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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Gleitelementes gemäss dem Oberbegriff des Anspruches 1 sowie eine Vorrichtung zur Beschichtung eines Gleitelementes gemäss den Oberbegriffen der Ansprüche 17 und 18
Verfahren zur Abscheidung metallischer Schichten auf einem metallischen Substrat im Vakuum sind schon seit langerem bekannt So ist z. B aus der DE 195 14 835 C1 bekannt, auf konkav gekrümmte Gleitelemente eine Schicht durch Vakuumaufdampfen aufzubringen. Dazu wird zwischen dem Substrat und der Verdampferbadoberfläche ein bestimmter Abstand eingestellt.
Das aufzudampfende Material ist in Verdampfertiegeln angeordnet und erfolgt die Verdampfung mittels Elektronenbestrahlung Das Substrat wird durch den sich ausbildenden Partikelstrom in der Weise geführt, dass während des Aufdampfens der Schicht der Verdampfer und der Trägerkörper relativ zueinander mit ungleichformiger Geschwindigkeit bewegt werden Die Geschwindigkeit der Linearbewegung erreicht ihre Maximalkomponente sowohl beim Ein- als auch beim Austritt durch diese Dampfkeule.
Um daruber hinaus zu erreichen, dass die Abweichung der Schichtdicke der aufgedampften Schicht von der Maximalschichtdicke weniger als 15 % beträgt, werden Teile des Dampfstroms mit Hilfe von Blenden ausgeblendet
Nachteilig an dieser Art der Bedampfung ist, dass die Schichtdicke durch mehrere aufeinander abzustimmende Parameter festgelegt wird, sowie dass ein relativ komplexer Bewegungsablauf vorgegeben und überwacht bzw geregelt werden muss Zusätzlich sind noch konstruktive Massnahmen zu setzen, um das gewünschte Schichtdickenverhältnis zu erreichen.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren sowie eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, bei dem bzw. bei der auf konstruktive Massnahmen im Partikelstrom zur Erzeugung von Schichten mit bestimmten Schichtdickenverlauf verzichtet werden kann.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale im Kennzeichenteil des Anspruches 1 gelöst. Von Vorteil ist dabei, dass einerseits durch die Drehbewegung eine Flanke und insbesondere der Scheitel der konkav gekrummten Oberfläche des Gleitelementes durch das Gleitelement selbst zumindest teilweise ausgeblendet bzw abgeschattet werden und andererseits jeder Bereich der gekrümmten Oberflache des Gleitelementes während der Drehung zumindest annähernd die selbe Stellung zum Partikelstrom einnimmt, wodurch die niedergeschlagene Menge auf den Flanken des Substrats an die Menge im Scheitelbereich des Gleitelementes angepasst und damit eine weitgehend gleichmässige Schichtdicke erreicht werden kann Damit kann auf die zusätzliche Anordnung von Blenden im Zentrum des Partikelstroms verzichtet werden Vorteilhaft ist weiters gegenüber dem aus dem Stand der Technik bekannten Verfahren,
dass mit diesem Verfahren auch sogenannte Grosslager, welche in Motoren ausserhalb der PKW-Industrie verwendet werden, z B mit einem Radius grosser 150 mm beschichtet werden können.
Von Vorteil sind weiters Ausführungsvarianten nach den Ansprüchen 2 und 3, da mit Hilfe der Linearbewegung eine Verfahrensweise zur Beschichtung von Einzelteilen zur Verfügung gestellt und durch deren Bewegungsrichtung optimal auf die Beschichtungsverhältnisse angepasst werden kann
Es ist weiters von Vorteil, dass entsprechend Anspruch 4 die Linearbewegung kontinuierlich und/oder gleichförmig durchgeführt wird, wodurch sich der technische Aufwand für dieses Verfahren im Vergleich zum aus dem Stand der Technik bekannt gewordenen Verfahren entsprechend verringern lasst
Vorteilhaft ist aber auch ein Verfahren nach Anspruch 5, da damit eine weitere Vereinheitlichung der Schichtdicke der aufzudampfenden Schicht erreicht werden kann.
Es sind aber auch Verfahren nach den Anspruchen 6,7 oder 8 möglich, da damit eine vollstandige Uberstreichung der fur derartige Gleitelemente vorzugsweise verwendeten konkaven Oberfläche erreicht werden kann und zudem die Drehung der Gleitelemente an das Gleitelement angepasst werden kann Durch die wahlweise Drehung um mehr oder weniger als 180 ist eine benutzerspezifische Ausbildung einer Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens möglich.
Von Vorteil bei der Weiterbildung nach Anspruch 9 ist, dass die Zeiten für die Drehbewegung optimiert werden konnen und sich somit einer Verkürzung der Taktzeiten und damit auch eine Erhöhung der Wirtschaftlichkeit des Verfahrens erreichen lasst.
Weiters ist eine Ausführungsvariante nach Anspruch 10 möglich, bei der von Vorteil ist, dass mehrere Gleitelemente wirtschaftlich während eines Herstellungsschnttes beschichtet werden
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können.
Von Vorteil ist dabei auch eine Ausführungsvariante nach Anspruch 11, wonach eine gegenseitige Beeinträchtigung der einzelnen Gleitelemente vermieden werden kann.
Vorteilhaft ist weiters eine Variante des Verfahrens nach Anspruch 12, da damit ein kontinuierlicher Produktionsprozess ermöglicht wird
Mit einer weiteren Ausführungsvanante gemäss Anspruch 13 kann als Vorteil erreicht werden, dass Gleitelemente unterschiedlichster Grössen beschichtet werden können
Vorteilhaft ist aber auch eine Verfahrensvariante nach Anspruch 14, da damit unterschiedliche Schichtdicken erreichbar sind
Es ist aber auch eine Ausführungsvariante nach Anspruch 15 von Vorteil, wonach eine gezielte Schichtdickenverteilung über die zu beschichtende Oberfläche in einem breiten Bereich variiert werden kann
Von Vorteil ist auch eine Weiterbildung des Verfahrens nach Anspruch 16,
da damit auf einfache Weise eine Mehrfachbeschichtung und/oder eine Legierungsbildung fur die aufzubringende Schicht bzw eine Beschichtung in mehreren Schritten erreicht werden kann
Die Aufgabe der Erfindung wird aber auch durch die Merkmale des Kennzeichenteils in Anspruch 17 gelost. Vorteilhaft ist dabei, dass durch die Anordnung eines Drehelementes im Beschichtungsbehälter eine einfache Halterung für die zu beschichtenden Teile zur Verfugung gestellt werden kann und dass darüber hinaus der Antrieb für dieses Drehelement mit einfachen, aus dem Stand der Technik bekannten Mitteln gesteuert werden kann.
Die Aufgabe der Erfindung wird weiters durch die Merkmale des Kennzeichenteils in Anspruch 18 gelost. Von Vorteil ist dabei, dass mit dieser Vorrichtung mit einfachen Mitteln auf kundenspezifische Wünsche schnell reagiert werden kann, da diese Vorrichtung diskontinuierlich für die Beschichtung verschiedenster Grössen von Gleitelementen verwendet und damit ein weitgehend gleichmässiger Schichtdickenverlauf erreicht werden kann
Vorteilhaft ist dabei weiters eine Ausgestaltung der Vorrichtung nach Anspruch 19, wonach eine kontinuierlich arbeitende Vorrichtung für die Herstellung von Gleitelementen zur Verfugung gestellt werden kann
Durch die Ausgestaltung nach Anspruch 20 kann der konstruktive Aufwand für die Vorrichtung verringert werden
Schliesslich sind aber auch Ausgestaltungen nach den Ansprüchen 21 oder 22 möglich,
wodurch eine Vorrichtung zur Verfugung gestellt werden kann, die an unterschiedlichste Beschichtungsverhältnisse fur unterschiedliche Gleitelemente angepasst werden kann
Zum besseren Verständnis wird die Erfindung anhand der nachfolgenden Figuren näher erläutert.
Es zeigen-
Fig 1 das erfindungsgemasse Verfahren, schematisch vereinfacht dargestellt;
Fig. 2 eine schematische Darstellung des Verfahrens nach dem Stand der Technik,
Fig. 3 das erfindungsgemässe Verfahren mit flächig ausgebildeter Verdampferbadoberfläche, schematisch vereinfacht dargestellt,
Fig. 4 eine Ausführungsvariante des erfindungsgemässen Verfahrens in schematisch verein- fachter Darstellung
Einführend sei festgehalten, dass in den unterschiedlich beschriebenen Ausfuhrungsformen gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen bzw gleichen Bauteilbezeichnungen versehen werden, wobei die in der gesamten Beschreibung enthaltenen Offenbarungen sinngemäss auf gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen bzw gleichen Bauteilbezeichnungen übertragen werden können Auch sind die in der Beschreibung gewählten Lageangaben, wie z B oben, unten, seitlich usw.
auf die unmittelbar beschriebene sowie dargestellte Figur bezogen und sind bei einer Lageänderung sinngemäss auf die neue Lage zu übertragen Weiters können auch Einzelmerkmale oder Merkmalskombinationen aus den gezeigten und beschriebenen unterschiedlichen Ausfuhrungsbeispielen für sich eigenständige, erfinderische oder erfindungsgemässe Lösungen darstellen
In Fig. 1 ist eine schematisch vereinfachte Darstellung des erfindungsgemässen Verfahrens gezeigt. Zur Durchführung des Verfahrens kann in einem Tiegel 1 ein entsprechender, zu verdampfender Werkstoff 2, z. B. ein Metall oder eine Legierung, vorgelegt werden Die Verdampfung erfolgt bevorzugt durch Beaufschlagung des Werkstoffes 2 mit Elektronenstrahlen, jedoch sind
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auch andere Methoden zur Verdampfung. z.
B durch Wärmeeinwirkung, Laserstrahlen oder dgl , möglich In der Folge breitet sich vom Tiegel 1, d.h. einer Verdampferbadoberfläche 3 ein Partikelstrom 4, beispielsweise in Form einer Dampfkeule, in Richtung einer Partikelstromlängsmittelachse 5 zu einem zu bedampfenden Werkstück hin, z. B einem Gleitelement 6, aus Derartige Verfahren werden üblicherweise unter Vakuum durchgeführt, sodass die eben beschriebene Anordnung in einem geschlossenen Behalter (in Fig 1 nicht dargestellt) umfassen soll.
Zur seitlichen Begrenzung des Partikelstroms 4 bzw. zur Begrenzung des Durchmessers des Partikelstroms 4 konnen, wie bekannt, seitliche Aperturblenden (in Fig 1 nicht dargestellt) angeordnet sein und ist es möglich, diese Begrenzung auch mit nur einer Aperturblende, z. B einer Ringblende, zu erreichen
Da das Verfahren des Elektronenstrahlbedampfens dem Fachmann hinlänglich aus dem einschlagigen Stand der Technik bekannt ist, soll an dieser Stelle nicht näher darauf eingegangen werden Insbesondere sind die Grundlagen bzgl der Winkelabhängigkeit der Konzentration der Partikel im Partikelstrom 4 bestens untersucht
Die zu beschichtenden Werkstucke.
wie beispielsweise die Gleitelemente 6, konnen als Gleitlagerhalbschalen ausgeführt sein Diese Gleitlagerhalbschalen können einen ein- oder mehrschichtigen Aufbau aufweisen, wobei eine der Schichten durch eine Stützschicht 7 (in Fig. 1 strichliert dargestellt) gebildet wird. auf der weitere Schichten, beispielsweise eine Zwischenschicht 8 und/ oder eine Diffusionssperrschicht 9, aufgebracht werden Die Stutzschicht 7 bildet üblicherweise die in bezug auf die konvex gekrümmte Oberfläche 10 äusserste Schicht des Gleitelementes 6 und kann z. B aus Stahl gefertigt sein. Auf diesem ein- bzw. mehrschichtigen Aufbau wird in der Folge mit Hilfe des erfmdungsgemassen Verfahrens eine Gleitschicht 11 (in Fig 1 im rechten Teil der Darstellung gezeigt), beispielsweise aus einer Aluminium-Zinnlegierung aufgedampft.
Selbstverständlich können aber auch andere Legierungen bzw. Metalle, wie z B mit Sputterverfahren üblicherweise verarbeitete Legierungen, Aluminiumbasislegierungen mit Blei und/oder Wismut und/oder Indium und/oder Zinn als Legierungselemente, Kupferbasis sowie Silberbasislegierungen mit Blei und/oder Wismut und/oder Indium und/oder Zinn, Kupfer-Blei-, Silber-Blei-Legierungen oder dgl., aufgedampft werden Die Aufzahlung der möglichen zu verwendenden Legierungen ist nicht erschöpfend und können selbstverständlich auch andere als die genannten Legierungen bzw.
Gemische verarbeitet werden
Derartige Legierungen können Aluminium im Bereich zwischen 50 Gew-% bis 90 Gew.-%, beispielsweise im Bereich zwischen 55 Gew -% und 80 Gew -%, vorzugsweise im Bereich zwischen 60 Gew -% und 79 Gew -%, insbesondere im Bereich zwischen 64 Gew. -% und 70 Gew -% sowie Zinn im Bereich zwischen 5 Gew. -% und 45 Gew. -%, beispielsweise im Bereich zwischen 10 Gew -% und 39 Gew.-%, vorzugsweise im Bereich zwischen 12 Gew -% und 32 Gew.-%, insbesondere im Bereich zwischen 17 Gew -% und 20 Gew -% enthalten Andere Legierungselemente, wie z B Mangan, Eisen, Kobalt oder dgl. können selbstverständlich zur Bildung bestimmter Legierungsphasen, z.
B Hartstoffe enthalten sein
Die Verfahren bzgl der Vorbehandlung der Stutzschicht 7, beispielsweise der Entfettung mit Hilfe diverser Lösungsmittel sowie die Aufbringung diverser Einzelschichten, wie beispielsweise der Zwischenschicht 8 oder der Diffusionssperrschicht 9, z B durch galvanische Verfahren oder durch Plattier- bzw Walzverfahren, Sputterverfahren sind ebenfalls aus dem Stand der Technik bekannt Als Werkstoffe konnen z B Bleibronze oder dgl für die Zwischenschicht 8 oder Nickel, Nickel-Chrom-, Nickel-Kupfer-Legierungen fur die Diffusionssperrschicht 9 verwendet werden.
Es können auch hier wiederum andere aus dem Stand der Technik bekannte Legierungen verwendet werden
Selbstverständlich ist aber auch ein anderer als der hier beschriebene mehrschichtige Aufbau des Gleitelementes 6 möglich
Um nun die erfindungsgemasse Verfahrensweise nach Fig 1 zu erlautern, ist in Fig 2 ein Verfahren nach dem Stand der Technik, z B der eingangs erwähnten DE-C1 schematisch angedeutet
Das Gleitelement 6 wird bei dem in Fig 2 dargestellten Verfahren in der Richtung gemäss Pfeil 12 über den Tiegel 1 bewegt und wird dabei dessen zu beschichtende, konkav gekrümmte Gleitelementoberflache 13 vom Partikelstrom 4 uberstnchen.
Zur Vereinfachung wird letzterer als punktförmige Dampfquelle mit mehreren Abschnitten 14,15 gleicher Breite betrachtet, von der sich die Dampfkeule in Richtung des Gleitelementes 6 ausbreitet Durch diese Vereinfachung ist sofort
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ersichtlich, dass die Abschnitte 14 unter einem anderen Winkel als der Abschnitt 15 auf die Gleitelementoberfläche 13 auftreffen Die Konsequenz davon ist, dass in einem Scheitelbereich 16 des Gleitelementes 6, der in etwa senkrecht zur Verdampferbadoberflache ausgerichtet ist, eine grössere Menge an aufzudampfendem Werkstoff 2 abgeschieden wird als in den beiden Flankenbereichen 17 Um trotzdem eine zumindest annähernd gleiche Schichtdicke zu erreichen, wird nach der DE-C1 eine beheizte Blende 18 im Zentrum des Partikelstroms 4 angeordnet,
mit der ein Teil des Partikelstroms 4 ausgeblendet wird und zudem eine ungleichförmige Linearbewegung des Gleitelementes 6 durchgeführt, wodurch der Nachteil entsteht, dass zusätzliche Herstellkosten infolge der längeren Beschichtungsdauer und der zusatzlichen Energiekosten - um nur einige zu nennen-, sowie ein komplexerer Bewegungsablauf zu bewerkstelligen ist
Nach dem erfindungsgemässen Verfahren entsprechend Fig 1 kann auf die Anordnung einer zusätzlichen Blende 18 verzichtet werden Dazu führt das Gleitelement 6 während seiner Linearbewegung in Richtung Pfeil 12 über die Verdampferbadoberflache 3 eine Drehbewegung aus Die Linearbewegung wird kontinuierlich und/oder gleichförmig durchgeführt.
Vorzugsweise wird das Gleitelement 6 vor dem Eintritt in den Partikelstrom 4 so ausgerichtet, dass Stirnflächen 19 zumindest annähernd parallel zur Partikelstromlangsmittelachse 5 ausgerichtet sind Andererseits ist es natürlich möglich, dass diese Stirnflächen 19 zumindest annähernd parallel zu einer gedachten Verlängerung einer äusseren Umhüllenden 20 des Partikelstroms 4 ausgerichtet sind.
Wird nun in der Folge das Gleitelement 6 über den Partikelstrom 4 bewegt, so vollzieht das Gleitelement 6 zusätzlich eine Drehbewegung entsprechend den Pfeilen 21 und 22, sodass während der Bedampfung eine konkav gekrümmte Oberfläche 23 des Gleitelementes 6 dem Partikelstrom 4 zugewandt wird, um schliesslich beim Verlassen des Partikelstroms 4 zumindest annähernd
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lele Stirnflachen 19 aufzuweisen
Der Vorteil, der durch diese zusätzliche Drehbewegung erzielt werden kann, ist die teilweise Ausblendung des Partikelstroms 4 im Eintritts- sowie Austrittsbereich durch das Gleitelement 6, insbesondere durch den Bereich in der Nähe der Stirnflachen 19 Insbesondere ist damit gemeint,
dass vorerst lediglich der Flankenbereich 17 vom Partikelstrom 4 überstrichen wird Aufgrund der Stellung des Gleitelementes 6 beim Eintritt in den Partikelstrom 4 sowie der geometrischen Verhältnisse des Gleitelementes 6 überstreicht der Partikelstrom 4 den Flankenbereich 17 so, dass die Krümmung im wesentlichen jener im Scheitelbereich 15 entspricht.
Es werden damit also zumindest annähernd immer dieselben Verhältnisse für die Beschichtung geschaffen, d h jeder Punkt der Oberflache 23 des Gleitelementes 6 nimmt im Verlauf der Bedampfung dieselbe relative Position zur Quelle, d h. eine zur Verdampferbadoberfläche parallele Stellung ein
Eine Ausnahme kann lediglich die Beschichtung im Zentrum des Partikelstroms 4 bilden, sofern dieser in seinen Abmessungen sehr breit ist, da in diesem Fall sowohl der Flankenbereich 17 als auch der Scheitelbereich 15 gleichzeitig beschichtet werden Dies kann aber insofern umgangen werden, indem ein Öffnungswinkel 24 des Partikelstroms 4 so gewählt wird, dass im Zentrum, d.h im Scheitelbereich 15,
lediglich dieser und nicht der Flankenbereich 17 beschichtet werden (der grosse Öffnungswinkel 24 in Fig 1 dient lediglich der schematischen Darstellung und Erläuterung der Erfindung und stellt nicht die realen Verhältnisse dar).
Damit wird also das Gleitelement 6 vom Eintritt in den Partikelstrom 4 bis zum Verlassen desselben um zumindest nahezu 180 (oder geringfügig mehr) gedreht, sodass also das Gleitelement 6 beim Verlassen des Partikelstroms 4 im wesentlichen spiegelverkehrt zur Orientierung wahrend der Eintrittsphase ausgerichtet ist.
Der Drehwinkel des Gleitelementes 6 kann aber auch weniger als 180 betragen, wenn das Gleitelement 6, wie in Fig. 1 oben dargestellt, in zur vorherigen Variante spiegelverkehrt angeordnet wird.
In bezug auf die Ausrichtung der oben erwähnten Achsen sei bemerkt, dass, wie in Fig. 3 dargestellt, die Drehachse des Gleitelementes 6 im Fall der Ausbildung des Tiegels 1 als längliches Schiffchen auch parallel zu dessen Länge bzw. zu der durch den Partikelstrom 4 aufgespannten, in Fig 3 strichliert dargestellten Ebene ausgerichtet sein kann
Mit Hilfe dieser Verfahrensweise ist es moglich, auch grössere Gleitelemente 6 zu beschichten, z B. mit Durchmessern bzw Radien, die grosser als 150 mm sind
In Fig. 4 ist eine Ausführungsvariante des erfindungsgemassen Verfahrens gezeigt, wobei der
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Partikelstrom 4 wiederum unmassstäblich vergrössert dargestellt ist.
Bei dieser Variante sind bevorzugt mehrere Gleitelemente 6, für die selbstverständlich wiederum obige Ausführungen gelten können, auf einem Drehelement 25, beispielsweise einer Drehtrommel, einem Drehteller oder dgl., angeordnet Die gesamte Verdampferanordnung ist wiederum in einem vakuumdichten, nicht dargestellten Behalter untergebracht. Eine Drehachse 26 des Drehelementes 25 ist dabei senkrecht auf die Partikelstromlängsmittelachse 5 ausgerichtet und kann die Drehung des Drehelementes 25 z B. in Richtung eines Pfeils 27 erfolgen.
Aufgrund der Drehung des Drehelementes 25 werden die einzelnen, zu beschichtenden Gleitelemente 6 nacheinander in den Partikelstrom 4 verbracht, womit wiederum der zu Fig 1 beschriebene Effekt hinsichtlich der Abschattung bzw der Beschichtung sowie der Ausrichtung der Gleitelemente 6 hinsichtlich Ihrer Krümmung auf den Partikelstrom 4 erreicht werden kann. Dieses Verfahren nach Fig 4 ermöglicht also mit Vorteil die Beschichtung mehrerer Gleitelemente 6, ohne dass der Be- schichtungsprozess unterbrochen werden müsste.
Wie in Fig 4 strichliert dargestellt, können die Gleitelemente 6 in einzelnen Kammern 28 angeordnet und somit voneinander getrennt sein Diese Kammern 28 konnen so am Drehelement 25 angebracht werden, dass z B ein herausziehen einzelner Kammern 28 aus dem Drehelement 25 möglich ist Damit kann erreicht werden, dass, wenn eine beispielsweise andeutungsweise gezeigte Schleuse 29, welche z B.
in Richtung der Partikelstromlangsmittelachse 5 der Verdampferbadoberfläche 3 gegenüberliegend angeordnet ist - selbstverständlich sind auch andere Platzierungen möglich - mit Hilfe einer Einrichtung 30 (in Fig 3 strichliert dargestellt) innerhalb der Schleuse 29 zumindest eine Kammer 28 samt dem sich darauf befindenden Gleitelement 6 vom Drehelement 25 abgezogen werden Es kann damit ein kontinuierlicher Produktionsprozess erzielt werden, wenn die Schleuse 29 z B einen seitlich angeordneten Eingang 31 sowie einen Ausgang 32 aufweist, sodass wahrend der Bedampfung ein fertig bedampftes Gleitelement 6 in die Schleuse 29 verbracht wird und dort - gemass Pfeil 33 - aus der Schleuse entfernt sowie anschliessend gemass Pfeil 34 - ein neues,
unbeschichtetes Gleitelement 6 in die Schleuse 29 eingeführt und in der Folge auf das Drehelement 25 durch die Einrichtung 30 verbracht wird
Um bei dieser Ausführungsvariante wiederum eine möglichst gleichmässige Schichtdicke bzw einen bestimmten Schichtdickenverlauf über die konkave Oberfläche des Gleitelementes 6 zu erreichen ist es moglich, den Durchmesser des Drehelementes 25 auf den Radius des Gleitelementes 6, z B den Radius der konkav gekrummten Oberfläche 23, abzustimmen, sodass in der Folge gunstige Voraussetzungen hinsichtlich der Stellung der Gleitelemente 6 in bezug auf den Partikelstrom 4, d.h im wesentlichen einer optimalen.
oben beschriebenen Ausrichtung der gekrummten, konkaven Oberfläche auf den Partikelstrom 4, erreicht werden konnen Es ist selbstver- standlich in diesem Zusammenhang möglich, den Durchmesser des Drehelementes 25 so zu wählen, dass Gleitelemente 6 mit verschiedenen Radien beschichtet werden können
Des weiteren kann der Drehwinkel der Gleitelemente 6 an den Öffnungswinkel der Aperturblenden angepasst sein
Weiters ist es bei beiden Ausführungsvarianten des erfindungsgemässen Verfahrens möglich, die Geschwindigkeit der Drehbewegung in Abhängigkeit der gewünschten Schichtdicke festzulegen und ist es beispielsweise moglich,
beim Eintritt des Gleitelementes 6 in den Partikelstrom 4 eine höhere Geschwindigkeit vorzugeben als für die Geschwindigkeit der Drehbewegung im Zentrum des Partikelstroms bzw sind auch umgekehrte Geschwindigkeitsverhaltnisse möglich Dabei kann eine grössere Schichtdicke durch eine geringere Geschwindigkeit der Dreh- und/oder Linearbewegung erreicht werden
Insbesondere ist es dabei möglich dass sich die Geschwindigkeit der Drehbewegung während der Drehung ändert
Selbstverständlich können auch fur die Linearbewegung des Gleitelementes 6 unterschiedlichste Bewegungsablaufe vorgegeben werden
Bei beiden Ausfuhrungsvananten ist es weiters moglich, insbesondere bei der Ausfuhrungsvanante nach Fig 4 Mehrfachbeschichtungen durchzuführen, beispielsweise durch zwei- oder mehrmalige Umdrehung des Drehelementes 25 Dabei kann auch mit Vorteil erreicht werden, dass,
wenn zwei Tiegel 1 im Behälter angeordnet werden, bei einer ersten Umdrehung ein erster Werkstoff 2 auf die Gleitelemente 6 aufgedampft wird und während einer zweiten Bewegung ein zweiter Werkstoff 2 uber diesen angeordnet wird bzw sind damit auch Legierungsbildungen an den
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Gleitelementen 6 während des Beschichtungsvorganges möglich.
Es ist selbstverständlich möglich, eine Schicht in Raten infolge mehrere Umdrehungen aufzubnngen
Vorteilhaft ist weiters, wenn der Abstand der Gleitelemente 6 von der Verdampferbadoberfläche im Bereich zwischen 30 mm und 250 mm, vorzugsweise im Bereich zwischen 40 mm und 200 mm, insbesondere im Bereich zwischen 50 mm und 150 mm, jeweils zuzuglich des Radius des Gleitelementes 6 beträgt Die unteren Grenzen des Abstandes werden vorzugsweise für Gleitelemente 6 mit grösseren Radien verwendet
Abschliessend sei erwähnt, dass bei den beschriebenen Ausführungsvananten der Drehpunkt der Gleitelemente 6 oberhalb des Tiegels 1 angesetzt wurde Es ist aber selbstverständlich auch möglich, den Drehpunkt unterhalb des Tiegels 1 vorzusehen bzw den Tiegel 1 in den Drehpunkt zu setzen Durch diese Varianten können z.B auf vorteilhafte Weise Grosslager beschichtet werden.
Der Ordnung halber sei abschliessend darauf hingewiesen, dass zum besseren Verstandnis des Aufbaus der erfmdungsgemassen Vorrichtung diese bzw deren Bestandteile teilweise unmassstäblich und/oder vergrössert und/oder verkleinert dargestellt wurden
Die den eigenständigen erfinderischen Lösungen zugrundeliegende Aufgabe kann der Beschreibung entnommen werden
Vor allem können die einzelnen in den Fig.
1,3, 4 gezeigten Ausfuhrungen den Gegenstand von eigenständigen, erfindungsgemässen Lösungen bilden Die diesbezüglichen, erfindungsgemässen Aufgaben und Lösungen sind den Detailbeschreibungen dieser Figuren zu entnehmen
Bezugszeichenaufstellung
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<tb>
<tb> 1 <SEP> Tiegel
<tb> 2 <SEP> Werkstoff
<tb>
EMI6.2
EMI6.3
<tb>
<tb> 4 <SEP> Partikelstrom
<tb> 5 <SEP> Partikelstromlangsmittelachse
<tb> 6 <SEP> Gleitelement
<tb> 7 <SEP> Stützschicht
<tb> 8 <SEP> Zwischenschicht
<tb> 9 <SEP> Diffusionssperrschicht
<tb> 10 <SEP> Oberflache
<tb> 11 <SEP> Gleitschicht
<tb> 12 <SEP> Pfeil
<tb> 13 <SEP> Gleitelementoberflache
<tb> 14 <SEP> Abschnitt
<tb> 15 <SEP> Abschnitt
<tb> 16 <SEP> Scheitelbereich
<tb> 17 <SEP> Flankenbereich
<tb> 18 <SEP> Blende
<tb> 19 <SEP> Stirnflache
<tb> 20 <SEP> Umhüllende
<tb> 21 <SEP> Pfeil
<tb> 22 <SEP> Pfeil
<tb> 23 <SEP>
Oberfläche
<tb> 24 <SEP> Öffnungswinkel
<tb> 25 <SEP> Drehelement
<tb> 26 <SEP> Drehachse
<tb> 27 <SEP> Pfeil
<tb>
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<tb>
<tb> 28 <SEP> Kammer
<tb> 29 <SEP> Schleuse
<tb> 30 <SEP> Einrichtung
<tb> 31 <SEP> Eingang
<tb> 32 <SEP> Ausgang
<tb> 33 <SEP> Pfeil
<tb> 34 <SEP> Pfeil
<tb>