DE2620390C3 - Anordnung zum Behandeln von Werkstücken mittels stromstarker Glimmentladungen - Google Patents

Anordnung zum Behandeln von Werkstücken mittels stromstarker Glimmentladungen

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DE2620390C3 DE19762620390 DE2620390A DE2620390C3 DE 2620390 C3 DE2620390 C3 DE 2620390C3 DE 19762620390 DE19762620390 DE 19762620390 DE 2620390 A DE2620390 A DE 2620390A DE 2620390 C3 DE2620390 C3 DE 2620390C3
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Bernd Dipl.-Phys. 5000 Koeln Edenhofer
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WO1990002213A1 (de) * 1988-08-18 1990-03-08 Klöckner Ionon Gmbh & Co Kg Vorrichtung zur plasmabehandlung mit einer anode
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