DE2736867A1 - Reproduktionsmaterial, insbesondere abbildungsfilm zur verwendung im graphischen gewerbe, sowie verfahren zu dessen herstellung - Google Patents
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/54—Absorbers, e.g. of opaque materials
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
Patentanwälte Dipl. Ir-K- Hans-Hin'τ. Müller
Dr. roi. aal. Tlioiu.-u- ÜrremU
Dr- lnir Hr. ns I.eyh -4
lucile-Gralin-Str.iße 3'i D 6 Münzen 80
Case 10
Energy Conversion Devices, Inc., Troy, Mich. 48 084 (V.St.A.)
Reproduktionsmaterial, insbesondere Abbildungsfilm
zur Verwendung im graphischen Gewerbe, sowie Verfahren zu dessen Herstellung
809812/0630
Die Erfindung bezieht sich auf einen Abbildungsfilm bzw. einen als Bildträger dienenden Film und
auf ein Verfahren zu dessen Herstellung; solche Filme sind besondere nützlich im graphischen Gewerbe .
Sie im graphischen Gewerbe vielleicht am umfangreichsten
verwendeten Filme sind Silberhalogenid- bzw. Silberhalogenfilme und Diazolfilme.
Silberhalogenid-Emulsionsfilme, die die am häufigsten
verwendeten der beiden sind, verlangen ein Mehrfachst ufenbehandlungsverfahren, das sowohl lang als auch
kompliziert ist und die Tätigkeit von Fachleuten verlangt. Darüber hinaus sind die Silberhalogenid-Emulsionsfilme abhängig von der Verwendung von Silber
enthaltenden Verbindungen. Silber ist jedoch nur in geringem Maße verfügbar und die Metallreserven verringern sich mit einer alarmierenden Geschwindigkeit.
Diese Betrachtungen führten dazu und werden vermutlich in Zukunft noch stärker dazu führen, daß sich
die Kosten von Silber und daher auch die Kosten solcher Filme wesentlich erhöhen. Eine andere, zwar
weniger bekannte, aber weithin festgestellte, Unzulänglichkeit des Silberhalogenid-Emulsionsfilms
besteht darin, daß die entwickelten Filme dasselbe schwarze Aussehen sowohl an der Trägerseite als
auch an der Emulsionsseite des Films haben. Dies verursacht sogar für geschulte Fachleute ein Problem,
da sie nicht leicht die Trägerseite von der Emulsionsseite des Films unterscheiden können.
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Bei Diazolfilmen beruht das Entwickeln solcher Filme auf der Bildung eines Farbstoffs und erfordert dies die Verwendung wäßrigen oder gasförmigen Ammoniaks als Entwickler für den belichteten Film. Neben diesen unerwünschten Eigenschaften
erfordert die Verwendung eines aolchen Entwicklers eine Spezialeinrichtung, um eine gleichmäßige Verteilung von Ammonirakdaicpf in der Entwicklungskammer
sicherzustellen und die Ansammlung irgendwelcher kondensierter Ammoniakdämpfe darin zu verhindern.
Außerdem muß Vorsorge da&gaa getroffen werden, daß
Ammoniakdämpfe in die Umgebung des Werkbereiches entweichen. Trotzdem sind Ammoniakdämpfe beständig
im Werkbereich feststellbar. Außerdem können Diazolfilme nicht punktweise bzw. rasterförmig geätzt werden und haben auf solchen Filmen hergestellte Bilder
einen geringen Kontrast. Über diese Betrachtungen hinaus weisen z.Zt. kommerziell erhältliche Diazolfilme, wenn sie entwickelt sind, eine hohe optische
Minimumdichte von üblicherweise um 0,4 für Ultraviolett licht mit einer Wellenlänge von 360 nm auf.
Dies ist deshalb der Fall, weil die zersetzten Diazoverbindungen noch eine starke Absorption im UV-Bereich aufweisen. Die "Plattenausbrennzeit", die für
solche Filme erforderlich ist, ist daher außerordentlich lang, da die kommerziell erhältlichen
Platten UV-Bestrahlung verlangen.
Gemäß der Erfindung wird nun ein Abbildungsfilm und ein Verfahren zu dessen Herstellung betroffen,
der sich wesentlich von den bisher im graphischen Gewerbe angewendeten Abbildungsfilmen unterscheidet.,
und zwar nicht nur vom Standpunkt des daraus erhältlichen Endprodukts, sondern auch von der Warte
dessen Bearbeitungseigenschaft, trocken auf trocken nach dem Belichten mit einfachen leicht zu behandelnden nicht nachteilig wäßrigen oder im wesentlich wäßrigen Ätzmitteln im Einstufen- oder
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Mehrstufensystem in weniger ale einer Minute.
Der Film gemäß der Erfindung hat einen extrem hohen Krntrest und eine große Randschärfe, die
bei den üblichen im graphischen Gewerbe angewendeten Filmen, wie Halogensilber-Emulsionsfilmen und Diazofilmen nicht erreichbar sind.
Das Auflösungsvermögen bzw. die Schärfe des Abbildungsfilms gemäß der Erfindung ist so hoch wie
600 Linien pro Millimeter oder etwa das 3-fache des Auflösungsvermögens von Halogensilber-Emulsionsfilmen. Der Abbildungefilm gemäß der Erfindung weist
darüber hinaus ein Gramma ( / ) bzw. einen maximalen Gradienten der Gradation von angenähert 20 oder
mehr im Vergleich zu 10 für Halogensilber-Emulsionsfilme und 2 bis 3 für Diazofilme auf. Der Film hat
außerdem eine konstante Maximumdiohte (optische Dichte) von 5 oder mehr, die bei der Herstellungsstufe des Films bestimmt wird. Halogensilber-Emulsionsfilme und Diazofilme haben andererseits eine
maximale optisohe Dichte in der Größenordnung von 3, die veränderlich ist und in der Behandlungsstufe
bestimmt wird. Die optisohe Minimum-Dichte des erfind ungsgemäßen Films ist 0,02 und sie ist konstant.
Die Minimum-Diohte wird auch während der Heretellungsstufe des Films bestimmt. Halogensilber-Emulsionefilme und Diazofilme haben eine Minimum-Dichte von
etwa 0,04, die wie im Fall der Maximum-Dichte solcher Filme veränderlich 1st und erst in der Entwicklungsstufe der Filme bestimmt wird. Die minimale
optisohe Dichte (oder auch Densität bzw. !Transparenz genannt) von Diazofilmen ist stark von der Wellenlänge dee Lichtes abhängig, das zur Messung der
optischen Dichte verwendet wird. Die optisohe Minimum-Diohte nimmt von 0,04 bis zur Größe von
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0,4 beim Abfall der Wellenlänge von 500 nm auf
360 nm zu. Außerdem ist die Bemerkung von Bedeutung,
daß der Belichtungsumfang bzw. -epielraum des Films,
in log(E.t)(log It in englischer Fassung), ist zweimal so groß wie derjenige von Halogensilber-Emulsionsfilmen und Diazofilmen, d.h. 0,6 log (E.T) im Vergleich zu 0,3 log (E.T). Der Film hat außerdem exzellente Archiveigenschaften und hervorragende Dimensionsstabilität auch unter feuchten Bedingungen. Das
Kraquelieren bzw. die Bildung von Haarrissen in der fotoresistiven Schicht, die zu Fehlern im mit
dem Bild versehenen Film führt und ein nicht unhäufig festgestelltes Problem bei konventionellen metallisierten Filmen mit einer metallischen fotoresistiven Grenzfläche bzw. Grenzschicht auf einem flexiblen Träger
auftritt, ist bei dem Film nach der Erfindung im wesentlichen nicht vorhanden und zwar wegen der hervorragenden Bindung zwischen der fotoresistiven und
der aufgerauhten Fläche der Wismutschicht bzw. Wismut
enthaltenden Schicht. Ebenfalls in klerem Unterschied
zu konventionellen metallisierten Filmen vermindert der Film gemäß der vorliegenden Erfindung die unerwünschte Reflexion von einfallender Strahlung durch
die metallische Schicht sowohl während des Beliohtens als auch wenn der Film als Mueter verwendet wird,
beträchtlich. Der Film hat ferner eine leicht unterscheidbare Dunkelheit, oder eine im wesentlichen
nioht reflektierende Seite, und eine stark reflektive oder leuchtende Seite, die der Bedienungsperson die
Feststellung erleichtert, auf welcher Seite des Films sich das lichtempfindliche Material befindet; außerdem kann das Bild auf dem Film leichter
visuell festgestellt werden. Der Film kann als zu duplizierender Positiv- oder Negativfilm und gemäß
einer Ausbildung der Erfindung als ein fotographischer Filmkamerafilm verwendet werden. Das punkt-
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förmige Ätzen bzw. Rastern des Films kann ohne
irgendeinen begleitenden Punktdurohgangs-Sichteverlust
durchgeführt werden, der beim Punktätzen mit Halogensilber-EmulsionsfUrnen auftritt; dieses
Ergebnis kann darüber hinaus mit Ätzmitteln bzw. Ätzlösungen erzielt werden, die nicht teuer und
sicher zu verwenden sind, die rasch wirken und noch leicht steuerbar sind und die die lästigen
Misch-, Speicher- und Bedienungsprobleme vermeiden,
die die Ätzmittel charakterisieren, welche beim Punktätzen von Halogonsilber-Emulsionsfilmen angewendet
werden. Über die oben genannten Vorteile und herausragenden Eigenschaften des Films hinaus
verlangt der erfindungsgemäße Film kein Silber enthaltendes Material für das endgültige bildformende
Material und kann daher mit Kosten hergestellt werden, die im wesentlichen niedriger sind
als die Kosten der Herstellung von Halogenailberfilmen
und zwar mit Kosten, die vergleichbar sind mit den billigeren Diazofilmen.
Kurzum, der Abbildungsfilm gemäß der Erfindung weist einen flexiblen transparenten Träger aus
Kunststoff auf, der an einer Oberfläche derselben eine dünne durchgehende optisch sehr dichte niedergeschlagene
Schicht aus Wismut oder einer Wismutlegierung aufweist. Sie Schicht aus Wismut ist
stark opak und hat anfangs ein mattes graues Aussehen. Sie äußere Oberfläche der Wismutschicht
ist rauh bzw. aufgerauht und leicht geeignet zur Aufnahme eines fotoaktiven bzw. lichtempfindlichen
Materials, das sowohl als fotoresistive als auch als schützende Seoksohioht bzw. Überzug für das
Wismut wirkt. In diesem Zusammenhang wurde überraschenderweise gefunden, daß gemäß der Anwendung
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der fotoaktiven Materialschicht auf der Wismutschicht die fotoaktive Materialschichtseite des
Films schwarz, nichtleuchtend und im wesentlichen
nicht reflektierend ist und überraschenderweise den Eindruck eines Halogensilber-Emulsionsfilms
macht. Es wurde außerdem gefunden, daß die rauhe Oberfläche der Wismutschicht eine hervorragende
Basis für die lichtempfindliche Materialschicht bietet und die Bildung einer Bindung zwischen den
zwei Schichten gewährleistet, die das Bilden von Haarrissen in der lichtempfindlichen Materialschicht
im wesentlichen verhindert. Diese Eigenschaft des erfindungsgemäßen Films ist wesentlich für
Anwendungen im graphischen Gewerbe; dort ist es üblich große Filmschichten während des Behandeins
zu biegen. Wie dargelegt, kann die lichtempfindliche Schicht ein negativ wirksames oder ein positiv wirksames Material sein. Gemäß einer Ausbildung der Erfindung kann die lichtempfindliche
Schicht mit einem Film einer fotographischen Emulsion versehen sein, um der gesamten Struktur Eigenschaften zu verleihen, die zur Anwendung in Filmkameras bzw. bei Kamerageschwindigkeiten verlangt
werden.
Das Wismut kann auf dem Substrat durch irgendeine der verschiedenen Teohniken einschließlich Vakuumaufdampfen, Vakuumniederschlagen oder Zerstäuben
aufgetragen werden. Gemäß einem bevorzugten Verfahren nach der Erfindung wird eine erste oder
Anfangsschicht aus Wismut durch Zerstäuben auf
dem Träger erzeugt. Eine zweite oder Deckschicht 8US Wismut wird danach durch Aufdampfen auf der
ersten Sohicht niedergeschlagen. Das Aufstäuben
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und Aufdampfen von Wismut wird zweokmäßigerweiee
kontinuierlich nacheinander oder in Stufen in einem ununterbrochenen Verfahren in der gleiohen
Kammer durchgeführt. Die Teohnik des ersten Aufstäubens eines Metalle auf einer Oberfläche und
das anschließende Anbringen einer Schicht des gleiohen Metalls oder eines anderen Metalls auf der
aufgestäubten Schicht ist beispielsweise in der veröffentlichten japanischen Patentanmeldung
47/101550 beschrieben. Diese Anmeldung gibt jedoch keine Lehre in bezug zur Verwendung von Wismut
für diesen Zweck. Während das Zerstäuben einer Anfangsschicht aus Wismut auf dem Träger am zweckmäßigsten ist, werden die Aufgaben der vorliegenden Erfindung am vorteilhaftesten durch die Verwendung
des Zerstäubene gelöst, da die aufgestäubte Wismutsohicht eine bessere Adhäsion zwischen dem Träger
und der Wismutschicht mit dem Ergebnis zustande bringt, daß der vollständige Film im wesentlichen
frei von Defekten, wie Durchschlagesteilen und Kratzern, bleibt, die während der Filmherstellung
auftreten können.
Der flexible Kunststoffträger, der bei der Herstellung
des erfindungsgemäßen Films verwendet wird, iat
zweokmäßigerweiee transparent bzw. glasklar und zweckmäßigerweise nicht gasauelassend, d.h. er
soll kein Gas, gewöhnlioherweise Luft oder Wasserdampf, unter Vakuumbedingungen emittieren oder
irgendein anderes flüchtiges Material freigeben. Darüber hinaus sollte der Träger frei von Foren
bzw. Lücken und von OberfIachenlrregularitäten
sein, die Anlaß zur Bildung von Durchschlagesteilen
in der endgültigen Struktur geben können. Über die
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vorgehenden Betrachtungen hinaus sollte der Film eine gute Dimensionsstabilität heben,
weswegen biaxial ausgerichtete Filme bevorzugt werden. Als Beispiele für Kunststofflager, die
für Zwecke der vorliegenden Erfindung verwendet werden können, sind Polyester, insbesondere PoIyäthylenterphthalate, Polystyrole, Polyäthylene,
Polypropylene und dergleichen. Besonders bevorzugt ist ein Polyesterfilm, der unter der Marke
"MelinexO" 400 Gaugemaß von der ICI United States,
Inc. vertrieben wird. Dieser Film ist gekennzeichnet durch seine außerordentlich glatte bzw. ebene Oberfläche, seine Klarheit, seine Porenfreiheit und
seine hervorragende Dimensionsstabilität. Die
Dicke des Trägers kann zwischen 0,05 und 0,18 mm, vorzugsweise zwischen 0,07 und 0,13 mm, betragen.
Das zur Herstellung des erfindungsgemäßen Films
verwendete Wismut sollte eine hohe Reinheit, vorzugsweise vom kommerziellen Grad einer Reinheit
von 99»99 #, sein. Wie zuvor erwähnt und in grösseren Einzelheiten später nooh beschrieben wird,
wird das Wismut vorzugsweise an einer Oberfläche des Substrate in zwei Stufen niedergeschlagen.
In der ersten Stufe wird das Wiemut auf dem Film in einer solchen Weise abgeschieden, daß mindestens ein Teil des Wismuts in die Oberfläche
des Trägers bzw. des Kunststoffilms eindringen
kann. Diese Anfangssohioht aus Wismut dient
zur Sohaffung von Kristallisationszentren bzw. -kernen zum Abschalten zusätzlichen Wismuts an
der Trägeroberfläohe und mufl daher nloht kontinuierlich oder ala feste Schicht ausgebildet sein.
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Sie Anfangsschicht dient außerdem zur Gewährleistung der Vorzugsorientierung von Wismutatomen zur Schaffung von Lichtabsorption oder
einer "schwarzen" Wismutschioht. Im allgemeinen gesprochen wird die optische Dichte der Anfangsschicht aus Wismut sich im Bereich von etwa 0,01
his etwa 0,05 befinden und eine durchschnittliche
Dicke von etwa 5 bis etwa 100 A (Angström), üblicherweise zwischen etwa 10 bis 50 A mit einer bevorzugten
Dicke von etwa 35 A, haben.
Die äußere Schicht aus Wismut wird auf die Anfangsschioht in einer solchen Weise Vakuum aufgedampft,
daß eine rauhe äußere Oberfläche auf der obersten Sohicht entsteht. Wenn die optische Dichte zunimmt,
nimmt auch die Rauhigkeit der niedergeschlagenen Wismutschicht zu. Die Wismutschicht hat ein glänzendes metallisches Aussehen über dem Bereich der optischen Dichte von 3 oder weniger, im Bereich der
optischen Dichte von 3,5 und darüber hat sie ein mattes, nicht glänzendes oder nicht metallisches
Aussehen. Wie oben dargelegt, kann das matte, nicht glänzende Aussehen des Films ohne die aufgestäubte
Wismutsohicht erzielt werden. Die Dicke der äußersten Schicht kann im Bereioh zwischen etwa 1500 A
und etwa 3500 A, üblicherweise zwischen etwa 1700 A und etwa 2500 A, betragen. Die bevorzugte optische
Dichte der gesamten Wismutsohicht befindet sich im Bereich zwischen etwa 3*5 und etwa 7; eine optische
Dichte von etwa 5 ist besonders bevorzugt. Wie bereits dargelegt, können auoh Wismutlegierungen verwendet werden. Spezielle Beispiele solcher Legierungen
sind Wismut mit Zinn, Wismut mit Blei, Wismut mit Zinn und Blei und dergleichen.
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In Pig. 1 und 2 der beiliegenden Zeichnung ist der erfindungegemäße Abbildungsfilm 10 in stark vergrößerten
perspektivischen Ansichten in den Stufen seiner Bildung dargestellt. Die Zeichnung ist so zu
verstehen, daß sie zur Veranschauliohung des Films zur Erläuterung der Erfindung in der Beschreibung
dient und daß der Film und die Materialschichten, die er aufweist, eine zu der dargestellten unterschiedliche
Form aufweisen kann, je nach den Herstellungstechniken und den zur Herstellung des Films verwendeten
Materialien.
Gemäß Fig. 1 weist das Substrat bzw. der Träger 12 8US Kunststoff eine an einer Oberfläche desselben
niedergeschlagene Anfangs- oder Verankerungsschicht Ha aus Wiemut auf. Mindestens ein Teil der Wismutatome
sind in die äußere Oberfläche des Trägers 12 eingedrungen und in den Träger eingebettet.
Gemäß Fig. 2 wird die Anfangs-, Grenz- oder Verankerungsschicht
Ha aus Wismut durch die Bereichszone veranschaulicht, die mit "a" bezeichnet ist. Auf der
Schicht ^\Ab ist eine Zwischenzone "b" von meistenteils
regellos ausgerichteten Wismutkristallen Hb niedergeschlagen. Diese Zwischenzone kann eine Dioke im Bereich
zwischen etwa 1200 und 1800, üblicherweise etwa 1600 A, aufweisen. Die optische Dichte dieser Zone
befindet sich im Bereich zwischen etwa 3 und 4 oder auch mehr oder weniger. Wenn der Wismutniederschlag
zunimmt, wird die Zone "c" von säulenartigen Körnern
Hc, bestehend aus vorzugsweise vertikal ausgerichteten Kristalliten mit gewölbten Spitzen oder Enden
und tief hineinragenden Korngrenzen gebildet.
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Diese Zone kann eine Dicke im Bereich zwischen etwa 300 bis 1800, vorzugsweise etwa 600 A aufweisen. Die optische Dichte der Gesamtschicht 14
aus Wismut ist wie oben erwähnt vorzugsweise etwa 5. Die stark gerauhte Oberfläche, die durch
die säulenförmigen Körner gebildet ist, stellt eine hervorragende Oberfläche zur Verankerung
der Schicht 16 aus lichtempfindlichem oder fotoaktivem Material dar. Die sich ergebende integrierte Struktur vermindert die Möglichkeit der
Bildung von Rissen oderlfeacrissen in der Schicht 16
erheblich.
Die zur Verwendung bei der Herstellung des Abbildungefilms gemäß der Erfindung dienenden fotoaktiven
oder lichtempfindlichen Materialien können aua einer großen Gruppe ausgewählt werden. Wie bereits
dargelegt, wirkt das lichtempfindliche Material nicht nur als Lichtwideretand (fotoresist) für den
Abbildungsfilm, sondern dient es auch als schützende Überdeckung für die darunter liegende vergleichsweise weiche Wismutschicht. In diesem Zusammenhang
ist es erwünscht, solche fotoaktive Materialien auszuwählen, die eine Härte, gemessen auf der Mohe-Skala,
von nicht weniger als etwa 3,5 und vorzugsweise nioht weniger als 4 aufweisen. Das lichtempfindliche Material sollte ferner eine Spektralempfindlichkeit
über den Wellenlängenbereich von etwa 300 bis etwa 450 mn aufweisen. Die Dicke der fotoaktiven Materialschicht ist etwas variabel. Die im allgemeinen optimale Aufgabenlösung gemäß der Erfindung wird jedoch mit lichtempfindlichen Materialachichtdioken
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im Bereich von etwa 0,5 bis etwa 5 /um mit einem Vorzugsbereich zwischen etwa 1,5 und etwa 2 /um
erzielt. Wie bereits beschrieben können sowohl negativ wirksame als auch positiv wirksame lichtempfindliche
Materialien bei der Herstellung des Films nach der Erfindung benutzt werden.
Typische Beispiele für negativ wirksames lichtempfindliches
Material, das zu Zwecken nach der Erfindung verwendbar ist, sind bestimmte Diazoverbindungen,
insbesondere die hohen Molekulargewichts Kondensationsprodukte von Diazoverbindungen
und Formaldehyd, exemplifiziert durch das Kondensationsprodukt von Diphenylamin-4-Diazosalzen und
Formaldehyd. Außerdem nützlich als lichtempfindliche Materialien sind in organischen Lösungsmitteln
lösbare Diazoverbindungen, die durch Reagieren von oben erwähnten Verbindungen mit hohem Molekulargewicht
mit organischen Verbindungen herstellbar sind, die Phenolhydroxydgruppen, Phosphonsäuregruppen,
Phosphingruppen, Carboxylsäuregruppen, Sulfonsäuregruppen oder dergleichen aufweisen.
Spezielle Beispiele solcher Diazoverbindungen sind in den US-PSen 3 510 307, 3 591 575 und
3 669 660 beschrieben. Diese lichtempfindlichen Verbindungen können allein oder in Mischung mit
anderen organischen Polymeren, wie Polyvinylacetat, verwendet werden.
Andere nützliohe, negativ wirksame, lichtempfindliche
Materialien sind syrrtfetisohe organische
Polymere, die mit organischen Azidoverbindungen sensibiliaiert sind. Beispiele solcher organischer
Polymere sind cyclisierte Polyisoprene, Polybutadiene,
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Polyvinylpyrrolidone, Polyacrylamide, Copolymere von Acrylsäure und dergleichen. Spezielle Beispiele von organischen Azidoverbindungen, die verwendet werden können, sind 4,4'-Diazochalkon ', 2,6-di-(4·-Azidobenzol)4-Methylcyclohexanon, p-Azidobenzophenon,
4,4'-Diazidostilben-2,2l-Disulfonsäure und dgl.
Außerdem zweckmäßig als negativ wirksame lichtempfindliche Materialien sind Fotopolymerisationssysteme, die bereits bekannt sind. Ein typisches
Beispiel solch eines Systems ist eine Zusammensetzung, die ein Polymer mit äthylenisch ungesättigten Seitenketten und eine lichtempfindlich machende Komponente wie
Benzoin oder deren Derivate enthält.
Verschiedene negativ wirksame fotoempfindliche Materialien, die bei der Praktizierung der Erfindung
verwendet werden können, sind kommerziell erhältlich, so z.B. das aus Paraformaldehyd und 4-Diazodiphenylaminbisulfat (unter der Bezeichnung "Diazo 4 L" von
Fairmount Chemical Company erhältliche) hergestellte wasserlösliche Diazoharz hohen Molekulargewichts ist
geeignet. Außerdem kann das Fotopolymer verwendet werden, das das unter der Bezeichnung KPR (Eastman
Kodak) vertriebene Polyvinylcinnamat aufweist, und ebenfalls das Erzeugnis, das Polyisoprene niedrigen
Molekulargewichts und eine aromatische Diazidverbindung, vertrieben unter der Bezeichnung KMER (Eastman
Kodak), aufweist.
Positiv arbeitende lichtempfindliche Materialien,
die zur Herstellung der Struktur gemäß der Erfindung verwendet werden, können ebenso wie die negativ
arbeitenden Materialien aus einer großen Gruppe ausgewählt werden. Ein Beispiel für ein solches
- 4,4'-Diazo Benzalacetophenon
= 4,4'-Diazo-1v3-diphenyl-2-propen-1-on on
«09812/063 0 - 20 -
lichtempfindliches Material ist eine o-Chinon-Diazidverbindung.
Materialien dieses Typs sind beispielsweise in den US-PSen 3 210 239 und 3 046 120 beschrieben.'Beispiele
für o-Chinon-Diazidprodukte, die besonders geeignet sind, sind solche, die kommerziell
unter den Bezeichnungen "AZ-1350" und "AZ-135OJ"
(Shipley) vertrieben werden. Diese Produkte können modifiziert werden, um spezielle Forderungen bezüglich
Pestkörpergehalt, Viskosität, Härte u.dgl. durch Vermischen miteinander zu erfüllen.
Die Eigenschaften der fotoaktiven oder lichtempfindlichen
Materialechicht des Abbildungsfilms können
verändert werden, um spezielle Forderungen, insbesondere in bezug auf deren Viskosität und die Härte der endgültigen
fotoaktiven Materialschicht, zu erfüllen. Verschiedene Polymere einschließlich Polyvinylacetat,
Polyvinylchlorid, Phenoplaste (Phenolic resins) Styrolharze und dergleichen können in die fotoaktiven Materialien
eingebaut werden, um deren Eigenschaften wie gewünscht zu ändern.
In Fig. 3 der Zeichnung wird ein bevorzugtes System zur Herstellung des Abbildungsfilms gemäß der Erfindung
schematisch dargestellt. Das System weist eine Metallisierungsstation 20, eine Anbringungsstation 22 für das fotoaktive Material, eine erste
Trocknungsstation 24, eine zweite Trocknungsstation und eine Aufwickelstation 28 auf. Die Metallisierungsstation 20 besitzt eine luftdichte Metallisierungseinheit 30, die eine Kammer 30a aufweist, in welcher
eine Kunststoffträger-Zuführwalze 32, eine Wismut-Zerstäubungskathode
34, ein Wismut-Aufdampfelement 36, eine wassergekühlte Trommel 38, eine Monitorein-
*)
'Ein Beispiel eines anderen positiv wirksamen Materials,
'Ein Beispiel eines anderen positiv wirksamen Materials,
das verwendet werden kann, ist die Verbindung, die 2,3,4-Trihydroxybenzophenon-napthochinon-~ 21 ~
(1,2)-diazid-(2)-5-3ulfonsäureester und ein
m-Kresolformaldehyd-Novolakharz enthält.
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richtung 40 und eine Aufnahmewalze 42 angeordnet sind.
Eine Rolle flexiblen Kunststoff-Schichtmaterials wird zu anfangs auf die Zuführungswalze 32 gebracht.
Falls erwünscht, kann die Rolle aus Kunststoff-Schichtmaterial vor dem Einführen in die Kammer 30a zum Befreien eingeschlossener Grase umgewickelt werden.
—6Torr
von 10 gehalten und ein inertes Gras, wie hochreines Argon, wird in die Kammer 30a eingeführt, um
einen Basisdruck von etwa 5 bis 10.10" r zu entwickeln.
Wenn das flexible Kunststoff-Schichtmaterial von der
Walze 32 abgewickelt wird, wird es an der Wismut-Zerstäubungskathode 34 vorbeigeführt. Die Vorschubgesohwindigkeit ist variabel. Die Temperatur des Schiohtmaterials wird, wenn es an der Wismut-Kathode 34 vorbeiläuft, durch die Trommel 38 auf einer Temperatur
gehalten, die sich unterhalb der Formänderungstempera tür des Schichtmaterials befindet, aber genügend
hoch ist, um das; Schichtmaterial thermisch zu erweichen, damit die stark beschleunigten Wismutatome,
die von der Wismut-Kathode 34 emittiert werden, in
die Oberfläche des Schiohtmaterials eindringen können.
Wie bereite oben erwähnt, wird lediglich eine sehr dünne Wismutschioht auf dem Schichtmaterial in dieser
Herstellungsstufe des Films niedergeschlagen. Die aufgestäubte Wismutschioht, die auf dem Kunststoff-Sohichtmaterial hergestellt ist, sorgt für die nötige feste
Bindung oder Adhäsion zwischen dem Sohiohtmaterial und dem Wismut und schafft ferner Stellen mit Kristallisationekernen oder -Zentren, die als Verbin-
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dungsüberzug für die später durch Aufdampfen
niederzuschlagende Schicht aus Wismut wirken. Wie ebenfalls oben erwähnt, dient die aufgedampfte Wismutschicht dazu, daß die Wismutatome
notwendigerweise bevorzugt orientiert werden, um eine lichtabsorbierende Wismutschicht auf den Film
herzustellen. Das Ausmaß des Eindringens der Wismutatome in das Kunststoff-Schichtmaterial ist variabel,
vorzugsweise ist es jedoch in der Größenordnung von einigen Atomschichten in der Dicke.
Nachdem das Sohlchtmaterial die Zerstäubungskathode verlassen hat, wird es einem Temperaturabfall unterworfen und befindet sich nicht länger im thermisch erweichten Zustand. Wenn das Schichtmaterial
um die wassergekühlte Trommel läuft, tritt es in eine Wismutdampfwolke ein, die von dem Verdampfungselement 36 herrührt. Das Element 36 besitzt eine
widerstandserhitzte Kohlenstoffschale mit Einschlüssen von marktgängig reinem Wismutmetall in einem geschmolzenen Zustand. Die Kondensation des verdampften Wismuts findet auf der aufgestäubten Wismut-Grenzschicht mit den Wismutatomen statt. Die Temperatur des Wismuts wird auf einer Temperatur gehalten, die ausreichend hoch ist, um das Wismut zu
verdampfen und eine Dampfwolke zu bilden. In dem
gezeigten System kann die Temperatur an dieser Stelle 5000C überschreiten. Da sich das verdampfte
Wismut an der aufgestäubten Wismutschicht kondensiert, wird die Erzielung einer bevorzugt säulenartigen vertikalen Orientierung bzw. Ausrichtung,
wie schematiach in Fig. 2 dargestellt ist, angenommen. Anders ausgedruckt, kondensiert das ver-
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dampfte Wismut auf der aufgestäubten Wismutschicht, deren Korngrenzen als ein vertikales Muster vorzugsweise für laterales Wachstum angenommen werden.
Nach dem Fassieren des Verdampfungselements 36
tritt das mit Wismut überzogene Schichtmaterial an der Monitoreinrichtung 40 vorbei, die optisch
die Dioke der Wismutschicht feststellt. Das überzogene Schichtmaterial wird dann auf der Walze 42
wieder aufgewickelt. Nach dem Beendigen des Wismutauftragens wird die Kammer 30a mit trockenem Stickstoffgas bis auf einen Druck von etwa 1 at gefüllt.
Die Einheit 30 wird danach geöffnet und die Rolle des mit Wismut überzogenen Schichtmaterials wird
herausgenommen. In dieser Stufe hat die Wismutschicht ein mattes Aussehen mit einer grauen Oberfläche. Wenn
die Wismutschioht der Atmosphäre ausgesetzt wird, bildet sich ein dünner Film oder eine Monoschicht
aus Wismutoxyd auf den ausgesetzten Oberflächen der Wismutschicht. Die Bildung des Oxyds an der Wismutschicht verstärkt neben anderen Dingen das matte
graue Aussehen der Schicht.
Das mit Wismut überzogene Sohichtmaterial ist nunmehr zum Überziehen mit einer Schicht eines fotoaktiven Materials bereit. Wie dargelegt, kann dies
ein negativ oder ein positiv wirksames Material sein. Das Überziehen der Wismutschicht mit dem fotoaktiven
Material kann vorteilhafterweise durch einen in der Zeichnung an der Station 22 schematisch gezeigten Walzenkopf erzielt werden.
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Der Walzenüberzugsapparat wird vorzugsweise gesteuert, um einen dünnen Überzug des lichtempfindlichen
Materials auf der Wismutschicht ohne Verursachung einer Beschädigung zu bemessen.
Nach dem Auftragen des lichtempfindlichen Materials auf die Wismutschicht an der Station 22 bewegt sich
der Abbildungsfilm zur ersten Trocknungsstation, der Station 24, an der er der Hitze von einer Reihe
von Infrarotlampen 24a unterworfen wird. Die FiImtemperatur
an der Station 24 ist in der Größenordnung von 1000C. Die von den Lampen 24a zugeführte Wärme
veranlaßt die lichtempfindliche Materialschicht sehr stark, einige der flüchtigen Agenzien in der Schicht
abzugeben, wodurch die Möglichkeit des Einschlusses von flüchtigen Mitteln stark reduziert wird. Danach
läuft der Abbildungsfilm durch die Station 26, die einen Konvektionstrockner aufweist, der ebenfalls
eine Filmtemperatur von angenähert 100 C aufrechterhält. Die Vorschubgeschwindigkeit des Films durch
die Stationen 22, 24 und 26 ist variabel. Allgemein gesprochen, kann die Vorschubgeschwindigkeit jedoch
zwischen 6 und 30 m pro Minute betragen. Der getrocknete Film wird dann auf angenähert Raumtemperatur
gekühlt und an der Station 28 aufgewickelt. Gemäß der bevorzugten Ausbildung der Erfindung kann
Pergaminpepier während des Aufwickeins des getrockneten
Abbildungsfilms eingeschossen bzw. eingeschichtet werden. Die Vorgänge an den Stationen 22,
24, 26 und 28 werden vorzugsweise unter im wesentlichen staubfreien Bedingungen durchgeführt. Nach
diesem Überzugsvorgang weist die Filmoberfläche eine schwarze nichtglänzende nichtmetallische Erscheinung
auf, die derjenigen von Halogensilber-Emulsionsfilmen
gleichkommt.
- 25 809812/0630
273686?
Wie bereits dargelegt, kenn der Reproduktionefilm
so behandelt werden, daß er die zum fotographischen oder für Filmkameras erforderlichen Eigenschaften
aufweist. Eine Ausbildung solch eines Abbildungsfilmes
ist in Fig. 13 dargestellt. Wie gezeigt, weist der Film einen Träger 50 auf, der darauf
eine Wismutschicht 52 besitzt, die in der oben beschriebenen Weise aufgebracht wurde. Ein fotoaktives
Material 54 ist auf die oberste Wismutschicht aufgebracht und diese Schicht wiederum besitzt eine
Abdeckschicht 56 aus einer Halogensilber-Emulsion.
Zu diesem Zweck können übliche Halogensilber-Emulsionen verwendet werden. Es wird jedoch bevorzugt,
eine fotographische Emulsion zu verwenden, die in der Lage ist, eine optische Dichte von mehr als 1
zu entwickeln und durch einfache Verfahren entfernbar ist, die die lichtempfindliche Materialschicht
oder das darauffolgende Entwickeln dieser Schicht nicht beeinträchtigt. Halogensilber-Emulsionssysteme,
die einen internen Entwickler enthalten, genügen diesen Anforderungen. Die Dicke der fotographischen
Emulsionsschicht ist in gewissem Ausmaß variabel. Gemäß der bevorzugten Ausbildung der Erfindung ist
es jedoch wünschenswert, die Dicke dieser Schicht aus dem Bereich von etwa 1 bis 5 /un, üblicherweise
zwischen etwa 2 und 3 /um, auszuwählen. Es sei bemerkt, deß die Menge des für die vorliegende Erfindung
erforderlichen Halogensilbers wesentlich geringer als diejenige ist, die bei üblichen
HalogenBilberfilmen für graphische Zwecke einschließlich der Fototechnik verwendet werden.
Bei der Verwendung dieser Ausbildung der Erfindung
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wird der Film bildweise ektinischer Strahlung ausgesetzt,
die ausreichend ist, um die Halogensilber-Emulsion zu sensibilisieren. Das in der Emulsionsschicht
gebildete Bild wird dann entwickelt. Das resultierende Bild wird dann benutzt, um bildweise
die lichtempfindliche Schicht 54 zu belichten. Danach wird das in der Halogensilber-Emulsionsschicht gebildete
Bild entfernt und der Film wird entwickelt, um ein Bild in der Wismutschicht zu erzeugen.
In Fig. 4 bis 11 wird der "punktweise geätzte" bzw.
rasterartig abgetragene Abbildungsfilm gemäß der Erfindung gezeigt. Der in Fig. 4 veranschaulichte Film
ist in Fig. 5 in der Lage gezeigt, in der er durch eine Maske 60 hindurch aktinischer Strahlung ausgesetzt
ist, um ein latentes Bild in der lichtempfindlichen Materialschicht 16 auszubilden, die zu Illustrationszwecken
ein positiv wirksamer Fotowiderstand ist. In dem in Fig. 6 dargestellten entwickelten
Film werden der Träger 12 und der lichtempfindliche Materialüberzug 16a über jeden der Wismutstellen
bzw. "Punkte" 14d unauflösbar bzw. unlöslich und undurchlässig bzw. wasserdicht geätzt. Obwohl
ein seitlicher Angriff durch Ätzen an den Punkten möglich ist, um eine Flächenverminderung hinsichtlich
der Größe der Punkte zu bewirken, wirken daher der Träger 12 und der lichtempfindliche Materialüberzug
16a zusammen, um einen Direktkontakt mit der Innenseite bzw. Innenschicht und der Außenseite
bzw. Außenschicht der Punkte 14d durch Ätzen im wesentlichen zu blookieren, wodurch irgendwelche
optische Punktdurchgangs-Dichteverluste verhindert werden. Das Ergebnis dieses Zusammenwirkens zwischen
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dem Träger 12 und dem Überzug oder der Abdeckung 16a
auf jeden der Wismutpunkte 14d zur Vorsorge gegen optische Punktdurchgangs-Dichte bei gleichzeitiger
Flächengrößenreduktion durch einen Ätzvorgang, wird am besten durch Pig. 7 und 8 veranschaulicht. Wie
dargestellt, wurden die Funkte 14d, die dem Halbton-Punktbild von Pig. 6 entsprechen, einer beträchtlichen seitlichen Größenreduktion längs der
Horizontalebene parallel zur Innen- und Außenfläche der Punkte unterworfen, nicht jedoch einer Größenreduktion längs der Axialebene-
Die optische Durchgangsdichte Hd bleibt daher nach dem Ätzen im wesentlichen unverändert. Wegen des
nichtgranularen Charakters des Halbton-Punktformmaterials erlauben die Punkte darüber hinaus eine
viel schärfere Bestimmung als bei Silber-Halbtonpunkten üblicher Halogensilberfilmen erreichbar ist.
Dieses Merkmal der Punkte verbunden mit ihrer gleichmäßigen Härte verbessert beispielsweise aus dem Film
gemäß der Erfindung hergestellte Halbtonpositive gegenüber solohen Halbtonpositiven, die aus Halogensilberfilmeabei der lithographischen Plattenherstellung durch Tiefätzen hergestellt werden.
In Pig. 9 bis 12 wird ein Vergleich von Halbton-Punkten, die am Film gemäß der Erfindung und Halbton-Punkten, die an einem üblichen Halogensilber-Emulsionsfilm gebildet sind, dargestellt. Fig. 9
und 11 repräsentieren die Halbton-Punkte am Film nach dieser Erfindung vor und nach dem Ätzen.
Fig· 10 veranschaulicht einen konventionellen Halogensilberfilm, der ein Substrat 62 aufweist,
der darauf eine Gelatineschicht 64 besitzt, in der
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bildweise eine Vielzahl von Halbton-Punkten 66, die aus Silberkörner gebildet sind, verteilt wurden.
Fig. 12 zeigt den gleichen Film nach dem Ätzen.
Wie in Fig. 11 gezeigt, wurde jeder der Punkte Ha des Films 10 gemäß der Erfindung einer Flächenreduktion
hinsichtlich der Größe ohne irgendeinen ins Gewicht fallenden Verlust an optischer Dichte infolge
"Durchgangestellen" unterworfen. Gemäß Fig. 12 wurden die Silberpunkte 66 des Halogensilberfilms nach dem
Ätzen infolge des Ätzens einem Vollpunktangriff unterworfen, der nicht nur zu einer vollständigen Flächenverminderung
des Punktes, sondern auch zu einem beträchtlichen Verlust optischer "Durchtrittsstellen"-Dichte
führte. Die Eigenschaft des Ätzens, den gesamten Halbtonpunkt konventioneller Halogensilberfilme
anzugreifen, führt unveränderlich zu optischen Dichteverlusten infolge der Durchgangsstellen, die
umgekehrt die Opazität der Halbton-Punktformation
beeinträchtigen.
Die Erfindung wird darüber hinaus anhand der folgenden Beispiele beschrieben, ohne daß sie darauf beschränkt
wird.
Eine 366 m-Rolle eines entgasten Polyesterfilms (Melinex 0, 400 Gauge-Maß der ICI) wird in eine
Kammer einer Metallisierungseinheit eingeführt, die eine Radiofrequenz-Aufstäubungskathode enthält,
die eine 40,4 · 20 . 0,6 cm dicke Wismutplatte aufweist, die direkt an eine wassergekühlte
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Stützplatte angegossen und mit dieser verbunden ist. Eine Verdampfungsquelle weist eine einzelne Kohlenwiderstandsschale mit den Dimensionen 38 · 2,5 · 0,6 cm
auf, die 13 einzelne Aushöhlungen mit den Maßen 2,5 · 1»9 · 1,3 cm besitzt; jede Auehöhlung bzw. Wanne
enthält ein auf 16 g abgewogenes Wismutpellet. Eine wassergekühlte Trommel wird in die Kammer eingesetzt.
Die Kammer wird auf ein Vakuum von 10" Σοττ gehalten.
—3Torr einen Basisdruck von 5 · 10 herzustellen. Der
Polyesterfilm wird mit einer Geschwindigkeit von etwa 6 m/min an der Wiemut-Zerstäubungskathode vorbeigeführt, während die Filmtemperatür auf 1000C gehalten
wird. Die Eingangsleistung der Kathode ist 400 W, während die reflektierte bzw. Ausgangsleistung 40 W
ist. Bei Aufrechterhaltung derselben Vorschubgeschwindigkeit passiert der Film an der wassergekühlten
Trommel eine Wismutdampfwolke, die aus der Widerstandsschale austritt, die auf eine Temperatur von 624°C
erhitzt ist. Der mit Wismut überzogene Film wird auf eine Aufwickelspule in der Kammer aufgewickelt. Trokkener Stickstoff wird in die Kammer bis auf ein at
eingeleitet, worauf die Rolle des mit Wismut überzogenen Films herausgenommen wird. Die Wismutschioht
auf dem Film ist etwa 2600 A dick und weist eine optische Dichte von mehr als 5 auf.
Eine Lösung aus Chinon-Diazid-Typ- fotowiderstand
enthaltend eine 5O:5O-Mischungwn Sh pleys "AZ-1350 Jn
und MAZ-1375" positiven Fotowiderstande, die einen
Festkörperanteil von 35# und eine Viskosität von
80 cP (centipoise) aufweist, wird bis auf eine Naßdicke von etwa 6 /um auf den mit Wismut überzogenen
Film aufgetragen und zwar bei einer Bahngeschwindig-
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keit von 1,15 m/min unterVerwendung einer Offset-Gravierüberzugswalze. Der fotoresistiv überzogene
Film wird dann mit der gleichen Bahngeschwindigkeit durch eine Ausflußzone, eine Infrarotlampentrocknungszone und eine Konvektionstrocknungszone hindurchgeführt, bei der die letztgenannten zwei Zonen auf
einer Temperatur gehalten sind, die dem Film eine Temperatur von 1000C verleihen. Die Anwendung der
fotoresistiven Schicht und das Trocknen der Schicht werden unter staubfreien Bedingungen durchgeführt.
Der endgültige Abbildungsfilm hat eine schwarze, nichtglänzende Oberfläche auf der fotoresistiven
Seite und eine glänzende, hochreflektierende Oberfläche auf der Substratseite.
Nunmehr wurden die Rißeigenschaften des Abbildungsfilms durch Abschneiden eines 35-mm-Streifens, 30 cm
lang von der Rolle, und Anlegen einer 50Og-BeIastung
an einem Ende derselben, geprüft. Der derart belastete Streifen wurde über einen Dorn vorgegebenen
Durchmessers zuerst in Abwärtsrichtung und dann nach
aufwärts gezogen. Der nicht belichtete Film wurde dann zweimal durch eine Standardätzlösung hindurchgeführt und mittels optischer Mikroskopie auf Materialfehler untersucht. Falls Brüche oder Risse
•ich in den fotoresistiven Materialien entwickelt
hätten, würde die Ätzlösung in den Film bis zum Substrat eintreten. Irgendwelche solcher Brüche
oder Risse würden bei hindurchtretendem Licht als
eine Reihe paralleler Linien rechtwinklig zur Fortbewegungsrichtung des Films über den Dorn in Erscheinung treten.Es wurden jedoch keine Risse bei
dem Abbildungefilm gefunden.
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Ein Streifen eines wie im Beispiel I hergestellten Films wurde 20 see lang durch eine Kontaktmaske
mit von einem A-9 Colight-Drucker stammenden UV-Licht belichtet. Der belichtete Film wurde durch
eine 4-Bäder-Interco-0p-Kopiermaschine des Modells DD 1437 (Agfa Gevaert) geführt. Das erste Bad enthielt
1000 ml einer 2#igen wäßrigen KOH-Lösung;
das zweite Bad enthielt 1000 ml Wasser, das dritte Bad enthielt 1000 ml einer Lösung aus 12 % FeCl,
und 1 ia Zitronensäure in Wasser; das vierte Bad
enthielt 1000 ml Wasser.
Die fotoresistive und die darunter liegende Wismutschicht der belichteten Filmteile wurden vollständig
entfernt und ein positives Duplikat der Maske wurde erhalten. Die Behandlungszeit trocken
auf trocken betrug 35 see.
Ein Streifen des gemäß Beispiel I hergestellten Abbildungsfilms wurde 20 see lang durch ein ealing
high resolution target unter Verwendung eines A-9 Colight-Druckers als UV-Quelle belichtet.
Der belichtete Film wurde zuerst durch 45 see langes Eintauchen in einen Trog, der 1 Gew.-i»
wäßrige KOH-Lösung enthielt, durch Abspülen in Wasser, durch Eintauchen in einen Trog, der eine
Lösung von 6 Gew.-# FeCl-, in Wasser, etwa 2 min
lang und dann durch Abspülen mit Wasser behandelt. Ein positives Duplikat der Auf Scheibe wurde
erhalten. Eine mikroskopische Untersuchung des
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273686?
entwickelten Films bei 40Ox zeigte ein Auflösungsvermögen von 500 Linien pro mm.
Eine Wismutschicht wurde auf einen glasklaren glatten
staubfreien Film aus Polypropylen mit den Mitteln des im Beispiel I beschriebenen Metallisierungsverfahrens aufgetragen.
Eine wasserlösliche Diazoverbindung (Diazo 4 L,
Fairmo-nt Chemical) wurde modifiziert, um das folgende organische lösliche Diazoharz zu erhalten:
Einer Lösung von 60 g von Diazo 4 L in 1,4 1 Wasser wurde langsam eine Lösung von 58 g des Natriumsalzes der 1-Diazo-2-Naphthol-4-Sulfonsäure in 400 ml
Wasser zugefügt. Eine gelbe Ausfällung wurde dunkelbraun. Nach 30 min Rühren der Lösung wurde das
abgeschiedene bzw. ausgefällte Material durch Filtern getrennt und einige Male gewaschen, um irgendwelches
wasserlösliche Material zu entfernen. Nach dem Trocknen erhielt das Material eine dunkelbraune Farbe
und wurde ein bröckeliges Harz mit einem Gewicht von 60 g. Dieses Material war leicht in Methylcellulose und stark in DMF, N, N-Dimethylacetamid
und N-Methylpyrrolidon, aber nicht in Wasser löslich.
70 g des modifizierten Diazoharzes wurde in 300 ml
DMF gelöst und gefiltert (Lösung I). 120 g Vinac B-7, Polyvinylacetat)harz (Air Products and Chemicals)
wurde in 300 ml DMF gelöst und gefiltert (Lösung II). Eine Überzugslösung (III) wurde aus einem Teil der
Lösung I und einem Teil der Lösung II hergestellt.
809812/0630 -33-
273686?
Der mit Wismut überzogene Film wurde mit der Überzugslösung III überzogen, um eine Trockendicke
von 1 /um zu erzielen. Die fotoresietive Seite des Filme war schwarz und nichtglänzend, während
die Trägerseite des Films glänzend und metallisch war. Der Film wurde durch eine Maske 40 see lang
einem A-9 Colight-Drucker ausgesetzt bzw. entsprechend belichtet. Der belichtete Film wurde dann
in einer Interco-OP-Kopiermaschine Modell DD 1437 wie folgt behandelt:
Bad 1: 500 ml Wasser und 500 ml Diacetin
(diacetin)
Bad 3t 1000 ml einer Lösung von 12 £ FeCl,
und 1#iger Zitronensäure in Wasser
Ein Negativduplikat der Maske wurde erhalten. Beispiel V
Es wurde das in Beispiel IV beschriebene Verfahren mit der Ausnahme angewendet, daß der belichtete Film
in einem einzigen, oder gemeinsamen, Lösungsmittelsystem entwickelt wurde, das eine Lösung enthaltend
100 g FeCl,, 300 ml Diacetin (diaoetin) und 800 ml
Wasser aufweist. Die Lösung wurde auf den beliohteten Film aufgastriohen, bis das Bild entwickelt
war. Der Film wurde dann mit Wasser abgewaschen und getrocknet. Ein negatives Duplikat der Maske
wurde erreicht.
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273686?
kontaktbelichtet unter Verwendung einer Xenonblitzlampe durch ein Halogensilber-Halbtonnegativ, das durch Direktbelichten unter Verwendung eines 3-Stop-Systems mit einem 100-Linien-Halbtongitter hergestellt wurde. Der belichtete
Jlew.-
tauchen in einen 1>ige wäßrige KOH-Lösung aufweisenden Trog, Abspülen mit Wasser, Eintauchen in
einen eine Lösung von 6 Gew.-^ FeCl, in Wasser
enthaltenden Trog für etwa 2 min und anschließend durch Abspülen mit Wasser behandelt. Es wurde ein
Halbtonpositiv erzielt, das aus Wismut gebildete
Halbton-Funkte aufweist, deren jeder einen Überzug
oder eine Schutzschicht aus nicht belichtetem Widerstandsmaterial besitzt. Das Halbtonpositiv wurde
dann in ein Ätzbad eingetaucht, das 250 ml einer 6#igen wäßrigen Lösung von FeCl, enthält. Der Film
wird nach 3 min aus dem Ätzbad entnommen, abgespült und getrocknet. Ein Fotomikrograph der "Funkte"
zeigt eine etwa 75#ige Verminderung der Größe, ohne entsprechenden Verlust von optischer Punkt-Durohgangsdichte. Die Widerstandsebdeokung auf den
Punkten ist in Ordnung und bleibt transparent. Die Punkte sind hart und das Positiv ist zur Verwendung
zur Tiefätzherstellung von Platten geeignet.
Zusammenfassend wird festgestellt, daß die Erfindung
einen Abbildungefilm und ein Herstellungsverfahren für denselben betrifft; der Film weist ein flexibles
Kunststoffsubstrat auf, das eine dünne optisch sehr
dichte kontinuierliche Sohloht aus Wismut oder einer Wismutlegierung aufweist, die auf einer Fläche derselben niedergeschlagen ist. Die Wismutschicht hat
eine rauhe Außenoberfläche. Auf dieser rauhen Ober-
809812/0630 -35-
fläche befindet sich eine lichtempfindliche Materialschicht, die sowohl als Fotowiderstand
als auch als schützende Überdeckung für das Wismut dient. Das lichtempfindliche Material
kann positiv oder negativ wirksam sein. Eine Schicht einer entwiokelbaren fotographischen
Emulsion kann auf die lichtempfindliche Materialschicht aufgelegt sein, um dem Abbildungefilm
Kameratransportgeschwindigkeit zu ermöglichen. Die fotoresistive Seite des Films hat eine nichtglänzende im wesentlichen nicht reflektierende
schwarze Oberfläche, die dem Aussehen entwickelter silber
ze Ob
ilber
rfrilm
rfrilm
silber
Halogerfrilme entspricht. Die Substratseite des Films
hat andererseits ein metallisches Aussehen, das leicht von der fotoresistiven Seite unterschieden
werden kann. Diese Merkmale des Films erlauben der Bedienungsperson die einfache Feststellung der
fotoreeistiven Seite des Films und beschleunigt die Plattenherstellung.
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Claims (20)
1. Reproduktionsmaterial, insbesondere Abbildungs-
^•^ film zur Verwendung im graphischen Gewerbe, bei
dem auf einem flexiblen bzw. biegbaren klaren Träger aus Kunststoff eine dünne kontinuierliche
Schicht aufgetragen ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus Wismut oder einer Wismutlegierung
besteht und eine optische Dichte (Densität bzw. Farbdichte) im Bereich von 3,5 bis 7 aufweist,
daß eine weitere Schicht aus fotoaktivem bzw. lichtempfindlichem Material auf der ersten
Wiemut enthaltenden Schicht mit einer Mohs-Härte
von mindestens 3,5 und einer Spektralempfindlichkeit von etwa 300 bis etwa 500 mn des Wellenlängenbereichs
aufgetragen ist und daß diejenige Filmseite, an der sich die lichtempfindliche Schicht befindet, einen schwarzen, matten bzw.
nichtleuchtenden, die entgegengesetzte Filmseite
dagegen einen metallisch glänzenden bzw. leuchtenden Eindruck erwecken.
2. Reproduktionsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wismut enthaltende Sohicht
zwei Teilschichten aufweist, von denen die innere zum Verbinden dienende Verankerungssohioht teilweise
in die Oberfläche des Trägers eingebettet und die äuSere andere, als Verbindungsschicht dienende Teilschicht
aufgerauht und mit der lichtempfindlichen Schicht sowie der inneren Verankerungsschicht verbunden
ist.
809812/0630
"3"
3. Reproduktionsmaterial nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Verankerungsschicht eine Dicke zwischen etwa 5 und 100 A aufweist
und aus polykristallinen Körnern mit regelLoser Ausrichtung gebildet ist und Wismut enthält.
4. Reproduktionsmaterial nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsachicht eine Sicke zwischen etwa 1700 und 2500 A
aufweist und mindestens teilweise aus Kristallen gebildet ist, die in eine zur Trägeroberfläche
im wesentlichen rechtwinklig verlaufenden Ebene orientiert sind und Wismut enthalten.
5· Reproduktionsmaterial nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß
die lichtempfindliche Sohloht eine Mohs-Hartβ
von mindestens 4 aufweist.
6. Reproduktionsmaterial nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenfläche der
Verbindungeschicht mindestens teilweise säulenartige, vertikal orientierte Kristalle mit gewölbten Spitzen bzw. äußeren Enden und tiefe
Korngrenzen aufweist, die der Schicht einen rauhen Charakter verleihen.
7. Reproduktionsmaterial nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das lichtempfindliche Material ein negativ oder positiv
wirksames bzw. ein optisch-negatives oder optischpositives ist.
dO9812/0630 " 4 -
8. Reproduktionematerial nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß
eine Entwicklungsechicht aus einer fotographisoh entwickelbaren Emulsion mit einer solchen Dicke
auf der lichtempfindlichen Schicht aufgebracht ist, daß sie eine optisohe Dichte von mindestens
1 naoh dem Entwickeln aufweist.
9. Reproduktionsmaterial nach einem der vorhergehenden Ansprüohe, dadurch gekennzeichnet, daß
die schwarze, matte Filmseite derjenigen eines Silberhalogenid- bzw. Silberhalogen-Emulsionsfilms
entspricht.
10. Verfahren zur Herstellung eines insbesondere schiohtförmigen Reproduktionsmaterials naoh einem
der vorhergehenden Ansprüohe, dadurch gekennzeichnet, daß die Wismut enthaltende Schicht unter solchen Bedingungen auf dem Träger niedergeschlagen bzw. aufgetragen wird, daß sich deren
äußere Oberfläche rauh ausbildet, und daß auf dieser rauhen Oberfläche die dünne lichtempfindliche Sohioht derart aufgetragen wird, daß sie
als Fotowiderstande- und -Schutzschicht für jene wirkt.
11. Verfahren naoh Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Wismut enthaltende Sohicht in zwei aufeinanderfolgenden Stufen auf dem Träger aufgetragen wird, indem Wismut oder eine Wismutlegierung
in der ersten Stufe auf den Träger aufgestäubt
und in der zweiten Stufe auf die aufgestäubte
Teilschioht aufgedampft werden.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet,
809812/0630
daß die erste Teilschicht in einer optischen Sichte zwischen etwa 0,01 und etwa 0,5 und die
zweite Teilschicht solange aufgetragen wird, bis die optische Sichte der gesamten Wismut enthaltenden Schicht mindestens 3,5 beträgt.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Auftragen der zweiten Teilschicht solange
vorgenommen wird, bis die optische Sichte der Wismut enthaltenden Schicht etwa 5 beträgt.
H. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß zuerst eine Wismutschioht derart auf einer Oberfläche des schichtförmigen Trägers niedergeschlagen wird, daß mindestens ein Teil derselben Stellen mit Kristallisa ti onekeimen bildet, und daß auf diese erste
Teilschicht eine zweite Wismutschicht derart niedergeschlagen bzw. aufgetragen wird, daß sie
sich auf der ersten Teilschicht verankert und außen eine rauhe Oberfläche bildet.
15* Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet,
daß der aus Kunststoffschichtmaterial bestehende Träger derart auf eine Temperatur unterhalb dessen
Verformungstemperatur erhitzt wird, daß er erweicht, um einen Teil mindestens des Wismuts in
die Trägeroberfläche eindringen zu lassen.
16. Verfahren nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Kristallisationskeime bzw.
-kerne durch Aufdampfen von Wismut und die
danach
zweite Teilschichtvdurch Zuführen von Wismutdampf hergestellt werden, während sich der Träger
809812/0630 . 6 _
5 273686?
in Bewegung befindet.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 16, daduroh gekennzeichnet, defl die Wismutachioht
in einer inerten Gasatmosphäre auf der Trägerschicht niedergeschlagen wird.
18. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 17,
dadurch gekennzeichnet, daß das lichtempfindliche Material zum Entfernen von Verunreinigungen
in zwei Stufen erhitzt wird.
19· Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bia 18, dadurch gekennzeichnet, daß in der ersten Stufe
mit Infrarotlicht bestrahlt wird.
20. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bia 19, daduroh gekennzeichnet, daß die äußere Oberfläche der zweiten Wismut enthaltenden Teilschioht zur Bildung eines Überzugs aua Wismutoxyd Sauerstoff ausgesetzt wird.
- 7 -809812/0630
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