FR2465792B1 - Installation de metallisation sous vide pour le depot d'un revetement sur toutes les faces de substrats par rotation de ces derniers dans un flux de materiau - Google Patents

Installation de metallisation sous vide pour le depot d'un revetement sur toutes les faces de substrats par rotation de ces derniers dans un flux de materiau

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    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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