JP2008224591A - 試験装置及び接続装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを試験する試験信号を生成するテストヘッドと、被試験デバイスを載置し、テストヘッドと被試験デバイスとの間で信号を伝送するソケットボードと、ソケットボードの下面におけるそれぞれの支持位置に対応して設けられ、与えられる制御信号に応じて状態が変動することにより、対応する支持位置をそれぞれ独立に上下させる複数のアクチュエータと、それぞれのアクチュエータが同一の状態となるように、それぞれのアクチュエータ毎に第1の制御信号を供給した後、ソケットボード及びテストヘッドの装置間距離を徐々に減少させる第2の制御信号を、それぞれのアクチュエータに対して共通に供給する接続制御部とを備える試験装置を提供する。
【選択図】図4
Description
Claims (14)
- 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを試験する試験信号を生成するテストヘッドと、
前記被試験デバイスを載置し、前記テストヘッドと前記被試験デバイスとの間で信号を伝送するソケットボードと、
前記ソケットボードの下面におけるそれぞれの支持位置に対応して設けられ、与えられる制御信号に応じて状態が変動することにより、対応する前記支持位置をそれぞれ独立に上下させる複数のアクチュエータと、
それぞれの前記アクチュエータが同一の状態となるように、それぞれの前記アクチュエータ毎に第1の前記制御信号を供給した後、前記ソケットボード及び前記テストヘッドの装置間距離を徐々に減少させる第2の前記制御信号を、それぞれの前記アクチュエータに対して共通に供給する接続制御部と
を備える試験装置。 - 前記接続制御部は、
前記第1の制御信号、及び前記第2の制御信号をそれぞれの前記アクチュエータに対して共通に生成する統合制御部と、
前記複数のアクチュエータと一対一に対応して設けられ、対応する前記アクチュエータの状態が、予め定められた初期状態となった場合に、対応する前記アクチュエータへの前記第1の制御信号の供給を停止させる個別制御部と
を有する請求項1に記載の試験装置。 - 前記統合制御部は、全ての前記アクチュエータの状態が、前記初期状態となったことを条件として、前記第2の制御信号を全ての前記アクチュエータに共通に供給する
請求項2に記載の試験装置。 - それぞれの前記アクチュエータは、
対応する前記支持位置に接続され、前記テストヘッドの上面に対して垂直な方向に復動することにより、対応する前記支持位置と前記テストヘッドとの間の前記装置間距離を制御する復動部と、
与えられる前記制御信号に応じて状態が変動することにより、前記復動部を復動させるシリンダと、
対応する前記シリンダの状態が、前記初期状態であるか否かを検出する位置検出部と
を有し、
前記個別制御部は、対応する前記位置検出部において前記初期状態が検出された場合に、対応する前記シリンダへの前記第1の制御信号の供給を停止させる
請求項2に記載の試験装置。 - それぞれの前記シリンダは、
前記テストヘッドの上面に対して水平方向に復動し、前記復動部の一端が滑動する溝部が形成されるカムと、
与えられる前記制御信号に応じて、前記カムを復動させるカム駆動部と
を有し、
前記カムは、
前記溝部が、前記テストヘッドの上面から第1の距離離れた領域において前記テストヘッドの上面に対して前記水平方向に延伸して形成される第1水平部と、
前記溝部が、前記テストヘッドの上面から第2の距離離れた領域において前記テストヘッドの上面に対して前記水平方向に延伸して形成される第2水平部と、
前記第1水平部に形成される前記溝部と、前記第2水平部に形成される前記溝部とを接続すべく、前記溝部が、前記テストヘッドの上面に対して角度を有して形成される接合部と
を含む請求項4に記載の試験装置。 - 前記位置検出部は、前記水平方向における前記カムの位置が、前記初期状態に応じて定められる初期位置であるか否かを検出する
請求項5に記載の試験装置。 - 前記復動部の一端が前記接合部の前記溝部を滑動する場合の前記カムの位置範囲内において、前記位置検出部に前記初期位置が設定される
請求項6に記載の試験装置。 - 前記統合制御部は、前記制御信号として、前記カムの位置を所定の単位移動量ずつ変化させるパルスを順次出力し、
それぞれの前記位置検出部は、対応する前記復動部の位置が、前記初期状態に応じて定められる初期位置となった場合に初期状態検出信号を出力し、
それぞれの前記個別制御部は、対応する前記位置検出部が前記初期状態検出信号を出力した場合に、前記第1の制御信号のパルスをマスクする
請求項5に記載の試験装置。 - 前記統合制御部は、前記第2の制御信号を出力してから予め定められた期間後に、前記第2の制御信号のパルスの周期を徐々に大きくする、前記第2の制御信号のパルス出力パターンが与えられ、前記パルス出力パターンに基づいて前記第2の制御信号のパルスを出力する
請求項8に記載の試験装置。 - それぞれの前記位置検出部は、対応する前記カムの位置が、前記テストヘッドと前記ソケットボードとが接続された状態に応じた接続位置となったか否かを更に検出し、
前記統合制御部は、複数種類の前記パルス出力パターンが与えられ、それぞれの前記位置検出部において、前記接続位置となったことを検出するタイミングが異なる場合に、用いるべき前記パルス出力パターンを切り替える
請求項9に記載の試験装置。 - 前記統合制御部が出力する前記第2の制御信号のパルス数を計数する計数部を更に備え、
前記統合制御部は、前記計数部における計数値が、予め定められる計数値になった場合に、前記第2の制御信号のパルスの周期を、徐々に大きくして出力する
請求項8に記載の試験装置。 - それぞれの前記位置検出部は、対応する前記カムの位置が、前記テストヘッドと前記ソケットボードとが接続された状態に応じた接続位置となったか否かを更に検出し、
前記統合制御部は、全ての前記位置検出部において、対応する前記復動部の位置が前記接続位置となったことを検出した場合に、前記第2の制御信号の出力を停止する
請求項8に記載の試験装置。 - 前記統合制御部が出力する前記第2の制御信号のパルス数を計数する計数部を更に備え、
前記統合制御部は、前記計数部における計数値が予め設定される閾値より大きくなった場合に、前記第2の制御信号の出力を停止する
請求項12に記載の試験装置。 - 第1の装置と第2の装置とを接続する接続装置であって、
前記第1の装置の下面におけるそれぞれの支持位置に対応して設けられ、与えられる制御信号に応じて状態が変動することにより、対応する前記支持位置をそれぞれ独立に上下させる複数のアクチュエータと、
それぞれの前記アクチュエータが同一の状態となるように、それぞれの前記アクチュエータ毎に第1の前記制御信号を供給した後、前記第1の装置及び前記第2の装置の装置間距離を徐々に減少させる第2の前記制御信号を、それぞれの前記アクチュエータに対して共通に供給する接続制御部と
を備える接続装置。
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