DE2714729A1

DE2714729A1 - Drehbarer substrathalter zur verwendung im vakuum

Info

Publication number: DE2714729A1
Application number: DE19772714729
Authority: DE
Inventors: Glen R Scheuermann
Original assignee: Airco Inc
Current assignee: Airco Inc
Priority date: 1976-04-01
Filing date: 1977-04-01
Publication date: 1977-10-06
Also published as: GR66405B; SE7703680L; US4122221A; CH613476A5; NL7703591A; GB1537606A; BE853188A; US4108107A; DE7710467U1; FR2346464A1; FR2346464B1; NL170440B; JPS579429B2; NL170440C; JPS52129638A; IT1077516B

Description

PATE NTAN WALTE

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MANITZ, FINSTERWALD & GRÄMKOW

München, den 1. April S/3/Ru - A 3138

AIRCO, INC.

85 Chestnut Ridge Road Montvale, New Jersey 07645 USA

Drehbarer Substrathalter zur Verwendung im Vakuum

Die Erfindung betrifft ein drehbares Gerät zum Halten von mindestens zwei Substraten, beispielsweise Turbinenteilen, um jedes Substrat während eines Vakuum-BeSchichtungsvorganges bei hoher Temperatur um seine eigene Achse drehen zu können.

Beim Beschichten von Turbinenteilen ist es erwünscht, die Stärkenverteilung der niedergeschlagenen Beschichtung zu beeinflussen. Die erwünschte Verteilung kann eine gleichmäßige Verteilung oder eine über die Oberfläche der Teile verschiedene Verteilung sein. Eine Möglichkeit, die Verteilung zu beeinflussen, besteht darin, die Teile in Bezug auf die Beschichtungsquelle richtig anzuordnen. Besonders kann das Teil in einem Winkel gegen den Weg des Beschichtungsmaterials so gehalten werden, daß an einem Ende mehr Material als an dem anderen niedergeschlagen wird.

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DR. C. MANITZ · DIPL.-ING. M. FINSTERWALD DIPL. -INC. W. G R Λ M K O W ZENTRALKASSE BAYER. VOLKSBANKEN

β MÖNCHEN aa. ROBERT-KOCH-STRASSE I 7 STUTTGART 80 (BAD CANNSTATTI MÖNCHEN. KONTO-N UMMER 7 2

TEL. Ι0β9) 39 43 II. TELEX O» - 39673 PATMF SEELtERGSTR. 33/35.TEL.I07IIIS6 73 61 POSTSCHECK ι MÖNCHEN 77063-80S

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Es ist bekannt, eine Anzahl von Turbinenteilen auf einem Halter am Ende einer Hauptwelle anzuordnen, die sich durch eine Durchführung in eine Vakuumkammer erstreckt. Jedes Teil ist mit einem bestimmten Winkel, beispielsweise 20°,in Bezug auf die Hauptwelle auf einem Wellenstummel angebracht. Die Hauptwelle wird um ihre Längsachse so gedreht, daß jedes Teil gleichmäßig der Beschichtungsquelle ausgesetzt ist. Um jedoch die erwünschte Stärkenverteilung zu erhalten, ist es notwendig, in bestimmten Abständen den Halter und die Teile aus der Vakuumkammer zu entfernen und von Hand die Teile um 180° auf ihrem Wellenstummel auf dem Halter zu drehen.

Diese Entfernung der Teile wahrend des Beschichtungsvorganges hat verschiedene bestimmte Nachteile. Erstens ergibt dieses Entfernen eine Verlängerung der Verfahrenszeit, wegen der zum Abkühlen und Wiederaufheizen und zum Belüften und Wiederevakuieren der Durchführung erforderlichen Zeit. Zweitens wird zu-

sätzliche Handarbeit benötigt, um die Teile von dem Halter abzunehmen, zu drehen und wieder aufzustecken. Drittens, und das ist wahrscheinlich der wichtigste Nachteil,verursacht das Abkühlen und das Aussetzen der teilweise beschichteten Teile an der Umgebungsluft eine Zwischenschicht in der Beschichtung, die beträchtliche schädliche Auswirkungen auf die Lebenszeit und andere wichtige Eigenschaften der Schicht haben kann. Trotz der praktischen Nachteile, die von dem von Zeit zu Zeit erforderlichen Abnehmen der Teile während der Beschichtung herrühren, wird dieser Vorgang seit mehreren Jahren befolgt, da es für unpraktisch angesehen wurde, die Teile in Bezug auf den Halter während der Beschichtung zu drehen. Es muß daran erinnert werden, daß die Turbinenteile typischerweise bei Temperaturen

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von über 800 C bei einem Vakuum von weniger als 10 Torr beschichtet werden. Unter diesen Bedingungen neigen einander berührende Metalloberflächen dazu, aneinander festzufressen, und Schmierstoffe, die die Beschichtung beeinträchtigen können, müssen vermieden werden. Ferner schlägt sich das Beschichtungs-

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material schnell auch auf freiliegenden bewegten Teilen nieder, so daß diese bald in ihrer Bewegung behindert und verklemmt sind.

Das Verfahren und die Vorrichtung nach der vorliegenden Erfindung betrifft einen Halter für zwei oder mehr Teile, die im Vakuum beschichtet werden sollen. Der Halter ist so angebracht, daß alle Teile zusammen um eine Hauptachse gedreht werden können. Es sind Einrichtungen vorgesehen, mittels deren jedes Teil auch um eine eigene Drehachse gedreht werden kann. Weiterhin sind Einrichtungen vorgesehen, um die Drehung um die eigene Achse unabhängig von der Drehung um die Hauptachse zu beeinflussen.

Die bevorzugte Ausführung umfaßt ein hohles Gehäuse, das an einem Ende einer hohlen Tragwelle befestigt ist. Das Gehäuse weist Lager auf, um zwei oder mehr Wellenstummel zu tragen, wobei die Achse jedes Wellenstummels in einem gewünschten Winkel gegen die Achse der Hohlwelle angeordnet sein kann. Eine Antriebswelle ist innerhalb der Hohlwelle angeordnet und erstreckt sich in das Gehäuse hinein. Vorzugsweise kämmt ein an der Innenwelle befestigtes Mittelrad mit an den Wellenstummeln befestigten Zahnrädern. Die Wellenstummel erstrecken sich von dem Gehäuse nach außen und vorzugsweise sind an den freiliegenden Enden der Wellenstummel Befestigungseinrichtungen für Teile oder Substrate vorgesehen. Die Innenwelle ist unabhängig drehbar, so daß die Wellenstummel sich um ihre jeweiligen Achsen drehen, sobald eine Differenzdrehung zwischen der Innenwelle und der Hohlwelle besteht. Mit dieser Anordnung können die Substrate als eine Gruppe um die Hauptachse gedreht werden, und sie können gleichfalls entweder fortwährend oder zeitweilig um ihre Einzelachsen gedreht werden.

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Der Aufbau und die verwendeten Materialien sind so gewählt, daß sie eine Verwendung des Halters in der Umgebung ermöglichen, die man bei einem Beschichtungsprozeß bei hohen Temperaturen im Hochvakuum antrifft. Die Zahnräder und Lager sind innerhalb des Gehäuses angebracht, wo sie wirksam vor dem Beschichtungsmaterial abgeschirmt sind. Die Verwendung des Halters ermöglicht es, eine Beschichtung mit einer gewünschten Dickenverteilung, beispielsweise einer abnehmenden Stärke längs der Achse des Teils bei gleichzeitiger Gleichförmigkeit der Beschichtungsdicke um den Umfang des Teiles zu erhalten.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung beispielsweise näher erläutert; in der Zeichnung zeigt:

Fig. 1 einen Schnitt durch eine bevorzugte Ausführung eines erfindungsgemäßen Substrathalters,

Fig. 2 eine schematische Darstellung eines Beschichtungsvorganges unter Verwendung eines erfindungsgemäßen Substrathalters in einer Vakuumbeschichtungskammer,

Fig. 3 eine perspektivische Darstellung eines Substrathalters für vier anzubringende Substrate.

Es sind auf dem Gebiet der Vakuumbeschichtung viele verschiedene Beschichtungssysteme bekannt. In Fig. 2 ist schematisch ein typisches System mit einer Kammer 10, einer Beschichtungsquelle 14, einem Substratheizelement 15 und einer (nicht gezeigten) Evakuierungseinrichtung dargestellt. Normalerweise ist eine Türe 12 und eine Durchführungsschleuse 16 vorgesehen, so daß die Kammer 10 unter Vakuum gehalten werden kann, während die Substrate entfernt oder eingebracht werden. Eine Hauptwelle 25 erstreckt sich durch die Einführungsschleuse 16 und durch eine Dichtung 17 zu einem üblichen (nicht gezeigten)

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Antriebsmechanismus, der ein Drehen der Welle erlaubt, der aber auch gleichzeitig ein Zurückziehen der Welle von der Kammer 10 in die Einführungsschleuse 16 gestattet.

Vorzugsweise werden gleichzeitig mehrere Substrate, beispielsweise Turbinenteile 18, beschichtet, um Raum und Zeit besser auszunützen. Eine Vielzahl von Substraten 18 sind an einem Halter 20 angebracht, der an einem Ende der Hauptwelle

25 befestigt ist. Der Winkel 19» den die Einzelachsen jedes Substrates 18 mit der Hauptwelle 25 bilden, wird so gewählt, daß die erforderliche Verteilung des Beschichtungsmaterials längs der Substratachse erreicht wird. Um die erwünschte Verteilung des Beschichtungsmaterials in Umfangsrichtung eines Substrates sicherzustellen, ist es notwendig, das Substrat um seine Einzelachse zu drehen.

Der in Fig. 1 dargestellte Halter ermöglicht eine erwünschte Drehung jedes Substrates um seine Einzeiachse, da der Halter 20 ein hohles Gehäuse 24 aufweist, das bequemerweise aus zwei Teilen, den Wänden 24a und 24b»gebildet wird, die durch Schrauben 60 zusammengehalten werden. Die Wand 24b ist mit einem Ende einer Hohlwelle 26 verschweißt. Eine SchnellVerbindungseinrichtung (nicht gezeigt) ist vorgesehen, um das andere Ender Hohlwelle 26 mit dem Ende der Hauptwelle 25 zu verbinden. Eine Innenwelle 38 ist konzentrisch innerhalb der Hohlwelle

26 drehbar angebracht. Ein Ende der Innenwelle 38 erstreckt sich durch eine öffnung der Wand 24b in das Gehäuse 24. Das andere Ende der Innenwelle 38 weist eine Zunge 58 auf, die mit einer innerhalb der Hauptwelle 25 drehbar angebrachten Welle 39 in Eingriff tritt. Die Welle 39 ist durch übliche Einrichtungen unabhängig von der Hauptwelle 25 antreibbar.

Zur Aufnahme jedes Substrates ist ein Wellenstummel 28 vorgesehen. In der bevorzugten, in Fig. 3 gezeigten Ausführung sind

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vier Wellenstummel symmetrisch vim die Hauptachse der Hohlwelle 26 angeordnet. Ein Ende jedes Wellenstummels 28 ist mit einei⁴ Einrichtung versehen, mit der ein Substrat aufgenommen und ge faßt werden kann. Vorzugsweise ist der Wellenstummel 28 mit einer Bohrung 32 versehen, in die ein Stift eingesetzt werden kann, um ein Substrat oder einen Substrat-Adapter an dem Wel lenstummel 28 zu befestigen. Eine Druckscheibe 36 ist um den

der
Wellenstummel 23 und zwischen/Wand 24a und dem Substrat oder dem Adapter angeordnet, um bei der Aufnahme der durch ein Substrat aufgebrachten Belastung zu helfen. Jeder Wellenstummel erstreckt sich in das Gehäuse 24 hinein und reicht durch ein in einem Ein schnitt 31 in der Wand 24a angeordnetes Lager 30. Wenn erfor derlich kann ein zusätzliches Lager in der Wand 24b angebracht werden. Ein Zahnrad 34 ist an jedem Wellenstummel angebracht und ein Mittelrad 40 ist an der Innenwelle 38 so befestigt, daß es mit jedem der Zahnräder 34 in Eingriff kommt. Wenn jeder Wellenstummel 28 in einem Winkel von typischerweise 10 bis 45 gegenüber der Achse der Innenwelle 38 angeordnet ist, sind be vorzugterweise die Zahnräder 34 und 40 Kegelzahnräder. Der Eingriff der Zahnräder ist mittels einer Sperrmutter 48 und einer sich durch die Wand 24a erstreckenden Stiftschraube 46 einstellbar. Durch die Stiftschraube wird ein Endlager 42 in die richtige Lage gebracht, das in einer Vertiefung 44 der Wand 24a angebracht ist und gegen das das Ende der Innenwelle 38 anliegt. Eine Unterlagscheibe oder eine Platte 50 ist vorzugsweise an der Innenwelle 38 innerhalb des Gehäuses 24 befestigt um den möglichen Weg der Innenwelle 38 in Achsenrichtung zu begrenzen. Wenn erforderlich, können die Innenwelle 38, das Lager 42 und die Stiftschraube 46 mit einer Innenbohrung 52, 5^ bzw. 56 verse hen sein, damit ein Thermoelement oder ein anderes Meßgerät längs der Hauptachse eingesetzt werden kann.

Vorzugsweise ist die Gehäusewand 24b mit einer Anzahl von öff nungen 62 versehen, die eine Verbindung zwischen dem Inneren des Gehäuses 24 und dem Inneren der Hohlwelle 26 herstellen.

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Die Öffnungen 62 stellen sicher, daß irgendwelche innerhalb des Gehäuses 24 befindlichen Gase durch die Hohlwelle 26 hindurch evakuiert werden, statt daß sie längs der Lager 30 und 42 in Richtung auf den Beschichtungsvorgang durchdringen.

Das Gehäuse 24 und die Hohlwelle 26 können aus nicht rostendem Stahl der Sorte 304 gefertigt werden, jedoch wird bevorzugt eine Legierung wie Hastelloy B verwendet, die die hohen Temperaturbedingungen des Beschichtungsvorganges besser aushält. Die Zahnräder 34 und 40,der Wellenstummel 28 und die Innenwelle 38 müssen aus einem Material mit hoher Festigkeit bei Betriebstemperaturen, beispielsweise aus der Legierung HASTELLOY B bestehen. Ferner müssen die Zähne der Zahnräder relativ groß sein, damit sie sich unter Belastung nicht verbiegen; vorzugsweise wird ein Teilungsverhältnis (dimetral pitch) 16 verwendet. Zahnräder aus nicht rostendem Stahl 316 und einem Teilungsverhältnis von 24 wurdeabei annähernd 100 Betriebsstunden mit einer Gehäusetemperatur in der Nähe von 1000 C verbogen.

Um ein Verklemmen sowohl bei Raumtemperatur als auch bei Betriebstemperatur zu vermeiden,werden die Lager 30 vorzugsweise aus Molybdän, aus Graphit oder aus einem anderen Material hergestellt, dessen thermischer Ausdehnungskoeffizient beträchtlich kleiner als der des Materials der Wellenstummel 28 ist. Die verschiedenen Teile sind in ihren Abmessungen so gestaltet, daß bei Raumtemperatur die Welle 28 sich innerhalb des Lagers 30 dreht, das in der Vertiefung 31 stationär ruht, während bei Betriebstemperatur der Wellenstummel und das Lager 30 sich zusammen innerhalb der Vertiefung 31 drehen. Ein derartiger Aufbau ist deswegen nützlich, weil dann die Belastungskräfte bei Betriebstemperatur über eine viel größere Lagerfläche verteilt werden, wenn die Materialien sich leichter verformen. Die dazu erforderlichen Abmessungen und Toleranzen der Teile können einfach aus ihren relativen thermischen Ausdehnungskoeffizienten berechnet werden.

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Das Endlager 42 besteht vorzugsweise aus Molybdän, so daß die relative thermische Ausdehnung der Teile das Lager freilegt, statt es einzuspannen.

Um ein Festklemmen der Welle, der Lager und der Zahnflächen zu verhüten,sind alle diese Teile vorzugsweise mit einem Trokkenlaufmittel mit niederem Dampfdruck beschichtet, beispielsweise mit Molybdän disulfid, Wolfram_disulfid odermLt Bornitrid, bevor sie zusammengebaut werden. Das Molybdän_disulfid wird besonders bevorzugt, da es mit einer Sprayvorrichtung aufgebracht werden kann.

Die Verwendung von Materialien, die bei Arbeitstemperaturen noch genügende Festigkeit aufweisen, wird deswegen bevorzugt, weil damit der Halter während des Beschichtens nicht besonders gekühlt werden muß. Eine Wasserkühlung von Teilen und besonders von sich drehenden Teilen ist im Hochvakuum wegen der Gefahr der Undichtheit besonders nachteilig. ■

Die Anzahl der Wellenstummel und die Schräglagewinkel der Wellenstummel 28 hängt von der Art der Beschichtungsquelle und den Anforderungen der besonderen anzufertigenden Beschichtung ab. Wie dargestellt, ist die Mittelachse des Halters 20 mit der Hauptachse der Welle 25 koaxial angeordnet. In manchen Fällen kann jedoch der Halter 20 mit einem gewissen Winkel gegen die Hohlwelle geneigt angeordnet werden, wenn dafür gesorgt ist, daß die Hohlwelle 26 und die Innenwelle 38 drehbar sind.

In einem typischen Anwendungsfall wird der Halter 20 in die Durchführungsschleuse 16 eingebracht und an der Hauptwelle 25 befestigt. Bei offener Einführungsschleuse 16 und geschlossener Kammertüre 12 werden die Substrate 18 an den Enden der Wellenstummel 28 angebracht und durch in die Bohrungen 32 eingesetzte Stifte gesichert. Die Schleuse 16 wird verschlossen,

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die Türe 12 geöffnet und die Substrate und der Halter werden

gebracht

in die Vakuumkammer TCy.Bei einer gebräuchlichen Verwendungsart werden die Hohlwelle und die Innenwelle 38 zusammen gedreht, wobei das Gehäuse und die Substrate um die Hauptachse gedreht werden. Nach einer gewissen Beschichtungszeit wird die Innenwelle 38 in Bezug auf die Hohlwelle 36 so gedreht, daß sich jedes Substrat um 180° um seine eigene Achse dreht. Der Beschichtungsprozeß wird fortgesetzt, wobei die Hohlwelle 26 und die innere Welle 28, wie zuvor,miteinander gedreht werden. Auf diese Weise erhält jedes Substrat eine gleichförmige Beschichtung um seinen gesamten Umfang herum. Es ist zu sehen, daß sowohl die Hohlwelle 26 als auch die Innenwelle 38 fortlaufend mit verschiedener Geschwindigkeit oder in entgegengesetzter Richtung während des gesamten Vorganges gedreht werden können.

Nachdem die Substrate die gewünschte Beschichtung erhalten haben und der Halter und die Substrate xn die Einführungsschleuse 16 zurückgezogen sind, wird die Türe 12 geschlossen, die Schleuse 16 mit Umgebungsluft belüftet und geöffnet, so daß die Substrate von den Wellenstummeln 28 entfernt werden können. Es können mehrere Einführungsschleusen und mehrere Substrathalter bei einer Beschichtungskammer vorgesehen werden, so daß eine Substratreihe immer beschichtet wird, während andere Substratreihen gerade abgenommen oder aufgesteckt werden. Die Anmeldung betrifft also einen Substrat- oder Teilehalter, der eine Drehung von mindestens zwei Teilen um deren jeweilige Achsen und eine Drehung aller Teile um eine Hauptachse gestattet. Der Teilhalter besitzt einen Wellenstummel für jeden aufzunehmenden Teil und ein hohles Gehäuse, das an dem Ende einer Hohlwelle befestigt ist. Eine innere Welle ist innerhalb der Hohlwelle drehbar angebracht und ein Mittelzahnrad steht mit jeweils an den Wellenstummel innerhalb des Gehäuses befestigten Zahnrädern in Eingriff. Es sind Einrichtungen vorgesehen,

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um ein Teil an jedem Wellenstummel außerhalb des Gehäuses zu befestigen. Eine Drehung der Hohlwelle ergibt eine Drehung
aller Teile um die gemeinsame Achse, während ein Drehungsunterschied zwischen Hohlwelle und Innenwelle eine Drehung jedes Teiles um die Achse des jeweiligen befestigenden Wellenstummels ergibt.

- Patentansprüche -

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L e e r s e

Claims

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Patentansprüche

. Ein Halter zum Halten und Drehen von mindestens zwei Substraten in der Umgebung einer Beschichtungsquelle innerhalb einer Vakuumkammer, dadurch gekennzeichn e t , daß

a) Einrichtungen zum Drehen jedes Substrates um eine individuelle Achse,

b) Einrichtungen zum Drehen der individuellen Achsen des Substrates um eine Hauptachse, und

c) Einrichtungen zur Fernsteuerung der Hauptachsendrehung und der Einze
gesehen sind.

und der Einzelachsendrehung unabhängig voneinander vor-
2. Halter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß er aus Materialien besteht, die ihre Festigkeit bei Arbeitstemperaturen von mehr als 800 C aufrechterhalten.
3. Halter zum Halten und Drehen mindestens zweier Substrate in der Nachbarschaft einer Beschichtungsquelle innerhalb einer Vakuumkammer, dadurch gekennzeichnnet , daß

a) eine Haltewelle die Substrate um eine Hauptachse drehbar hält,

b) je ein Wellenstummel jedes Substrat um seine individuelle Achse drehbar hält.

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ORIGINAL INSPECTED

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c) eine an der Tragewelle befestigte Einrichtung zur drehbaren Aufnahme jedes Wellenstummels vorgesehen ist,

d) eine unabhängig von der Haltewelle drehbare Welle vorgesehen ist, und

e) daß eine Einrichtung zwischen der Antriebswelle und jedem Wellenstummel eingreifen kann, um jeden Wellenstummel um seine individuelle Achse zu drehen, wenn die Antriebswelle sich in Bezug auf die Tragewelle dreht.
4. Halter nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Drehen des Wellenstummels ein an der Antriebswelle befestigtes Mittelzahnrad und ein jeweiliges an jedem Wellenstummel befestigtes Zahnrad umfaßt, und daß die Einrichtung zum Anbringen des Wellenstummels ein Lager für jeden Wellenstummel umfaßt und daß ein Gehäuse zum Abschirmen jedes Zahnrades und jedes Lagers gegenüber der Beschichtungsquelle vorgesehen ist.
5. Halter nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß er aus Materialien aufgebaut ist, die ihre Festigkeit bei Arbeitstemperaturen von mehr als 800 C aufrechterhalten.
6. Halter nach Anspruch 5> dadurch gekennzeichnet daß die Haltewelle eine Hohlwelle ist und daß die Antriebswelle sich innerhalb der Hohlwelle dreht.
7- Halter nach Anspruch 5> dadurch gekennzeichnet, daß außerhalb der Kammer vorgesehene Einrichtungen die Drehung der Haltewelle und die Drehung der Antriebswelle unabhängig voneinander beeinflussen.

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8. Halter nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet, daß jeder Wellenstummel einen Winkel zwischen 10° und 45° gegenüber der Haltewelle aufweist.
9. Halter nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet, daß jeder Wellenstummel durch sein zugehöriges Lager tritt, daß jeder Wellenstummel einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist, der größer als der thermische Ausdehnungskoeffizient des Lagers ist,/daß jeder WeI-lenstummel und jedes Lager so bemessen sind, daß sich der Wellenstummel innerhalb des Lagers bei Raumtemperatur dreht, daß jedoch der Wellenstummel sich mit dem Lager bei Arbeitstemperatur dreht.
10. Halter nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet, daß die Wellenstummel, die Lager und die Zahnräder mit einer Notschlaufbeschichtung beschichtet sind, die aus der aus Molybdändisulfid, Wolframdisülfid und Bornitrid bestehenden Gruppe ausgewählt ist.
11. Halter nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Lager aus Molybdän oder Graphit besteht.
12. Halter nach Anspruch 5i dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswelle, jeder Wellenstummel und jedes Zahnrad aus der Legierung HASTELLOY B besteht.
13. Halter nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse aus der Legierung HASTELLOY B besteht.
14. Halter nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Lager aus Molybdän besteht.

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15· Substrathalter zur Verwendung in einer Elektronenstrahlbeschichtungsapparatur zur gleichzeitigen Beschichtung aus der Dampfphase einer Vielzahl von Turbinenblättern oder -schaufeln mit einer korrosionsbeständigen Legierung, bei gleichzeitiger Verwendung von Einrichtungen zur Aufnahme der auf den Blättern oder Schaufeln abzuscheidenden Legierung mit Elektronenstrahlheizeinrichtungen zum Verdampfen der Legierung, um eine Dampfwolke aus dieser zu bilden, wobei der Substrathalter zum Tragen der Blätter oder Schaufeln in der Dampfwolke dient, dadurch gekennzeichnet, daß Einrichtungen zum Drehen des Substrathalters um eine erste Achse und mit dem Substrathalter verbundene Einrichtungen zum Drehen jedes Blattes oder jeder Schaufel um eine eigene Achse während des Beschichtens vorgesehen sind, wodurch die Blätter oder Schaufeln mit einer vorbestimmten Stärke beschichtet werden können,ohne Zwischenflächen in der Beschichtung zu erzeugen.
16.Verfahren des Bewegens von mindestens zwei Substraten in der Nachbarschaft einer Beschichtungsquelle im Vakuum, dadurch gekennzeichnet , daß

a) jedes Substrat um eine einzelne Achse gedreht wird,

b) die einzelnen Achsen der Substrate um eine Hauptachse gedreht werden, und

c) daß die Hauptachsendrehung und die Einzelachsendrehung unabhängig voneinander beeinflußt werden.
17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß

d) die Substrate so aufgeheizt werden, daß ihre Temperatur während des Vorgangs a) über 800⁰C beträgt.

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18. Verfahren zum Beschichten einer Vielzahl von Turbinenblättern oder -schaufeln mit einer korrosionsbeständigen Legierung durch Abscheiden aus der Dampfphase im Vakuum, dadurch gekennzeichnet , daß alle Blätter oder Schaufeln als Gruppe um eine erste Achse durch eine Dampfwolke der Legierung bewegt werden und daß jedes Blatt oder jede Schaufel während der Drehung der Gruppe aus Blättern

um
oder Schaufeln/die erste Achse unabhängig um seine eigene Achse gedreht wird,ohne es aus der Dampfwolke zu entfernen, um eine Beschichtung aus der Legierung zu bilden, die frei von Zwischenflächen ist und eine vorbestimmte Stärkeverteilung auf beiden Seiten der Blätter oder Schaufeln aufweist.

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