DE2609180A1 - Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines legierungskoerpers - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines legierungskoerpersInfo
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Description
The Secretary of State for Defence in Her Britannic Majesty's Government of the United Kingdom of Great Britain and Northern
Ireland, London , Großbritannien
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Legierungskörpers
Die Erfindung bezieht sich auf verbesserte Verfahren zur Herstellung von Legierungskörpern, wobei die Legierung
durch Abscheiden der Bestandteile der Legierung aus der Dampfphase erzeugt wird, und auf eine Vorrichtung zur Durchführung
der genannten Verfahren.
Verfahren zur Herstellung von Legierungskörpern durch Abscheiden der Bestandteile der Legierung aus der Dampfphase
auf einer temperatursteuerbaren Auffangfläche sind bekannt. Ein Beispiel eines solchen Verfahrens ist in der
GB-PS 1 206 586 beschrieben.
Durch Dampfphasenabscheidung erzeugte Legierungen iaben
gewöhnlich ein säulenförmiges Gefüge mit einer zur Quelle
des Dampfes tendierenden Wachstumsrichtung und weisen in Verbindung mit dem säulenförmigen Gefüge Porosität besonders
dann auf, wenn die Temperatur der Auffangfläche niedrig
ist.
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Das Vorliegen von Porosität in diesen Legierungen kann
für ihre Eigenschaften abträglich sein und wird häufig durch Pressen oder Walzen der erzeugten Legierung beseitigt.
Das Behandeln der Legierung in einem besonderen Verfahrensschritt ist unerwünscht, und man fand auch, daß,
wenn eine Legierung stabile Oxide bildende Metalle, z. B. Aluminium oder Magnesium, enthält, bei einem Aussetzen der
Legierung gegenüber der Atmosphäre vor dem Pressen oder Walzen Sauerstoff aus der Atmosphäre in die Legierung unter
Bildung eines Oxidfilms auf der Innenoberfläche der Poren
eindringen und so ein zusätzlicher und in gewissen Fällen unerwünschter Bestandteil in den Legierungskörper eingeführt
vierden kann.Ein Pressen oder Walzen einer Legierung
mit hohem Porositätsgrad kann auch schwierig sein, da die Poren als Keime zur Rißbildung wirken können.
Es wurden bereits Verfahren zur Verringerung der Porosität
derart abgeschiedener Legierungen untersucht. Beispielsweise beschreibt die GB-PS 1 2β9 965 die Einführung
dünner Schichten geringfügiger Legierungsbestandteile während der Abscheidung, um periodisch eine überflächenumkristallisation
auszulösen und so die Abmessungen des säulenförmigen Wachstums und damit auch die Porosität einzuschränken.
Das Verfahren hat jedoch den möglichen Machteil der Einführung eines gesonderten Feingefügebestandteils
und steigert die Kompliziertheit der verwendeten Vorrichtung sowie den erforderlichen Grad der Verfahrenssteuerung.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung eines Legierungskörpers durch Abscheiden
der Legierungsbestandteile aus der Dampfphase auf einer
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ORIGINAL WSPECTED
ORIGINAL WSPECTED
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temperatursteuerbaren Auffangfläche derart auszugestalten,
daß eine unzulässige Porosität der abgeschiedenen Legierung ohne großen Aufwand und ohne Fremdeinschlüsse oder
-zusätze verhindert wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß
die Oberfläche der Legierung im Lauf der Abscheidung verformt wird.
Vorzugsweise erfolgt diese Verformung mittels einer Einrichtung,
die sich zur Verformung der Oberfläche durch eine hämmernde Wirkung eignet. Z. B. sind mechanisch angetriebene
Hammer oder Flegel hierfür geeignet. Auch andere Arten der Verformung, z.B. eine Walzwirkung kann das erfindungsgemäß
angestrebte Ergebnis liefern.
Die Verformung kann periodisch in situ während der Abscheidung durchgeführt werden, oder alternativ kann die
Oberfläche abwechselnd der Abscheidung und der Verformung ausgesetzt werden. Eine kontinuierliche Verformung der
Oberfläche der Legierung in situ während der Abscheidung hat
sich praktisch als unbrauchbar erwiesen,da die zur Durchführung der Verformung benötigte Einrichtung das Auftreffen
des Metalldampfes auf der Oberfläche hindert.
Es wurde festgestellt, daß durch die Behandlung der Oberfläche der Legierung mittels Verformung im Lauf der Abscheidung
der Porositätsgrad in der erzeugten Legierung beträchtlich
verringert wird. Die Stärke der Verformung soll ausreichen, um die während der Abscheidung erzeugten Rauheiten
oder Unebenheiten einzuebnen, jedoch nicht ausreichend sein, um zusätzliche Stufen und Unebenheiten zu schaffen. Vorteilhaft
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ist die Stärke der Verformung ausreichend, um die an die
Oberfläche der Legierung angrenzende Porosität zu beseitigen.
Gegenstand der Erfindung ist außerdem eine Vorrichtung
zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens mit einer
Metalldampf quelle und einer temperatursteuerbaren Auffangfläche,
auf der von der Metalldampfquelle abgedampftes
Metall abscheidbar ist, mit dem Kennzeichen,daß die Vorrichtung eine Verformungseinrichtung enthält, mittels der
die Oberfläche der abgeschiedenen Legierung im Lauf der Abscheidung verformbar ist.
^S. 4a y
^S. 4a y
Vorteilhaft weist die Einrichtung, mittels der die Oberfläche der Legierung verformt wird, Gruppen von Hämmern
oder Flegeln auf, die durch geeignete Antriebsmittel angetrieben werden, so daß sie auf die Oberfläche der Legierung
schlagen.
Nach einer besonderen Ausführungsart der Erfindung weist
die Einrichtung, mit der die Oberfläche der Legierung verformt wird, eine Gruppe von Hämmern auf. Vorzugsweise
sind die Köpfe der Hammer in Reihe angeordnet, und die Oberfläche der Legierung wird verformt, indem man sie über
den Köpfen der Hämmer in einer quer zur Reihe der Hammerköpfe verlaufenden Richtung so vorbeiführt, daß die Oberfläche
von den Köpfen der Hämmer leicht geklopft wird. Vorteilhaft haben diese Hammer abgerundete Wolframköpfe.
Vorzugsweise werden die Auffangfläche oder die Hammer
bei jedem Durchgang um eine geringe Strecke seitlich verstellt,
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ORiGJMAt
ORiGJMAt
Zweckmäßig wird die Legierung abwechselnd der Abscheidung und der Verformung ausgesetzt, und bei einer bevorzugten
Ausführungsart sind die Metalldampfquelle und
die Verformungseinrichtung innerhalb der Vorrichtung
befestigt, wobei die temperatursteuerbare Auffangfläche für die Legierung in der Vorrichtung beweglich und dazu eingerichtet ist, zwischen Lagen zum abwechselnden
Abscheiden und Verformen verstellt zu werden.
befestigt, wobei die temperatursteuerbare Auffangfläche für die Legierung in der Vorrichtung beweglich und dazu eingerichtet ist, zwischen Lagen zum abwechselnden
Abscheiden und Verformen verstellt zu werden.
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um zu gewährleisten, daß die Auffangoberfläche gleichmäßig
der Verformung unterworfen wird und sich keine Rillen bilden, die beim Fehlen einer;solchen seitlichen Verstellung
auftreten wurden. Die Verstellbarkeit der Auffangfläche
kann auch das Erhalten einer gleichmäßigeren Abscheidung Legierung ermöglichen.
Bei einer anderen Ausführungsart der Erfindung weist
die Verformungseinrichtung eine Welle, eine darauf drehbar
montierte Buchse, eine Mehrzahl von rings um den Umfang der Buchse angebrachten Metallstangen mit zur Achse der
Welle parallelen Achsen, eine Mehrzahl von auf die Stangen unter festem Seitenabstand aufgereihten, frei um diese
drehbaren Flegeln und Antriebsmittel zum Drehen der Buchse auf, wobei die Verformungseinrichtung so in der gesamten
Vorrichtung angeordnet ist, daß die temperatursteuerbare Auffangfläche quer zur Hauptachse der Buchse im Bereich
der Bewegungsbahn der Flegel beim Drehen der Buchse beweglich ist.
Im Betrieb wird die einen Kollektor bildende Auffangfläche durch den Bereich der Flegel in einer zur Achse der
Buchse quer und senkrecht verlaufenden Richtung bewegt, so daß die Flegel auf die Oberfläche schlagen und so die
Oberfläche der Legierung verformen. Vorteilhaft wird die seitliche Festlegung der Flegel auf den Stangen durch auf
diese Stangen aufgereihte Zwischenringe so bestimmt, daß die Lagen der Flegel auf verschiedenen Stangen gestaffelt
oder versetzt sind, wodurch eine gleichmäßige Verformung der Legierungsoberfläche gesichert wird. Vorteilhaft weisen die
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die Oberfläche der Legierung treffenden Kanten der Flegel
eine glatte gekrümmte Oberfläche und abgerundete Ränder auf, so daß eine allgemein bootartige Mulde ohne scharfe Ränder
in der Legierung jedesmal entsteht, wenn ein Flegel die Oberfläche trifft. Das Gewicht der Flegel und ihre
Rotationsgeschwindigkeit werden so gewählt,daß jeder Flegel eine flache Mulde in der Legierung bildet.
Die Stärke der Verformung der Legierung soll ausreichen,
um alle Rauhigkeiten einzuebnen, die während der Abscheidung
entstehen können, und vorzugsweise genügen, um jede etwa an die Oberfläche angrenzende Porosität zu beseitigen.
Indessen soll die Verformung nicht so stark sein, daß andere Verzerrungen der Oberfläche unter Bildung zusätzlicher
Stufen oder Rauhigkeiten auftreten.
Die Erfindung wird anhand des in der Zeichnung veranschaulichten Ausführungsbeispiels nähererläutert; darin
zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung für .die Abscheidung von Legierungskörpern
aus der Dampfphase;
Fig. 2 eine vergrößerte Schnittdarstellung der in die Vorrichtung nach Fig. 1 eingefügten Einrichtung
zur Verformung der Oberfläche der Legierungsabscheidung im Lauf des Abscheidens; und
Fig. 3 eine Seitenansicht zur Darstellung des Querprofils
von zur Verwendung in der Einrichtung nach Fig. geeigneten Flegeln.
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Wie Fig. 1 zeigt, umfaßt die Vorrichtung zum Abscheiden eines Legierungskörpers aus der Dampfphase eine Vakuumkammer 1;
die durch ein übliches Vakuumpumpensystem 2 evakuierbar ist. Innerhalb der Vakuumkammer 1 ist eine VerdampfungsqueHe
angeordnet, die mit einer Metallzuführeinrichtung 4 verbunden
ist, und außerdem befinden sich in der Vakuumkammer ein beweglicher Kollektor L>
als Auffangfläche, eine Einrichtung
6 zum Verformen der Oberfläche der an der Unterseite
des beweglichen Kollektors 5 abgeschiedenen Legierung und eine bewegliche Blende 7·
Die Verdampfungsquelle 3 weit ein Metallschmelzabteil 9 und ein eigentliches Verdampfungsabteil· 8 auf, die durch
einen unter der Schmelzenoberfläche verlaufenden Kanal
verbunden sind. Die Abteile 8 und 9 werden durch Elektronenschleudern
11 bzw. 12 erhitzt, und im Betrieb sind die Abteile 8 und 9 sowie der Kanal 10 mit MetaHschn^Ze gefügt.
Der Ko^ektor 5 enthärt ein (nicht dargesteiltes) Wasserzirkulationssystem
und (nicht dargestellte) elektrische Heizeiemente, wodurch die Temperatur seiner unteren Oberfiäche ,
gesteuert werden kann. Der Aufbau des Ko^ektors ist ähnlich dem, der in der GB-Patentanmeldung 33 074/72 beschrieben
ist. Der Kollektor 5 wird auf einem Arm 13 getragen, der an einem Zapfen 14 angebracht ist, dessen anderes Encte aus der
Vakuumkammer 1 herausreicht, wodurch ermöglicht ist, daß der KoHektor 5 in der Horizontal·ebene bewegt werden und
bei Bedarf über der Einrichtung 6 zum Verformen der Legierungsoberfl·äche
und über dem Verdampfungsabteil 8 eingestellt werden kann. Die bewegliche Blende 7 ist so ausgelegt, daß
sie nach Bedarf zwischen dem Kollektor 5 und dem Verdampfungs-
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abteil 8 angeordnet oder aus dieser Lage entfernt werden kann.
Eine weitere Blendenplatte I5 ist dauernd zwischen dem
Schmelzabteil 9 und dem Kollektor 5 angeordnet, um den
Kollektor gegenüber Metalldampf abzuschirmen, der aus diesem Abteil austritt, wenn die Vorrichtung im Betrieb ist.
Es soll nun die Einrichtung 6 zum Verformen der Oberfläche
der Legierung im einzelnen anhand der Fig. 2 näher beschrieben werden, die eine nichtdrehbare Welle 21 zeigt,
die an beiden Enden an der Vakuumkammer 1 angebracht ist (Montagestellen nicht dargestellt). Eine Buchse 22 ist
drehbar auf der Welle 21 mit Kugellagerringen 32 und 33
und einem Polytetrafluoräthylen-Abdichtring 32J- montiert.
Vier gleiche Abstände aufweisende Stangen 26 sind zwischen Planschen 23 und 2k der Buchse 22 mittels Bolzen 27 montiert,
wobei die Achsen der Stangen 26 unter gleichen Abständen von der Achse der Welle 21 parallel zu dieser verlaufen.
Durch Zwischenscheiben 29 getrennte Flegel/sind auf den Stangen 26 montiert. Die Zwischenscheiben 29 bestimmen die
seitliche Lageeinstellung der Flegel 28, wobei diese frei um die zugehörige Stange 26 drehbar sind. Die Buchse 22
ist zur Rotation mittels eines auf einem Flansch 25 montierten Kettenzahnrades 30 über eine Kette yi von einem
zweiten Kettenzahnrad und einem (nicht dargestellten) elektrischen Motor eingerichtet.
Da die Einrichtung in einer heißen evakuierten Umgebung betrieben wird, ist ein inneres Wasserkühlungssystem
eingebaut, injdem die Welle 21 aus zwei Rohrlängen 35
und 36 gebildet ist, deren Enden miteinander zur Bildung einer einzelnen Welle mit einer Verbindungsmuffe 37 verbunden
sind, die sich zwischen den Kugellagerringen 32 und 33 befindet. Löcher 38 und 39 in den Rohren 35 und 36
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ÖHIGINAL
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vervollständigen das Wasserzirkulationssystem. Im Betrieb zirkuliert Wasser im Rohr 35 durch e&as Loch 38 in den
Raum zwischen der Buchse 22 und der Welle 21 zwischen den Kugellagerringen 32 und 33, durch das Loch 39 in das
Rohr 36, von wo es die Einrichtung verläßt. "Gaco"-Dichtungen
4o wirken als Dichtungen zum Verhindern des Aussickerns
von Wasser in den evakuierbaren Teil der Legierungsabscheidung, wobei zusätzliche "Gaco"-Dichtungen 41 als
Notreserve wirken, falls die "Gaco"-Dichtungen 40 versagen
sollten. Zusätzlich zur Wirkung als Notreserve verhindern die "Gaco"-Dichtungen 41, falls die Dichtungen für das
Wasserkühlungssystem versagen, eine Verunreinigung der
Kugellagerringe 32 und 33 durch z. B. Metalldampf und
verhüten außerdem eine Verunreinigung des evakuierbaren Teils der Vorrichtung durch Spuren des in den Kugellagerringen
verwendeten Schmiermittels.
Es sei erwähnt, daß die Buchse 22 zwecks Erleichterung der Herstellung und Wartung aus einer Anzahl von Abschnitten
aufgebaut ist.
Im Betrieb wird der Kollektor 5 über dem Verdampfungsabteil
8 angeordnet, wobei die Blende 7 ebenfalls über diesem Abteil angeordnet wird. Die Kammer 1 x«;ird dann evakuiert,
und das Metall in den Abteilen 8 und 9 wird durch die Elektronenschleudern 11 und 12 auf ihre Betriebstemperatur erhitzt
und auf dieser Temperatur gehalten. Wenn die Abteile ihre Betriebstemperatur erreicht haben, wird die Blende 7
so verstellt, daß sich das aus dem Verdampfungsabteil 8 verdampfende Metall auf der Unterseite desKollektors 5 abscheiden
kann. Nach einer kurzen Dauer wird der Kollektor
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langsam über die Verformungseinrichtung 6 bewegt, so daß
die Abscheidung an der Unterseite des Kollektors der Verformung unterworfen wird. Der Kollektor 5 wird dann
wieder in seine Lage über dem Verdampfungsabteil geführt, und man wiederholt diese Vorgänge, bis die Legierungsabscheidung
an der Unterseite des Kollektors 5 die gewünschte
Dicke erreicht hat.
Die Zusammensetzung der abgeschiedenen Legierung wird durch die Zusammensetzung des vom Verdampfungsabteil 8 abdampfenden
Metalldampfes bestimmt, die ihrerseits von der
Zusammensetzung und der Betriebstemperatur des Abteils abhängt. Es ist klar, daß die Zusammensetzung des Metalls
im Abteil 8 erheblich von der der auf dem Kollektor 5 abgeschiedenen Legierung aufgrund der unterschiedlichen Flüchtigkeiten
der Bestandteile der Legierung bei der Betriebstemperatur des Abteils 8 abweichen kann. Die Betriebstemperatur
und die Zusammensetzung des Metalls im Abteil 8 soll so gewählt werden, daß die Legierungsabscheidung die
gewünschte Zusammensetzung aufweist.
Die Zusammensetzung des Metalls im Schmelzabteil 9 wird
so gewählt, daß sie die gleiche wie die des aus dem Abteil 8 abdampfenden Metalldampfes ist, und Verluste aus den Abteilen
8 und 9 werden durch Zusetzen von Metall in Blöckchenform von der Metallzuführeinrichtung 4 ersetzt, wobei die
Zusätze wieder so gewählt werden, daß sie die gleiche Zusammensetzung wie die des Metalls im Abteil 9 aufweisen.
Wenn der aus dem Verdampfungsabteil 8 abdampfende Metalldampf
durch Metall der gleichen Zusammensetzung durch den Kanal 10 hindurch ersetzt wird, das seinerseits durch Metall
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von der Metallzuführeinrichtung 4 mit der gleichen Zusammensetzung
ersetzt wird, bleibt die Zusammensetzung des Metalls in den Abteilen und damit die Zusammensetzung der abgeschiedenen
Legierung während des gesamten Abscheidungsprozesses im wesentlichen konstant.
Die Menge des bei jedem Verfahrensschritt auf der unteren Oberfläche des Kollektors 5 abgeschiedenen Metalls wird
im allgemeinen durch den Porositätsgrad bestimmt, der toi eriert werden kann. Wenn die bei jedem Schritt abgeschiedene
Legierungsdicke zu groß ist, kann die Porosität in der Legierung soweit anwachsen, daß sie sich durch die
Verformung nicht beseitigen läßt. Andererseits würde, wenn die Legierungsabscheidung bei jedem Verfahrensschritt zu
dünn ist, das Verfahren, obwohl man eine Legierung mit geringer Porosität erhielte, sehr zeitaufwendig sein. Es
ist daher ein Ausgleich zwischen den beiden Forderungen anzustreben. Allgemein sollen die Frequenz und das Ausmaß
der Verformung lediglich ausreichen, um die Porosität der
Legierung auf ein annehmbares Niveau zu begrenzen.
Die Größe der durch die Flegel beim Auftreffen auf die Oberfläche der Legierungsabscheidung ausgeübten Kraft wird
durch den Impuls der Flegel bestimmt, der seinerseits von der Drehzahl der Buchse 22 abhängt". Sowohl die Drehzahl der
Buchse als auch die Auslegung der Flegel sollen so gewählt werden, daß man die gewünschte Verformungswirkung unter
Berücksichtigung der Eigenschaften der abgeschiedenen Legierung erzielt.
Einer der Flegel 28 ist im Profil in Fig. 3 dargestellt.
Der Flegel ist aus Metallblech in der gezeigten Form ge-
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Ib
fertigt und läßt sich mittels eines darin vorgesehenen Loches 42 auf eine der Stangen 26 aufreihen. Die Führungskanten
hj> des Flegels, die auf die Oberfläche der Legierung
schlagen., sind abgerundet, so daß beim Auf treffen des
Flegels auf die Legierungsoberfläche eine allgemein bootartige
Mulde gebildet wird.
Die Verformung soll ausreichen, um das Profil aller etwa gebildeten Unebenheiten einzuebnen, jedoch nicht von
ausreichender Stärke sein, um eine grobe Verformung oder Verzerrung der Oberfläche hervorzurufen, wodurch Risse oder
scharfe Vorsprünge entstehen, die zum Auftreten zusätzlicher Porosität führen könnten.
Selbstverständlich können auch andere Arten der Verformung
angewendet werden, um das erfindungsgemäße Verfahren durchzuführen.
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Claims (13)
1. Verfahren zur Herstellung eines Legierungskörpers durch
Abscheiden uer Legierungsbestandteile aus der Dampfphase auf einer temperatursteuerbaren Auffangfläche, dadurch
g e k e η nzeichnet, daß die Oberfläche der
Legierung im Lauf der Abscheidung verformt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verformung durch hämmernde Wirkung erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche der Legierung abwechselnd der Abscheidung
und der Verformung ausgesetzt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verformung im Lauf der Abscheidung periodisch an
Ort und Stelle stattfindet.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Stärke der Verformung zum Glätten der
beim Abscheiden erzeugten Unebenheiten ausreichend, jedoch zum Bilden zusätzlicher Stufen oder Unebenheiten nicht ausreichend
ist.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Stärke der Verformung zur Beseitigung
der an die Oberfläche der Legierung angrenzenden Porosität ausreichend ist.
7. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrensjnach einem
der Ansprüche 1 bis 6, mit einer Metalldampfquelle und einer
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temperatursteuerbaren Auffangfläche, auf der von der
Metalldampfquelle abgedampftes Metall abscheidbar ist,
dadurch gekennzeichnet,daß die Vorrichtung eine Verformungseinrichtung (6) enthält, mittels der die Oberfläche der
abgeschiedenen Legierung im Lauf der Abscheidung verformbar ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch "J3 dadurch gekennzeichnet,
daß die Metalldampfquelle (3) und die Verformungseinrichtung
(6) in der Vorrichtung (Kammer 1) feststehend angeordnet sind und die temperatursteuerbare Auffangfläche
(Kollektor 5) in der Vorrichtung beweglich und zum abwechselnden Abscheiden und Verformen der Legierung einstellbar
ist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Verformungseinrichtung (6) eine Gruppe von Hämmern
umfaßt, deren Köpfe in Reihe angeordnet sind, die temperatursteuerbare Auffangfläche (5) quer zur Reihe der Hammerköpfe
beweglich ist und ein Antrieb vorgesehen ist, der ein gelindes Aufschlagen der Köpfe der Hammer auf der Oberfläche
der Legierung ermöglicht.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Hämmer oder die temperatürsteuerbare Auffangfläche (5)
bei jedem Durchgang um eine geringe Strecke seitlich verstellbar sind und eine gleichmäßige Verformung der
Oberfläche der Legierung sichern.
11. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Verformungseinrichtung (6) eine Welle (21), eine darauf
drehbar montierte Buchse (22), eine Mehrzahl von rings um den Umfang der Buchse angebrachten Metallstangen (26) mit
zur Achse der Welle (21) parallelen Achsen, eine Mehrzahl von auf die Stangen (26) unter festem Seitenabstand aufgereihten,
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frei um diese drehbaren Flegeln (28) und Antriebsmittel- (30,
31) zum Drehen der Buchse aufweist, wobei die Verformungseinrichtung so in der Vorrichtung (Kammer 1) angeordnet
ist, daß die temperatursteuerbare Auffangfläche (5) quer
zur Achse der Buchse (22) im Bereich der Bewegungsbahn der Flegel beim Drehen der Buchse beweglich ist.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die seitliche Festlegung der Flegel (28) auf den Stangen (26)
durch auf diese Stangen aufgereihte Zwischenringe (29) bestimmt ist und die Lagen der Flegel auf verschiedenen
Stangen gestaffelt sind.
13. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet,
daß die die Oberfläche der Legierung treffenden Kanten {kj>) der Flegel (28) eine gekrümmte Oberfläche und
abgerundete Ränder aufweisen und beim Auftreffen eines Flegels auf die Legierungs ob er fläche eine glatte, bootartige Mulde
erzielbar ist.
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Leerseite
Applications Claiming Priority (1)
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BE (1) | BE839280A (de) |
CA (1) | CA1084354A (de) |
CH (1) | CH619738A5 (de) |
DE (1) | DE2609180C2 (de) |
FR (1) | FR2303084A1 (de) |
GB (1) | GB1521293A (de) |
IE (1) | IE44143B1 (de) |
IT (1) | IT1057700B (de) |
NL (1) | NL7602366A (de) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: C22F 1/00 |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |