JP3937360B2 - 平面表示装置 - Google Patents
平面表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3937360B2 JP3937360B2 JP08240895A JP8240895A JP3937360B2 JP 3937360 B2 JP3937360 B2 JP 3937360B2 JP 08240895 A JP08240895 A JP 08240895A JP 8240895 A JP8240895 A JP 8240895A JP 3937360 B2 JP3937360 B2 JP 3937360B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- display device
- switching element
- row
- flat display
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
- G09G3/22—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources
- G09G3/30—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/1368—Active matrix addressed cells in which the switching element is a three-electrode device
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
- G09G3/22—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2300/00—Aspects of the constitution of display devices
- G09G2300/08—Active matrix structure, i.e. with use of active elements, inclusive of non-linear two terminal elements, in the pixels together with light emitting or modulating elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
- H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H67/00—Electrically-operated selector switches
- H01H67/22—Switches without multi-position wipers
Description
【産業上の利用分野】
本発明は、ヒステリシス特性を有する静電スイッチを利用してEL素子等の表示素子を選択駆動することにより画像表示を行う平面表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
たとえば、実用化されている平面表示装置として液晶ディスプレイが存在する。液晶ディスプレイにおける駆動方式は、クロストークを抑制し、高解像度化や高コントラスト化を図るために、各表示セル毎に薄膜トランジスタ等の能動素子を設け、これを選択駆動するいわゆるアクティブマトリクス方式が一般に用いられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述したアクティブマトリクス方式は、薄膜トランジスタの如き半導体素子を各表示セル毎に設ける必要があることから、特に大画面化を考えた場合、製造が著しく困難であり、歩留まりは悪く、コストアップを招いてしまうという問題があった。
【0004】
本発明は、このような事情に対処してなされたもので、製造を容易とし低コスト化を図るとともに、アクティブマトリクス方式より高速で安定した表示動作が可能な平面表示装置を提供することを目的とする。
【0005】
本発明は、上記目的を達成するために、一つには、互いに平行に配列された複数の行電極と、前記行電極と直交する方向に配列された複数の列電極と、前記行電極と前記列電極との各交点の近傍に配置された複数の表示セルと、前記各交点において前記列電極及び前記行電極と前記表示セルとの間に接続され、前記表示セルを選択的に表示させるスイッチング素子とを有する平面表示装置であって、前記スイッチング素子は、基板上に絶縁層を介して形成された第1の電極と、該第1の電極に対して間隔を有して形成され、前記列電極に接続される第2の電極と、前記第1の電極の下に前記絶縁層を介して形成され、前記行電極に接続される第3の電極とを備え、前記第2の電極と前記第3の電極への電圧印加によって、前記第1の電極と前記第2の電極が導通することにより、前記表示セルの選択的な表示がなされることを特徴とする。
また一つには、前述の平面表示装置において、前記列電極及び前記行電極からの信号によって、前記第2の電極と前記第3の電極への電圧印加がなされることを特徴とする。
また一つには、前述の平面表示装置において、前記第1の電極は、前記第2の電極と前記第3の電極の相対向する面の一部分に配置されることを特徴とする。
また一つには、前述の平面表示装置において、前記第2の電極と前記第3の電極との間に蓄積された電荷の相互間の静電力により前記第2の電極が前記第3の電極側に引き付けられて、前記第1の電極と前記第2の電極とが導通することを特徴とする。
また一つには、前述の平面表示装置において、前記スイッチング素子はヒステリシス特性を有することを特徴とする。
【0006】
【作用】
本発明の平面表示装置では、行電極と直交する方向に配列された複数の列電極との各交点の近傍に配置される複数の表示セルを選択的に表示させるために、ヒステリシス特性を有するスイッチ素子を表示セル毎に設ける構成とした。このスイッチング素子は、第1の電極と、この第1の電極と離間して形成され、前記列電極に接続される第2の電極と、この第1の電極と絶縁層を介して形成され、前記行電極に接続される第3の電極とを備えるものであり、スイッチング動作で導通することがない第3の電極への電圧印加によって第1の電極と第2の電極とを導通させるものである。これによると、絶縁された第3の電極への電圧印加による機械的なスイッチング動作によって表示セルを選択するので、高速で安定した表示動作が可能となり、また、このスイッチング素子の構造によって、半導体素子を各表示セル毎に設ける場合に比べ、パターニング工程等が極めて簡単なものとなり、歩留まりも良好なものとなる。
【0007】
また、これらのスイッチング素子を選択駆動するようにしたので、クロストークを抑制し、高解像度化や高コントラスト化を図ることができる。
【0008】
【実施例】
以下、本発明の実施例の詳細を図面に基づいて説明する。
図1乃至図3は、本発明の平面表示装置に係る画素セルとしてELを適用した場合の一実施例を示すものである。
【0009】
これらの図に示すように、単結晶シリコン又はポリシリコン(p-Si)等からなるn型Si基板1には、走査ラインに相当する行電極としてのセレクト電極3(第3の電極)が拡散又は金属膜のフォトリソによるパターンニングにより形成されている。セレクト電極3は、n型Si基板1上に形成されたSiO2からなる厚さが80nmの絶縁層4によって被覆されている。
【0010】
絶縁層4上には、厚さd2 が160nmとされた非導電性材料からなるスペーサ層6及び厚さd3 が160nmとされたビーム層8が形成されている。スペーサ層6及びビーム層8には、異方性ドライエッチング及び等方性ドライエッチングによって形成された凹部16がそれぞれの画素セルに対応させて形成されている。凹部16内部の絶縁層4上には、下部電極5(第1の電極)が形成されている。下部電極5上には、絶縁層11によってEL層10が挟持された構造の表示セル10Aが設けられている。表示セル10A上にはコモン電極であるEL駆動電極12が形成されている。なお、ビーム層8は凹部16上に設けられるので、タレないように張力が発生するようになっている。
【0011】
また、下部電極5上には、ビーム層8の下面側に形成された列電極としてのアドレス電極7(第2の電極)が設けられている。アドレス電極7と下部電極5との間隔d1 は160nmとされており、上記のセレクト電極3に所定のセレクトパルスSP が印加され、更にこのセレクトパルスSP に同期してアドレス電極7に表示セル10Aを選択するためのデータパルスDP が印加されると、選択された表示セル10Aに対応する凹部16に位置したアドレス電極7とセレクト電極3との間に蓄積された電荷の相互間の静電力によりアドレス電極7がセレクト電極3側に引き付けられ、アドレス電極7と下部電極5とが導通する(図1の状態では静電スイッチ15がオンする)。このとき、これらセレクト電極3及びアドレス電極7に印加されるパルスに同期してEL層10上に形成されているコモン電極であるEL駆動電極12に所定の駆動パルスが印加されることにより、選択された表示セル10Aが発光動作を行うようになっている。なお、下部電極5は静電界を遮断しないように、セレクト電極3とアドレス電極7の相対向する面の一部分に配置される。
【0012】
続いて、上述した平面表示装置の製造方法を、図4を用いて説明する。
なお、以下に説明する図は、説明の便宜上、一画素セル当りの製造方法について示している。
【0013】
まず、同図(a),(b)に示すように、単結晶シリコン又はポリシリコン(p-si)等からなるn型si基板1にフォトレジストを塗布してマスク2を形成した後、マスクパターンニングを施す。
【0014】
次いで、同図(c),(d)に示すように、n型si基板1にセレクト電極3を形成するための導電層を形成した後、マスク2を除去する。マスク2を除去した後、同図(e),(f),(g)に示すように、n型si基板1上に絶縁層4を形成し、更に絶縁層4上に下部電極5を形成するための電極層を形成し、電極層に対してパターンニングを施すことにより、下部電極5を形成する。
【0015】
下部電極5を形成した後、同図(h),(i),(j)に示すように、下部電極5を覆うように絶縁層4上にスペーサ層6を形成し、スペーサ 層6上にアドレス電極7を形成するための電極層を形成し、電極層に対してパターンニングを施すことにより、アドレス電極7を形成する。アドレス電極7を形成した後、同図(k)に示すように、スペーサ層6上にビーム層8を形成してアドレス電極7を被覆する。
【0016】
ビーム層8を形成した後、同図(l),(m),(n)に示すように、ビーム層8上にフォトレジスト9を塗布し、フォトレジスト9に対してパターンニングを施し、更にビーム層8に対して異方性ドライエッチングを施す。
【0017】
ビーム層8に対して異方性ドライエッチングを施した後、同図(o)に示すように、スペーサ層6に対し等方性ドライエッチングを施して凹部16を形成し、絶縁層4上に形成した下部電極5を露出させる。ちなみに、この凹部16は、画素セル毎に形成されるものである。
【0018】
次に、上述した平面表示装置の動作を、図5及び図6を用いて説明する。
ここで、静電スイッチ15をオン(クローズ)させるために必要な電圧をVon、また静電スイッチ15がオフ(オープン)する電圧をVoff とし、Voff はVonの約半分の電圧とする。
【0019】
まず、1番目の走査ラインであるセレクトライン(1)のセレクト電極3に水平同期信号に応じて印加される1/2VonのセレクトパルスSP が印加され、これに同期してデータラインであるアドレス電極7に1番目の走査ライン上の表示セル10Aを選択するための−1/2VonのデータパルスDP が印加されると、選択された表示セル10Aに対応する凹部16に位置したアドレス電極7とセレクト電極3との間に蓄積された電荷の相互間の静電力によりアドレス電極7がセレクト電極3側に引き付けられ、アドレス電極7と下部電極5とが導通する。すなわち、図1の1番目の走査ライン上の選択された表示セル10Aに対応する静電スイッチ15がオン状態となる。
【0020】
このとき、これらセレクト電極3及びアドレス電極7に印加されるパルスに同期してEL層10上に形成されているコモン電極であるEL駆動電極12に所定の駆動パルスが印加されることにより、選択された表示セル10Aの発光が選択される。
【0021】
このように、表示セル10Aの発光を選択した後、静電スイッチ15が図6に示すようなヒステリシス特性をもつため、スイッチをオンさせるに必要な電位差|Von|より低い電位差|3/4Von|で静電スイッチ15はオン状態を維持する。すなわち、セレクト電極3には、3/8Von及びアドレス電極7には−3/8Vonの電圧が印加され、表示セルの発光状態が維持される。
【0022】
以下、順番に走査ラインに対応した表示セルの発光、非発光の状態が選択され、維持される。
【0023】
このような走査が最終ラインであるセレクトライン(N)まで行われることにより、1画面が構成される。なお、発光状態の停止は、セレクト電極3とアドレス電極7との電位差を|1/2Von≒Voff |以下とすることにより行われる。
【0024】
ここで、それぞれの走査ライン上の表示セル10Aを選択するためのスイッチング素子15は、図6に示すように、ヒステリシス特性を有している。すなわち、横軸が電圧変化量であり、縦軸がアドレス電極7の変位量であり、同図から解る通り、略32V程度でアドレス電極7が略1600オングストロームの変位量を示し、この時点から電圧を徐々に減らしていくと、略22V程度でアドレス電極7の変位量が零近傍まで復帰するような略10V程度の幅をもったヒステリシス特性を有している。
【0025】
したがって、このようにヒステリシス幅の大きいスイッチング素子15を選択駆動することで、表示セル10Aを選択的に表示させることができるので、表示パネルにメモリ機能を付与することが容易となる。また、このようにスイッチング素子15は、ヒステリシスの幅(スイッチング素子15をオンする電圧Vonとスイッチング素子15をオフさせる電圧Voff =1/2Vonとの差)が大きいので、平面表示装置の駆動電圧(VHOLD=3/4Von)のマージンが大幅にアップする。
【0026】
このように、本実施例では、基板1に設けられた走査ラインに相当する行電極としてのセレクト電極3と直交する方向に配列された複数の列電極としてのアドレス電極7との各交点の近傍に配置される複数の表示セル10Aを選択的に表示させるために、ヒステリシス特性を有する微小機械的静電スイッチからなるスイッチング素子15を各表示セル10A毎に設け、これらのスイッチング素子15を選択駆動するようにしたので、薄膜トランジスタ等の半導体素子を各表示セル毎に設ける場合に比べてパターニング工程等が極めて簡単であり、歩留まりも良好であることから、製造が容易であり低コスト化が図れるとともに、アクティブマトリクス方式と同等の画像品質が得られる。
【0027】
また、アドレス電極7と下部電極5との導通は機械的動作によって行われるので、これらアドレス電極7と下部電極5とが非導通の場合、これらの間のインピーダンス比が大きく、クロストーク等の発生を確実に防止することができるとともに、高コントラスト化を図ることができ、更には低消費電力化等を図ることもでき、しかもこれらアドレス電極7と下部電極5とで構成されるスイッチング素子15はヒステリシス幅が大きいのでメモリ性を容易に実現することもできる。
【0028】
なお、本実施例では、本発明の平面表示装置に係る画素セルとしてELを適用した場合について説明したが、この例に限らず、図7及び図8に示すように、アドレス電極7と下部電極5とが導通した際、複数のゲート電極7aと下部電極5との間に印加される電圧によって生じた電界により複数の素子10Bから電子を放出させ、図示省略の蛍光体を発光させる画素セルとしてのFED(フィールドエミッション素子)を適用するようにしてもよい。
【0029】
以上説明したように、本発明の平面表示装置によれば、行電極と直交する方向に配列された複数の列電極との各交点の近傍に配置される複数の表示セルを選択的に表示させるために、ヒステリシス特性を有するスイッチ素子を表示セル毎に設ける構成としたものであり、このスイッチング素子は、第1の電極と、この第1の電極と離間して形成され、前記列電極に接続される第2の電極と、この第1の電極と絶縁層を介して形成され、前記行電極に接続される第3の電極とを備えるものであって、スイッチング動作で導通することがない第3の電極への電圧印加によって第1の電極と第2の電極とを導通させるものである。これによると、絶縁された第3の電極への電圧印加による機械的なスイッチング動作によって表示セルを選択するので、高速で安定した表示動作が可能となり、また、このスイッチング素子の構造によって、半導体素子を各表示セル毎に設ける場合に比べ、パターニング工程等が極めて簡単なものとなり、歩留まりも良好なものとなる。また、このようなスイッチング素子を選択駆動するようにしたので、クロストークを抑制し、高解像度化や高コントラスト化を図ることができる。したがって、製造を容易とし低コスト化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の平面表示装置に係る画素セルとしてELを適用した場合の一実施例に係る平面表示装置の等価回路を示す図である。
【図2】図1の画素セルを示す図である。
【図3】図1の画素セルを示す平面図である。
【図4】図1の平面表示装置の製造方法を説明するための図である。
【図5】図1の平面表示装置の動作を説明するためのタイムチャートである。
【図6】図1のスイッチング素子の特性を示す図である。
【図7】図1の画素セルとしてのELに代えて、FED(フィールドエミッション素子)を適用した場合の他の実施例を示す図である。
【図8】図7のFED(フィールドエミッション素子)を示す平面図である。
【符号の説明】
1 n型Si基板
3 セレクト電極(第3の電極)
4,11 絶縁層
5 下部電極(第1の電極)
6 スペーサ層
7 アドレス電極(第2の電極)
8 ビーム層
10 EL層
10A 表示セル
12 EL駆動電極
15 静電スイッチ
16 凹部
Claims (5)
- 互いに平行に配列された複数の行電極と、前記行電極と直交する方向に配列された複数の列電極と、前記行電極と前記列電極との各交点の近傍に配置された複数の表示セルと、前記各交点において前記列電極及び前記行電極と前記表示セルとの間に接続され、前記表示セルを選択的に表示させるスイッチング素子とを有する平面表示装置であって、
前記スイッチング素子は、基板上に絶縁層を介して形成された第1の電極と、該第1の電極に対して間隔を有して形成され、前記列電極に接続される第2の電極と、前記第1の電極の下に前記絶縁層を介して形成され、前記行電極に接続される第3の電極とを備え、前記第2の電極と前記第3の電極への電圧印加によって、前記第1の電極と前記第2の電極が導通することにより、前記表示セルの選択的な表示がなされることを特徴とする平面表示装置。 - 前記列電極及び前記行電極からの信号によって、前記第2の電極と前記第3の電極への電圧印加がなされることを特徴とする請求項1に記載された平面表示装置。
- 前記第1の電極は、前記第2の電極と前記第3の電極の相対向する面の一部分に配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載された平面表示装置。
- 前記第2の電極と前記第3の電極との間に蓄積された電荷の相互間の静電力により前記第2の電極が前記第3の電極側に引き付けられて、前記第1の電極と前記第2の電極とが導通することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載された平面表示装置。
- 前記スイッチング素子はヒステリシス特性を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載された平面表示装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08240895A JP3937360B2 (ja) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 平面表示装置 |
US08/628,759 US5748159A (en) | 1995-04-07 | 1996-04-05 | Display |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08240895A JP3937360B2 (ja) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 平面表示装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08288062A JPH08288062A (ja) | 1996-11-01 |
JP3937360B2 true JP3937360B2 (ja) | 2007-06-27 |
Family
ID=13773772
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP08240895A Expired - Fee Related JP3937360B2 (ja) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 平面表示装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5748159A (ja) |
JP (1) | JP3937360B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100214885B1 (ko) * | 1996-02-29 | 1999-08-02 | 윤덕용 | 발광소자 및 전자 증배기를 이용한 평판 표시기 |
US6300922B1 (en) * | 1998-01-05 | 2001-10-09 | Texas Instruments Incorporated | Driver system and method for a field emission device |
US6677709B1 (en) * | 2000-07-18 | 2004-01-13 | General Electric Company | Micro electromechanical system controlled organic led and pixel arrays and method of using and of manufacturing same |
AU2002367045A1 (en) * | 2002-01-15 | 2003-07-30 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Light emitting display device with mechanical pixel switch |
US8223285B2 (en) | 2007-11-09 | 2012-07-17 | Seiko Epson Corporation | Active matrix device, method for manufacturing switching element, electro-optical display device, and electronic apparatus |
JP4561813B2 (ja) * | 2007-11-09 | 2010-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | アクティブマトリクス装置、電気光学表示装置、および電子機器 |
JP4492677B2 (ja) * | 2007-11-09 | 2010-06-30 | セイコーエプソン株式会社 | アクティブマトリクス装置、電気光学表示装置、および電子機器 |
US8115383B2 (en) * | 2009-10-29 | 2012-02-14 | Global Oled Technology Llc | Electroluminescent area illumination with integrated mechanical switch |
CN111243477B (zh) * | 2018-11-28 | 2023-10-24 | 江西兴泰科技股份有限公司 | 一种电子纸驱动基板 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL7510103A (nl) * | 1975-08-27 | 1977-03-01 | Philips Nv | Elektrostatisch bestuurde beeldweergeefinrichting. |
US4091382A (en) * | 1976-09-27 | 1978-05-23 | Willis J. Ball | Display system |
US4182553A (en) * | 1978-01-19 | 1980-01-08 | Xerox Corporation | Honeycomb display devices |
US4468663A (en) * | 1981-09-08 | 1984-08-28 | Kalt Charles G | Electromechanical reflective display device |
KR930008309B1 (ko) * | 1984-02-15 | 1993-08-27 | 가부시기가이샤 다이 신꾸우 | 정전식 표시장치의 표시제어장치 |
NL8402038A (nl) * | 1984-06-28 | 1986-01-16 | Philips Nv | Elektroskopische beeldweergeefinrichting. |
US4794370A (en) * | 1984-08-21 | 1988-12-27 | Bos-Knox Ltd. | Peristaltic electrostatic binary device |
NL8402937A (nl) * | 1984-09-27 | 1986-04-16 | Philips Nv | Elektroskopische beeldweergeefinrichting. |
JPH0339808Y2 (ja) * | 1986-08-25 | 1991-08-21 |
-
1995
- 1995-04-07 JP JP08240895A patent/JP3937360B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-04-05 US US08/628,759 patent/US5748159A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08288062A (ja) | 1996-11-01 |
US5748159A (en) | 1998-05-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0012243B1 (en) | Display system including electrostatically deflectable elements | |
JP3013470B2 (ja) | 画像表示装置 | |
JP2656843B2 (ja) | 表示装置 | |
US5393710A (en) | Method for manufacturing a micro light valve | |
TWI253041B (en) | Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators | |
JP3865942B2 (ja) | アクティブマトリクス素子、及びアクティブマトリクス素子を用いた発光素子、光変調素子、光検出素子、露光素子、表示装置 | |
US20040080484A1 (en) | Display devices manufactured utilizing mems technology | |
KR960001941B1 (ko) | 평면 디스플레이 장치 | |
JPH0349117B2 (ja) | ||
KR20000057276A (ko) | 액티브 매트릭스형 액정 표시 장치 | |
JP3937360B2 (ja) | 平面表示装置 | |
JPH11174994A (ja) | 表示装置 | |
KR960014824B1 (ko) | 박막 트랜지스터와 액정셀을 갖는 대향형 액티브 매트릭스 액정표시장치 | |
US5377029A (en) | Plasma addressed liquid crystal display | |
JPH05134273A (ja) | デイスプレイスクリーンのためのマトリツクス制御構造及びその製造方法 | |
JP3168795B2 (ja) | 表示装置 | |
US5689153A (en) | Electro-optical plasma display device with electrode having insulating layers | |
JPH02309541A (ja) | 蛍光表示装置 | |
JP2002341268A (ja) | 表示装置 | |
JPH06163901A (ja) | 薄膜トランジスタ | |
JP2000275658A (ja) | 液晶表示装置 | |
KR100288131B1 (ko) | 로커-암 타입의 다결정실리콘 구조층 및 그 제조 방법 | |
JPH0527218A (ja) | 液晶表示装置 | |
JP3061013B2 (ja) | 画像表示装置 | |
JP3446384B2 (ja) | プラズマアドレス表示装置およびその駆動方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20031218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20031226 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060217 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060411 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070309 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070316 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |