CN203253673U - 芯片化学清洗控制系统 - Google Patents
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Abstract
一种芯片化学清洗控制系统，包括控制器、用以检测稀释罐液位的液位传感器以及原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀，所述检测稀释罐液位的液位传感器连接所述控制器输入，所述控制器输出连接原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀，当所述稀释罐的液位低于预定值时，控制打开原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀为稀释罐充液。本控制系统根据稀释罐内的液量判断是否需要开启相应的装置，而不是机械的按事先设定的流程将所有开关先打开，因此控制更加智能。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种芯片化学清洗控制系统。
背景技术
芯片化学清洗装置包括原液桶、稀释罐和供应罐，原理是先补充原液，原液注入稀释罐，再为稀释罐注入去离子水，稀释罐通过装有电磁阀的管道接至供应罐，供应罐提供清洗液，在原液桶和稀释罐之前也设有电磁阀，通过控制器控制两个电磁阀的开合从而控制清洗液的制造。但是这种控制系统的控制还比较简单，是事先打开清洗装置的所有或多个部分，以备所需，而不管液体罐中液体是否充足，因此显得非常机械，不智能。
有鉴于此，特提出本实用新型。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种控制更加智能的芯片化学清洗控制系统。
为解决上述技术问题，本实用新型采用技术方案的基本构思是：
一种芯片化学清洗控制系统，包括控制器、用以检测稀释罐液位的液位传感器以及原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀，所述检测稀释罐液位的液位传感器连接所述控制器输入，所述控制器输出连接原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀，当所述稀释罐的液位低于预定值时，控制打开原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀为稀释罐充液。
进一步地，还包括原液供给装置，所述原液供给装置通过一装有可控阀的管道与所述原液桶连通，所述原液桶门连接一门控装置，所述控制系统还包括一用以检测原液桶是否为空的液位传感器，所述用以检测原液桶是否为空的液位传感器连接所述控制器输入，控制器输出连接所述原液供给装置和原液桶管道上的可控阀和所述门控装置，当原液桶的原液耗尽时，控制打开原液桶门，原液供给装置为原液桶充液。
进一步地，还包括用于计算原液桶为空时间的计时器和报警装置，所述计时器、用以检测原液桶是否为空的液位传感器均连接所述控制器输入，所述控制器输出连接所述报警装置，当所述原液桶为空达到预定时间时报警。
进一步地，还包括用以检测向稀释罐注入去离子水量的流量监测装置和进行点动的点动开关，所述流量检测装置连接所述控制器输入，所述控制器输出连接所述点动开关，当注入的去离子水达到预定值时，控制点动进水。
进一步地，供应罐的高位和低位分别安装有高位传感器和低位传感器，所述高位传感器和低位传感器均连接至所述控制器输入，控制器输出连接供应罐输出端的可控阀，当供应罐内的液位低于等于高位高于等于低位时，控制供应罐输出端的可控阀打开。
进一步地，在供应罐的高位和低位之间的中位装有中位传感器，所述中位传感器连接所述控制器输入，所述控制器输出连接稀释罐和供应罐之间的可控阀，当供应罐内液位高于等于中位时，控制稀释罐和供应罐之间的可控阀关闭，当供应罐的液位低于中位高于低位时，控制稀释罐和供应罐之间的可控阀打开为所述供应罐充液。
进一步地，还包括用于计算供应罐内液位低于低位时间的计时器和报警装置，所述计时器连接所述控制器输入，所述控制器输出连接所述报警装置，当供应罐的液位低于低位达到预定时间时报警。
采用上述技术方案后，本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果：
本控制系统根据稀释罐内的液量判断是否需要开启相应的装置，而不是机械的按事先设定的流程将所有开关先打开，因此控制更加智能。
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的描述。
附图说明
图1是本实用新型的第一种原理框图；
图2是本实用新型第二种原理框图；
图3是本实用新型第三种原理框图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型是一种芯片化学清洗控制系统，包括控制器11、用以检测稀释罐液位的液位传感器10以及原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀12，所述检测稀释罐液位的液位传感器10连接所述控制器11输入，所述控制器11输出连接原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀12，当所述稀释罐的液位低于预定值时，控制打开原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀为稀释罐充液。
本控制系统根据稀释罐内的液量判断是否需要开启相应的装置，而不是机械的按事先设定的流程将所有开关先打开，因此控制更加智能。
参照图2，进一步地，还包括原液供给装置，所述原液供给装置通过一装有可控阀的管道与所述原液桶连通，所述原液桶门连接一门控装置，所述控制系统还包括一用以检测原液桶是否为空的液位传感器20，所述用以检测原液桶是否为空的液位传感器20连接所述控制器11输入，控制器11输出连接所述原液供给装置和原液桶管道上的可控阀21和所述门控装置22，当原液桶的原液耗尽时，控制打开原液桶门，原液供给装置为原液桶充液。原液不足时的自动补充也体现出控制的智能化。
参照图3，进一步地，还包括用于计算原液桶为空时间的计时器30和报警装置31，所述计时器30，所述计时器30连接所述控制器11输入，所述控制器11输出连接所述报警装置31，当所述原液桶为空达到预定时间时报警。该控制可防止清洗液装置或控制系统故障而迟迟无法补充原液造成的无法制造稀释液的问题，也体现出控制的智能化。
进一步地，还包括用以检测向稀释罐注入去离子水量的流量监测装置和进行点动的点动开关，所述流量检测装置连接所述控制器输入，所述控制器输出连接所述点动开关，当注入的去离子水达到预定值时，控制点动进水。例如当加入计量还差2kg时，系统将进行点动开启动作，以实现更精确的补给，直到补足为止。
供应罐的高位和低位分别安装有高位传感器和低位传感器，所述高位传感器和低位传感器均连接至所述控制器输入，控制器输出连接供应罐输出端的可控阀，当供应罐内的液位低于等于高位高于等于低位时，控制供应罐输出端的可控阀打开。
在供应罐的高位和低位之间的中位装有中位传感器，所述中位传感器连接所述控制器输入，所述控制器输出连接稀释罐和供应罐之间的可控阀，当供应罐内液位高于等于中位时，控制稀释罐和供应罐之间的可控阀关闭，当供应罐的液位低于中位高于低位时，控制稀释罐和供应罐之间的可控阀打开为所述供应罐充液。
根据供应罐内液量控制稀释液的补充和清洗液的输出，体现出控制的智能化。
进一步地，还包括用于计算供应罐内液位低于低位时间的计时器和报警装置，所述计时器连接所述控制器输入，所述控制器输出连接所述报警装置，当供应罐的液位低于低位达到预定时间时报警。如果供应罐内液体一直不上，可能是因为清洗液装置或控制系统故障，必须及时检修。
上述可控阀均可采用电磁阀。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.一种芯片化学清洗控制系统，其特征在于：包括控制器、用以检测稀释罐液位的液位传感器以及原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀，所述检测稀释罐液位的液位传感器连接所述控制器输入，所述控制器输出连接原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀，当所述稀释罐的液位低于预定值时，控制打开原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀为稀释罐充液。
2.根据权利要求1所述的芯片化学清洗控制系统，其特征在于：还包括原液供给装置，所述原液供给装置通过一装有可控阀的管道与所述原液桶连通，所述原液桶门连接一门控装置，所述控制系统还包括一用以检测原液桶是否为空的液位传感器，所述用以检测原液桶是否为空的液位传感器连接所述控制器输入，控制器输出连接所述原液供给装置和原液桶管道上的可控阀和所述门控装置，当原液桶的原液耗尽时，控制打开原液桶门，原液供给装置为原液桶充液。
3.根据权利要求2所述的芯片化学清洗控制系统，其特征在于：还包括用于计算原液桶为空时间的计时器和报警装置，所述计时器连接所述控制器输入，所述控制器输出连接所述报警装置，当所述原液桶为空达到预定时间时报警。
4.根据权利要求1所述的芯片化学清洗控制系统，其特征在于：还包括用以检测向稀释罐注入去离子水量的流量监测装置和进行点动的点动开关，所述流量检测装置连接所述控制器输入，所述控制器输出连接所述点动开关，当注入的去离子水达到预定值时，控制点动进水。
5.根据权利要求1所述的芯片化学清洗控制系统，其特征在于：供应罐的高位和低位分别安装有高位传感器和低位传感器，所述高位传感器和低位传感器均连接至所述控制器输入，控制器输出连接供应罐输出端的可控阀，当供应罐内的液位低于等于高位高于等于低位时，控制供应罐输出端的可控阀打开。
6.根据权利要求5所述的芯片化学清洗控制系统，其特征在于：在供应罐的高位和低位之间的中位装有中位传感器，所述中位传感器连接所述控制器输入，所述控制器输出连接稀释罐和供应罐之间的可控阀，当供应罐内液位高于等于中位时，控制稀释罐和供应罐之间的可控阀关闭，当供应罐的液位低于中位高于低位时，控制稀释罐和供应罐之间的可控阀打开为所述供应罐充液。
7.根据权利要求5所述的芯片化学清洗控制系统，其特征在于：还包括用于计算供应罐内液位低于低位时间的计时器和报警装置，所述计时器连接所述控制器输入，所述控制器输出连接所述报警装置，当供应罐的液位低于低位达到预定时间时报警。
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| CN104694891A (zh) * | 2015-03-24 | 2015-06-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种去离子水供给装置 |
| CN106843299A (zh) * | 2017-03-16 | 2017-06-13 | 四川雷神空天科技有限公司 | 液体配置装置及方法 |
| CN114699941A (zh) * | 2022-03-14 | 2022-07-05 | 长鑫存储技术有限公司 | 一种液体混合装置、供给系统及供给方法 |
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