DE2852590A1

DE2852590A1 - Pasten fuer elektrische leiter

Info

Publication number: DE2852590A1
Application number: DE19782852590
Authority: DE
Inventors: David Graham Hilson; Peter Andrews Tulipan
Original assignee: Electro Materials Corp of America
Current assignee: Electro Materials Corp of America
Priority date: 1978-03-15
Filing date: 1978-12-05
Publication date: 1979-09-20
Also published as: JPS54155126A; JPS6151361B2; GB2018035B; DE2852590C2; GB2018035A; US4187201A

Description

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Die. Erfindung betrifft elektrische Leiter in Form von dicken Filmen und die bei ihrer Herstellung verwendeten Zusammensetzungen bzw. Massen.

Elektrische Leiter in Form von dicken Filmen enthalten üblicherweise eine keramische Grundlage, auf welche eine leitfähige Masse, die in einem besonderen Muster ausgebildet ist, gebunden ist. Solche Leiter werden zum Kuppeln von Widerstandselementen, dielektrischen Elementen und anderen Schaltungselementen zur Verwendung in Hybridschaltüngen und bei verwandten Anwendungen eingesetzt.

Leiter in Form von dicken Filmen werden dadurch hergestellt, daß eine Leiterpaste oder Leiterdruckfarbe auf eine keramische Basis oder Unterlage: in einem besonderen Muster unter Anwendung üblicher Drucktechniken aufgebracht wird. Der Leiter wird dann auf einer hohen Temperatur gebrannt, wodurch sich ein Ausbrennen eines Teiles der Paste, der als Träger bekannt ist, unter Zurücklassen eines Leitermusters ergibt, das auf die keramische Unterlage gebunden ist.

Es kann gesagt werden, daß die Leiterpaste oder Leiterdruckfarbe drei Hauptbestandteile umfaßt: das leitfähige Metall, das Flußmittelsystem und den Träger. Das leitfähige Metall bleibt in dem fertigen Leiter zurück und ergibt die elektrisch leitenden Pfade; der Träger erleichtert das Aufbringen der Paste oder Druckfarbe auf die Unterlage und das Flußmittelsystem liefert hauptsächlich die zum Binden des leitfähigen Metalls an die Unterlage erforderlichen Eigenschaften. Die vorliegende Erfindung betrifft insbesondere die Verwendung von neuen und verbesserten Flußmittelsystemen.

Leiter in Form von dicken Filmen müssen in der Lage sein, gute elektrische Verbindungen mit Widerstandselementen, dielektrischen Elementen oder anderen Schaltungselementen zu bilden. Diese Verbindungen müssen während-der brauchbaren Lebensdauer der Schaltung an Ort und Stelle bleiben. Mehrere Tests wurden entwickelt, um die Parameter zu bestimmen, welche zu diesen erwünschten, physikalischen Eigenschaften beitragen.

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-r-

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Dem Fachmann auf dem Gebiet ist die Wichtigkeit der Anfangsschälfestigkeit bekannt, wobei dies die Messung der Kraft in kp ist, die zum "Abschälen" des Leitermusters von seiner Unterlage unmittelbar nach der Herstellung des Leiters ist. Ein weiterer wichtiger Parameter, welcher mit der Anfangshaftung in Beziehung steht, ist die Alterungshaftung. Dies ist eine Messung, ebenfalls in kp der Kraft, die zum Abschälen des Leitermusters von der Unterlage erforderlich ist, jedoch wird diese Messung nach einer Lagerzeit durchgeführt, normalerweise etwa 1000 Stunden nach einem Erhitzen auf eine erhöhte Temperatur, normalerweise 150 C, und diese Eigenschaft ist ein wichtiger Faktor bei der Bestimmung, ob ein besonderer Leiter für die Verwendung in einer Schaltung während der wirksamen Lebensdauer der Schaltung geeignet ist.

Eine weitere wichtige Eigenschaft von Leitern in Form von dicken Filmen ist die Lotbenetzung. Die Lotbenetzung ist eine direkte Messung, ausgedrückt in qualitativen Werten wie ausgezeichnet, gut, usw., welche definiert, wie gut ein besonderer Leiter das zu seiner elektrischen Verbindung bzw. zur Kupplung an andere Elemente in der Schaltung verwendete Lot annimmt. Beispielsweise wird ein Leiter als mit ausgezeichneten Lotbenetzungseigenschaften versehen bezeichnet, wenn das Muster nach einem Testeintauch in eine Lotlösung vollständig mit einem glatten Lotfilm beschichtet ist und keine Aufschichtung von Lot und keine nichtbenetzten oder entnetzten Bereiche vorliegen.

Falls es erwünscht ist, Gold als leitendes Metall in einem Leiter in Form eines dicken Filmes einzusetzen, ist die Lotbenetzung eine bedeutungslose Messung, da es dem Fachmann an sich bekannt ist, daß Gold ausgelaugt wird, d.h. Gold löst sich in dem Lot, und daher werden Leiter auf Goldbasis nicht gelötet. Der Test der Kupplungseigenschaften eines Leiters auf Goldbasis ist als Drahtverbindungsfähigkeit bekannt, wobei eine Verbindung durch Ultraschall oder eine Verbindung durch Hitze-Druck angewandt wird. Ein Leiter auf Goldbasis wird als mit ausgezeichneter Drahtverbindungsfähigkeit ausgerüstet bezeichnet, wenn nach dem Verbinden eines sehr feinen

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Drahtes mit dem Leiter der Draht an dem Leitermuster anhaftet und die so ausgebildete Bindung eine Anfangshaftung von mehr als etwa 8p (8 pond) liefert. Auf dem Fachgebiet wird fortlaufend versucht, die Eigenschaften der Anfangshaftung, der Altershaftung und der Lotbenetzung (oder der Drahthaftfähigkeit) von leitfähigen Pasten zur Erzielung von Leitern in Form von dicken Filmen höherer Qualität, besserer Brauchbarkeit und längerer Lebensfähigkeit zu verbessern.

Weiterhin ist es bekannt, daß die Brenntemperatur einer besonderen Leiterpaste Herstellungsschwierigkeiten mit sich bringen kann. Aus im folgenden noch näher angegebenen Gründen erfordern unterschiedliche Anwendungen verschiedene leitfähige Metalle, und konventionelle Pasten unter Verwendung verschiedener Metalle müssen bei unterschiedlichen Temperaturen gebrannt werden. Dies erfordert entweder eine Vielzahl von Brennofen oder die andauernde Änderung der Temperatur in einem besonderen Ofen. In jedem Fall ergibt sich ein technisch aufwendiger und nicht leistungsfähiger Betrieb der Anlage.

Aufgabe der Erfindung ist daher die Bereitstellung einer Leiterpaste zur Herstellung von elektrischen Leitern in Form von dicken Filmen, welche verbesserte Eigenschaften der Lotbenetzung, der Anfangshaftung und der Altershaftung aufweist, weiterhin eine Paste, die bei Pasten auf Goldbasis unter Ausbildung einer verbesserten Drahthaftfähigkeit verwendet werden kann, wobei die Leiter bei einer konstanten Temperatur in vernünftiger Weise unabhängig von der Zusammensetzung des leitfähigen Metalls gebrannt werden kann.

Überraschenderweise wurde nun gefunden, daß die Zugabe von ZnO zu Standardflüßmittelsystemen wie auch die Verwendung hiervon in hierfür ausgelegten, neuen Flußmittelsystemen überraschende und unübliche Ergebnisse, welche die zuvor genannten Aufgaben erfüllen, liefert.

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Insbesondere wurde gefunden, daß die zuvor angegebenen Eigenschaften in starkem Maße verbessert werden, verglichen mit den besten zuvor erzielten Ergebnissen für ein besonderes Leitermetall, z.B. Pd/Ag, Pt/Pd/Au, Cu, Au. Die im folgenden aufgeführten Beispiele zeigen diese verbesserten Eigenschaften sowie die unerwarteten und überraschend guten Ergebnisse, welche bei Anwendung der Erfindung erzielt werden können.

Eine gemäß der Erfindung hergestellte Leiterpaste, die im folgenden Beispiel 1 gezeigt ist, bildet einen Leiter in Form eines dicken Filmes, der in Gewicht enthält: etwa 16 % Träger, etwa 70 % Metall, wobei das Metall aus Ag und Pd in einem Verhältnis von etwa 3 zu 1 besteht, und 14 % Flußmittel, wobei dieses etwa 2 %, bezogen auf die Gesamtpaste, ZnO, enthält und wobei der restliche Anteil BX2O.3 und eine konventionelle, gepulverte Glasfritte im Verhältnis von etwa 2 zu 1 umfaßt.

Der Metallgehalt von 70 % bis 90 % ist für Dickfilmhybridleiter typisch, und für den Fachmann auf dem Gebiet ist es klar, daß der Versuch zur Verwendung eines weniger metallischen Systems schädliche Einflüsse auf die Leiterdichte und Leitfähigkeit haben würde.

Der Träger kann ein beliebiger Träger einer Anzahl von im Handel erhältlichen, organischen Mitteln für den Siebdruck sein, beispielsweise können ein Lösungsmittel wie Terpineal und ein Polymerisat wie Äthylzellulose in einem Gemisch, das etwa 10 Gew.-% Äthylzellulose und 90 Gew.-% Terpineal enthält, angesetzt werden. Dem Fachmann auf dem Gebiet sind die verschiedenen Träger, die bei dieser Anwendungsart eingesetzt werden können, bekannt, so daß der Träger nicht näher erläutert werden muß»

Die gepulverte Glasfritte ist ebenfalls im Handel erhältlich, und beispielsweise ist eine Fritte aus einem Bleialuminiumoxidsilikatglas mit einer Teilchengröße von weniger als 5 um für diesen Zweck geeignet. Dem Fachmann auf dem Gebiet sind die Typen von gepulverten Glasfritten, die bei dieser Anwendungsart eingesetzt werden können, ebenfalls bekannt, so daß die Glasfritte

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nicht näher erläutert werden muß. .

Das ZnO liegt in gepulverterForm, vorteilhafterweise mit einer Teilchengröße von weniger als 5 um vor, und es wurde gefunden, daß die Art und Weise der Einführung des ZnO in die übrigen Bestandteile der Paste, die erzielten Ergebnisse nicht wesentlich verändert.

Es wurde gefunden, daß bei 85O°C ein gewisser günstiger Einfluß in den zuvor erläuterten Eigenschaften bei einem ZnO-Gehalt von 1 % gegeben war, daß diese Eigenschaften optimal bei etwa 2 % war, und daß bei Übersteigen von 3 % der Beginn eines Abfalles begann. Im Gegensatz hierzu wurde gefunden, daß bei einer Brenntemperatur von 985°C die besten Eigenschaften bei einem ZnO-Gehalt von 3 % erzielt wurden. Da es jedoch sehr wünschenswert ist, die Eigenschaften zu optimieren, um ein Brennen eines Leiters in Form eines dicken Filmes bei 850 C zu ermöglichen, da dies das Brennprofil der meisten in Verbindung mit solchen Leitern verwendeten Widerstandselementen erfüllt, wurde festgelegt, daß ein Wert von 2 % für die meisten Leiterpasten bevorzugt ist.

Weiterhin wurde gefunden, daß die Verwendung von ZnO, wie zuvor beschrieben, die physikalischen Eigens.chaften in einem beträchtlichen Ausmaß verbessert, wenn sie mit Leiterpasten unter Verwendung anderer Metalle verwendet werden. Dies ist eine Eigenschaft von großer Bedeutung, da zahlreiche unterschiedliche leitfähige Metalle in Leitern in Form von dicken Filmen verwendet werden, um die verschiedenen gewünschten Eigenschaften zu erzielen.

ist

Dem Fachmann auf dem- Gebiet/beispielsweise bekannt, daß die Verwendung von Pt die Auslaugbeständigkeit von Au-Leitern erhöht. Daher werden Pt/Au-Leiter oft verwendet, wenn eine hohe Zuverlässigkeit gefordert wird, beispielsweise bei militärischen Anwendungen.

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Dem Fachmann ist ebenfalls bekannt, daß Pd als Legierung mit Ag verwendet wird, um die als Ag-Wanderung bekannte Erscheinung einzuschränken, bei welcher Ag in Anwesenheit von Feuchtigkeit oder eines Potentialunterschiedes die Neigung besitzt, quer über die keramische Unterlage von einer Leiterlinie zu einer anderen zu wandern. Daher werden üblicherweise Pd/Ag-Leiter oder Pd/Pt/Ag-Leiter verwendet.

In gleicher Weise wird Kupfer, das nicht teuer ist und keine Wanderungserscheinungen aufweist, ebenfalls in Leitern in Form von dicken Filmen verwendet.

Die folgenden Beispiele erläutern die vorliegende Erfindung und zeigen die unerwarteten und überraschend günstigen Ergebnisse, welche unter Verwendung von ZnO in Leiterpasten erzielt wurden, die auf verschiedenen, leitfähigen Metallen beruhen.

Beispiel 1

Eine erfindungsgemäße Leiterpaste auf Basis eines Pd/Ag-Leitermetalls wurde hergestellt, wobei diese in Gewicht enthielt: etwa 1 6 % Träger, etwa 70 % Metall, wobei das Metall aus Ag und Pd in einem Verhältnis von etwa 3 zu 1 bestand, und etwa 14 % Flußmittel, wobei dieses etwa 2 %, bezogen auf Gesamtpaste, an ZnO enthielt, wobei der Rest Bi₂O-. und eine konventionelle, gepulverte Glasfritte im Verhältnis von etwa 2:1 umfaßte.

Diese neue Paste wurde mit einer bereits existierenden Paste verglichen, welche die besten Ergebnisse beim Haftungstest für eine Paste auf Basis von Pd/Ag ergab, wobei letztere in Gewicht enthielt: etwa 14 % Träger, etwa 74 % Metall, wobei dieses Metall aus Ag und Pd in einem Verhältnis von etwa 2 zu 1 bestand, und etwa 12 % Flußmittel, wobei dieses etwa 3,7 %, bezogen auf Gesamtpaste, an CdO, etwa 1,1 %, bezogen auf Gesamtpaste, eines Gemisches aus CuO/TiO₂/Al₂O₃ enthielt, wobei der Rest aus Bi₃O₃ und Glasfritte in dem Verhältnis von etwa 4 zu 7 bestand.

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Die erfindungsgemäße Paste wurde bei 850 C gebrannt. Es wurden die folgenden Ergebnisse erhalten:

	Anfangs haftung kp	Alters haftung kp	Lotbe- netzung
Erfindungsgemäße Paste	>3,6	> 2,7	gut
Vergleichspaste	>3,6	1,6-1,8	befriedigend
Beispiel 2

Es wurde eine erfindungsgemäße Leiterpaste auf Basis eines Pt/Pd/Au-Leitermetalls hergestellt, welche in Gewicht enthielt: etwa 13 % Träger, etwa 72 % Metall, wobei das Metall aus Pt, Pd und Au im Verhältnis von etwa 1 zu 1 zu 6 bestand sowie als Rest Flußmittel, wobei dieses etwa 1,7 %, bezogen auf die Gesamtpaste, an ZnO und als Rest Bi-O., und Glasfritte in einem etwas größeren Verhältnis als 1 zu 1 enthielt.

Diese neue Paste wurde mit einer bereits existierenden Paste, welche die besten Testergebnisse für eine Paste auf Basis Pt/Pd/Au ergab, verglichen, wobei diese letztere Paste in Gewicht enthielt: etwa 14 % Träger, etwa 75 % Metall, wobei das Metall aus Pt, Pd und Au im Verhältnis von etwa 1 zu 1 zu 6 bestand, sowie als Rest Flußmittel, wobei dieses etwa 1,4 %, bezogen auf die Gesamtpaste, Cu und als Rest Bi₃O₃ und Glasfritte im Verhältnis von etwa 2 zu enthielt.

Die erfindungsgemäße Paste wurde bei 85O°C gebrannt. Es wurden die folgenden Testergebnisse erhalten:

	Anfangs haftung	Alters haftung kp	Lotbe- netzung
Erfindungsgemäße Paste	> 4,5	>2,3	ausgezeichnet
Vergleichspaste	2,3-3,2	0,9-1,4	befriedigend
	§0«	}838/0B?4

Beispiel 3

Es wurde eine erfindungsgemäße Leiterpaste auf Basis eines Cu-Leitermetalls hergestellt, wobei diese in Gewicht enthielt: etwa 15 % Träger, etwa 72 % Cu und als Rest Flußmittel, wobei dieses etwa 2 %, bezogen auf Gesamtmenge, an ZnO und als Rest Bi₂O₃ und Glasfritte im Verhältnis von etwa 2 zu 1 enthielt.

Diese neue erfindungsgemäße Paste wurde mit einer bereits existierenden Paste verglichen, welche die besten Testergebnisse für eine Paste auf Cu-Basis ergab und in Gewicht enthielt: etwa 25 % Träger, etwa 68 % Cu und als Rest 6,3 % Glasfritte.

Die neue Paste wurde bei 85O°C gebrannt. Es wurden die folgenden Ergebnisse erzielt:

Anfangs- Alters- Lotbehaftung haftung netzung kp kp

Erfindungsgemäße „ -, .

Paste ²'^{3 N}'^A- ^gut

Vergleichspaste > 4,5 N.A. sehr schlecht

Hierbei ist darauf hinzuweisen, daß trotz der Abnahme der Anfangshaftung bei der Verwendung der erfindungsgemäßen Paste dies mehr als erforderlich durch die ausgeprägte Verbesserung der Lotbenetzung ausgeglichen wurde.

Beispiel 4

Es wurde eine erfindungsgemäße Leiterpaste auf Basis von Au als Leitermetall hergestellt, die etwa 7 % Träger, etwa 85 % Au und als Rest Flußmittel enthielt, wobei dieses etwa 1,4 %, bezogen auf Gesamtmenge, an ZnO und als Rest Bi₂O₃ und Glasfritte im Verhältnis von etwa 2 zu 1 enthielt.

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Diese neue, erfindungsgemäße Paste wurde mit einer bereits existierenden Paste verglichen, welche die besten Testergebnisse für eine Paste auf Au-Basis ergab und etwa 10 % Träger, etwa 85 % Au und als Rest Flußmittel enthielt, wobei dieses etwa 0,1 %, bezogen auf Gesamtmenge, an CuO, etwa 1,3 %, bezogen auf Gesamtmenge/an CdO und als Rest ΑΙ,Ο, und Glasfritte im Verhältnis von etwa 2 zu 5 enthielt.

Die erfindungsgemäße Paste wurde bei 85O°C gebrannt. Es wurden die folgenden Ergebnisse erhalten:

Anfangs- Drahthafthaftung fähigkeit kp

Erfindungsgemäße Paste 2,3-3,2 ausgezeichnet

Vergleichspaste 2,3-3,6 befriedigend

In den Beispielen 1-4 betreffen die Ergebnisse, welche für die vorbekannten, besten Materialien angegeben sind, Proben, welche bei der die besten Ergebnisse liefernden Temperatur gebrannt wurden. Diese variierte von .850°C-985^OC.

Zusätzlich zu den zuvor beschriebenen, erfindungsgemäß hergestellten Leiterpasten ergaben die folgenden Pasten ebenfalls unübliche und überraschende Ergebnisse bei Anwendung der Erfindung: ."■.-..-

In einem Pt/Pd/Ag-System enthält eine Paste in Gewicht: etwa 15 % Träger, etwa 70 % Metall, wobei das Metall aus Pt, Pd und Ag im Verhältnis von etwa 1 zu 5 zu 29 besteht, sowie etwa 15 % Flußmittel, wobei dieses aus etwa 1,9 %, bezogen auf die Gesamtpaste, an ZnO und als Rest aus Bi₂O₃ und Glas im Verhältnis von etwa 2: 1 angesetzt ist.

In einem Pd/Ag-System enthält eine Paste in Gewicht: etwa 15 % Träger, etwa 69 % Metall, wobei das Metall aus Pd und Ag im Verhältnis von etwa 6 zu 11 besteht, sowie etwa 16 % Flußmittel,

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wobei dieses aus etwa 3 %, bezogen auf Gesamtpaste, an ZnO und als Rest aus Bi₃O₃ und Glasfritte im Verhältnis von etwa 2 zu angesetzt ist.

In einem Pt/Pd/Ag-System enthält eine Paste in Gewicht: etwa 15 % Träger, etwa 70 % Metall, wobei dieses Metall aus Pt, Pd und Ag in dem Verhältnis von etwa 1 zu 3 zu 31 besteht, sowie etwa 15 % Flußmittel, welches etwa 2 %, bezogen auf Gesamtpaste, an ZnO enthält und der Rest aus Bi₃O₃ und Glasfritte im Verhältnis von etwa 2 zu 1 besteht.

Zusätzlich zu den erfindungsgemäßen unter Verwendung von ZnO hergestellten Flußmittelsystemen wurde gefunden, daß die Verwendung von ZnO in bereits existierenden Flußmittelsystemen äußerst günstige Ergebnisse ergab. Dies ist ein weiteres unerwartetes und überraschendes Merkmal der Erfindung. Die folgenden Beispiele zeigen die verbesserten, physikalischen Eigenschaften, welche lediglich durch Zugabe von ZnO zu bereits existierenden Flußmittelsystemen erzielt wurden.

Beispiel 5

Eine bereits existierende Leiterpaste, basierend auf Pt/Pd/Au als Leitermetall, enthielt in Gewicht: etwa 14 % Träger, etwa 75 % Metall, wobei das Metall aus Pt, Pd und Au im Verhältnis von etwa 1 zu 1 zu 6 bestand, sowie 11 % Flußmittel, wobei dieses 1,4 %, bezogen auf Gesamtpaste, an CuO enthielt, und der Rest Bi₂O₃ und Glasfritte in einem Verhältnis von etwa 2 zu 1 war.

Zu der Paste wurde ZnO in ausreichender Menge zugesetzt, um etwa 2 % der Gesamtmenge auszumachen. Die folgenden Ergebnisse wurden erhalten, wobei die Brennbedingungen die gleichen waren:

Anfangs- Alters- Lotbenetzung haftung haftung kp kp

Mit ZnO 2,7-3,2 unverändert gut

(erfindungsgemäß)

Ohne ZnO 0,9-1,4 unverändert gut

(Stand der Technik) J_09838/0 67 A

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— I D —

Beispiel 6

In einem Pd/Ag-System enthielt eine bereits existierende Paste in Gewicht: etwa 12 % Träger, etwa 75 % Metall, wobei das Metall aus Pd und Ag in einem Verhältnis von etwa 13 zu 24 bestand, sowie etwa 13 % Flußmittel, wobei dieses etwa 1,5 %, bezogen auf Gesamtpaste, eines Gemisches aus CuO/TiC^/A^CU und etwa 3,7 %, bezogen auf Gesamtpaste, an CdO enthielt, wobei der Rest Bi₂O₃ und Glasfritte in einem Verhältnis von etwa 1 zu 1 war.

ZnO wurde in einer ausreichenden Menge zugesetzt, um einen Gehalt von etwa 2 Gew.-%, bezogen auf Gesamtpaste, zu erreichen. Die folgenden Ergebnisse wurden erhalten, wobei die Brennbedingungen die gleichen waren:

Anfangs- Alters- Lotbenetzung haftung haftung kp kp

Mit ZnO 4,5 2,7-4,1 gut

(erfindungsgemäß)

Ohne ZnO 3,6 0,9-1,4 gut

(Stand der Technik)

Die angegebenen Werte zeigen, daß die Verwendung von ZnO entweder in bereits existierenden Leiterpasten oder in neuen Leiterpasten, die hierfür ausgelegt wurden, verbesserte und günstige Ergebnisse zeigt ., und daß ein technisch überlegenes Produkt gegenüber vorbekanntem Produkt hergestellt werden kann.

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Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zur Verbesserung der physikalischen Eigenschaften einer Leiterpaste, dadurch gekennzeichnet ,
daß zu der Leiterpaste ZnO in einer ausreichenden Menge zugesetzt wird, um etwa T bis 3 Gew.-% der Gesamtmenge zu erreichen ,

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiterpaste für ein Brennen bei 85O°C ausgelegt ist, und daß: das ZnO in einer ausreichenden Menge zugesetzt wird, um etwa 2 Gew.-% der Gesamtmenge zu erreichen.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die Leiterpaste für ein Brennen bei 985 C ausgelegt ist, und daß das ZnO in einer ausreichenden Menge zugesetzt wird, um etwa 3 Gew.-% der Gesamtmenge zu erreichen.

ORIGINAL

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MANlTZ · FINSTERWALD · HEYN - MORGAN ■ 8000 MÜNCHEN 22 ■ ROBERT-KOCH-STRASSE 1 · TEL. (089) 224211 - TELEX 05-29672 PATMF

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4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet/ daß eine Leiterpaste hergestellt wird, welche in Gewicht enthält: etwa 75 % Metall, wobei das Metall aus Pt, Pd und Au im Verhältnis von etwa 1 zu 1 zu 6 zusammengesetzt ist; etwa 14 % Träger und etwa 11 % Flußmittel, wobei das Flußmittel aus etwa 1,4 %, bezogen auf die Gesamtpaste, CuO, und Bi₂O₃ und gepulverter Glasfritte in einem Verhältnis von etwa 2 zu 1 zusammengesetzt ist.

5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiterpaste in Gewicht enthält: etwa 75 % Metall, wobei das Metall aus Pd und Ag in einem Verhältnis von etwa 13 zu 24 zusammengesetzt ist; etwa 12 % Träger und etwa 13 % Flußmittel, wobei das Flußmittel aus etwa 1,5 %, bezogen auf die Gesamtpaste, eines Gemisches CuOZTiO₂ZAl₂On, etwa 3,7 %, bezogen auf die Gesamtpaste, CdO und Bi₂O., und gepulverter Glasfritte im Verhältnis von etwa 1 zu 1 zusammengesetzt ist.

6. Leiterpaste, dadurch gekennzeichnet , daß sie in Gewicht enthält: Metall im Bereich von 69 % bis 85 %; Träger im Bereich von 7 % bis 16 % und Flußmittel im Bereich von 8 % bis 16 %, wobei das Flußmittel ZnO bis zu einer Maximalmenge von 3 % und Bi₃O₃ und gepulverte Glasfritte im Verhältnis im Bereich von etwa 1 zu 1 bis etwa 2 zu 1 enthält.

7. Leiterpaste nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall etwa 70 Gew.-% ausmacht und aus Ag und Pd im Verhältnis von etwa 3 zu 1 zusammengesetzt ist, daß der Träger etwa 16 % ausmacht, daß das Flußmittel etwa 14 % ausmacht und aus etwa 2 %, bezogen auf die Gesamtpaste, ZnO, und Bi₂O₃ und gepulverter Glasfritte im Verhältnis von etwa 2 zu zusammengesetzt ist.

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8. Leiterpaste nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall etwa 72 Gew.-% ausmacht und aus Pt, Pd und Au im Verhältnis von etwa 1 zu 1 zu 6 zusammengesetzt ist, daß der Träger etwa 13 % ausmacht, daß das Flußmittel etwa 15 % ausmacht und aus etwa 1,7 %, bezogen auf die Gesamtpaste, ZnO, und B12O.3 und gepulverter Glasfritte im Verhältnis von etwas größer als 1 zu 1 zusammengesetzt ist.

9. Leiterpaste nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall etwa 72 % Cu ist, daß der Träger etwa 15 % ausmacht, daß das Flußmittel etwa 13 % ausmacht und aus etwa 2 %, bezogen auf die Gesamtpaste, ZnO, und BI2O., und gepulverter Glasfritte im Verhältnis von etwa 2 zu 1 zusammengesetzt ist.

10. Leiterpaste nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall etwa 85 % Au ist, daß der Träger etwa 7 % ausmacht, daß das Flußmittel etwa 8 % ausmacht und aus etwa 1,4 %, bezogen auf die Gesamtpaste, ZnO, sowie ΒΪ20-, und gepulverter Glasfritte im Verhältnis von etwa 2 zu 1 zusammengesetzt ist.

11. Leiterpaste nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall etwa 70 Gew.-% ausmacht und aus Pt, Pd und Ag im Verhältnis von etwa 1 zu 5 zu 29 zusammengesetzt ist, daß der Träger etwa 15 % ausmacht, daß das Flußmittel etwa 15 % ausmacht und aus etwa 1,9 %, bezogen auf die Gesamtpaste, ZnO, sowie Bi.2^-1 und gepulverter Glasfritte im Verhältnis von etwa 2 zu 1 zusammengesetzt ist.

12. Leiterpaste nach-Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall etwa 69 Gew.r-% ausmacht und aus Pd und Ag im Verhältnis von etwa 6 zu 11 zusammengesetzt ist, daß der Träger etwa 15 % ausmacht, daß das Flußmittel etwa 16 % ausmacht und aus etwa 3 %, bezogen auf die Gesamtpaste, ZnO, sowie B12O2

. und gepulverter Glasfritte im Verhältnis von etwa 2 zu 1 zusammengesetzt ist.

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13. Leiterpaste nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall etwa 70 Gew.-% ausmacht und aus Pt, Pd und Ag im Verhältnis von etwa 1 zu 3 zu 31 zusammengesetzt ist, daß der Träger etwa 15 % ausmacht, daß das Flußmittel etwa 15 % ausmacht und aus etwa 2 %, bezogen auf die Gesamtpaste, ZnO, sowie Bi^O-. und gepulverter Glasfritte im Verhältnis von etwa 2 zu 1 zusammengesetzt ist.

14. Verwendung der Leiterpaste zur Herstellung eines elektrischen Leiters.

15. Elektrischer Leiter, hergestellt durch Ablagerung der nach dem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5 hergestellten Leiterpaste auf einer Unterlage, dadurch gekennzeichnet , daß die Leiterpaste bei einer ausreichenden Temperatur zum Ausbrennen des Trägers und zum Zurücklassen eines auf der Unterlage gebundenen Leitermusters gebrannt wird.

16. Elektrischer Leiter, hergestellt durch Ablagerung der Leiterplaste nach einem der Ansprüche 6 bis 13 auf einer Unterlage, dadurch gekennzeichnet , daß die Leiterpaste bei einer ausreichenden Temperatur zum Ausbrennen des Trägers und zum Zurücklassen eines auf der Unterlage gebundenen Leitermusters gebrannt wird.

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