JPS5865475A - 受動形画像表示装置の電極製造方法 - Google Patents
受動形画像表示装置の電極製造方法Info
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- JPS5865475A JPS5865475A JP57140011A JP14001182A JPS5865475A JP S5865475 A JPS5865475 A JP S5865475A JP 57140011 A JP57140011 A JP 57140011A JP 14001182 A JP14001182 A JP 14001182A JP S5865475 A JPS5865475 A JP S5865475A
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- electrodes
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- G09F9/30—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
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- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光の透過（通過、伝達、伝送等）または反射
を制御す゛る多数ｒ表示エレメントを備え、各表示エレ
メントが第１電極、第２１！極および第８電極を有し、
静電気力により前記第８電極を前記第１および第２電極
の間で移動することができる受動形画像表示装置の電極
製造方法に関するものである。
を制御す゛る多数ｒ表示エレメントを備え、各表示エレ
メントが第１電極、第２１！極および第８電極を有し、
静電気力により前記第８電極を前記第１および第２電極
の間で移動することができる受動形画像表示装置の電極
製造方法に関するものである。
受動形画像表示装置とは、表示エレメント自体は発光し
ないが、周朋光を反射または通過させて画像を表示する
画像表示装置を意味する。受動形画像表示装置には、例
えば、所定電極に電圧を供給することにより光の反射ま
たは光の透過が局部的に変化する液晶を備えることがで
きる。代案として受動形画像表示装置には電界により色
を変えることができる材料を備え、即ち電気変色影画像
表示装置とすることができる。
ないが、周朋光を反射または通過させて画像を表示する
画像表示装置を意味する。受動形画像表示装置には、例
えば、所定電極に電圧を供給することにより光の反射ま
たは光の透過が局部的に変化する液晶を備えることがで
きる。代案として受動形画像表示装置には電界により色
を変えることができる材料を備え、即ち電気変色影画像
表示装置とすることができる。
前述した静電影画像表示装置は米国特許第８６４８２８
１号明細書に記載されている。この米国特許明細書に記
載された表示装置は多数の表示工レメントを備え、各表
示エレメントは中性または中立位置において他の２電極
間の角度を二等分する可動電極を有している。中性位置
は磁界によって得る。技術的には、前記既知の画像表示
装置の構成は実現が難かしく、かつ制御に数百ボルトの
電圧を必要とする。かかる高電圧は通常の半導体電子回
路で取扱うことが難かしいかまたは不可能である。更に
、この既知の画像表示装置の構成では、各表示エレメン
トが光の反射のみ制御できるだけで１．光の透過は制御
できない。
１号明細書に記載されている。この米国特許明細書に記
載された表示装置は多数の表示工レメントを備え、各表
示エレメントは中性または中立位置において他の２電極
間の角度を二等分する可動電極を有している。中性位置
は磁界によって得る。技術的には、前記既知の画像表示
装置の構成は実現が難かしく、かつ制御に数百ボルトの
電圧を必要とする。かかる高電圧は通常の半導体電子回
路で取扱うことが難かしいかまたは不可能である。更に
、この既知の画像表示装置の構成では、各表示エレメン
トが光の反射のみ制御できるだけで１．光の透過は制御
できない。
本発明の目的は、技術的に簡単な構成の静電制御影画像
表示装置において使用する可動電極の新規かつ効果的な
製造方法を提供するにある。
表示装置において使用する可動電極の新規かつ効果的な
製造方法を提供するにある。
本発明の受動影画像表示装置は、前記表示装置が２個−
の平行支持板を備え、少なくとも一方の平行支持板を透
明とし、各表示ニレメン）の第１および第２電極を前記
平行支持板の対向面上に配設し、各表示エレメントの第
８電極を前記平行支持板の間に移動自在に配設してなる
ことを特徴とする。
の平行支持板を備え、少なくとも一方の平行支持板を透
明とし、各表示ニレメン）の第１および第２電極を前記
平行支持板の対向面上に配設し、各表示エレメントの第
８電極を前記平行支持板の間に移動自在に配設してなる
ことを特徴とする。
反射モードで作動する場合本発明の画像表示装・置は、
励起された状態において可視状態となる第８電極の側の
色とコントラストを成す色の不透明液を備えることがで
きる。
励起された状態において可視状態となる第８電極の側の
色とコントラストを成す色の不透明液を備えることがで
きる。
画像表示装置が反射モードで作動する場合、透明支持板
上の電極は透明とし、第８電極に透光領域パターンを配
設し、他の支持板上の電極には第３電極における透光領
域と符号する位置に異なる色を発色または着色する領域
のパターンを配設することができる。
上の電極は透明とし、第８電極に透光領域パターンを配
設し、他の支持板上の電極には第３電極における透光領
域と符号する位置に異なる色を発色または着色する領域
のパターンを配設することができる。
更に本発明により画像表示装置をいわゆるクロスパー形
表示装置として構成する場合には、表示エレメント・マ
トリックスのすべての第８電極を相互に接続する。
表示装置として構成する場合には、表示エレメント・マ
トリックスのすべての第８電極を相互に接続する。
更に本発明の他の実施例においては画像表示装置を透光
モードで作動させ、各表示エレメントは制御可能な光シ
ヤツターを構成するようにする。
モードで作動させ、各表示エレメントは制御可能な光シ
ヤツターを構成するようにする。
その構成の一例においては、第８電極に透光領域パター
ンを配設し、かつ一方の支持板上の電極に第８電極にお
けるパターンの負パターンである透光領域パターンを配
設して、両方の電極が実際上一平面に位置する場合光を
通過しない光シヤツターを形成するようにする。
ンを配設し、かつ一方の支持板上の電極に第８電極にお
けるパターンの負パターンである透光領域パターンを配
設して、両方の電極が実際上一平面に位置する場合光を
通過しない光シヤツターを形成するようにする。
前記目的を達成するため本発明は、移動可能なるよう可
撓性細条状部を介し支持板に固着する電極の製造に当り
、 （イ） 第１エツチング剤によりエツチングすることが
できる材料の第１層を設け、 （ロ） 第２エツチング剤によりエツチングすることが
できる材料の電極の第２層を設け、 （ハ） ホトエツチング法および第２エツチング剤によ
り、支持板との固着を維持すべきでない第２層の部分に
多数の開口を設け、 に） 第１エツチング剤により第２層における開ロー介
しアンダーエツチングによって第１層の部分を除来する
こと を特徴とする。
撓性細条状部を介し支持板に固着する電極の製造に当り
、 （イ） 第１エツチング剤によりエツチングすることが
できる材料の第１層を設け、 （ロ） 第２エツチング剤によりエツチングすることが
できる材料の電極の第２層を設け、 （ハ） ホトエツチング法および第２エツチング剤によ
り、支持板との固着を維持すべきでない第２層の部分に
多数の開口を設け、 に） 第１エツチング剤により第２層における開ロー介
しアンダーエツチングによって第１層の部分を除来する
こと を特徴とする。
以下、図面につき本発明を説明する。
第１図は距離ｄだけ離間した３個の固定平行電極ｌおよ
び露と、電極型から距離Ｘだけ離間した可動電極８とを
１的に示す。電極１．諺、ｍにおける電圧・はそれぞれ
＋Ｖ、−Ｖ、Ｖｒである。電極ｌおよび！が電極８に及
ぼす静電気力はこれら電極間の電界強度の二乗によって
決まる。従って電極畠は次の関係式 で成立つ場合に丁度平衡状態となる。この平衡状態は実
際上不安定であり、その塩山は電極８を平衡状態から小
さい距離にわたり移動した場合、電極間距離の小さくな
った両電極間に作用する力は二層大きくなり、かつ電極
間距離が大きくなった両電極間に作用する力は一層小さ
くなるからであるＯ 上記ｖｒおよびＸに関する二次方程式は８つの解な有し
、これを第２図に示す。第１の解は点（ＶｒＷ 、■、
）ＣａＯ）および（ｖｒ＝ｇｏ、 ｘｗｉａ ）を通
る直線である。第！の解は部分−＠ｈおよび６ｆ：有し
かつＶｒａＯおよびｘｌＩＩＥＴｄを通る漸近線を有す
る双曲線である。
び露と、電極型から距離Ｘだけ離間した可動電極８とを
１的に示す。電極１．諺、ｍにおける電圧・はそれぞれ
＋Ｖ、−Ｖ、Ｖｒである。電極ｌおよび！が電極８に及
ぼす静電気力はこれら電極間の電界強度の二乗によって
決まる。従って電極畠は次の関係式 で成立つ場合に丁度平衡状態となる。この平衡状態は実
際上不安定であり、その塩山は電極８を平衡状態から小
さい距離にわたり移動した場合、電極間距離の小さくな
った両電極間に作用する力は二層大きくなり、かつ電極
間距離が大きくなった両電極間に作用する力は一層小さ
くなるからであるＯ 上記ｖｒおよびＸに関する二次方程式は８つの解な有し
、これを第２図に示す。第１の解は点（ＶｒＷ 、■、
）ＣａＯ）および（ｖｒ＝ｇｏ、 ｘｗｉａ ）を通
る直線である。第！の解は部分−＠ｈおよび６ｆ：有し
かつＶｒａＯおよびｘｌＩＩＥＴｄを通る漸近線を有す
る双曲線である。
実際上電極８は、第８図に示すように、電極ｌおよび８
の間の領域においてだけ移動することができる。また第
Ｓ図に示すように、電極ｌおよび露には厚さＪ（ｉｆ有
する絶縁層テおよび８を被着し、従って第３電極８の移
動限界位置は）Ｃｗａ Ｊ ｄおよびｚ ｗ ｄ −ａ
ｄである。原理的には、第８１１の両側に絶縁材料を
配設することができる。第８図において、電極層の可能
な平衡位置の範囲【示す直ｌ１１４は電圧ｖｒ謀−ｖ＋
δＶで直１１ｘｍＪｄと交すシカつ電圧ｖｒｍ＋Ｖ−Ｊ
Ｖで直線Ｘ■ｄ−１ｄと交さする。
の間の領域においてだけ移動することができる。また第
Ｓ図に示すように、電極ｌおよび露には厚さＪ（ｉｆ有
する絶縁層テおよび８を被着し、従って第３電極８の移
動限界位置は）Ｃｗａ Ｊ ｄおよびｚ ｗ ｄ −ａ
ｄである。原理的には、第８１１の両側に絶縁材料を
配設することができる。第８図において、電極層の可能
な平衡位置の範囲【示す直ｌ１１４は電圧ｖｒ謀−ｖ＋
δＶで直１１ｘｍＪｄと交すシカつ電圧ｖｒｍ＋Ｖ−Ｊ
Ｖで直線Ｘ■ｄ−１ｄと交さする。
第８図から明らかなように、−ｖ＋ａＶおよび＋Ｖ−Ｊ
Ｖの間の電圧ｖｒの輪間にお４いて第８電極８は８つの
安定状態即ちｘｘ ａｅｉおよびｘｘｄ−Ｊｄを有する
。ＶｒＷ −Ｖの近くのほばｍＪｄの領域においては、
第８電極δは常に固定電極ｌに向って上方へ駆動される
。ＶｒＷ ＋ Ｖの近くのほぼ！ａｖの領域においては
、第８電極は常に固定電＆ｆｆｉに向って下方へ駆動さ
れる。云い換えれば、可動電極８が一方の固定電極（つ
まり電極ｌ）に対し安定位置にあり、この状態において
電圧ｖｒ！０である場合には、電極８を固宕電極意の方
へ移動しなくても電圧ｖｒは実際上Ｖ−ａＶに増大する
。これは、電圧がほぼ！Ｊｖの範囲において大体Ｖｒ！
＋ｖに増大した場合にだけ起る。従って装置は双安定で
あり、かつ極めて大きい限界電圧を有し、後者の特性は
既知のようにいわゆるり田スパー表示に対し極めて重要
である。可動電極８と黛個の固定電極ｌ、！から成る表
示エレメントは、振幅Ｖの短時間持続電圧パルスにより
、または対応！荷量を示すパルスによって制御する。
Ｖの間の電圧ｖｒの輪間にお４いて第８電極８は８つの
安定状態即ちｘｘ ａｅｉおよびｘｘｄ−Ｊｄを有する
。ＶｒＷ −Ｖの近くのほばｍＪｄの領域においては、
第８電極δは常に固定電極ｌに向って上方へ駆動される
。ＶｒＷ ＋ Ｖの近くのほぼ！ａｖの領域においては
、第８電極は常に固定電＆ｆｆｉに向って下方へ駆動さ
れる。云い換えれば、可動電極８が一方の固定電極（つ
まり電極ｌ）に対し安定位置にあり、この状態において
電圧ｖｒ！０である場合には、電極８を固宕電極意の方
へ移動しなくても電圧ｖｒは実際上Ｖ−ａＶに増大する
。これは、電圧がほぼ！Ｊｖの範囲において大体Ｖｒ！
＋ｖに増大した場合にだけ起る。従って装置は双安定で
あり、かつ極めて大きい限界電圧を有し、後者の特性は
既知のようにいわゆるり田スパー表示に対し極めて重要
である。可動電極８と黛個の固定電極ｌ、！から成る表
示エレメントは、振幅Ｖの短時間持続電圧パルスにより
、または対応！荷量を示すパルスによって制御する。
第４図は第１．１および８図につき説明した原理に基づ
く画像表示装置の実施例を示す。本例の表示装置は２個
の平行ガラス支持板９およびＮ。
く画像表示装置の実施例を示す。本例の表示装置は２個
の平行ガラス支持板９およびＮ。
を備える。支持板９および１０の上に均質電極層１１お
よび１ｍを配設する。少なくとも電極層１１は透明にす
る必要があり、従って電極層１１および１ｍの両方は厚
さが０．１７ｇｍの酸化インジウふ層または酸化錫層で
構成する。かかる電極層１１および１１には厚さが１．
ｇｌｌの絶縁石英層１８および１４を被着する。表示装
置は厚さが０．５μｍでありニッケルから製造した可動
電極を多数備え、そのうち＃ｌ！番図では８個の可動電
極１Ｂ、１６．１７を示す。更に表示装置にはシルエン
におけるスーダン・ブラックの溶液から成る不透明黒色
＄１８を満し、シール部材１９および２０によって密閉
する。可動電極１Ｂ、１６．ｌフは第１．２．８図につ
き説明したように制御することができる。支持板９およ
びＮｏの間の距離は１μｍ声ｍとし、電極１１およびｌ
！における電圧Ｖは１０ボルシとする。制御は、電極１
５．１６．１７において振幅１０ボルシおよび持続時間
１０１ＥＩ秒な有する電圧パルスを介して行う。安定状
態においては電極１１、Ｉｌｌ、１７における電圧は零
である。第６図に示すような態様で可動電極群な配設す
ることにより数字を既知の態様で表示することができる
。
よび１ｍを配設する。少なくとも電極層１１は透明にす
る必要があり、従って電極層１１および１ｍの両方は厚
さが０．１７ｇｍの酸化インジウふ層または酸化錫層で
構成する。かかる電極層１１および１１には厚さが１．
ｇｌｌの絶縁石英層１８および１４を被着する。表示装
置は厚さが０．５μｍでありニッケルから製造した可動
電極を多数備え、そのうち＃ｌ！番図では８個の可動電
極１Ｂ、１６．１７を示す。更に表示装置にはシルエン
におけるスーダン・ブラックの溶液から成る不透明黒色
＄１８を満し、シール部材１９および２０によって密閉
する。可動電極１Ｂ、１６．ｌフは第１．２．８図につ
き説明したように制御することができる。支持板９およ
びＮｏの間の距離は１μｍ声ｍとし、電極１１およびｌ
！における電圧Ｖは１０ボルシとする。制御は、電極１
５．１６．１７において振幅１０ボルシおよび持続時間
１０１ＥＩ秒な有する電圧パルスを介して行う。安定状
態においては電極１１、Ｉｌｌ、１７における電圧は零
である。第６図に示すような態様で可動電極群な配設す
ることにより数字を既知の態様で表示することができる
。
周囲光（１２）は視者側（ｓ８）の支持板９に対向する
＼電極によって反射されるか、または少なくとも黒色液
１８の色においてのみ反射される。
＼電極によって反射されるか、または少なくとも黒色液
１８の色においてのみ反射される。
可動電極１６，１６．ｌ？の製造を第７図につき説明す
る。第ツム図にはガラス支持板１ｌｒｔ示し、その上に
厚さ０．１声虱のインジウム電極層ｌ！を蒸着した後、
厚さ１７１１１の石英絶縁層１８を蒸着する〇その上に
介挿導電部材として厚さｏ、ｉ、ｓｉ＆のアルミニウム
層ｍ４を蒸着し、その上に厚さ０．−μｌのニッケル層
！ｂを蒸着する。製造すべき電極の形状は既知のホトエ
ツチング法によりニッケル層ＩＩにおいて形成する。エ
ツチング剤は下側のアルミニウム層！４をおかさない硝
酸とする。ホ）エツチングに当り、可動とすべき電極の
部分には、第１Ｂ図に示すように表面全体にわたり直径
６声鳳および相互間隔５ａｐｓを有する多数の開口１６
を配設する。次いで、ニッケル層！器をおかさないがア
ルミニウム層重４をおかす水酸化カリウムでエツチング
を行う。アル濁工☆ム層２４は開口１６を介しいわゆる
アンダーエツチングによって除去し、その場合の中間段
１１ｔ−第１０図に示し、第７Ｄ図に示した最終状態に
到達する。可動電極！７はアル１＝ウム層！４の部分意
８．！９から成る介挿導電部材を介し支持板に接続状態
に維持される。
る。第ツム図にはガラス支持板１ｌｒｔ示し、その上に
厚さ０．１声虱のインジウム電極層ｌ！を蒸着した後、
厚さ１７１１１の石英絶縁層１８を蒸着する〇その上に
介挿導電部材として厚さｏ、ｉ、ｓｉ＆のアルミニウム
層ｍ４を蒸着し、その上に厚さ０．−μｌのニッケル層
！ｂを蒸着する。製造すべき電極の形状は既知のホトエ
ツチング法によりニッケル層ＩＩにおいて形成する。エ
ツチング剤は下側のアルミニウム層！４をおかさない硝
酸とする。ホ）エツチングに当り、可動とすべき電極の
部分には、第１Ｂ図に示すように表面全体にわたり直径
６声鳳および相互間隔５ａｐｓを有する多数の開口１６
を配設する。次いで、ニッケル層！器をおかさないがア
ルミニウム層重４をおかす水酸化カリウムでエツチング
を行う。アル濁工☆ム層２４は開口１６を介しいわゆる
アンダーエツチングによって除去し、その場合の中間段
１１ｔ−第１０図に示し、第７Ｄ図に示した最終状態に
到達する。可動電極！７はアル１＝ウム層！４の部分意
８．！９から成る介挿導電部材を介し支持板に接続状態
に維持される。
第６図は多数の開口！６を含む開ロバターンを配設した
電極１？の平面図を示す。領域８Ｇ、１１には開口ｇ６
を設けないので、アルミニウム層１４の下１１１１１域
１８．ｇｓはエツチングによっては除去されない。
電極１？の平面図を示す。領域８Ｇ、１１には開口ｇ６
を設けないので、アルミニウム層１４の下１１１１１域
１８．ｇｓはエツチングによっては除去されない。
更に＃１６図において鎖線円■内に示した接触部の詳細
斜視図を第８図に示す。第８ＦＡにおいて破線で示した
位置は、電極ｓ７がこれ【取付ける支持板に対し配置さ
れる位置整水す。
斜視図を第８図に示す。第８ＦＡにおいて破線で示した
位置は、電極ｓ７がこれ【取付ける支持板に対し配置さ
れる位置整水す。
＊た第ｙｘｇは上方へ移動された位置における電極１マ
を示す。
を示す。
第９図はマトリックス表示用の極めて多数の可動電極の
うち１舗の可動電極の実施例を示す。本例においては表
示すべき画像は第６図に例示した如きセグメント群では
構成せず、極めて多数の画像ドツトで構成する。各画像
ドラ）は表示エレメント・マトリックスの１表示エレメ
ントで形成する。かかる実施例においてはすべての可動
電極の電位を同一に維持するのが好適であるから、第９
図に示すように、可動電極をその相互接続点を介して互
に接続できるようにすると好適である。固定電極は、互
に直角に延設する行電極および列電極により既知の態様
で構成する。行電極および列電極には適切に電圧パルス
を供給して、当該行電極および列電極の交さ点における
表示エレメントだけが安定休止状態から安定作動状態へ
移動するようにする。しかし、前記電圧パルスの大きさ
な適切に選定して、行電極のみまたは列電極のみに供給
された電圧パルスによっては表示エレメント【移動させ
ることがないようにする必要がある。
うち１舗の可動電極の実施例を示す。本例においては表
示すべき画像は第６図に例示した如きセグメント群では
構成せず、極めて多数の画像ドツトで構成する。各画像
ドラ）は表示エレメント・マトリックスの１表示エレメ
ントで形成する。かかる実施例においてはすべての可動
電極の電位を同一に維持するのが好適であるから、第９
図に示すように、可動電極をその相互接続点を介して互
に接続できるようにすると好適である。固定電極は、互
に直角に延設する行電極および列電極により既知の態様
で構成する。行電極および列電極には適切に電圧パルス
を供給して、当該行電極および列電極の交さ点における
表示エレメントだけが安定休止状態から安定作動状態へ
移動するようにする。しかし、前記電圧パルスの大きさ
な適切に選定して、行電極のみまたは列電極のみに供給
された電圧パルスによっては表示エレメント【移動させ
ることがないようにする必要がある。
これの達成のために、先に説明した本発明装置の大きい
限界電圧が極めて重要である。すべての表示ニレメン）
は、相互接続したすべての可動電極に同時に電圧パルス
を供給することによってリセットすることができる。
限界電圧が極めて重要である。すべての表示ニレメン）
は、相互接続したすべての可動電極に同時に電圧パルス
を供給することによってリセットすることができる。
第１０図は本発明画像表示装置の第８実施例【示す。本
例は透過モード即ち透過光と共に作動する。本例装置の
制御は、第４図につき既に説明した態様で行われる。し
かし本例装置には液体は充填せず、例えば大気圧におけ
る通常の空気を充填する。しかしある程度空気圧を下げ
ることにより表示装置の動作がかなり迅速になる。可動
電極８５および８６には、先に説明した態様で開ロバタ
ーンを配設する。開口δマは一辺が１０μｍの正方形と
する。これらの開口は相互間隔４０，１ｍｌで行方向に
配列する。開口性の長手方向は第１０図の平面に対し直
角である。ｌ開口性における開口間のピッチはｇ ｏ
ｐｍより若干大きくシテ、つｘブにより中断されるスロ
ットが形成されるようにする。
例は透過モード即ち透過光と共に作動する。本例装置の
制御は、第４図につき既に説明した態様で行われる。し
かし本例装置には液体は充填せず、例えば大気圧におけ
る通常の空気を充填する。しかしある程度空気圧を下げ
ることにより表示装置の動作がかなり迅速になる。可動
電極８５および８６には、先に説明した態様で開ロバタ
ーンを配設する。開口δマは一辺が１０μｍの正方形と
する。これらの開口は相互間隔４０，１ｍｌで行方向に
配列する。開口性の長手方向は第１０図の平面に対し直
角である。ｌ開口性における開口間のピッチはｇ ｏ
ｐｍより若干大きくシテ、つｘブにより中断されるスロ
ットが形成されるようにする。
この開ロバターンの負パターン４１を固定電極８８に配
設する。可動電極例えば電極８６ｔ−固定％極８８に対
し押圧した場合、表示装置の視者側８９には光か透過し
ない。可動電極例えば電極δ６を完全画引固定電極４０
に対し押圧した場合には、第１Ｏ図に示すように光４ｍ
が透過する。
設する。可動電極例えば電極８６ｔ−固定％極８８に対
し押圧した場合、表示装置の視者側８９には光か透過し
ない。可動電極例えば電極δ６を完全画引固定電極４０
に対し押圧した場合には、第１Ｏ図に示すように光４ｍ
が透過する。
強い外部光源と共に作動させることにより、この態様で
画像も投影させることができる。代案として可動電極は
弾力を介する態様で装着することができる。この態様に
おいて弾力と静電気力を平衡させることにより、各表示
エレメントは数個の位置のうちの１つの５位置を占め、
従っていわゆるグレイスケールを得ることができる（表
示ニレメンＦ当り数個の階調）。
画像も投影させることができる。代案として可動電極は
弾力を介する態様で装着することができる。この態様に
おいて弾力と静電気力を平衡させることにより、各表示
エレメントは数個の位置のうちの１つの５位置を占め、
従っていわゆるグレイスケールを得ることができる（表
示ニレメンＦ当り数個の階調）。
第１１図は本発明の第１実施例を示し、本例装置は反射
モードで作動する。表示装置には空気を充填するが１可
動電極番畠および４４には光通過パターンにおける開口
４６ｒｔ設けるので、入射光４６のｐ％が透過する。入
射光４６の残部（１００−１＞）％は吸収される。視者
側の支持板４９上の固定電極４１には、可動電極４８お
よび４４における開口４５と位置を符合させた白色の拡
散反射領域６０を設ける。従って電極４４は入射光４６
のｐ％【反射し、かつその残部即ち（Ｚｏｏ−ｐ）％【
吸収する。可動電極（４８，４４）の位置に応じて表示
エレメントにより反射される光の量は、次の如く算出す
る。
モードで作動する。表示装置には空気を充填するが１可
動電極番畠および４４には光通過パターンにおける開口
４６ｒｔ設けるので、入射光４６のｐ％が透過する。入
射光４６の残部（１００−１＞）％は吸収される。視者
側の支持板４９上の固定電極４１には、可動電極４８お
よび４４における開口４５と位置を符合させた白色の拡
散反射領域６０を設ける。従って電極４４は入射光４６
のｐ％【反射し、かつその残部即ち（Ｚｏｏ−ｐ）％【
吸収する。可動電極（４８，４４）の位置に応じて表示
エレメントにより反射される光の量は、次の如く算出す
る。
電極４４は上記ｐ％の透過光のうち電極４７によって反
射されるｐ％の光およびその結果電極４４を再度透過す
るｐ％の光を透過する。従って表示素子は電極４４と共
に入射ＦＮ匪光の一部（Ｐ／１００） を反射する〇 電極４８の開口４Ｂを通過するすべての光は、開口４６
を介してみることができる領域により拡散反射される。
射されるｐ％の光およびその結果電極４４を再度透過す
るｐ％の光を透過する。従って表示素子は電極４４と共
に入射ＦＮ匪光の一部（Ｐ／１００） を反射する〇 電極４８の開口４Ｂを通過するすべての光は、開口４６
を介してみることができる領域により拡散反射される。
従って表示素子は電極４０と共に入射周囲光の一部ｐ／
ｌｏｏ を反射する〇従って！個の表示素子の間のコン
シラスト、即ち反射光量の間の比は（Ｐ／１ｏｏ）”と
なる。実際上ｐは例えば８８≦であり、その場合ｌ；９
のコントラス）が得られる。
ｌｏｏ を反射する〇従って！個の表示素子の間のコン
シラスト、即ち反射光量の間の比は（Ｐ／１ｏｏ）”と
なる。実際上ｐは例えば８８≦であり、その場合ｌ；９
のコントラス）が得られる。
第１図は本発明表示装置の概要を示す路線図、簡素およ
び８図は第１図の動作原理説明図、餉４図は本発明の第
１実施例の断面図、第す図は第１図の実施例における電
極パターンを例示する図、 ＃１６図は＃１１実施例の電極ｆ詳細に示す平面図、第
１図は第６図の電極の製造工程を■−■線上断面によっ
て示す図、 第８図は第６図の破線円■の部分の拡大斜視図、第９図
は本発明の第雪実施例の電極を示す平ｒｋＪ図、第１０
図は本発明の第Ｓ実施例の断ｒＭ図、第１１図は本発明
の第４実施例の断面図である。 １．２・・・固定電極、８・・・可動電極、７．８−・
絶縁層、９．ｌＯ−・平行ガラス支持板、１１．１１・
・・電極層、１８．１４−・絶縁層、Ｉｇ 、１６，１
フ・・・可動電極、１８・・・黒色液、［ト・・ガラス
支持板、トド・・インジウム電極層、！Ｉ・・・絶縁層
、１４−・アルミニウム層、１Ｂ−・・ニッケル層、＊
ａ−・・開口、意テ・・・可動電極、ｓｇ、、・周囲光
、δ５ 、 ＠ ＠ −・・可動電極、８）・・・開口
、８Ｂ・・・固定電極、ａ ｓ−・・視者側、４Ｇ−・
・透明固定電極、４１・・・開ロバターンの負パターン
、４ＪＩ、４４−・・可動電極、４５−・・開口、４６
・・・入射光、４Ｗ−・・固定電極、４８・・・視者側
、４９・・・支持板、ＳＯ，、・拡散反射領域。 手続補正書 昭和５フイ１゛１１月８ 日 ｌ事件の表示 昭和５７年 特 ｄｌ 顕部 １．旧）１１号・）発
明の名称 受動影画像表示装置の電極製造方法 ；］、補ＩＥをする者 ・１１件−の関係特誦″出願人 名称 エヌ・ベー フィリップス・フルーイランベ
ンファブリケン５゜ ６補正の対象 図 而 ７、油止の内容 （別紙の通り） 図面の浄ｊ！ｆ ｆ内容に変更なし） ４９５−
び８図は第１図の動作原理説明図、餉４図は本発明の第
１実施例の断面図、第す図は第１図の実施例における電
極パターンを例示する図、 ＃１６図は＃１１実施例の電極ｆ詳細に示す平面図、第
１図は第６図の電極の製造工程を■−■線上断面によっ
て示す図、 第８図は第６図の破線円■の部分の拡大斜視図、第９図
は本発明の第雪実施例の電極を示す平ｒｋＪ図、第１０
図は本発明の第Ｓ実施例の断ｒＭ図、第１１図は本発明
の第４実施例の断面図である。 １．２・・・固定電極、８・・・可動電極、７．８−・
絶縁層、９．ｌＯ−・平行ガラス支持板、１１．１１・
・・電極層、１８．１４−・絶縁層、Ｉｇ 、１６，１
フ・・・可動電極、１８・・・黒色液、［ト・・ガラス
支持板、トド・・インジウム電極層、！Ｉ・・・絶縁層
、１４−・アルミニウム層、１Ｂ−・・ニッケル層、＊
ａ−・・開口、意テ・・・可動電極、ｓｇ、、・周囲光
、δ５ 、 ＠ ＠ −・・可動電極、８）・・・開口
、８Ｂ・・・固定電極、ａ ｓ−・・視者側、４Ｇ−・
・透明固定電極、４１・・・開ロバターンの負パターン
、４ＪＩ、４４−・・可動電極、４５−・・開口、４６
・・・入射光、４Ｗ−・・固定電極、４８・・・視者側
、４９・・・支持板、ＳＯ，、・拡散反射領域。 手続補正書 昭和５フイ１゛１１月８ 日 ｌ事件の表示 昭和５７年 特 ｄｌ 顕部 １．旧）１１号・）発
明の名称 受動影画像表示装置の電極製造方法 ；］、補ＩＥをする者 ・１１件−の関係特誦″出願人 名称 エヌ・ベー フィリップス・フルーイランベ
ンファブリケン５゜ ６補正の対象 図 而 ７、油止の内容 （別紙の通り） 図面の浄ｊ！ｆ ｆ内容に変更なし） ４９５−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｌ 移動可能なるよう可撓性細条状部な介し支持板に固
着する電極の製造に当り、 げ）第１エツチング剤によりエツチングすることができ
る材料のｊ１１層を設け、 １口） 第２エツチング剤によりエツチングすることが
できる材料の電極の第２層を設け、（ハ） ホトエツチ
ング法および第２エツチング剤により、支持板との固着
を維持すべきでない第２層の部分に多数の開口を設け、
に）第１エツチング剤により第２層における開口を介し
アンダーエツチングによって第１層の部分を除来するこ
と を特徴とする受動形画像表示装置の電極製造方法。−
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL7510103A NL7510103A (nl) | 1975-08-27 | 1975-08-27 | Elektrostatisch bestuurde beeldweergeefinrichting. |
| NL7510103 | 1975-08-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5865475A true JPS5865475A (ja) | 1983-04-19 |
| JPS5912174B2 JPS5912174B2 (ja) | 1984-03-21 |
Family
ID=19824361
Family Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51101742A Expired JPS5936753B2 (ja) | 1975-08-27 | 1976-08-27 | 受動形表示装置 |
| JP57140010A Expired JPS5912173B2 (ja) | 1975-08-27 | 1982-08-13 | 受動形画像表示装置 |
| JP57140011A Expired JPS5912174B2 (ja) | 1975-08-27 | 1982-08-13 | 受動形画像表示装置の電極製造方法 |
Family Applications Before (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51101742A Expired JPS5936753B2 (ja) | 1975-08-27 | 1976-08-27 | 受動形表示装置 |
| JP57140010A Expired JPS5912173B2 (ja) | 1975-08-27 | 1982-08-13 | 受動形画像表示装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (3) | US4178077A (ja) |
| JP (3) | JPS5936753B2 (ja) |
| CA (1) | CA1065979A (ja) |
| DE (1) | DE2637703C2 (ja) |
| FR (1) | FR2322416A1 (ja) |
| GB (1) | GB1533458A (ja) |
| NL (1) | NL7510103A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04362686A (ja) * | 1991-05-28 | 1992-12-15 | Copytele Inc | 電気泳動表示装置及びその動作方法 |
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| JPS5559036U (ja) * | 1978-10-19 | 1980-04-22 | ||
| NL181611C (nl) * | 1978-11-14 | 1987-09-16 | Philips Nv | Werkwijze ter vervaardiging van een bedradingssysteem, alsmede een halfgeleiderinrichting voorzien van een dergelijk bedradingssysteem. |
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| JPH0338075Y2 (ja) * | 1984-12-12 | 1991-08-12 | ||
| JPS61115412U (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-21 | ||
| AU585082B2 (en) * | 1985-10-03 | 1989-06-08 | E.R.G. Management Services Ltd. | Display member |
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-
1975
- 1975-08-27 NL NL7510103A patent/NL7510103A/xx not_active Application Discontinuation
-
1976
- 1976-08-18 US US05/715,429 patent/US4178077A/en not_active Ceased
- 1976-08-21 DE DE2637703A patent/DE2637703C2/de not_active Expired
- 1976-08-23 CA CA259,656A patent/CA1065979A/en not_active Expired
- 1976-08-24 GB GB35193/76A patent/GB1533458A/en not_active Expired
- 1976-08-26 FR FR7625821A patent/FR2322416A1/fr active Granted
- 1976-08-27 JP JP51101742A patent/JPS5936753B2/ja not_active Expired
-
1979
- 1979-05-09 US US06/037,268 patent/US4309242A/en not_active Expired - Lifetime
-
1981
- 1981-05-04 US US06/260,525 patent/USRE31498E/en not_active Expired - Lifetime
-
1982
- 1982-08-13 JP JP57140010A patent/JPS5912173B2/ja not_active Expired
- 1982-08-13 JP JP57140011A patent/JPS5912174B2/ja not_active Expired
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| JPS5912173B2 (ja) | 1984-03-21 |
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| JPS5936753B2 (ja) | 1984-09-05 |
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| NL7510103A (nl) | 1977-03-01 |
| CA1065979A (en) | 1979-11-06 |
| DE2637703C2 (de) | 1983-07-28 |
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| FR2322416B1 (ja) | 1982-11-12 |
| DE2637703A1 (de) | 1977-03-03 |
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