DE3601827C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine dünne beschichtete Kunststoffolie als Staubschutz für eine Photomaske.

Aus "ANDERS", Dünne Schichten für die Optik" 1965, Seiten 13-22, 75, 76 sind mit dünnen Schichten versehene photooptische Gläser bekannt, auf die Magnesiumfluorid im Hochvakuum aufgedampft wird, wobei die Komplexität der Strahlengänge in den Fällen diskutiert wird, bei denen drei optische Medien mit unterschiedlichen Brechzahlen aneinanderstoßen. Diese Problematik liegt jedoch bei dem erfindungsgemäßen Gegenstand nicht vor, weil es sich hierbei nicht um Beschichtungen auf der Photooptik handelt sondern um eine spezielle Folie, die in räumlichem Abstand von der Optik angebracht wird.

In der US-PS 22 07 656 wird eine große Vielzahl von zu beschichtenden und Beschichtungsmaterialien zur Verminderung der Reflexion des Lichts beschrieben. Besonders erwähnt wird ein Verfahren zur Behandlung einer festen Oberfläche eines lichtdurchlässigen optischen Elements zur Verminderung von dessen Lichtreflexion, bei dem auf eine solche Oberfläche eine Schicht eines Metallfluorids in einer Dicke aufgedampft wird, die etwa 1/4 der Wellenlänge des Lichts entspricht, dessen Reflexion vermindert werden soll, wobei ein Refraktionsindex erzielt werden soll, der sich etwa der Quadratwurzel des Refraktionsindexes des optischen Elements annähern soll. Als Beispiele für Beschichtungsmaterialien werden Calciumfluorid, Magnesiumfluorid und Cryolit genannt. Es finden sich jedoch keine Hinweise auf die besonderen, im folgenden beschriebenen besonderen Probleme dünner beschichteten Kunststoffolien als Staubschutz für eine Photomaske, wie sie beispielsweise bei der Herstellung von integrierten Schaltungen benötigt werden.

Bei der Herstellung von integrierten Schaltungen wird eine Projektionsdruckmethode durchgeführt, wobei ein Muster, auf einer Photomaske gezeichnet, auf eine Siliziumwafer projiziert wird, die mit einem Resist beschichtet ist, wobei Licht verwendet wird, um Lichthärtung oder Abbau des Resists durch Licht in dem den Muster entsprechenden Bereichen verwendet wird. Befindet sich auf der Photomaske irgendetwas anderes wie beispielsweise Staub, so wird dieser auf die Wafer projiziert. Um derartigen Einfluß des Staubs zu verhindern, wurde ein Verfahren zur Verwendung eines Staubschutzes auf einem dünnen Harzfilm im US-Patent 41 31 363 vorgeschlagen. Der Schutz dient der Ausbeuteverbesserung bei der Herstellung von integrierten Schaltungschips und zur Verminderung der Reinigungsvorgänge der Photomaske, wobei deren Betriebsdauer erhöht wird.

Die Projektionsmethode verwendet vorbestimmte Dicken dünner Filme, die als Staubschutz für die verschiedenen Verfahrensweisen geeignet sind. Insbesondere ist ein dünner Film einer Dicke von 2,86±0,2 µm im Fall der Projektion (Belichtung mit gleicher Vergrößerung) und 0,87±0,02 µm im Fall der Abstufung (Belichtung mit verminderter Vergrößerung) geeignet. Diese Dickebedingung ist ein Merkmal zur Gewährleistung einer Lichtdurchlässigkeit von 96% oder mehr bei dünnen Filmen im Fall der g-Linie (436 µm) als Lichtquelle für die Belichtung. Der Grund hierfür soll im folgenden anhand der Figuren näher erläutert werden.

Gemäß Fig. 1 zeigt eine durchgezogene Kurvenlinie die Lichtdurchlässigkeit eines dünnen Cellulosenitratfilms einer Dicke von 2,90 µm, die gegenüber der Wellenlänge aufgetragen ist, wobei die Lichtdurchlässigkeitskurve eine wellige Form mit Peaks aufweist, die eine Lichtdurchlässigkeit von etwa 100% wiedergeben, während die Wellentäler eine Lichtdurchlässigkeit von nur etwa 80% zeigen. Ein Teil des Lichts wird rückwärts an der Grenzfläche zwischen Film und Luft reflektiert, und ein Teil des reflektierten Lichts wird von der Grenzfläche zwischen Film und Luft auf der Rückseite in vorwärtiger Richtung reflektiert. Der Lichtdurchgang nach zweimaliger Reflexion wird durch die doppelte Filmdicke im Vergleich zum direkt durchtretenden Licht verzögert. So weisen die durchtretenden Lichtstrahlen die gleiche Wellenlänge jedoch Phasendifferenz auf, so daß die entsprechende Interferenz zum Verlust an Lichtdurchlässigkeit führt. Beträgt die Filmdicke 2,86±0,2 µm, tritt die g-Strahlungsdurchlässigkeit um den Bereich des Peaks herum auf. Das geschieht jedoch nicht, wenn die Filmdicke variiert, weil Abweichungen in der Filmdicke eine Verschiebung der Lichtdurchlässigkeitskurve in rechter oder linker Richtung verursachen. Fig. 1 zeigt ebenfalls die Lichtdurchlässigkeit eines dünnen Cellulosenitratfilms einer Dicke von 0,90 nm als unterbrochene Linie (b).

Selbst wenn der Einfluß von Staub durch einen Staubschutz verhütet werden kann, soll die Lichtmenge für die wirkungsvolle Projektion nicht durch den Staubschutz reduziert werden. Im US-Patent 41 31 363 zeigt einen Belichtungsapparat einschließlich einer Vielzahl von Staubschutzmasken, wobei jede von diesen vorzugsweise eine Lichtdurchlässigkeit von 96% oder mehr besitzt. Ein solcher Staubschutz muß aus einem hochtransparenten, nicht orientierten Material in Filmform mit hoher Präzision bezüglich der vorbestimmten und konstanten Filmdicke hergestellt werden. Weil der dünne Film eine extrem geringe Dicke von 10 µm oder weniger aufweist, muß er in einem Trägerrahmen in gleichförmig gespanntem Zustand gehalten werden.

Die japanische Offenlegungsschrift 21 90 23/1983 beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines solchen dünnen Films aus Cellulosenitrat und ein Verfahren zur Halterung eines solchen dünnen Films. Insbesondere wird hier ein Verfahren zur Herstellung eines dünnen nicht, orientierten Celluloseesterfilms in gleichförmigem Spannungszustand beschrieben, daß dadurch charakterisiert ist, daß in einem Schritt die Lösung eines Celluloseesters, gelöst in einem organischen Lösungsmittel, über eine glatte Glasplatte gegossen und das Lösungsmittel unter Ausbildung eines dünnen Films gleichförmiger Dicke auf der Glasplatte entfernt wird; daß der dünne Film von der Glasplatte in Wasser getrennt wird; und daß der dünne Film aus dem Wasser abgetrennt wird, wobei der dünne Film in nassem Zustand auf einem Trägerrahmen gehalten und der dünne Film getrocknet wird. Dieses Gießverfahren wird bei diesem Verfahren zur Herstellung nicht orientierter Filme verwendet. Weil der Celluloseester leicht in einem relativ niedrig siedenden Lösungsmittel wie Keton oder einem Ester einer niederen aliphatischen Säure gelöst werden kann, wird ein Film einer vorbestimmten Enddicke hergestellt, indem die Konzentration der Lösung und die Aufgießdicke geregelt wird. Als dünner Film zum Schutz der Photomaske wird ein Film einer konstanten Dicke von 2,8±0,3 µm, 4,5±0,3 µm oder ähnliche verwendet.

Wird beim Aufgießen eine glatte Glasplatte verwendet, wobei das aufgegossene Substrat nach Entfernung des Lösungsmittels in Wasser eingegeben wird, wird der dünne Film spontan abgezogen, so daß er leicht abgetrennt werden kann. Wird der auf diese Weise abgetrennte Film direkt auf einem Trägerrahmen befestigt und in diesem Zustand mit einer geringen Menge eines flüchtigen Lösungsmittels zusammen mit dem Teil des Films in Kontakt mit dem Trägerrahmen beschichtet, und anschließend getrocknet, kann ein gleichförmiger Spannungszustand durch die schwache Schrumpfung des Films ebenso wie Haftung des Films auf dem Trägerrahmen erzielt werden.

Bei dem gegenwärtigen Fortschritt der Halbleiterindustrie ist ein Trend zur Erhöhung der Dichte und des Integrationsgrades von integrierten Schaltungen festzustellen. Entsprechend werden die Linienbreite und die Abstände zwischen den Linien eines projezierten Musters auf einer Wafer erniedrigt.

Deshalb sind zur Belichtung die h-Linie (406 µm) oder die i-Linie (365 µm), die eine kürzere Wellenlänge und eine höhere Energie als die g-Linie aufweisen, häufig benutzt worden. Resiste, die durch entsprechende Lichtstrahlung alleine photosensitiv gemacht werden können, sind ebenso zunehmend verwendet worden. Wenn übliche dünne Filme als Staubschutz verwendet werden, müssen demnach solche hergestellt und verwendet werden, die verschiedene Filmdicken in Anpassung an die jeweilige Lichtquelle aufweisen.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine dünne beschichtete Kunststoffolie als Staubschutz für eine Photomaske, inbesondere zur Verwendung bei Herstellung von integrierten Schaltungen, zur Verfügung zu stellen, die unter Vermeidung der im Stand der Technik aufgezeigten Nachteile geringe Kristallisationstendenz, hohe Flexibilität und Biegsamkeit, befriedigende Oberflächenhärte der Beschichtung sowie niedrige Feuchtigkeitsabsorption aufweist.

Diese Aufgabe wird durch die dünne beschichtete Kunststoffolie mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruches gelöst. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den nachfolgenden Unteransprüchen 2 und 3.

Hierbei wurde erfindungsgemäß gefunden, daß, wenn der Einfluß von doppeltreflektiertem Licht in dem Film ausgeschlossen wird, ein dünner Film erhältlich ist, der für alle Belichtungsstrahlen, nämlich die g-, h- und i-Linien, hochdurchlässig ist, und durch den der Einfluß geringer Filmdickeabweichungen verhindert wird. Insbesondere ist ein dünner beschichteter Film mit einer Durchlässigkeit von 96% oder mehr für Licht einer Wellenlänge von 300 bis 700 nm erhältlich, indem man eine oder zwei Seiten des dünnen Films mit einer transparenten Substanz beschichtet, die einen niedrigen Brechungsindex als das Material des dünnen Films einer Dicke von etwa 100 nm aufweist.

Die Erfindung wird anhand der beiliegenden Figuren näher erläutert.

Fig. 1 ist ein Diagramm, das die Lichtdurchlässigkeit eines dünnen Cellulosenitratfilms mit einer Dicke von 2,90 µm bzw. 0,90 µm, aufgetragen gegen die Wellenlänge, zeigt;

Fig. 2 ist ein Diagramm, das die Lichtdurchlässigkeit eines dünnen Films einer Dicke von 2,90 µm (- - - - -), eines dünnen einseitig beschichteten Films (- - - - -) und eines dünnen doppelseitig beschichteten Films (-) gemäß Beispiel 1 aufweist, und die gegen die Wellenlängen aufgetragen sind;

Fig. 3 ist ein Diagramm, das die Lichtdurchlässigkeit eines dünnen doppelseitig beschichteten Films gemäß Beispiel 1, aufgetragen gegen die Wellenlängen, aufzeigt. Die Messungen wurden durchgeführt, nachdem die Beschichtung einen Monat lang einer Atmosphäre von (a) 60% relative Feuchtigkeit und (b) 90% relative Luftfeuchtigkeit ausgesetzt worden war;

Fig. 4 ist ein Diagramm, das die Lichtdurchlässigkeit eines dünnen doppelschichtig beschichteten Films nach Beispiel 2, aufgetragen gegen die Wellenlängen, zeigt; und

Fig. 5 ist ein Diagramm, das die Lichtdurchlässigkeit eines dünnen, doppelschichtig beschichteten Films gemäß Beispiel 4, aufgetragen gegen die Wellenlängen, zeigt.

Erfindungsgemäß sind Cellulosederivate als dünne Harzfilme geeignet. Die Cellulosederivate besitzen hohe Lichtdurchlässigkeit, insbesondere in nahen Ultraviolett-Bereich sowie geringe Tendenz zur Orientierung während des Formens. Zu geeigneten Cellulosederivaten zählen Cellulosenitrat, Celluloseacetat, Celluloseacetatbutyrat und Cellulosepropionat. Cellulosenitrat ist besonders bevorzugt. Zu anderen Substanzen außer Cellulosederivaten können zur Herstellung eines dünnen Harzfilms Polyäthylenterephthalat, Polyvinylchlorid, Polyvinylidenchlorid, Polystyrol, Polymethylacrylat und/oder Polycarbonat verwendet werden.

Die Substanz, aus der die Oberflächenbeschichtung des dünnen Harzfilms besteht, kann aus transparenten anorganischen Substanzen wie Metallfluoriden und -oxiden gewählt werden. Um die Interferenz von reflektiertem Licht auszuschließen, muß eine Substanz benutzt werden, die einen niedrigeren Brechungsindex als das Material des dünnen Harzfilms aufweist. Weil der Brechungsindex eines Cellulosederivats in einem Wellenlängenbereich von 300 bis 700 nm, der bei der Belichtung verwendet wird, etwa 1,50 bis 1,55 beträgt, enthält die Beschichtungssubstanz darüber hinaus vorzugsweise Calciumfluorid (Brechungsindex bei 436 nm : 1,23; das gleiche trifft für das folgende zu), Bariumfluorid (1, 3), Natriumfluorid (1,34) und/oder Magnesiumfluorid (1,38). Erfindungsgemäß besonders geeignet sind Substanzen mit einem Brechungsindex von 1,3 oder weniger.

Da der dünne Harzfilm nur eine sehr geringe Dicke aufweist, kann eine Kraft von außen den Film selbst dann zur Vibration bringen, wenn der Film unter gleichförmiger Spannung gehalten wird. Wenn der Film keine ausreichend hohe Flexibilität oder Biegsamkeit zum Nachvollziehen der Vibration aufweist, besteht die Gefahr, daß die Beschichtungsschicht bricht. Erfindungsgemäß ist Calciumfluorid besonders geeignet, weil es ausreichende Flexibilität zusätzlich zu seinem vorteilhaften Brechungsindex besitzt. Darüber hinaus besitzt Calciumfluorid den zusätzlichen Vorteil, daß es eine verhältnismäßig niedere Feuchtigkeitsabsorption aufweist.

Folgender Mechanismus zur Verhinderung der Reflexion an der Oberfläche der Beschichtungsschicht wird vermutet: Im Fall einer einseitigen Beschichtung wird die Seite des dünnen Films, aus der das Licht austritt, mit der Beschichtung versehen. Weil der Unterschied der Brechungsindizes zwischen dem Film und der Beschichtungsschicht kleiner als zwischen dem Film und Luft ist, ist in diesem Fall die Reflexion der Grenzschicht zwischen Film und Beschichtung kleiner als die zwischen Film und Luft, nämlich die Reflexionsfähigkeit im Fall ohne Beschichtung.

Die Reflexion kann jedoch an der Grenzfläche zwischen Beschichtungsschicht und Luft auftreten. Ist die Dicke der Beschichtung ein Viertel der Wellenlänge des Lichts, überlagern sich das reflektierte Licht von der Grenzfläche zwischen Film und der Beschichtungsschicht und das Licht von der Grenzfläche zwischen Beschichtungsschicht und Luft mit einem Unterschied von gerade der halben Wellenlänge. Deshalb ist die Reflexion selbst verringert. In gleicher Weise kann die doppelseitige Beschichtung das sekundär reflektierte Licht auf vernachlässigbare Intensität verringern, und die Interferenzwirkung gegenüber direkt durchtretendem Licht ist weiter erniedrigt. Als Ergebnis verschwindet die Wellenform in der Durchlässigkeit- Wellenlängenkurve im wesentlichen, wobei über den gesamten Wellenbereich hohe Durchlässigkeit erhalten wird.

Die Beschichtung eines dünnen Films erfolgt durch Vakuumbedampfen. Hierbei wird im einzelnen ein Beschichtungsmaterial im Vakuum bei 10^-3 bis 10^-5 mbar erhitzt und der erzeugte Dampf auf dem dünnen Film abgelagert. Während des Vakuumbedampfens kann ein Aufzeichnungssystem verwendet werden, durch das das Bedampfen bewirkt wird, während die Reflexionseigenschaft für Licht einer bestimmten Wellenlänge, beispielsweise der g-Linie (436 nm), von der Seite gemessen wird, die gegenüber der Oberfläche liegt, auf der die Beschichtungsschicht gebildet wird. Beträgt die Schichtdicke der Beschichtung ein Viertel der Wellenlänge des Lichts wird die Intensität des reflektierten Lichts minimiert. Die Beschichtung muß nur an diesem Punkt beendet werden. Nach vollständiger Beschichtung einer Oberfläche kann der dünne Film umgedreht und in beschriebener Weise doppelseitig beschichtet werden.

Ein Staubschutz hoher Durchlässigkeit über den gesamten Bereich von 300 bis 700 nm ist erhältlich, wenn eine entsprechende Beschichtung auf einem entsprechend dünnen Film aufgebracht wird.

Der erfindungsgemäß hergestellte beschichtete dünne Film ist hinsichtlich der Filmdicke nicht so selektiv wie ein dünner Film ohne Beschichtungsschicht. Dadurch wird die Ausbeute bei der Herstellung von Staubschutzüberzügen verbessert. Darüber hinaus kann ein erfindungsgemäßer Staubschutz mit Strahlungen verschiedener Wellenlängen, wie der g-Linie, der h-Linie und/oder der i-Linie zurecht kommen.

Da die Oberflächenhärte der Beschichtungsschicht größer als dieses Harzes ist, wird darüber hinaus die Haltbarkeit des Staubschutzes verbessert. In diesem Sinne ist ein dünner doppelseitig beschichteter Film besonders geeignet.

Die vorliegende Erfindung betrifft einen dünnen beschichteten Film einer Durchlässigkeit von 96% oder mehr für Licht einer bestimmten Wellenlänge im Bereich von 300 bis 600 nm, wobei ein farbloses Metallfluorid oder -oxid auf einer oder beiden Oberflächen eines dünnen Films eines transparenten Harzes mit gleichförmiger Dicke von 0,5 bis 10 µm über den gesamten Bereich des Films in einer Dicke von etwa 100 nm aufgebracht wird, während der Film in gleichförmig gespanntem Zustand gehalten wird.

Der erfindungsgemäße doppelt beschichtete dünne Film weist hervorragende Eigenschaften auf. Auf der äußeren Oberfläche der Calciumfluoridbeschichtungsschicht kann eine Beschichtungsschicht niederer Feuchtigkeitabsorption oder geringer Kristallisationstendenz aufgebracht sein, um Veränderungen als Funktion der Zeit zu verhindern.

Ein solcher Film wird hergestellt, indem eine oder beide Seiten eines dünnen Films eines transparenten Harzes einer gleichförmigen Dicke von 0,5 bis 10 µm mit einem farblosen Metallfluorid oder -oxid über den gesamten Bereich mit einer Dicke von etwa 100 nm beschichtet wird, während der Film in gleichförmig gespanntem Zustand gehalten wird, wobei die Beschichtung eine doppelschichtige Struktur, bestehend aus einer Schicht Calciumfluorid auf der Seite des Harzes und einer Schicht Magnesiumfluorid oder Siliziumdioxid an der Außenseite, aufweist.

Im Fall des Doppelbeschichtungsverfahrens kann die Beschichtung gemäß zuvor beschriebenem Verfahren erhalten werden, das nur so durchgeführt werden muß, daß eine Gesamtdicke der beiden Schichten etwa ein Viertel der Wellenlänge des Lichts beträgt. Bei der doppelschichtigen Beschichtung kann die erste Beschichtung mit Calciumfluorid beendet werden, wenn 80 bis 90% der Beschichtungsoperation, abhängig von den Bedingungen zum Erhalt einer Dicke von einem Viertel der vorbestimmten Wellenlänge, durchgeführt ist. In diesem Fall wird die erhitzte Calciumfluoridquelle abgeschirmt und zum Beschichtungsmaterial für die zweite Schicht umgeschaltet. Das Vakuumverdampfen wird wieder begonnen und fortgesetzt. Die Aufbringung der zweiten Schicht ist beendet, wenn die Intensität des reflektierten Lichts gemäß der Aufzeichnungsvorrichtung, wie zuvor beschrieben, minimiert ist.

Die Gegenwart von Siliziumdioxid niederer Feuchtigkeitsabsorption oder von Magnesiumfluorid mit geringer Kristallisationstendenz auf der außenliegenden Oberfläche der Calciumfluoridschicht zur Verhinderung des direkten Kontakts von Calciumfluorid mit Luft bewirkt wirkungsvoll die Verlängerung der Verwendbarkeit des Staubschutzes. In diesem Fall kann die Flexibilität von Siliziumdioxid oder Magnesiumfluorid schlechter sein als die des Calciumfluorids. Die Anwesenheit von Calciumfluorid in der inneren Schicht vermindert den Umfang der Vibration des dünnen Films. Deshalb ist die Haltbarkeit des Staubschutzes gegenüber einer Beschichtungsschicht von Siliziumdioxid oder Magnesiumfluorid, die direkt auf den dünnen Film aufgebracht ist, verbessert.

Die Erfindung wird anhand der folgenden Beispiele näher erläutert.

Herstellung eines dünnen Cellulosenitratfilms

Eine Cellulosenitratprobe, zusammengesetzt aus 64 g Cellulosenitrat (angefeuchtet mit Isopropanol, Feststoffgehalt: 70%), 146 g Methyläthylketon, 120 g Butylacetat und 120 g Toluol, wird auf ein glattes Glas unter Verwendung einer Stangen(Balken-)auftragsvorrichtung mit einem freien Abstand von 50 µm aufgetragen, 24 Stunden zur Trocknung bei Zimmertemperatur (20°C) stehengelassen und weitere eine Stunde bei 60°C getrocknet.

Das Cellulosenitrat trocknete zu einem Film und wurde vorsichtig zusammen mit der Glasplatte in Wasser eingetaucht. Nach einiger Zeit schälte sich der Cellulosenitratfilm von selbst ab. Mittels eines kreisförmigen Aluminiumrahmens mit einem Durchmesser von etwa 100 mm wurde der Film unter Verwendung der Zerstörung des Films aufgenommen. Ein Teil des Films innerhalb des Rahmens wurde auf der oberen Seite eines Aluminiumträgerrahmens mit innerem Durchmesser von 61 mm und äußerem Durchmesser von 65 mm bei einer Dicke von 3 mm befestigt. Dann wurde eine geringe Menge Methylenäthylketon entlang der Kontaktfläche des Films mit dem Rahmen aufgebracht und anschließend luftgetrocknet. Auf diese Weise wurde der Film auf dem Trägerrahmen fixiert. Der vom Trägerrahmen überstehende Teil des Films wurde abgeschnitten. Der verbleibende Film wurde bei 60°C drei Stunden getrocknet, wobei ein Cellulosenitratfilm einer Dicke von 2,90 µm (spezifisches Gewicht: 1,6) erhalten wurde, der unter gleichförmiger Spannung gehaltert ist.

Die Dicke des Trägerrahmens wirkt als Abstandshalter und ergibt einen bestimmten Abstand in einem optischen Weg zwischen Bildbereich einer Photomaske und dem dünnen Harzfilm.

Beispiel 1

Ein dünner Cellulosenitratfilm einer Dicke von 2,90 µm, der nach der zuvor beschriebenen Methode erhalten wurde, wurde auf einem kreisförmigen Rahmen mit innerem Durchmesser von 61 mm, äußeren Durchmesser von 65 mm und einer Höhe von 3 mm gehaltert. Die Lichtdurchlässigkeiten dieses Films werden in Fig. 2 mit der gestrichelten Linie (- - - -) wiedergegeben.

Auf dem dünnen Film wurde mit Calciumfluorid beschichtet. Die Beschichtung wurde fortgesetzt, bis das Reflexionsverhalten bezogen auf Licht einer Wellenlänge von 438 nm unter Verwendung einer Vakuumaufdampfvorrichtung minimiert war. Die Dicke der Beschichtungsschicht betrug etwa 110 nm. Die Lichtdurchlässigkeiten des dünnen einseitig beschichteten Films werden durch die (- · - · - · -) gemäß Fig. 2 wiedergegeben.

Der dünne einseitig beschichtete Film wurde umgedreht und, wie beschrieben beschichtet; auf diese Weise wurde ein dünner doppelseitig beschichteter Film ausgebildet. Die Lichtdurchlässigkeiten dieses Films werden mit einer durchgehenden Linie (-) gemäß Fig. 2 wiedergegeben.

Gegenüber drei Lichtquellen, nämlich Licht der g- Linie (436 nm), der h-Linie (406 nm) und der i-Linie (365 nm) wies der einseitig beschichtete Film eine Lichtdurchlässigkeit von 96% oder mehr und der doppelseitig beschichtete Film eine Lichtdurchlässigkeit von 98% oder mehr auf.

Unter Verwendung einer Luftpistole mit einem Luftdruck von 3 bar wurde Luft aus einer Entfernung von einem Zentimeter eine Minute lang gegen die dünnen beschichteten Filme geblasen. Die Beschichtungsschichten fielen weder ab noch zeigten sie Sprünge.

Proben des dünnen doppelseitig beschichteten Films wurden einer Atmosphäre von (a) 22°C und 60% relative Luftfeuchtigkeit bzw. (b) 22°C und 90% relative Luftfeuchtigkeit ausgesetzt. Nach einem Monat und drei Monaten wurden die Lichtdurchlässigkeiten des Films gemessen. Die Ergebnisse der Messung werden in Tabelle 1 wiedergegeben. Die Proben des dünnen doppelseitig beschichteten Films, die in einer Atmosphäre von 22°C und 60% relativer Luftfeuchtigkeit gehalten worden waren, zeigten keine wesentlichen Veränderungen, während die Probe, die in einer Atmosphäre von 22°C und 90% relativen Luftfeuchtigkeit gehalten worden waren, Lichtdurchlässigkeiten von 96% oder weniger aufzeigten.

Die Lichtdurchlässigkeit des dünnen beschichteten Films wird in Fig. 3 wiedergegeben. Hierbei zeigt die durchgehende Linie (a) die Lichtdurchlässigkeit des Films, der einen Monat bei 60% relativer Luftfeuchtigkeit aufbewahrt wurde, während die Punkt-Strich-Linien (b) für 90% relative Luftfeuchtigkeit bei im übrigen gleichen Bedingungen gilt.

Beispiel 2

Wie zuvor beschrieben, wurde ein dünner Cellulosenitratfilm einer Dicke von 2,90 µm hergestellt und auf einem kreisförmigen Rahmen mit innerem Durchmesser von 61 mm, äußerem Durchmesser von 65 mm und einer Höhe von 3 mm gehaltert. Die Beschichtung mit Calciumfluorid zur Ausbildung einer ersten Schicht auf dem genannten dünnen Film wurde mittels einer Vakuumaufdampfvorrichtung durchgeführt. Die Beschichtungszeit betrug 90 Sekunden. Dann wurde die Beschichtung mit Magnesiumfluorid auf die erste Beschichtungsschicht durchgeführt, bis die Reflexion für Licht von 438 nm minimiert war. Die Beschichtungszeit für die zweite Beschichtungsschicht betrug 30 Sekunden. Die Gesamtdicke der ersten und der zweiten Beschichtungsschichten betrug etwa 110 nm.

Dann wurde der einseitig beschichtete dünne Film umgedreht und im weiteren dem gleichen Beschichtungsverfahren wie zuvor beschrieben unter Ausbildung eines dünnen doppelseitig beschichteten Films unterworfen. Die Lichtdurchlässigkeit des auf diese Weise erhaltenen Films wird in Fig. 4 wiedergegeben. Aus Fig. 4 geht hervor, daß der dünne doppelseitig beschichtete Film eine Lichtdurchlässigkeit von 98% oder mehr, insbesondere 99%, 99% und 98% für die g- Linie (436 nm), h-Linie (406 nm) bzw. i-Linie (365 nm), die als Lichtquellen verwendet wurden, aufwies. Unter Verwendung einer Luftpistole mit einem Luftdruck von 3 bar aus einer Entfernung von einem Zentimeter wurde eine Minute lang Luft gegen den dünnen doppelseitig beschichteten Film geblasen. Hierbei traten weder Sprünge noch ein Abschälen oder ein Abfallen der Beschichtungsschichten auf.

Proben des dünnen doppelseitig beschichteten Films wurden bei (a) 22°C und 60% relativer Luftfeuchtigkeit und (b) 22°C und 90% relativer Luftfeuchtigkeit gehalten. Nach einem Monat und nach drei Monaten wurden die Lichtdurchlässigkeiten des Films gemessen. Es wurden keine wesentlichen Änderungen festgestellt. Die Ergebnisse werden in Tabelle 1 wiedergegeben.

Beispiel 3

Die Beschichtung einer ersten Schicht mit Calciumfluorid und einer zweiten Schicht mit Siliziumdioxid wurde gemäß Beispiel 2 durchgeführt; es wurde ein dünner doppelseitig beschichteter Cellulosenitratfilm mit einer Gesamtbeschichtungsdicke von erster und zweiter Schicht zusammen von etwa 110 nm erhalten, der auf dem gleichen kreisförmigen Rahmen wie in Beispiel 2 gehaltert war.

Einige Proben des dünnen doppelschichtig beschichteten Films wurden bei (a) 22°C und 60% relativer Luftfeuchtigkeit und (b) 22°C und 90% relativer Luftfeuchtigkeit gehalten und dann hinsichtlich der Lichtdurchlässigkeit gemessen. Die Ergebnisse werden in Tabelle 1 wiedergegeben.

Beispiel 4

Die Beschichtung einer ersten Schicht mit Calciumfluorid und einer zweiten Schicht mit Magnesiumfluorid wurde in gleicher Weise wie in Beispiel 2 mit dem Unterschied durchgeführt, daß anstelle des dünnen Cellulosenitratfilms ein dünner Celluloseacetatpropionatfilm verwendet wurde. Auf diese Weise wurde ein dünner doppelschichtig beschichteter Celluloseacetatpropionatfilm mit einer Gesamtbeschichtungsdicke der ersten und zweiten Schicht zusammen von etwa 110 nm erhalten, der auf den gleichen kreisförmigen Rahmen wie in Beispiel 2 gehaltert war. Die Lichtdurchlässigkeit des dünnen Films wird in Fig. 5 wiedergegeben.

Einige Proben des dünnen doppelseitig beschichteten Films wurden bei (a) 22°C und 60% relativer Luftfeuchtigkeit und (b) 22°C und 90% relativer Luftfeuchtigkeit gehalten und dann gemäß Beispiel 2 hinsichtlich ihrer Lichtdurchlässigkeit vermessen. Die Ergebnisse werden in Tabelle 1 wiedergegeben.

Claims (3)

1. Dünne beschichtete Kunststoffolie als Staubschutz für eine Photomaske gekennzeichnet durch eine gleichförmige Dicke von 0,5 bis 10 µm, die in gestrecktem Zustand mit einem Metallfluorid oder -oxid einer Dicke von etwa 100 nm einseitig oder beidseitig beschichtet ist.

2. Beschichtete Kunststoffolie nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch Cellulosenitrat, Celluloseacetatpropionat, Celluloseacetatbutyrat und/oder Cyanoäthylcellulose als eingesetzte Kunststoffolie.

3. Beschichtete Kunststoffolie nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch eine erste Beschichtung aus Calciumfluorid und eine darüberliegende Beschichtung aus Magnesiumfluorid oder Siliziumdioxid.