CN104694891A - 一种去离子水供给装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种去离子水供给装置，该装置包括去离子水容器，去离子水容器内设置有容纳去离子水的容纳腔，以及检测去离子水液面高度的第一传感器；还包括去离子水储存容器，去离子水储存容器通过带有电磁开关阀的出水管道与容纳腔连通；控制装置，控制装置在接收的第一传感器检测的去离子水液面低于设定值时，控制电磁开关阀打开，去离子水储存容器内的去离子水流入到去离子水容器。在上述技术方案中，通过采用去离子水储存容器将去离子存放起来，在添加去离子水时，去离子水容器与外界隔绝，因此，去离子水容器内的真空环境不会被破坏掉，从而保证了成膜的效率，并且极大的简化了向去离子水容器内添加去离子水的步骤。

Description

一种去离子水供给装置

技术领域

本发明涉及到显示装置的制造领域，尤其涉及到一种去离子水供给装置。

背景技术

现有去离子水容器1如图1所示，去离子水容器1内存储有去离子水，且去离子水容器1内部为低压状态。当去离子水容器1内水位低于液位高度传感器2时，将触发报警。此报警无法解除并将导致整个供给系统停止运行，并会导致成膜质量降低。此时需要将进气口4，向去离子水容器1内冲入空气至大气状态后，再打开注水口3密封盖，向去离子水容器1内补充去离子水，使得液位高于液位高度传感器2位置。此时报警才能完全解除。

不足之处：向去离子水容器1内添加去离子水前，需要用空气将去离子水容器1充至大气状态，空气将进入到去离子水容器1，内部并随着空气进入到去离子水容器1内部。这部分空气将会破坏腔室内的高真空状态，并会使腔室内混入杂质气体，最终导致成膜质量严重变差并会对溅射靶材造成伤害。

发明内容

本发明提供了一种去离子水供给装置，用以减少添加去离子水时的步骤，并降低添加去离子水时的对成膜造成的影响。

本发明提供了一种去离子水供给装置，包括去离子水容器，所述去离子水容器内设置有容纳去离子水的容纳腔，以及检测所述去离子水液面高度的第一传感器；

还包括去离子水储存容器，所述去离子水储存容器通过带有电磁开关阀的出水管道与所述容纳腔连通；

控制装置，所述控制装置在接收的所述第一传感器检测的去离子水液面低于设定值时，控制所述电磁开关阀打开，所述去离子水储存容器内的去离子水流入到所述去离子水容器。

在上述技术方案中，通过采用去离子水储存容器将去离子存放起来，并将去离子水储存容器通过带电磁开关阀的出水管道与去离子水容器连通，在第一传感器检测到需要向去离子水容器内添加去离子水时，控制装置控制电磁开关阀打开，储存在去离子水储存容器内的去离子水流入到去离子水容器内，补充上去离子水的消耗。通过上述描述可以看出，在添加的整个过程中，去离子水容器与外界隔绝，因此，去离子水容器内的真空环境不会被破坏掉，从而保证了成膜的效率。此外，通过去离子水储存容器直接向去离子水容器内添加去离子水时，只需控制电磁开关阀打开即可，极大的简化了向去离子水容器内添加去离子水的步骤。

优选的，还包括设置在所述出水管道上并用于检测所述去离子水流量的流量计。获取流入到去离子水容器内的去离子水的流量。

优选的，还包括支出水管道，所述出水管道上位于所述电磁开关阀的两侧分别设置有两个手动开关阀，所述支出水管道的两端分别设置在所述两个手动开关阀的外侧，且所述支出水管道上设置有手动开关阀。方便更换电磁开关阀，提高了设备的安全性。

优选的，所述去离子水储存容器通过带开关阀的进水管道与厂务去离子水管道连通。方便了给去离子水储存容器供给去离子水。

优选的，所述开关阀为电磁开关阀，位于所述电磁开关阀的两侧分别设置有两个手动开关阀。方便维修开关阀。

优选的，还包括支进水管道，所述支进水管道的两端分别设置在所述两个手动开关阀的外侧，且所述支进水管上设置有手动开关阀。提高了供水管道的安全性。

优选的，所述去离子水储存容器内设置有检测去离子水液位的第二传感 器；

所述控制装置在接收到第二传感器检测的液位低于设定值时，控制所述电磁开关阀打开，所述厂务去离子水管道向所述去离子水储存容器供应去离子水。提高了整个设备的自动化程度。

优选的，还包括设置在所述去离子水容器内并用于检测所述去离子水液面的第三传感器；

报警装置； 

所述控制装置在接收到所述第三传感器检测的去离子水液面低于预警值时，控制所述报警装置发出警报。提高了整个设备的安全性。

优选的，所述报警装置为声音报警装置和/或灯光报警装置。通过不同的方式进行报警。

附图说明

图1为现有技术中的去离子水供给装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的去离子水供给装置的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的去离子水供给装置的控制流程图；

图4为本发明实施例提供的去离子水供给装置的另一结构示意图。

附图标记： 

1-去离子水容器        2-液位高度传感器     3-注水口

4-进气口              10-去离子水容器      11-第一传感器

12-第三传感器         13-注液口            20-出水管道

21-支出水管道         30-去离子水储存容器  31-第二传感器

40-流量计             50-进水管道          51-支进水管道

60-厂务去离子水管道   SV1 SV2-电磁开关阀

HV1、HV2、HV3、HV4、HV5、HV6-手动开关阀

具体实施方式

为了减少添加去离子水时的步骤，并降低添加去离子水时的对成膜造成的影响，本发明实施例提供了一种去离子水供给装置，在本发明的技术方案中，通过采用增加的去离子水储存容器与去离子水容器通过带电磁开关阀的管道连通，在向去离子水容器内添加去离子水时，可以直接通过去离子水储存容器进行添加，无需破坏去离子水容器内的真空环境，从而减少了添加去离子水时的步骤，提高去离子水添加时的效率，同时也避免在添加去离子水时带入空气对成膜造成影响。

如图2所示，图2示出了本发明实施例提供的去离子水供给装置的结构示意图。

本发明实施例提供了一种去离子水供给装置，该装置包括去离子水容器10，去离子水容器10内设置有容纳去离子水的容纳腔，以及检测去离子水液面高度的第一传感器11；

还包括去离子水储存容器30，去离子水储存容器30通过带有电磁开关阀SV1的出水管道20与容纳腔连通；

控制装置，控制装置在接收的第一传感器11检测的去离子水液面低于设定值时，控制电磁开关阀SV1打开，去离子水储存容器30内的去离子水流入到去离子水容器10。

在上述实施例中，通过采用去离子水储存容器30将去离子存放起来，并将去离子水储存容器30通过带电磁开关阀SV1的出水管道20与去离子水容器10连通，在第一传感器11检测到需要向去离子水容器10内添加去离子水时，控制装置控制电磁开关阀SV1打开，储存在去离子水储存容器30内的去离子水流入到去离子水容器10内，补充上去离子水的消耗。通过上述描述可以看出，在添加的整个过程中，去离子水容器10与外界隔绝，因此，去离子水容器10内的真空环境不会被破坏掉，从而保证了成膜的效率。此外，通过去离子水储存容器30直接向去离子水容器10内添加去离子水时，只需控制电磁开 关阀SV1打开即可，极大的简化了向去离子水容器10内添加去离子水的步骤。

具体的，第一传感器11包含一个发射装置以及一个接收装置，当去离子水液位高于设定的高度时，发射装置发射的信号无法被接收装置接收，当去离子水的液位低于发射装置及接收装置设置的位置时，发射装置发射的信号被接收装置接收，控制装置根据接收的接收装置是否接收到信号的情况来获取液位的高度，并根据上述结果来控制电磁开关阀SV1的打开或者关闭。其中，所述控制装置为MCU---C8051F410微控制器，该控制器具有较好的控制效果。

为了方便对本实施例提供的去离子水容器10的理解，下面结合附图2、附图3以及具体的实施例对其进行详细的说明。

继续参考图2，在本实施例提供的去离子水容器10中，去离子水容器10通过带有电磁开关阀SV1的进水管道50与去离子水储存容器30连通，即去离子水容器10的注液口13与进水管道50连通。同时，为了避免在电磁开关阀SV1出现故障后方便对电磁开关阀SV1进行维修，以及在更换电磁开关阀SV1时，能够对去离子水容器10进行供给，该出水管道20上还连接有支出水管道21，具体的：还包括支出水管道21，出水管道20上位于电磁开关阀SV1的两侧分别设置有两个手动开关阀(HV1、HV2)，支出水管道21的两端分别设置在两个手动开关阀(HV1、HV2)的外侧，且支出水管道21上设置有手动开关阀HV3。其具体设置如图2所示，其中的支出水管道21为一个U形的管道，与设置有两个手动开关阀(HV1、HV2)、电磁开关阀SV1的管道并列，支出水管道21的两端分别设置在两个手动开关阀(HV1、HV2)的两侧。在正常情况下，手动开关阀HV1、HV2打开，手动开关阀HV3关闭，在电磁开关阀SV1出现故障后，关闭设置在出水管道20上的两个手动开关阀(HV1、HV2)，从而将设置电磁开关阀隔离开来，此时，即可将坏掉的电磁开关阀SV1取下来进行维修或者更换。此外，为了在更换或维修电磁开关阀SV1时，能够给去离子水容器10供给去离子水，将设置在支出水管道21上的手动开关阀HV3打开，从而保证整个设备运行的稳定性，避免在出现电磁阀故障时，造成的整个 设备的瘫痪。

为了方便对上述添加去离子水的过程有个清晰的认识，下面结合附图3及附图4对其添加去离子水的流程进行详细说明。

如图3及图4所示，首先通过第一传感器11检测去离子水容器10内的液位高度，当液位高度低于第一传感器11设置的位置时，控制装置控制电磁开关阀SV1打开，存储在去离子水储存容器30内的去离子水流入到去离子水容器10中，控制装置控制电磁开关阀SV1延迟一分钟关闭，并通过第一传感器11进行检测，当液位未达到第一传感器11的高度时，控制装置依据上述控制方式控制电磁开关阀SV1继续给去离子水容器10添加去离子水，直至去离子水容器10内的液位高度高于第一传感器11的设置高度，完成给去离子水容器10添加去离子水的过程。此外，在电磁开关阀SV1打开时，当电磁开关阀SV1未能打开时，发出电磁开关阀SV1延迟动作信号，控制装置继续尝试控制电磁开关阀SV1打开，直至电磁开关阀SV1按照控制装置的指令打开，同理，在电磁开关阀SV1关闭时，当电磁开关阀SV1未能关闭，控制装置继续尝试控制电磁开关阀SV1关闭，直至电磁开关阀SV1按照控制装置的指令关闭，

在上述实施例中，去离子水储存容器30内的去离子水可以通过人工进行添加，也可以采用与工厂内的厂务去离子水管道60连通，从而通过厂务去离子水管道60对去离子水储存容器30进行供给。作为一种优选的方案，如图3所示，去离子水储存容器30通过带开关阀的进水管道50与厂务去离子水管道60连通。在需要通过厂务去离子水管道60向去离子水储存容器30供水时，打开开关阀，厂务去离子水管道60连通的泵送装置将去离子水送入到去离子水储存容器30内。

其中，该开关阀为电磁开关阀SV2，位于电磁开关阀SV2的两侧分别设置有两个手动开关阀(HV4、HV5)。在正常情况下，两个手动开关阀(HV4、HV5)处于打开状态，当需要供水时，通过控制电磁控制阀的开端来控制进水管道50的导通情况。在电磁开关阀SV2出现故障时，可以将两个手动开关阀 (HV4、HV5)关闭，此时，电磁开关阀SV2被隔离，可以对电磁开关阀SV2进行更换或者维修。

为了避免在更换或者维修电磁开关阀SV2时对进水管道50造成影响，较佳的，还包括支进水管道51，支进水管道51的两端分别设置在两个手动开关阀(HV4、HV5)的外侧，且支进水管上设置有手动开关阀HV6。支进水管道51与进水管道50组成的供水管路与出水管道20与支出水管道21组成的出水管路相同，在此不再详细的赘述。通过设置的支进水管道51保证能够向去离子水储存容器30供水的稳定性。

此外，为了提高整个设备的自动化程度，较佳的，去离子水储存容器30内设置有检测去离子水液位的第二传感器31；控制装置在接收到第二传感器31检测的液位低于设定值时，控制电磁开关阀SV2打开，厂务去离子水管道60向去离子水储存容器30供应去离子水。通过采用第二传感器31来检测去离子水储存容器30内的液位高度，并通过控制装置根据检测的结果来控制电磁开关阀SV2打开，从而提高了整个设备的自动化程度，具体的，通过设置的第二传感器31检测液位的高度，并通过控制装置检测的结果来控制电磁开关阀SV2导通，以便向去离子水储存容器30内供给液体。

其中的第二传感器31设置在去离子水储存容器30的外侧，其包含一个发射装置以及一个接收装置，当去离子水液位高于设定的高度时，发射装置发射的信号无法被接收装置接收，当去离子水的液位低于发射装置及接收装置设置的位置时，发射装置发射的信号被接收装置接收，此时，控制装置根据接收装置反馈的信号的情况来控制电磁开关阀SV2的打开情况，从而控制去离子水储存容器30内的液位高度。

此外，在上述实施例中，为了控制对去离子水容器10的供水情况，较佳的，还包括设置在出水管道20上并用于检测去离子水流量的流量计40。通过设置的流量计40来控制进入到去离子水容器10内的水量，具体的，该流量计40与控制装置信号连接，此外，控制装置具有显示模块，该显示模块用于显示 供水流量的情况，通过显示模块可以获取添加的去离子水的量，此外，该显示装置还可以用于显示第一传感器11、第二传感器31、第三传感器12及电磁开关阀(SV1、SV2)的情况，以便工作人员可以实时的检测到整个设备的情况。

在上述实施例中，为了保证去离子水容器10内的液位的安全性，较佳的，还包括设置在去离子水容器10内并用于检测去离子水液面的第三传感器12；报警装置；控制装置在接收到第三传感器12检测的去离子水液面低于预警值时，控制报警装置发出警报。具体的，第三传感器12检测液位高度低于第一传感器11检测的液位高度，通过设置的第三传感器12来检测处于极限位置的液位，从而进一步的提高了整个装置的安全性，其中，第一传感器11、第二传感器31及第三传感器12的结构相同，均采用上述的发射装置及接收装置，在设备出现故障时，无法对去离子水容器10进行供给时，当液位低于第三传感器12检测的位置时，控制装置控制报警装置发出警报，从而提醒工作人员设备处于的情况提高了整个设备的安全性能。其中的报警装置为声音报警装置和/或灯光报警装置。在具体设置时，可以根据工作情况进行不同的选择。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内 。

Claims (9)

1.一种去离子水供给装置，其特征在于，包括去离子水容器，所述去离子水容器内设置有容纳去离子水的容纳腔，以及检测所述去离子水液面高度的第一传感器；

还包括去离子水储存容器，所述去离子水储存容器通过带有电磁开关阀的出水管道与所述容纳腔连通；

控制装置，所述控制装置在接收的所述第一传感器检测的去离子水液面低于设定值时，控制所述电磁开关阀打开，所述去离子水储存容器内的去离子水流入到所述去离子水容器。

2.如权利要求1所述的去离子水供给装置，其特征在于，还包括设置在所述出水管道上并用于检测所述去离子水流量的流量计。

3.如权利要求1所述的去离子水供给装置，其特征在于，还包括支出水管道，所述出水管道上位于所述电磁开关阀的两侧分别设置有两个手动开关阀，所述支出水管道的两端分别设置在所述两个手动开关阀的外侧，且所述支出水管道上设置有手动开关阀。

4.如权利要求1～3任一项所述的去离子水供给装置，其特征在于，所述去离子水储存容器通过带开关阀的进水管道与厂务去离子水管道连通。

5.如权利要求4所述的去离子水供给装置，其特征在于，所述开关阀为电磁开关阀，位于所述电磁开关阀的两侧分别设置有两个手动开关阀。

6.如权利要求5所述的去离子水供给装置，其特征在于，还包括支进水管道，所述支进水管道的两端分别设置在所述两个手动开关阀的外侧，且所述支进水管上设置有手动开关阀。

7.如权利要求5所述的去离子水供给装置，其特征在于，

所述去离子水储存容器内设置有检测去离子水液位的第二传感器；

所述控制装置在接收到第二传感器检测的液位低于设定值时，控制所述电磁开关阀打开，所述厂务去离子水管道向所述去离子水储存容器供应去离子水。

8.如权利要求4所述的去离子水供给装置，其特征在于，还包括设置在所述去离子水容器内并用于检测所述去离子水液面的第三传感器；

报警装置；

所述控制装置在接收到所述第三传感器检测的去离子水液面低于预警值时，控制所述报警装置发出警报。

9.如权利要求4所述的去离子水供给装置，其特征在于，所述报警装置为声音报警装置和/或灯光报警装置。