JPS6033533A - 液晶マトリクス表示用電極 - Google Patents
液晶マトリクス表示用電極Info
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- JPS6033533A JPS6033533A JP14243783A JP14243783A JPS6033533A JP S6033533 A JPS6033533 A JP S6033533A JP 14243783 A JP14243783 A JP 14243783A JP 14243783 A JP14243783 A JP 14243783A JP S6033533 A JPS6033533 A JP S6033533A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- electrode
- strip
- shaped
- liquid crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1343—Electrodes
- G02F1/134309—Electrodes characterised by their geometrical arrangement
- G02F1/134336—Matrix
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は液晶マ） ＩＪクス表示に関し、さらに詳しく
は単純マトリクス表示における電極構造の改良に関する
。
は単純マトリクス表示における電極構造の改良に関する
。
（従来例の構成とその問題点）
従来、単純マトリクス表示は第１図（ａ） （ｂ）のよ
うに構成されている。すなわち一定の間隙で設けられた
上透明ガラス基板１上に上帯状分割電極３、下透明ガラ
ス基板２」二に下帯状分割電極４、前記基板間隙部に液
晶５、シール剤６などによって構成され、上帯状分割電
極３と下帯状分割電極４に電圧を選択的に印加し、上帯
状分割電極３と下帯状分割電極４の交差する絵素部７を
点灯させ、文字、数字、グラフィックなどを表示させて
いる。
うに構成されている。すなわち一定の間隙で設けられた
上透明ガラス基板１上に上帯状分割電極３、下透明ガラ
ス基板２」二に下帯状分割電極４、前記基板間隙部に液
晶５、シール剤６などによって構成され、上帯状分割電
極３と下帯状分割電極４に電圧を選択的に印加し、上帯
状分割電極３と下帯状分割電極４の交差する絵素部７を
点灯させ、文字、数字、グラフィックなどを表示させて
いる。
前述の上帯状分割電極３、下帯状分割電極４の形成方法
は、一般に透明なガラス基板上全域に渡り、酸化インジ
ュウム、酸化スズ々どの透明な導電膜を蒸着法、スパッ
タ法により形成し、帯状の分割電極になるように間隙部
８を設けてフォトエツチング法でノクターンニングを行
なっていた。
は、一般に透明なガラス基板上全域に渡り、酸化インジ
ュウム、酸化スズ々どの透明な導電膜を蒸着法、スパッ
タ法により形成し、帯状の分割電極になるように間隙部
８を設けてフォトエツチング法でノクターンニングを行
なっていた。
前述方法により帯状に分割した電極を用い、マトリクス
表示を実行させるには、電極間の間隙部８を配慮し電極
の形成を行なわなければなら々い。
表示を実行させるには、電極間の間隙部８を配慮し電極
の形成を行なわなければなら々い。
なぜならば本来連続して表示されるべき文字、数字、グ
ラフィックなどが隣９合う絵素部７間の間隙部８によっ
て分割されてしまい読みすらい、見づらい表示になって
しまい、ディスプレイとしての価値が半減してし１つ。
ラフィックなどが隣９合う絵素部７間の間隙部８によっ
て分割されてしまい読みすらい、見づらい表示になって
しまい、ディスプレイとしての価値が半減してし１つ。
このような問題を解決するには帯状に分割された電極本
数を増やし、電極間の間隙部を狭くするなど解像度を上
げる方法が考えられるが、現状の電極形成技術では、微
細な間隙部のエツチングは非常に難かしく、電極同志の
短絡が生じ歩留シ低下とな９、製造上大きな問題になっ
ている。
数を増やし、電極間の間隙部を狭くするなど解像度を上
げる方法が考えられるが、現状の電極形成技術では、微
細な間隙部のエツチングは非常に難かしく、電極同志の
短絡が生じ歩留シ低下とな９、製造上大きな問題になっ
ている。
（発明の目的）
本発明は、単純マトリクス表示の電極形成工程における
電極同志の短絡を防止し、高密度化が達成でき、高解像
度が得られる電極を提供するものである。
電極同志の短絡を防止し、高密度化が達成でき、高解像
度が得られる電極を提供するものである。
（発明の構成）
本発明の液晶マトリクス表示に用いられる電極は、第１
の帯状の上分割電極と第２の帯状の上分割電極との間に
第１の帯状の分割電極を保護する層を設けた構造で、上
記第１の帯状分割電極と第２の帯状分割電極は同一方向
に整列されておシ互いに一部で重畳し、その他の一部は
隣シ合う第１帯状分割電極或いは第２の帯状分割電極と
が重畳せず、第１の帯状分割電極の引出し電極部と第２
の帯状分割電極の引出し電極部でおのおのの分割電極が
接続された構成の帯状分割電極である。
の帯状の上分割電極と第２の帯状の上分割電極との間に
第１の帯状の分割電極を保護する層を設けた構造で、上
記第１の帯状分割電極と第２の帯状分割電極は同一方向
に整列されておシ互いに一部で重畳し、その他の一部は
隣シ合う第１帯状分割電極或いは第２の帯状分割電極と
が重畳せず、第１の帯状分割電極の引出し電極部と第２
の帯状分割電極の引出し電極部でおのおのの分割電極が
接続された構成の帯状分割電極である。
（実施例の説明）
以下、本発明の一実施例を第２図、第３図＜８） （ｂ
）に基づいて説明する。透明ガラス基板ｌ上全域にスパ
ッタ法で透明な酸化インジュウム層を設け、この酸化イ
ンジュウム層上にフォトレノストを塗布し、電極幅１ｍ
、隣接する電極との間隙部８を０．５市とした１、 ５
ａピッチの帯状マスクパターンを用いフォトレジスト
の露光、現像を行なったのち、間隙部８となる部分の酸
化インノユウム層を″ エツチング液でエツチングし、
第１の帯状分割電極１０を形成した。次に第１の帯状分
割電極１０の引出し電極１０′を残した形で、ディップ
法を用いて５ｉ０２を前記電極に５００Ｘの厚みでオー
バーコートし第１帯状分割電極１０の保護層９を形成し
た。前記形成した基板ｌ上に再度透明な酸化インジュウ
ム層を設け、第１の帯状分割電極１０の形成に用いた帯
状マスクパターンを第１の帯状分割電極１０の電極幅に
対し０．４９６右に平行移動させた形で、第１の帯状分
割電極１０の形成方法を経て第２の帯状分割電極１１を
形成した。この時の第１の帯状分割電極ｌＯは、第２の
帯状分割電極ｌｌと保護層９を介し一部で重畳し、他の
一部も保護層９で介され第２の帯状分割電極１１のおの
おのの分割電極（隣勺合う分割電極）に対し重畳しない
形で形成されており、また第１の帯状分割電極１０と第
２の帯状分割電極１１は、おの−レ おのの分割引出電極１０’ｊｌｌ’で電圧印加が充分な
されるように接続された構造になっている。また、前述
形成で用いた保護層は、第１の帯状分割電極１０と第２
の帯状分割電極１１との層間絶縁層として用いているも
のではなく、単に第２の帯状分割電極１１を形成する時
に用いる酸化インソ瓢つムのエツチング液で、第１の帯
状分割電極１０が侵されることを防ぐことであシ、その
膜厚は液晶の動作がスムーズに行なえる薄い状態で用い
るものである。
）に基づいて説明する。透明ガラス基板ｌ上全域にスパ
ッタ法で透明な酸化インジュウム層を設け、この酸化イ
ンジュウム層上にフォトレノストを塗布し、電極幅１ｍ
、隣接する電極との間隙部８を０．５市とした１、 ５
ａピッチの帯状マスクパターンを用いフォトレジスト
の露光、現像を行なったのち、間隙部８となる部分の酸
化インノユウム層を″ エツチング液でエツチングし、
第１の帯状分割電極１０を形成した。次に第１の帯状分
割電極１０の引出し電極１０′を残した形で、ディップ
法を用いて５ｉ０２を前記電極に５００Ｘの厚みでオー
バーコートし第１帯状分割電極１０の保護層９を形成し
た。前記形成した基板ｌ上に再度透明な酸化インジュウ
ム層を設け、第１の帯状分割電極１０の形成に用いた帯
状マスクパターンを第１の帯状分割電極１０の電極幅に
対し０．４９６右に平行移動させた形で、第１の帯状分
割電極１０の形成方法を経て第２の帯状分割電極１１を
形成した。この時の第１の帯状分割電極ｌＯは、第２の
帯状分割電極ｌｌと保護層９を介し一部で重畳し、他の
一部も保護層９で介され第２の帯状分割電極１１のおの
おのの分割電極（隣勺合う分割電極）に対し重畳しない
形で形成されており、また第１の帯状分割電極１０と第
２の帯状分割電極１１は、おの−レ おのの分割引出電極１０’ｊｌｌ’で電圧印加が充分な
されるように接続された構造になっている。また、前述
形成で用いた保護層は、第１の帯状分割電極１０と第２
の帯状分割電極１１との層間絶縁層として用いているも
のではなく、単に第２の帯状分割電極１１を形成する時
に用いる酸化インソ瓢つムのエツチング液で、第１の帯
状分割電極１０が侵されることを防ぐことであシ、その
膜厚は液晶の動作がスムーズに行なえる薄い状態で用い
るものである。
（５）
以上の方法によシ製作した液晶マトリクス用電極は、帯
状分割電極幅１．４９ ｍ、隣接する電極との間隙がＯ
，Ｏｌ ｍｍとなる高密度、高解像度の得られる電極形
成が充分可能である。
状分割電極幅１．４９ ｍ、隣接する電極との間隙がＯ
，Ｏｌ ｍｍとなる高密度、高解像度の得られる電極形
成が充分可能である。
（発明の効果）
以上のように本発明の液晶マトリクス用電極の構造によ
ると、次のような効果が得られる。
ると、次のような効果が得られる。
従来の電極形成では、微細な間隙部のエツチングが難し
く、帯状分割電極同志の短絡が生じ、歩留りの低下とな
って、電極の高密度形成、高解像の達成ができなかった
が本発明に用いている帯状分割電極は、おのおのの電極
間隙を充分広くして形成しているので歩留り低下などの
問題がなく、作業効率及び品質向、Ｊ二が得られ、電極
の高密度形成、高解像度の達成が実現できる。
く、帯状分割電極同志の短絡が生じ、歩留りの低下とな
って、電極の高密度形成、高解像の達成ができなかった
が本発明に用いている帯状分割電極は、おのおのの電極
間隙を充分広くして形成しているので歩留り低下などの
問題がなく、作業効率及び品質向、Ｊ二が得られ、電極
の高密度形成、高解像度の達成が実現できる。
第１図（ａ） （ｂ）は従来の単純マトリクスパネルの
平面図及び断面図、第２図は本発明の液晶マトリクス用
電極の一実施例の平面図、第３図（ａ） （ｂ）は本発
明の液晶マトリクス用電極の一実施例の断面図で（６） ある０ １．２・・・透明ガラス基板、３・・・上帯状分割電極
、４・・・下帯状分割電極、５・・・液晶、６・・・シ
ール剤、７・・・絵素部、８・・・間隙部、９・・・分
離層、１０゜１１・・・帯状分割電極、１０’、１１’
・・・引出し電極。 （７） 第１図 （ｂ） 第２図 第３図 （α） ｌｂ）
平面図及び断面図、第２図は本発明の液晶マトリクス用
電極の一実施例の平面図、第３図（ａ） （ｂ）は本発
明の液晶マトリクス用電極の一実施例の断面図で（６） ある０ １．２・・・透明ガラス基板、３・・・上帯状分割電極
、４・・・下帯状分割電極、５・・・液晶、６・・・シ
ール剤、７・・・絵素部、８・・・間隙部、９・・・分
離層、１０゜１１・・・帯状分割電極、１０’、１１’
・・・引出し電極。 （７） 第１図 （ｂ） 第２図 第３図 （α） ｌｂ）
Claims (1)
- 少々くとも一方の基板上に帯状に分割されて設けられた
マトリクス表示用電極であって、一方向に整列された第
１の帯状分割電極と、保護層で介された前記第１の帯状
分割電極と同方向で整列された第２の帯状分割電極が、
第１の帯状分割電極と互いに一部で重畳され、他の一部
は隣接する第１の帯状分割電極と重畳しない構造になっ
ていることを特徴とする液晶マトリクス表示用電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14243783A JPS6033533A (ja) | 1983-08-05 | 1983-08-05 | 液晶マトリクス表示用電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14243783A JPS6033533A (ja) | 1983-08-05 | 1983-08-05 | 液晶マトリクス表示用電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6033533A true JPS6033533A (ja) | 1985-02-20 |
Family
ID=15315291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14243783A Pending JPS6033533A (ja) | 1983-08-05 | 1983-08-05 | 液晶マトリクス表示用電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6033533A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63296020A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-02 | Canon Inc | 液晶表示素子 |
| JPH01280724A (ja) * | 1988-05-06 | 1989-11-10 | Canon Inc | 液晶素子 |
| JP2005509909A (ja) * | 2001-11-16 | 2005-04-14 | シン フイルム エレクトロニクス エイエスエイ | マトリックス・アドレス指定可能な光電装置と、その電極手段 |
-
1983
- 1983-08-05 JP JP14243783A patent/JPS6033533A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63296020A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-02 | Canon Inc | 液晶表示素子 |
| JPH01280724A (ja) * | 1988-05-06 | 1989-11-10 | Canon Inc | 液晶素子 |
| JP2005509909A (ja) * | 2001-11-16 | 2005-04-14 | シン フイルム エレクトロニクス エイエスエイ | マトリックス・アドレス指定可能な光電装置と、その電極手段 |
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