DE2609180C2

DE2609180C2 - Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Legierungskörpers

Info

Publication number: DE2609180C2
Application number: DE2609180A
Authority: DE
Inventors: Robert Lewis East Worldham Alton Hampshire Bickerdike; Garyth Boundstone Farnham Surrey Hughes; William Norman Farnham Surrey Mair
Original assignee: UK Secretary of State for Defence
Current assignee: UK Secretary of State for Defence
Priority date: 1975-03-06
Filing date: 1976-03-05
Publication date: 1984-07-12
Also published as: ATA169676A; NO144427B; FR2303084A1; DE2609180A1; IT1057700B; FR2303084B1; BE839280A; CH619738A5; AT350283B; NO144427C; IE44143B1; CA1084354A; US4245823A; GB1521293A; NO760744L; JPS51145455A; SE456017B; NL7602366A; SE7603015L; IE44143L

Description

Die Erfindung bezieht sich auf verbesserte Verfahren zur Herstellung von Legierungskörpern, wobei die Legierung durch Abscheiden der Bestandteile der Legierung aus der Dampfphase erzeugt wird, und auf eine Vorrichtung zur Durchführung der genannten Verfah-

ren.

Verfahren zur Herstellung von Legierungskörpern durch Abscheiden der Bestandteile der Legierung aus der Dampfphase auf einer temperatursteuerbaren Auffangfläche sind bekannt. Ein Beispiel eines solchen Verfahrens ist in der GB-PS 12 06 586 beschrieben.

Durch Dampfphasenabscheidung erzeugte Legierungen haben gewöhnlich ein säulenförmiges Gefüge mit einer zur Quelle des Dampfes tendierenden Wachstumsrichtung und weisen in Verbindung mit dem säulenförmigen Gefüge Porosität besonders dann auf, wenn die Temperatur der Auffangfläche niedrig ist.

Das Vorliegen von Porosität in diesen Legierungen kann für ihre Eigenschaften abträglich sein und wird häufig durch Pressen oder Walzen der erzeugten Legierung beseitigt. Das Behandeln der Legierung in einem besonderen Verfahrensschritt ist unerwünscht, und man fand auch, daß, wenn eine Legierung stabile Oxide bildende Metalle, z. B. Aluminium oder Magnesium, enthält, bei einem Aussetzen der Legierung gegenüber der Atmosphäre vor dem Pressen oder Walzen Sauerstoff aus der Atmosphäre in die Legierung unter Bildung eines Oxidfilms auf der Innenoberfläche der Poren eindringen und so ein zusätzlicher und in gewissen Fällen unerwünschter Bestandteil in den Legierungskörper eingeführt werden kann. Ein Pressen oder Walzen einer Legierung mit hohen Porositätsgrad kann auch schwierig sein, da die Poren als Keime zur Rißbildung wirken können.

Es wurden bereits Verfahren zur Verringerung der Porosität derart abgeschiedener Legierungen untersucht. Beispielsweise beschreibt die GB-PS 12 65 die Einführung dünner Schichten geringfügiger Legierungsbestandteile während der Abscheidung, um periodisch eine Oberflächenumkristallisation auszulösen und ω so die Abmessungen des säulenförmigen Wachstums und damit auch die Porosität einzuschränken. Das Verfahren hat jedoch den möglichen Nachteil zur l-itilührung eines gesonderten l-cingefügebestandteils und steigert die Kompliziertheit der verwendeten Vornchbi uing sowie den erforderlichen Grad der Verfahrenssteuerung. .

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Vcr-I₁₁:-:-" zur Herstellung eines Legicrungskörpers durch

\bscheiden der Legierungsbestandteile aus der Dampfphase auf einer temperatursteuerbaren Auffangfläche derart auszugestalten, daß eine unzulässige Porosität der abgeschiedenen Legierung ohne großen Aufwand und ohne Fremdeinschlüsse oder -zusätze verhindert wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Oberfläche der Legierung im Verlauf der Abscheidung verformt wird.

Vorzugsweise erfolgt diese Verformung mittels einer Einrichtung, die sich zur Verformung der Oberfläche durch eine hämmernde Wirkung eignet Zum Beispiel sind mechanisch angetriebene Hammer hierfür geeignet. Auch andere Arten der Verformung, z. B. eine Walzwirkung kann das erfindungsgemäß angestrebte Ergebnis liefern.

Die Verformung kann periodisch in situ während der Abscheidung durchgeführt werden, oder alternativ kann die Oberfläche abwechselnd der Abscheidung und der Verformung ausgesetzt werden. Eine kontinuierliche Verformung der Oberfläche der Legierung in situ während der Abscheidung hat sich praktisch als unbrauchbar erwiesen, da die zur Durchführung der Verformung benötigte Einrichtung das Auftreffen des Metalldampfes auf der Oberfläche hindert.

Es wurde festgestellt, daß durch die Behandlung der Oberfläche der Legierung mittels Verformung im Verlauf der Abscheidung der Porositätsgrad in der erzeugten Legierung beträchtlich verringert wird. Das Ausmaß der Verformung soll ausreichen, um die während der Abscheidung erzeugten Rauheiten oder Unebenheiten einzuebnen, jedoch nicht so groß sein, um zusätzliche Stufen und Unebenheiten zu schaffen. Vorteilhaft ist die Stärke der Verformung ausreichend, um die an die Oberfläche der Legierung angrenzende Porosität zu beseitigen.

Gegenstand der Erfindung ist außerdem eine Vorrichtung, zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens mit einer Metalldampfquelle und einer temperatursteuerbaren Auffangfläche, auf der von der Metalldampfquelle abgedampftes Metall abscheidbar ist, mit dem Kennzeichen, daß die Vorrichtung eine Verformungseinrichtung enthält, mittels der die Oberfläche der abgeschiedenen Legierung im Verlauf der Abscheidung verformbar ist.

Zweckmäßig wird die Legierung abwechselnd der Abscheidung und der Verformung ausgesetzt, und bei einer bevorzugten Ausführungsart sind die Metalldampfquelle und die Verformungseinrichtung innerhalb der Vorrichtung befestigt, wobei die temperatursteuerbare Auffangfiäche für die Legierung in der Vorrichtung beweglich und dazu eingerichtet ist, zwischen Lagen zum abwechselnden Abscheiden und Verformen verstellt zu werden.

Vorteilhaft weist die Einrichtung, mittels der die Oberfläche der Legierung verformt wird, Gruppen von Hämmern auf, die durch geeignete Antriebsmittel angetrieben werden, so daß sie auf die Oberfläche der Legierung schlagen.

Nach einer besonderen Ausführungsart der Erfindung weist die Einrichtung, mit der die Oberfläche der Legierung verformt wird, eine Gruppe von Hämmern auf. Vorzugsweise sind die Köpfe der Hammer in Reihe angeordnet, und die Oberfläche der Legierung wird verformi, indem man sie über den Köpfen der Hammer in einer quer zur Reihe der Hammerköpfe verlaufenden Richtung so vorbeiführt, <^Haß die Oberfläche von den Könfen der Hämmer leicht geklopft wird. Vorteilhaft haben diese Hammer abgerundete Wolf ramköpfe.

Vorzugsweise werden die Auffangfläche oder die Hämmer bei jedem Durchgang um eine geringe Strecke seitlich verstellt, um zu gewährleisten, daß die Auffar.g-5 oberfläche gleichmäßig der Verformung unterworfen wird und sich keine Füllen bilden, die beim Fehlen einer solchen seitlichen Verstellung auftreten würden. Die Verstellbarkeit der Auffangfläche kann auch das Erhalten einer gleichmäßigeren Abscheidung der Legierung ίο ermöglichen.

Bei einer anderen Ausführungsart der Erfindung weist die Verformungseinrichtung eine Welle, eine darauf drehbar montierte Buchse, eine Mehrzahl von rings um den Umfang der Buchse angebrachten Metallstangen mit zur Achse der Welle parallelen Achsen, eine Mehrzahl von auf die Stangen unter festem Seitenabstand aufgereihten, frei um diese drehbaren Hämmer und Antriebsmittel zum Drehen der Buchse auf, wobei die Verformungseinrichtung so in der gesamten Vorrichtung angeordnet ist, daß die temperatursteuerbare Auffangfläche quer zur Hauptachse der Buchse im Bereich der Bewegungsbahn der Hammer beim Drehen der Buchse beweglich »st.

Im Betrieb wird die einen Kollektor bildende Auffangfläche durch den Bereich der Hämmer in einer zur Achse der Buchse quer und senkrecht verlaufenden Richtung bewegt, so daß die Hämmer auf die Oberfläche schlagen und so die Oberfläche der Legierung verformen. Vorteilhaft wird die seitliche Festlegung der Hammer auf den Stangen durch auf diese Stangen aufgereihte Zwischenringe so bestimmt, daß die Lagen der Hammer auf verschiedenen Stangen gestaffelt oder versetzt sind, wodurch eine gleichmäßige Verformung der Legierungsoberfläche gesichert wird. Vorteilhaft weisen die die Oberfläche der Legierung treffenden Kanten der Hämmer eine glatte gekrümmte Oberfläche und abgerundete Ränder auf, so daß eine allgemein bootartige Mulde ohne scharfe Ränder in der Legierung jedesmal entsteht, wenn ein Hammer die Oberfläche trifft Das Gewicht der Hämmer und ihre Rotationsgeschwindigkeit werden so gewählt, daß jeder Hammer eine flache Mulde in der Legierung bildet.

Die Stärke der Verformung der Legierung soll ausreichen, um alle Rauhigkeiten einzuebnen, die während der Abscheidung entstehen können, und vorzugsweise genügen, um jede etwa an die Oberfläche angrenzende Porosität zu beseitigen. Indessen soll die Verformung nicht so stark sein, daß andere Verzerrungen der Oberfläche unter Bildung zusätzlicher Stufen oder Rauhigkeiten auftreten.

Die Erfindung wird anhand des in der Zeichnung veranschaulichten Ausfiihrungsbeispiels näher erläutert; darin zeigt

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung für die Abscheidung von Legierungskörpern aus der Dampfphase;

Fi g. 2 eine vergrößerte Schnittdarstellung der in die Vorrichtung nach Fig. 1 eingefügten Einrichtung zur Verformung der Oberfläche der Legierungsabscheidung im Verlauf des Abscheidern; und

Fig.3 eine Seitenansicht zur Darstellung des Querprofils von zur Verwendung in der Einrichtung nach F ■ ζ. 2 geeigneten Hämmern.

Wie Fig. 1 zeigt, umfaßt die Vorrichtung zum Abh^ri scheiden eines Legierungskörpers aus der Dampfphase eine Vakuumkammer 1, die durch ein übliches Vakuumpumpensystem 2 evakuierbar ist. Innerhalb der Vakuumkammer 1 isl eine Verdampfungsquelle 3 angeord-

net, die mit einer Metallzuführeinrichtung 4 verbunden ist, und außerdem befinden sich in der Vakuumkammer ein beweglicher Kollektor 5 als Auffangfläche, eine Einrichtung 6 zum Verformen der Überfläche der an der Unterseite des bewegliehen Kollektors 5 abgeschiedenen Legierung und eine bewegliche Blende 7.

Die Verdampfungsquelle 3 weist ein Metallschmelzabteil 9 und ein eigentliches Verdampfungsabteil 8 auf. die durch einen unter der Schmelzenoberfläche verlaufenden Kanal 10 verbunden sind. Die Abteile 8 und 9 werden durch Elektronenschleudcrn 11 bzw. 12 erhitzt, und im Betrieb sind die Abteile 8 und 9 sowie der Kanal 10 mit Metallschmelze gefüllt.

Der Kollektor 5 enthält ein (nicht dargestelltes) Wasserzirkuiationssystcrn und (nicht dargestellte) elektrisehe Heizelemente, wodurch die Temperatur seiner unteren Oberfläche gesteuert werden kann. Der Aufbau des Kollektors ist ähnlich dem, der in der GB-PS 14 43 144 beschrieben ist. Der Kollektor 5 wird auf einem Arm 13 getragen, der an einem Zapfen 14 angebracht ist, dessen anderes Ende aus der Vakuumkammer 1 herausreicht, wodurch ermöglicht ist, daß der Kollektor 5 in der Horizontalebene bewegt werden und bei Bedarf über der Einrichtung 6 zum Verformen der Legierungsoberfläche und über dem Verdampfungsabteil 8 eingestellt werden kann. Die bewegliche Blende 7 ist so ausgelegt, daß sie nach Bedarf zwischen dem Kollektor 5 und dem Verdampfungsabteil 8 angeordnet oder aus dieser Lage entfernt werden kann.

Eine weitere Blendenplatte 15 ist fest zwischen dem Schmelzabteil 9 und dem Kollektor 5 angeordnet, um den Kollektor gegenüber Metalldampf abzuschirmen, der aus diesem Abteil austritt, wenn die Vorrichtung im Betrieb ist.

Es soll nun die Einrichtung 6 zum Verformen der Oberfläche der Legierung im einzelnen anhand der F i g. 2 näher beschrieben werden, die eine nichtdrehbare Weile 21 zeigt, die an beiden Enden an der Vakuumkammer 1 angebracht ist (Montagestellen nicht dargestellt). Eine Buchse 22 ist drehbar auf der Welle 21 mit Kugellagerrirtgen 32 und 33 und einem Polytetrafluoräthylen-Abdichtring 34 montiert. Vier gleiche Abstände aufweisende Stangen 26 sind zwischen Flanschen 23 und 24 der Buchse 22 mittels Bolzen 27 montiert, wobei die Achsen der Stangen 26 unter gleichen Abständen von der Achse der Welle 21 parallel zu dieser verlaufen. Durch Zwischenscheiben 29 getrennte Hammer (28) sind auf den Stangen 26 montiert. Die Zwischenscheiben 29 bestimmen die seitliche Lageeinstellung der Hämmer 28, wobei diese frei um die zugehörige Stange 26 drehbär sind. Die Büchse 22 ist zur Rotation mittels eines auf einem Flansch 25 montierten Kettenzahnrades 30 über eine Kette 31 von einem zweiten Kettenzahnrad und einem (nicht dargestellten) elektrischen Motor eingerichtet

Da die Einrichtung in einer heißen evakuierten Umgebung betrieben wird, ist ein inneres Wasserkühlungssystem eingebaut, indem die Welle 21 aus zwei Rohrlängen 35 und 36 gebildet ist, deren Enden miteinander zur Bildung einer einzelnen Welle mit einer Verbindungsmuffe 37 verbunden sind, die sich zwischen den Kugellagerringen 32 und 33 befindet Löcher 38 und 39 in den Rohren 35 und 36 vervollständigen das Wasserzirkulationssystem. Im Betrieb zirkuliert Wasser im Rohr 35 durch das Loch 38 in den Raum zwischen der Buchse 22 und der Welle 21 zwischen den Kugellagerringen 32 und 33, durch das Loch 39 in das Rohr 36, von wo es die Einrichtung verläßt »Gaco«-Dichtungen 40 wirken als Dichtungen zum Verhindern des Atissickerns von Wasser in den evakuierbaren Teil der Legierungsabscheidung, wobei zusätzliche »Gaco«-Dichtungen 41 als Notreserve wirken, falls die »Gaco«-Dichlungen 40 versagen sollten. Zusätzlich zur Wirkung als Notreserve verhindern die »Gaco«-Dichtungen 41, falls die Dichtungen für das Wasserkühlungssystem versagen, eine Verunreinigung der Kugellagerringe 32 und 33 durch z. B. Metalldampf und verhüten außerdem eine Verunreinigung

Hi des evakuierbaren Teils der Vorrichtung durch Spuren des in den Kugellagerringen verwendeten Schmiermittels.

Es sei erwähnt, daß die Buchse 22 zwecks Erleichterung der Herstellung und Wartung aus einer Anzahl von

!5 Abschnitten aufgebaut ist.

Im Betrieb wird der Kollektor 5 über dem Verdampfungsabteil 8 angeordnet, wobei die Blende 7 ebenfalls über diesem Abteil angeordnet wird. Die Kammer 1 wird dann evakuiert, und das Metall in den Abteilen 8 und 9 wird durch die Elektronenschleudern 11 und 12 auf ihre Betriebstemperatur erhitzt und auf dieser Temperatur gehalten. Wenn die Abteile ihre Betriebstemperatur erreicht haben, wird die Blende 7 so verstellt, daß sich das aus dem Verdampfungsabteil 8 verdampfende Metall auf der Unterseite des Kollektors 5 abscheiden kann. Nach einer kurzen Dauer wird der Kollektor 5 langsam über die Verformungseinrichtung 6 bewegt, so daß die Abscheidung an der Unterseite des Kollektors der Verformung unterworfen wird. Der Kollektor 5 wird dann wieder in seine Lage über dem Verdampfungsabteil geführt, und man wiederholt diese Vorgänge, bis die Legierungsabscheidung an der Unterseite des Kollektors 5 die gewünschte Dicke erreicht hat.
Die Zusammensetzung der abgeschiedenen Legierung wird durch die Zusammensetzung des vom Verdampfungsabteil 8 abdampfenden Metalldampfes bestimmt, die ihrerseits von der Zusammensetzung und der Betriebstemperatur des Abteils abhängt Es ist klar, daß die Zusammensetzung des Metalls im Abteil 8 erheblich von der der auf dem Kollektor 5 abgeschiedenen Legierung aufgrund der unterschiedlichen Flüchtigkeiten der Bestandteile der Legierung bei der Betriebstemperatur des Abteils 8 abweichen kann. Die Betriebstemperatur und die Zusammensetzung des Metalls im Abteil 8 soll so gewählt werden, daß die Legierungsabscheidung die gewünschte Zusammensetzung aufweist.
Die Zusammensetzung des Metalls im Schmelzabteil 9 wird so gewählt, daß sie die gleiche wie die des aus dem Abteil 8 abdampfenden Metalldampfes ist, und Verluste aus den Abteilen 8 und 9 werden durch Zusetzen von Metall in Blöckchenform von der Metallzuführeinrichtung 4 ersetzt, wobei die Zusätze wieder so gewählt werden, daß sie die gleiche Zusammensetzung wie die des Metalls im Abteil 9 aufweisen.

Wenn der aus dem Verdampfungsabteil 8 abdampfende Metalldampf durch Metall der gleichen Zusammensetzung durch den Kanal 10 hindurch ersetzt wird, das seinerseits durch Metall von der Metallzuführeinrichtung 4 mit der gleichen Zusammensetzung ersetzt wird, bleibt die Zusammensetzung des Metalls in den Abteilen und damit die Zusammensetzung der abgeschiedenen Legierung während des gesamten Abscheidungsprozesses im wesentlichen konstant
Die Menge des bei jedem Verfahrensschritt auf der

b5 unteren Oberfläche des Kollektors 5 abgeschiedenen Metalls wird im allgemeinen durch den Porositätsgrad bestimmt, der toleriert werden kann. Wenn die bei jedem Schritt abgeschiedene Legicrungsdicke zu groß ist.

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kann die Porosität in der Legierung soweit anwachsen, daß sie sich durch die Verformung nicht beseitigen läßt. Andererseits würde, wenn die Legierungsabscheidung bei jedem Verfahrensschritt zu dünn ist, das Verfahren, obwohl man eine Legierung mit geringer Porosität erhielte, sehr zeitaufwendig sein. Es ist daher ein Ausgleich zwischen den beiden Forderungen anzustreben. Allgemein sollen die Frequenz und daß Ausmaß der Verformung lediglich ausreichen, um die Porosität der Legierung auf ein annehmbares Niveau zu begrenzen.

Die Größe der durch die Hämmer beim Auftreffen auf die Oberfläche der Legierungsabscheidung ausgeübten Kraft wird durch den Impuls der Hammer bestimmt, der seinerseits von der Drehzahl der Buchse 22 abhängt. Sowohl die Drehzahl der Buchse als auch die Auslegung der Hämmer sollen so gewählt werden, daß man die gewünschte Verformungswirkung unter Berücksichtigung der Eigenschaften der abgeschiedenen Legierung erzielt.

Einer der-Hämmer 28 ist im Profil in Fig.3 dargestellt. Er ist aus Metallblech in der gezeigten Form gefertigt und läßt sich mittels eines darin vorgesehenen Loches 42 auf eine der Stangen 26 aufreihen. Die Führungskanten 43 des Hammers die auf die Oberfläche der Legierung schlagen, sind abgerundet, so daß beim Auftreffen des Flegels auf die Legierungsoberfläche eine allgemein bootartige Mulde gebildet wird.

Die Verformung soll ausreichen, um das Profil aller etwa gebildeten Unebenheiten einzuebnen, jedoch nicht von solcher Stärke sein, um eine grobe Verformung oder Verzerrung der Oberfläche hervorzurufen, wodurch Risse oder scharfe Vorsprünge entstehen, die zum Auftreten zusätzlicher Porosität führen könnten.

Selbstverständlich können auch andere Arten der Verformung angewendet werden, um das erfindungsge- J5 mäße Verfahren durchzuführen.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

40

45

55

60

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zur Herstellung eines Legierungskörpers durch Abscheiden der Legierungsbestandteile aus der Dampfphase auf einer temperatursteuerbaren Auffangfläche, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche der Legierung im Verlauf der Abscheidung verformt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß durch Hämmern verformt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche der Legierung abwechselnd der Abscheidung und der Verformung ausgesetzt wird.

4 Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß im Verlauf der Abscheidung periodisch in situ verformt wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß nur so stark verformt wird, daß die beim Abscheiden erzeugten Unebenheiten geglättet werden, jedoch keine zusätzlichen Stufen oder Unebenheiten gebildet werden und die an die Oberfläche der abgeschiedenen Legierung angrenzende Porosität beseitigt wird.

6. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, nach einem der Ansprüche 1 bis 5, mit einer Metalldampfquelle und einer temperatursteuerbaren Auffangfläche, auf der von der Metalldampfquelle abgedampftes Metall abscheidbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung eine Verformungseinrichtung (6) enthält, mittels der die Oberfläche der abgeschiedenen Legierung im Verlauf der Abscheidung verformt werden kann.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Metalldampfquelle (3) und die Verformungseinrichtung (6) in der Kammer (1) der Vorrichtung feststehend angeordnet aind und die temperatursteuerbare Auffangfläche (5) in der Vorrichtung beweglich und zum abwechselnden Abscheiden und Verformen der Legierung einstellbar ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Verformungseinrichtung (6) eine Gruppe von Hämmern (28) umfaßt, deren Köpfe in Reihe angeordnet sind, die temperatursteuerbare Auffangfläche (5) quer zur Reihe der Hammerköpfe beweglich ist und Antriebsmittel vorgesehen sind, die ein gelindes Aufschlagen der Köpfe der Hämmer (28) auf der Oberfläche der Legierung ermöglichen.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Hammer (28) oder die temperatursteuerbare Auffangfläche (5) bei jedem Durchgang um eine geringe Strecke seitlich verstellbar sind und eine gleichmäßige Verformung der Oberfläche der Legierung sichern.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Verformungseinrichtung (6) eine Welle (21), eine darauf drehbar montierte Buchse (22), eine Mehrzahl von rings um den Umfang der Buchse angebrachten Metallstangen (26) mit zur Achse der Welle (21) parallelen Achsen, eine Mehrzahl von auf die Stangen (26) mit konstantem Se'ucnabstand aufgereihten, frei um die Stange (26) drehbaren Hämmern (28) und Antriebsmittel (30,31) zum Drehen der Buchse (22) aufweist, wobei die Verformungseinrichuing(6)so in der Kammer (1) der Vorrichtung angeordnet ist, daß die tcmpcratursteuerbarc Aulfangfläche (5) quer zur Achse der Buchse

10

(22) im Bereich der Bewegungsbahn der Hammer (28) beim Drehen der Buchse beweglich ist

11. Vorrichtung nach Ansprucn !0, dadurch gekennzeichnet, daß die seitliche Festlegung der Hammer (28) auf den Stangen (26) durch auf diese Stangen aufgereihte Zwischenringe (29) bestimmt ist und die Lagen der Hämmer (28) auf den verschiedenen Stangen (26) gestaffelt sind.

12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß die auf die Oberfläche der abgeschiedenen Legierung treffenden Kanten (43) der Hämmer (28) eine gekrümmte Oberfläche und abgerundete Ränder aufweisen und beim Auftreffen eines Hammers auf die Legierungsoberfläche, eine glatte, boolartige Mulde erzielbar ist.