DE3116413A1 - "verfahren zum herstellen eines lumineszenzschirmes" - Google Patents

"verfahren zum herstellen eines lumineszenzschirmes"

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    • Y10S430/136—Coating process making radiation sensitive element

Description

US-Ser.No. 143,765
AT: 25. April 1980 RCA 74492/Dr.v.B/Ro.
RCA Corporation, New York, N.Y. (V.St.A.)
Verfahren zum Herstellen eines Lumineszenzschirmes.
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Insbesondere betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Herstellen eines Leuchtschirmes für eine Kathodenstrahlröhre, der sich dadurch auszeichnet, daß er vor allem während seiner Herstellung besser an seiner Unterlage haftet.
Bei der Herstellung von Lumineszenzschirmen durch photographische Direkt-Suspensionsverfahren, wie sie z.B. in der US-PS 3 406 068 beschrieben sind, wird eine Glasfläche, z.B. die Innenfläche der Frontplatte einer Farbfernsehbildröhre, mit einer wässerigen Suspension überzogen, welche ein photosensibilisierbares Bindemittel (Photobinder), ein Photosensibilisierungsmittel hierfür, und ein teilchenförmiges Phosphor- oder Leuchtstoffmaterial enthält. Der Leuchtstoff-Photobinder-Überzug wird getrocknet und dann mit einer Lichtverteilung belichtet, z.B. durch Exposition durch eine Lochmaske hindurch, um Bereiche höherer und Bereiche niedrigerer Löslichkeit im Überzug zu erzeugen. Der exponierte Überzug wird durch Entfernung der leichter löslichen Bereiche entwickelt, z.B. durch Besprühen und/oder überspülen des Überzuges mit Wasser oder einer wässerigen Lösung unter Druck. Die Haftung der zurückbleibenden schwerer löslichen Bereiche des Überzuges an der Glasfläche ist wichtig und besonders kritisch während der Entwicklung. Der Verlust selbst eines kleinen Teiles der schwerer löslichen Bereiche, die Teile des Bildschirms bilden sollen, macht den Schirm zum Ausschuß.
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Es ist bekannt, daß die Haftung des Oberzuges an einer sauberen Glasfläche dadurch verbessert werden kann, daß man auf die Glasfläche vor der Bildung des Überzuges eine sehr dünne Vor- oder Grundierungsschicht aus einem wasserlöslichen polymeren Material aufbringt, siehe z.B. die CA-PS 602 838 (Slobbe) und die US-PS 3 481 733 (Evans). Bei einem typischen Prozeß wird die Oberfläche der Frontglaswanne einer Fernsehbildröhre mit einer wässerigen Ammoniumbifluoridlösung gewaschen, mit entionisiertem Wasser gespült, anschließend mit einer verdünnten PVA-Lösung, die etwa 0,2 bis 0,5 Gew.% Polyvinylalkohol enthält, benetzt oder gespült und schließlich getrocknet. Man nimmt an, daß eine sehr dünne, vielleicht sogar monomolekulare Grundierungsschicht aus PVA auf der Glasfläche verbleibt, welche die Haftung eines anschließend aufgebrachten Leuchtstoff-Photobinder-Öberzuges verbessert. Es ist nicht klar, warum eine solche dünne Grundierungsschicht die Haftung des später aufgebrachten Überzuges verbessert. Man hat jedoch festgestellt, daß eine Alterung der PVA-Vorschicht in Luft bei Raumtemperatur oder eine Ansäuerung der PVA-Vorschicht mit einer Mineralsäure die Haftung eines anschließend aufgebrachten LeuchtstoffÜberzuges weiter verbessert. Bei höheren Flächendichten des Bildschirms, z.B. im Bereich von 4 bis 6 mg Leuchtstoff
pro cm , kann eine bessere Haftung durch Verwendung einer schwereren Grundierungs- oder Vorschicht aus belichtetem dichromat-sensibilisiertem PVA oder einem anderen photoempfindlichen organischen Kolloid mit oder ohne Anwesenheit von Leuchtstoffteilchen verbessert werden. Bei einem anderen Verfahren, das aus der US-PS 3 966 474 (Harper) bekannt ist, wird eine dicke haftende Vor- oder Grundierungsschicht verwendet, welche im wesentlichen aus wasserunlöslichen organischen Polymerteilchen besteht, die vorzugsweise aus einer wässerigen Suspension aufgebracht worden sind.
Es ist in der Praxis beim Trocknen des Leuchtstoff-Photobinder-Überzuges auf automatischen oder halbautomatischen Maschinen üblich, den Oberzug und die Glasunterlage auf etwa 50 bis 550C zu erwärmen. Wenn der trockne überzug der Lichtverteilung ausgesetzt wird, ist die Temperatur der Glasunterlage auf etwa 40 bis 45°C abgesunken. Ein solches Verfahren soll im folgenden als "heißer Prozeß" bezeichnet werden. Es ist jedoch auch wünschenswert,
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die Glasunterlage während des Trocknens des Überzuges und der Belichtung auf niedrigeren Temperaturen zu halten, um den Energieverbrauch zu verringern und/oder die Plazierung der zurückgebliebenen, schwerer löslichen Bereiche des Überzuges zu verbessern. Ein solcher "kalter Prozeß" hat sich als brauchbar erwiesen, bei dem der überzug bei Temperaturen von etwa 30 bis 38°C getrocknet und bei Temperaturen von etwa 25 bis 33°C belichtet wird. Es hat sich jedoch gezeigt, daß die bekannten Grundierungsschichten bei einem kalten Prozeß hinsichtlich der Verbesserung der Haftung nicht so wirksam sind, wie bei einem heißen Prozeß.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art dahingehend auszugestalten, daß eine sehr gute Haftung des Leuchtstoffüberzuges sowohl bei heißen Prozesses als auch bei kalten Prozessen gewährleistet ist.
Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren der eingangs genannten Art durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
Weiterbildungen und vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens sind Gegenstand von Unteransprüchen.
Bei dem Verfahren gemäß der Erfindung wird also auf einer sauberen Glasfläche eine Lage oder Schicht aus einer wässerigen Lösung aufgebracht, die Polyvinylalkohol und eine wasserlösliche Zirkoniumoxidverbindung, insbesondere Zirkoniumoxidnitrat, enthält, aufgebracht und getrocknet um eine Vor- oder Grundierungsschicht zu bilden. Die wässerige Lösung enthält vorteilhafterweise etwa 0,01 bis 0,50 Gew.% PVA und etwa 0,001 bis 0,10 Gew.% Zirkoniumoxidverbindung. Nachdem die Grundierungsschicht aufgebracht worden ist, wird auf ihr ein Leuchtstoff-Photobinder-überzug gebildet und dieser überzug wird belichtet und entwickelt, wie es bei photographischem Direkt-Suspensionsverfahren bekannt ist.
Durch die bei dem erfindungsgemäßen Verfahren verwendete Grundierungsschicht ergibt sich eine verbesserte Haftung des anschließend aufgebrachten
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Oberzuges an der Unterlagefläche. Man kann schwerere und dickere Leuchtstoff überzüge aufbringen, belichten und entwickeln, ohne daß während des Entwickeins irgendwelche Teile des Überzuges oder Bildschirmes verlorengehen. Man kann sowohl mit einem kalten Prozeß oder mit einem heißen Prozeß arbeiten.
Das vorliegende Verfahren stellt eine erhebliche Verbesserung des photographischen Direkt-Suspensionsverfahrens zur Herstellung eines Leuchtstoffschirms auf einer Glasunterlage dar» Bei dem Verfahren wird wie bisher eine Grundierungsschicht auf die Oberfläche der Unterlage aufgebracht und dann eine Lage oder ein überzug aus einer wässerigen Suspension, welche Leuchtstoff teilchen, ein Bindemittel, wie PVA (Polyvinylalkohol) und ein Photosensibilisierungsmittel hierfür enthält und der auf die Unterlage aufgebrachte überzug wird dann getrocknet.
Bei dem vorliegenden Verfahren wird die Grundierungsschicht dadurch hergestellt, daß man auf die Glasfläche eine Lösung aufbringt und trocknet, welche PVA und eine Zirkoniumoxidverbindung enthält. Zirkoniumoxidverbindungen wurden früher als "Zirkonylverbindungen" bezeichnet. Als Zirkoniumoxdverbindung können z.B. Zirkonoxiddichlorid ZrOCl^» Zirkoniumoxiddibromid ZrOBrp oder Zirkonoxiddijodid ZrOI^ verwendet werden. Die bevorzugte Verbindung ist Zirkonoxiddinitrat ZrOiNO.,)^. Man kann Kombinationen von zwei oder mehr Zirkonoxidverbindungen verwenden. Die Zirkoniumoxidverbindungen können mit beliebigem Reiheitsgrad verwendet werden, vorausgesetzt, daß die vorhandenen Verunreinigungen bei der Herstellung des Bildschirms bzw. Oberzuges nicht stören. Der PVA kann irgendein PVA sein, wie er bisher für Grundierungsschichten auf Glasflächen verwendet oder beschrieben wurde. Für Grundierungsschichten eignet sich generell ein PVA mit einem Hydrolysierungsgrad im Bereich von etwa 80 bis 95 %. Ein geeigneter PVA ist das von der Firma Air Products and Chemicals, Inc., Allentown, PA., V.St.A. unter der Bezeichnung Vino! No. 540 vertriebene Produkt. Die wässerige Grundierungsschichtlösung enthält vorteilhafterweise etwa 0,01 bis 0,50 Gew.% PVA und etwa 0,001 bis 0,10 Gew.% Zirkoniumoxidverbindung bezogen auf das Gewicht der Lösung. Vorzugsweise beträgt das Trockengewicht der Zirkonoxidverbindung zwischen 1 und 100% des Trockengewichtes des vorhandenen PVA.
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Die Grundierungsschichtlösung kann durch irgendein geeignetes Verfahren aufgebracht werden, z.B. durch Aufsprühen oder durch überspülen der Unterlage mit der Lösung. Ein bevorzugtes Verfahren besteht darin, die Unterlage mit der zu beschichtenden Fläche nach unten anzuordnen und dann einen Strahl der Grundierungsschichtlösung auf die Fläche zu richten. Der pH-Wert der Grundierungsschichtlösung liegt im allgemeinen im Bereich von etwa 2,5 bis 4,0.
Im folgenden werden ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel einer Grundierungsschichtlösung und des vorliegenden Verfahrens erläutert:
Beispiel: Es wird eine Grundierungsschichtlösung hergestellt, die PVA und Zirkoniumoxiddinitrat in Gewichtsprozent trockener Feststoffe wie folgt enthielt:
PVA (87% hydrolysiert) 0,10%
Zirkonoxidnitrat 0,02%
Wasser Rest
Es werden getrennte wässerige Lösungen von PVA und Zirkonoxidnitrat hergestellt. Dann werden die Lösung der Zirkoniumoxidverbindung und das Wasser der PVA-Lösung unter langsamem Rühren der Mischung gleichzeitig zugesetzt.
Die innere Oberfläche einer Frontglaswanne einer 25V-Farbfernsehbildröhre wird gründlich gereinigt. Dann wird die Grundierungsschichtlösung auf die saubere Glasfläche aufgebracht, indem die Frontglaswanne mit der zu beschichtenden Oberfläche nach unten angeordnet und die Lösung dann als springbrunnenartiger Strahl aufgebracht wird, anschließend läßt man die Lösung von der benetzten Glasfläche ablaufen. Die Frontglaswanne dreht sich dabei vorzugsweise mit ungefähr 30 Umdrehungen pro Minute um eine Achse, die im wesentlichen senkrecht zur Oberfläche steht und bezüglich der Vertikalen nicht mehr als etwa 10° geneigt ist. Nachdem die Grundierungsschichtlösung aufgebracht worden ist, wird die Drehzahl der Frontglaswanne kurzzeitig auf etwa 110 Umdrehungen pro Minute erhöht, um überschüssige Lösung zu entfernen. Dann wird die Grundierungsschicht durch Infrarotstrahlung und einen Luftstrom getrocknet. Die Grundierung und die Frontglaswanne
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können während des Trocknens eine Temperatur bis etwa 350C annehmen.
Als nächstes wird die Überzugssuspension auf die grundierte Oberfläche aufgebracht. Die Überzugssuspension enthält in bekannter Weise eine Mischung aus Leuchtstoffteilchen, einem Photobinder, einem Photosensibilisierungsmittel für den Photobinder und Wasser. Eine geeignete Überzugssuspension enthält anteilig etwa 292 g grünemittierende, kupferaktivierte Zinkcadmiumsulfidteilchen, 233 g einer 10 6ew.%igen wässerigen Lösung von Polyvinylalkohol (Vino! No. 540), 13 g einer 45 Gew.%igen wässerigen Lösung eines Acryl-Mischpolymerisats, 14 g einer 10 Gew.%igen wässerigen Lösung von Natriumdichromat und etwa 402 g entionisiertes Wasser. Die Überzugssuspension wird gründlich gemischt und die Viskosität der Mischung wird auf einen Bereich von etwa 2 bis 5-10"2Pa-S (20 bis 50 cP) eingestellt. Die Überzugssuspension wird dann durch Fließbeschichtung auf die grundierte Oberfläche aufgebracht und getrocknet, so daß sich ein trockener über-
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zug ergibt, der etwa 4,0 mg/cm Leuchtstoffteilchen enthält. Der überzug und die Frontglaswanne können während des Trocknens des Überzuges eine Temperatur bis zu etwa 35°C erreichen.
An diesem Punkt des Verfahrens trägt die Frontglaswanne also auf ihrer Innenseite eine Grundierungsschicht und auf dieser einen Leuchtstoff-Photobinder-Überzug. Nun wird eine Lochmaske für die Frontglaswanne auf hierfür vorgesehene Halterungen oder Zapfen aufgesetzt und die Frontglaswanne wird dann auf eine Plattform einer Belichtungsvorrichtung gesetzt. Von einer kleinflächigen Lichtquelle in der Belichtungsvorrichtung läßt man dann ultraviolettes Licht durch die Maske fallen, so daß der überzug durch eine entsprechende Lichtverteilung belichtet wird. Die Frontglaswanne wird dann aus der Belichtungsvorrichtung entnommen und die Lochmaske wird aus ihr entfernt. Der belichtete überzug wird dann entwickelt, indem man ihn mit einer turbulenten wässerigen Flüssigkeit behandelt, z.B. durch Besprühen und überspülen mit Wasser (oder einer wässerigen Entwicklerlösung) unter Druck, um die nicht belichteten und im wesentlichen nicht belichteten, leichter löslicheren Bereiche des Überzuges zu entfernen, während die belichteten und schwerer löslichen Bereiche des Überzuges an Ort und Stelle verbleiben.
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Das erfindungsgemäße Verfahren kann dazu verwendet werden, irgendein Teilchenmuster (Muster aus teilchenförmigen) Material) auf irgendeine Glasunterlagefläche zu kopieren oder zu drucken. Die Teilchen des Überzuges können lumineszenzfähig oder nichtlumineszenzfähig sein, sie können lichtabsorbierend sein und sie können in reflektiertem Licht irgendeine beliebige Körperfarbe haben. Das vorliegende Verfahren eignet sich jedoch besonders für das Kopieren von Bildschirmstrukturen für Kathodenstrahlröhren. Beispiele hierfür sind Punkt- und Streifenrasterschirme.
Das Beispiel zeigte die Verwendung des vorliegenden Verfahrens zur Herstellung eines Teiles einer Bildschirmstruktur (des grünemittierenden Feldes) für eine Farbfernsehbildröhre durch ein photographisches Suspensions-Direktverfahren. In der US-PS 3 269 838 (Saulnier, Jr.) sind viele geeignete überzugszusammensetzungen für die Verwendung in einem solchen Suspensionsprozeß beschrieben. Die Überzugsflüssigkeit enthält vorzugsweise ein wasserlösliches Bindemittel, das in Gegenwart von sechswertigen Chromionen, einem löslichen Dichromat-Photosensibilisierungsmittei für das Bindemittel, und Teilchen des Materials des Musters durch aktinische oder wirksame Strahlung in eine unlösliche Form vernetzbar ist. Das Bindemittel kann irgendein organisches Kolloid sein, wie Gelatine oder Fischleim, bevorzugt wird jedoch ein PVA. Das Photosensibilisierungsmittel kann irgendein lösliches Dichromat sein, z.B. Natriumdichromat, Kaliumdichromat oder Ammoniumdichromat. Das Photosensibilisierungsmittel kann in Mengen von etwa 2 bis 20 Gew.% bezogen auf das Gewicht des vorhandenen Bindemittels verwendet werden.
Der überzug wird einem Muster aus einer aktinischen Strahlung ausgesetzt. Jede aktinische Strahlung, die die gewünschte Härtung bewirken kann, wie sichtbares Licht, ultraviolettes Licht oder Kathodenstrahlen können verwendet werden. Eine wesentliche Eigenschaft der Belichtung besteht darin, daß die belichteten Teile des Überzugs zwar durch die aktinische Strahlung unlösbar gemacht werden, die unlöslichen Teile jedoch unter Umständen nicht genügend fest an der Unterlage haften um während der Entwicklung an Ort
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und Stelle zu bleiben. Diese Haftung wird durch das Verfahren gemäß der Erfindung verbessert.
Die Haftung des belichteten Überzugs kann durch das Belichtungszeitverfahren quantitativ bestimmt werden. Bei diesem Verfahren werden die zu prüfenden belichteten überzüge jeweils mit einem Wasserspray mit derselben Sprühdüse und mit demselben, den Spray erzeugenden Druck entwickelt. Die Entwicklungszeit oder -dauer bis zum ersten Ablösen (Verlust) eines schwerer löslichen Bereiches des belichteten Überzuges ist ein Maß für das Haftungsvermögen des Überzuges an der Glasunterlage.
In Tabelle I sind einige Vergleichswerte von repräsentativen Entwicklungszeiten für verschiedene Proben aufgeführt, die durch einen kalten Prozeß hergestellt worden waren, bei welchem eine Glasunterlage mittels einer Grundierungslösung, die 0,10 Gew.% PVA enthielt, mit einer Grundierung versehen wurde und dann mit einem überzug aus einem grünemittierenden Leuchtstoff, der bei Temperaturen von etwa 35°C getrocknet wurde, überzogen wurde; der getrocknete überzug wurde dann bei Temperaturen von etwa 310C mit einer Verteilung aus ultraviolettem Licht belichtet und danach mit einem Wasserspray entwickelt.
In den Tabellen II und III sind einige Vergleichswerte aufgeführt, die repräsentative Entwicklungszeiten für verschiedene Proben darstellen, welche durch einen kalten Prozeß bzw. einen heißen Prozeß hergestellt wurden, wobei eine Glasunterlage unter Verwendung der angegebenen Grundierungsschichtlösung, die etwa 0,10 Gew.% PVA enthielt, mit einer Grundierungsschicht und dann mit einem ersten überzug, der einen grünemittierenden Leuchtstoff enthielt, versehen und getrocknet wurde (bei Temperaturen von etwa 490C beim heißen Prozeß und 350C beim kalten Prozeß); der getrocknete erste überzug wurde dann mit einem Muster aus ultraviolettem Licht belichtet (bei Temperaturen von etwa 400C beim heißen Prozeß und 310C beim kalten Prozeß) und anschließend mit einem Wasserspray entwickelt. Der entwickelte erste überzug wurde dann mit einem zweiten Oberzug, der einen blauemittierenden Leuchtstoff enthielt, versehen und getrocknet (bei Tempe-
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raturen von etwa 5O0C beim heißen Prozeß und 35°C beim kalten Prozeß), und der getrocknete zweite Oberzug wurde dann mit einem Muster aus ultraviolettem Licht belichtet (bei Temperaturen von etwa 400C beim heißen Prozeß und 31°C beim kalten Prozeß), und anschließend mit einem Wasserspray entwickelt. Die in den Tabellen angegebenen Entwicklungszeiten sind die Zeiten, die erforderlich waren, um beim zweiten überzug den ersten Verlust von weniger löslichen Bereichen vom zweiten überzug zu bewirken.
Die Tabellen I, II und III zeigen jeweils daß die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten überzüge wesentlich stärker haften als die überzüge, die mit vergleichbaren Verfahren unter Verwendung bekannter Grundierungsschichten hergestellt wurden. Aus Tabelle I ist ersichtlich, daß die bessere Haftung mit einem ersten überzug, der sich direkt auf der Grundierungsschicht befindet, erhalten werden kann. Die Tabellen II und III zeigen, daß die verbesserte Haftung auch bei einem zweiten überzug erzielt werden kann, der nach einem ersten überzug aufgebracht worden ist. Bei den in den Tabellen II und III angegebenen Versuchen befanden sich die zurückgebliebenen, schwerer löslichen Bereiche des ersten und des zweiten Überzuges jeweils auf der Grundierungsschicht und überlappen sich gegenseitig nicht.
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- 12 TABELLE I Kalter Prozeß - erster Oberzug auf Grundierung
Test No. Grundierung Entwicklungsdauer bis
zum ersten Überzugsverlust
(Sekunden)
(D 0,1% PVA - pH etwa 5,5 18
(2) 0,1% PVA - angesäuert auf pH 4,1 32
(3) 0,1% PVA mit 0,002% Zirkoniumoxid
nitrat (pH etwa 4,1)		 48
(4) 0,1% PVA angesäuert auf pH 3,65
mit Salpetersäure		 28
(5) 0,1% PVA mit 0,005% Zirkoniumoxid
nitrat (pH etwa 3,65)		 73
(6) 0,1% PVA angesäuert auf pH etwa 3,15 137
(7) 0,1% PVA mit 0,02% Zirkoniumoxid- 205
nitrat (pH etwa 3,15)
TABELLE II
Kalter Prozeß - zweiter Überzug auf Grundierung
Test No.
Grundierung
0,1% PVA angesäuert auf pH 3,15
0,1% PVA mit 0,02% Zirkoniumoxidnitrat (pH etwa 3,15)
Entwicklungsdauer bis zum ersten überzugsverlust (Sekunden)
TABELLE III
Heißer Prozeß - zweiter Überzug Grundierung auf Grundierung
Test No. A% PVA Entwicklungsdauer bis zum
ersten Überzugsverlust
(Sekunden)
(10) o. ,1% PVA angesäuert auf etwa 45
(11) o: pH 3,45 65
(12) 0,1% PVA mit 0,01% Zirkoniumoxid- 120
nitrat (pH etwa 3,45)
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Claims (6)

  1. Patentansprüche
    Verfahren zum Herstellen eines Lumineszenzschirmes auf einer Glasfläche, bei welchem auf dieser eine Schicht aus einer wässerigen Lösung, die PoIyvinylalkohl enthält, aufgebracht wird, diese Schicht unter Bildung einer Grundierungsschicht auf der Glasfläche getrocknet wird, auf die Grundierungsschicht ein Überzug aufgebracht wird, welcher Leuchtstoffteilchen und ein photoempfindliches Bindemittel für diese enthält, der Überzug mit einem Lichtbild belichtet wird,um im Oberzug Bereiche höherer Löslichkeit und Bereiche niedrigerer Löslichkeit zu bilden, und dann der belichtete Überzug zur Entfernung der Bereiche höherer Löslichkeit entwickelt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die wässerige Lösung außerdem eine wasserlösliche Zirkoniumoxidverbindung enthält.
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  2. 2.) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zirkoniumoxidverbindung Zirkonoxidbromid, Zirkonoxidchiorid, Zirkonoxidjodid und/oder Zirkonoxidnitrat enthält.
  3. 3.) Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich net, daß die wässerige Lösung etwa 0,01 bis 0,50 Gew.% Polyvinylalkohol und etwa 0,001 bis 0,10 Gew.% Zirkoniumoxidverbindung enthält.
  4. 4.) Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Lösung für die Grundierungsschicht etwa 0,01 bis 0,05 Gew.% Zirkonoxidnitrat enthält.
  5. 5.) Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundierungsschicht und/oder der Überzug bei Temperaturen bis zu etwa 38°C getrocknet werden.
  6. 6.) Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Bereiche höherer Löslichkeit bei der Entwicklung des belichteten Überzuges durch Einwirkung einer unter Druck aufgesprühten wässerigen Flüssigkeit entfernt werden.
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