibender Weise mitnimmt. Während des Dockings bewegt sich der Aufbau im Verriegelungsmechanismus von rechts nach links in der 2, gezeigt ist er in der Endlage am Ende des Dockings.
  • Die Steuerung 11 kann eigens für die Synchronisierung der Verriegelungsmechanismen 10 vorgesehen sein. Sie kann sich im Dockingantrieb 1 befinden und einen digitalen, signalverarbeitenden Baustein aufweisen. Die Steuerung 11 kann auch durch einen allgemeinen Rechner beispielsweise im Testkopf gebildet sein, der die Steuerungsaufgabe als eine von mehreren Tasks wahrnimmt. Im Signalfluß hinter der Sensorik können sich Analog-Digital-Wandler befinden, vor der Aktorik Digital-Analog-Wandler.
  • 15a und 15b sind Fangvorrichtungen. In der gezeigten Ausführungsform sind es federbelastete Elemente, die jeweils in Richtung auf die Schnecke 21 zu federbelastet sind. Zu Beginn des Dockings sind sie, wie gesagt, zusammen mit dem Balken 22 in einer Position weit rechts in 2. Ein entsprechend ausgebildeter Zapfen eines Verriegelungselements kann über die Schnecke 21 geschoben und von den Fangvorrichtungen 15a und 15b vorläufig dort gehalten werden. Die Fangvorrichtung kann auch anders als mechanisch federnd ausgebildet sein, es kann sich beispielsweise um eine magnetische Einrichtung handeln, auch um eine elektromagnetische, oder Ähnliches. Sie hält zum Ende des durch den Benützer bzw. Bediener durchgeführten Pre-Dockings ein Verriegelungselement 50 vorläufig in der Pre-Docking-Position so, dass es beim Fortschritt des eigentlichen Do ckings dann durch die Verriegelungsvorrichtung 16 ergriffen und gehalten werden kann.
  • 3 zeigt ein Verriegelungselement 50, das zum Zusammenwirken mit dem Verriegelungsmechanismus 10 der 2 ausgelegt ist. Der links liegende längliche Zapfen 55 kann rotationssymmetrisch ausgebildet sein. Die Öffnung 58 dient lediglich der Aufnahme der Schnecke des Antriebs. An der Außenseite des Zapfens 55 sind Vertiefungen 56 und 57 vorgesehen. In die Vertiefung 56 kann die Fangvorrichtung 15a bzw. 15b eingreifen. In die Vertiefung 57 kann die Verriegelungsvorrichtung 16a, 16b eingreifen. Die Fangvorrichtung 15 und die Verriegelungsvorrichtung 16 können punkt- bzw. bereichsweise über den Umfang wirkend bzw. ausgebildet sein. Sie müssen nicht über den gesamten Umfang des Zapfens 55 vorliegen.
  • In der gezeigten Ausführungsform sind Fangvorrichtung 15 und Verriegelungsvorrichtung 16 separat voneinander vorgesehen. Sie können aber auch in einem einzigen Bauteil kombiniert sein. Dementsprechend würde dann auch der Zapfen 55 des Verriegelungselements 50 anders gestaltet sein.
  • Das Verriegelungselement 50 kann einen Verriegelungsbereich 55 aufweisen, eine Basis 51 und einen Verbindungsmechanismus 52-54 zwischen beiden, der manuell betätigbar ist. Er kann manuell lösbar sein, insbesondere ohne Werkzeuge. Es kann sich beispielsweise um einen ziehbaren Zapfen oder Splint 52 handeln, der eingeschoben den Verriegelungsbereich 55 so mit der Basis 51 verzapft, dass beide fest und kraft- und formschlüssig miteinander verbunden sind. Der Zapfen oder Splint 52 kann so ausgelegt sein, dass er manuell herausgezogen werden kann und so die Verbindung freigibt. Es steckt dann zwar noch der Verriegelungsbereich 55 im Loch 17 des Verriegelungsmechanismus 10, aber wenigstens können die Komponenten voneinander getrennt werden.
  • 3 zeigt auch eine weitere Ausführungsform des Verriegelungselements. Zwischen Basis 51 und Verriegelungsbereich 55 kann eine elastische Einrichtung 54 vorgesehen sein, die den Verriegelungsbereich 55 elastisch gegenüber der Basis 51 hält. Die Elastizität kann in einer bestimmten Richtung ausschließlich vorliegen, insbesondere in der z-Richtung, also die Bewegungsrichtung während des Dockings. Dies entspricht auch der Längsrichtung des gegebenenfalls länglich ausgebildeten Verriegelungsbereichs.
  • 4 zeigt den Bewegungsmechanismus innerhalb des Verriegelungsmechanismus 10. Balken 22 und Bauelement 23 sind in z-Richtung translatorisch durch das Schneckengetriebe 21 verschieblich. Bei der Verschiebung in z-Richtung nimmt das Bauelement 23 die Fangvorrichtung 15a und die Verriegelungsvorrichtung 16a in z-Richtung mit. Zu Beginn des Dockings befindet sich der Aufbau weiter rechts als in 4 gezeigt, nämlich insbesondere am rechten Ende der feststehenden Führungsnut 27a, 27b im feststehenden Bauteil 27. Die Verriegelungsvorrichtung 16a ist eine Nase, die in eine entsprechende Nut 57 des Verriegelungselements 50 eingreifen kann. Die Verriegelungsvorrichtung 16a wird sowohl durch die Nut 23a im beweglichen Bauteil 23 wie auch durch die Führungsnut 27a, 27b im feststehenden Bauteil 27 geführt. Wenn sich, angetrieben durch das Schneckengetriebe, der Balken 22 von seiner ganz rechten Position nach links bewegt, vollzieht die Verriegelungsvorrichtung 16a eine entsprechende Bewegung nach rechts und entsprechend dem nach schräg unten laufenden Teil 27a der Nut 27a, 27b auch eine Bewegung nach unten. Sie kommt dadurch in die Nut 57 des in 3 gezeigten Verriegelungselements 50 in Eingriff und nimmt dieses dann mit.
  • 15a symbolisiert die Fangvorrichtung, die durch eine Feder 15c in Richtung auf den Schneckenantrieb 21 zu vorgespannt ist. Am Ende des vom Bediener ausgeführten Pre-Dockings wird das Verriegelungselement so eingeschoben, dass die Fangvorrichtung 15a in die Nut 56 eingreift und so das Verriegelungselement 50 vorläufig hält. Die Haltekraft kann einigen Kilogramm Zug in z-Richtung entsprechen.
  • Der Verriegelungsbereich 55 kann zum freien Ende hin sich global verjüngend ausgebildet sein und kann in entgegengesetzte Richtung einen zylindrischen Teil konstanter Querabmessungen haben.

Claims (21)

  1. Dockingantrieb für eine Komponente eines Testsystems, mit mehreren Verriegelungsmechanismen (10), die je einen eigenen Verriegelungsantrieb (14, 2128) aufweisen, gekennzeichnet durch eine Synchronisationsvorrichtung (11, 12, 13), die die Verriegelungsantriebe (14, 2128) der Verriegelungsmechanismen (10) zueinander synchronisiert.
  2. Dockingantrieb nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Synchronisationsvorrichtung aufweist: einen Sensor (12) für jeden Verriegelungsantrieb (14, 2128), und eine Steuerung (10), die die Signale der Sensoren empfängt und nach Maßgabe der Signale alle Verriegelungsantriebe (14, 2128) ansteuert.
  3. Dockingantrieb nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Sensor (12) ein Wegsensor oder ein Geschwindigkeitssensor ist.
  4. Dockingantrieb nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Synchronisationsvorrichtung den langsamsten Verriegelungsantrieb (14, 2128) ermittelt und die übrigen Verriegelungsantriebe dementsprechend ansteuert.
  5. Dockingantrieb nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Sensor (12) ein Kraftsensor ist.
  6. Dockingantrieb nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, gekennzeichnet durch Sensorik zum Einsteuern der Beendigung des Dockings.
  7. Dockingantrieb nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorik einen Anschlagssensor oder einen Wegsensor oder einen Kraftsensor aufweist.
  8. Dockingantrieb nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Abschaltvorrichtung zum Stromlosstellen elektrischer Komponenten des Dockingantriebs nach dem Docking.
  9. Dockingantrieb nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Verriegelungsantrieb selbsthemmend ist.
  10. Dockingantrieb für einen Testkopf, insbesondere nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, mit mehreren Verriegelungsmechanismen (10), die je einen eigenen Verriegelungsantrieb (14, 2128) aufweisen, gekennzeichnet durch eine Fangvorrichtung (15a, b) in mehreren Verriegelungsmechanismen (10), die ein im jeweiligen Verriegelungsmechanismus (10) zu verriegelndes Verriegelungselement (50) in einer bestimmten Position halten.
  11. Dockingantrieb nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Fangvorrichtung (15) ein Teil eines nachgiebigen Einrastmechanismus' zwischen Verriegelungsmechanismus (10) und Verriegelungselement (50) ist.
  12. Dockingantrieb nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch eine vom Verriegelungsantrieb (14, 2128) angetriebene Verriege lungsvorrichtung (16a, b), die zusätzlich zur oder baugleich mit der Fangvorrichtung (15a, b) ausgebildet ist.
  13. Dockingantrieb nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Fangvorrichtung (15) ein elastisch gelagertes erstes Eingriffselement und die Verriegelungsvorrichtung (16) ein geführtes zweites Eingriffselement aufweisen.
  14. Dockingantrieb nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Verriegelungsvorrichtung (16) und vorzugsweise auch die Fangvorrichtung (15) durch den Verriegelungsantrieb (14, 2128) translatorisch verschieblich sind.
  15. Verriegelungselement (50) eines Dockingsystems, das zum Zusammenwirken mit einem Dockingantrieb insbesondere nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche ausgelegt ist, gekennzeichnet durch eine Basis (51), einen Verriegelungsbereich (55) und einen Verbindungsmechanismus (5254) zwischen Basis (51) und Verriegelungsbereich (55), der manuell ohne Werkzeuge lösbar ist.
  16. Verriegelungselement (50) nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Verbindungsmechanismus (5254) einen Splint oder Stift (52) aufweist.
  17. Verriegelungselement (50) eines Dockingsystems, das zum Zusammenwirken mit einem Dockingantrieb ausgelegt ist, insbesondere nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Basis (51) und einen Verriegelungsbereich (55), der elastisch gegenüber der Basis (51) gehalten ist.
  18. Verriegelungselement (50) nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Verriegelungsbereich (55) einen länglichen Zapfen aufweist, der lediglich in Längsrichtung federnd gegenüber der Basis (51) gehalten ist.
  19. Verriegelungselement (50) eines Dockingsystems, das zum Zusammenwirken mit einem Dockingantrieb ausgelegt ist, insbesondere nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, gekennzeichnet durch einen ersten Haltebereich (56) für eine Fangvorrichtung (15) des Dockingantriebs und einen zweiten Haltebereich (57) für eine Verriegelungsvorrichtung (16) des Dockingantriebs.
  20. Verriegelungselement (50) nach Anspruch 19, gekennzeichnet durch einen länglichen Zapfen (55), der in Längsrichtung beabstandete Vertiefungen aufweist, die als erster und zweiter Haltebereich (56, 57) dienen.
  21. Dockingsystem mit einem Dockingantrieb (10) nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 14 und einem oder mehreren Verriegelungselementen (50) nach einem oder mehreren der Ansprüche 15 bis 20.
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