DE4201811A1 - Abgabevorrichtung fuer fluessigkeiten - Google Patents

Abgabevorrichtung fuer fluessigkeiten

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Mischen von Flüssigkeiten in einem bestimmten Verhältnis und im besonderen auf eine Vorrichtung zum Mischen von entionisiertem Wasser und Flußsäure beispielsweise im genauen Verhältnis 100 : 1, um eine Mischung herzustellen, die zum Ätzen von Platten (wafers) geeignet benutzt ist.
Um bei der Herstellung von Halbleiterprodukten ein schlechtes Ergebnis beim Plattenätzen zu verhindern, sollten entionisier­ tes Wasser und Flußsäure in einem vorgegebenen Verhältnis gemischt werden, beispielsweise im Verhältnis 100 : 1. Fig. 1 zeigt ein Beispiel einer herkömmlichen Mischvorrichtung. In der Mischvorrichtung werden in einen Puffertank 33 eine vorbestimmte Menge entionisiertes Wasser und Flußsäure durch die Flüssigkeits-Mengenmesser 31 bzw. 32 eingeführt, so daß das entionisierte Wasser und die Flußsäure darin in einem Verhältnis 100 : 1 gemischt werden. Die sich ergebende Mischung wird dann mit einer Chemikalienpumpe 34 in ein chemisches Bad 35 gepumpt.
Bei einem solchen herkömmlichen Fall werden jedoch die Volumina des entionisierten Wassers und der Flußsäure nicht genau gemessen, so daß das Mischverhältnis vom gewünschten Verhältnis etwa um 2% abweicht. Daraus resultiert, daß das Ätzen der Platten verschlechtert wird.
Es ist daher eine Aufgabe der Erfindung, die oben erwähnten Nachteile, die sich beim Stand der Technik ergeben haben, zu überwinden und eine Vorrichtung zum Mischen von Flüssigkeiten zu schaffen, die eine Mischung in dem genauen Mischverhältnis herstellt.
Nach einem Aspekt sieht die Erfindung eine Abgabevorrichtung für Flüssigkeiten vor, die folgendes enthält: Mittel zum Fühlen der Flüssigkeitshöhen einer Flüssigkeit in einem Behälter, vorzugsweise aus Teflon, sowie Mittel zur Abgabe der Flüssigkeit vom Behälter an ein chemisches Bad in einer Menge, die der Kapazität des Behälters entspricht, und weiterhin automatische Flüssigkeits-Zuleitungsmittel zur automatischen Zuleitung der Flüssigkeit aus einem chemischen Tank zum Behälter.
Nach einem anderen Aspekt sieht die Erfindung eine Vorrichtung zum Mischen einer Flüssigkeit und der anderen Flüssigkeiten in einem vorbestimmten Verhältnis vor
mit einer Abgabevorrichtung nach Anspruch 1;
mit Mischmitteln zum genauen Mischen der Flüssigkeiten in dem genauen Mischverhältnis;
mit Ablaßmitteln für die Flüssigkeitsmischung zum Zuführen der Flüssigkeitsmischung zu einem Vorratstank
und mit Kontrollmitteln Steuern der gesamten Arbeitsvorgänge.
Andere Aufgaben und Gesichtspunkte der Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung der Ausführungsformen und in den Zeichnungen deutlich. Es zeigt
Fig. 1 eine schematische Ansicht einer her­ kömmlichen Mischvorrichtung;
Fig. 2 eine Stirnansicht einer Abgabevorrichtung für Flüssigkeiten nach der Erfindung;
Fig. 3 einen teilweisen Schnitt der Vorrichtung nach Fig. 2;
Fig. 4 eine Stirnansicht einer Mischvorrichtung nach der Erfindung.
Fig. 2 zeigt eine Abgabevorrichtung für Flüssigkeiten, bei einer Vorrichtung zum Mischen von Flüssigkeiten in einem vorbestimmten Verhältnis nach der Erfindung angewendet wird. Die Abgabevorrichtung schließt eine Einheit zum Fühlen von Flüssigkeitshöhen A, B und C einer in einem Teflonbehälter vorhandenen Flüssigkeit ein, eine Flüssigkeits-Abgabevorrich­ tung zum Abgeben der Flüssigkeit von einem Teflonbehälter an ein chemisches Bad 17 in einer Menge, die der Kapazität des Teflonbehälters entspricht und eine automatische Flüssigkeits- Zuführeinheit zum automatischen Zuführen der Flüssigkeit vom chemischen Tank 2 an den Teflonbehälter 1.
Die Flüssigkeitshöhen-Fühlereinheit schließt einen Luft­ membranfühler 3 ein, der die Höhe der Flüssigkeit im Tef­ lonbehälter 1 fühlt, einen Luftregler 4 zum Regulieren des Drucks von N2 (Stickstoffgas) derart, daß er der Spezifikation des Luftmembranfühlers 3 entspricht und ein Nadelventil 5 zum Regulieren der Strömungsrate von N2.
Die Flüssigkeits-Abgabeeinheit schließt einen doppelten Teflonbehälter 1 ein mit einem Abgabebehälter 1a und mit einem äußeren Behälter 1b, einer Teflonleitung 6 und einem automati­ schen Ventil 7, die derart angeordnet sind, daß eine vorbe­ stimmte Menge der Flüssigkeit vom Abgabebehälter 1a abgelas­ sen wird, wobei eine Teflonleitung 8 und ein automatisches Ventil 9 die Flüssigkeit vom äußeren Behälter 1b zum chemi­ schen Tank 2 zuführen sowie ein Luftfilter (Luftöffnung) 10.
Die automatische Flüssigkeits-Zuführungseinheit schließt den chemischen Tank 2 ein, der die Flüssigkeit enthält, die vom äußeren Behälter 1b der Flüssigkeits-Abgabeeinheit zugeführt wurde, eine Teflonleitung 11, die mit der Teflonleitung 8 der Flüssigkeits-Abgabeeinheit verbunden ist, und ein auto­ matisches Ventil 12, das in der Teflonleitung 11 angeordnet ist, ferner eine Blasebalgpumpe 13 zum Pumpen der Flüssigkeit vom chemischen Tank 2 zum Teflonbehälter 1, eine Teflonleitung 14 und ein automatisches Ventil 15, die die Flüssigkeit vom chemischen Tank 2 zum Teflonbehälter 1 leiten und einen Leerfühler 16, der fühlt, wenn keine Flüssigkeit im chemischen Tank 2 vorhanden ist.
Es wird nunmehr der Betrieb der Flüssigkeitsabgabe be­ schrieben.
Um das Flüssigkeitsniveau zu fühlen, wird der Luftregler 4 der Flüssigkeitshöhen-Fühlereinheit, die mit einem Teflonrohr des Teflonbehälters 1 verbunden ist, zunächst einreguliert derart, daß der Differentialdruck über dem Luftregler 4 20 psi ist. Auch die N2-Strömungsrate am Nadelventil 5 wird auf 2 bis 3 Blasen/Sek. reguliert. Es wird auch geprüft, daß die entspre­ chenden automatischen Ventile 7, 9, 12 in ihrem Aus-Zustand sind.
Sodann wird die Abgabe eingeschaltet, um zu prüfen, ob der Fühler 16 des chemischen Tanks 2 ausgeschaltet ist. Im Aus- Zustand des Fühlers 16 ist keine Flüssigkeit im chemischen Tank 2.
Unter der vorgenannten Bedingung werden die Ventile 12 und 15 der automatischen Flüssigkeits-Zuführeinheit geöffnet. Die Blasebalgpumpe 13 wird auch betrieben, um die Flüssigkeit über die Teflonleitung 14 vom chemischen Tank 2 zum Teflonbehälter 1 zu führen, so daß die Flüssigkeit auf der Höhe A im Teflonbehälters verbleibt.
Wenn der Luftfilter 3 fühlt, daß die Flüssigkeit zur Höhe A des Teflonbehälter zugeführt ist, gibt er ein elektrisches Signal ab, das den automatischen Ventilen 12 und 15 zugeführt wird, um sie zu schließen. Auch die Blasebalgpumpe 13 wird durch das elektrische Signal angehalten.
Danach wird das automatische Ventil 9 der Flüssigkeits- Abgabeeinheit geöffnet, so daß die Flüssigkeit im äußeren Behälter 1b abgelassen und bei Höhe C gehalten wird. Daraus ergibt sich, daß die Flüssigkeit im Verteilerbehälter 1a bei Höhe B gehalten wird, was genau der Kapazität des Verteiler­ behälters 1a entspricht.
An der oberen Umfangskante hat der Flüssigkeitsbehälter 1a eine Vielzahl von beabstandeten Ausnehmungen 1c, um mögliche Ungenauigkeiten im Volumen, bedingt durch die Oberflächenspan­ nung an der oberen Umfangskante des Behälters 1a, zu vermeiden, so daß eine genauere Flüssigkeitsmenge im Verteilerbehälter 1a enthalten ist.
Wenn eine vorbestimmte Flüssigkeitsmenge im Verteilerbehälter 1a enthalten ist, wird das automatische Ventil 7 der Ab­ gabeeinheit geöffnet, um die Flüssigkeit vom Abgabebehälter 1a dem chemischen Behälter 17 zuzuführen. Dadurch wird dem chemischen Behälter 17 eine genauere Flüssigkeitsmenge zugeführt.
Fig. 4 zeigt eine Vorrichtung zum Mischen von Flüssigkeiten in einem bestimmten Verhältnis unter Benutzung der vorstehend beschriebenen Abgabevorrichtung. Die Mischvorrichtung nach der Erfindung wird nunmehr beschrieben in Verbindung mit dem Fall, daß entionisiertes Wasser und Flußsäure im Verhältnis 100 : 1 gemischt werden.
Die Mischvorrichtung nach der Erfindung schließt eine An­ ordnung der vorstehend beschriebenen Flüssigkeits-Abgabevor­ richtung nach Fig. 2 ohne jede Änderung ein.
Die Mischvorrichtung enthält eine Fühlereinheit für die Höhe der Flußsäure zum Fühlen der Höhen A, B und C der Flußsäure, die in einem Teflonbehälter 1′ enthalten ist, eine Flußsäure- Abgabeeinheit zur Abgabe der Flußsäure vom Teflonbehälter 1′ an einen Mischtank 17′ in einer Menge entsprechend 100 cc und eine automatische Flußsäure-Zuführeinheit zum automatischen Zuführen der Flußsäure aus einem Flußsäuretank 2′ mit einer Kapazität von 23 l zum Teflonbehälter 1′. Die Mischvorrichtung schließt auch eine Mischeinheit zum genauen Mischen des entionisierten Wassers und der Flußsäure im Verhältnis 100 : 1 ein, eine Ablaßeinheit für die Mischflüssigkeit zum Zuführen der Mischflüssigkeit zum Vorratstank und eine Kontrollein­ heit zum Kontrollieren des Arbeitsvorgangs der Mischein­ richtung.
Die Fühlereinheit für die Flußsäure enthält einen Luftmembran­ fühler 3 (Fig. 2) zum Fühlen der Höhe des Flußsäure im Teflon­ behälter 1′, einen Luftregler 4 (Fig. 2) zum Regeln des Drucks von N2 derart, daß er der Spezifikation des Luftmembran-Fühlers 3 entspricht, ferner ein Nadelventil 5 (Fig. 2) zum Regeln der Strömungsrate von N2.
Die Flußsäure-Abgabeeinheit besitzt den doppelten Teflonbe­ hälter 1′ mit einem Abgabebehälter 1a′ und einen äußeren Behälter 1b′, eine Teflonleitung 6′ und ein automatisches Ventil 7′, die eine vorbestimmte Menge der Flußsäure vom Verteilerbehälter 1a′ ablassen, eine Teflonleitung 8′ und ein automatisches Ventil 9′, die die Flußsäure von dem äußeren Behälter 1b′ zum Mischtank 17′ zuführen, sowie ein Luftfilter 10 (Fig. 2).
Die automatische Zuführeinheit für die Flußsäure schließt einen Flußsäuretank 2′ ein, der die vom äußeren Behälter 1′b der Flußsäure-Verteilereinheit zugeführte Flußsäure enthält, ferner eine Teflonleitung 11′, die mit der Teflonleitung 8′ der Flußsäure-Abgabeeinheit und einem automatischen Ventil 12′, das sich in der Teflonleitung 11′ befindet, verbunden ist, eine Blasebalgpumpe 13′ zum Pumpen der Flußsäure vom Flußsäuretank 2′ zum Teflonbehälter 1′, eine Teflonleitung 14′ und ein automatisches Ventil 15′ für die Flußsäure zum Ablassen vom Flußsäuretank 2 zum Teflonbehälter 1′ sowie einen Leerfühler 16′, der feststellt, ob keine Flußsäure im chemischen Tank 2 enthalten ist.
Die Mischeinheit besitzt eine elektronische Waage 20 für 30 kg ± 2,5 g, die das Gewicht der gemischten Flüssigkeit genau wiegen kann, eine Anzeige 21 zum numerischen Anzeigen des von der Waage gewogenen Gewichts, den Mischtank 17′ zum Mischen des entionisierten Wassers mit der Flußsäure, Kontrollventile 22 und 23 für die Zufuhr von entionisiertem Wasser, die das entionisierte Wasser dem Mischtank 17′ in großen bzw. kleinen Mengen zuführen, ein Kontrollventil 24 zum Kontrollieren der Strömung der gemischten Flüssigkeit, die vom Mischtank 17′ zum Vorratstank gepumpt wird, eine N2-Blaseneinheit zum gleich­ förmigen Mischen des entionisierten Wassers mit der Flußsäure.
Die Ablaßeinheit für die gemischte Flüssigkeit schließt eine Abflußpumpe 25 ein, die die gemischte Flüssigkeit vom Mischtank 17′ zum Vorratstank pumpt und ein Chemikalienfilter 26 zum Abtrennen von Teilchen aus der gemischten Flüssigkeit.
Die Kontrolleinheit enthält eine Kontrollvorrichtung 27, die darin ein Leitungssubstrat und elektronische Elemente mit einem Schaltpult enthält. Die Kontrollvorrichtung ist auch mit einer Fehleranzeigefunktion versehen.
Es wird nunmehr der Betrieb der Mischvorrichtung mit der Anordnung nach der Erfindung beschrieben.
Zum Fühlen der Höhe der Flußsäure wird zunächst der Luftreg­ ler 4 derart eingestellt, daß der N2-Druck über dem Luftregler 4 20 psi beträgt. Andere Luftdrücke werden auf 4 bis 5 kg/cm2 eingestellt. Es wird sodann geprüft, ob die entsprechenden automatischen Ventile 7′, 9′, 12′, 15′, 22, 23 und 24 des normalen, geschlossenen Typs in ihrem geschlossenen Zustand verbleiben. Der Ausgangswert der elektronischen Waage 20 wird auch geprüft.
Sodann wird die Mischvorrichtung angestellt, um zu prüfen, ob der Leerfühler 16′ des Tanks 2′ für 23 l Flußsäure in seinem Aus-Zustand verbleibt. Wenn sich der Leerfühler in seinem An- Zustand, d. h. nicht im Flußsäure-Zustand, befindet, wird der Flußsäuretank 2′ durch einen neuen ersetzt. Bei diesem vorstehend beschriebenen Zustand werden die automatischen Ventile 12′ und 15′ der automatischen Flußsäure-Zuführeinheit geöffnet. Die Blasebalgpumpe 13′ wird für die Zufuhr der Flußsäure vom Flußsäuretank 2′ zum Teflonbehälter 1′ über die Teflonleitung 14′ betrieben, so daß die Flußsäure bei Höhe A des Teflonbehälters 1′ gehalten wird.
Wenn die Flußsäure der Höhe A des Teflonbehälters 1 zugeführt wird, schließt die Fühlereinheit für die Flußsäurehöhe die automatischen Ventile 12′ und 15′. Auch wird die Blasebalgpum­ pe 13′ durch die Fühlereinheit für die Flußsäurehöhe angehal­ ten.
Danach wird das automatische Ventil 9′ der Flußsäure-Ver­ teilereinheit geöffnet, so daß die Flußsäure im äußeren Behälter 1b′ abgelassen und auf Höhe C gehalten wird. Daraus folgt, daß die Flußsäure im Verteilerbehälter 1a′ auf der Höhe B gehalten wird, was 100 cc entspricht.
Da der Flußsäure-Verteilerbehälter 1a′ an seiner Umfangskante eine Vielzahl von Ausnehmungen 1c′ besitzt, um eine mögliche Oberflächenspannung der oberen Umfangskante des Behälters 1a zu vermeiden, sind genau 100 cc von Flußsäure enthalten und in dem Abgabebehälter 1a gehalten.
Wenn genau 100 cc Flußsäure im Verteilerbehälter 1a′ enthalten ist, wird das automatische Ventil 7′ der Flußsäure-Abgabeein­ heit geöffnet, um die Flußsäure vom Verteilerbehälter 1a′ zum Mischtank 17′ zu führen, der auf der elektronischen Waage 20 liegt. Nach Beendigung der Abgabe der Flußsäure wird das Luftventil 7′ geschlossen.
Darauf wird das Zuleitungskontrollventil 22 zum Kontrollieren der Zuleitung einer großen Menge von Flußsäure geöffnet, so daß 9,9 l entionisiertes Wasser, welche Menge nahezu ein­ hundertmal größer ist als 100 cc, in den Mischtank 17′ eintreten.
Nun kann die Menge von entionisiertem Wasser durch die Anzeige 21 der elektronischen Waage 20 eingestellt werden.
Unter der Bedingung, daß das entionisierte Wasser dem Mischtank 17′ in der Menge von weniger als 10 l, jedoch nahezu diese Menge, zugeführt wird, wird das Zuleitungskontrollventil 22 geschlossen. Darauf wird das Zuleitungskontrollventil 23 zum Kontrollieren der Zuleitung einer kleinen Menge von Flußs­ äure geöffnet, so daß das entionisierte Wasser zusätzlich zum Mischtank 17′ zugeführt wird, um genau 10 l zu füllen. Die genaue Menge des zugeführten entionisierten Wassers wird angezeigt und von der Anzeige 21 kontrolliert. Nach der Beendigung der Zuleitung der genauen Menge von entionisiertem Wasser wird ein herkömmliches N2-Aufwallen durchgeführt, um das entionisierte Wasser und Flußsäure gleichförmig zu mischen.
Danach wird das Luftventil 24 in Beantwortung auf das Signal vom Fühler geöffnet, welches Signal die Leere des Vorratstanks anzeigt. Gleichzeitig wird die Ablaßpumpe 25 betrieben, um die Mischflüssigkeit vom Mischtank 17′ zum Vorratstank zu pumpen. Während des Pumpbetriebs der Ablaßpumpe 25 werden Teilchen von der gepumpten Flüssigkeit durch das Chemikalienfilter 26 getrennt. Dieses Pumpen wird kontinuierlich wiederholt, bis die Flüssigkeit die entsprechende Höhe im Vorratstank erreicht.
In der vorstehenden Beschreibung ist die Erfindung in Ver­ bindung mit dem Beispiel beschrieben, in dem entionisiertes Wasser und Flußsäure in einem Verhältnis 100 : 1 gemischt werden. Die Erfindung ist jedoch nicht auf das Beispiel begrenzt und kann bei allen Vorrichtungen angewendet werden, bei denen eine große Menge der einen Flüssigkeit und eine kleine Menge der anderen Flüssigkeit in einem bestimmten Verhältnis gemischt werden sollen.
Wie die vorstehende Beschreibung zeigt, schafft die Erfindung eine Mischvorrichtung mit einem Teflonbehälter mit doppelter Konstruktion, wodurch es ermöglicht wird, eine genaue Flüssigkeitsmenge zu erhalten. Mit der vorliegenden Erfindung ist es auch möglich, eine Mischung einer großen Flüssigkeits­ menge oder einer kleinen Flüssigkeitsmenge in einem genauen Mischverhältnis mit einer Toleranz innerhalb 1% zu erhalten.
Da das entionisierte Wasser und Flußsäure im Verhältnis 100 : 1 nach dem beschriebenen Beispiel der Erfindung gemischt werden können, kann ein schlechtes Ätzen der Platten vermieden werden.
Obwohl die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung zum Zweck der Darstellung offenbart wurden, werden Fachleute würdigen, daß die verschiedenen Abänderungen, Zusätze und Ersetzungen möglich sind, ohne den Bereich und den Sinn der offenbarten Erfindung zu verlassen, wie sie in den Ansprüchen offenbart wurde.

Claims (9)

1. Abgabevorrichtung für Flüssigkeiten, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zum Fühlen der Flüssigkeitshöhen einer Flüssigkeit in einem Behälter, vorzugsweise aus Teflon, vorgesehen sind sowie Mittel zur Abgabe der Flüssigkeit vom Behälter an ein chemisches Bad in einer Menge, die der Kapazität des Behälters entspricht, und daß weiterhin automatische Flüssigkeits-Zuleitungsmittel zur automati­ schen Zuleitung der Flüssigkeit aus einem chemischen Tank zum Behälter vorgesehen sind.
2. Abgabevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Fühlen der Flüssigkeitshöhe einen Luftmembranfühler einschließen derart, daß die Flüssig­ keitshöhe im Behälter gefühlt wird und einen Luftregler, der den Druck von N2 (Stickstoffgas) regulieren kann, und zwar in der Weise, daß er der Spezifikation des Luftmem­ branfühlers entspricht, und daß ein Nadelventil vor­ gesehen ist, das die Strömungsrate von N2 reguliert.
3. Abgabevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Teflonbehälter einen Abgabebehälter sowie einen äußeren Behälter hat, daß eine Teflonleitung und ein automatisches Ventil vorgesehen sind derart, daß eine vorbestimmte Menge der Flüssigkeit vom Abgabebehälter abgelassen werden kann, daß eine weitere Teflonleitung mit automatischem Ventil vorgesehen sind derart, die die Flüssigkeit vom äußeren Behälter zum chemischen Tank fördern können und daß ein Luftfilter vorgesehen ist.
4. Abgabevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur automatischen Flüssigkeits-Zuleitung den chemischen Tank einschließen, in dem die Flüssigkeit untergebracht ist, sowie eine Teflonleitung, die mit der Teflonleitung der Flüssigkeits-Abgabevorrichtung verbunden ist und die die Flüssigkeit vom äußeren Behälter zum chemischen Tank leiten kann, daß ein automatisches Ventil in der Teflonleitung vorgesehen ist, daß eine Blasebalg­ pumpe zum Pumpen der Flüssigkeit vom chemischen Tank zum Teflonbehälter vorgesehen ist, daß eine weitere Teflon­ leitung und ein automatisches Ventil vorgesehen sind, die die Flüssigkeit vom chemischen Tank zum Teflonbehälter führen können sowie ein Leerfühler, der fühlt, ob Flüssigkeit im chemischen Tank vorhanden ist oder nicht.
5. Abgabevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Abgabebehälter für die Flüssigkeit an seiner obe­ ren Umfangskante eine Vielzahl von beabstandeten Ausneh­ mungen hat, so daß eine genauere Menge der Flüssigkeit in dem Abgabebehälter enthalten ist.
6. Vorrichtung zum Mischen der einen Flüssigkeit und der an­ deren Flüssigkeiten in einem vorbestimmten Misch­ verhältnis
mit einer Abgabevorrichtung nach Anspruch 1;
mit Mischmitteln zum genauen Mischen der Flüssigkeiten in dem genauen Mischverhältnis;
mit Ablaßmitteln für die Flüssigkeitsmischung zum Zuführen der Flüssigkeitsmischung zu einem Vorratstank;
und mit Kontrollmitteln Steuern der gesamten Arbeitsvorgänge.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Mischmittel eine elektronische Waage ein­ schließen, die das Gewicht der Flüssigkeitsmischung genau wiegt, eine Anzeige zur numerischen Anzeige des durch die Waage gemessenen Gewichts, einen Mischtank zum Mischen der Flüssigkeiten, ein Paar Steuerventile, die die Flüssigkeiten in großen und kleinen Mengen liefern, ein weiteres Steuerventil zum Steuern der Strömung der Flüssigkeitsmischung, die vom Mischtank zum Vorratstank geleitet wird, und eine N2-Durchperlungsvorrichtung, die die Flüssigkeiten gleichmäßig mischt.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablaßmittel der Flüssigkeitsmischung eine Entleerpumpe einschließen, die die Flüssigkeitsmischung vom Mischtank zum Vorratstank pumpt und einen Chemika­ lienfilter zum Abtrennen von Teilchen von der Flüssig­ keitsmischung.
9. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuermittel ein Leitungssubstrat, elektronische Elemente und ein Schaltpult einschließen sowie eine Feh­ leranzeigefunktion.
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