DE2637703A1

DE2637703A1 - Elektrostatisch gesteuerte bildwiedergabevorrichtung

Info

Publication number: DE2637703A1
Application number: DE19762637703
Authority: DE
Inventors: Te Velde Ties Siebolt
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1975-08-27
Filing date: 1976-08-21
Publication date: 1977-03-03
Also published as: FR2322416B1; FR2322416A1; JPS5865475A; NL7510103A; JPS5936753B2; JPS5912173B2; JPS5228294A; US4309242A; GB1533458A; JPS5912174B2; USRE31498E; CA1065979A; JPS5859489A; US4178077A; DE2637703C2

Description

PHN 8119

Va/RJ

fr ^ * I /γ

"Elektrostatisch gesteuerte Bildwiedergabevorrichtung".

Die Erfindung bezieht sich auf eine passive Bildwiedergabevorrichtung mit einer Anzahl von Yiedergabeelementen zur Steuerung der Reflexion oder der Durchlässigkeit von Licht, wobei jedes Wiederga.beelement eine erste Elektrode, eine zweite Elektrode und eine dritte Elektrode enthält, welche dritte Elektrode mitteln elektrostatischer Kräfte zwischen der ersten und der zweiten Elektrode verschiebbar ist.

Unter einer passiven Bildwiedergabevorrichtung ist eine Bildwiedergabevorrichtung zu verstehen, deren Wiedergabeelemonte selber· kein Licht erzeugen,

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sondern das Umgebungslicht derart reflektieren oder durchlassen, dass ein Bild wiedergegeben wird. Passive Bildwiedergabevoirrichtungen können z.B. einen Flüssigkristall enthalten, bei dem die Reflexion oder Durchlässigkeit von Licht örtlich dadurch geändert -wird, dass an bestimmte Elektroden Spannungen angelegt werden. Auch können sie einen Stoff enthalten, dessen Farbe mit Hilfe eines elektrischen Feldes geändert werden kann (die sogenannten elektroehromen Bildwiedergabevorrichtungen) .

Eine Bildwiedergabevorrichtungen der im ersten Absatz erwähnten elektrostatischen Art ist aus der US-PS 3.648.281 bekannt. Die darin beschriebene Vorrichtung enthält eine Anzahl von ¥iedergabeelcmen~

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ten, die mit je einer bewegbaren Elektrode versehen sind, die im Ruhezustand den Winkel zwischen zv;ei anderen Elektroden in zwei gleiche Teile aufteilt. Der Ruhezustand wird mit Hilfe eines Magnetfeldes erhalten. Die Konstruktion dieser bekannten Bildwiedergabevorrichtung ergibt technologische Schwierigkeiten und ist derartig, dass Spannungen von Hunderten von YoIt für die Steuerung erforderlich sind. Derartige hohe benötigte Spannungen sind mit den üblichen auf Halbleitern basierenden elektronischen Schaltungen nicht kompatibel. Die Konstruktion dex- bekannten Bildwiedergabevorrichtung ist ausserdem derart, dass nur die

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Reflexion, "jedoch, .nicht die Durchlässigkeit von Licht pro Bildelement gesteuert werden kann.

Die Erfindung bezweckt, eine elektrostatisch gesteuerte Bildwiedergabevorrichtung mit einer technologisch einfachen Konstruktion anzugeben..

Weiter bezweckt die Erfindung, eine elektrostatisch gesteuerte Bildwiedergabevorrichtung zu schaffen, die mit niedrigen mit Hilfe von Halbleiterschaltungen zu erzeugenden Spannungen gesteuert werden kann.

Ausserdem bezweckt die Erfindung, eine derartige Bildwiedergabevorrichtung anzugeben, die grundsätzlich für Betrieb in entweder, dem !Reflexionsmodus oder dem DurchStrahlungsmodus geeignet ist.

Auch bezweckt die Erfindung, eine derax^tige

Bildwiedergabevorrichtung zu.schaffen, in der die Bildelemente zwei feste Lagen annehmen können.

Diese und andere Zwecke,der Erfindung werden dadurch einreicht, dass eine Bildwiedergabevorrichtung nach der Erfindung zwei parallele Stützplatten enthält, von denen mindestens eine durchsichtig ist; dass die erste und die.zweite Elektrode jedes Wiedergabeelements auf den einander zugekehrten Oberflächen der Stützplatten angebracht sind, und dass die dritte Elektrode jedes "Wiedergabeelements bewegbar zwischen den beiden Sfützplatten befestigt ist.

Wenn die Bildwiedergabevorrichtung im Re-

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flexionsmodus betrieben wird, kann sie nach einem anderen Aspekt der Erfindung mit einer undurchsichtigen Flüssigkeit versehen sein, deren Fai-be mit der Far*be der im ausgesteuerten Zustand zu beobachtenden Seite der dritten Elektroden kontrastiert■

Wenn die Bildwiedergabevorrichtung im Reflexion smodus betrieben wird, können die dritten Elektroden mit einem Muster lichtdurchlässiger Gebiete und die Elektroden auf der hinteren Stützplatte mit einem Muster verschieden gefärbter Gebiete versehen sein, die mit den lichtdurchlässigen Gebieten in den dritten Elektroden fluchten.

Venn die Bildwiedergabevorrichtung als ein sogenanntes "Cross-bar display"-System ausgebildet ist, sind nach einem weiteren Aspekt dex- Erfindungalle dritten Elektroden einer Matrix von Wiedergabeelementen miteinander verbunden.

Nach einer noch weiteren Ausführungsfgrm der Erfindung arbeitet die Bildwiedei'gabevox'X'ichtung im Durchstrahlungsmodus und jedes Wiedergabeelement bildet einen steuerbaren Lichtverschluss. Die Konstruktion ist dabei z.B. derartig, dass die dritten Elektroden mit einem Muster lichtdurchlässiger Gebiete versehen und die Elektroden auf einer dex- Stützplatten ebenfalls mit einem Muster lichtdurchlässiger Gebiete versehen sind, das das Negativ des Musters in

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den dritten Elektroden bildet, wobei ein Lichtverschluss kein Licht durchläset, wenn beide Elektroden nahezu in einer" Ebene liegen.

Nach der Erfindung ist weiter ein Verfahren zur Herstellung einer Elektrode, die mittels biegsamer streifenförmiger Teile bewegbar an einer Stützplatte befestigt ist, gekennzeichnet durch:

a) das Anbringen einer ersten Schicht aus einem Material, das mit einem ersten Ätzmittel ätzbar ist;

b) das Anbringen einer zweiten Schicht aus einem Elektrodenmaterial, das mit einem zweiten Ätzmittel ätzbar ist;

c) die Anbringung einer Vielzahl von Löchern in den

Teilen der zweiten Schicht, die nicht an der Stütz-

t
platte befestigt bleiben sollen, mit Hilfe eines Photoätzverfahrens und des zweiten Ätzmittels, und

d) die Entfernung von Teilen der ersten Schicht durch Un toi-ätzung, über die Löcher in der zweiten Schicht, mit dem ersten Ätzmittel.

Einige Ausführungsformen der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigen:

Figuren 1, 2 und 3 schematisch das Wirkungsprinzip einer Bildwiedergabevorrichtung nach der Erfindung,

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Fig« h eine erste Ausführungsfo.rm einer BiIdwiedergabevorriclituiig nach der Erfindung, die in dem Reflexionsmodus betrieben wird,

Fig. 5 ein Elektrodenrauster für diese Vorrichtung,

Fig. 6 eine Elektrode dieser Vorrichtung, Fig. 7 die Herstellung dieser Elektrode,

Fig. 8 einen Befestigungspunkt dieser Elektrode,

Fig. 9 einen Teil einer Matrix von Elektroden für eine zweite Ausführungsforiii einer Bildwiedergabe vorrichtung nach der" Erfindung,

Fig. 10 eine dritte Ausfühx°ungsf orm einer Bildwiedergabevorrichtung nach der Erfindung, die in dem Durclistrahlungsraodus betrieben wird, und

Fig. 11 eine vierte .Ausführungsform einer Bildwiedergabevorrichtung nach der Erfindung, die in dem Refloxionsmodus betrieben wird*

Fig. 1 zeigt schematisch zwei feste Elektroden 1 und 2 und eine bewegbare Elektrode 3· Der Absrand zwischen den Elektroden 1 und 2 ist mit d bezeichnet ,, Der Abstand zwischen den Elektroden 2 und 3 ist mit χ bezeichnet. Die Spannungen an den Elektroden 1, 2 und 3 sind +V, -V bzw. V . Die elektx-ostatischen Kräfte, die die Elektroden 1 und 2 auf diu EJ ektcodo 3 ausüben, wexxlen durch das Quadrat der ej-cktrj^chcai ; i·;,.:..

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stärke zwischen den Elektroden bestimmt. Die Elektx-ode 3 ist also gerade im Gleichgewicht, wenn:

—j ■

Dieses Gleichgewicht ist naturgemäss labil, denn wenn die Elektrode 2 von dem Gleichgewichtszustand aus über einen kleinen Abstand bewegt wird, wird die Kraft, die von der angenäherten Elektroden ausgeübt wird, grosser und die von der anderen Elektroden ausgeübte Kraft kleiner.

Die obenstehende quadratische Gleichung in V , und χ hat zwei Lösungen, die in Hg. 2 in graphischer Darstellung gezeigt^ sind. Die erste Lösung

j
ist die Gerade dxirch die Punkte (v __ = -V, χ = θ) und (V_ = 0, χ =1/2 d). Die zweite Lösung ist die Hyperbel mit den Zweigen 5 und 6 und den Asymptoten V=O und χ = 1/2 d.

r '

In der Praxis kann sich die Elektrode 3 nur in dem Gebiet zwisohen den Elektroden 1 und 2 bewegen," wie in Fig. 3 dargestellt ist. In Fig. 3 ist ausserdein angegeben, dass die Elektroden 1 und 2 mit Isolierschichten 7 und 8 mit einer Dicke Q d überzogen sind, wodurch die dritte Elektrode 3 als äusserste Lagen χ = (j, d und χ = d- Od hat. Die Isolierschichten könnten sich gx^undsätzlich auch auf beiden ■ Seiten der* dritten Elektrode befinden. In Fig. 3 schneidet die

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Linie 4, die das Gleichgewicht aer Elektrode 3 die Linie je — Q D bei einer Spannung T = —V -j- ^ Y land die Linie χ = d- OD Ibex einer Spannung Y = +f-Aus Fig. 3 geh.1; hervor, dass in dem Bereich, von Spannungen Y zwischen —Y+ ο V und +Y— OY die dritte Elek— trode zwei stabile Lagen aufweist, und zwar χ = und s. = —d Od. In einem Bereicli naiib einer G3?osse von etwa 2 OY in der Mane toh Y = —Y wird die dritte

3?

Elektrode iMMHer nach. oTben, zu der festen JSXelctrode 1 hin getrieljen. In einem Ber-eicli mit einer Garösse von etwa ZQY JlM der Uälie ττοη Y = +Y wird die dritte

Elektrode immer nach unten, zu der festen Elektrode 2 liin getrieben · Mit anderen Worten: ninant die bewegbare Elektrode eine stabile Lage gegen eine der fcsten Elektroden ein {z.B. die Elektrode 1) und ist in diesem Zustand die Spannung Y -O₃ so kann die Span—

Y-OY

nung Y auf nahezu Y— OY zunehmen, ohne dass die !bewegbare Elektrode 3 zu der festen Elektrode 2 umklappt. Dies erfolgt erst_ä wenn die Spannung bis in den Bereich mit einer Grosse vob etwa. 2 QY um Y = +Y zunimmt. Die Vorrichtung ist also bistabil und weist eine selir grosse Schwellwertspannung auf, welche letztere Ei— genscliaft bekanntlich für ein sogenanntes "Cross-bardisplayⁿ-Syste3m von grosser, Bedeutung ist. Ein "Bieder— gabeelement, das ans einer bewegbaren Elektrode 3 zwei festen Elektroden 1 und 2 bestellt, wird

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kurz zeitiger Spannungimpulse mit einer· Amplitude V oder mit eine entsprechende elektrische Ladungsmenge darstellenden Impulsen gesteuert.

Fig. 4 zeigt eine praktische Ausführungsform einer Bildwiedergabevorrichtung, die auf" dem an Hand der Figuren 1, 2 und 3 erläuterten Prinzip basiert. Die Vorrichtung enthält zwei parallele Glasstützplatten 9 und 10. Auf den Stützplatten 9 und 10 sind homogene Elektrodenschichten'11 und 12 angebracht. ¥enigstens die Schicht 11 soll durchsichtig sein und daher bestehen beide Schichten 11 und 12 aus 0,1 yum dicken Schichten aus Indiumoxid oder Zinnoxid. Auf den Schichten 11 und 12 befinden sich 1 /um dicke Isolierschichten 13 und 14 aus Quarz. Die Vorrichtung ist mit einer An-

j
zahl bewegbarer Elektroden versehen, die eine Dicke von 0,5 /um aufweisen und aus Nickel hergestellt sind; von diesen Elektroden sind in Fig. h drei sichtbar, die mit 15» 16" und 17 bezeichnet sind. Die Vorrichtung ist weiter mit einer undurchsichtigen schwarzgefärbten ./Flüssigkeit 18 gefüllt, die aus einer Lösung von Sudanschwarz in Toluol besteht, während die Vorrichtung mit Abdichtungsmitteln 19 und 20 abgedichtet ist. Die Elektroden 151 16 und 17 können auf die an Hand der Figuren 1, 2 und 3 erläuterte Weise gesteuert werden. Der Abstand zwischen den Stützplatten 9 und 10 beträgt 25/um und die Spannung V an den

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Elektroden 11 und 12 beträgt 10 V. Die Steuerung erfolgt mit Spannungimpulsen mit einer Zeitdauer von msec und einer Amplitude von 10 V an den Elektroden 15f 16 und 17· Im Ruhezustand ist die Spannung an den Elektroden 15» 16 und 17 null Volt. Dadurch, dass die bewegbaren Elektroden auf die in Fig. 5 dargestellte Weise gruppiert werden, können auf bekannte Weise Ziffern wiedergegeben werden. Dabei wird das Umgebungslicht (32) von den an der Stiitzplatte 9 auf der Beobachtungsseite anliegenden Elektroden reflektiert (33) und anderswo (3^) absorbiert oder wenigstens nur in der Farbe der Flüssigkeit 18 reflektiert.

An Hand der· Fig. 7 wird die Herstellung der bewegbaren Elektroden 15 _s 16 und 17 erläutert. Fig. 7A zeigt eine Glasstützplatte 21, auf die eine 0, 1 /um dicke Elektrodenschicht 22 aus Indium und dann eine 1 ,um dicke Isolierschicht 23 aus Quarz aufgedampft ist. Auf diese Schichten ist zunächst eine 0,5/um dicke Aluminiumschicht Zh und dann eine 0,5/um dicke Nickelschicht 25 aufgedampft. Mittels eines bekannten Photoätzverfahrens wird die Form der herzustellenden Elektrode in der Schicht 25 ausgeätzt. Dabei wird als Ätzmittel Salpetersäure verwendet, die die unterliegende Aluminiumschicht Zh nicht angreift. Der bewegbare Teil der Elektrode wird beim Photoätzen über die ganze Oberfläche mit einer Vielzahl von Löchern 26 mit einem

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Düxcliinessex* von 6/um und einem gegenseitigen Abstand

ZO/um verseilen, wie in Fig«, ?B dargestellt isib. AnschliessendTiird mit Kalilauge geätzt, die die Nickelschicht 25 nicht, wohl aber die Aluminiums chiclit 2h angreift» Die Aluminiums chicht Zh wird durch sögenannte ünterätzung über die Löcher 26 entfex-ii-fc, nrobei iifoea? die in I⁴Xg. 7C dargestellte Zwisclxeiistufe dear in ]Pig. 7^ dargestellte Endzustaiid erjceiclxt wird. Uie bewegbare Elektrode 27 "bleibt" dabei mittels der Teile 28 und 29 der. AlramimiiUHScliiclit Zh Mit der Stiitzplatte

Fig. 6 zeigt eine Drauf siclit auf die Elektrode 27 mit den LiSclaearii 2·6. Die Gebiete 30 land 31 siiad 33iclit mit Löciaex*!! -ve3?selie33 ₉ ^ wodurch," die dairuntex" lie-

gende Aluminiumsciiiclit nicht weggeätzt- ist. Die Gebiete 3O und 31 befinden - sich also auf den Gebieten 28 xuad 29 j die τγοώ dear AlXimi ηiuMS chicht Zh übrigbleiben.

In. Fig. 8 . ist dex· in Fig. 6 -awreihmt-e Teil zur -weiteren. Yex-tieiatlichmag nochmals perspeiktxviscli da.irgestellt. Is dear mit gestrichelten Irinien dargestellten Lage liegt die Elektrode 27 an der Stutz.—" platte an, auf der· die Elektrode- befestigt ist.

Fig. 7E zeigt ebenfalls die Elektrode 27, nochmals in der'jaach oben bewegten Lage.

Fig. 9 zeigt eine Ausführungsfoarni von Tier

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aus einer Vielzahl bewegbarer Elektroden für ein Matrix-Display-System. · Dabei wird das wiederzugebende Bild nicht aus Segmenten, die auf die Z₀B₀ in Fig. 5 dargestellte Weise gruppiert sind, sondern aus einer Vielzahl von Bildpunkten aufgebaut. Jeder Bildpunkt wird durch ein Wiedergabeelement einer Matrix \^on Wiedergabeelementen gebildet. Bei einer derartigen Ausführungsform wird das Potential aller bewegbaren Elektroden vorzugsweise gleichgehalten, so dass sie, wie in Fig» 9 dargestellt ist, über ihre Befestigungspunkte miteinander verbunden sein können« Die festen Elektroden werden auf bekannte Weise durch zueinander senkrechte Zeilenelektroden und Spaltenelektroden gebildet. An eine Spalten- und eine Zeilenelektrode wer-

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den derartige Spaimungsirnpulse angelegt, dass nur da? Wiedergabeelement am Kreuzungspunkt einer Spalten- und einer Zoilenelektrode von der stabilen Ruhelage zu der stabilen Betriebslage umklappt. Diese Spannungsimpuls ο dürfen aber nicht derairt gross sein, dass ein Wiedergabeelement, das nur über eine Spalto.nelektrcdo oder nur über eine Zeileneloktrode einen SpEumuiigsimpuls empfängt, anspricht. Die bereits beschriebene grofci'e Schwellwertspanimng einer Vorrichtung nach der Erfindung ist dabei λ^οιι besonderer· Bedeutung-. Alle Wiedergabeelemonte können in denselben Zustand gebracht (reset) werden, indem ein S2jannungsimpuls an

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alle miteinander verbundenen bewegbaren Elektroden zugleich angelegt wird.

Fig. 10 zeigt eine dritte Ausführungsform einer Bildwiedergabevorrichtung nach der Erfindung. Diese Ausfuhrungsform arbeitet in dem Durchstrahlungsmodus, somit mit hiiidurchf allen dem Licht. Die Steuerung dieser Vorrichtung erfolgt -völlig auf die bereits an Hand der Fig. 4 beschriebene Weise. Die Vorrichtung ist jedoch nicht mit Flüssigkeit gefüllt, sondern enthält z.B. ganz einfach Luft atmosphärischen Druckes. Ein gewisser Vakuumgrad ergibt jedoch eine etwas schnellere Wirkung der Vorrichtung. Es sind zwei bewegbare Elektroden 35 und 3^ dargestellt, die auf die ber*eits beschriebene Welse mit einem Muster

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von Löchern versehen sind. Die Löcher 37 weisen die Form eines Quadrats mit einer Seite von 20 /um auf. Sie sind in Reihen mit einem gegenseitigen Abstand von hO /um angeordnet. Die La.ngsrich.tung der Reihen steht senkrocht auf der Zeichnungsebene der· Fig, 10. Der Teilungsabstand zwischen den Löchern in einer Reihe ist etwas mehr als 20 /um, wodurch ein von Brücken unterbrochener Spalt gebildet wird. Das Negativ hl dieses Löchei-musters ist in der festen Elektrode 38 angebracht. Liegt eine bewegbare Elektrode, wie die Elektrode 35 > aJi der festen Elektrode 38 an, so wird kein Licht zu der Boobachtungsseite 39 eier Vorrich-

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tung durchgelassen. Liegt eine bewegbare Elektrode, wie die Elektrode 36, an der ganz durchsiclitigen festen Elektrode 40 an, so wird wohl Licht kZ durchgelassen, wie in Fig. 10 dargestellt ist. Dadurch, dass mix einer starken äusseren Lichtquelle gearbeitet wird, können auf diese Weise auch Bilder projiziert werden. Die bewegbaren Elektroden können auch federnd befestigt werden. Auf diese Weise kann dadurch, dass die Federkraft mit der elektrostatischen Kraft in Gleichgewicht gebracht wird, jedes Wiedergabeelement mehrere Lagen einnehmen, wodurch eine sogenannte Grauskala (mehrere Gradationen pro Wiedergäbeelement) erhalten wird.

Fig. 11 zeigt schliesslich eine vierte Ausführungsform einer BildwiedergabevoxTichtung nach der Erfindung. Diese Ausführungsform arbeitet im Reflexion; modus. Die Vorrichtung ist mit Luft gefüllt. Die bevrerbaren Elektroden ^l 3 und '44 sind mit einem lichtdurchlässigen Muster von Offnungen 45 vorsehen, durch die ρ ^ des auffallenden Lichts h6 durchgelassen wird. Der verbleibende Teil, ^^nd zwar (i00-~p) ^b, des auffallenden Lichtes wird absorbiert. Die feste Elektrode 47 auf. der von der Beobachtungsseite 48 abgekehrten Stützplatte 49 ist mit weisscn diffus reflektierenden Gebieten 50 vorsehen, die mit den Öffnung^n h5 in den Elektroden 43 und 4 fluchten. Die Elektrode

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47 ref lektiex't- also ρ ^o des auffallenden Lichts und absorbiert den verbleibenden Teil, und zwar (iOO-p) %. Die Lichtnienge, die von einem Wiedergabeelement, je häcli der Lage der bewegbaren Elektrode (43,44), reflektiert wird, wird wie folgt berechnet.

Die Elektrode 44 lässt ρ tfo durch., von dem ρ ^- von der Elektrode 47 reflektiert- und von dem dann wieder ρ ^ von der Elektrode 44 durchgelassen wird. Das Wiedergabeelement mit der Elektrode 44 reflektiert also einen Teil (p/100) des auffallenden Umgebungslichts.

Alles durch die öffnungen 45·der Elektrode 43 hindurchgehende Licht wird diffus von den Gebieten 50 reflektiert, die über die Öffnungen 45 sichtbar sind. Das ¥iedergäbeelement mit der Elektrode 4θ reflektiert also einen Teil p/100 des aufallenden Umgebungs'3.ichts .

Der "Kontrast zwischen den beiden Wiedergabe- elementen, d.h. das 'Verhältnis zwischen den reflektie^rtpn Lichtniengen, ist altjo .(p/100)*". In der Praxis ist" ρ J5..13. 33 fvf wodurch ein Kontrast von 1 : 9 erreicht wii"d.

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Claims

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Patentansprüche:

( 1 J Passive Bildwiedergabevorrichtung mit einer Anzahl von ¥iedergabeelementen zur Steuerung der Reflexion oder der Durchlässigkeit von Liclit, wobei jedes Wiedergabeelement eine erste Elektrode, eine zweite Elektrode und eine dritte Elektrode enthält, welche dritte Elektrode mittels elektrostatischer Kräfte zwischen der ersten und der zweiten Elektrode verschiebbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung zwei pax^allele Stützplatten enthält, von denen mindestens eine durchsichtig ist; dass die erste und die zweite Elektrode jedes ¥iedergabeolcments auf den einander zugekehrten Oberflächen der Stützplatten angebracht sind, und dass die dx"itte Elektrode

ι
jedes Wiedergabeelements bewegbar zwischen den beiden

Stützplatten befestigt ist.
2. Bildwibdergabevox-richtung nach Anspruch. 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden auf der durchsichtigen Stützplatte durchsichtig sind, und dfiss der Raum zwischen den Stützplatten mit einer undurchsichtigen Flüssigkeit gefüllt ist, deren Färbt? der Farbe der der durchsichtigen Stützplatte zugekehrten Seite der dritten Elektroden kontrastiert.
3. BildWiedergabeVorrichtrmg nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden auf der durchsichtigen Stützplatte durchsichtig sind; dass die

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dritten Elektroden mit einem Muster lichtdurchlässiger Gebiete v.erseilen sind, und dass die Elektroden auf der* anderen Stützplatte mit einem Muster verschieden gefärbter Gebiete -versehen sind, die mit den lichtdurchlässigen Gebieten in den dritten Elektroden fluchten.
4. Bildwiedergabevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Stützplatte eine Anzahl streifenfÖrmiger Elektroden enthält, die ein System von Zeilen erster Elektroden bilden; dass die andere Stützplatte eine Anzahl streifenförmiger Elektroden enthält, die ein System von Spalten zweiter Elektroden bilden, wobei eine Matrix von Viedergabeelementen durch die sich kreuzenden Zellen und Spalten gebildet wird, und dass _valle dritten Elektroden

j
miteinander verbunden sind.
5. Bildwiedergabevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gckemizeiclinct, dass beide Stützplatten durchsichtig sind und jedes Wiedergabeelement einen steuerbaren Lichtverschluss bildet.
6. Bildwiedergabevorrichtung nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet, dass die dritten Elektroden mit einem Muster lichtdurchlässiger Gebiete verseilen sind, und dass die Elektroden auf einer der Stützplatten ebenfalls mit einem Muster· lichtdurchlässiger Gebiete versehen sind, das das Negativ des Musters in den dritten Elektroden bildet, wobei ein Lichtverschluss

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kein Licht durchlasst, wenn beide Elektroden nahezu in einer Ebene liegen.
7. Verfahren zur Herstellung einer Elektrode, die mittels biegsamer streifenförmiger Teile bewegbar an einer Stützplatte befestigt ist, gekennzeichnet durch:

a) das Anbringen einer ersten Schicht aus einem Material, das mit einem ersten Ätzmittel ätzbar ist;

b) das Anbringen einer zweiten Schicht aus einem Elektrodenmaterial, das mit einem zweiten Ätzmittel ätzbar ist;

c) das Anbringen einei- Vielzahl von Löchern in den Teilen der zxv^reiten Schicht, die nicht an der Stützplatte befestigt bleiben sollen, durch ein Photo-

ätzverfahren und das zweite Ätzmittel, und

d) die Entfernung von Teilen der ersten Schicht durch Unterätzung, durch die Löcher in der zweiten Schicht, mit dein ersten Ätzmittel.

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