DE2637703C2

DE2637703C2 - Elektrostatisch gesteuerte Bildwiedergabevorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung

Info

Publication number: DE2637703C2
Application number: DE2637703A
Authority: DE
Inventors: Ties Eindhoven Siebolt te Velde
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1975-08-27
Filing date: 1976-08-21
Publication date: 1983-07-28
Also published as: JPS5865475A; JPS5912174B2; JPS5912173B2; JPS5859489A; JPS5228294A; NL7510103A; USRE31498E; US4178077A; US4309242A; CA1065979A; FR2322416A1; JPS5936753B2; DE2637703A1; FR2322416B1; GB1533458A

Description

5C/

6¹) streifenförmiger Teile bewegbar an einer der Stützplatten befestigt sind, wenigstens die nachstehenden Verfahrensschritte verwendet werden:

a) das Anbringen einer ersten: Scfiicht (24) aus einem Material, das mit einem ersten Ätzmittel ätzbar ist,

b) das Anbringen einer zweiten Schicht (25) aus einem Elektrodenmaterial, das mit einem zweiten Ätzmittel ätzbar ist,

c) das Anbringen einer Vielzahl von Löchern (26) in den Teilen der zweiten Schicht (25), die nicht

• an der Stützplatte (21) befestigt bleiben sollen, durch ein Photoätzverfahren und das zweite Ätzmittel, und

d) die Entfernung von Teilen der ersten Schicht (24) durch Unterätzung, durch die Löcher (26) in der zweiten Schicht (25) mit dem ersten Ätzmittel (F ig. 7).

Die Erfindung bezieht sich auf eine passive Bildwiedergabevorrichtung mit einer ersten und einer dazu parallel angeordneten zweiten Stützplatte, von denen wenigstens eine durchsichtig ist und mit einer Anzahl von Wiedergabeelementen zur Modulation von Licht, wobei jedes Wiedergabeelement eine erste Elektrode, eine zweite Elektrode und eine dritte Elektrode enthält, die erste und zweite Elektrode auf der ersten bzw. zweiten Stützplatte angeordnet sind und die dritte Elektrode mittels elektrostatischer Kräfte zwischen der ersten und der zweiten Elektrode verschiebbar ist

Unter einer passiven Bildwiedergabevorrichtung ist eine Bildwiedergabevorrichtung zu verstehen, deren Wiedergabeelemente selber kein Licht erzeugen, sondern das Umgebungslicht derart reflektieren oder durchlassen, daß ein Bild wiedergegeben wird. Passive Bildwiedergabevorrichtungen können z.B. einen Flüssigkristall enthalten, bei dem die Reflexion oder Durchlässigkeit von Licht örtlich dadurch geändert wird, daß an bestimmte Elektroden Spannungen angelegt werden. Auch können sie einen Stoff enthalten, dessen Farbe mit Hilfe eines elektrischen Feldes geändert werden kann (die sogenannten elektrochromen Bildwiedergabevorrichtungen).

Eine Bildwiedergabevorrichtung der eingangs genannten elektrostatischen Art ist aus der US-PS 35 53 364 bekannt. Die darin anhand der Fig.5 beschriebene Vorrichtung arbeitet im Durchstrahlungsmodus, wobei jedes Wiedergabeelement einen Lichtverschluß bildet. Die Vorrichtung enthält zwei parallele Stützplatten, auf den ersten und zweiten Elektroden aufgebracht sind. Dritte Elektroden, die an einer Seite fest an einer der Stützplatten befestigt sind, sind zwischen den ersten und zweiten Elektroden angeordnet. Im Ruhezustand blockieren die dritten Elektroden den Lichtdurchgang zu der Beobachtungsseite der Vorrichtung. Beim Anliegen der benötigten Spannungen an den ersten, zweiten und dritten Elektroden biegen die dritten Elektroden unter dem Einfluß der elektrostatischen Kräfte durch, so daß der Lichtdurchgang geöffnet wird. Da die dritten Elektroden nur durchbiegen können, ist die Lichtdurchlässigkeit der Vorrichtung aber beschränkt. Die Konstruktion dieser bekannten Bildwiedergabevorrichtung ist überdies derartig, daß Spannungen von Hunderten von Volt für

die Steuerung erforderlich sind. Derartige hohe benötigte Spannungen sind, mit den üblichen auf Halbleitern basierenden elektronischen Schaltungen nicht kompatibel. Die Konstruktion der bekannten Bildwiedergabevorrichtung ist außerdem derart, daß nur die Durchlässigkeit, jedoch nicht die Reflexion von licht pro Bildelement gesteuert werden kann.

Eine Bildwiedergabevorrichtung der eingangs genannten Art ist weiter beschrieben in" der älteren, nicht vorveröffentlichten DE-PS 25 56 946. Bei dieser Vor- "> richtung sind die dritten Elektroden ebenso an einer Seite fest an einer der Stützplatten befestigt Die freien Enden .der dritten Elektroden können sich unter dem Einfluß elektrostatischer Kräfte zwischen den ersten und zweiten Elektroden bewegen. Die Vorrichtung is arbeitet in dem Reflexionsmodus und ist gefüllt mit einer undurchsichtigen Flüssigkeit, deren Farbe zur Farbe der dritten Elektroden einen Kontrast bildet Liegt die dritte Elektrode an der durchsichtigen Stützplatte an, dann reflektieren die dritten Elektroden das Umgebungslicht

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Bildwiedergabevorrichtung der eingangs genannten Art so auszubilden, daß sie technologisch einfach aufgebaut ist, die Bildelemente zwei feste Lagen annehmen können, die Vorrichtung grundsätzlich für Betrieb entweder im Reflexionsmodus oder im Durchstrahlungsmodus geeignet ist und mit niedrigen, mit Hilfe an Halbleiterschaltungen einfach zu erzeugenden Spannungen gesteuert werden kann.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst

Damit wird erreicht, daß die dritten Elektroden sich immer in einer an den Stützplatten parallelen Lage zwischen den ersten und zweiten Elektroden bewegen.

Weitere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Einige Ausführungsformen der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigt

Fig. 1, 2 j'nd 3 schematisch das Wirkungsprinzip einer Bildwiedergabevorrichtung nach der Erfindung,

F i g. 4 eine erste Ausführungsform einer Bildwiedergabevorrichtung nach der Erfindung, die in dem Reflexionsmodus betrieben wird, ⁴S

F i g. 5 ein Elektrodenmuster für diese Vorrichtung,

F i g. 6 eifce Elektrode dieser Vorrichtung,

F i g. 7 die Herstellung dieser Elektrode,

F i g. 8 einen Befestigungspunkt dieser Elektrode,

F i g. 9 einen Teil einer Matrix von Elektroden für eine ⁵ⁿ zweite Ausführungsform einer Bildwiedergabevorrichtung nach der Erfindung,

Fig. 10 eine dritte Ausführungsform einer Bildwiedergabevorrichtung nach der Erfindung, die in dem Durchstrahlungsmodus betrieben wird, und

F i g. 11 eine viarte Ausführungsform einer Bildwiedergabevorrichtung nach der Erfindung, die in dem Reflexionsmodus betrieben wird.

F i g. 1 zeigt schematisch zwei feste Elektroden 1 und

2 und eine bewegbare Elektrode 3. Der Abstand⁶⁰ zwischen den Elektroden 1 und 2 ist mit d bezeichnet. Der Abstand zwischen den Elektroden 2 und 3 ist mit χ bezeichnet. Die Spannungen an den Elektroden 1,2 und

3 sind +V, -V bzw. V_n Die elektrostatischen Kräfte, die die Elektroden 1 und 2 auf die Elektrode 3 ausüben,⁶⁵ werden durch das Quadrat der elektrischen Feldstärke zwischen den Elektroden bestimmt. Die Elektrode 3 ist also gerade im Gleichgewicht, wenn:

d-x

Dieses Gleichgewicht ist naturgemäß labil, denn wenn die Elektrode 2 von dem Gleichgewichtszustand aus über einen kleinen Abstand bewegt wird, wird die Kraft, die von der angenäherten Elektroden ausgeübt wird, größer und die von der anderen Elektroden ausgeübte Kraft kleiner.

Die obenstehende quadratische Gleichung in V_r und χ hat zwei Lösungen, die in Fig.2 in graphischer Darstellung gezeigt sind. Die erste Lösung ist die Gerade durch die Punkte (Vr= - V, x=0) und (V₂=O, x=i/2 d). Die zweite Lösung ist die Hyperbel mit den Zweigen 5 und 6 und den Asymptoten V^=O und x= 1/2 d.

In der Praxis kann sich die Elektrode 3 nur in dem Gebiet zwischen den Elektroden 1 und 2 bewegen, wie in Fig.3 dargestellt ist In Fig.3 ist außerdem angegeben, daß die Elektroden 1 und 2 mit Isolierschichten 7 und 8-niit einer Dicke öd überzogen sind, wodurch die dritte Elektrode 3 als äußerste i,agen x=öd und x=d-öd hat Die Isolierschichten könnten sich grundsätzlich auch auf beiden Seiten der dritten Elektrode befinden. In F i g. 3 schneidet die Linie 4, die das Gleichgewicht der Elektrode 3 angibt, die Linie x=6D l>3i einer Spannung V_r= — V+ δ V und die Linie x= d— ÖD bei einer Spannung V_T= + V— δ V. Aus F i g. 3 geht hervor, daß in dem Bereich von Spannungen Inzwischen -V+öVund +V- δ V die dritte Elektrode zwei stabile Lagen aufweist, und zwar x=öd und x= — död In einem Bereich mit einer Größe von etwa 2JVin der Nähe von V_r = — Vwird die dritte Elektrode immer nach oben, zu der festen Elektrode 1 hin getrieben. In einem Bereich mit einer Größe von etwa 2<5 V in der Nähe von V_r= + Vwird die dritte Elektrode immer nach unten, zu der festen Elektrode 2 hin getrieben. Mit anderen Worten: nimmt die bewegbare Elektrode eine stabile Lage gegen eine der festen Elektroden ein (z. B. die Elektrode 1) und ist in diesem Zustand die Spannung V_r=Q, so kann die Spannung V_r auf nahezu V—δ V zunehmen, ohne daß die bewegbare Elektrode 3 zu der festen Elektrode 2 umklappt Dies erfolgt erst, wenn die Spannung bis in den Bereich mit einer Größe von etwa 2ö V um V_r= + V zunimmt. Die Vorrichtung ist also bistabil und weist eine sehr große Schwellwertspannung auf, welche letztere Eigenschaft bekanntlich für ein sogenanntes »Cross-bardisplay«-System von großer Bedeutung ist. Ein Wiedergabeelement, das aus einer bewegbaren Elektrode 3 und zwei festen Elektroden 1 und 2 besteht, wird mittels kurzzeitiger Spannungsimpulse mit einer Amplitude V oder mit eine entsprechende elektrische Ladungsmenge darstellenden Impulsen gesteuert

Si£.4? zeigt eine praktische Ausführungsform einer Bildwiedergabevorrichtung, die auf dem an Hand der Fig. 1, 2 und 3 erläuterten Prinzip basiert Die Vorrichtung enthält zwei parallele Glasstützplatten 9 und 10. Auf den Stützplatten 9 und 10 sind homogene Elektrodenschichten 11 und 12 angebracht. Wenigstens die Schicht 11 soll durchsichtig sein und daher bestehen beide Schichten 11 und 12 aus 0,1 μπι dicken Schichten aus Indiumoxid oder Zinnoxid. Auf den Schichten 11 und 12 befinden sich 1 μπι dicke Isolierschichten 13 und 14 aus Quarz. Die Vorrichtung ist mit einer Anzahl bewegbarer Elektroden versehen, die eine Dicke von 0,5 μπι aufweisen und aus Nickel hergestellt sind; von diesen Elektroden sind in F i g. 4 drei sichtbar, die mit 15,

16 und 17 bezeichnet sind. Die Vorrichtung ist weiter mit einer undurchsichtigen schwarzgefärbten Flüssigkeit 18 gefüllt, die aus einer Lösung von Sudanschwarz in Toluol besteht, während die Vorrichtung mit Abdichtungsmitteln 19 und 20 abgedichtet ist. Die Elektroden 15,16 und 17 können auf die an Hand der F i g. 1,2 und 3 erläuterte Weise gesteuert werden. Der Abstand zwischen den Stützplatten 9 und 10 beträgt 25 μΐη und die Spannung Van den Elektroden 11 und 12 beträgt 10 V. Die Steuerung erfolgt mit Spannungsimpulsen mit einer Zeitdauer von 20 msec und einer Amplitude von 10 V an den Elektroden 15, 16 und 17. Im Ruhezustand ist die Spannung an den Elektroden 15, 16 und 17 null Volt. Dadurch, daß die bewegbaren Elektroden auf die in Fig.5 dargestellte Weise gruppiert werden, können is auf bekannte Weise Ziffern wiedergegeben werden. Dabei wird das Umgebungslicht (32) von den an der Stützplatte 9 auf der Beobachtungsseite anliegenden Elektroden reflektiert (33) und anderswo (34) absorbiert oder wenigstens nur in der Farbe der Flüssigkeit 18 reflektiert.

An Hand der F i g. 7 wird die Herstellung der bewegbaren Elektroden 15,16 und 17 erläutert. F i g. 7A zeigt eine Glasstützplatte 21, auf die eine 0,1 μΐπ dicke Elektrodenschicht 22 aus Indium und dann eine 1 μιη dicke Isolierschicht 23 aus Quarz aufgedampft ist. Auf diese Schichten ist zunächst eine 0,5 μιη dicke Aluminiumschicht 24 und dann eine 0,5 μιη dicke Nickelschicht 25 aufgedampft. Mittels eines bekannten Photoätzverfahrens wird die Form der herzustellenden Elektrode in der Schicht 25 ausgeätzt. Dabei wird als Ätzmittel Salpetersäure verwendet, die die unterliegende Aluminiumschicht 24 nicht angreift. Der bewegbare Teil der Elektrode wird beim Photoätzen über die ganze Oberfläche mit einer Vielzahl von Löchern 26 mit einem Durchmesser von 6 μπι und einem gegenseitigen Abstand von 20 μιη versehen, wie in F i g. 7 B dargestellt ist. Anschließend wird mit Kalilauge geätzt, die die Nickelschicht 25 nicht, wohl aber die Aluminiumschicht 24 angreift Die Aluminiumschicht 24 wird durch sogenannte Unterätzung über die Löcher 26 entfernt, wobei über die in Fig.7C dargestellte Zwischenstufe der in Fig.7D dargestellte Endzustand erreicht wird. Die bewegbare Elektrode 27 bleibt dabei mittels der Teile 28 und 29 der Aluminiumschicht 24 mit der Stützplatte verbunden.

F i g. 6 zeigt eine Draufsicht auf die Elektrode 27 mit den Löchern 26. Die Gebiete 30 und 31 sind nicht mit Löchern versehen, wodurch die darunter liegende Aluminiumschicht nicht weggeätzt ist Die Gebiete 30 so und 31 befinden sich also auf den Gebieten 28 und 29, die von der Aluminiumschicht 24 übrigbleiben.

In F ig. 8 ist der in F i g. 6 umrahmte Teil zur weiteren Verdeutlichung nochmals perspektivisch dargestellt In der mit gestnchelten Linien dargestellten Lage liegt die Elektrode 27 an der Stützplatte an, auf der die Elektrode befestigt ist

F i g. 7E zeigt ebenfalls die Elektrode 27, nochmals in der nach oben bewegten Lage.

F i g. 9 zeigt eine Ausführungsform von vier aus einer w Vielzahl bewegbarer Elektroden für ein Matrix-Display-System. Dabei wird das wiederzugebende Bild nicht aus Segmenten, die auf die z. B. in F i g. 5 dargestellte Weise gruppiert sind, sondern aus einer Vielzahl von Bildpunkten aufgebaut Jeder Bildpunkt wird durch ein tf> Wiedergabeelement einer Matrix von Wiedergabeelementen gebildet Bei einer derartigen Ausführungsform wird das Potential aller bewegbaren Elektroden vorzugsweise gleichgehalten, so daß sie, wie in F i g. 9 dargestellt ist, über ihre Befestigungspunkte miteinander verbunden sein können. Die festen Elektroden werden auf bekannte Weise durch zueinander senkrechte Zeilenelektroden und Spaltenelektroden gebildet. An eine Spalten- und eine Zeilenelektrode werden derartige Spannungsimpulse angelegt, daß nur das Wiedergabeelement am Kreuzungspunkt einer Spalten- und einer Zeilenelektrode von der stabilen Ruhelage zu der stabilen Betriebslage umklappt. Diese Spannungsimpulse dürfen aber nicht derart groß sein, daß ein Wiedergabeelement, das nur über eine Spaltenelektrode oder nur über eine Zeilenelektrode einen Spannungsimpuls empfängt, anspricht. Die bereits beschriebene große Schwellwertspannung einer Vorrichtung nach der Erfindung ist dabei von besonderer Bedeutung. Alle Wiedergabeelemente können in denselben Zustand gebracht (reset) werden, indem ein Spannungsimpuls an alle miteinander verbundenen bewegbaren Elektroden zugleich angelegt wird.

Fig. 10 zeigt eine dritte Ausführungsform einer Bildwiedergabevorrichtung nach der Erfindung. Diese Ausführungsform arbeitet in dem Durchstrahlungsmodus, somit mit hindurchfallendem Licht. Die Steuerung dieser Vorrichtung erfolgt völlig auf die bereits an Hand der Fig.4 beschriebene Weise. Die Vorrichtung ist jedoch nicht mit Flüssigkeit gefüllt, sondern enthält z. B. ganz einfach Luft atmosphärischen Druckes. Ein gewisser Vakuumgrad ergibt jedoch eine etwas schnellere Wirkung der Vorrichtung. Es sind zwei bewegbare Elektroden 35 und 36 dargestellt, die auf die bereits beschriebene Weise mit einem Muster von Löchern versehen sind. Die Löcher 37 weisen die Form eines Quadrats mit einer Seite von 20 μπι auf. Sie sind in Reihen mit einem gegenseitigen Abstand von 40 μιη angeordnet Die Längsrichtung der Reihen steht senkrecht auf der Zeichnungsebene der F i g. 10. Der Teitungsabstand zwischen den Löchern in einer Reihe ist etwas mehr als 20 μπι, wodurch ein von Brücken unterbrochener Spalt gebildet wird. Das Negativ 41 dieses Löchermusters ist in der festen Elektrode 38 angebracht Liegt eine bewegbare Elektrode, wie die Elektrode 35, an der festen Elektrode 38 an, so wird kein Licht zu der Beobachtungsseite 39 der Vorrichtung durchgelassen. Liegt eine bewegbare Elektrode, wie die Elektrode 36, an der ganz durchsichtigen festen Elektrode 40 an, so wird wohl Licht 42 durchgelassen, wie in Fig. 10 dargestellt ist Dadurch, daß mit einer starken äußeren Lichtquelle gearbeitet wird, können auf diese Weise auch Bilder projiziert werden. Die bewegbaren Elektroden können auch federnd bef "stigt werden. Auf diese Weise kann dadurch, daß die Federkraft mit der elektrostatischen Kraft in Gleichgewicht gebracht wird, jedes Wiedergabeelement mehrere Lagen einnehmen, wodurch eine sogenannte Grauskala (mehrere Graustufen pro Wiedergabeelement) erhalten wird.

F i g. 11 zeigt schließlich eine vierte Ausführungsform einer Bildwiedergabevorrichtung nach der Erfindung. Diese Ausführungsform arbeitet im Reflexionsmodus. Die Vorrichtung ist mit Luft gefüllt Die bewegbaren Elektroden 43 und 44 sind mit einem lichtdurchlässigen Muster von öffnungen 45 versehen, durch die ρ % des auffallenden Lichts 46 durchgelassen wird. Der verbleibende TeiL und zwar (100—p) %, des auffallenden Lichtes wird absorbiert Die feste Elektrode 47 auf der von der Beobachtungsseite 48 abgekehrten Stützplatte 49 ist mit weißen diffus reflektierenden Gebieten 50

versehen, die mit den öffnungen 45 in den Elektroden 43 und 44 fluchten. Die Elektrode 47 reflektiert also ρ % des auffallenden Lichts und absorbiert den verbleibenden Teil, und zwar {100 - p) %. Die Lichtmenge, die von einem Wiedergabeelement, je nach der Lage der bewegbaren Elektrode (43,44), reflektiert wird, wird wie folgt berechnet.

Die pektrode 44 läßt ρ % durch, von dem ρ % von der Elek'.rode 47 reflektiert und von dem dann wieder p% von der Elektrode 44 durchgelassen wird. Das Wiedergabeelement mit der Elektrode 44 reflektiert

also einen Teil (p/lOO)³ des auffallenden Umgebungslichts.

Alles durch die öffnungen 45 der Elektrode 43 hindurchgehende Licht wird diffus von den Gebieten 50 reflektiert, die über die Öffnungen 45 sichtbar sind. Das Wiedergabeelement mit der Elektrode 40 reflektiert also einen Teil p/100 des auffallenden Umgebungslichts.

Der Kontrast zwischen den beiden Wiedergabeelementen, d. h. das Verhältnis zwischen den reflektierten Lichtmengen, ist also (pi 10O)². In der Praxis ist ρ ζ. Β. 33%, wodurch ein Kontrast von 1 :9 erreicht wird.

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

Claims

10 15 Patentansprüche;

1. Passive Bildwiedergabevorrichtung mit einer ersten und einer dazu parallel angeordneten, zweiten Stützplatte, von denen wenigstens eine durchsichtig ist und mit einer Anzahl von Wiedergabeelementen zur Modulation von licht, wobei jedes Wiedergabeelement eine erste Elektrode, eine zweite Elektrode und eine dritte Elektrode enthält, die erste und zweite Elektrode auf der ersten bzw. zweiten Stützplatte angeordnet sind und die dritte Elektrode mittels elektrostatischer Kräfte zwischen der ersten und der zweiten Elektrode verschiebbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und die zweite Elektrode jedes Wiedergabeelements auf den einander zugekehrten Oberflächen der Stützplatten angebracht sind, und daß die dritte Elektrode jedes Wiedergabeelements entlang des Umfangs pitteis einer Anzahl von biegsamen, »> streiienfönnfgcn Teiler, an einer der Stützplatten befestigt ist

2. Bildwiedergabevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (11) auf der durchsichtigen Stützplatte (9) durchsichtig sind, und daß der Raum zwischen den Stützplatten (9,10) mit einer undurchsichtigen Flüssigkeit (18) gefüllt ist, deren Farbe mit der Farbe der der durchsichtigen Stützplatte (9) zugekehrten Seite der dritten Elektroden (15,16,17) einen Kontrast bildet (F i g. 4).

3. Bildwied'?vgabevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden auf der durchsichtigen Stützplatte (48) durchsichtig sind, daß die dritten Elektroden \43, 44) mit einem Muster lichtdurchlässiger Gebiete (45) /ersehen sind, und daß die Elektroden (47) auf der anderen Stützplatte (49) mit einem Muster verschieden gefärbter Gebiete (50) versehen sind, die mit den lichtdurchlässigen Gebieten (45) in den dritten Elektroden (43,44) fluchten (F ig. 11).

4. Bildwiedergabevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Stützplatte eine Anzahl streifenförmiger Elektroden enthält, die ein System von Zeilen erster Elektroden bilden, daß die andere Stützplatte eine Anzahl streifenförmiger Elektroden enthält, die ein System von Spalten zweiter Elektroden bilden, wobei eine Matrix von Wiedergabeelementen durch die sich kreuzenden Zeilen und Spalten gebildet wird, und daß alle dritten Elektroden miteinander verbunden sind (F i g. 9).

5. Bildwiedergabevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beide Stützplatten durchsichtig sind und jedes Wiedergabeelement einen steuerbaren Licht Verschluß bildet.

6. Bildwiedergabevorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die dritten Elektroden (35,36) mit einem Muster lichtdurchlässiger Gebiete (37) versehen sind, und daß die Elektroden (38) auf einer der Stützplatten ebenfalls mit einem Muster lichtdurchlässiger Gebiete (41) versehen sind, das so das Negativ des Musters in den dritten Elektroden (35, 36) bildet, daß ein Lichtverschluß kein Licht durchläßt, wenn beide Elektroden (35,38) nahezu in einer Ebene liegen (F i g. 10).

7. Verfahren zur Herstellung einer Bildwiedergabevorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung der dritten Elektroden, die mittels biegsamer,

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