DE4207770A1

DE4207770A1 - DEVICE FOR SECURING A CARRIER PLATE FOR DEVICES TO BE TESTED WITH REGARD TO CONTACT SENSORS OF A TEST HEAD

Info

Publication number: DE4207770A1
Application number: DE4207770A
Authority: DE
Inventors: Keiichi Nagakusa; Takeshi Tamura; Tetsuya Shiraishi; Shinichi Saito
Original assignee: Hewlett Packard Co
Current assignee: Agilent Technologies Inc
Priority date: 1991-03-11
Filing date: 1992-03-11
Publication date: 1992-09-17
Anticipated expiration: 2012-03-12
Also published as: JP3062268B2; US5295853A; JPH04282472A; DE4207770C2

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Sichern einer Träger platte, wie einer frei beweglichen DUT-Platte (Device-Under-Test- Platte) bezüglich Kontaktfühlern an einem Prüfkopf, welcher ein Interface zwischen einem Prüfsystem zum Prüfen von Halbleitervor richtungen und einer zu prüfenden Einrichtung (DUT) darstellt.The invention relates to a device for securing a carrier plate, like a freely moving DUT plate (device under test Plate) with regard to contact sensors on a test head, which a Interface between a test system for testing semiconductors directions and a test facility (DUT).

Eine Prüfkopfanordnung für eine Träger- oder DUT-Platte hat mehre re Stiftplatten oder -karten, von denen jede mit einem Kontaktfüh ler zum Kontaktieren einer DUT-Platte ausgerüstet ist. Auf dieser Platte ist ein DUT montiert und über die Kontaktfühler ansteuer bar. Um vollständigen Kontakt zwischen dem Prüfkopf und der DUT- Platte herzustellen, sind die Kontaktfühler so von Federn unter stützt, daß sie von der Stiftplatte vorstehen und in diese ge drückt werden können. Die DUT-Platte ist am Prüfkopf fest mon tiert, wobei sie unter dem Druck der Kontaktfühler steht, welche durch die Federn belastet sind.A probe assembly for a carrier or DUT board has several Right pin boards or cards, each with a contact guide is equipped for contacting a DUT plate. On this A DUT is mounted on the plate and controlled via the contact sensor bar. To ensure full contact between the test head and the DUT To produce a plate, the contact sensors are so underneath springs supports that they protrude from the pin plate and ge in this can be pressed. The DUT plate is fixed to the test head animals, which is under the pressure of the contact sensor, which are loaded by the springs.

Fig. 1 zeigt eine herkömmliche Montageanordnung zum Montieren der DUT-Platte am Prüfkopf. Eine Andock-Platte 20 in Gestalt eines quadratischen Rahmens ist auf der Oberseite eines DUT-Platten- Montageabschnittes 1a des Prüfkopfes 1 vorgesehen, und ein Paar Nocken 21 ist auf gegenüberliegenden Seiten der Andock-Platte 20 angeordnet. Die DUT-Platte 10 ist an einem quadratischen Träger 22 an mehreren Punkten lösbar befestigt. Der quadratische Träger 22 hat mit den Nocken 21 in Eingriff kommende Gegennocken 23, welche nach unten in die Nocken 21 eingreifen. Bei Drehung der Nocken 21 durch Betätigen eines Hebels 21a kommen die Gegennocken 23 in Eingriff mit Nuten der Nocken 21, so daß der Träger 22 längs den Schrägflächen der Nuten unten befestigt ist. Nocken 21 sind miteinander über einen Draht 24 gekoppelt, so daß sie gemein sam betätigbar sind. Fig. 1 shows a conventional mounting arrangement for mounting the DUT plate on the test head. A docking plate 20 in the form of a square frame is provided on the top of a DUT plate mounting section 1 a of the test head 1 , and a pair of cams 21 is arranged on opposite sides of the docking plate 20 . The DUT plate 10 is releasably attached to a square support 22 at several points. The square carrier 22 has mating cams 23 which engage with the cams 21 and which engage in the cams 21 downwards. Upon rotation of the cams 21 by actuating a lever 21 a, the counter cams 23 come into engagement with grooves of the cams 21 , so that the carrier 22 is fastened along the inclined surfaces of the grooves below. Cams 21 are coupled to one another via a wire 24 , so that they can be actuated together.

Die oben beschriebene Montageanordnung hat die folgenden Nachtei le. Zunächst ist der Träger 22 mit den Gegennocken 23 zwingend erforderlich. Zudem müssen eine DUT-Platte nach der anderen am Träger 22 befestigt und davon wieder entfernt werden, so daß der Betrieb umständlich ist. Ferner ragen der Nocken 21, der Hebel 21a und der Draht 24 von der Oberseite des Prüfkopfes 1 vor. Das Auskragen dieser Bauteile beschränkt das Zugangsgebiet. Ferner ragen die Gegennocken 23 von den Seitenflächen des Trägers 22 vor und schränken ebenso den Zugang ein. Schließlich wird der Träger 22 aufgrund der Drehung der Nocken 21 von einer horizontal gerich teten Kraft beaufschlagt, welche eine Deplazierung der DUT-Platte 10 erzeugt.The mounting arrangement described above has the following disadvantages. First of all, the carrier 22 with the counter cams 23 is absolutely necessary. In addition, one DUT plate after the other must be attached to the carrier 22 and removed therefrom, so that the operation is cumbersome. Furthermore, the cam 21 , the lever 21 a and the wire 24 protrude from the top of the test head 1 . The cantilever of these components limits the access area. Furthermore, the counter cams 23 protrude from the side surfaces of the carrier 22 and also restrict access. Finally, due to the rotation of the cams 21 , the carrier 22 is acted upon by a horizontally directed force which creates a misplacement of the DUT plate 10 .

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die genannten Nachteile zu vermeiden und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art anzugeben, bei der die Montage und Demontage oder ein Austausch der Trägerplatte für die Prüflinge (DUT-Platte) einfach ausgeführt werden kann, wobei gleichwohl eine stabile Montage der Trägerplat te gewährleistet ist. Diese Aufgabe ist durch Anspruch 1 gelöst.The invention has for its object the disadvantages mentioned to avoid and a device of the type mentioned specify the assembly and disassembly or replacement the carrier plate for the test specimens (DUT plate) is simple can be, although stable mounting of the carrier plate te is guaranteed. This object is solved by claim 1.

Eine bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung weist die folgenden Merkmale auf:A preferred embodiment of the invention has the following Features on:

(1) a rotatable cam device is in a cylindrical Drilled hole in a DUT board mounting section of the test head arranges;
(2) the cam device has a camshaft with one of its outer peripheral surface protruding guide pin and a cylindrical drive ring freely movable on the camshaft;
(3) the drive ring has one with an upper portion of the DUT Pluggable hold-down member and an inclined plate Guide groove for guiding the camshaft guide pin lengthways the outer circumference of the drive ring to the drive ring depending on the To move the direction of rotation of the camshaft up or down;
(4) the drive ring further has one of its outer circumference surface protruding driving pin and a groove for guiding the Driving pin of the drive ring in the upper end section of the inside wall of the cylindrical bore of the test head, the groove a horizontal section and a vertical section points;
(5) the DUT plate has a surface with which the hold-down part of the drive ring comes into engagement due to its rotation.

Je eine Nockenvorrichtung kann in mehreren zylindrischen Öffnungen angeordnet sein, die an den verschiedenen Ecken des DUT-Platten montageabschnittes angeordnet sein können, und ein über Riemen scheiben gespannter Gurt kann zum synchronen Antrieb sämtlicher Nockenwellen vorgesehen sein. One cam device each can be in several cylindrical openings be arranged at the different corners of the DUT plates assembly section can be arranged, and a belt Belt tensioned belts can synchronously drive all Camshafts can be provided.

Ferner kann die so aufgebaute Vorrichtung ein Positionierglied am DUT-Plattenmontageabschnitt zum Positionieren und Unterstützen der am Prüfkopf installierten Stiftplatten benachbart den Kontakt fühlern haben, die mit der DUT-Platte kontaktiert werden. Das Positionierglied ist mit einer Öffnung versehen und die Nockenvor richtung ist drehbar in der Öffnung angeordnet.Furthermore, the device constructed in this way can have a positioning member on DUT board mounting section for positioning and support of the pin plates installed on the test head adjacent to the contact sensors that are in contact with the DUT plate. The Positioning member is provided with an opening and the cams in front direction is rotatably arranged in the opening.

Ferner kann bei der oben beschriebenen Vorrichtung die DUT-Platte mit einem Durchgangsloch versehen sein, in welches das Niederhal teteil des Triebringes eingesetzt ist, wobei dann die mit dem Niederhalteteil in Eingriff kommende Fläche an der Innenwand des Durchgangsloches ausgebildet sein kann.Furthermore, in the device described above, the DUT plate be provided with a through hole into which the Niederhal Tetage of the drive ring is used, the then with the Retaining part engaging surface on the inner wall of the Through hole can be formed.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung weist eine Vorrichtung zur frei beweglichen Montage einer DUT-Platte an einem Prüfkopf folgende Merkmale auf:According to a further aspect of the invention, a device for freely moving mounting of a DUT plate on a test head following features:

(1) A rotatable cam device is in a cylindrical one Drilled hole in a DUT board mounting section of the probe arranges;
(2) The cam device has a camshaft with a cylinder Drical hole containing one protruding from the inner wall Guide pin on and
(3) the DUT plate is provided with a pin that fits into the cylindrical hole of the camshaft is insertable, the pin on its outer periphery for guiding the guide pin has inclined groove, which is open at the bottom.

Die Erfindung ist im folgenden anhand schematischer Zeichnungen an Ausführungsbeispielen mit weiteren Einzelheiten näher erläu tert. Es zeigen: The invention is based on schematic drawings on embodiments with further details tert. Show it:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer herkömmlichen DUT-Plat tenmontageanordnung; Fig. 1 is a perspective view of a conventional DUT plate mounting assembly;

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht einer ersten Ausführung einer DUT-Plattenmontagevorrichtung nach der Erfindung; Fig. 2 is a perspective view of a first embodiment of a DUT board mounting apparatus according to the invention;

Fig. 3 eine Explosionsdarstellung einer bei der Ausführung nach Fig. 2 verwendeten Nockenvorrichtung gemäß der Erfindung in größe rem Maßstab; Fig. 3 is an exploded view of a cam device used in the embodiment of Figure 2 according to the invention in large rem scale.

Fig. 4A einen Schnitt der Nockenvorrichtung vor der endgültigen Festlegung der Trägerplatte mittels der Nockenvorrichtung; 4A is a sectional view of the cam mechanism prior to the final fixing of the support plate by means of the cam device.

Fig. 4B einen Schnitt durch die Nockenvorrichtung nach der endgül tigen Festlegung der Trägerplatte durch die Nockenvorrichtung; Figure 4B is a section through the cam device according to the definitive term defining the carrier plate by the cam device.

Fig. 5A eine Draufsicht der Nockenvorrichtung entsprechend dem Montagezustand nach Fig. 4A; FIG. 5A shows a top view of the cam device corresponding to the mounting state according to FIG. 4A;

Fig. 5B eine Draufsicht der Nockenvorrichtung entsprechend dem Montagezustand nach Fig. 4B; FIG. 5B shows a top view of the cam device in accordance with the mounting state according to FIG. 4B;

Fig. 6 eine Explosionsdarstellung eines Prüfkopfes gemäß der Erfindung und Fig. 6 is an exploded view of a test head according to the invention and

Fig. 7 einen Schnitt durch eine andere Ausführung einer Nockenvor richtung nach der Erfindung. Fig. 7 shows a section through another embodiment of a Nockenvor direction according to the invention.

Anhand der Fig. 2-6 ist nun eine vorteilhafte Ausführung der Erfindung beschrieben.An advantageous embodiment of the invention is now described with reference to FIGS. 2-6.

Gemäß Fig. 6 hat eine Träger- oder DUT-Plattenmontagevorrichtung ein Positionierglied 2 in Form eines quadratischen Rahmens einer der DUT-Platte 10 entsprechende Größe. Das Positionierglied 2 dient zum Positionieren und Unterstützen mehrerer Stiftplatten 12, welche im Prüfkopf 1 installiert sind und hat mehrere Positionier löcher 2a zum Unterstützen von Umfangsabschnitten von Kontaktfüh lern 12a, welche von den Oberseiten der positionierten Stiftplat ten 12 vorkragen. Die Kontaktfühler 12a sind ähnlich wie bei der herkömmlichen DUT-Plattenmontagevorrichtung von deren Oberfläche herausragend und in diese einschiebbar unterstützt. Die DUT-Platte 10 ist lösbar auf dem Positionierglied 2 angeordnet, wobei an der Innenfläche der DUT-Platte 10 angeordnete Pads in Kontakt mit den Kontaktfühlern 12a gebracht sind, wodurch eine Prüfung oder Ver messung der zu prüfenden Vorrichtung (DUT) ermöglicht ist.Referring to FIG. 6, a carrier or DUT board mounting apparatus has a positioning member 2 in the form of a square frame of a DUT board 10 corresponding size. The positioning member 2 serves for positioning and supporting a plurality of pin plates 12, which are installed in the probe 1 and has a plurality of positioning holes 2a for supporting peripheral portions of learning Kontaktfüh 12 a which ten of the upper sides of the positioned Stiftplat cantilevered 12th The contact sensors 12 a are similar to the conventional DUT plate mounting device from its surface outstanding and supported insertable. The DUT plate 10 is detachably arranged on the positioning member 2 , wherein pads arranged on the inner surface of the DUT plate 10 are brought into contact with the contact sensors 12 a, whereby a test or measurement of the device under test (DUT) is made possible.

Gemäß Fig. 2 ist eine zylindrische Öffnung 3 in jeder der vier Ecken des Positioniergliedes 2 vorgesehen, und eine Nockenvorrich tung ist in jeder Bohrung 3 aufgenommen. Die Nockenvorrichtungen sind miteinander über einen Steuergurt 8a gekoppelt und gemeinsam von einem Antriebsgurt 8b eines Antriebs 9 angetrieben. Jede Nockenvorrichtung weist eine Nockenwelle 5 mit einer Riemenscheibe 6 an ihrem unteren Ende sowie einen zylindrischen Triebring 7 auf, der frei beweglich auf der Nockenwelle 5 unterstützt ist. Die Nockenwelle 5 ist über die Riemenscheibe 6 und die Gurte 8a und 8b angetrieben. Das Drehmoment wird auf den Triebring 7 zum Zwecke der Festlegung der DUT-Platte 10 am Prüfkopf 1 übertragen.According to FIG. 2, a cylindrical hole 3 in each of the four corners of the positioning member 2 is provided, and a tung Nockenvorrich is received in each bore 3. The cam devices are coupled to one another via a control belt 8 a and are driven together by a drive belt 8 b of a drive 9 . Each cam device has a camshaft 5 with a pulley 6 at its lower end and a cylindrical drive ring 7 , which is supported on the camshaft 5 in a freely movable manner. The camshaft 5 is driven via the pulley 6 and the belts 8 a and 8 b. The torque is transmitted to the drive ring 7 for the purpose of fixing the DUT plate 10 on the test head 1 .

Im einzelnen ist die Montage der DUT-Platte 10 am Prüfkopf im folgenden beschrieben. Gemäß Fig. 3 weist die Welle 5 den von ihrer Umfangsfläche wegragenden Führungsstift 5a auf, und der Triebring 7 ist mit einer geneigten Nut 7a zum Führen des Füh rungsstiftes 5a längs der Umfangsfläche des Triebringes versehen. Die geneigte Nut 7a erstreckt sich über einen vorbestimmten Winkel längs des Umfanges des Triebringes 7. Da eine vertikale Bewegung der Nockenwelle 5 ausgeschlossen ist, wird der Triebring 7 bei Drehung der Nockenwelle 5 dazu gezwungen, sich in vertikaler Richtung zu bewegen. Der Hub des Triebringes 7 ist durch die Länge und den Neigungswinkel der geneigten Nut 7a begrenzt. Der Triebring 7 bewegt sich nach unten, wenn die Nockenwelle im Gegen uhrzeigersinn betrieben wird, wie in Fig. 3 durch einen Drehpfeil angedeutet ist. Der Triebring 7 hat ein Niederhalteteil 7c an seinem oberen Ende. Das Niederhalteteil 7c hat eine Form, die durch paralleles Abflachen gegenüberliegender Seiten einer Rund scheibe erhalten ist. Das Niederhalteteil ist mit dem Triebring 7 gemeinsam drehbar. The assembly of the DUT plate 10 on the test head is described in detail below. Referring to FIG. 3, the shaft 5 projects away from the peripheral surface thereof a guide pin 5, and the driving ring 7 is provided with an inclined groove 7 a approximately pin for guiding Guide # 5 a along the peripheral surface of the drive ring. The inclined groove 7 a extends over a predetermined angle along the circumference of the drive ring 7 . Since vertical movement of the camshaft 5 is excluded, the drive ring 7 is forced to move in the vertical direction when the camshaft 5 rotates. The stroke of the drive ring 7 is limited by the length and the angle of inclination of the inclined groove 7 a. The drive ring 7 moves downward when the camshaft is operated in the counterclockwise direction, as indicated in FIG. 3 by an arrow. The drive ring 7 has a hold-down part 7 c at its upper end. The hold-down part 7 c has a shape which is obtained by parallel flattening opposite sides of a round disk. The hold-down part can be rotated together with the drive ring 7 .

Weiterhin gemäß Fig. 3 umfaßt die DUT-Plattenanordnung eine Ver stärkungsplatte 11 in Gestalt eines quadratischen Rahmens, die fest an der eigentlichen DUT-Platte 10 angebracht ist, um die Umfangsränder der DUT-Platte 10 zu verstärken. Bei der gezeigten Ausführung ist eine Aluminiumplatte von 10 mm Stärke als Verstär kungsplatte verwendet. An den vier Ecken hat die Verstärkungsplat te 11 je eine Bohrung 11a, mit welcher das Niederhalteteil 7c des Triebringes 7 über im wesentlichen kreisbogenförmige Flächen 11b zusammenwirkt. Das Niederhalteteil 7c des Triebringes 7 ist durch die Bohrung 11a in Positionierstellung gem. Fig. 5A gebracht. Dann wird das Niederhalteteil 7c im Gegenuhrzeigersinn verdreht, um an der Fläche 11b gem. Fig. 5B anzugreifen.Furthermore, as shown in FIG. 3 comprising the DUT board arrangement Ver reinforcing plate 11 in the shape of a square frame, which is fixedly attached to the actual DUT board 10, around the peripheral edges of the DUT board to reinforce 10. In the embodiment shown, an aluminum plate of 10 mm thickness is used as a reinforcing plate. At the four corners, the reinforcement plate 11 each has a bore 11 a, with which the hold-down part 7 c of the drive ring 7 cooperates over substantially circular-arc-shaped surfaces 11 b. The hold-down part 7 c of the drive ring 7 is in accordance with the bore 11 a in the positioning position. Fig. 5A brought. Then the hold-down part 7 c is rotated counterclockwise to gem on the surface 11 b. Attack Fig. 5B.

Wie in Fig. 3 gezeigt ist, ist eine Nut 4 in die obere Innen fläche der zylindrischen Bohrung 3 des Positioniergliedes 2 ein gearbeitet, die eine im wesentlichen L-förmige Gestalt mit einem horizontalen Abschnitt 4a und einem vertikalen Abschnitt 4b auf weist. Der horizontale Abschnitt 4a und der vertikale Abschnitt 4b der Nut 4 sind so angeordnet, daß sie sich zur oberen Stirn fläche des Positioniergliedes 2 hin öffnen. Bei dieser Ausführung erstreckt sich die Nut 4 längs des Umfangs der zylindrischen Öffnung über 45°. Ein Mitnehmerstift 7a ragt von der äußeren Umfangsfläche des Triebringes 7 weg und in die Nut 4 hinein, wenn der Triebring 7 in die Bohrung 3 eingesetzt ist. Der Mitnehmer stift 7b befindet sich anfänglich am rechten Ende des horizontalen Abschnittes 4a der Nut 4. Bei einer Verdrehung im Gegenuhrzeiger sinn des Triebringes 7 gleitet der Mitnehmerstift 7b längs des horizontalen Abschnittes 4a und fällt dann nach unten in den vertikalen Abschnitt 4b ein. Folglich ist der Triebring 7 an einer Bewegung nach unten gehindert, solange der Mitnehmerstift 7b sich im horizontalen Abschnitt 4a befindet, kann jedoch nach unten abfallen, wenn der Mitnehmerstift 7b den vertikalen Ab schnitt 4b erreicht. Der Führungsstift 5a und der Mitnehmerstift 7b können als Zapfen und darauf frei drehbare Rollen ausgebildet sein. As shown in Fig. 3, a groove 4 is worked into the upper inner surface of the cylindrical bore 3 of the positioning member 2 , which has a substantially L-shaped shape with a horizontal section 4 a and a vertical section 4 b. The horizontal section 4 a and the vertical section 4 b of the groove 4 are arranged so that they open to the upper end face of the positioning member 2 . In this embodiment, the groove 4 extends along the circumference of the cylindrical opening over 45 °. A driving pin 7 a protrudes from the outer peripheral surface of the drive ring 7 and into the groove 4 when the drive ring 7 is inserted into the bore 3 . The driver pin 7 b is initially at the right end of the horizontal section 4 a of the groove 4th Upon rotation in counterclockwise sense of the drive ring 7 slides along the driving pin 7 b of the horizontal portion 4 a and then drops down into the vertical section 4 b a. Consequently, the drive ring 7 is prevented from moving downward as long as the driving pin 7 b is in the horizontal section 4 a, but can fall down when the driving pin 7 b reaches the vertical section 4 b. The guide pin 5 a and the driver pin 7 b can be designed as a pin and freely rotatable rollers thereon.

Im folgenden ist eine Schrittfolge beim Montieren der DUT-Platte 10 auf dem Prüfkopf 1 bei der beschriebenen Ausführung erläutert. Zunächst wird gemäß Fig. 4A die DUT-Platte 10 mit der daran befe stigten Verstärkungsplatte 11 auf dem Positionierglied 2 angeord net, wobei die Niederhalteteile 7c in die Bohrungen 11a an den vier Ecken der DUT-Platte 10 eingesetzt werden. In diesem Zustand ist die DUT-Platte 10 von den Kontaktfühlern 12a unterstützt, die von der Oberseite des Positioniergliedes 2 vorkragen.A sequence of steps when mounting the DUT plate 10 on the test head 1 in the described embodiment is explained below. First, as shown in FIG. 4A, the DUT plate 10 with the reinforcing plate 11 attached to it is arranged on the positioning member 2 , the hold-down parts 7 c being inserted into the bores 11 a at the four corners of the DUT plate 10 . In this state, the DUT plate 10 is supported by the contact sensors 12 a, which protrude from the top of the positioning member 2 .

Wenn der Antrieb 9 eingeschaltet wird, wird die Nockenwelle 5 mittels der Gurte 8a und 8b im Gegenuhrzeigersinn verdreht. Die Nockenwelle 5 wird unabhängig von dem Triebring 7 verdreht, um den Triebring 7 nach unten zu bewegen. Dabei steigt der Führungs stift 5a längs der geneigten Nut 7a des Triebringes 7 an. Der Triebring 7 ist jedoch in diesem Zustand an einer Abwärtsbewegung gehindert, weil der Mitnehmerstift 7b des Triebrings 7 sich im horizontalen Abschnitt 4a der Nut 4 befindet, so daß der Triebring 7 gemeinsam mit der Nockenwelle 5 verdreht wird.When the drive 9 is switched on, the camshaft 5 is rotated counterclockwise by means of the belts 8 a and 8 b. The camshaft 5 is rotated independently of the drive ring 7 in order to move the drive ring 7 downwards. The guide pin 5 a increases along the inclined groove 7 a of the drive ring 7 . The drive ring 7 is prevented in this state from a downward movement, because the driver pin 7 b of the drive ring 7 is located in the horizontal section 4 a of the groove 4 , so that the drive ring 7 is rotated together with the camshaft 5 .

Wenn der Triebring 7 gemeinsam mit der Nockenwelle 5 etwa um 45° verdreht ist, erreicht der Mitnehmerstift 7b des Triebringes 7 den vertikalen Abschnitt 4b der Nut 4. Der Mitnehmerstift 7b läuft an der Innenwand des vertikalen Abschnittes 4b gemäß Fig. 4B an. Folglich wird der Triebring 7 an einer weiteren Drehung gehindert, er kann sich jedoch vertikal bewegen. In diesem Zustand erreicht das Niederhalteteil 7c des Triebringes 7 eine Position, in welcher das Niederhalteteil 7c von der Fläche 11b gemäß Fig. 5B unterstützt ist.If the drive ring is rotated 7 together with the cam shaft 5 is about 45 °, reaches the driving pin 7 b of the drive ring 7 the vertical portion 4b of the slot. 4 The driver pin 7 b starts on the inner wall of the vertical section 4 b according to FIG. 4B. As a result, the drive ring 7 is prevented from further rotation, but it can move vertically. In this state, the hold-down part 7 c of the drive ring 7 reaches a position in which the hold-down part 7 c is supported by the surface 11 b according to FIG. 5B.

Wenn die Nockenwelle 5 weiter gedreht wird, während der Triebring 7 an einer Drehung gehindert ist, wird die Nockenwelle 5 unabhän gig vom Triebring 7 verdreht, so daß der Führungsstift 5a der Nockenwelle 5 längs der geneigten Nut 7a gleitet, um den Triebring 7 gemäß Fig. 4B nach unten zu drücken. Der Triebring 7 bewegt sich nach unten, während der Mitnehmerstift 7b längs dem vertika len Abschnitt 4b geführt ist. Diese Abwärtsbewegung des Triebrin ges 7 drängt die DUT-Platte 10 gegen die federnd unterstützten Kontaktfühler 12a. Diese Vorgänge finden aufeinander folgend synchron an den vier Nockenvorrichtungen statt. Ein Lösen und Entfernen der DUT-Platte 10 vom Prüfkopf 1 wird durch Drehen der Nockenwelle in der entgegengesetzten Richtung im Uhrzeigersinn bewerkstelligt.If the camshaft 5 is rotated further while the drive ring 7 is prevented from rotating, the camshaft 5 is rotated independently of the drive ring 7 , so that the guide pin 5 a of the camshaft 5 slides along the inclined groove 7 a to the drive ring 7 to press according to Fig. 4B downward. The drive ring 7 moves down, while the drive pin 7 b taken along the Vertika len section 4 is performed b. This downward movement of the drive ring 7 pushes the DUT plate 10 against the spring-loaded contact sensor 12 a. These processes take place in succession on the four cam devices in synchronism. Detachment and removal of the DUT plate 10 from the test head 1 is accomplished by rotating the camshaft in the opposite direction clockwise.

Bei der beschriebenen Ausführung kann die Nockenvorrichtung in einer zylindrischen Öffnung aufgenommen sein, die im Chassis des Prüfkopfs 1 vorgesehen ist, so daß das Positionierglied 2 nicht notwendig erforderlich ist. Es muß nicht an jeder der vier Ecken eine Nockenvorrichtung vorhanden sein. Beispielsweise können zwei Nockenvorrichtungen an gegenüberliegenden Stellen vorgesehen sein, um eine stabile Montage der DUT-Platte zu ermöglichen.In the embodiment described, the cam device can be accommodated in a cylindrical opening which is provided in the chassis of the test head 1 , so that the positioning member 2 is not necessary. A cam device need not be present at each of the four corners. For example, two cam devices can be provided at opposite locations to enable the DUT plate to be stably mounted.

In Fig. 7 ist ein Querschnitt durch eine Nockenvorrichtung gemäß einer anderen Ausführung der Erfindung. Die DUT-Plattenmontagevor richtung bei dieser Ausführung ist im wesentlichen ebenso aufge baut wie bei der ersten Ausführung mit Ausnahme der Konstruktion der Nockenvorrichtung. Daher ist eine Beschreibung der DUT-Plat tenmontagevorrichtung entbehrlich. Bei dieser Ausführung weist die Nockenvorrichtung, welche in der zylindrischen Bohrung 3 des Positioniergliedes 2 aufgenommen ist, im oberen Bereich der Nocken welle 30 ein hohlzylindrisches Sackloch 30a auf. Von der Innen wand des Sackloches 30a ragt ein Führungsstift 31 weg. Ein in das Sackloch 30a passender zylindrischer Zapfen 33 ragt von der Unterseite der Verstärkungsplatte 32 weg, welche auf der DUT- Platte 10 plaziert ist. Am Umfang des Zapfens 33 ist eine geneigte Nut 34 eingearbeitet, in welche ein Führungsstift 31 über eine untere Öffnung einfahren kann, wenn der Zapfen 33 in das Sackloch 30a eingesetzt wird. Wenn die DUT-Platte 10 am Positionierglied 2 angebracht wird, wobei der Führungsstift 31 des Sackloches 30a in die Nut 34 des Zapfens 33 einfährt, wird bei der so aufgebauten DUT-Plattenmontagevorrichtung der Antrieb 9 (nicht gezeigt) einge schaltet, um die Nockenwelle 30 über die Gurte 8a und 8b anzutrei ben. Wie oben bei der ersten Ausführung beschrieben, ist die DUT- Platte fest am Prüfkopf montiert, wobei sie gegen die Kontaktfüh ler 12a aufgrund der gegenseitigen Positionierung des Führungs stiftes 31 und der Nut 34 gedrängt wird.In Fig. 7 a cross section through a cam device according to another embodiment of the invention. The DUT-Plattenmontvor direction in this embodiment is essentially built up as in the first embodiment with the exception of the construction of the cam device. Therefore, a description of the DUT board mounting device is unnecessary. In this embodiment, the cam device, which is received in the cylindrical bore 3 of the positioning member 2 , in the upper region of the cam shaft 30, a hollow cylindrical blind hole 30 a. From the inner wall of the blind hole 30 a projects a guide pin 31 away. A in the blind hole 30 a matching cylindrical pin 33 protrudes from the underside of the reinforcing plate 32 , which is placed on the DUT plate 10 . On the circumference of the pin 33 , an inclined groove 34 is machined, into which a guide pin 31 can enter via a lower opening when the pin 33 is inserted into the blind hole 30 a. If the DUT plate 10 is attached to the positioning member 2 , with the guide pin 31 of the blind hole 30 a entering the groove 34 of the pin 33 , the drive 9 (not shown) is switched on in the DUT plate mounting device thus constructed to the camshaft 30 ben on the straps 8 a and 8 b ben. As described above in the first embodiment, the DUT board is fixedly mounted to the test head, being ler against the Kontaktfüh pin 12 due to the mutual positioning of the guide 31 and the groove 34 is urged a.

Wie oben beschrieben steht bei der Vorrichtung nach der Erfindung der größte Teil der DUT-Plattenmontagevorrichtung nicht über die Oberseite des DUT-Plattenmontageabschnittes vor, so daß die Prüf- Umgebung und auch die Positioniergenauigkeit in Ebenenrichtung (horizontal) verbessert ist. Bei der Vorrichtung nach der Erfin dung ist eine spezielle Konstruktion oder ein spezielles Element für die DUT-Plattenseite nicht erforderlich, so daß mehrere Ver stärkungsplatten mit niedrigen Kosten herstellbar sind, die vorher auf der DUT-Plattenseite montiert werden können. Dies spart Zeit zum Sichern und Entfernen der Verstärkungsplatte oder von der DUT-Platte ein. Da weiterhin die an den Ecken des DUT-Plattenmon tageabschnittes vorgesehenen Nockenvorrichtungen synchron mitein ander betrieben werden, kann die DUT-Platte unter gleichzeitigem Horizontalhalten nach unten gedrückt werden, so daß die Kontakt fühler gleichförmig angedrückt werden. Im Ergebnis kann die DUT- Platte stabil am Prüfkopf montiert werden.As described above, the device according to the invention most of the DUT board mounts don't have that Top of the DUT board mounting section so that the test Environment and also the positioning accuracy in the plane direction (horizontally) is improved. In the device according to the invention is a special construction or a special element not required for the DUT board side, so that several ver Reinforcement plates can be manufactured at low costs, which were previously can be mounted on the DUT board side. This saves time for securing and removing the reinforcement plate or from the DUT plate. Since the on the corners of the DUT Plattenmon day section provided cam devices in sync the DUT board can be operated simultaneously Keep horizontal pressed down so that the contact sensors are pressed on uniformly. As a result, the DUT Plate can be mounted stably on the test head.

Claims

1. Device for securing a carrier plate for devices to be tested with respect to contact sensors of a test head ( 1 ), characterized in that at least one rotatable cam device ( 7 , 7 c) is provided, which is designed for direct engagement with a carrier plate arrangement ( 10 , 11 ) is, by rotating the cam devices in one direction, the carrier plate arrangement relative to the test head ( 1 ), without any noticeable horizontal movement of the carrier plate arrangement taking place, areas on the secured carrier plate with predetermined contact sensors ( 12 a) of the test head ( 1 ) in Contact are kept, and by the rotation of the cam device ( 7 , 7 c) in a second, opposite direction, the secured carrier plate assembly ( 10 , 11 ) from the cam device.

2. Device according to claim 1, characterized in that means ( 5 , 6 , 8 a, 8 b, 9 ) for rotating the cam device ( 7 , 7 c) are provided, whereby a carrier plate ( 10 ) is quickly and easily assembled and disassembled can be, without an assembly and disassembly of the support plate on a separate support is required, the horizontal displacement is kept smaller than previously possible.

3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that a component ( 7 c) of the cam device ( 7 ) in a handle with the carrier plate assembly ( 10 , 11 ) comes, with a further rotation of the cam device ( 7 , 7 c) in same direction, the carrier plate assembly against the con tact sensor ( 12 a) urges.

4. Device according to one of claims 1-3, characterized in that a plurality of cam devices ( 7 , 7 c) are provided and that the cam devices are interconnected for a common actuation.

5. Device according to one of claims 1-4, characterized in that the cam device ( 7 , 7 c) engages on a reinforcing plate ( 11 ) of the carrier plate ( 10 ).

6. Device according to one of claims 1-5, characterized in that the removable carrier plate arrangement ( 10 , 11 ) has a carrier plate ( 10 ) with a plurality of bores and a reinforcing plate ( 11 ) with a plurality of bores ( 11 b), which is cover with corresponding holes in the support plate ( 10 ) and the cam device ( 7 , 7 c) with the support plate arrangement ( 10 , 11 ) through the holes in the support plate ( 10 ) and the reinforcing plate ( 11 ) interacts.

7. Apparatus according to claim 5 or 6, characterized in that a further cam device ( 7 , 7 c) the carrier plate arrangement ( 10 , 11 ) against the contact sensor ( 12 a) of the test head ( 1 ) in a certain direction.

8. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the rotatable cam device is arranged in a cylindrical opening ( 3 ), which is formed in a carrier plate mounting section ( 2 ) of the test head ( 1 ), the cam device being a camshaft ( 5 ) with a guide pin ( 5 a), which protrudes from the outer peripheral surface, and has a cylindrical drive ring ( 7 ) which is freely movable on the camshaft; that the drive ring ( 7 ) a hold-down part ( 7 c), which can cooperate with an upper portion of the carrier plate arrangement ( 10 , 11 ), and an inclined guide groove ( 7 a) for guiding the guide pin ( 5 ) of the camshaft ( 5 ) along the has outer peripheral surface of the drive ring ( 7 ) to move the drive ring depending on the direction of rotation of the camshaft ( 5 ) up or down;
that the drive ring further has a driver pin ( 7 b) which protrudes from the peripheral surface of the drive ring, and
that a groove for guiding the driver pin ( 7 b) of the drive ring ( 7 ) at an upper end portion of the inner wall of the cylindrical bore ( 3 ) is provided, this groove ( 4 ) having a horizontal section ( 4 a) and a vertical section ( 4 b); and
that the carrier plate assembly ( 10 , 11 ) has a with the hold-down part ( 7 c) of the drive ring ( 7 ) by its rotation engaging surface ( 11 b).