JPS5912174B2 - 受動形画像表示装置の電極製造方法 - Google Patents
受動形画像表示装置の電極製造方法Info
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- JPS5912174B2 JPS5912174B2 JP57140011A JP14001182A JPS5912174B2 JP S5912174 B2 JPS5912174 B2 JP S5912174B2 JP 57140011 A JP57140011 A JP 57140011A JP 14001182 A JP14001182 A JP 14001182A JP S5912174 B2 JPS5912174 B2 JP S5912174B2
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- Japan
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- electrode
- layer
- support plate
- display device
- movable
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- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
- G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
- G09F9/30—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
- G09F9/37—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being movable elements
- G09F9/372—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being movable elements the positions of the elements being controlled by the application of an electric field
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
- Transforming Electric Information Into Light Information (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光の透過(通過、伝達、伝送等)または反射
を制御する多数の表示エレメントを備えた受動形表示装
置用の電極構体であつて、静電気j0力によつて移動で
きる可動電極を備える電極構体の製造方法に関するもの
である。
を制御する多数の表示エレメントを備えた受動形表示装
置用の電極構体であつて、静電気j0力によつて移動で
きる可動電極を備える電極構体の製造方法に関するもの
である。
受動形表示装置とは、表示エレメント自体は発光しない
が、周囲光を反射または通過させて画像を表示する表示
装置を意味する。
が、周囲光を反射または通過させて画像を表示する表示
装置を意味する。
受動形表示装置15には、例えば、所定電極に電圧を供
給することにより光の反射または光の透過が局部的に変
化する液晶を備えることができる。代案として受動形画
像表示装置には電界により色を変えることができる材料
を備え、即ち電気変色形画像表示装置とすることができ
る。前述した静電形表示装置は米国特許第 3648281号明細書に記載されている。
給することにより光の反射または光の透過が局部的に変
化する液晶を備えることができる。代案として受動形画
像表示装置には電界により色を変えることができる材料
を備え、即ち電気変色形画像表示装置とすることができ
る。前述した静電形表示装置は米国特許第 3648281号明細書に記載されている。
この米国特許明細書に記載された表示装置は多数の表示
エレメントを備え、各表示エレメントは中性または中立
位置において他の2電極間の角度を二等分する可動電極
を有している。中性位置は磁界によつて得る。技術的に
は、前記既知の画像表示装置の構成は実現が難かしく、
かつ制御に数百ボルトの電圧を必要とする。かかる高電
圧は通常の半90導体電子回路で取扱ラことが難かしい
かまたは不可能である。更に、この既知の画像表示装置
の構成では、各表示エレメントが光の反射のみ制御でき
るだけで、光の透過は制御できない。本発明の目的は、
技術的に簡単な構成の静電制御式受動表示装置用の電極
構体の新規かつ効果的な製造方法を提供するにある。
エレメントを備え、各表示エレメントは中性または中立
位置において他の2電極間の角度を二等分する可動電極
を有している。中性位置は磁界によつて得る。技術的に
は、前記既知の画像表示装置の構成は実現が難かしく、
かつ制御に数百ボルトの電圧を必要とする。かかる高電
圧は通常の半90導体電子回路で取扱ラことが難かしい
かまたは不可能である。更に、この既知の画像表示装置
の構成では、各表示エレメントが光の反射のみ制御でき
るだけで、光の透過は制御できない。本発明の目的は、
技術的に簡単な構成の静電制御式受動表示装置用の電極
構体の新規かつ効果的な製造方法を提供するにある。
前記目的を達成するため本発明は、静電制御式Jウ1−
受動形表示装置用の電極構体であつて、支持板に対し移
動できるよう可撓性細条状部を介して支持板に固着する
可動電極を備える電極構体の製造方法において、(イ)
第1エツチング剤によりエツチングすることができる材
料の第1層を支持板上に設け、((ニ)第2エツチング
剤によりエツチングすることができる電極材料の第2層
を第1層上に設け、ヒ)ホトエツチング法および第2エ
ツチング剤により第2層のエツチングを行つて、周縁に
可撓性細条状部を有する可動電極、及び支持板との固着
を維持すべきでない第2層の部分に多数の開口を形成し
、(ニ)第1エツチング剤により第2層における開口を
介しアンダーエツチングによつて第1層の部分を除去す
ることを特徴とする。
受動形表示装置用の電極構体であつて、支持板に対し移
動できるよう可撓性細条状部を介して支持板に固着する
可動電極を備える電極構体の製造方法において、(イ)
第1エツチング剤によりエツチングすることができる材
料の第1層を支持板上に設け、((ニ)第2エツチング
剤によりエツチングすることができる電極材料の第2層
を第1層上に設け、ヒ)ホトエツチング法および第2エ
ツチング剤により第2層のエツチングを行つて、周縁に
可撓性細条状部を有する可動電極、及び支持板との固着
を維持すべきでない第2層の部分に多数の開口を形成し
、(ニ)第1エツチング剤により第2層における開口を
介しアンダーエツチングによつて第1層の部分を除去す
ることを特徴とする。
この方法によつて得られる可動電極は可撓性細条状部の
自由端においてだけ支持板に取付けられる。
自由端においてだけ支持板に取付けられる。
かかる態様において、静電気力により支持板に対し移動
できる電極が得られる。かかる静電気力は可動電極の一
側に配置した2個の固定電極によつて発生させることが
できる。これら2個の固定電極の一方は可動電極と同じ
支持板上に構成することができる。この目的のため本発
明の他の実施例においては、第1層を設ける前に、支持
板上に固定電極を形成するよう電極材料の層を支持板上
に設け、該形成された固定電極を電気絶縁材料で蔽うこ
とを特徴とする。第1A図にはガラス支持板21を示し
、その上に厚さ0.1μmのインジウム電極層22を蒸
着して固定電極を形成する。
できる電極が得られる。かかる静電気力は可動電極の一
側に配置した2個の固定電極によつて発生させることが
できる。これら2個の固定電極の一方は可動電極と同じ
支持板上に構成することができる。この目的のため本発
明の他の実施例においては、第1層を設ける前に、支持
板上に固定電極を形成するよう電極材料の層を支持板上
に設け、該形成された固定電極を電気絶縁材料で蔽うこ
とを特徴とする。第1A図にはガラス支持板21を示し
、その上に厚さ0.1μmのインジウム電極層22を蒸
着して固定電極を形成する。
電極層22の上に厚さ1μmの石英絶縁層23を蒸着す
る。絶縁層23の上には、第1エツチング剤によつてエ
ツチングすることができる材料の第1層を蒸着し、次い
で、第2エツチング剤によつてエツチングすることがで
きる電極材料の第2層を蒸着する。前記第1層は厚さ0
.5μmのアルミニウム層24で構成し、前記第2層は
厚さ0.5μmのニツケル層25で構成する。可撓性細
条状部と共に製造すべき電極の形状は既知のホトエツチ
ング法によりニツケル層25において形成する。第2エ
ツチング剤は下側のアルミニウム層24をおかさない硝
酸とする。ホトエツチングに当り、可動とすべき電極の
部分には、第1B図に示すように表面全体にわたり直径
6μmおよび相互間隔20μmを有する多数の開口26
を配設する。次いで、ニツケル層25をおかさないがア
ルミニウム層24をおかす水酸化カリウムを第1エツチ
ング剤としてエツチングを行う。アルミニウム層24は
開口26を介しいわゆるアンダーエツチングによつて除
去し、その場合の中間段階を第1C図に示し、第1D図
に示した最終状態に到達する。可動電極27はアルミニ
ウム層24の部分28,29から成る介挿導電部材を介
し支持板に接続状態に維持される。第1図に示すように
、可動電極27は可撓性細条状部332を有している。
可撓性細条状部32はアルミニウム層24の部分28及
び29を介して支持板に接続される。第1E図は可動電
極27を上方へ移動した状態において示してある。第2
図は可撓性細条状部32を有する可動電極27の一部の
詳細斜視図を示し、破線で示した位置は、可動電極21
がこれを取付ける支持板に対し配置される位置を示す。
る。絶縁層23の上には、第1エツチング剤によつてエ
ツチングすることができる材料の第1層を蒸着し、次い
で、第2エツチング剤によつてエツチングすることがで
きる電極材料の第2層を蒸着する。前記第1層は厚さ0
.5μmのアルミニウム層24で構成し、前記第2層は
厚さ0.5μmのニツケル層25で構成する。可撓性細
条状部と共に製造すべき電極の形状は既知のホトエツチ
ング法によりニツケル層25において形成する。第2エ
ツチング剤は下側のアルミニウム層24をおかさない硝
酸とする。ホトエツチングに当り、可動とすべき電極の
部分には、第1B図に示すように表面全体にわたり直径
6μmおよび相互間隔20μmを有する多数の開口26
を配設する。次いで、ニツケル層25をおかさないがア
ルミニウム層24をおかす水酸化カリウムを第1エツチ
ング剤としてエツチングを行う。アルミニウム層24は
開口26を介しいわゆるアンダーエツチングによつて除
去し、その場合の中間段階を第1C図に示し、第1D図
に示した最終状態に到達する。可動電極27はアルミニ
ウム層24の部分28,29から成る介挿導電部材を介
し支持板に接続状態に維持される。第1図に示すように
、可動電極27は可撓性細条状部332を有している。
可撓性細条状部32はアルミニウム層24の部分28及
び29を介して支持板に接続される。第1E図は可動電
極27を上方へ移動した状態において示してある。第2
図は可撓性細条状部32を有する可動電極27の一部の
詳細斜視図を示し、破線で示した位置は、可動電極21
がこれを取付ける支持板に対し配置される位置を示す。
第3図はマトリツクス表示用の極めて多数の可動電極の
うち4個の可動電極の実施例を示す。
うち4個の可動電極の実施例を示す。
本例においては表示すべき画像は極めて多数の画像ドツ
トで構成する。各画像ドツトは表示エレメント・マトリ
ツクスの1表示エレメントで形成する。かかる実施例に
おいては可動電極をその相互接続点を介して互に接続す
ることができる。固定電極は、互に直角に延設する行電
極および列電極により既知の態様で構成する。行電極お
よび列電極には適切に電圧パルスを供給して、当該行電
極および列電極の交さ点における表示エレメントだけが
安定休止状態から安定作動状態へ移動するようにする。
可動電極の電位はすべての可動電極に対し同一に維持す
る。すべての表示エレメントは、相互接続したすべての
可動電極に同時に電圧パルスを供給することによつてり
セツトすることができる。第4図は本発明方法により製
造した画像表示装置の実施例を示す。
トで構成する。各画像ドツトは表示エレメント・マトリ
ツクスの1表示エレメントで形成する。かかる実施例に
おいては可動電極をその相互接続点を介して互に接続す
ることができる。固定電極は、互に直角に延設する行電
極および列電極により既知の態様で構成する。行電極お
よび列電極には適切に電圧パルスを供給して、当該行電
極および列電極の交さ点における表示エレメントだけが
安定休止状態から安定作動状態へ移動するようにする。
可動電極の電位はすべての可動電極に対し同一に維持す
る。すべての表示エレメントは、相互接続したすべての
可動電極に同時に電圧パルスを供給することによつてり
セツトすることができる。第4図は本発明方法により製
造した画像表示装置の実施例を示す。
本例は透過モード即ち透過光と共に作動する。本例装置
には大気圧における通常の空気を充填する。しかしある
程度空気圧を下げることにより表示装置の動作がかなり
迅速になる。可動電極35および36には、先に説明し
た態様で開ロパターンを配設する。開口37は一辺が2
0μmの正方形とする。これらの開口は相互間隔40t
tTrLで行方向に配列する。開口行の長手方向は第4
図の平面に対し直角である。1開口行における開口間の
ピツチは20μmより若干大きくして、ウエブにより中
断されるスロットが形成されるようにする。
には大気圧における通常の空気を充填する。しかしある
程度空気圧を下げることにより表示装置の動作がかなり
迅速になる。可動電極35および36には、先に説明し
た態様で開ロパターンを配設する。開口37は一辺が2
0μmの正方形とする。これらの開口は相互間隔40t
tTrLで行方向に配列する。開口行の長手方向は第4
図の平面に対し直角である。1開口行における開口間の
ピツチは20μmより若干大きくして、ウエブにより中
断されるスロットが形成されるようにする。
この開口パターンの負パターン41を固定電極38に配
設する。可動電極例えば電極35を固定電極38に対し
押圧した場合、表示装置の視者側39には光が透過しな
い。可動電極例えば電極36を完全透明固定電極40に
対し押圧した場合には、第4図に示すように光42が透
過する。強い外部光源と共に作動させることにより、こ
の態様で画像も投影させることができる。代案として可
動電極は弾力を介する態様で装着することができる。こ
の態様において弾力と静電気力を平衡させることにより
、各表示エレメントは数個の位置のうちの1つの位置を
占め、従つていわゆるグレイスケールを得ることができ
る(表示エレメント当り数個の階調)。第5図は本発明
の実施例を示し、本例装置は反射モードで作動する。
設する。可動電極例えば電極35を固定電極38に対し
押圧した場合、表示装置の視者側39には光が透過しな
い。可動電極例えば電極36を完全透明固定電極40に
対し押圧した場合には、第4図に示すように光42が透
過する。強い外部光源と共に作動させることにより、こ
の態様で画像も投影させることができる。代案として可
動電極は弾力を介する態様で装着することができる。こ
の態様において弾力と静電気力を平衡させることにより
、各表示エレメントは数個の位置のうちの1つの位置を
占め、従つていわゆるグレイスケールを得ることができ
る(表示エレメント当り数個の階調)。第5図は本発明
の実施例を示し、本例装置は反射モードで作動する。
表示装置には空気を充填するが、可動電極43および4
4には光通過パターンにおける開口45を設けるので、
入射光46のP%が透過する。入射光46の残部(10
0−P)%は吸収される。視者側の支持板49上の固定
電極47には、可動電極43および44における開口4
5と位置を符合させた白色の拡散反射領域50を設ける
。従つて電極44は入射光46のP%を反射し、かつそ
の残部即ち(100−P)%を吸収する。可動電極43
,44の位置に応じて、表示エレメントにより反射され
る光の量は、次の如く算出する。電極44は上記P%の
透過光のうち電極47によつて反射されるP%の光およ
びその結果電極44を再度透過するP%の光を透過する
。
4には光通過パターンにおける開口45を設けるので、
入射光46のP%が透過する。入射光46の残部(10
0−P)%は吸収される。視者側の支持板49上の固定
電極47には、可動電極43および44における開口4
5と位置を符合させた白色の拡散反射領域50を設ける
。従つて電極44は入射光46のP%を反射し、かつそ
の残部即ち(100−P)%を吸収する。可動電極43
,44の位置に応じて、表示エレメントにより反射され
る光の量は、次の如く算出する。電極44は上記P%の
透過光のうち電極47によつて反射されるP%の光およ
びその結果電極44を再度透過するP%の光を透過する
。
従つて表示素子は電極44と共に入射周囲光の一部(P
/100)3を反射する。電極43の開口45を通過す
るすべての光は、開口45を介してみることができる領
域により拡散反射される。
/100)3を反射する。電極43の開口45を通過す
るすべての光は、開口45を介してみることができる領
域により拡散反射される。
従つて表示素子は電極40と共に入射周囲光の一部P/
100を反射する。従つて2個の表示素子の間のコント
ラスト、即ち反射光量の間の比は(P/100)2とな
る。
100を反射する。従つて2個の表示素子の間のコント
ラスト、即ち反射光量の間の比は(P/100)2とな
る。
実際上Pは例えば33%であり、その場合1:9のコン
トラストが得られる。
トラストが得られる。
第1図は同一支持板上に固定電極及び可動電極を作製す
る本発明方法の実施例の製造工程を示す断面図、第2図
は可撓性細条状部を有する可動電極の要部斜視図、第3
図は可動電極をマトリツクス状に配設して成る可動電極
マトリツクスの=部を示す平面図、第4及び5図は本発
明方法により製造した可動電極を備えた電極構体を使用
した表示装置の二例を示す断面図である。 21・・・・・・ガラス支持板、22・・・・・・イン
ジウム電極層、23・・・・・・絶縁層、24・・・・
・・アルミニウム層、25・・・・・・ニツケル層、2
6・・・・・・開口、27・・・・・・可動電極、32
・・・・・・可撓性細条状部、35,36・・・・・・
可動電極、37・・・・・・開口、38・・・・・・固
定電極、39・・・・・・視者側、40・・・・・・透
明固定電極、41・・・・・・開口パターンの負パター
ン、43,44・・・・・・可動電極、45・・・・・
・開口、46・・・・・・入射光、47・・・固定電極
、48・・・・・・視者側、49・・・・・・支持板、
50・・・・・・拡散反射領域。
る本発明方法の実施例の製造工程を示す断面図、第2図
は可撓性細条状部を有する可動電極の要部斜視図、第3
図は可動電極をマトリツクス状に配設して成る可動電極
マトリツクスの=部を示す平面図、第4及び5図は本発
明方法により製造した可動電極を備えた電極構体を使用
した表示装置の二例を示す断面図である。 21・・・・・・ガラス支持板、22・・・・・・イン
ジウム電極層、23・・・・・・絶縁層、24・・・・
・・アルミニウム層、25・・・・・・ニツケル層、2
6・・・・・・開口、27・・・・・・可動電極、32
・・・・・・可撓性細条状部、35,36・・・・・・
可動電極、37・・・・・・開口、38・・・・・・固
定電極、39・・・・・・視者側、40・・・・・・透
明固定電極、41・・・・・・開口パターンの負パター
ン、43,44・・・・・・可動電極、45・・・・・
・開口、46・・・・・・入射光、47・・・固定電極
、48・・・・・・視者側、49・・・・・・支持板、
50・・・・・・拡散反射領域。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 静電制御式受動形表示装置用の電極構体であつて、
支持板に対し移動できるよう可撓性細条状部を介して支
持板に固着する可動電極を備える電極構体の製造方法に
おいて、(イ)第1エッチング剤によりエッチングする
ことができる材料の第1層を支持板上に設け、(ロ)第
2エッチング剤によりエッチングすることができる電極
材料の第2層を第1層上に設け、(ハ)ホトエッチング
法および第2エッチング剤により第2層のエッチングを
行つて、周縁に可撓性細条状部を有する可動電極及び支
持板との固着を維持すべきでない第2層の部分に多数の
開口を形成し、(ニ)第1エッチング剤により第2層に
おける開口を介しアンダーエッチングによつて第1層の
部分を除去することを特徴とする受動形表示装置用の電
極構体の製造方法。 2 第1層を設ける前に、支持板上に固定電極を形成す
るよう電極材料の層を支持板上に設け、該形成された固
定電極を電気絶縁材料で蔽う特許請求の範囲第1項記載
の電極構体の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL7510103 | 1975-08-27 | ||
NL7510103A NL7510103A (nl) | 1975-08-27 | 1975-08-27 | Elektrostatisch bestuurde beeldweergeefinrichting. |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5865475A JPS5865475A (ja) | 1983-04-19 |
JPS5912174B2 true JPS5912174B2 (ja) | 1984-03-21 |
Family
ID=19824361
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP51101742A Expired JPS5936753B2 (ja) | 1975-08-27 | 1976-08-27 | 受動形表示装置 |
JP57140010A Expired JPS5912173B2 (ja) | 1975-08-27 | 1982-08-13 | 受動形画像表示装置 |
JP57140011A Expired JPS5912174B2 (ja) | 1975-08-27 | 1982-08-13 | 受動形画像表示装置の電極製造方法 |
Family Applications Before (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP51101742A Expired JPS5936753B2 (ja) | 1975-08-27 | 1976-08-27 | 受動形表示装置 |
JP57140010A Expired JPS5912173B2 (ja) | 1975-08-27 | 1982-08-13 | 受動形画像表示装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US4178077A (ja) |
JP (3) | JPS5936753B2 (ja) |
CA (1) | CA1065979A (ja) |
DE (1) | DE2637703C2 (ja) |
FR (1) | FR2322416A1 (ja) |
GB (1) | GB1533458A (ja) |
NL (1) | NL7510103A (ja) |
Families Citing this family (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0007885A1 (fr) * | 1978-05-18 | 1980-02-06 | Battelle Memorial Institute | Dispositif d'affichage sélectif d'une pluralité d'informations et son procédé de fabrication |
JPS5559036U (ja) * | 1978-10-19 | 1980-04-22 | ||
NL181611C (nl) * | 1978-11-14 | 1987-09-16 | Philips Nv | Werkwijze ter vervaardiging van een bedradingssysteem, alsmede een halfgeleiderinrichting voorzien van een dergelijk bedradingssysteem. |
NL8001281A (nl) * | 1980-03-04 | 1981-10-01 | Philips Nv | Weergeefinrichting. |
US4359698A (en) * | 1980-07-09 | 1982-11-16 | Ford Motor Company | Reflecting type light modulator |
US4358743A (en) * | 1980-07-09 | 1982-11-09 | Ford Motor Company | Light modulator |
US4420896A (en) * | 1981-09-17 | 1983-12-20 | General Electric Company | Method for fabrication of electroscopic display devices and transmissive display devices fabricated thereby |
NL8200354A (nl) * | 1982-02-01 | 1983-09-01 | Philips Nv | Passieve weergeefinrichting. |
US4420897A (en) * | 1982-03-18 | 1983-12-20 | General Electric Company | Electroscopic display devices |
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