KR20020029810A - 유기 전계발광 디바이스 및 이의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 합성수지 재질로 제작된 베이스 기판에 유기 전계발광 소자가 조립되도록 한 유기 전계발광 디바이스 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 의하면, 베이스 기판을 가벼운 합성수지 재질로 제작하고, 그 베이스 기판 상에 유기 전계발광 디바이스를 형성하여 디스플레이가 가능토록 함으로써 유기 전계발광 디바이스의 중량 및 부피를 획기적으로 감소시킨다.

Description

유기 전계발광 디바이스 및 이의 제조 방법{Organic electroluminescence device and method for fabricating thereof}
본 발명은 유기 전계발광 디바이스 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 합성수지 재질로 제작된 베이스 기판에 유기 전계발광 소자가 조립되도록 한 유기 전계발광 디바이스 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
최근 들어, 방대한 정보를 단위 시간 내 처리하는 고성능 정보처리장치의 개발과 함께 정보처리장치 내부에서 처리된 전기적 신호 형태의 결과를 사용자가 인식할 수 있도록 정보처리장치-사용자 사이를 연결하는 일종의 인터페이스 장치인 디스플레이 장치의 개발 또한 꾸준히 진행되고 있는 실정이다.
이와 같은 디스플레이 장치는 그 종류에 따라서 CRT 방식 디스플레이 장치(Cathode Ray Tube type display device), 액정 표시장치(Liquid Crystal Display device), 유기 전계발광 디바이스(Organic electroluminescence device) 등으로 크게 분류할 수 있다.
이들 중 특히, 유기 전계발광 디바이스는 수동 소자인 액정을 사용함으로써 "백라이트 어셈블리"라 불리는 광공급장치를 필요함은 물론 고도로 정밀한 구동 및 복잡한 제작 방법을 갖는 액정표시장치에 비해 빠른 응답속도 특성, 고휘도 특성, 간단한 구조 특성, 낮은 생산 코스트 특성, 낮은 중량 및 작은 부피를 갖는 특성 등을 고루 갖춤으로써 차세대 디스플레이 디바이스로 주목받고 있다.
이와 같은 다양한 장점을 갖는 유기 전계발광 디바이스를 구현하기 위한 가장 간단한 구조는 투명 유리기판에 형성된 애노드 전극(anode electrode), 애노드 전극의 상면에 형성된 유기 전계발광 박막층, 유기 전계발광 박막층의 상면에 형성된 또 하나의 전극인 캐소드 전극(cathode electrode)으로 구성된다.
이때, 애노드 전극으로부터 캐소드 전극으로 순방향 전류가 인가될 경우, 유기 전계발광 박막층에서는 전자와 정공의 결합 등과 같은 일련의 과정을 거치면서 소정 파장을 갖는 광이 발생하게 되고, 유기 전계발광 박막층에서 생성된 광은 애노드 전극, 투명 기판을 통하여 외부로 방출된 후 사용자의 눈으로 입사되어 사용자가 이 빛을 인식할 수 있게 된다.
이와 같은 발광 메커니즘을 구현하기 위해서 애노드 전극은 광투과가 가능한 전극을 사용해야만 하는 바, 일례로 애노드 전극은 금속보다는 전기적 저항이 높지만 도전성이며 금속보다 월등히 높은 투명도를 갖는 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide)라 불리는 물질이 사용된다.
그러나, 인듐 틴 옥사이드 물질은 고온 분위기에서 형성됨으로, 이와 같은 인듐 틴 옥사이드 물질을 애노드 전극으로 사용하기 위해서는 인듐 틴 옥사이드의 형성 온도에서도 형상 변경 및 분자 구조 변형이 발생하지 않는 투명 기판을 사용해야 하는 바, 이와 같은 이유로 투명 기판은 인듐 틴 옥사이드 형성 온도에서도 변형이 발생하지 않는 유리 기판이 사용된다.
그러나, 유리 기판은 비정질로 유리 기판의 에지에 형성된 에지 크랙은 외부의 조그만 충격에 의해서도 실제 디스플레이가 수행되는 액티브 영역으로 전파 또는 취성이 매우 약하여 파손이 빈번하게 발생하는 중대한 결함을 갖음과 동시에 유기 전계발광 디바이스의 중량 및 부피 증가의 주요 원인으로 작용하여 휴대용 디스플레이 장치로써 치명적인 문제점을 갖는다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 종래 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 유기 전계발광 디바이스의 구성 요소인 투명 전극을 포함하는 유기 전계발광 소자가 베이스 기판 상에 형성되도록 함에 있다.
본 발명의 다른 목적들은 상세하게 후술될 본 발명의 상세한 설명에 의하여 보다 명확해질 것이다.
도 1 내지 도 3은 본 발명에 의한 매개 기판을 도시한 사시도.
도 4는 도 1 내지 도 3의 매개 기판을 제작하는 과정을 도시한 개념도.
도 5는 도 4에 의하여 제작된 매개 기판을 도시한 측면도.
도 6은 도 1 내지 도 3에 의한 매개 기판의 관계를 도시한 개념도.
도 7은 본 발명에 의한 레드 매개 기판에 희생 박막층이 형성된 것을 도시한 개념도.
도 8은 본 발명에 의한 레드 매개 기판의 희생 박막층의 상면에 인듐 틴 옥사이드 박막이 형성된 것을 도시한 개념도.
도 9는 본 발명에 의한 레드 매개 기판의 인듐 틴 옥사이드 박막의 상면에 유기 전계발광층이 형성된 것을 도시한 개념도.
도 10은 도 9의 유기 전계발광층이 패터닝된 것을 도시한 외관 사시도.
도 11은 도 9에서 패터닝된 유기 전계발광층의 상면에 매개 전극이 형성된 것을 도시한 단면도.
도 12는 본 발명에 의한 베이스 기판의 레이아웃을 도시한 사시도.
도 13은 본 발명에 의한 베이스 기판에 레드 매개 기판에 형성된 레드 유기전계발광 소자 그룹이 어탯치된 상태에서 희생 박막층이 식각되는 것을 도시한 개념도.
도 14는 도 13 이후 베이스 기판에 레드 유기 전계발광소자 그룹이 어탯치된 것을 도시한 사시도.
도 15는 본 발명에 의한 블루 매개 기판에 형성된 블루 유기 전계발광 소자 그룹의 프로파일을 보여주는 단면도.
도 16은 베이스 기판에 어탯치된 레드 유기 전계발광 소자 그룹과 인접한 단위 액티브 영역에 블루 유기 전계발광 소자 그룹이 어탯치된 것이 도시된 사시도.
도 17은 본 발명에 의한 그린 매개 기판에 형성된 그린 유기 전계발광 소자 그룹의 프로파일을 보여주는 단면도.
도 18은 베이스 기판에 어챗치된 블루 유기 전계발광 소자 그룹과 인접한 단위 액티브 영역에 그린 유기 전계발광 소자 그룹이 어탯치된 것이 도시된 사시도.
도 19는 본 발명에 의한 완성된 유기 전계발광 디바이스의 외관을 도시한 사시도.
이와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 유기 전계발광 디바이스는 제 1 방향으로 적어도 1 개 이상이 병렬 방식으로 배열된 스트라이프 형상의 제 1 전극, 제 1 전극에 각각 대응하여 연결된 제 1 리드, 제 1 전극과 전기적으로 분리되도록 형성된 적어도 1 개 이상의 제 2 리드가 형성된 베이스 기판과, 제 1 전극과 교차되는 제 2 방향으로 뻗은 스트라이프 형상으로 제 2 리드의 개수와 대응하여 제 1 전극상에 병렬 방식으로 배열된 매개 전극, 제 1 전극의 상면에 해당하는 매개 전극 상면에 형성된 유기 전계발광수단, 매개 전극의 상면에 유기 전계발광수단이 감싸여지도록 형성된 투명한 제 2 전극을 포함하는 유기 전계발광 소자 그룹과, 제 1 전극 및 매개 전극이 접촉되는 부분에 도포된 도전성 접착수단과, 제 2 전극과 제 2 리드를 연결하는 연결 전극을 포함한다.
또한, 본 발명에 의한 유기 전계발광 디바이스의 제조 방법은 적어도 1 개 이상이 병렬 방식으로 제 1 방향으로 뻗은 매개 전극, 매개 전극의 상면에 적어도 1 개 이상이 분할 형성된 유기 전계발광층, 유기 전계발광층의 상면에 제 2 전극을 희생 박막층이 형성된 소자 형성용 기판에 제작하여 유기 전계발광 소자 그룹을 형성 및 소정 면적을 갖는 기판의 일측면에 유기 전계발광층의 개수와 대응하는 개수가 병렬 방식으로 매개 전극과 교차하는 제 2 방향으로 뻗은 제 1 전극, 제 1 전극에 연결된 제 1 리드, 제 1 전극과 전기적으로 분리된 제 2 리드를 각각 형성하는단계와, 제 1 전극의 상면에 유기 전계발광 소자 그룹을 얼라인먼트시키고 도전성 접착수단으로 매개 전극과 제 1 전극을 접착시키는 단계와, 희생 박막층을 식각하여 매개 기판과 유기 전계발광 소자 그룹을 분리시키는 단계와, 제 2 전극을 제 2 리드에 연결시키는 단계를 포함한다.
이하, 본 발명에 의한 유기 전계발광 디바이스 및 유기 전계발광 디바이스의 제조 방법을 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 첨부된 도 12 또는 도 18을 참조하여, 본 발명에 의한 유기 전계발광 디바이스의 구성을 설명하면 다음과 같다.
도 18을 참조하면, 본 발명에 의한 유기 전계발광 디바이스(900)는 전체적으로 보아 합성수지 재질의 베이스 기판(100), 베이스 기판(100)에 형성되는 유기 전계발광 소자 그룹(300,400,500;600)으로 구성된다.
구체적으로, 베이스 기판(100)은 모두 3 개의 영역으로 나뉘어지는 바, 도면부호 A로 도시된 영역은 상세하게 후술될 유기 전계발광 소자 그룹(600)이 설치됨으로써 실제 화상이 디스플레이되는 액티브 영역(active area)이고, 도면부호 B로 도시된 영역은 액티브 영역에 형성된 유기 전계발광 소자 그룹(600)에 제 1 신호를 인가하기 위한 애노드 전극 리드(180)가 형성되는 애노드 전극 리드 영역이고, 도면부호 C로 도시된 영역은 액티브 영역에 형성된 유기 전계발광 소자 그룹(600)에 제 2 신호를 인가하기 위한 캐소드 전극 리드(190)가 형성되는 캐소드 전극 리드 영역이다.
이와 같은 액티브 영역에는 도 12에 도시된 바와 같이 애노드 전극(170)이형성되고, 애노드 전극 리드 영역에는 애노드 전극 리드(180)가 형성되고, 캐소드 전극 리드 영역에는 캐소드 전극 리드(190)가 형성된다.
이를 첨부된 도 12를 참조하여 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
액티브 영역은 도 12에 정의된 좌표계인 Y 축과 평행한 방향을 따라서 복수개로 등분된다. 이때, 등분된 개수는 구현하고자 하는 해상도와 일치되도록 해야 하는 바, 본 발명에서는 설명의 편의상 일실시예로 액티브 영역을 6 등분하기로 한다.
이하, 6 등분된 각각의 액티브 영역을 단위 액티브 영역이라 정의하기로 하며, 6 등분된 각각의 단위 액티브 영역에 도면부호 141,142,143,144,145,146을 부여하기로 한다.
이와 같이 6 개의 단위 액티브 영역으로 구성된 액티브 영역에는 애노드 전극(anode electrode,110,120,130,140,150,160;170)이 형성된다.
구체적으로, 애노드 전극(170)은 일실시예로 알루미늄 재질이 공증착 또는 스퍼터링 등의 방법에 의하여 액티브 영역 내부에 소정 패턴 및 소정 두께로 형성된다.
보다 구체적으로, 애노드 전극(170)은 액티브 영역에 단위 액티브 영역(140)과 직교하는 X 축 방향으로 예를 들면, 단위 액티브 영역중 첫 번째 단위 액티브 영역(141)으로부터 마지막 단위 액티브 영역(146)을 통과하는 방향으로 형성되며, Y 축 방향을 따라서 병렬 방식으로 단위 액티브 영역의 개수와 동일하게, 일실시예로 6 개가 형성된다.
한편, 애노드 전극 리드 영역에는 애노드 전극 리드(180)가 형성되는 바, 애노드 전극 리드(180)의 일측 단부는 액티브 영역에 형성된 애노드 전극(170)의 단부와 일대일 대응 방식으로 연결되며, 역시 X 축 방향으로 뻗도록 형성된다.
또한, 캐소드 전극 리드 영역에는 캐소드 전극 리드(190)가 형성되는 바, 캐소드 전극 리드(190)의 일측 단부는 애노드 전극 리드(180)와 교차하는 방향 보다 구체적으로 직교하는 방향을 갖으며, 각 단위 액티브 영역(140)과 평행하며 일대일 대응하는 위치에 형성된다. 이와 같은 캐소드 전극 리드(190)의 타측 단부는 애노드 전극 리드(180)와 평행하도록 길게 연장된다.
이와 같은 형상 및 구성을 갖는 애노드 전극(170), 캐소드 전극 리드(190), 애노드 전극 리드(180)는 이들의 형상대로 개구된 패턴 마스크(미도시)를 매개로 한번에 형성되도록 하는 것이 무방하다.
이와 같은 구성을 갖는 베이스 기판(100)의 단위 액티브 영역(140)들에는 도 18에 도시된 바와 같이 본 발명에 의한 유기 전계발광 소자 그룹(600)이 형성된다.
이때, 유기 전계발광 소자 그룹(600)은 일실시예로 레드 유기 전계발광 소자 그룹(300), 블루 유기 전계발광 소자 그룹(400), 그린 유기 전계발광 소자 그룹(500)으로 나뉘어지는 바, 이들 그룹은 모두 단위 액티브 영역(140)에 단위 액티브 영역(140)과 평행하도록 형성된다.
이들 유기 전계발광 소자 그룹(600)들은 모두 지정된 규칙에 따라 단위 액티브 영역(140)에 형성되는 바, 일실시예로 이들 유기 전계발광 소자 그룹(600)들은 레드 유기 전계발광 소자 그룹(300), 블루 유기 전계발광 소자 그룹(400), 그린 유기 전계발광 소자 그룹(500)이 소정 주기로 반복되도록 단위 액티브 영역(140)에 형성된다.
이후, 캐소드 전극 리드(190)와 레드 유기 전계발광 소자 그룹(300), 블루 유기 전계발광 소자 그룹(400), 그린 유기 전계발광 소자 그룹(500)이 모두 연결됨으로써 소정 영상을 디스플레이하는 것이 가능한 유기 전계발광 디바이스(900)의 제작이 완료된다.
이와 같은 본 발명에 의한 유기 전계발광 디바이스(900)의 경우, 유기전계발광 소자 그룹(600)이 형성되는 기판이 합성수지 재질이기 때문에 외부의 충격에 의하여 쉽게 깨지지 않으며, 유기 전계발광 디바이스(900)의 두께를 매우 얇게 형성할 수 있음은 물론 중량 또한 매우 가볍게 구현할 수 있다.
이하, 이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 의한 유기 전계발광 디바이스의 제조 방법을 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 의한 유기 전계발광 디바이스의 제조 방법은 전체적으로 보았을 때, 베이스 기판(100)을 제작하는 과정, 유기 전계발광 소자 그룹(600)을 제조하는 과정, 유기 전계발광 소자 그룹(600)을 베이스 기판(100)에 어탯치하여 조립하는 과정으로 크게 분류할 수 있다.
이처럼 유기 전계발광 소자 그룹(600) 및 베이스 기판(100)을 별도로 제작한 후, 이들을 나중에 상호 조립하는 이유는 쉽게 깨어지지 않으며, 크랙 발생이 없고 중량이 가벼운 장점을 갖는 합성수지 재질의 베이스 기판(100)은 다양한 장점에도 불구하고 유기 전계발광 소자 그룹(600)의 구성 요소인 애노드 전극(180)을 형성하기 위한 공정 온도에 변형이 발생됨으로써 애노드 전극(180)을 직접 베이스 기판(100)에 형성하기가 어렵기 때문이다.
본 발명에서는 이를 극복하기 위하여 애노드 전극(180)의 형성 온도에서도 변형이 발생하지 않으면서 반복 사용이 가능한 기판, 예를 들면, 유리 기판을 매개로 유리 기판에 레드 유기 전계발광 소자 그룹(300), 블루 유기 전계발광 소자 그룹(400), 그린 유기 전계발광 소자 그룹(500)을 각각 구성한 후, 삼색 판화 방식으로 이들을 베이스 기판(100)에 조립하는 방식이 사용된다.
이하, 이와 같은 역할을 하는 유리 기판을 매개 기판이라 정의하기로 한다.
매개 기판은 다시 레드 유기전계발광 소자 그룹(300)이 형성되는 레드 매개 기판, 블루 유기전계발광 소자 그룹(400)이 형성된 블루 매개 기판, 그린 유기전계발광 소자 그룹(500)이 형성된 그린 매개 기판으로 구성된다.
이 레드 매개 기판은 도 1에 도시되어 있는 바, 도면부호 610을 부여하고, 블루 매개 기판은 도 2에 도시되어 있는 바, 도면부호 620을 부여하고, 그린 매개 기판은 도 3에 도시되어 있는 바, 도면부호 630을 부여하기로 한다.
보다 구체적으로, 도 1에 도시된 레드 매개 기판(610)은 일실시예로 베이스 기판(100)에 형성된 액티브 영역과 동일한 면적을 갖는 기판으로, 기판 중 앞서 정의된 단위 액티브 영역(141,143)에 해당하는 부분을 제외한 나머지 영역은 식각되어 제거된 형상을 갖는다.
블루 매개 기판(620) 또한, 베이스 기판(100)에 형성된 액티브 영역과 동일한 면적을 갖는 기판으로, 기판 중 앞서 정의된 단위 액티브 영역(142,144)에 해당하는 부분을 제외한 나머지 영역은 식각 되어 제거됨으로서 도 2의 형상을 갖게 된다.
또한, 그린 매개 기판(630)은 베이스 기판(100)에 형성된 액티브 영역과 동일한 면적을 갖는 기판으로, 기판 중 앞서 정의된 단위 액티브 영역(143,146)에 해당하는 부분을 제외한 나머지 영역은 식각되어 제거됨으로써 도 3의 형상을 갖게 된다.
한편, 첨부된 도 4 내지 도 5에는 레드, 블루, 그린 매개 기판(610,620,630)을 형성하는 방법이 도시되어 있는 바, 도 4 또는 도 5에는 대표적으로 레드 매개 기판(610)을 형성하는 방법이 도시되어 있다.
나머지 블루 매개 기판(620) 및 그린 매개 기판(630)의 형성 방법은 레드 매개 기판(610)을 제작하는 과정과 동일한 바, 그 중복된 설명은 생략하기로 한다.
첨부된 도 4 또는 도 5를 참조하면, 먼저, 레드 매개 기판(610)의 몸체에 해당하는 기판(611)의 전면적 걸쳐 소정 두께로 도시되지 않은 포토레지스트 박막이 형성되고, 포토레지스트 박막 중 앞서 정의된 단위 액티브 영역(141,143)에 해당하는 부분에만 포토레지스트 박막(612)이 남겨지도록 노광-현상-베이크 공정이 연속적으로 이루어진다.
이후, 기판(611)은 식각 용액에 넣어짐으로써 포토레지스트 박막(612)에 의하여 보호되지 못하는 부분은 식각 용액(613)에 의하여 식각이 수행됨으로써 결국 도 5의 형상과 같이 식각이 진행된다.
이후, 애싱(ashing) 공정 등을 통하여 기판(611)에 잔존하는 포토레지스트박막(612)은 모두 제거됨으로써 레드 매개 기판(610)이 제작된다.
이때, 제작된 그린, 블루, 그린 매개 기판(610,620,630) 중 식각이 되지 않고 돌출된 형상을 갖는 부분을 특별히 소자 형성용 받침대(615,625,635)라 정의하기로 하는 바, 식각이 진행될 때, 소자 형성용 받침대(615,625,635)의 프로파일은 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 사다리꼴 형상을 갖도록 한다.
이때, 도 6에는 이들 소자 형성용 받침대(615,625,635)의 레이아웃이 도시되어 있는 바, 이들 중 하나인 소자 형성용 받침대(615)는 액티브 영역 중 단위 액티브 영역(141,144)과 동일한 위치를 갖도록 형성된다.
또 하나의 소자 형성용 받침대(625)는 액티브 영역 중 단위 액티브 영역(142,145)과 동일한 위치를 갖도록 형성되고, 나머지 소자 형성용 받침대(635)는 액티브 영역 중 단위 액티브 영역(143,146)과 동일한 위치를 갖도록 형성된다.
이하, 이와 같은 과정을 통하여 형성된 그린, 블루, 그린 매개 기판(610,620,630)을 매개로 레드 유기전계발광 소자 그룹(300), 블루 유기전계발광 소자 그룹(400), 그린 유기전계발광 소자 그룹(500)을 형성하는 과정을 첨부된 도 7 이하를 참조하여 설명하기로 한다.
먼저, 첨부된 도 7에는 레드 매개 기판(610)에 레드 유기전계발광 소자 그룹(300)을 형성하는 공정이 도시되어 있다.
첨부된 도면을 참조하면, 레드 매개 기판(610)에는 전면적에 걸쳐 공증착 등의 방법에 의하여 희생 박막층(release film layer;619)이 소정 두께로 형성된다.
이때, 희생 박막층(619)은 폴리 실리콘(poly-silicon), 아몰퍼스실리콘(amophous silicon) 등이 사용될 수 있는 바, 희생 박막층(619)은 이외에도 특정 에천트 또는 에칭 가스에 의하여 식각되는 어떠한 물질이 사용되어도 무방하지만 본 발명에는 희생 박막층(619)을 형성하는 물질로 XeF2가스에 의하여 식각되는 아몰퍼스 실리콘을 일실시예로 사용하기로 한다.
이후, 레드 매개 기판(610)의 상면에는 도 8에 도시된 바와 같이 전면적에 걸쳐 공증착 등의 방법에 의하여 광투과도가 높으며, 저항이 낮은 도전성 물질인 인듐 틴 옥사이드 박막(Indium Tin Oxide film;331)이 소정 두께로 형성된다. 이하, 이 인듐 틴 옥사이드 박막(331)을 캐소드 전극이라 칭하기로 하며 도면부호 331을 다시 부여하기로 한다.
이후, 도 9에 도시된 바와 같이 레드 매개 기판(610)에는 전면적에 걸쳐 레드 유기 전계발광물질이 도포되어 레드 유기 전계발광층(350)이 형성된다.
이때, 레드 매개 기판(610)에 형성된 레드 유기 전계발광층(350)중 소자 형성용 받침대(615)의 상면에 형성된 레드 유기 전계발광층(350)은 포토레지스트 도포공정, 사진공정, 현상공정, 식각 공정을 거침으로써 도 10에 도시된 바와 같이 적어도 1 개 이상으로 분할된다.
본 발명에서는 소자 형성용 받침대(615)의 상면에 형성된 레드 유기 전계발광층(350)이 일실시예로 6 개로 분할되도록 패터닝하지만, 분할된 레드 유기 전계발광층(350)의 개수는 해상도에 따라서 얼마든지 변경될 수 있다.
이하, 분할된 각각의 레드 유기 전계발광층(350)에 도면부호 351을 부여하기로 한다.
이후, 도 11에 도시된 바와 같이 레드 매개 기판(610)에는 전면적에 걸쳐 메탈 물질이 데포(deposition)되어 메탈 박막층(360)이 형성된다. 이때, 메탈 박막층(360)은 일실시예로 알루미늄 박막이다. 이하, 이 메탈 박막층(360)을 매개 전극이라 정의하기로 하며, 도면부호 360을 부여하기로 한다.
이와 같은 과정을 거침으로써 레드 유기 전계발광 소자 그룹(300)의 제작이 완료되는 바, 제작이 완료된 레드 유기 전계발광 소자 그룹(300)은 도 12에 도시된 베이스 기판(100)에 얼라인먼트되어 조립된다.
이처럼 베이스 기판(100)에 레드 유기 전계발광 소자 그룹(300)을 조립하기 위해서는 레드 유기 전계발광 소자 그룹(300)의 매개 전극(360)과 베이스 기판(100)에 형성된 애노드 전극(170)을 전기적으로 연결시켜야 한다.
이를 구현하기 위해서 도 12에 도시된 바와 같이 베이스 기판(100)의 모든 단위 액티브 영역(140)에 포함되는 애노드 전극(170)의 상면에는 각각 도전성 접착제(195)가 소정량 도트(dot) 형상으로 도포되고, 도포된 도전성 접착제(195)중 베이스 기판(100)의 단위 액티브 영역(141,144)에 도포된 도전성 접착제에는 도 13에 도시된 바와 같이 레드 유기 전계발광 소자 그룹(300)이 형성된 레드 매개 기판(610)에 형성된 매개 전극(360)이 얼라인먼트된 후 상호 어탯치된다.
이후, 베이스 기판(100)이 도전성 접착제(195)에 의하여 레드 매개 기판(610)에 형성된 매개 전극(360)이 상호 접착된 상태에서 이들은 도 13에 도시된 바와 같이 소정 공간을 갖는 식각 챔버(950)에 로딩된 후, 식각 챔버(950)의 반응가스 공급장치(960)로부터 레드 매개 기판(610)과 레드 유기 전계발광 소자 그룹(300)을 고정시키는 역할을 하는 희생 박막층(619)을 식각하는 XeF2반응가스가 반응 챔버(950) 내부로 공급된다.
이로써, XeF2반응가스에 의하여 레드 유기 전계발광 소자 그룹(300)과 레드 매개 기판(610)을 고정하고 있던 희생 박막층(619)은 식각되고, 도 14에 도시된 바와 같이 결국 레드 유기 전계발광 소자 그룹(300) 만이 베이스 기판(100)에 형성된 단위 액티브 영역(141,144)에 어탯치된다. 이후, 식각 잔여물은 세정 공정에 의하여 제거된다.
첨부된 도 15에는 블루 매개 기판(620)에 블루 유기 전계발광 물질을 사용한 블루 유기 전계발광층(451), 캐소드 전극(431), 매개 전극(460)을 사용하여 앞서 설명한 도 7 내지 도 11과 동일한 과정을 거침으로써, 블루 유기 전계발광 소자 그룹(400)이 형성된 것이 도시되어 있다.
이후, 블루 유기 전계발광 소자 그룹(400)이 형성된 블루 매개 기판(620)은 다시 베이스 기판(100)에 형성된 단위 액티브 영역(142,145)에 얼라인먼트된 후, 도전성 접착제(195)를 매개로 베이스 기판(100)에 어탯치된 후 경화된다.
이후, 도 13과 같이 블루 유기 전계발광 소자 그룹(400)과 블루 매개 기판(620)을 고정하던 희생 박막층이 XeF2반응가스에 의하여 선택적으로 식각됨으로써 레드 유기 전계발광 소자 그룹(300)과 인접한 단위 액티브 영역(142,145)에는 도 16에 도시된 바와 같이 블루 유기 전계발광 소자 그룹(400)이 형성된다. 이후,식각 잔여물은 역시 세정 공정에 의하여 제거된다.
이어서, 첨부된 도 17에는 그린 매개 기판(630)에 그린 유기 전계발광 물질을 사용한 그린 유기 전계발광층(551), 캐소드 전극(531), 매개 전극(560)을 앞서 설명한 도 7 내지 도 11과 동일한 과정을 거침으로써, 그린 유기 전계발광 소자 그룹(500)이 형성된 것이 도시되어 있다.
이후, 그린 유기 전계발광 소자 그룹(500)이 형성된 그린 매개 기판(630)은 다시 베이스 기판(100)에 형성된 단위 액티브 영역(143,146)에 평행하게 얼라인먼트된 후, 도전성 접착제(195)를 매개로 베이스 기판(100)에 어탯치된 후 경화된다.
이후, 도 13과 같이 그린 유기 전계발광 소자 그룹(500)과 그린 매개 기판(630)을 고정하던 희생 박막층이 XeF2반응가스에 의하여 선택적으로 식각됨으로써 블루 유기 전계발광 소자 그룹(400)과 인접한 단위 액티브 영역(143,146)에는 도 18에 도시된 바와 같이 그린 유기 전계발광 소자 그룹(500)이 형성된다.
이후, 도 19에 도시된 바와 같이 베이스 기판(100)상에 모두 형성된 레드 유기 전계발광 소자 그룹(300), 블루 유기 전계발광 소자 그룹(400) 및 그린 유기 전계발광 소자 그룹(500)에 형성된 캐소드 전극(331,431,531)을 캐소드 전극 리드(190)와 연결 전극(197)으로 연결함으로써 합성 수지 기판상에 유기 전계발광 디바이스의 제조가 완료된다.
이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 베이스 기판을 가벼운 합성수지 재질로 제작하고, 그 베이스 기판 상에 유기 전계발광 디바이스를 형성하여 디스플레이가 가능토록 함으로써 유기 전계발광 디바이스의 중량 및 부피를 획기적으로 감소시키는 다양한 효과를 갖는다.

Claims (6)

  1. 제 1 방향으로 적어도 1 개 이상이 병렬 방식으로 배열된 스트라이프 형상의 제 1 전극, 상기 제 1 전극에 각각 대응하여 연결된 제 1 리드, 상기 제 1 전극과 전기적으로 분리되도록 형성된 적어도 1 개 이상의 제 2 리드가 형성된 베이스 기판과;
    상기 제 1 전극과 교차되는 제 2 방향으로 뻗은 스트라이프 형상으로 상기 제 2 리드의 개수와 대응하여 상기 제 1 전극상에 병렬 방식으로 배열된 매개 전극, 상기 제 1 전극의 상면에 해당하는 상기 매개 전극 상면에 형성된 유기 전계발광수단, 상기 매개 전극의 상면에 상기 유기 전계발광수단이 감싸여지도록 형성된 투명한 제 2 전극을 포함하는 유기 전계발광 소자 그룹과;
    상기 제 1 전극 및 상기 매개 전극이 접촉되는 부분에 도포된 도전성 접착수단과;
    상기 제 2 전극과 상기 제 2 리드를 연결하는 연결 전극을 포함하는 유기 전계발광 디바이스.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 유기 전계발광 소자 그룹에 형성된 상기 유기 전계발광 수단은 각각 다른 파장의 빛을 발생시키는 유기 전계발광물질로 구성된 유기 전계발광층인 유기 전계발광 디바이스.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 베이스 기판은 합성수지 재질인 유기 전계발광 디바이스.
  4. 유기 전계발광 디바이스를 제조하는 방법에 있어서,
    적어도 1 개 이상이 병렬 방식으로 제 1 방향으로 뻗은 매개 전극, 상기 매개 전극의 상면에 적어도 1 개 이상이 분할 형성된 유기 전계발광층, 상기 유기 전계발광층의 상면에 제 2 전극을 희생 박막층이 형성된 소자 형성용 기판에 제작하여 유기 전계발광 소자 그룹을 형성 및 소정 면적을 갖는 기판의 일측면에 상기 유기 전계발광층의 개수와 대응하는 개수가 병렬 방식으로 상기 매개 전극과 교차하는 제 2 방향으로 뻗은 제 1 전극, 상기 제 1 전극에 연결된 제 1 리드, 상기 제 1 전극과 전기적으로 분리된 제 2 리드를 각각 형성하는 단계와;
    상기 제 1 전극의 상면에 상기 유기 전계발광 소자 그룹을 얼라인먼트시키고 도전성 접착수단으로 상기 매개 전극과 상기 제 1 전극을 접착시키는 단계와;
    상기 희생 박막층을 식각하여 상기 매개 기판과 상기 유기 전계발광 소자 그룹을 분리시키는 단계와;
    상기 제 2 전극을 상기 제 2 리드에 연결시키는 단계를 포함하는 유기 전계발광 디바이스의 제조 방법.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 희생 박막층은 폴리실리콘, 아몰퍼스 실리콘 중 어느 하나인 유기 전계발광 디바이스의 제조 방법.
  6. 제 4 항에 있어서, 상기 희생 박막층은 XeF2가스에 의하여 식각되는 유기 전계발광 디바이스의 제조 방법.
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Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09129376A (ja) * 1995-10-30 1997-05-16 Idemitsu Kosan Co Ltd 有機ｅｌ素子
JPH113048A (ja) * 1997-06-10 1999-01-06 Canon Inc エレクトロ・ルミネセンス素子及び装置、並びにその製造法
GB2335884A (en) * 1998-04-02 1999-10-06 Cambridge Display Tech Ltd Flexible substrates for electronic or optoelectronic devices
KR100378922B1 (ko) * 2000-07-22 2003-04-08 주식회사 휴먼앤싸이언스 플라스틱 박막형 전계 발광 표시소자의 제조방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018193822A1 (ja) * 2017-04-21 2018-10-25 コニカミノルタ株式会社 電子デバイスおよびその製造方法

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